TW591340B - High molecular weight silicone compounds, chemically amplified positive resist compositions, and patterning method - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 _________ B7 五、發明説明彳) 本發明係有關藉由具1種或2種以上之酸不安定基之 高分子聚矽氧化合物其更於分子內及/或分子間具有C -〇- C基之交聯基後被交聯者爲特徵，含有以做爲化學增 強正型光阻材料之基礎樹脂有效之新穎高分子聚矽氧化合 物，以及以此高分子聚矽氧化合物做爲基礎樹脂者，對於 遠紫外線、電子線、X線等高度量線具有高感度；藉顯像 於鹹水溶液可形成光阻圖形，適於微細加工技術之化學增 強正型光阻材料及圖形之形成方法者。 近年來，在伴隨L S I之高集成化與高速度化，求取 圖形規則之微細化中，做爲現行法用技術被使用之光露光 中接近原由光源波長之本的解像度界限。以g線（4 3 6 n m )或i線（3 6 5 n m )做爲光源之光露光中，大約 0 · 5 // m之圖形規則爲界限，利用此製成L S I之集成 度相當於1 6 M D R A Μ。惟，L S I之試作僅止於此 階段，當務之急乃爲開發更微細化技術者。 因此，伊藤（I t 〇 )等提案有以第3 -丁氧基碳氧 基Ct — B 〇 c基）保護聚羥基苯乙烯之氫氧基之 P B 0 C S T樹脂中加入鑰鹽之酸產生劑之化學增強正型 光阻材料之外，各種高感度下高解析度之光阻材料被開發 。惟，此等化學增強正型光阻材料均爲高感度下高解像度 者，而形成微細之高形態比圖形者，由此取得之圖形之機 械性強度之鑑定則有困難點。 又，該聚羥基苯乙烯做爲基礎樹脂使用後，對於遠紫 外線、電子線及X線具有感應度之化學增強正型光阻材料 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）' " (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 、11 4 591340 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明？) 心先行技術更多數被提出。惟，於段差基板上形成高形態 比之圖形中，與2層光阻法之優異度相較下，上述遠光阻 材料均爲單層光阻法取得者，至今，基板段差問題，由基 板之光反射問題，高形態比之圖形形成困難問題，實用上 呈現各種問題之現狀。 另外，由先行技術中，於段差基板上形成高形態比之 圖形中以2層光阻法爲佳者乃公知者，更且，2層光阻膜 一般於鹹顯像液下顯像者，因此，務必爲羥基、羧基等之 具親水基之聚矽氧聚合物者爲公知著。惟，直接氫氧基結 合於聚矽氧之矽氧烷時，因酸產生交聯反應，因此無法用 於化學增強正型光阻材料者。 近年來，做爲解決此等問題之聚矽氧系化學增強正型 光阻材料者，以t - B 〇 c基保護安定之鹹可溶性聚矽氧 聚合物之聚羥基苄基酸甲矽烷倍半含氧酸之苯酚性氫氧基 之一部份做爲基礎樹脂之使用，此與酸定生劑相互組合之 化學增強聚矽氧系正型光阻材料被提出（特開平6 -118651 號、SPIE V ο 1 . 1 9 5 2 ( 1 9 9 3 ) 3 7 7 等）。 惟，以t 一 B 〇 c基保護此等聚_基苄基甲矽烷倍半 含氧酸之羥基之一部份之聚矽氧聚合物做爲基劑之光阻材 料者，於與下層膜之界面產垂角之現象，於上層之聚矽氧 系光阻膜產生表面難溶層等問題點。此垂角，表面難溶層 將因無法控制光阻膜圖形尺寸之精準度而無法適用於微細 加工。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -衣·

、1T i

V 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-5 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 A7 B7 五、發明説明？) 本發明鑑於上述問題點，以提供具高感度、高解像度 、特別是可適於做爲適於形成高形態比之圖形之2層光阻 法材料之使用除外，更可形成具優異耐熱性之圖形之做爲 化學增強正型光阻材料之基劑聚合物有效之新穎高分子聚 矽氧化合物及該化合物做爲含基劑聚合物之化學增強正型 光阻材料及圖形之形成方法爲本發明之目的。 本發明者爲完成該目的而進行精密硏討結果發現，以 具有苯酚性氫氧基、該苯酚性氫氧基之氫原子之一部份以 至少1種之酸不安定基被取代之高分子聚矽氧化合物之殘 餘苯酣性氣氧基之一部份中更於分子內及/或分子間具C 一 0 - C基之交聯基被交聯爲重量平均分子量5，0 00 〜50，000之高分子聚矽氧化合物，特別是下式（1 ) ，較佳者如下式（2)，更理想者下式（3)所示之具重 覆單位者，具酸不安定基與該交聯基之高分子聚矽氧化合 物用於基礎樹脂，於此加入酸產生劑之化學增強正型光阻 材料，特別是加入酸產生劑之後，配合溶解抑制劑之化學 增強正型光阻材料或更配合鹹性化合物組成之化學增強正 型光阻材料可提高光阻溶解對比，特別有效發揮增強露光 後之溶解速度，具優異之高解像度、露光寬裕度、工程適 應性、實用性高、對於精度之微細加工爲極有效之超L S I用光阻材料者。 另外’於分子內及/或分子間，特別是分子間以交聯 之高分子聚矽氧化合物做爲基礎樹脂之用，分子量變大， 軟化點亦提高，藉由提高耐熱性極適於2層光阻法。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) "口 # 591340 A7 B7 五、發明説明夺 總之，本發 物以及配合此之 者。 申請專利範 於具有苯酚 部份至少1種酸 殘餘苯酚性氫氧 有C —〇一 C基 0 0〜5 申請 藉由 矽氧化合 部份取代 化合物或 /或分子 安定基與 平均0莫 1項之高 0，0 專利範 下記一 物之苯 ，且藉 鹵化烷 間具C 交聯基 耳至8 分子聚 明係以提供下述之新穎高分子聚矽氧化合 化學增強正型光阻材料及圖形之形成方法 圍第1項： 性氫氧基、該苯酚性氫氧基之氫原子之一 不安定基被取代之高分子聚矽氧化合物之 基之一部份中更於分子內及/或分子間具 之交聯基被交聯爲重量平均分子量5，0 0 0之高分子聚矽氧化合物者。 圍第2項： 般式（1 )所示之具重覆單位之高分子聚 酚性氫氧基之一部份氧原子酸不安定基被 由殘餘之苯酚性氫氧基一部份與脂基烯醚 基醚化合物相互反應後，取得於分子內及 一 Ο-C基之交聯基後被交聯之，該酸不 之合計量以超過苯酚性氫氧基之氫原子總 0莫耳％以下之比例之如申請專利範圍第 矽氧化合物者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-口 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(CHa)z (OH), (1) (OSiMe3)y

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（21 Ox 297公楚）_ J 591340 A7 A7 五 、發明説明 (式中，Me爲甲基、X爲1〜5之整數，Υ爲 〇 · OOlSySO · 05之正數，Z爲1〜3之整數。 ) 申請專利範圍第3項： 藉由下記一般式（2 )所示具重覆單位之高分子聚矽 氧化合物之R所示之苯酚性氫氧基與脂烯基醚化合物或鹵 化烷基醚化合物相互反應後取得於分子內及/或分子間具 c - ◦- c基之交聯基後被交聯者，如申請專利範圍第2 項之高分子聚砂氧化合物者。

(〇SiMe3)y

(OSiMe3)y (2) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (式中，Me爲甲基、R爲氫氧基或〇Ri基爲至少丄個爲 氫氧基者。又，Ri爲酸不安定基，m爲◦或丄〜$之整數 、0爲1〜5之整數者，m+n^5之數者。乂爲丄〜5 之整數，y爲0.001$7^0.05之正數、2爲丄 〜3之整數者，P、Q爲正數，P + 數者。） 申請專利範圍第4項： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

r f 尺度適用中國國冢標準（CNS ) A4規枱（210X297公釐） 8- 591340 A7 B7 五、發明説明p ) 藉由以下記一般式（3 )所示之具重覆單位之高分子 聚矽氧化合物之R所代表之苯酚性氫氧基之氫原子取出後 其氧原子爲下記一般式（4 a )或（4b )所示C —〇一 C基之交聯基後於分子內及/或分間被交聯基如申請專利 範圍第3項之高分子聚矽氧化合物者

(〇SiMe3)y

R2 I 〇一0 一〇一 R4 I R3 (〇H)n (CH2)z j· SiO(3-y)/2~

0-(CH2)a~C-0-R5) II 〇 (〇Η)η (CH2)z [~Si〇(3-y}/2 十 v I /q

(3-y)/2 (〇H)x (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (〇SiMe3)y (〇SiMe3)y (〇SiMe3)y 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (3) (式中，Me爲甲基、R爲氫氧基或OR1基爲至少1個爲 氫氧基者。又，R1爲酸不安定基、R2、R3爲氫原子或 碳數1〜8之直鏈狀、分枝或環狀之烷基者、R4爲具碳數 1〜1 8之雜原子亦可之1價烴基者，R2與R3、R2與 R4、R3與R4亦可形成環、形成環時，R2、r3、r4 分別爲碳數1〜1 8之直鏈狀或分枝之亞烷基者。R5爲碳 數4〜2 0之3級院基，各院基分別爲碳數1〜6之三院 基甲矽烷基、碳數4〜20之氧基烷基或 —CR2R3〇R4所示之基者。p1、p2爲正數、q1、 Q2 爲 0 或正數者、O'pi/Cpi + pZ + Qi+d2) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-9- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 A7 ---一 _ B7 ______ 五、發明説明f ) $0 · 8、q1/ (p^p^Q^q2) · 8 、°^P2/(p1+p2 + q1+q2) . 8. P 1 +

Ps+Qi+Q2二1之數者，而Q1與Q2不會同時爲0者 ° 8爲0或1〜6之整數。m、η、X、y ; z分別與上 述意義相同者。）

Μ T ~CH〇-R8)r〇~A [-0-(R8-〇)d-C^ (4 a I R7

R7 K R6 〒 —i-〇-R8-B-A [-B-R8-〇-?會 （4 b) r7 R7 (式中，R6，R7爲氫原子或碳數1〜8之直鏈狀、分枝 或環狀之烷基者。或，R6與R7亦可形成環，形成環時， R6、 R7爲碳數1〜8之直鏈狀或分枝之亞烷基。R8爲 碳數1〜10之直鏈狀、分枝或環狀之亞烷基，d爲〇或 1〜1 0之整數。A爲C價之碳數1〜5 0之脂肪族或脂 環式飽和烴基、芳香族烴基或雜環基者，此基亦可介於雜 原子者，又，結合於其碳原子之氫原子一部份藉由氫氧基 ，羧基，烯丙基或氟原子被取代亦可。B爲一 CO -〇一 、一NHCQ —〇一或 NHCONH — 爲 2 〜8、 C >爲1〜7之整數者。） 申請專利範圍5第項： 於一般式（4 a )或（4b )所示之具C — 0 — C基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（2丨0X 297公釐）_10- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T ,4 591340 A7 B7 五、發明説明$ ) 之交聯基爲下記一般式（4 a /)或（4b —)所示之如 申請專利範圍第4項之化學增強正型光阻材料。 RR R6 (4a’） -C-fO-R^rO-A1 [-0-(^-0)(1-0-¾^ R7 R7 (4 b’） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -i-〇_R8-B-A’ [-B-R8-0-9*^ R7 R7 (式中，R6，R7爲氫原子或碳數1〜8之直鏈狀、分枝 或環狀之烷基者。或R6與R7亦可形成環，形成環時， 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 R6、 R7爲碳數1〜8之直鏈狀或分枝之亞烷基。R8爲 碳數1〜10之直鏈狀、分枝或環狀之亞烷基，d爲〇或 1〜5之整數者。A1爲C 〃價之碳數1〜2 0之直鏈狀、 分枝或環狀之亞烷基、烷基三醯基、烷基四醯基、碳數6 〜3 0之芳炔基者，此基亦可介於雜原子中，又結合其碳 原子之氫原子一部份藉由氫氧基、羧基、烯丙基或氟原子 被取代者亦可。B爲_C〇一〇一、一NHC0 —〇一或 —NHC0NH -者。C"爲2〜4，C…爲1〜3之整 數者。） 申請專利範圍第6項： 以含（A ):有機溶劑、（B ):做爲基礎樹脂之如 申請專利範圍第1項〜第5項任一之高分子聚矽氧化合物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-11 - 591340 A7 Γ--— · Β7五、發明説明p ’ （C ):酸產生劑爲特徵之化學增強正型光阻材料。 申請專利範圍第7項： 更配合溶解抑制劑者爲特徵如申請專利範圍第6項之 化學增強正型光阻材料。 申請專利範圍第8項： 更配合（E ):做爲添加劑之鹹性化合物爲特徵如申 請專利範圍第6項或第7項之化學增強正型光阻材料。 申請專利範圍第9項： 更配合（F):與（B)成份不同之基礎樹脂，如下 記一般式（1 )所示之具重覆單位之高分子聚矽氧苯酚性 氫氧基之氫原子藉由1種或2種以上之酸不安定基以全平 均爲0莫耳％以上8 0莫耳％以下之比例下部份取代爲重 量平均分子量3，0〇〇〜300，000之高分子聚矽 氧化合物者其特徵者如申請專利範圍第6〜第8項任一之 化學增強正型光阻材料。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 中 式 \^=\h20(30^4 調

0 1M 基 ο 甲 VII 爲y e VII M 1 者 1 數爲 整 Z 之 、 5 數 ~ 正 1 之 爲 5 X ο 3 數 整 爲之 %------，訂-----€---------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) > 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-12 - 591340 A7 B7 五、發明説明彳〇 ) ) 申請專利範圍第1 〇項： 含（i )如申請專利範圍第6項〜第9項之任一化學 增強正型光阻材料塗佈於基板上之工程與（i i )加熱處 堙後介於像片原板波長3 0 0 n m以下之高能量線或電子 線之露光工程與（i i i )必要時加熱處理後，利用顯像 '液使顯像之工程者爲特徵之圖形之形成方法。 其中，高分子聚矽氧化合物其苯酚性氫氧基之一部份 與脂烯基醚化合物或鹵化烷基醚化合物相互反應後取得之 分子內及/或分子間具C - 0 - C基之交聯基後被交聯者 。配合以該高分子聚矽氧化合物做爲基礎樹脂之光阻材料 時，特別是藉由具C - 0 - C基之交聯基被交聯後，溶解 抑制性變大、於露光後之溶解對比有變大之優點產生。 亦即，一般聚矽氧烷做爲正型光阻材料使用時，聚矽 氧烷骨架爲鹹可溶性、以於酸中不安定之保護基可保護_ 可溶性之官能基者。做爲安定供與之鹹可溶性聚矽氧烷者 如：下式 所示之單位所組成者，如：聚（對一羥基 --------— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 t 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 苄基甲矽烷倍半含氧酸）

(ΟΗ)χ

Cl) (CH2)z -(-SiO(3-V)/2^ (OSiMe3)y 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）· 13 - 591340 A7 B7 五、發明説明（Μ 另外，鹹可溶性之官能基，亦即，爲保護氫氧基之對 酸不安定之保護基之例者如：t—Boc基（第3一丁氧 基碳基），由此點，做爲聚矽氧烷化合物所使用之正型光 阻材料者可使用下式（5 )所示者（特開平6-1 1 8 6 5 1號公報）。

Oil {Oh), —Si〇n-y)，2-jp- (OSiMe3)y

(OSiMeaiy (5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 (式中，t— Bu爲第3 —丁基者。） 其中，做爲保護基所使用之t - B o c基係藉由能量 線之照射由酸產生劑產生酸作用後脫離，聚矽氧烷變成鹹 可溶性，而呈可顯像者。 此狀況下，本發明者爲解決2層阻光法所使用之聚矽 氧系光阻材料與下層之界面所產生之垂角、或表面之難溶 層等問題而做精密硏討後，發現，該t - B 〇 c基之阻光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-14 591340 A7 B7 五、發明説明彳2 ) 膜中之脫離反應因產生如下之副作用經FT-IR而析出 等確定後，其副作用係因垂角、表面難溶層所造成者。

