TW593888B - Pump controller for precision pumping apparatus - Google Patents

Description

本發明概有關精確泵輸裝置、尤有關一種泵控制器 以精確控制從該精確泵輸裝置配送之流體量。 需要許多可由一泵輸裝置來精確控制配送液體量及/ 或速率之應用，譬如在半導體製造中，務必極精確地控制 將光化物（如光阻）供應至一個製造半導體裝置的受處理半 導體晶圓之量及速率。在處理期間供至半導體晶圓的塗層 係需要在晶圓表面上具有以埃測量的平坦度，現今許多半 導體程序係要求30埃或更小範圍，處理化學物（如光阻等） 供至晶圓且由離心力轉出至晶圓邊緣之速率係受到控制以 確保均勻施用處理液體，亦務必控制光阻化學物施加至晶 圓之速率及容積以降低不需要的浪費及消耗，現今半導體 業用之許多化學物不但有毒性且價格昂貴，常耗費高達美 金1000每升。因此，因為化學物成本及處理毒物之困難， 需確使足夠光阻施加至晶圓，以滿足處理需求並減少過度 消耗與浪費。 半導體處理之另一重要需求為：因為化學物量之變化 係不利地影響各晶圓之間的一致性，故每次需能重覆配送 一精確控制量的處理化學物。過去，因為無法可重覆性且 無法精確控制所配送的化學物量，許多泵必須配送比所需 量更多50°/。至100%以確保處理時需要具有足夠量，造成 浪費及增加處理成本。 I知的泵輸裝置係能夠正確配送精確的一般流體量 ，但是這些習知泵輸裝置無法正確配送低黏度、低配送速 率流體，且習知泵輸裝置係使低黏度流體造成雙重配送或 593888 A7 B7 五、發明説明（2 ) 斷續配送。尤其，在任何流體受控制配送之前的配送週期 開始時，一少量的低黏度流體（如數微升）可能不良地射在 晶圓表面而導致配送不精確的流體量，係因習知泵輸裝置 中出現的多種因素，而造成這些低黏度低流率流體之雙重 配送與斷續配送之問題。譬如，可能由於配送前一障礙閥 關閉而在泵輸裝置的配送室中累積壓力，而可能迫使部份 流體進入配送室中並增加配送室中的壓力，配送室中的額 外流體與額外壓力可能造成：配送週期開始時，少量流體 噴在晶圓表面上。此外，習知泵輸裝置中之控制閥作業之 正時及配送系統的動力（如管件長度、管件直徑及喷嘴尺 寸）亦可能造成低黏度、低配送速率流體之雙重或斷續配 送的問題。 需提供能夠精確且可重覆地控制低黏度化學物（由泵 輸裝置所配送）的速率與容積之低容積、低速率化學物配 送泵輸裝置，且本發明係針對此等裝置。 發明概論 根據本發明，提供一種低配送速率的精確配送栗殼 體裝置及方法，其能夠精確且可重覆地控制低黏度流體之 配送速率與容積，且克服了習知配送泵輸裝置及方法之上 述及其他缺點，泵輸裝置係在配送週期中精確控制該泵輸 裝置之數個不同部份之作業，而精確地控制低黏度流體之 配送量及/或速率。尤其，一泵控制器可精確控制該等控 制閥彼此間之正時、配送馬達之動作、及控制閥相對配送 馬達的移動之正時，根據本發明之泵控制器係正確控制一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593888 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3 ) 泵輸裝置以避免習知泵輸裝置相關之雙重配送或斷續配送 的問題。 圖式簡單說明 第1圖為包括根據本發明的一泵控制器之泵輸裝置之 方塊圖； 第2圖顯示兩階段泵輸裝置之方塊圖； 第3圖為用以配送流體之習知順序的正時圖； 第4圖為顯示根據本發明之配送流體的一順序之正時 圖；及 第5圖為顯示一種用以控制根據本發明配送低黏度流 體的泵輸裝置的方法之流程圖。 較佳實施例之詳細說明 本發明尤其適合一種泵輸裝置，其可正確配送精確 量之低黏度流體且在本發明文中描述，但可瞭解，根據本 發明之裝置及方法具有更大使用範圍，譬如正確配送可能 並非低黏度流體之精確量的其他流體。 第1圖顯示一泵輸裝置1 〇(包括根據本發明之一系控制 器）之方塊圖’該栗輸裝置1〇可包括一個兩階段栗12、一 泵貯部14及一電腦16，而可共同作業將一精確流體量配送 至一晶圓18上。為方便顯示，可能以約5毫升每秒的低流 率來配送一低黏度流體（可能有小於5厘泊（ePs)的黏度）， 但本發明不限於配送低黏度流體或低流率流體。粟12係為 一個兩階段泵，因為流體的配送係包括一第一進給及過滤 階段、然後為上述之一第二分離的配送階段，故配送性能 -HI n.^ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線