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) OH Clla | + ch3-c + ca

I ch3 副反応 ch3 /〇一 och3 夕& 亦即，t一Boc基於酸脫離後產生之第3-丁基陽離子 再反應爲苯酚性氫氧基後，苯酚性氫氧基被再度保護成形 ，所期待之鹹可溶性被阻礙，而發現與下層之界面產生垂 角、膜表面出現難溶層被確定之。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 又，t - B 〇 c基於各種氫氧基之保護基中因酸脫離 之活性化能量極高，爲不易脫離之保護基之一。因此，t - B 〇 c基之脫離時，務必爲如三氟甲磺酸之強酸者。若 使用三氟甲磺酸以外之弱酸時，則難以促進脫離反應，而 產生阻光感度不佳之問題點。 阻光膜中，爲產生t 一 B 〇 c基脫保護基之三氟甲磺 酸擴散至下層膜、或由下層膜之污染後產生失活、因此， 與下層之界面中，酸濃度降低，無法充份進行脫保護基反 應，產生非鹹可溶性之部份，而出現垂角。另外，光阻膜 表面中，三氟甲磺酸將蒸散，或藉由大氣之污染後而失去 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐） 15 - 591340 A 7 B7 五、發明説明μ ) 活性，因此，於光阻膜表面亦降低酸濃度，而使無法充份 進行脫保護基反應，產生非鹹可溶性部份，而出現表面難 溶層。 做爲解決該垂角、表面難溶層之問題之方法者如：苯 酚性氫氧基中導入聚甲醛基之例者。單獨以聚甲醛基附加 於聚合物時，如上所述不會產生脫離基之再反應，與弱酸 敏感反應後進行脫離反應後未出垂角、表面難溶層現象。 惟，與弱酸敏感反應後由露光至加熱處理隨時間使圖 形形狀明顯變小之缺點出現。又，對於鹹之溶解抑制效果 低，爲取得溶解對比非使用高取代體不可.因此，出現不 良之耐熱性之缺點。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 針對此聚合物，使用上述之苯酚性氫氧基與脂烯基醚 化合物以及/或鹵化烷基醚化合物之反應後取得之具c -〇- C基之交聯基於分子內及/或分子間被交聯之高分子 聚矽氧化合物之光阻材料，可於少量交聯下發揮溶解抑制 性，同時因交聯而增加分子量進而提高耐熱性。而且露光 後比露光前較易產生交聯基之脫離，藉由聚合物分子量變 小，而可提高阻光膜之溶解對比，因此具有高感度及高解 像性。又，由表面難溶層、垂角之出現極少，因此，圖形 尺寸之控制、圖形形狀之調整均可任意組合，工程適應性 亦優異之化學增強正型光阻材料者，進而完成本發明。 以下更詳細說明本發明，本發明之新穎高分子聚矽氧 化合物係以具有苯酚性氫氧基，該苯酚性氫氧基之氫原子 一部份至少1種之酸不安定基被取代之高分子聚矽氧化合 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規桔（210X 297公釐）-16- 591340 ΡκΊ _ Β7 五、發明説明（14 ) 物之殘餘苯酚性氫氧基之一部份中，更於分子內及/或分 子間具c - 0 - C基之交聯基被交聯爲重量平均分子量 5，000 〜50，000 者。 做爲該高分子聚矽氧化合物者係如下記一般式（1 ) 所示之具重覆單位之高分子聚矽氧化合物之苯酚性氫氧基 之一部份氫原子藉由酸不安定基部份被取代，且藉由殘餘 之苯酚性氫氧基之部份與脂烯基醚化合物或鹵化烷基醚化 合物相互反應後於取得之分子內及/或分子間具C -〇-C基之交聯基被交聯，可做爲該酸不安定基與交聯基之合 計量爲苯酚性氫氧基之氫原子總平均爲0莫耳％〜8 0 % 之比例下被取代之高分子聚矽氧化合物者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標率局員工消費合作社印製 (式中，Me爲甲基，X爲1〜5之整數，y爲 0.001$7$0.05之正數、2爲1〜3之整數者 0 )

做爲高分子聚矽氧化合物者，具體而言，藉由下記一 般式（2)所示之具重覆單位之高分子聚矽氧化合物之R 所代表之苯酚性氫氧基與脂烯醚化合物或鹵化烷基醚化合 物相互反應後於取得之分子內及/或分子向具C - Ο — C 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-17- 591340 A7 B7 五、發明説明彳5 ) 基之交聯基被取代之，可做爲酸不安定基與交聯基之合計 量之式（1 )中苯酚性氫氧基總平均爲〇莫耳％〜8 〇莫 耳％以下之比例之高分子聚矽氧化合物者。 Ώ

(〇SiMe3)y

(0SiMe3)y (2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印t (式中，Me爲甲基、R爲氫氧基或OR1基、至少一個爲 氫氧基者。又，R1爲酸不安定基，m爲〇或1〜5之整數 、11爲1〜5之整數，.m + n$5之數者。X爲1〜5之 整數、y爲0.001€y€0.05之正數、z爲1〜 3之整數者。P、Q爲正數，P + Q = l之數者。） 做爲該苯酚性氫氧基之氫原子與被取代之酸不安定基 或R1之酸不安定基者有各種選定，特別如下記一般式（6 )所示之基，下記一般式（7)所示之基，碳數4〜2 0 之3級烷基、各烷基分別爲碳數1〜6之三烷基甲矽烷基 、碳數4〜2 0之氧烷基等爲較佳者。 R2 I 一 C_〇一R4 I R3 (6) 訂

I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規梏（ 210X 297公釐）-18- 9

4C A7 B7 五、發明説明（6 ) 气cmc-OR5 II ⑺ 〇 (R2，R3爲氫原子或碳數1〜8，較佳者爲1〜6，更 佳者爲1〜5之直鏈狀、分枝或環狀之烷基、R4爲碳數1 〜18、較佳者爲1〜12、更佳者爲1〜8之氧原子等 之具雜原子亦可之1價烴基者、R2與R3、 R2與R4、 R3與R4爲形成環狀亦可者，形成環時，R2、R3、R4 分別爲碳數1〜1 8，較佳者爲1〜1 〇，更理想者爲1 〜8之直鏈狀或分枝之亞烷基者。R5爲碳數4〜2 0、較 佳者爲4〜15、更佳者爲4〜10之3級烷基、各烷基 分別爲碳數1〜6之三烷基甲矽烷基，碳數4〜20、較 佳者爲4〜1 5、更佳者爲4〜1 0之氧烷基或該一般式 (6)所示之基者。a爲〇或1〜6之正整數者。） R2、R3之碳數1〜8，較佳者爲1〜5，更理想者 爲1〜3之直鏈狀、分枝或環狀之烷基之例者如：甲基、 乙基、丙基、異丙基、正一丁基、異丁基、第3 - 丁基、 環己基、環戊基等例。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) R4之例如：直鏈狀、分枝或環狀之烷基、苯基、對-甲基苯基、對-乙基苯基、對-甲氧基苯基等之烷氧基取 代苯基等之非取代或取代芳基、苄基、苯乙烯等之芳烷基 等，此等之基介於氧原子或結合於碳原子之氫原子被氫氧 基取代，2個氫原子以氧原子取代而形成碳基之下式所示 之烷基等基之例者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-19 - 591340 A7 B7 五、發明説明（17

- (CHAOH - (CH2)2〇(CH2)3CH3 - ch2~^^)-ch2〇h - (ch2)2〇(ch2)2〇h 一 (ch2)6〇h

又，R5之碳數4〜2 0之3級烷基例者如··第3 — 丁 基、1 一甲基環己基、2 -（2 —甲基）金剛烷基、第3 -胺基等例。 R5之各烷基分別爲碳數1〜6之三烷基甲矽烷基之例 者如：三甲基甲矽烷基、三乙基甲矽烷基、二甲基一第3 -丁基甲矽烷基等例。做爲R5之碳數4〜2 0之氧烷基之 例如：3—氧烷基、或下式所示之基等例。 〇 h3c

〇 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 做爲該式（6 )所示之酸不安定基之例者如：1 一甲 氧基乙基、1 —乙氧基乙基、1 一正一丙氧基乙基、1 一 異丙氧基乙基、1 一正一 丁氧基乙基、1—異丁氧基乙基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-20= 591340 A7 —〜 五、發明説明（I8 ) 、1—次一丁氧基乙基、1 一第3 — 丁氧基乙基、1—第 3〜正戊醚乙基、1_乙氧基一正—丙基、1 一環己氧基 乙基、1—甲氧基丙基、1一乙氧基丙基、1-甲氧基一 1一甲基一乙基、1—乙氧基一 1 一甲基_乙基等之直鏈 狀或分枝狀聚甲醛基、2-四羥呋喃烯基、2-四氫吡喃 烯基等環狀聚甲醛基等例，較佳者爲1-乙氧基乙基、1 一正-丁氧基乙基、1一乙氧基丙基者。另外，做爲該式 (7)之酸不安定基者之例如：第3丁氧基碳基、第3-’丁氧基碳基甲基、第3 -正戊醚碳基、第3 -正戊醚碳 基甲基、1 一乙氧基乙氧基碳基甲基、2 —四氫吡喃烯基 氧化碳基甲基、2 -四氣咲喃燦基氧化碳基甲基等例。又 ，做爲酸不安定基之例者有碳數4〜2 0之3級烷基，各 烷基分別爲1〜6之三烷基甲矽烷基，下式所示之碳數4 〜20之氧烷基之例者。 -CH?-〇-CILi , -CH2-0-CH2CH3 , 一CII广〇-ch2ch2ch3 , —ch2—o-ch2ch2ch2ch:,, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ch3 I -ch2-〇-ch-ch3 ch3 -ch2-〇-c-ch3 I ch3 ch3 ch3 ~ch2-o-chch2ch3 , -ch2-o-ch2chch3 ch3 ch3 -CH2-O-CHCH3 , ~CH2~0-C~CH3 ch3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規桔（210X 297公釐）-21 - 591340 A7 B7 五、發明説明（19 ch3 ch3 ch3 -ch-o~chch2ch3 , -CH-〇-CH2CHCH3 ch3 ch3 兮〇-chch3， CH； ch3 ch3 ch3 ch3 -〇-〒ch3 , ?一。一CHCH2CH3 ch3 ch3 ch3 ch3 ch3 I I -？-〇-CH2CHCH3， ch3 ch3 I - p〇-CH2CH3 ch2 ch3 h3c

〇〆 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) h3c

,p 、〇 〇 ,h3c

〇 更且，做爲具有該c-〇一c基之交聯基之例者如 下記一般式（4 a )或（4b )所示之基者。 •* 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 R6

R6I -C-(0-R8)r〇-A [-0-(R8-0)d-Cir-R7 R7 (4 a)

T R6 一C^〇一R8—B—A [—B—R8—〇一d (4 b) R7 R7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-22 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 A7 ' --------- —______ _ _ ___________________________ 五、發明説明印） (式中，R6、R7爲氫原子或碳數1〜8之直鏈狀、分枝 或環狀之烷基。或，R 6與R 7亦可形成環狀，形成環時， R6，R7爲碳數1〜8之直鏈狀或分枝之亞烷基者。R8 爲碳數1〜1 0之直鏈狀、分枝或環狀之亞烷基者，d爲 〇或1〜1 0之整數。A爲C價之碳數1〜5 0之脂肪族 或脂環式飽和烴基、芳香族烴基或雜環基者，此等基亦可 介雜原子，又藉由結合於其碳原子之氫原子一部份爲氫氧 基、羧基、醯基、或氟原子被取代亦可。B爲—CO - C —、一NHCO —〇一或一NHCONH —。C 爲 2 〜8 、爲1〜7之整數。） 其中，R6、R7之碳數1〜8之直鏈狀、分枝或環狀 之烷基之例者如上述示例相同等。R8之碳數1〜1 〇之 直鏈狀或分枝之亞烷基之例者如··亞甲基、乙烯基、丙烯 基、異丙烯基、正-丁基、異丁烯基、環戊烯基、環己烯 基等例。另外，A之具體例如後述。此交聯基（4 a )、 (4 b )係原由後述之脂烯基醚化合物，鹵化烷基醚化合 物者。 交聯基由該（4 a )、 （ 4 b )之C /値淸楚發現並 不僅限2價、3價〜8價之基者亦可。例如：做爲2價之 交聯基者如：下式（4 a 〃）、 （ 4 b 〃 ），做爲3價交 聯基者如：下式（4 a，n )、 （ 4 b ’π )所示之例者。 R6 R6 一 i 一 (〇一 R8)d-〇一八一〇一 (R8-〇)d—C- （4 a ) _^_R7____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規梏（210'乂297公釐）_ 23 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

五

、發明説明P A7 -----^ (4 b’’） R6 〜？〜〇-R8-B-A-B - R8-〇一 Ο R7 R7

T

〕〜(〇一R8)d—〇一八一〇一 (R8—0)d—O R7 0 R6 R7 (R8-〇)rC 一 (4a’’，） R7 R6 (4b，，，） R6

I 一 R8—B—A—β—R8—〇一 C一 R7 B R6 R7

I I R8-0-〇 I R7 另外，較理想之交聯基者爲下式 ,一 、（4 a 一）或 4 b )者。

Rn

RG I 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 -^X〇-RVO-Λ’ [-0-(R8-〇)d-C如 R7 R7 (4 a

RR R6 -〇-R8-B-A，[-B-R8-〇-Ck R7 R7(式中，R 6 (4 b， R7爲氣原子或碳數1〜8之直鏈狀、分杉 或環狀之烷基。或，R6與R7亦可形成環狀，形成環時，R6 ’ R7爲碳數1〜8之直鏈狀、分枝或環狀之亞烷基宅 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公f ) - 24 - 591340 3 之整數 做 (3 ) C基之2 A7 B7 五、發明説明f2 ) 。R8爲碳數1〜1 0之直鏈狀、分枝之亞烷基者，d爲 0或1〜5之整數。A /爲C 〃價之碳數1〜20之直鏈 、分枝或環狀之亞烷基、烷基三醯基、烷基四醯基、碳數 6〜3 0之芳炔基，此等之基亦可介於雜原子，又藉由結 合於其碳原子之氫原子一部份之氫氧基、羧基、醯基、或 氣原子被取代亦可。B爲一C〇一〇一、一NHCO —〇 —或一NHCONH —者。C"爲 2 〜4、C，，1 爲 1 爲本發明高分子聚矽氧化合物之具體例者如：下式 所示之具重覆單位之高分子聚矽氧化合物之R所代 表之苯酚性氫氧基之氫原子取出後，其末端氧原子藉由如

該一般式（4 a )或（4b )所示之具C 價以上交聯基於分子內及/或分子間被交聯之，酸不安定 基與交聯基合計量於式（1 )之苯酚性氫氧基總平均爲〇 莫耳％〜8 0莫耳％比例之高分子聚矽氧化合物者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

Rx (CH2)z ^ SiO(3-y)/2~j (〇SiMe3)y

0 - (CH2)n-C-O-R5 (〇H)n (〇SiMe3)y (CH2), 'SiO(3-y)/2-j (〇SiMe3)y

(CH2)z

(〇H)X

SiO(3-y)/2~j (〇SiMe3)y (3) (式中，M e爲甲基、r爲氫氧基或〇r /基爲至少i個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規桔（210X 297公釐）_ 25二 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 A7 B7 五、發明説明θ ) 爲氫氧基者。又，R1爲酸不安定基、R2、R3爲氫原子 或碳數1〜8之具直鏈狀、分枝或環狀之烷基者、R4爲具 碳數1〜1 8之雜原子亦可之1價烴基者，R2與R3、R 2與R4、R3與r4亦可形成環、形成環時，R2、R3、 R4分別爲碳數1〜1 8之直鏈或分枝之亞烷基者。R5爲 碳數4〜2 0之3級烷基，各烷基分別爲碳數1〜6之三 烷基甲矽烷基、碳數4〜20之氧基烷基或 一 CR2R3〇R4所代表之基者。P1、P2爲正數、Q1 、Q2 爲 0 或正數者、0<p1/(p1 + p2+q1+q2 )^ 0 · 8、O^q'/CP^P^Q^Q2) ^ 0.8、O^p^Cp' + p'+q' + Q2) · 8. pl + p2+Q1+Q2=l之數者，惟〇q1與q2不可同 時爲0者。a爲〇或1〜6之整數者。m、η、X、y; z分別與上述意義相同者。） 該一般式（3)中’P1、P2爲正數’Q1、Q2爲〇 或正數者，pi + pz^p、者。此時，p1 爲〇<p1/(p1+p2+q1+q2) ‘〇 · 8者，較佳 者爲 〇 · OSSqi/Cpi + pS+Qi + Q2) S0 · 4 者宜。p 1太小則交聯基之效果無法發揮，太大則製造高分 子聚矽氧化合物時將產生凝膠化。又，Q i、Q2爲0 ^ q1//(p1+p2+q1+q2) · 8. 〇Sq2 / ( p1+p2+q1+q2) · 8. P1 + P2+(l1+Q2 =1之數者，q1與q2不可同時爲0。更理想者爲〇 ‘ q1/(p1 + p2+q1+q2) · 5x 〇‘q2 / ( 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公f ) -26- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ϋϋ n-^^i —ι_ϋ ϋ·—·· ϋϋ ·1ϋ_— 一—v mp— ϋϋ 591340 A7 ________ B7 五、發明説明P4 ) P'+P^q'+Q2) · 3 者宜。此時，Q1、Q2 之比例若太大則對鹹成無溶解性、鹹顯像時造成膜厚變化 、膜內應力或氣泡產生等現象，親水性基變少使得與下層 膜之密接不良。Q1與Q2之合計爲0< (c^+q2)( p' + p^q'+q2) · 3、特別是 0 · 0 5$ (

Qi+Q^/Cpi + pZ+Qi+Q2) $0 · 3 者爲佳 。更佳p1、q1與q2之値可藉由適當選自該範圍者後， 任意進行圖形尺寸之控制，圖形形狀之調整。 本發明高分子聚矽氧化合物中，具該C - 0 — C基之 交聯基及酸不安定基之含量具有影響光阻膜之溶解速度對 比、圖形尺寸之控制，圖形形狀之調整等之光阻材料之特 性相關者。 其中，該一般式（2)、 （3)、 （1)中所說明之 ，7爲0 · OOlSySO . 05之正數者，此（ 〇SiMe3)y係封鎖該一般式（1)、 （2)、 （3) 所示之聚矽氧烷之末端矽醇者。若未進行封鎖末端矽醇時 光阻材料於保存中增加粒子，產生感度不良，安定性不足 極不理想。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項洱填寫本頁) 做爲該高分子聚矽氧化合物之例者如下式（3 > — 1 )、(3 — 2)所不者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-27- 591340 A7 137 五、發明説明㈡ (OSiMe 丄 (OSiMe,)y

(OSiMen),

I* SiO(3-y)/2 \ \丨1' (CH2), (〇H)·,

(OSiMe山 ( SiO(3-y)/2 ] ' I fvZ (CH2),(¾ X(〇H).

(OH), (cm —(· SiO(3-y,/2 ' j Uz (OSiMeA (3’ -1)

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -衣- (〇Si_y (Si〇,a，，/2 } (CH丄 (OSilVIe 丄 (SiCXww ' j /«i； (CH丄 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (OSiMen), (-SiOm-ri/z-l— (CH丄

(OSiMeo), 又，式

(〇H)n 〇 R2-C-R3I OR^ —[SiOm (CH2),

(〇H)n 〇 I (CH2)tI C=〇I OR5 (3，一 2) 爲分子間結合、式（3 / — 2 爲分子內結合者，此等分別可爲單獨或混合者均可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-28 - 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___ __ B7 ______ 五、發明説明p6 ) R2 〜R5、p1、p2、q1、q2、m、n、x、y 、z分別與上述相同意義者。 惟，Q爲具C〜〇 — C基之交聯基，係典型之式（4 a )或式（4 b )所示之交聯基，特別以式（4 a 〃）、 (4 b 〃）、式（4 a，"）、 （ 4 b，"）、最佳者爲式（ 4a>)、 （4b>)所示之交聯基者。此時，交聯基爲 3價以上時’該式（3)爲下述單位3個以上結合q者。

(C1I2), —^Si〇(3-y)/2~j (OSiMe3)y (式中，R、 X、 y、 z分別與上述意義相同。） 本發明高分子聚矽氧化合物係於其苯酚性氫氧基之氫 原子一部份爲酸不安定基及具該C - 〇 一 c基之交聯基被 取代基者，更理想者係針對式（1 )之高分子聚矽氧化合 物之苯酚性氫氧基之總氫原子，酸不安定基與交聯基之合 曰十平均爲0莫耳％〜8 0莫耳％者，特別以2〜$ q莫耳 %者佳。 此時，具C 一 0 — C基之交聯基之比例平均爲〇莫耳 %〜80莫耳％，特別以〇.2〜2〇莫耳％者佳。若爲 0莫耳％時，鹹溶解速度對比變小，無法發揮交聯基之利 點，解像度亦變差。反之，超過8 〇莫耳％則交聯過度造 本紙張尺度適用中準（CNS )_八4規枱（2i〇x"297公釐)^2〇Ζ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 9 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___ _ B7 五、發明説明) 成凝膠化，無法對鹹溶解，鹹顯像時，造成膜厚變化、膜 內應力或氣泡產生等現象，親水基變少，與基板密接性變 差。 又’酸不安定基之比例爲平均0莫耳％以上〜8 〇莫 耳％’特別是1 0〜5 0莫耳％者佳。若爲〇莫耳％則鹹 溶解對比變小，解像度變差。反之超出8 〇莫耳％則對鹹 無溶解性，鹹顯像時與顯像液之親和性變低，解像性不良 〇 另外，其C-O-C基之交聯基及酸不安定基因選其 値於該範圍內而可任意控制圖形之尺寸、調整圖形之形狀 。本發明之高分子聚矽氧化合物中，具C 一0- C基之交 聯基及酸不安定基之含量係相關影響光阻膜之溶解速度對 比，控制圖形尺寸、調整形成等光阻材料之特性者。 本發明高分子聚矽氧化合物其分別之重量平均分子量 爲5，000〜50，000，較佳者爲5，000〜 10，000者。重量平均分子量小於5，000時，則 無法取得所期待之等離子體腐鈾耐性，對鹹水溶液之溶解 抑制效果低下，反之，超過5 0，0 0 0則難溶於泛用之 光阻溶劑中。 做爲製造本發明高分子聚矽氧化合物之方法者如：一 般式（6)所示之酸不安定基導入一般式（1 )所示具重 覆單位之高分子聚矽氧化合物之苯酚性氫氧基中’單離後 ，藉由與脂烯基醚化合物或鹵化烷基醚化合物相互反應後 ，於分子內及/或分子間具c -〇- C基之交聯基被交聯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規梏（210X297公釐） 30 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -衣-

、1T 591340 A7 ___ 五、發明説明纠） 之方法，或，藉由與脂烯基醚化合物或鹵化烷基醚化合物 相互反應後於分子內及/或分子間具C - 0 - c基之交聯 基被交聯之單離後’導入一般式（6 )之酸不安定基之方 法，而以與脂烯基醚化合物或鹵化烷基醚化合物相互反應 後，導入一般式（6 )之酸不安定基之方法者較佳。另外 ，此取得之高分子化合物中，必要時可進行一般式（7 ) 之酸不安定基、3級烷基、三烷基甲矽烷基、氧烷基等之 導入。 具體而言，第1方法可用式（1 >)之具重覆單位之 高分子化合物與下記一般式（I )或（I I )之脂烯基化 合物與下記一般式（6 a )之化合物之方法，第2方法則 可利用式（1/)之具重覆單位之高分子化合物與下記一 般式（VI)或（VII)之鹵化烷基化合物與下述一般 (6 b )之化合物之方法者爲示例。 第1方法

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) R7 R6a · A+CKR8-〇VOCH〕c ( I)

R7 R6a I I B-R8-〇-C=CH〕c (II) R3 R2a-CH=C~OR4 ( 6 a ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~ΓβΤ - 591340 kl _ B7 ____________ 五、發明説明P ) 其中，x，y，z ，p1，p2，Q1，Q2與上述思義相问 ’ pi + pz+Qi + QS^l 者。 該式（1)〜式（1 / )之聚矽氧烷係可藉由以下合 成方法取得。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先，將P -甲氧基苄基氯矽烷等水解後’更將其水 解縮聚物熱縮聚後取得之下述一般式（8 )之重覆單位組 成之聚矽氧烷之主鏈末端爲保護矽醇而三甲基甲矽烷基化 後製造下記一般式（9 )所示之重覆單位組成之聚矽氧烷 。其中，三甲基甲矽烷基化係將此聚矽氧烷溶解於甲苯等 有機溶劑後，甲矽烷化劑以己甲基二矽氨烷者爲較佳。此 時，反應溫度爲0 °C〜室溫，反應時間爲2〜5小時者宜 。此方法中，三甲基甲矽烷化後，反應系中不殘留副產物 之氨，因此，反應後，反應溶媒於減壓下起模下可進行精 製，有效簡易進行目的之三甲基甲矽烷化。又，溶於有機 溶劑後，鹽基存在下，與三甲基甲矽烷基氯化物反應後， 可爲三甲基甲矽烷化，惟，此時，不易去除所產生之鹽酸 鹽，特別是，鹽酸鹽於水中溶解分離之方法係三甲基甲矽 烷基之水解產生，因於聚合物中再度生成矽烷醇基，故以 採用使用上述之己甲基二矽氨烷之方法者較被推崇。於該 式（8 )之重覆單位組成之聚矽氧烷之保護主鏈末端矽烷 醇中以己甲基二矽氨烷或三甲基氯化物使反應後，可取得 殘存矽烷醇基極少之聚矽氧烷（1 )者。 接著，聚矽氧烷主鏈末端之矽烷醇基之氫原子被三甲 基甲矽烷基化之聚矽氧烷（9 )係以三甲基甲矽烷基碘酸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐） 32 - 591340 A7 B7 五、發明説明) 鹽進行保護苯酚性氫氧基之甲基於三甲基甲矽烷基取代之 ’製造下式（1 〇 )之重覆單位組成之聚矽氧烷。該三甲 基甲矽烷基化反應係將三甲基甲矽烷基碘酸鹽滴入該有機 溶劑中，反應溫度爲2 0〜3 0 °C者，反應時間爲8〜 1 0小時者宜。 再進行水解後，保護苯酚性氫氧基之三甲基甲矽烷基 使脫離後，使生成苯酚性氫氧基後，取得下記一般式（1 )之重覆單位組成之聚矽氧烷。其中，水解條件可採用去 甲矽烷基化之公知條件者，如：冷水下，注意發熱之同時 ，加水維持溫度於3 0〜4 5 T：。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

卜UU少化 (HMDS 又 iiMe3Sia) ,(0Me)x

(0SiMe3)y (9) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂

Me3SiI

H20

又，該式（I)、 （II)、 （6a)中，R 爲氫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規桔（210X 297公釐）-33 - 591340 A7 五、發明説明θ ) 原子或碳數1〜7之直鏈狀、分枝或環狀之烷基、R3爲氫 原子或碳數1〜8之直鏈狀、分枝或環狀之烷基、R9爲碳 數1〜1 8之具雜原子亦可之1價烴基者，尺23與尺3、 尺23與1^4、R3與R4亦可形成環，形成環時，尺23爲碳 數1〜7之直鏈狀、分枝或環狀之亞烷基、R3、R4分別 爲碳數1〜8之直鏈狀或分枝之亞烷基者。 只63爲氫原子或碳數1〜7之直鏈狀、分枝或環狀之 烷基、R7爲碳數1〜8之直鏈狀或分枝狀之烷基者，惟， 尺63與117亦可形成環，形成環時，R6a爲碳數1〜7之 直鏈狀或分枝之亞烷基、R7爲碳數1〜8之直鏈狀或分枝 之亞烷基者。R11爲碳數1〜1 0之直鏈狀或分枝狀亞烷 基者。 更且，式（I)或（I I)所示之乙烯基醚化合物中 ，八爲（：價（C爲2〜8者）之碳數1〜50之脂肪族或 脂環式飽和烴基、芳香族烴基或雜環基者，B爲- CO -〇一、一 NHCO—或一NHCONH-者、R13 碳數 1 〜10之直鏈狀或分枝之亞烷基、d爲0或1〜10之整 數。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 具體而言，做爲A之C價之脂肪族或脂環式飽和烴基 、芳香族烴基者以碳數1〜50者佳，特別是1〜40之 〇、NH、N (CH3)、S、S〇2等介於雜原子亦可之 非取代或氫氧基、羧基、醯基或氟原子取代之亞烷基、較 佳者爲碳數6〜5 0、特別是6〜40之芳炔基，此亞烷 基與芳炔基結合之基、結合於該各基之碳原子之氫原子脫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-34 - 591340 A7 B7 五、發明説明p2 ) 離後之C〃價（C〃 3〜8之整數）基之例，更且 之雜環基，該雜環基與該烴基相結合之基等示例。 C價

-CH2CH2-，-(CIU，-CII-CH2-，-(CIU CI-I3 -ch2-ch~ , -CHCH2CH2- , -(CH2)5-，

CzHs ch3 ch3 ch2 "CH2-C-CH2- , CH3CH2-C-CH2- ch3 ch2- ch2- CH3—C-CH2- ch2— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼ 一 (ch2)6 a -ch2

—ch2

、1T -ch2-ch2-0-ch2-ch2-，-ch2-ch2-o-ch2-ch2-o-ch2-ch2 *~CH—CH2—O—CH—CH2~ ch3 ch3 -CH-CHz-O-CH-CH^O-^H-CHz ch3 ch3 ch3 經濟部中央標準局員工消費合作社印f ^CH2CH20)tCH2CH2~ , 4CH2CH20)^T0-CH2-CH2

'(CH2)4-fO-(CH2)4jD^T

Cn2〇H I -ch2-c-ch2- ch2〇h CIIzOII I -CH2 - 0-CHg-CHr CIV -CH2-C-CH2 I ch2- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）· 35 - 591340 kl B7 五、發明説明P )

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）_ 36 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

It衣· 、11 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7

ch3 ch3 一般式（I )所示之化合物可如載於Stephen.c. Lapin,Polymers Paint Colour Journal, 1 79(4237),321 ( 1 988)之方法，亦即，多價醇或多價苯酚與乙炔相互反應， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐）_ 37 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 591340 A7 B7 五、發明説明怦） 或多價醇或多價苯酚與鹵化烷基乙烯基醚相互反應合成者 式（ 二醇二乙 醇二乙烯 二乙烯醚 三羥甲基 二乙烯醚 醚、季戊 乙烯醚、 二乙烯乙 烯醚、三 醚、三羥 、季戊四 下式（I ，並非僅 I)化合物之具體例如：乙二醇二乙烯醚、三乙 烯醚、1 醚、1， 、四亞甲 丙烷三乙 、1，4 四醇二乙 山梨糖醇 烯醚、三 乙二醇二 甲基丙烷 醇三乙烯 -1 )〜 限此例者 ，2 —丙二 乙烯醚、1 ，3 —丙二 3 — 丁二醇二乙烯醚、1，4 — 丁二醇 基甘醇二乙烯醚、新戊二醇二乙烯醚、 烯醚、三羥甲基乙烷三乙烯醚、己二醇 一環己二醇二乙烯醚、四乙二醇二乙烯 烯醚、季戊四醇三乙烯醚、季戊四醇四 四乙烯醚、山梨糖醇戊乙烯醚、乙二醇 乙二醇二乙烯乙烯醚、乙二醇二丙烯乙 乙烯乙烯醚、三羥甲基丙烷三乙烯乙烯 二乙烯乙烯醚、季戊四醇二乙烯乙烯醚 乙烯醚、季戊四醇四乙烯乙烯醚、以及 (I — 3 1 )所示之化合物示例者，惟 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 CH2=Cn-〇CH2CH2〇 0CM,C[[,0-CH=CH2 (I - 1) CH 尸 CH-〇CH2CIIA /〇CH2CH20-ch=ch:

~ 2) ch2=ch-〇ch2ch2〇

〇ch2ch2〇—ch=ch2 1-3) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公f ) - 38 - 591340 A7 B7 五、發明説明C CH2—CH—OCH2CH2O CH^CH - 〇CH2CH2〇

och2ch2o-ch=ch2 (1-4)

〇ch2ch2〇-ch=ch2 (1-5) CH2=CH-OCH2CH2〇-V〇/^〇ch2CH2〇-CH=CH2 CH-OCH2CH2〇AqA〇ch2CH2〇-CH=CH2 (1-6)

CH (I - T) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) CH2=CH-OCH2CH20^m>^〇ch2CH2〇-CH=CH2 N I ch3 I 一 8) ch2=ch-och2ch2o

r0CH2CH20-CH=CH2 (1-9) och2ch2o-ch=ch2 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

Cl 1-=011OCI I-CIl：0

OCH2CIl2〇-CH=CII2 ( I 一 i〇)

I — 11) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 規枱（21 OX 297公釐） 591340 A7 B7 ch2=ch—〇一ch2〇

〇ch2〇一ch=ch2 ch3 I - 13) ch2=ch-o

〇—ch=ch2 (I - 14)

ch2=ch-och2ch2o-W

〇ch2ch2〇-ch=ch2 (I - 15) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ch2=ch-o ch2=ch-o

〇一 ch=ch2 o~ch=ch2 (I - 16) (I - 17) CH2=CH-O^Q^c>hQ^〇-cH=CH2 (I — 18) (I - 19) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 〇

(I — 20) (1—21) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -4 〇 591340 A7 B7 五、發明説明 Ct^CH-〇

〇-CH=CH2 〇-ch=ch2 1—22)

(I - 23) CH2=CH-0

/^Vo-ch==ch2 (I - 24) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂

1—25) CH2=CH-〇

o-ch=ch2 (I - 26) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規桔（210X 297公釐） 591340 A7 B7 五、發明説明