593888 A7 B7 五、發明説明（4 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 不會隨濾器使用壽命而變。泵12的不同部份的作業可由一 軟體應用程式20 (亦即包含數段軟體碼而可儲存在電腦^ 的一記憶體中且由電腦中的一處理器（未圖示）執行之電腦 程式）所控制，亦可由泵内的一處理器執行之一軟體應用 程式或數段軟體碼來控制泵的作業，執行指令以控制泵的 作業之處理器位置對於本發明並不重要。 譬如，軟體應用程式20可控制用以驅動該泵而將精 確流體量正確si送至晶圓18上之m的不同控制閥之開 啟與關閉、及馬達或致動器之移動。參照第5圖來描述用 以控制配送根據本發明之低黏度、低流率液體的泵12之軟 體應用程式所執行的方法。 為了充注流體，泵12可如上述從貯部14將流體抽入 一進給室中，流體接著可如下述濾過一濾器且進給入一分 離的配送室。即使對於低黏度、低速率的流體，流體仍可 能以精確量從配送室配送過一濾器22到晶圓18上，泵以的 實際週期係參照第3與4圖而描述於下，現描述兩階段泵 之細節以更佳瞭解本發明。 第2圖顯示可供本發明使用之兩階段泵12進一步細叩 之方塊圖，該兩階段泵12尤其可包括一進給與過濾階段刊 及一配送階段32，進給與過濾階段3〇可包括一進給室料， 其在需要較多流體時可將流體從一流體供應貯部抽過一開 入口閥36。配送階段期間，關閉該入口閥刊，為了控制流 體進入及離開進給室，一進給閥38係控制一真空、一正進 給壓力或大氣是否施加至進給室中之一進給隔膜。為 12 節 了 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 -線_

Is - ί I 1 n Κ張尺度適用中國國家標系(CNS ) Α4規格dx297公釐) 593888 A7 B7 五、發明説明（5 ) 將流體抽入進給室中，一真空係施至隔膜4〇，使得隔膜相 對於進給室的一壁拉動、並將流體拉入進給室中。為了將 流體推出進給室，一進給壓力可施加至隔膜，為了移除不 良的空氣泡，可視需要開啟一通氣閥42。 進給室34充注流體之後，入口閥36係關閉、且隔離 閥44與一障礙閥50開啟，而使流體流過一濾器46進入配送 階段32中。流體一旦位於配送階段32、且使進給與過滤階 段與配送階段相隔離之後，隔離閥44與障礙閥50可關閉。 為使系統排出不需要的空氣或汽除過多壓力，滤器46可包 括一通氣閥48，當流體推過濾器46，從流體移除不良雜質 之類，流體接著移過一障礙閥50進入該泵第二或配送階段 中之一配送室52中，泵如下述開始一配送週期。 配送週期中，一旦配送室充滿流體且關閉障礙閥5〇 之後，一沖洗閥54打開、且由一配送隔膜56推動配送室52 中的流體’以消除該配送室52流體中的任何氣泡，為了推 動或拉動配送隔膜56，配送隔膜可介於配送室與一注有液 壓流體的液壓流體室58之間，液壓流體可由一配送栗6〇( 可能包括一活塞62、一導螺栓64及一步進馬達（stepper motor)66)加壓或解除加壓。為了對於配送室52中的流體 施壓’係接合步進馬達而接合導螺栓、且加壓液壓流體， 然後液體流體將配送隔膜推入配送室52，而使配送室52中 的流體加壓、或在沖洗閥54或一出口閥68開啟時將流體推 出配送室52、若出口閥68開啟時，則一正確流體量係配送 在晶圓上，現描述用以配送流體之一般程序。 本紙張尺度適用中國國家標準（CpS ) A4規格（210X297公羡） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?! 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 593888 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明説明（6 ) 第3圖為顯示用以控制第2圖所示兩階段泵型以配送 流體的習知順序之正時圖、如圖頂部所示，配送程序可包 括-P皆段順序，亦即譬如以下步驟：一就緒階段7〇、一配 送階段72、-吸回階段74、一充注階段％、一過遽階⑽ 通氣k ^又80、一沖洗階段82、一靜沖洗階段84。配合 各又導致發生之結果，現描述以上各不同階段之馬達與 閥的般控制。譬如’在就緒階段期間，障礙與隔離閥打 開而出口閥關閉，使得系統與進給室達成一平衡壓力狀態 以供配送流體。當開始該配送階段時，隔離與障礙閥係關 閉而開啟出口閥且啟動配送泵中之馬達。由於所配送流 體之較不可壓細性及泵的“硬度，，，障礙閥的關閉係在關閉 時將流體推出閥，使配送室中的流體加壓，且因為出口闕 開啟，可能造成上述典型之雙重配送或斷續配送問題。障 礙閥的關閉可能將配送室中的壓力增大一預定量（可能約 2_3psi),但疋貫際壓力增加係取決於所用的障礙閥特徵。 此外，目為係與出口閥開啟同時啟動馬達，由於出口閥的 開啟係比馬達的啟動更費時，因而馬達可能起初將流體推 過一個未完全打開的出口閥，流體可能產生不平均配送（ 或斷續配送），故造成少量流體之—初步的“㈣㈣㈣，， ，在配送階段期間，流體可能配送在晶圓上。 在配送階段結束與吸回階段開始時，馬達停止且逆 行、或一外部停止/吸回閥（未圖示）可開啟，將喷嘴中所 留的任何流體吸入配送室，以確保在流體配送終點不產生 滴落。在流體已吸回到配送室中之後，出口闕關閉且停止 ^氏張尺度適用中國國家標準（CNS ) ---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