1—27) CH2=CH-〇 CH2=CH-0

ch2chchch2 ch3

ch3 I

〇-ch=ch2 〇—ch=ch2 I -28) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

，〇-ch=ch2 o—ch=ch2 (I - 29) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

O-CM=CH2 O-CH=CH2 och=ch2 och=ch2 och=ch2 ch2=ch-〇

0-CH=CH2 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規桔（210X 297公釐） (I — 30) 1-31) 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ______ B7 五、發明説明叫） 另外，B爲一 C〇一0 —時該一般式（I I )所示之 化合物可藉由多價羧酸與鹵化烷基乙烯醚相互反應後製造 之。B爲一 c〇一〇一時式（I I )所示之化合物具體例 有：對苯二甲酸二乙烯乙烯醚、苯二甲酸二乙烯乙烯醚、 異苯二甲酸二乙烯乙烯醚、苯二甲酸二丙烯乙烯醚、苯二 甲酸二丙烯乙烯醚、異苯二甲酸二丙烯乙烯醚、馬來酸二 乙烯乙烯醚、延胡索酸二乙烯乙烯醚、衣康酸二乙烯乙烯 醚等例，惟，並非僅限此例。 更且，適用於本發明之含脂烯基醚化合物之例如：藉 由含下式（III)、 （IV)或（V)等所示活化氫之 脂烯基醚化合物與異氰酸酯基之化合物相互反應後被合成 之含脂烯基醚基化合物者。 一 〆 R7

Rh —— 〇一R·1 —〇H ( I I 1 ) R7

Reu^CH = c- 0-RM-C00H (IV) R7 R6a__CH = C~"〇 - R 丨丨- NH2 (V) (R6a、R7、R11與上述意義相同。） B爲一CO —〇一或一NHCONH —時該一般式（ I I )所示之具異氰酸酯基化合物之例如··可使用載於交 聯基手冊（大成社刊、1 9 8 1年發行）之化合物。具體 而言，如：三苯基甲烷三異氰酸酯、二苯基甲烷二異氰酸 酯、甲苯烯二異氰酸酯、2，4 一甲苯烯二異氰酸酯之二 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規秸（210X 297公釐）-43 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼ 訂 591340 A7 B7 五、發明説明㈦） 量體、萘一 1，5 —二異氰酸酯、鄰一甲苯烯二異氰酸酯 、聚亞甲基聚苯基異氰酸酯、己亞甲基二異氰酸酯等之聚 異氰酸酯型、甲苯烯二異氰酸酯與三羥甲基丙烷之附加體 、己亞甲基二異氰酸酯與水之附加體、二甲苯二異氰酸酯 與三羥甲基丙烷之附加體等之聚異氰酸酯加成化合物型等 例。藉由該異氰酸酯基含有化合物與含活化氫之脂烯基醚 化合物相互反應後，可於末端具脂烯基醚基化合物之各種 化合物。該化合物之例如下式（I I 一 1 )〜（I I 一 1 1 )所示者，惟，並非僅限於此。 C1I2=C11(XH2CH2〇0CNH-^^NHC00CH2CH2〇CH=C1 七 (η - 1) CH2=CHOCH2CH2OOCNI-Ix/NHCOOCH2CH2OCH=CH2 ( Π - 2) (Π-3) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐）-44 - 591340 A7 B7 五、發明説明夺2 CH2=CH0CH2CH200CNH·

NHCOOCH2CH2OCH=CH2 (π —6)

CH2-CH0CH2CH200CNH

NHC00CH2CH20CH=CH2 (Π — 7) ch2=choch2ch2 nhcnh*

-nhcnhch2ch2〇ch=ch； 〇 (n~8) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

CH2-Cf[〇CII2〇〇CNH

NHC00CH20CH=CH2 (fl — 9) ch2=choch2nhcnh II 〇

CH 厂了 CH 細=CH2 (Π — 10) ch2：

=CH0CH2CH200CNH-^_CH2-^_NHC00CH2CH20CH 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-45 - ch2 (n — 11) 591340 (OSiMe山 —^Si0o•州士 (CH丄

A7 __ B7 五、發明説明) 該第1方法中，重量平均分子量5，000〜 5〇 ’ 〇〇〇者，較佳者一般式（1>)所示高分子聚矽 氧化合物之苯酚性氫氧基之1莫耳時，p 1莫耳之一般式 (1 )或（I I )所示之脂烯基醚化合物與Q 1莫之一般 式（6 a )所示化合物相互反應後可取得，如：一般式（ — 1)、 （3 a / - 2)所示之高分子化合物者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼

(OSiMe 山 I· Si〇a-r)/2 V ((!：H丄 0, OR4

I R2-C 一 R3 (3a’ 一 1)

' j ft (OSiMea), 0 (OSiMeo), (0H)n ( Si0〇-yt/2 V j /pJ (OSiMe 山

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(OSiMe〇), —(-SiO(3-y,/2 ^ (CH2)t (0SiMe,)y (CH2)t

(〇H)n 0 I R7-C-R3 I OR4 MOH). (3a· -2) (0SiMe3)y 本紙張尺度週州甲囤圈豕條平 、Z1UX ：297公釐）-4b 591340 A7 B7 五、發明説明f4 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 該式中，X、 y、 z、 p1、 p2、 Q1、 Q2、m、 n 、R2、 R3、 R4、 Q分別與上述相同，惟，m+n=x 者。 第1方法中，做爲反應溶媒者可使二甲基甲醯胺、二 甲基乙醯胺、四氫呋喃、醋酸乙酯等非質子性極性溶媒者 宜，單獨或2種以上混合使用者亦可。 做爲催化劑之酸者，以鹽酸、硫酸、三氟甲磺酸、對 一甲苯磺酸、甲磺酸、三氟醋酸、對-甲苯磺酸吡啶鑰鹽 等者佳，其使用量當7莫之反應一般式（1 >)所示之高 分子化合物苯酚性氫氧基時爲0·1〜10莫耳％者宜。 反應溫度爲一 20〜lOOt：，較佳者爲〇〜60 °C 者，反應時間爲0·2〜100小時，較佳者爲〇·5〜 2 0小時者。 未單離該反應一倂進行時，一般式（I)或（I 所示之脂烯基醚化合物與一般式（6 a )所示化合物之添 加順序並無特別限定，通常以先加入一般式（6 a )之化 合物，充份反應後再加入一般式（I )或（I I )之脂烯 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁

、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐）-47 - 591340 A7五、發明説明f5 ) 醚化合物者佳。若一般式（I )或（I I )之脂烯基醚化 合物與一般式（6 a )之化合物同時加入，或先加入一般 式（I )或（I I )之脂烯基醚化合物時，則一般式（I )或（I I )所示之脂烯基醚化合物之反應點部份因反應 系中之水份被水解，所生成之高分子化合物結構複雜化， 物性之控制亦變困難。 第2方法

(〇SiMe3)y R7 (Γ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

A-{~0-(Rn—0)d C~R6]c Z R7 I B—R"—〇一 C 一 R6〕c I Z R3 I R2a-CH2-C-〇R4 I Z (VI) (VII) (6 b) (式中， 、R4、 R6、 R7、 R1!、 A、 B、 c、 d分別與上述相 同，z爲鹵原子（Cl、Br、及I)者。） ml m ml ml —.I-»lv 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（21〇X 297/A楚） 48 591340 A7 ________ β7 五、發明説明f6 ) 又，該式（IV)、 （VII)之化合物，式（6b) 之化合物可藉由於該式（I )、 （ I I )之化合物，式（ 6 a )之化合物中使經氯化氫、溴化氫或碘化氫反應後取 得。 該第2方法係重量平均分子量5，0 0 0〜 50 ’ 〇〇〇者，較佳爲一般式（1 /)所示重覆單位組 成之高分子化合物之苯酚性氫氧基之1莫耳時，使p 1莫 耳之一般式（VI)或（VI I)之鹵化烷基醚化合物及 Q 1莫耳之一般式（6 b )之化合物相互反應後取得如該 式（3a > - 1) ，（3a< — 2)之高分子化合物者。 該製造法以於溶媒中鹽基存在下進行者佳。 做爲反應溶媒之例者如：乙腈、丙酮、二甲基甲醯胺 、二甲基乙醯胺、四氫呋喃、二甲基亞硕等之非原子性極 性溶媒者佳，可單獨或2種以上混合使用之。 鹽基之例如、三乙胺、吡啶、二異丙胺、碳酸鈣等者 佳，其用量以當反應之一般式（1 >)之高分子化合物之 苯酚性氫氧基之1莫耳時，爲1倍莫耳以上，特別是5倍 莫耳以上者爲佳。 經濟部中央標準局員工消費合作社印t (請先閲讀背面之注意事項洱填寫本頁) 反應溫度爲一 50〜100 °C，較佳爲〇〜60 °C者 ，反應時間爲0 · 5〜1 0 0小時，較佳爲1〜2 0小時 者。 另外，如上述，於式（1 /)之重覆單位之高分子化 合物中使式（6 a )或（6b)化合物反應後，取得下式 (1 1 )之化合物後，將此單離後，利用式（I )、（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 規格（210X 297公釐）-49 - 591340 A7 _____ B7 —______ 五、發明説明f ) ^ 1 1 )或（V I )、 （ V I I )所示之化合物進行交聯者 亦可。 ，OR4 \ R^C-R·1(」Lζ^(〇Η)„ (CH丄 j— (〇SiMe3)y (式中，R2 〜R4、X、y、z、m、n、p1、p2、 Q 1、Q 2分別與上述意義相同。） 由該第1或第2方法取得之式（3a> — 1) ，（3 a / —2)之高分子化合物中，必要時原一般式（1 > ) 之高分子化合物苯酚性氫氧基之1莫耳時於q 2莫耳之二 碳酸二烷化合物，烷氧基碳基烷基鹵化物等反應後，導入 一般式（6 )之酸不安定基，或使3級烷基鹵化物，三烷 基甲矽烷基鹵化物、氧烷基化合物等反應後，可取得如一 般式（3b / - 1) ，（3b/ — 2)之高分子化合物。

(OSiMe山 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 7衣------訂----- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0x 297公釐）-50 - 591340 A7 五、發明説明f8 ) (OSiMe,)r -(· SiCXr ,,/7 i- (OSiMe,)y [•SiCwj (OSiMe3)r -^ Si On ,1/2 (CH；), (CH?), (OSiMe 丄 i- Si〇n ,)/2 ' I * ni (CH?)f (CH山

(3b’ 一 1) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁

(OSiMc,), (*SiO,,r)J (OSiMe,), 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (CII7), —(· Si〇<3，，,, Y I “ (CH?)r

R?-C-R3 (〇H)n OR4 (OSiMe3)y (OSiMe 丄

(OSiMe,), (Si0„ y)A ' I Λ (CH:)t (3 b’ - 2) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐）· 51 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 μ 五、發明説明f9 ) (式中 ’ R2 〜R5，Q，x，y，z ，m，η，p1，p2 ’ Q 1 ’ q 2分別與上述相同。） 該式（7 )之酸不安定基導入方法以於溶媒中存在鹽 基下進行者宜。 反應溶媒之例如：乙腈、丙酮、二甲基甲醯胺、二甲 基乙醯胺、四氫呋喃、二甲亞硕等之非質子性極性溶媒者 佳’可單獨或2種以上混合使用之。 鹽基之例如以三甲胺、吡啶咪唑、二異丙胺、碳酸鉀 等佳’其用量以原一般式（1 /)所示之高分子化合物之 苯酚性氫氧基之1莫耳時爲1倍莫耳以上，特別是5倍莫 耳以上者佳。 反應溫度爲0〜100°c，較佳爲0〜60°C者，反 應時間爲0 · 2〜1 0 0小時，較佳爲1〜1 0小時。 二碳酸二烷基化合物之例如··二碳酸二一第3 — 丁基 、二碳酸二-第3 -胺基等例，烷氧基碳基烷基鹵化物之 例有：第3 —丁氧基碳基甲基氯化物、第3 -正戊醚碳基 甲基氯化物、第3 - 丁氧基碳基甲基溴化物、第3 —丁氧 基碳基乙基氯化物、乙氧基乙氧基碳基甲基氯化物、乙氧 基基乙氧基碳基甲基溴化物、四氫吡喃基氧碳基甲基氯化 物、四氫吡喃基氧碳基甲基溴化物、四氫呋喃基氧碳基甲 基氯化物、四氫呋喃基氧碳基甲基溴化物等例，三烷基甲 矽烷基鹵化物之例如：三甲基甲矽烷基氯化物、三乙基甲 矽烷基氯化物、二甲基-第3丁基甲矽烷基氯化物等等。 又，藉由該第1或第2之方法所取得之一般式（3 a 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-52 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明卬） /一 1)、 （3a > — 2)所示之高分子化合物中，必要 時’原一般式（1 /)所示之高分子化合物之苯酚性氫氧 基1莫耳時可使Q 2莫耳之3級烷基化劑、氧化烷基化合 物反應後成3級烷基化或氧烷基化者。 該方法以於溶媒中存在酸下進行者佳。 反應溶媒之例如：二甲基甲醯胺、二甲基乙醯胺、四 氫呋喃、醋酸乙酯等之非質子性極性熔媒者佳，可單獨或 混合2種以上者使用之。 做爲催化劑之例者，如：鹽酸、硫酸、三氟甲磺酸、 對一甲苯磺酸、甲苯磺酸、三氟醋酸、對-甲苯磺酸吡啶 鐘鹽等佳、其使用量以原一般式（1 /)所示之高分子化 合物苯酚性氫氧基之1莫耳時爲0 · 1〜10莫耳％者佳 〇 反應溫度爲一 20〜100 °C，較佳者爲0〜60 °C 者，反應時間爲0 . 2〜1 0 0小時，較佳者爲0 . 5〜 2 0小時者。 3級烷化劑之例如：異丁烯、2 —甲基一 1 一 丁烯、 2-甲基一2-丁烯等例、氧烷化合物之例如：α— Angel Cal acton、2 —環己嫌—1—酮、5，6 —二氫— 2 Η —哦喃一 2 -酮等之例者。 另外，未經一般式（3a / - 1)、 ( 3 a ^ - 2 ) 所示之高分子化合物直接於下式（3 c / - 1)或（ 3 c / - 2 )所示重覆單位之高分子化合物中，導入一般 式（7)之酸不安定基、3級烷基、三烷基甲矽烷基、氧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-53· (請先閲讀背面之注意事項再填舄本頁j ▼ 、ι'^τ 591340

0

(〇SiMe3)， 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明f1 ) 烷基等之後，必要時亦可導入一般式（6 )之酸不安定基 (〇SiMe3)y

Si〇(3-r>/2 (CH2),

Q (CH山 —SiO〇-r>/2 ^ (OSiMea), 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-54 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

591340 A7 B7 五、發明説明f2

^,^10

I

(OH

C 3 "t------訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 、 * 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X297公釐）-55 - 591340 A7 B7 五、發明説明恥） (式中’Q、 X、 y、 z、 p1、 p2、 Q1、 Q2分別爲與 上述相同意義者。） 本發明高分子化合物中，R1之酸不安定基並不僅限1 種’可導入2種以上者。此時式（1 /)之高分子化合物 之總氫氧基1莫耳時如上述導入Q 1莫耳之酸不安定基之 後’與上述同法將與此相異之酸不安定基導入p 2莫耳後 ’將該酸不安定基以2種或適宜該操作者重覆導入後可取 得高分子化合物。 本發明高分子聚矽氧化合物爲有效做爲化學增強正型 光阻材料之基劑聚合物者，本發明提供以含此高分子化合 物做爲基劑聚合物之下記成份之化學增強正型光阻材料者 0 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (·#先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (A )有機溶劑（B )做爲基劑樹脂之該高分子聚石夕 氧化合物（C )酸產生劑 更且因必要時有 (D )溶解控制劑 (E )鹽基性化合物 (F)與（B)成份不同之基礎樹脂 (G )乙炔醇衍生物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）_ 56 - 591340 A7 _____ B7 五、發明説明严） 其中，做爲本發明所使用之（A)有機溶劑者如酸產 生劑，基礎樹脂、溶解抑制劑等之可溶解之有機溶媒者即 可。該有機溶劑之例如，環己酮、甲基-2—正一戊酮等 酮類、3—甲氧基丁醇、3-甲基一3—甲氧基丁醇、1 一甲氧基一2—丙醇、1一乙氧基一2-丙醇等之酒精類 、丙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚、丙二醇單乙醚、乙 二醇單乙醚、丙二醇二甲醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇 二甲醚等醚類，丙二醇單甲醚乙酸鹽、丙二醇單乙醚乙酸 鹽、乳酸乙酯、丙酸乙酯、醋酸丁酯、3—甲氧基丙酸甲 酯、3 —乙氧基丙酸乙酯、醋酸第3 —丁基、丙酸第3 — 丁基、丙二醇單一第3 - 丁醚乙酸鹽等之酯類之例，此等 可單獨使用亦可2種以上混合使用，而並非僅限於此。本 發明中，該有機溶劑中又有光阻成份中之酸產生劑之溶解 性最佳之二乙二醇二甲醚、1一乙氧基一2—丙醇之外安 全溶劑之丙二醇單甲醚乙酸鹽及其混合溶劑爲被嗜用者。 有機溶劑用量以（B )成份之基礎樹脂1 0 0重量份 (以下均爲重量份）時爲200〜1，000重量份，特 別以4 0 0〜8 0 0重量份者佳。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 做爲（C )成份之酸產生劑之例者如下式（1 2 )之 鎩鹽、式（B )之二偶氮甲烷衍生物、式（1 4 )之乙二 肟衍生物、/3 -酮磺衍生物、二磺衍生物、硝基苄基磺酸 酯衍生物、磺酸酯衍生物、亞胺烯磺酸酯衍生物等例。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-57 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 A7 -------- B7___ 五、發明説明垆） (惟’ R3()爲碳數1〜1 2之直鏈狀、分枝或環狀之烷基 碳數6〜12之芳基或碳數7〜12之芳烷基、M+爲碘鎩 、磺鐵者，K —爲非求核性對向離子者，b爲2或3者。） R3C)之烷基例如：甲基、乙基、丙基、丁基、環己基 、2-氧環己基、原菠烷烯、金剛烷基、等例。芳基之例 如：苯基、對一甲氧基苯基、間一甲氧基苯基、鄰-甲氧 基苯基、乙氧基苯基、對一第3-丁氧基苯基、間一第3 一丁氧基苯基等之烷氧基苯基、2 -甲基苯基、3 -甲基 苯基、4一甲基苯基、乙基苯基、4一第3-丁基苯基、 4 - 丁基苯基、二甲基苯基等之烷基苯基等例。芳烷基之 例有：苄基、苯乙基、等例。K —之非求核性對向離子之例 如：氯化物離子、溴化物離子等鹵化物離子、t r i f u I a t e、 1 ’ 1，1 一三氟乙磺酸酯、壬氟丁磺酸酯、等之氟烷基 磺酸酯、對甲苯磺醯酸鹽、苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、 1，2，3，4，5 -戊氟苯磺酸酯等之芳基磺酸酯、甲 磺烯酸鹽、丁磺酸酯、等之烷基磺酸酯等例。 n2 II 八 032 (1 3)