593888 A7 五、發明説明（7 )~~ ^ ---- 馬達。然後，充注階段髮日pq 白奴期間，入口閥打開且一真空施加至 進給隔膜而將流體從貯部抽入進給室。在過滤階段起點， Μ入π閥且㈣㈣閥’進給馬達將正壓力施加至進給 至中的抓體，Ρ早礙閥打開且配送馬達逆行而將流體推過遽 器進入配送至中。流體已離開進給室之後，隔離闕可關閉 Ο 通氣階段開始時，隔離閥打開且關閉障礙閥，打開 通氣閥且停止配送馬達，而壓力係施加至進給隔膜以從遽 器移除氣泡。沖洗階段開始時，隔離閥關閉，進給栗並未 施加壓力或-真空至進給室，通氣閥係關閉、沖洗間打開 且配送泵往則移以從配送室移除空氣泡。靜沖洗階段開始 時，配送馬彡停止但沖洗真空維持開启欠，以繼續從配送室 移除空氣，就緒階段開始時，隔離與障礙閥開啟且沖洗閥 關閉，故進給泵與系統達到環境壓力，而該泵可就緒以供 配送流體。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上述，此習知的配送程序受雙重配送或斷續配送 所困擾，尤其，配送前該障礙閥的關閉係在關閉時將流體 推出該閥，而對配送室中的流體加壓，故因為出口閥開啟 而1^成夕置不需要的流體配送至晶圓上。此外，因為馬達 係與出口閥的開啟呈同時啟動，因為出口閥的開啟係比馬 達的啟動更為費時，因此馬達可能起初將流體推過一個未 完全打開的出口閥，而可產生一不平均的流體配送（或斷 續配送），現描述根據本發明解決這些問題之配送方法。 第4圖為用以根據本發明來配送流體之方法的正時圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Μ規格（210 X 297公釐） 10 593888 A7 B7 五、發明説明（8 ) ，第4圖中之配送程序具有與上述習知配送程序相同之階 段（亦即習知程序中之步驟7〇_84)。此外，閥與馬達的控 制大多類似上述習知方法，此處僅描述對於控制根據本發 明之閥與馬達之變化。尤其為了防止不良的雙重配送或斷 續配送，該方法係改變控制閥與馬達之方式。 尤其，根據本發明，與習知程序不同，在配送階段 開始時障礙閥並未關閉，而是，障礙閥在通氣階段開始時 關閉並在配送階段期間保持關閉，故避免配送室中的壓力 突然升高、且流體不會因為壓力突然升高而漏出出口閥。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因為在配送階段之前障礙閥並未開啟及關閉、但在通氣階 段開始時則關閉，在通氣與沖洗狀態之後，配送室中的壓 力增大，且必須釋放此額外壓力。為了釋放此壓力，靜沖 洗階段84期間，配送馬達可能逆行而使活塞62退出某預定 距離，以補償障礙閥關閉造成之任何壓力增加。一範例中 步進馬達之各步階可能降低約〇.lj3si壓力，若障礙閥的 關閉增加2psi壓力，則馬達可能逆行2〇步階以降低配送室 中的此壓力值以關閉障礙閥。但實際的減壓係取決於特定 步進馬達、導螺栓及所用活塞之特徵，馬達各步階造成之 減壓可由位於配送室内之一壓力感應器所決定。根據本發 明，因為在通氣階段期間額外壓力加入配送室中時，出口 閥並未打開，故流體不會“喷落，，至晶圓上。 馬達可能另逆行一預定的額外距離，使得馬達可在 配送之前往前移，而將配送壓力調整成零、並避免在配送 流體之前馬達往後移時所常產生之任何反衝。尤其，對於

本紙張尺度朝巾iWSi ( CNS ) A4im ( 210X297^ ) 11 593888 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一活塞、導螺栓及步進馬達配送泵，配送作業前之最後一 動作通常係往前以避免活塞改向時具有反衝，因此避免障 礙閥關閉所產生之額外壓力的問題。 然後，配送階段72開始期間，係改變出口閥的正時 及馬達的啟動以避免斷續配送問題，閥尤其為一種機械裝 置而扁要固疋時間才能開啟。另一方面，相較於出口閥的 可能開啟時間，馬達的啟動可能更快。因此，同時啟動馬 達及開啟出口閥將造成配送流體的壓力升高而造成斷續配 送。為避免此問題，出口閥打開、且在某預定時間τ之後 啟動配送馬達，而在馬達啟動獲得良好配送時，完全打開 出口閥，該預定時間量係取決於出口閥的特徵及所用的配 送馬達。但是若出口閥需約5〇微秒開啟時，則預定時間量 可能譬如為50至75微秒之間、較佳約為75微秒。此預定時 間量亦可稱為一遲緩（delay)。因此，根據本發明，配送馬 達不再將流體推過一個部份開啟的出口閥，可而使一正確 線·! 的爻控制流體量配送至晶圓上。因此，根據本發明，可避 免同時關閉障礙閥及打開出口閥及啟動配送馬達所造成的 問題，以提供更正確的流體配送（如低黏度流體）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上述，泵輸裝置中的閥與馬達係由一軟體應用程 式所控制，因為不需改變硬體，配送程序中的上述改變可 能適用於任何兩階段泵輸裝置。因此，譬如，若改變管件 、管件長度、噴嘴高度或喷嘴直徑，則可能容易地適用根 據本發明之私序，現描述根據本發明以控制該配送程序之 方法。

12 593888 A7 B7 五、發明説明（i〇 ) 帛5圖顯不一種根據本發明之一泵輸裝置以控制低黏 度流體的方法⑽之流程圖。步階1〇2處，障礙閥係在過遽 階段結束時關閉、而增大配送室中的壓力。步階1〇4處， 靜冲m又期間，配送馬達逆行一預定距離量以補償障礙 閥關閉造成之壓力增加，然後步階1〇6中，馬達可能逆行 -額外距離，故在步階⑽中，當馬達往前移以消除反衝 時，配送室的壓力保持為零。步階1〇8處，$可供配送。 步階no處，出口閥開啟。然後步階112處，某預定時間量 之後係啟動配送馬達，且步階114處係配送流體，然後完 成該方法。 上文雖參照本發明之一特定實施例，熟悉本技藝者 瞭解此實施例可有變化而不背離本發明之原理及精神。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) 13 593888 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 發明説明（11 ) 元件標號對照 10...泵輸裝置 54···沖洗閥 12…兩階段泵 56…配送隔膜 12.··泵 58...液壓流體室 14...泵貯部 60...配送泵 16…電腦 62...活塞 18...晶圓 64...導螺栓 20...軟體應用程式 66·"步進馬達 22,46…濾器 68··.出口閥 30…進給與過濾階段 70...就緒階段 32,72…配送階段 74...吸回階段 34...進給室 76...充注階段 3 6…入口閥 78…過濾階段 38...進給閥 80...通氣階段 40...進給隔膜 82…沖洗階段 44...隔離閥 84...靜沖洗階段 4 8...通氣閥 100...方法 50·.·障礙閥 102，104，106，108，110，112, 52...配送室 114·.·步階 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 14