r31-S02-C-S〇2-R (惟，R31、R32、爲碳數1〜1 12之直鏈狀、分枝或 環狀之烷基或鹵化烷基、碳數6〜12之芳基或鹵化芳基 抑或碳7〜12之芳烷基。） R31、R32之烷基例如：甲基、乙基、丙基、丁基、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X297公釐）_58_ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚------訂—— 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明P ) 戊基、環戊基、環己基、原菠烷烯、金剛烷基等例。鹵化 烷基之例有：三氟甲基、1，1，1—三氟乙基、1，1 ，1 -三氯乙基、壬氟丁基等例。芳基之例有苯基、對-甲氧基苯基、間一甲氧基苯基、鄰一甲氧基苯基、乙氧基 苯基、對-第三一丁氧基苯基、間-第3 -丁氧基苯基等 之院氧基苯基、2 —甲基苯基、3 -甲基苯基、4 —甲基 苯基、乙基苯基、4一第3-丁氧基苯基、4一丁氧基苯 基、二甲基苯基等之烷基苯基等等。鹵化芳基之例如：氟 苯基、氯苯基、1，2，3，4，5-戊氟苯基等等。芳 烷基之例如：苄基、苯乙基等例。 R34 R35 I I ' R33 — S02-〇一 N = C —C = N — 〇一S〇2 —R33 (14) (惟，R33、R34、R35爲碳數1〜12之直鏈狀、分 枝或環狀之烷基或鹵化烷基、碳數6〜12之芳基或鹵化 芳基或碳數7〜12之芳烷基者。又，R34、R35亦可相 互結合後形成環狀結構，形成環狀結構時，R 3 4、R 3 5亦 可相互結合後形成環狀結構，形成環狀結構時，R 3 4、 R35分別爲碳數1〜6之直鏈狀或分枝之亞烷基。） 做爲R33、R34、R35之烷基、鹵化烷基、芳基、 鹵化芳基、芳烷基之例與R 3 1、R 3 2所說明者相同之基。 另外，做爲R34、 R35之亞烷基之例如亞甲基、乙烯基、 丙烯基、己烯基等例。 具體而言，如：三氟甲磺酸二苯碘鑰、三氟甲烷磺酸 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-59 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 A7 _ B7 五、發明説明f7 ) (對一第3 —丁氧基苯基）苯基碘鏺、對一甲苯磺酸二苯 基碘鑰、對一甲苯磺酸（對-第3 -丁氧基苯基）苯基碘 鑰、三氟甲磺酸三苯基碘鑰、三氟甲磺酸（對-第3-丁 氧基苯基）二苯碘鎩、三氟甲磺酸雙（對- 3 -丁氧基苯 基）苯基磺鑰、三氟甲磺酸三（對-第3 -丁氧基苯基） 磺鐵、對-甲苯磺酸三苯基磺鐵、對-甲苯磺酸（對-第 3 -丁氧基苯基）二苯基磺鐵、對一甲苯磺酸（對一第3 一丁氧基苯基）苯磺鏺、對一甲苯磺酸三（對一第3 -丁 氧基苯基）磺鐵、壬氟丁院擴酸三苯基磺鐵、丁院磺酸三 本基擴録、二氣甲院擴酸二甲擴鐵、對一甲苯礦酸三甲碌 鐵、三氟甲烷磺酸環己甲基（2 —氧環己基）磺鑰、對一 甲苯擴酸環己甲基（2 —氧環己基）擴鐵、三氟甲磺酸二 甲苯基磺鑰、對一甲苯磺酸二甲苯基磺鑰、三氟甲磺酸二 環己苯基硫鐵、對-甲苯磺酸二環己苯基磺_等之鐵鹽、 雙（苯磺鐵）一偶氮甲院、雙（對一甲苯磺鑰）二偶氮甲 烷、雙（二甲苯磺鐵）二偶氮甲烷、雙（環己磺鑰）二偶 氮甲烷、雙（環戊基磺鐵）二偶氮甲烷、雙（正一 丁基磺 録I) 一偶氮甲院、雙（異丁磺醯）二偶氮甲院、雙（次— 丁磺醯）二偶氮甲烷、雙（正一丙磺醯）二偶氮甲烷、雙 (異丙磺醯）二偶氮甲烷、雙（第3 一丁磺醯）二偶氮甲 烷、雙（正一戊磺醯）二偶氮甲烷、雙（異戊磺醯）二偶 氮甲烷、雙（次一戊磺醯）二偶氮甲烷、雙（第3 一戊擴 醯）一偶氮甲院'1一環己基磺醯一1一（第3一丁擴醯 )二偶氮甲院、1 一環己磺醯一 1 一（第3 —戊磺醯）二 本紙張尺度適财關家縣（CNS ) A4聽（210X 297公楚)~~Γβ〇Ί ------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

591340 A7 B7 五、發明説明f8 ) 偶氮甲院、1 一第3 —戊磺醯一 1 一（第3 —丁磺醯）二 偶氮甲烷等之二偶氮甲烷衍生物，雙一鄰一（對一甲苯磺 醯）α -二甲基乙二肟、雙一鄰一（對一甲苯磺醯）一 α 一二苯基乙二肟、雙一鄰—（對一甲苯磺醯）一 α 一二環 己基乙肟、雙一鄰一（對—甲苯磺醯）_2，3 —戊烷二 酮乙二肟、雙一鄰—（對一甲苯磺醯）一 2 一甲基—3， 4 一戊烷二酮乙二肟、雙一鄰一（對—丁烷磺醯）一 α — 一甲基乙—汚、雙一鄰—（正一丁院磺醯）一 ^ 一二苯基 乙二肟、 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 雙一鄰一（正一丁烷磺醯）一 α —二環己基乙二肟、雙— 鄰一（正一丁烷磺醯）一 2，3 —戊烷二酮乙二肟、雙— 鄰—（正一丁烷磺醯）一 2 —甲基一3，4 一戊烷二酮乙 二肟、雙一鄰一（甲烷磺醯）一 α —二甲基乙二肟、雙一 鄰一（二氟甲擴醯）一α—二甲基乙二時、雙一鄰一（1 ，1，1 一三氟乙磺醯）一 α —二甲苯基乙二肟、雙一鄰 —(第3 — 丁院磺醯）一α —二甲基乙二g亏、雙—鄰一（ 過一氟辛烷磺醯）一 α —二甲苯基乙二肟、雙一鄰一（環 己院擴醯）一 α —二甲基乙二肟、雙一鄰一（苯磺醯）一 α — 一甲基乙二肟、雙一鄰一（對一氟苯磺醯）一 α 一二 甲基乙二肟、雙一鄰一（對一第3 —丁苯磺醯）一 α 一二 甲基乙二肟、雙一鄰一（二甲苯磺醯）一 α —二甲基乙二 肟、雙一鄰一（樟腦磺醯）—α —二甲基乙二肟等之乙二 肟衍生物、2-異丙碳基一2-（對一甲苯磺醯）丙烷等 之々一酮擴醯衍生物、二苯基二碼、二環己基二碼等二碼 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-61 - 591340 ΑΊ --_ Β7_____ 五、發明説明押） 衍生物、對一甲苯磺酸2，6 一二硝基苄基、對一甲苯磺 ’ 4 一二硝基苄基等之硝基苄基硫酸酯衍生物，1， 2 ’3〜三（甲硫醯氧基）苯、1，2，3，一三（三氟 甲擴醯氧基）苯、1，2，3 —三（對一甲苯磺醯氧基） 苯、等之磺酸酯衍生物、苯二甲亞胺-烯—trifulate、苯二 甲亞胺一烯一對苯磺醯鹽、5 一原菠烷一 2，3 一二羧亞 胺一烯一對甲苯磺醯鹽、5 一原菠烷一 2，3 一二羧亞胺 -嫌-正-丁磺酸酯等之亞胺-烯一磺酸酯衍生物等例， 而以三氟甲磺酸三苯磺醯、三氟甲磺酸（對一第3 一丁基 苯基）二苯磺鍮、三氟甲磺酸三（對一第3 一丁氧基苯基 )磺鐵、對-甲苯磺酸三苯磺鐵、對-甲苯磺酸（對一第 3 -丁氧基苯基）二苯磺鐵、對一甲苯磺酸三（對一第3 -丁氧基苯基）磺鐵等鐵鹽、雙（苯磺醯）二偶氮甲烷、 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 雙（對一甲苯磺醯）二偶氮甲烷、雙（環己基磺醯）二偶 氮甲烷、雙（正一丁磺醯）二偶氮甲烷、雙（異丁磺醯） 二偶氮甲烷、雙（次一 丁磺醯）二偶氮甲烷、雙（正一丙 磺醯）二偶氮甲烷、雙（異丙磺醯）二偶氮甲烷、雙（第 3 -丁磺醯）二偶氮甲烷等之偶氮甲烷衍生物、雙一鄰（ 對一甲苯磺醯）一 α —二甲基乙二肟、雙一鄰（正一丁磺 醯）一α—二甲基乙二肟等之乙二肟衍生物爲較佳使用者 。又，該氧該產生劑可使用2種以上或單獨使用者均可。 鐵鹽具優異提昇矩形性效果，二偶氮甲烷衍生物及乙二肟 衍生物具優異之安定波低減效果，而兩者組合後，可進行 外形之微調整。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規枱（210X 297公釐）-62- 591340 A7 B7 五、發明説明@0 ) 酸產生劑之添加量以1 0 0重量份之基礎脂時，爲 〇·5〜15重量份者宜，更佳者爲1〜8重量份者。若 小於0 · 5重量份則感受將變差，大於1 5重量份則鹼溶 解速度降低造成光阻材料之解像性降低，另外，單體成份 過剩而降低耐熱性。 本發明之光阻材料以配合溶解抑制劑（D )之3成份 系者佳，此溶劑抑制劑（D )之例如：以分子內具1個以 上之酸不安定基者，不管低子量之化合物或高分子量化合 物者均可，可使用公知之正型光阻用溶解抑制劑者。其中 ，做爲酸不安定基之例者與該一般式（6)、 （7)者相 同。此溶解抑制劑（D )之例如：使雙酚A之氫氧基爲第 3 - B 〇 c化之化合物、使均苯三酚、四羥基二苯甲酮等 爲第3 - Bo c化之化合物者之例。 做爲溶解抑制劑（D )之平均分子量爲1 〇 〇〜 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本百C 1，000，較佳者爲150〜800、且分子內因具有 2個以上之苯酚性氫氧基之化合物之該苯酚性氫氧基之氫 原子藉由酸不安定基以總平均〇〜1 〇 〇莫耳％之比例下 配合所取代之化合物。亦即，藉由苯酚性氫氧基之氫原子 酸不安定基其取代率爲苯酚性氫氧基總平均爲〇莫耳％以 上者，較佳者爲30莫耳％以上、另外，其上限爲1〇〇 莫耳％、更理想者爲8 0莫耳％者。 此時做爲具該2個以上苯酚性氫氧基之化合物者以下 式（i )〜（X i )所示者佳。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-63 - 591340 A7 B7 五、發明説明θ

(i

(ϋ ) 〇 (〇Π),

(iii

(iv)

(v ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(vi) (vii > (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規桔（210X 297公f ) - 64 - 591340 A7 B7 五、發明説明P )

R5 丨s· R5,s· (viii) (ix) (x ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

(xiX (惟，式中R51、R52分別爲氫原子或碳數1〜8之直鏈 狀或分枝之烷基或脂烯基者、R53爲氫原子或碳原子數1 〜8之直鏈或分枝之烷基或脂烯基、抑或一（R57) n -C〇〇H 者、R54 爲一（CH2) i - (i=2 〜10)、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-65 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 591340 A7 _____ B7 五、發明説明科） 碳數6〜1〇之芳炔基、碳基、磺醯基、氧原子或磺原子 、R55爲碳數1〜10之亞烷基、碳數6〜10之芳炔基 、碳基、磺醯基、氧基子或硫原子、R56爲氫原子或碳數 1〜8之直鏈狀或分枝之烷基、脂烯基、分別以氫氧基被 取代之苯基或苯乙基者，R57爲碳數1〜1 〇之直鏈狀或 分枝之亞烷基。又，j爲0〜5之整數、H、 U爲0或1 者。s、 t、 s '、 t ，、 s 、 t，分別爲 s + t = 8 、s ^ + t ^ = 5 . s" +1^ = 4、且各苯基骨架中至 少含1個氫氧基之數者。α爲式（vi ii)、 ( i χ ) 之化合物分子量爲100〜1，〇〇〇之數者。） 做爲R-51、R52之例者如：氫原子、甲基、乙基、 丁基、丙基、乙炔基、環己基、R53之例與R51、R52 相同，或一C〇〇H、一CH2C〇〇H、R54之例如乙 燒基、亞苯基、碳基、磺醯基、氧原子、硫黃原子等， R 5 5之例如：亞甲基、或與R 5 4相同者，R 5 6之例如： 氫原子、甲基、乙基、丁基、丙基、乙炔基、環己基、分 別以氫氧基被取代之苯基、萘基、等例。 其中，做爲溶解抑制劑之酸不安定基者如該一般式（ 6)，該一般式（7)所示之基、碳數4〜20之3級烷 基，各烷基分別爲碳數1〜6之三烷基甲矽烷基、碳數4 〜20之氧烷基等例。 該溶解抑制劑之配合量以1 〇 〇重量份之基礎樹脂時 ，爲0〜50重量份、較佳者5〜50重量份、更佳者爲 1 0〜3 0重量份者、可單獨或2種以上混合者使用之。 本紙張尺度適用中國國家標率（匚奶)八4規格（210^7公楚)""_ 66: (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

591340 A7 B7 五、發明説明P ) 當配合量小於5重量份時，則解像性無法提昇，反之大於 5 0重量則圖形之膜產生低減，解像度降低。 又，該溶解抑制劑可於具苯酚性氫氧基之化合物上藉 由與基礎樹脂相同將酸不安定基經化學反應後合成之。 本發明之光阻材料不同於該溶解抑制劑或將此加入成 別種溶解抑制劑者，可配合重量平均分子量小於 1，000，且於分子內使具苯酚性氫氧基之化合物之該 苯酚性氫氧基氫原子藉由酸不安定基後全體平均0%以上 1 0 0 %以下之比例下之部份取之化合物者。 此時，於該酸不安定基下苯酚性氫氧基之氫原子被部 份取代之化合物者，可以選自下記一般式（1 5 )所示之 具重覆單位、重量平均分子量爲1，000以上3，00 0以下之化合物中1種或2種以上之化合物者佳。

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (OSiMe3)y (OSiMe3)y (惟，式中R1爲酸不安定基、v、 w分別爲 + w) SO · 6之數者） 其中，做爲該溶解抑制劑之酸不安定基者，如該一般 式（6)、一般式（7)所示之基、碳數4〜20之3級 烷基、各烷基分別爲碳數1〜6之三烷基甲矽烷基、碳數 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210x1^1^~767^ 591340 A7 B7 五、發明説明P5 ) 4〜2 0之氧烷基等例。 該另種溶解抑制劑之配合量以1 0 〇重量份之該溶解 抑制劑與合計之溶解抑制劑總計之基礎樹脂時爲0〜5 0 重量份、特別是0〜3 0重量份，較佳者以使用1重量份 以上之範圍者宜。 又，該另種溶解抑制劑於具苯酚性氫氧基之化合物上 與基礎樹脂相同藉由酸不安定基之化學反應後可合成之。 另外，做爲溶解抑制劑（D )者，在不損及氧等離子 體腐蝕耐性可使用聚矽氧化合物者。做爲聚矽氧化合物之 溶解抑制劑者，可使用如下式（1 6 )〜（1 8 )所示之 聚矽氧化合物之羧基或羥基以第3 - 丁基或第3 - 丁氧碳 基甲基所保護者。 R12 R,2 R 丨2 I I I R'^SHOSikOSi-R* R'2 R'2 R,2 (16) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝------ I n I Lf R'2