Claims (1)

1. 593888

   第88120448號專利申請案申請專利範圍修正本 修正日期·· 93年1月 1 · 一種泵，用以配送流體，包含： 一多階段泵，具有一進給室及設於該進給室中之一 配送室，該進給室與配送室係經由一系列的閥與馬達來 連接，該等閥與馬達被構形成為可抽取各室内的流體並 從該泵配送流體； 一流體貯部，用以將流體提供至該進給室；及 一泵控制器，用以控制該泵中之系列的閥與馬達之 作業，使得流體係通過該進給室與該配送室之間而配 送，其中係配送一精確流體量而無雙重配送或斷續配 送。 2·如申請專利範圍第1項之泵，其中該多階段泵尚包含： 一障礙閥’配置於該栗控制器所控制之進給室中， 使得該障礙閥關閉，故在該配送室内造成一增加壓力， 一配送馬達，配置在該配送室中，其構造可受該系 控制器所控制而在一往前與一反向中作業，故該配送馬 達係在反向作業而補償該配送室中的壓力，使得在該配 送馬達在往前方向中作業時，該配送室中的壓力導致一 零壓力；及 一出口閥，由該泵控制器所控制而配置在該配送室 中’使付該出口閥開啟，而在該配送馬達在往前方向中 作業時係從該配送室配送流體。 15 593888 六、申請專利範圍 一 — 3·如申請專利範圍第1項之泵，其中該多階段泵包含： 一流體抽取裝置，用以從該流體貯部抽取流體、且 將該流體供應至該多階段泵； 一過濾裝置，用以從該流體過濾雜質；及 一配送裝置，用以將過濾後的流體供予物體，其中 該過濾裝置係配置在該抽取裝置與該配送裝置之間。 4·如申請專利範圍第3項之泵，其中該流體抽取裝置包含 一進給隔膜，其配置在該進給室内且其構造可根據一抽 力而移動於一第一抽取位置與一第二沖洗位置之間，故 在進給隔膜從第二沖洗位置移至第一抽取位置時，經由 一入口閥將流體抽入進給室，且在該進給隔膜從該第一 抽取位置移至該第二沖洗位置時，經由一進給閥將流體 供至該配送室。 5·如申請專利範圍第4項之泵，其中該抽力係為一真空 力、一正進給壓力、或一大氣力量。 6.如申請專利範圍第4項之泵，尚包含一通氣閥，其構造 係可從流體移除空氣泡。 7·如申請專利範圍第3項之泵，其中該過濾裝置係包含一 濾器以從流體移除雜質、及一通氣閥以從流體移除空氣 泡、或從多階段泵洩除過度壓力。 8·如申請專利範圍第3項之泵，其中該配送裝置包含一配 送隔膜，其配置在該配送室内且其構造係可依照一抽力 而在一第一抽取位置與一第二沖洗位置之間移動，故當 該配送隔膜從第二沖洗位置移至第一抽取位置時，流體 16 593888 六、申請專利範通 ~— 經由一進給閥抽入該配送室，且當該配送隔膜從第一抽 取位置移至第二沖洗位置時，經由一出口閥將流體供至 物體。

   9·如申請專利範圍第8項之系，其中該配送裝置包含一液 壓流體室，其構造係可加壓該液體流體室内所留之一液 壓流體’故當液體流體加壓時，該配送隔膜移動於第一 與第二位置之間，且當液壓流體解除加壓時，該配送隔 膜移動於第二與第一位置之間。 10. —種用以控制一多階段泵之方法，該多階段泵具有一進 給室、一配送室及其間配置之一濾器，該方法包含： 一就緒階段，用以使該進給室達成一平衡壓力狀 態’其中在該進給室中配置之一隔離閥開啟時、該配送 至中配置之一出口閥關閉時、及該進給室中配置之一障 礙閥開啟時，該進給室達到一平衡壓力狀態；

   一配送階段，用以將該流體配送在一物體上，其中 该配送室中配置之一配送泵受到啟動，以在該隔離閥關 閉且該出口閥開啟時將該流體配送至一物體上，故在該 出口閥開啟之後啟動該配送泵，以消除流體的斷續配 送；及 一吸回階段，用以消除流出該配送室之多餘流體， 其中該配送泵的作業係逆行，以將多餘流體吸回到該配 送室中，且其中在多餘流體吸回到該配送室中之後，關 閉該出口閥。 u.如申請專利範圍第10項之方法，尚包含一充注階段以

   17 593888 六、專利範圍_ ' ~' ' 將流體抽入該進給室中，其中在該入口閥開啟且將一真 空施加至該進給室内配置之一進給隔膜之後，該流體抽 入該進給室中。 12·如申請專利範圍第10項之方法，其中從該配送室消除 該多餘流體之噴落。

   13 · —種用以控制一多階段泵中之多數閥的開啟和關閉及 多數馬達的啟動和解除啟動之方法，其中具有一進給室 、一配送室及其間配置之一渡器，該方法包含以下步驟 關閉該進給室中的一障礙閥，以增加該配送室内之 壓力； 使該配送室中之一配送馬達作業逆行，以補償該配 送室内之壓力增加；

   進一步使該配送馬達作業逆行，故當該配送馬達往 前啟動以補償反衝時，該配送室的壓力係保持零壓力； 開啟該配送室中之一出口閥；及 在開啟该出口閥隨後操作該配送馬達，故從該配送 室配送該流體。 14.如申請專利範圍第1〇項之方法，其中用一步進馬達使該 配送室達到一平衡壓力的狀態。 15·如申請專利範圍第10項之方法，其中該平衡壓力狀態係 將近0 psi。 16·如申請專利範圍第10項之方法，其中： 一過濾器位於該進給室與該配送室之間；且

   18 593888 六、申請專利範圍 該障礙閥係位在該過濾器與該配送室之間。 17·如申請專利範圍第10項之方法，其中： 一沖洗閥係接合於該配送室； 在第一階段時，該沖洗閥係開放的； 在第二階段時，該沖洗閥係關閉的。 18·如申請專利範圍第1〇項之方法，其中該流體具有一小於 將近5厘泊之黏度。

   19·如申請專利範圍第11項之方法，其更包含： 一過濾階段，其中在該過濾階段時，當該進口閥係 關閉的、該隔離閥係開放的且該障礙閥係開放的時候 ，施加壓力至該進給室，藉此該流體流動通過該過濾 器；及

   一通氣階段，其中在該通氣階段，當該進給室中的 該流體係處於壓力下時，該進口閥係關閉、該隔離閥 係關閉的、該障礙閥係關閉的且該通氣閥係開放的。 20· —種用以控制一多階段泵之方法，該多階段泵具有一進 給室、一配送室，且該多階段泵之一出口閥接合於該進 給室’該方法包含一第一階段，其中於該出口閥開放後 ’啟動一位在配送室之配送泵以配送流體至一目標物上 〇 21 ·如申凊專利範圍第20項之方法，其中於再第一階段時， 經過一段介於當出口閥係開放的與當配送泵啟動前之 時間。 •如申明專利範圍第21項之方法，其更包含一第二階段係

   19 593888 六、申請範圍 ' "~-- 在第一階段前進行，其中當一介於該進給室與該配送室 之間的第一閥係關閉的且該出口閥係關閉的時候，用— 步進馬達使該配給室達到實質上的大氣壓力。 23·如申請專利範圍第22項之方法，其中·· 一通氣閥係接合於該配送室； 於第一階段時，該通氣閥係關閉的；及 該第二階段時，該通氣閥係開啟的。 24·如申請專利範圍第21項之方，法，其中 一過濾器位在該進給室與該配送室之間，且 該第一閥位於該過濾室與該配送室之間。 25·如申請專利範圍第24項之方法，其更包含： 一充注階段，其中一朝向該多階段泵之出口閥係 接合至该進給室且在該充注階段時，當該出口閥係開 啟的、一位在該進給室與該過濾器之間之第二閥係關 閉的且一通氣閥係關閉的時候，該進給室係處在真空 狀態以使該流體進入該進給室； 一過濾階段，其中在該過濾階段，當該進口閥係 關閉的、該第一閥係開啟的且該第二闊係開啟的時候 %加壓力至5亥充注室，藉此該流體流動通過該過 渡器；及 一通氣階段，其巾在該通氣階段時，當該進給室 中的該流體係處在壓力下時，該進口閥係關閉的、該 第一閥係關閉的、該第二間係開啟的且_通__ 啟的。

   20 593888 六、申請專利範圍 26.如申請專利範圍第21項之方法，其更包含一第二步驟係 在該第一步驟後進行，其中反向作業該配送泵以吸回部 份流體至該配給室中，且其中該出口閥在一流體量被吸 回至該配給室中後關閉。

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