XAOSihOX 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 R,3 17) R,2 —(OSiVO-R,3 (18) (式中，R12爲甲基或苯基、R13爲羥乙基或對一羥基苯 基烷基者。X爲三甲基甲矽烷基、三苯基甲矽烷基或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枱（2丨0X297公釐）· 68 - 591340 A7 B7 ------------------------五、發明説明P6 ) S i R12R13 (R12、R13與上述相同意義）所代表之 基。e爲0〜50之整數、f爲1〜50之整數S爲3〜 1 0之整數者。） 其中，做爲該式（1 6)〜（1 8)之聚矽氧化合物 之羧基或羥基以鹼可溶基（第3 -丁基或第3 -丁氧基碳 基甲基）所保護之聚矽氧化合物者分別如下記A〜C群之 化合物示例者。又，Me爲甲基、t一Bu爲第3—丁基 者0 A群

Me Me t 一 BuOC - CH2CH2Si-〇-SiCH2CH2—COt—Bu 0 Me Me 0 Me Me t-Bu0CCH20C-CH2CH2Si-0-SiCH2CH2C-0CH2C0t-Bu II II I I II II 〇 〇 Me Me 0 0

Me Met - Bn〇-<Q^CH2CH^i-0—^CH2CH2-<^)-〇t一Bu

Me Me (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B群

Me Me3SiO(SiO)a,SiMe3

Me Me3SiO(SiO).SiMe3 CH2 I ch2 I COOt-Bu CH2 I CH2 I COOCH2C〇t 一 Bu 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-69 - 591340 A7 B7 五、發明説明θ

MeMe3SiO(SiO)wSiMe3 I ch2

(ωίί 1 〜5 0)

Ot-Bu

CM

Me CH2CH2COOt-Bu Γ'! /~\ IV/f rt

Si-0 y t-DuOCCII,CIl? 9 II 〇 Si Me^ X〇-Si：

St I XCH2CH2COOt-Bu 0 I、Me CH2CH2COOt-Bu Me CH2CH2COOCH2COOt-Bi XSi^O Me 〇 Si 、I I XH2CH2COOCH2COOt-Bu Si 0 t-BuOOCCH2OCCH2CH2 、0-Si〆 、CH2CH2COOCH2COOt-Bu

Me、/CH2CH2 Si-0 Me- -Ot-Bu 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

M 0 Si Me , Si 0 t-buO-^Vckch/ \〇-今〈 CH2CH >i /-Λ ^ XCH2CH2-(〇^-〇t-Bu 输

Ot-Bu 使用該聚矽氧化合物之溶解抑制劑時之含量以1 0 0 重量份之基礎樹脂時爲0〜60重量份、特別以0〜50 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-70 - 591340 經濟部中央標準局負工消費合作社印裂 A7 _____ B7 五、發明説明押） 重量份者佳。若大於6 0重量份則光阻膜之氧等離子體腐 蝕性顯著降低，因恐而未能做爲2層光阻之使用。 更者，本發明之光阻材料中，可配合做爲（E )成份 之鹽基性化合物者。 做爲該（E )添加劑所配合之鹽基性化合物者，適於 由酸產生劑所產生之酸可抑制擴散於光阻膜中之擴散速度 之化合物，藉由此鹽基性化合物之配合，光阻膜中酸之擴 散速度被抑制而提昇解像度，抑制露光後之感度變化，少 有基板、環境依存性，可提高露光之寬鬆性、圖形等之提 昇。 做爲該鹽基性化合物之例如具第1級、第2級、第3 級之脂肪族胺類、混成胺類、芳香族胺類、複環素胺類、 羧基之含氮化合物、含磺醯基之含氮化合物、含羥基之含 氮化合物、具羥基苯基之含氮化合物、酒精性含氮化合物 、醯胺組成物，亞胺衍生物等例。 具體例如：第1級脂肪族胺類之例有：氨、甲胺、乙 胺、正一丙胺、異丙胺、正一 丁胺、異丁胺、次一 丁胺、 第3 -丁胺、戊胺、第3 -戊胺、環戊胺、己胺、環己胺 、戊胺、辛胺、壬胺、癸胺、月桂基胺、亞甲基二胺、乙 烯二胺、四乙烯戊胺等示例，第2級脂肪族胺類之例有， 二甲胺、二乙胺、二一正一丙胺、二異丙胺、二一正一丁 胺、二異丁胺、二一次一丁胺、二一戊胺、二環戊胺、二 己胺、二環己胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸胺、二 月桂基胺、鯨蠟基胺、N，N —二甲基亞甲基二胺、N， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐）-71 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，衣------訂----- 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明p9 ) N —二甲基乙烯二胺、N，N —二甲基四乙烯戊胺等示例 ，做等第3級脂肪族胺類之例如：三甲胺、三乙胺、三一 正一丙胺、三異丙胺、三一正一丁胺、三異丁胺、三一次 -丁胺、三戊胺、三環戊胺、三己胺、三環己胺、三庚胺 、三辛胺、三壬胺、三癸胺、三月桂胺、三鯨蠟胺、N ’ N，N，，N，一四甲基亞甲基二胺，N，N，N，， —四甲基乙烯二胺，N，N，—四甲基四 乙烯戊胺等例。 又，做爲混成胺類之例如：二甲基乙基胺、甲基乙基 丙胺、苄基胺、苯乙基胺、苄基二甲胺等例。芳香族胺類 及複環胺類之具體例有：苯胺衍生物（例苯胺、正-甲基 苯胺、正一乙基苯胺、正—丙基苯胺、N，N -二甲基苯 胺、2—甲基苯胺、3—甲基苯胺、4一甲基苯胺、乙基 苯胺、丙基苯胺、三甲基苯胺、2 -硝基苯胺、3 -硝基 苯胺、4 一硝基苯胺、2，4 —二硝基苯胺、2，6 —二 硝基苯胺、3，5 —二硝基苯胺、N，N —二甲基甲苯胺 ，等）、二苯基（對一甲苯基、）胺、甲基二苯胺、三苯 胺、苯烯二胺、萘胺、二胺基壬酞、吡咯衍生物、（例； 吡咯基、2 Η —吡咯基、1 一甲基吡咯基、2，4 一二甲 基吡咯基、2，5 —二甲基吡咯基、正一甲基吡咯，等） ，噁唑〜〜衍生物、（例：噁唑、異噁唑，等），噻唑衍 生物、（如：噻唑、異噻唑等），咪唑衍生物（例如：咪 唑，4 一甲基咪唑、4 一甲基一 2 —苯基咪唑等）、吡唑 衍生物，呋咱衍生物、吡咯啉衍生物（如：吡咯啉、2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-72 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 冒裝------訂----- 591340 A7 __B7 _ 五、發明説明f0 ) 甲基一 1 一吡咯啉等）、吡咯烷衍生物（如：吡咯烷、正 -甲基吡咯烷、吡咯烷酚、正-甲基吡咯烷酮等）咪唑啉 衍生物、咪唑嗪衍生物、吡啶衍生物（如··吡啶、甲基吡 啶、乙基吡啶、丙基吡啶、丁基吡啶、4 — ( 1 一 丁基戊 基）吡啶、二甲基吡啶、三甲基吡啶、苯基吡啶、3 —甲 基一 2 -苯基吡咯、4 一第3 -丁基吡啶、二苯基吡啶、 苄基吡啶、甲氧基吡啶、丁氧基吡啶、二甲氧基吡啶、1 一甲基一 2 —吡啶酮、4 一吡咯烷酚吡啶、1 一甲基一 4 一苯基吡啶、2 -（ 1 一乙基丙基）吡咯、胺基吡啶、二 甲胺吡啶等）、噠嗪衍生物、嘧啶衍生物、吡嗪衍生物、 吡唑啉衍生物、吡啶烷衍生物、哌啶衍生物、哌嗪衍生物 、嗎啉衍生物、吲哚衍生物、異吲哚衍生物（如：喹啉、 2 -喹啉腈等）、異喹啉衍生物、噌啉衍生物、喹唑啉衍 生物、喹喔啉衍生物、呔嗪衍生物、嘌呤衍生物、喋啶衍 生物、咔唑衍生物、菲啶衍生物、吖啶衍生物、吩嗪衍生 物、1，1 0 -菲繞啉衍生物、腺嘌呤衍生物、腺苷衍生 物、鳥嘌呤衍生物、鳥苷衍生物、尿嘧啶衍生物、尿苷衍 生物等示例。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 更做爲具羧基之含氮化合物者之例如：胺苯甲酸、吲 哚羧酸、胺基酸衍生物（如：菸鹼酸、丙胺酸、精胺酸、 天冬胺酸、谷胺酸、甘胺酸、組胺酸、異白胺酸、甘胺醯 白胺酸、白胺酸、蛋胺酸、苯基丙胺酸、蘇胺酸、賴胺酸 、3 -胺基吡嗪一 2 —羧酸、甲氧基丙胺酸、）等示例， 具磺醯基之含氮化合物者如：3 -吡啶磺酸、對-甲苯磺 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公~" 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明Ρ ) 酸吡啶嗡等示例、其羥基之含氮化合物、具經基¥ g 11 氮化合物，酒精性含氮化合物之例如：2 -經基1¾ D定、胺 基甲酸、2 ’ 4 一 d奎啉一醇、3 - d弓丨α朵甲醇水解物、單乙 醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正一乙二乙醇胺、Ν，Ν — 二乙基乙醇胺、三異丙醇胺、2，2 / -亞胺二乙醇、2 一胺基乙醇、3 -胺基—1 一丙醇、4 一胺基一 1— 丁醇 、4一（ 2 —經基乙基）嗎啉、2 -（2 —經基乙基）吡 陡、1 一（2 —經基乙基）哌、D定1一〔2 -（2 —經基 乙氧基）乙基〕哌卩定、卩底卩定乙醇、1— (2 —經基乙基） d比咯院、1— (2 —經基乙基）一 2 - π比略院酌、3 — 口辰 啶基一 1，2 —丙二醇、3 -吡咯烷基一 1，2 -丙二醇 、8 -羥基久洛尼定、3 -醌啶醇、3 -托品醇、1 一甲 基—2 —吡咯烷乙醇、1 一氮雜環丙烷乙醇、正一（2 — 羥基乙基）苯二甲酸亞胺、正一（2 -羥乙基）異菸鹼醯 胺等例。做爲醯胺衍生物者如：甲醯胺、正-甲基甲醯胺 、N，N —二甲基甲醯胺、乙醯胺基、正一甲基乙醯胺、 N，N —二甲基乙醯胺、丙醯胺、苯醯胺基、等示例。亞 胺衍生物之例有苯二甲酸亞胺、琥珀銑酵亞胺基、馬來亞 胺等例。 更可配合如下式（1 9)及（2 0)所示之鹽基性化 合物者。 CH2CH20(R4,-0)s~r^ N~CH2CH20(R42--〇)t-R45 (1 9 ) CH2CH2〇(R43-011^6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枯（210X 297公釐）-74 - ▼ 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I訂-- 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 · ______ 五、發明説明f2 ) CH2CH2〇(R47-〇)「R49 N—CH2CH2〇(R48—〇)τ一R50 ( 2 0)

I

H (式中，R41、R42、R43、R47、R48分別爲獨立之 直鏈狀、分枝或環狀之碳數1〜20之亞烷基、R44、 R45、R46、R49、R5。、爲氫原子、碳數1〜20之 烷基或胺基，R44與R45、R45與R46、R44與R46、 R49及R5G分別亦可形成環。S、T、U分別爲0〜2 0 之整數。惟，S、T、U = 0 時，R44、R45、R46 、R49、R5°未含氫原子。） 其中R41、R42、R43、R47、R48之亞烷基以碳 數爲1〜20者，較佳者爲1〜10、更理想爲1〜8者 ，具體例如：亞甲基、乙烯基、正-丙烯、異丙烯基、正 -丁烯基、異丁烯基、正-戊烯基、異戊烯基、己烯基、 壬烯基、癸烯基、環戊烯基、環己烯基、等例。 又，R44、R45、R46、R49、R5Q之烷基以碳數 爲1〜20者、較佳爲1〜8、更理想者爲1〜6者，此 等可爲直鏈狀、分枝或環狀均可。具體例如：甲基、乙基 、正一丙基、異丙基、正一 丁基、異丁基、第3 — 丁基、 正-戊基、異戊基、己基、壬基、癸基、月桂基、三癸基 、環戊基、環己基等等。 更且，R44 與 R45、R45 與 R46、R44 與 R46、 R44與R45與R46、R49與R5Q形成環時，其環之碳數 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-75 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 资裝------訂— ILf 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 591340 A7 B7 __ 五、發明説明ί3 ) 爲1〜20，更佳者爲1〜8，最理想爲1〜6者、又， 此等環亦可爲分枝之碳數1〜6、特別是1〜4之烷基者 0 S、T、U分別爲0〜20之整數，更佳者爲1〜 1 0者最理想以1〜8之整數者。 做爲該式（1 9 )、（ 2 0 )之化合物具體例如：三 {2 —（甲氧基甲氧基）乙基}胺基、三{2 —（甲氧基 乙氧基）乙基}胺基、三〔2 — { (2 —甲氧基乙氧基） 甲氧基}乙基〕胺、三{ 2 — (2 —甲氧基乙氧基）乙基 }胺、三{2—（1一甲氧基乙氧基）乙基}胺、三{2 —(1—乙氧基乙氧基）乙基}胺、三{2 —（1 一乙氧 基丙氧基）乙基}胺、三〔2 - { (2 —經基乙氧基）乙 氧基}乙基〕胺、4，7，13，16，21，24 —己 氧基—1，10 -二氮雜雙環〔8，8，8〕二十六烷、 4，7，13，18 —四氧基—1，10 —二氮雜雙環〔 8，5，5〕二十院、1，4，10，13 —四氧基一7 ，16 —二氮雜雙環十八烷、1 一氮雜一 12 —環狀一 4 ，1—氮雜—15 —環狀—5，1 一氮雜一 18 —環狀— 6，等例。特別以含第3級胺、苯胺衍生物、吡咯烷衍生 物，喹啉衍生物、胺基酸衍生物、羥基之含氮化合物，具 羥基苯基之含氮化合物、酒精性含氮化合物、醯胺衍生物 、亞胺衍生物、三{2 —(甲氧基甲氧基）乙基}胺、三 { (2 —（2 —甲氧基乙氧基）一乙基）胺、三〔2 — { 2—甲氧基乙氧基丨甲基〕乙基丨胺、1一氮雜一15— 紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐)~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^------1T----- 591340 A7 _ B7 五、發明説明卩） 環狀一 5等爲佳。 又，該鹽基性化合物可1種單獨使用亦可2種以上組 合使用之，其配合量以1 〇 〇重量份之基礎樹脂時爲〇〜 2重量份、特別以0 · 0 1〜1重量份混合者佳。若配合 量過多則感度將太低。 (F)成份之該（B)成份相關之與被交聯高分子化 合物不同之另一基礎樹脂例如：示於下式（21)之具重 覆單位之重量平均分子量以3，000〜300，000 之高分子化合物爲較適使用者。 更藉由（F )成份之配合後，均可任意有效進行圖形 之尺寸控制、圖形形狀之調整。 R2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

0-C-0-R4 R3

OR丨 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (CH2)z (CH2) —Si〇(3-y)/2-^- ~[^SiO(： (0SiMe3)y 該式中，Μ ；3-y)/2~J| (0SiMe3)y，R 2〜

(0SiMe3)y (2 1)

R 分別與上述意義相 同，R1與該式（6)之酸不安定基相異，如該式（7)所 示之基，碳數4〜2 0之3級烷基、各烷基分別爲1〜6 之三烷基甲矽烷基、碳數4〜20之氧烷基等。 e、 f分別爲0或正數者，e、 f同時爲0時’g爲 正數，e + f+ g = l。此組成比爲〇€e/(e + f + 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規抬（210X 297公釐）-77- 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 )

g) $0 · 5，較佳者爲 0 · l^e/(e + f+ g) S 〇·4、〇gf/(e + f+ g)S〇.5、〇Sf/( e + f+ g) · 2 爲較佳，0 · 4Sg/(e + f + g)S〇.9，而 0.6Sg/(e + f+ g)$0.8 較佳。當e之全（e + f+ g以下相同）時，大於〇 · 5 ’全f比例大於0 · 5，全g比例大於〇 . 9，或全g比 例小於〇 · 4時，鹼溶解速度對比將變小，解像度變差。 e ’ f ，g適當選其値於上述範圍則可任意進行圖形尺寸 之控制，圖形形狀之調整。 高分子化合物之重量平均分子量務必爲3，0 0 0〜 30，，〇〇〇者，較理想者爲3，000〜 30，〇〇〇者。不足3，000則光阻材料之耐熱性變 差、大於3 0 0，0 0 0則鹼溶解性降低、解像性變差。 又，（F)成份之基礎樹脂配合量與（B)成份之基 礎樹脂（被交聯之高分子化合物）之配合比例以0 : 100〜90 : 10之重量比者佳，特別以0 : 100〜 100〜50 : 50爲較適當。該（F)成份之基礎樹脂 配合量大於上述重量比時，則於（B )成份之基礎樹脂（ 被交聯之高分子化合物）無法取其所需。 更且，本發明之光阻材料中，可配合（G)成份之乙 炔醇衍生物，藉此可提升保存安定性。 乙炔醇衍生物之例可以下式（22)、 （23)所示 者爲適用者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐）-78 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 591340 A7 B7 五、發明説明（6 )

R72 R71 - OC - OR73 I CKCH2CH20>rH (2 2) R74 R72 R75-C—OC-OR73 (2 3)

H-{OCH2CH2)rO 0-{〇Η2ΟΗ20)γ· Η 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 (式中，R71、R72、R73、R74、R75分別爲氫原子 、或碳數1〜8之直鏈狀、分枝或環狀之院基’ χ、y爲 正數或 0 者，滿足 0Sx€30、0Sy^30、0 ^ χ + y S 4 0 者。） 乙炔醇衍生物之例如：Safinol 61、Safinol 82、 Safinol 104、Safinol 104E、Safinol 104H、Safinol 104A、Safinol TG、Safinol PC、Safinol 440、Safinol 465、Safinol485(Air Products and Chemicals Inc.製）， Safinol E 1 0 0 4 (日信化學工業（股份）製）等例。 該乙炔醇衍生物之添加量以光阻組成物1 0 0重量％ 中之0·01〜2重量％，更佳者爲0·02〜1重量％ 者。小於0 . 0 1重量％則塗佈性及保存安定性之改善效 果將不足，大於2重量％則光阻材料之解像性降低。 本發明之光阻材料中，除上述成份外，爲提升塗怖性 可任意添加慣用之界面活性劑做爲任意成份使用之。另外 ，任意成份之添加量以不妨礙本發明效果之原則下做一般 量之添加。 其中，做爲界面活性劑者以非離子性者，如：過-氟 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -1^^^· ·11· n Hi·— ml ϋιϋ ·ϋϋ - ^ mu ·ϋ>ϋ、\''口

Lf 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-79 - 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ______ B7 五、發明説明f7 ) 院基聚氧乙烯乙醇、氟化烷基酯、過一氟烷胺氧化物、過 -氟烷基E 0附加物，含氟有機矽氧烷系化合物等例。如 :floraid 「FC-430」、「FC-431」（均爲住友 three M( 股份）製）、Safron「S-141」、 「S-145」（均爲旭硝子（ 股份）製），Unidai「DS-4 01」、「DS-403」、「DS-45 1」（均爲Daikin工業（股份）製）、Megafa CK「F-8151(大日本ink工業（股份）製）、「X — 70 — 092」 、「X — 70 - 093」（均爲信越化學工業（股份）製 )等例。較理想者以floraid 「FC-430」（住友三Μ(股份） 製）、「Χ-70-093」（信越化學工業（股份）製）者。 利用本發明增強化學性正型光阻材料形成之圖形中， 可採以公知之微細加工技術進行之，例如：於聚矽氧晶圓 等基板上以旋壓塗佈等方法使膜厚爲〇.5〜2.Ovm ，將此於熱感光板上以6 0〜1 5 0 °C，做1〜1 0分鐘 ，較佳者80〜120 °C，1〜5分鐘之預前烘乾。接著 爲形成目的圖形之原版飾於該光阻膜上，波長3 0 〇 nm 以下之遠紫外線、exima激光、X線等之高能量線或電子 線之露光量以1〜2 0 〇m J /cm2者，較佳者爲1 0〜 1 0 0 m J / c m 2者照射後，於熱感光板上，6 0〜1 5 0°C、1〜5分鐘、較佳爲80〜120t、1〜3分鐘 進行後烘風乾postexposure bake(PEB)。更使用0.1〜5% 、較佳者2〜3 %之四甲銨氫氧化物（丁 ΜΑΗ)等之鹼溶 液之顯像後，0 · 1〜3分鐘，較佳者〇 . 5〜2分鐘藉 由浸漬（dip)法、puddle法、s p ray法、等常法之顯像 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-80 - ^^裝------、訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •二· 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 後於基板上形成目的之圖形。另外，本發明材料特別是最 適於高能量線中2 5 4〜1 9 3 n m之遠紫外線或 exima激光，x線，電子線之微細圖形製作者。又，若未 於上下限之範圍內者時，將無法取得目的之圖形。 另外，本發明之光阻材料藉由以聚矽氧聚合物做爲基 礎樹脂，因其具優異之氧等離子體腐蝕耐性，因此亦可有 效做爲2層光阻材料之用者。 亦即，依常法於基板上以下層光阻形成厚的有機聚合 物層之後，將本發明之光阻溶液塗佈於其上。上層之本發 明光阻層與上述同法進行圖形形成後，進行腐蝕後下層光 阻爲選擇性被腐蝕，因此上層光阻圖形可形成於下層。 又，下層光阻中，可使用漆用酚醛樹脂系正型光阻， 塗佈於基板上後，於2 0 0 °C下經1小時之hard bake後， 可預防與聚矽氧系光阻之宵氏密煉。 〔發明效果〕 以本發明高分子聚矽氧化合物做爲基礎樹脂之正型光 阻材料感應於高能量線、具優良之感點、解像性，可有效 用於電子線、遠紫外線之微細加工。特別是，於K r F exima激光之露光波長之吸收極小，微細、基板上可簡單形 成垂直之圖形者爲其特徵。又，氧等離子體腐蝕耐性亦優 良、於下層光阻上塗佈本發明之光阻膜後之2層光阻亦以 取得於高形態比下形成微細之圖形者之特徵。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）· 81 · n ! n m、1Tm n n n Lf (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·;. 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 〔實施例〕 以下以合成例、實施例、比較例做本發明之具體說明 ，惟，本發明並非僅限於該實施例者。 〔合成例1〕聚（對-羥基苄基醯倍半含氧酸）之合成 於反應器中置入1，200ml之水，30 °C下攪拌 之同時於2小時內滴入對一甲氧基苄基三氯矽烷 487 · 2g (2 · Omo 1)以及甲苯 600ml 之混 合液後，進行水解。於後藉由分液操作後，去除水層、有 機層使水層爲中性止進行水洗。加入8 0 g之己甲基矽胺 烷於有機層後進行5小時還流。冷卻後，藉由蒸發器餾去 甲苯及未反應之己甲基矽胺烷，再使溶於4 0 0 g之乙醯 腈。6 0°C下滴入三甲基甲矽烷基碘酸鹽之4 8 0 g於此 溶液中，6 0 °C下反應1 〇小時。反應結束後，加水 2 0 0 g後，進行水解，再藉由傾析器取得聚合物層。以 蒸發器去除溶媒後，聚合物經真空乾燥後，取得聚（對-羥基苄基醯倍半含氧酸）330g。藉由GPC(凝膠滲 透色譜法）測定此聚合物之分子量，聚苯乙烯換算爲 Mw=3，500。又，29S i — NMR 之分析中， 一 6 2 p p m起源於S i〇Η基之頂點末能觀測出，因可 確定三甲基甲矽烷基封止S i ΟΗ基。 〔合成例2〕 於2 <之燒瓶中將合成例1所取得之聚（對-羥基苄 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公襲）-82- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ’裝------訂----- 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印t A7 _ B7 ____ 五、發明説明？0 ) 基醯倍半含氧酸）160g溶於1，000J之二甲基甲 醯胺，加入催化劑量之對-甲苯磺酸後，2 0 °C下攪拌之 同時加入19·0g之乙基乙烯醚、6·0g之三乙醇二 乙烯醚。使反應1小時後，以濃氨水中和之，於1 0 <水 中滴入中和反應液，取得白色固體。將此過濾後，溶於 500W之丙酮，滴入1〇 <之水、過濾後，真空乾燥之 。取得之聚合物由1Η-NMR聚（對一羥基苄基醯倍半含 氧酸）之氫氧基之氫原子2 0%被乙氧基乙基化、確定3 %被交聯者（polym_1)。 〔合成例3〕 除以1 ’ 4 一二（乙嫌醚）環己酮5 · 0 g取代合成 例2之三乙二醇二乙烯醚之外，同法取得聚合物。所取得 之聚合物由1Η - NMR使聚（對一羥基苄基醯倍半含氧酸 )之氫氧基氫原子爲2 0%被乙氧基乙基化、確定^ ° <被 交聯者（ρ ο I y m · 2 )。 〔合成例4〕 除以1，4 —二（乙烯醚）環己酮1〇 · 〇g取代a 成例2之三乙二醇二乙烯醚外，同法取得聚合物，㈡ 取得之 聚合物由1H — NMR確定聚（對一羥基苄基酸倍 〜 )氫氧基之氣原子爲19%被乙氧基乙基仆 λ 空亿、4 · 8%被 交聯者（P〇lym.3)。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規掐（210X2^^ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -m-i —^ϋ ml m· i^ni ..HI v v

Lf 591340 A7 B7 五、發明説明y ) 〔合成例5〕 除以1—乙氧基丙烯27 · Og取代合成例2之乙基 乙烯醚之外，同法取得聚合物。取得之聚合物由 1H — NMR確定聚（對—羥基苄基酸倍半含氧酸）氫氧基 之氫原子爲2 0%乙氧基丙基化，2 · 9%被交聯者（ polym.4) 〇 〔合成例6〕 除以1—乙氧基丙烯3 5 · Og取代合成例3之乙基 乙烯醚之外，同法取得聚合物。取得之聚合物由 Η - NMR確定聚（對一經基爷基酸倍半含氧酸）氫氧基 之氫原子爲19 · 5%被乙氧基丙基化，2 · 8%被交聯 者（polym. 5 )。 〔合成例7〕 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 以2，3 -二氫呋喃30 · Og取代合成例2之乙基 乙烯醚之外，同法取得聚合物。取得之聚合物由 1H - NMR確定聚（對一羥基苄基酸倍半含氧酸）之氫氧 基氫氧原子爲19. 〇%被四氫呋喃烯化，3%被交聯者（ polym· 6 ) 〇 〔合成例8〕 將合成例2取得之部份被交聯之乙氧基乙基化之聚（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規桔（210X 297公釐）-84 - 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 kl ___137 五、發明説明？2 ) 對—羥基苄基酸倍半含氧酸）（polym· 1)15 0g使溶於 吼啶1 ’ 2 0 〇 m«中，4 · 5 °C下攪拌之同時，加入6 · 5 g之二碳酸二一第3 - 丁基。使反應1小時後，將反應液 滴入1 0 <之水中，取得白色固體。此過濾後，溶於 500m£之丙酮，滴入彡水中、過濾，真空乾燥之。 取得之聚合物由1Η-NMR確定聚（對一羥基苄基醯倍半 含氧酸）氫氧基之氫原子爲20%被乙氧基乙基化、3% 被交聯者，同時，t— Bo c基化率爲3 · 0%者（polym • 7)。 〔合成例9〜1 3〕 與合成例8同法polym· 2〜6之t — B 〇 c化後，取 得 polym8 〜1 2 〇 〔合成例1 4〕 以N ’ N > -雙（羥基乙氧基碳基）苯烯二胺 2 0 · 0 g取代合成例2之三乙二醇二乙烯醚之外，同法 取得聚合物。取得之聚合物由1 Η - NMR確定聚（對〜殘 基苄基醯倍半含氧酸）氫氧基之氫原子爲18·0%乙氧 基乙基化，1 · 9%被交聯者。 與合成例8同法取得之聚合物經t - Β 〇 c化後，取 得 polym 1 3 0 所取得之聚合物之結構如下式，分別之聚（對一羥基 苄基醯倍半含氧酸）氫氧基之氫原子之取代率如表1所示 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ;裝

、1T 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X 297公f ) - 85 - 591340 A7 B7 五、發明説明P ) 交 內 子 分 或 間 ο 子者 分態 表狀 代之 位基 單聯 記交 下合 以結 爲表 R 代 ， \)/ 中 R 式C 下， ， 者 又基 之 聯

I y)/ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) IT-----Aw 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-86 - 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（#/) 〔表1〕 合成例 poly m. p2 Pi ql q2 M w 2 1 77.0 3.0 20.0 0 4,000 3 2 77.5 2.5 20.0 0 3,800 4 3 76.2 4.8 19.0 0 4,700 5 4 77.1 2.9 20.0 0 3,900 6 5 77.7 2.8 19.5 0 3,900 7 6 78.0 3.0 19.0 0 4,000 8 7 74.0 3.0 20.0 3.0 4,000 9 8 74.5 2.5 20.0 3.0 3,700 10 9 73.2 4.8 19.0 3.0 4,600 11 10 74.1 2.9 20.0 3.0 3,900 12 11 74.7 2.8 19.5 3.0 3,800 13 12 75.0 3.0 19.0 3.0 41,00 14 13 77.1 1.9 18.0 3.0 3,700 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 591340 kl B7 五、發明説明P5 )Polym.l (OSiMe,)y ~[-SiOn-vvz-] ch2

〇(R) (OSiMe3)y

?H-〇C2H5 ch3

H I

H I

R: -C-〇-(CH2CH2〇)3-C ch3 ch3 ▼裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Polym.2,3 (OSiMe3)y

(3-y)/2~ (OSiMe3)y ^ SiO(3-y)/2~j CH2 (OSiMe3)y 〇(R)

Si0(3-； y)/2~ ,ql +q2 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

H I

H ch-oc2h5 ch3 R: -f 一 ch3 ch3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（21〇X 297公釐）-88 - 591340 A7 B7 五、發明説明P6 )

Polym.4 (OSiMe3)y丨. 、 SiO(3-y)/2~j一 I /p!

〇(R) (OSiMe3)y ί- SiO(3-y)/2~) V I /p2 CH2 (OSiMe3)y

SiO, (3-y)/2 ^ ηΙ > q2 〇 ch~oc2h5 ch3

H I

H R: _C—〇一(CH2CH2〇)3—C— I ch3 ch3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Polym.5 CH2

(〇SiMe3)y 〇(R)

SiO(3-y)/2/ I /p2 (〇SiMe3)y SiO,

I (3'y)/27ql+q2 -裝------訂----- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 CH-OC2H5 ch3 Η H R:—〒一〇一CHH^^>~CH2—〇一 έ 一 CH3 ch3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-89 - 591340 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明θ )

-Η3 HIC—α 3 2 Η 2C Η (c τ 〇3v-c-lCH R: (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-90· 591340 kl B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、發明説明郎）

Polym.7 (OSiMe,)

(OSiMen)y —^SiO(3 y)/2~ CH2 〇(R) (OSiMe山 Sl〇(3-y)/2~ ch2

CH-OC2H5 ch3

H I

H R:-C-〇-(CH2CH2〇)3-C- ch3 ch3

Polym.8,9 (OSiMe3)yI. 、 SlO(3-y)/2 j

〇(R) (〇SiMe3)y —^SlO(3-y

H R:-C-〇-CH2 ch3 -y)/2 〇 (〇SiMe3)y I. x SlO(3-y)/2 /

CH-OC2H5 ch3 H CH2-〇—C— I ch3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規桔（210X 297公釐）-91 (OSiMe 山 -(-SiOa.y)^ CH2

ch3 I 〇一〇〇一〇〇h3

II ch3

0 一 C一〇—C一 CH3 II I 〇 ch3 591340 A7 B7

五、發明説明❻9 Polym.lO (OSiMe,)y I. ) SlO(3 y)/2~

〇(R) (OSiMe3) y)/2

(OSiMe3)y \丨 /« ch2 (OSiMe 丄 i~ SiO<3 y)/2~

〇 I CH-OC2H5 ch3 ch3 〇一〇一〇一〇一ch3 II I 〇 ch3

H

H R: —C_〇_(CH2CH2〇)3—C— CH3 ch3

Polym.ll (OSiMe3)y

SiO, (3-y)/2 〇(R) (OSiMe3)y ί* SiO(3-y)/2~}" V I /f ch2 (〇SiMe3)y

SiO(3-y)/2~ I CH2

〇一 c-〇一 c 一 ch3 II ch3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ch-oc2h5 ch3 Η H R: -C-Q-CH2~~^ CH2~0-*C- ch3 ch3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐）-92 - 591340 A7 B7 五、發明説明％

Polym.12 (〇SiMe3)y ^ SiO(3-y)/2~j CII2 (OSiMe3)y I* SiO(3-y)/2~j CH2 (OSiMe3)y ( SiO(3-y)/2~] ch2

〇(R)

OH

(〇SiMe3)y ^ SiO(3-y)/2-j CH2

ch3 〇

〇一〇一〇一〇~C

II ch3

H

H R：-C-0-(CH2CH20)3-C~ ch3 ch3

Polym.13 (〇SiMe3)y ^ SiO(3-y)/2~j CH2

〇⑻ (OSiMe3)y SiO(3-y)/2~j CH2 (〇SiMe3)y ^ SiO(3-y)/2-j CH2 --------衣------訂— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ · ·

OH

(OSiMe3 I" SiO(3-y)/ CH2

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 〇 I CH-〇C2H5 ch3 H丨C-丨Η ΗIcIH 0--3 hi-c-ich R· NIH I 〇HC I 〇

〇 I one I NIH

H—YIC 〇 HIc-IH HICIH 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-93- 591340 kl B7 -- -— ____________—___ ______ 五、發明説明P1 ) 〔實施例、比較例〕 以該合成例取得之聚合物（polym 1〜13)做爲基礎 樹脂使用，於下式（PAG· 1〜7)所示之酸氧化劑下 式（D R R · 1〜6 )所示之溶解抑制劑，鹽基性化合物 示於表2〜4之組成丙二醇單乙醚乙酸鹽（PGMEA)、丙 二醇單乙醚乙酸鹽/乳酸乙基（PGMEA/EL)、二乙二醇 單甲基醚（PGLM)中溶解後，調合光阻材料、更將各組成 物以0 · 2 // m之特氟隆製濾器過濾之後，分別調製光阻 液。 另外，爲做比較，以下式（polym 1 4，1 5 )所示之 聚合物做爲基礎樹脂使用之後與上述同法調製光阻液。 將取後之光阻液於聚矽氧晶圓上進行旋轉塗佈，使成 0 · 4/zm之厚度。再將此聚矽氧晶圓以熱感光板於 1 0 0 °C下烘烤9 0秒鐘。將此以exima激光Stepa(Nicon 公司、NSR— 2005EX8A，NA = 0 · 5)曝光後 ，1 10 °C下進行90秒烘乾，以2 . 38%之四甲銨羥 基之水溶液進行顯現，取得正型圖形。取得光阻圖形進行 如下評定。結果示於表2〜4。 經濟部中央標準局員工消費合作社印f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 評定方法： 先求取感度（Eth)。再將0.24// m之底線空隙以1:1 解像之曝光量做爲最適曝光量（Εορ)，此露光量中做成評定 分離之底線空隙之最小幅度之光阻之解像度。解像之光阻 圖形之形狀以掃描式電子顯微鏡進行觀察。另外，於掃描 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-94 - 591340 A7 __ _____ 五、發明説明P ) 式電子顯微鏡下測是0 · 2 5 // m底線空隙之凹凸（edge rough-ness) 〇 由表2〜4之結果確定本發明化學增強性光阻材料爲 高解像力與無凹凸（edge roughnessn小）圖形者。 (PAG.l) a ·ϋϋ it In— ·ϋ^ n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

(PAG.4) (PAG.5) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-95 ~ 591340 A7 B7 五、發明説明P3 )

HaC 〇 N20 CH3

I II || II I

CH3CH2-C-S-C-S~C-CH2CH3 I » ii I h3c 0 0 ch3 (PAG.6)

CH H3Cv ch3

N N I 0 一 S〇2 hQ>~CH3 (PAG.7)

Me t—Bu〇C—CH2CH2Si—〇一SiCH2CH2—C〇t 一 Bu .· I II Me 〇

Me (DRR.l) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Me Me3Si〇(SiO)6SiMe3 I CH2 I ch2 I 0〇〇t 一 Bu (DRR.2)

Me^ ^CHzCHaCOOt-Bu Si-0 Me 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 t - Bu〇CCH2CH2 9A \J· 0 . S、 Me ^ XCH2CH2COOt-Bu (DRR.3) t)—Sf

Me CH2CH2C〇〇t 一 Bu ch3 ch3 ch3 CH3+〇f 〇+CH3 ch3 0 ch3 〇 ch3 (DRR.4) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公f ) -96- 591340 A7 B7 五、發明説明P4 ) 喻祕 H3 ^η3 /ρττ \v~f I Ηζ)2 CH3 COO-CH〇CH2CH3 ch3 (DRR.5) -cii2-ch-

N 〆-ch2-ch n

\ o och-oc：h5 I ch3

OH o (DRR.6) v/(v+w)=0.09 重量平均分子量3,000 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Polym.14 (〇SiMe3)y * y)/2' -SiOo- I CH2 (0SiMe3)y I* SiO(3-y)/2- '0.8

〇 ch2

OH

Mw = 3,200 CH-OC2H5 ch3 —.m nil— mi —ϋ —.mi an—— 一*I j ml -- I ϋϋ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

Polym.15 (〇SiMe3)y (〇SiMe3)y (〇SiMe3)y (3-y)/2 -SiO I CH2

〇 Ό.19

SiO(3-y)/2~ ch2

(3-y)/2 •SiO, I ch2

OH '0.78

Mw = 3,100 CH-〇C2H5 I CH3 〇 I c=o OC(CH3)3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公烚）-97 - 591340 jr A7 B7 五、發明說明（96 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實 施 例 光阻材料[括弧內:組成比(單位:重量份)} 感度： Eth(mJ/cm2) 解像度 (//m) 外形 邊緣粗 糙度 基礎樹脂 酸產生劑 溶解抑制劑 鹼性化合物 溶媒 19 Polym.l (80) PAG.5 (4)) - - PGMEA (600) 15.0 0.22 矩形 平滑 20 Polym.l (80) PAG.6 ⑷ - - PGMEA (600) 16.2 0.22 矩形 平滑 21 Polym.l (80) PAG.7 ⑷ - - PGMEA (600) 12.0 0.24 少許突 起 平滑 22 Polym.l (80) PAG.l ⑷ DRR.1 (15) - PGMEA (600) 9.3 0.20〉 矩形 平滑 23 Polym.l (80) PAG.l ⑷ DRR.2 (15) - PGMEA (400) 9.4 0.20> 矩形 平滑 24 Polym.l (80) PAG.l ⑷ DRR.3 (15) - PGMEA (400) 9.6 0.20 矩形 平滑 25 Polym.l (80) PAG.l ⑷ DRR.4 (15) - PGMEA (400) 9.3 0.20 矩形 平滑 26 Polym.l (80) PAG.l ⑷ DRR.5 (15) - PGMEA (400) 9.4 0.22 矩形 平滑 27 Polym.l (80) PAG.l ⑷ DRR.6 (15) - PGMEA (400) 9.2 0.20 矩形 平滑 28 Polym.l (80) PAG.l ⑷ - TMMEA* (0.1) PGMEA (400) 18.0 0.20> 矩形 上層堅 實平滑 29 Polym.l (80) PAG.l ⑷ - TMMEA* (0.1) PGMEA (400) 16.0 0.22 矩形 上層堅 實平滑 30 Polym.l (80) PAG.l ⑷ - 三乙胺(0.1) PGMEA (600) 20.0 0.20> 矩形 上層堅 實平滑 31 Polym.l (80) PAG.l ⑷ - N-甲基吡咯烷 醜 0.05) PGMEA (600) 12.0 0.22 矩形 上層堅 實平滑 32 Polym.l (80) PAG.l ⑷ DRR.1 (15) 喳啉(0.05) PGMEA (600) 13.1 0.22 矩形 平'滑 33 Polym.l (80) PAG.l ⑷ 三乙胺（0.1 )哌啶乙醇（ 0.05) PGMEA (600) 22.5 0.20> 矩形 上層堅 實平滑 34 Polym.l (80) PAG.l ⑵ - 三丁基胺(0.1) PGMEA (600) 19.5 0.20 矩形 平滑 35 Polym.l (50) Polym.l 5 (30) PAG.l ⑷ PGMEA (600) 9.2 0.22 矩形 平滑 ★TMMEA:反{ (2—甲氧甲氧基）乙基}胺 ★★TMEMEA :反〔2 — { ( 2 —甲氧乙氧基）甲氧基}乙基胺 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 99- _裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項@寫本頁) ， > < 礓 Μ 591340 A7 B7 五、發明說明（97 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔表4〕 比較例 光阻长 f料[括弧內:組成比(單位:重量份） 感度:Eth 解像度 外形 邊緣 基礎樹脂 酸產生劑 溶解抑制 鹼性化合 溶媒 (m J/cm2) (/zm) 粗糙 劑 物 度 Polym.14 PAG.1 - - PGME 9.1 0.22 矩形 鋸齒 1 (80) ⑷ A 狀粗 (600) 造 Polym.14 PAG.1 - N—甲基 PGME 12.0 0.24 圓頭 圓頭 2 (80) ⑷ 吡咯烷酮 A 形 及鋸 (600) 齒狀 粗造 Polym.15 PAG.1 - - DGL 9.3 0.22 矩形 鋸齒 3 (80) ⑷ Μ 狀粗 (600) 造 --------訂---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) > · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -1 〇〇 - 591340 A7 B7 五、發明説明:、*續 〔實施例3 6〕 於聚矽氧晶圓之下層光阻材料以OFPR8 0 0 (東 京應化公司製）塗佈爲2 · 0//m之厚度，於200°C下 加熱5分鐘，使硬化之。此下層光阻膜以實施例1之光阻 材料同法塗佈成厚度約爲0 . 3 5 // m後，進行預前烘乾 。再經K I* F exima激光露光進行顯像，於下層光阻膜上形 成圖形。此時，可取得針對下層光阻膜時爲垂直之圖形者 ，並未出現垂角。 再於平行平板型濺射腐蝕裝置下以氧氣做爲腐鈾氣進 行腐蝕。下層光阻膜之腐鈾速度爲150mm/mi η， 而本光阻膜爲3 nm/m i η以下。藉由1 5分鐘腐蝕後 ，未覆蓋於本光阻膜部份之下層光阻膜完全消失，形成2 // m以上厚度之2層光阻圖形。此腐鈾條件如下所示。 氣體流量：5〇sccm，

氣體壓力：1.3Pa， r f 會g : 5 0 W ， dc 偏壓：450V -衣------訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 · 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 591340 A8 B8 C8 D8 籍... 、申請專利範圍 L 一^ …一一一' 第871 03404號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國92年12月12日修正 1 · 一種高分子聚矽氧化合物，其特徵係具有苯酚性經 基、此苯酚性羥基之氫原子之一部分被至少1種酸不安定基 取代之高分子聚矽氧化合物，在剩餘之苯酚性羥基之一部分 中，再於分子內及/或分子間以具有C -〇-C基之交聯基 交聯之重量平均分子量5，000〜50，000， 其中具有如下述一般式（1 )之重覆單位之高分子聚砂 氧化合物之苯酚性羥基之一部分之氫原子被酸不安定基部份 取代，且，剩餘之苯酚性羥基之一部分與獨醚化合物或鹵化 烷醚化合物反應所得在分子內及/或分子間以具有 C - 0 _ C之交聯基交聯，該酸不安定基與交聯基之合計量 爲超過苯酚性羥基之總氫原子之平均〇莫耳％，且爲δ 0莫 耳％以下， 裝------"訂----線 (請先閲囀背面之注意事項再填寫本頁) · h · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

   (OSiMe3)y (1) (式中，Me爲甲基、X爲1〜5之整數，y爲 0 · OOlSySO · 05之正數，z爲1〜3之整數） 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210 X 297公釐） 591340 A8 B8 C8 D8、申請專利範圍 其中具有以下述一般式（2 )表示之重覆單位之高分子 聚矽氧化合物之R所示之苯酚性羥基與烯醚化合物或鹵化烷 醚化合物反應所得之分子內及/或分子間以具有C -〇- C 基之交聯基交聯， 〔化2〕

   m% (OH)〇 (CH2)z fHl·. -SiOn.^一 一 (〇SiMe3)y (0SiMe3)y (2) (請先閲,背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，Me爲甲基、R爲羥基或OR1基，至少1個爲羥 基者，又，R1爲酸不安定基，m爲〇或1〜5之整數、η 爲1〜5之整數，m+n$5之數，X爲1〜5之整數，y 爲0.OOlSySO·05之正數、z爲1〜3之整數， p、Q爲正數，P + Q = l之數）， 其中具有以下述一般式（3 )表示之重覆單位之高分子 聚矽氧化合物之R表示之苯酚性羥基之氫原子去除後，其氧 原子爲以具有下述一般式（4 a )或（4b)所示之 C -〇-C基之交聯基於分子內及/或分間被交聯， 〔化3〕 、1T -線 本紙采尺度適用中國國家標準（CNS)A4说格（210x 297公釐） 591340 ABCD 申請專利範圍

   0 - (ciu-〇〇-R5) H Jn 〇 (〇H)„ (CH,): 卜 Si〇t3-y)/2十· \ I /Ql * SiO〇-y>/2"V ‘ I /c (OSiMe3)y (cm -1* Si〇丨3->wj (〇SiMe3)y (〇SiMe3)y. (cm

   (OSiMe3)y 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (3) (式中，Me爲甲基，R爲羥基或OR1基，至少1個爲羥 基，又，R1爲酸不安定基’ R2、R3爲氫原子或碳數1〜 8之具直鏈狀、分枝或環狀之烷基，R 4爲碳數1〜1 8之 可具有雜原子之1價烴基，R2與R3、R2與R4，R3與 R4可形成環、形成環時，r2、R3、r4分別爲碳數1〜 1 8之直鏈狀或分枝之伸烷基，R5爲碳數4〜2 0之3級 烷基，各烷基分別爲碳數1〜6之三烷基甲矽烷基、碳數4 〜2 0之氧基烷基或—CR2R3〇R4所示之基，p1、 P2爲正數、Q1、Q2爲0或正數、OSpi/Cpi + P2 + q 1 + q 2 ) ^ 0 · 8、O^q1/ (ρ^ρ^α^ . q 2 ) ^ 0 · 8、O^P^Cp^P^q^Q2) ^ 0·8、pi + ps+Ql+Q2:]·之數，而 Q1 與 Q2 不會 同時爲0，a爲0或1〜6之整數，m、η、X、y; Z分 別與上述意義相同，）. 〔化4〕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) μ说格（210X 297公釐） 591340 AB^CD 六、申請專利範圍 IT’ Rr, ~C-<0-R〇r0-A [-0~(R^0)d-CV (，J a) R7 R7 R6 R6 I I 一C一〇一R*—B—A [——(4b) R7 R7 (式中，R6，R7爲氫原子或碳數1〜8之直鏈狀、分枝 或環狀之烷基，或，R6與R7亦可形成環，形成環時，R6 、R7爲碳數1〜8之直鏈狀.或分枝之伸烷基，R8爲碳數 1〜10之直鏈狀、分枝或環狀之伸烷基，d爲0或1〜 1 0之整數，A爲碳數1〜2 0之直鏈狀.，分枝或環狀之伸 烷基，烷基三基，烷基四基或碳數6〜3 0之伸芳基，這些 基亦可介於雜原子，又，鍵結於碳原子之氫原子之一部分被 羥基，羧基，醯基或氟原子取代，B爲一 CO - 0-、· -NHC〇一〇一或 NHCONH-。 2 ·如一種增強化學性之正型光阻材料，其特徵係由（ A ):有機溶劑、（B ):基礎樹脂爲申請專利範圍第1項 之高分子聚矽氧化合物，（C ):酸發生劑所組成者。 3 .如申請專利範圍第2項之增強化學性正型光阻材料 ，其中更配合（D ):溶解抑制劑者。 4 ·如申請專利範圍第2項或第3項之增強化學性之正 型光阻材料，其中更配合（E ):做爲添加劑之鹽基性化合 物者。 5 ·如申請專利範圍第2或3項之增強化學性之正型光 本紙張尺度適用中國標準（CNS ) A4说格（2丨0X297公釐) ~ ^ 一 ~ ' (請先閲脅背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 591340 ABCD 々、申請專利範圍 阻材料’其中更配合（F):與（B)成份相異之另種基礎 樹脂··具有以下述一般式（1 )表示之重覆單位之高分子聚 石夕氧化合物之苯酚性羥基之氫原子藉由1種或2種以上之酸 不安定基以平均爲〇莫耳％以上8 〇莫耳％以下之比例下部 份取代之重量平均分子量3，〇〇〇〜300，〇〇〇之高 分子聚政氧化合物， 〔化6〕

   —^*SiOl3-y)/2-j- (OSiMe〇)y (請先聞脅背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，Me爲甲基、χ爲1〜5之整數者，y爲 0 · OOlSySO · 05之正數、z爲1〜3之整數）。 6 _ —種圖形之形成方法，其特徵係含（i )以如申請 專利範圍第2〜5項中任一項之增強化學性正型光阻材料塗 佈於基板上之工程與（i i)再經加熱處理後介於相片原板 波長3 0 0 n m以下之高能量線或電子線之曝光工程以及（ 1 i i )必要時，加熱處理後，以顯像液進行顯像之工程者 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) AUt格（2丨OX29?公釐） 線