TW589391B - Process for vacuum treating workpieces, and corresponding process equipment - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 589391 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明係關於根據申請專利範圍第1 ，2 , 3或4等 項之鼷性說明，真空處理工件之方法K及關於根據申請 專利範圍第15, 16, 17或18等項之屬性說明，相對應之 處理設備。 一組的數種工件隨後稱為”成批”。 同時真空處理整個成批工件已被知長久時間。傳統程 序是將”成批”裝載入一真空室中，泵減該真空室及將該 ”成批”在真空室中處理。在處理過程後，將真空室通風 ，開啟並移出經處理之”成批”。 此程序受限為各種方法，其中可連續實施分批處理， 通常在通常氣壓下具有中間階段。此乃意指：此種分批 處理不可實行於工件，其需要一系列的真空處理步驟， 所有或大部份的此等處理步驟必須達到嚴格之清潔條件 。關於此型的重要處理序列，已發展出不同之處理技術 ,其中將工件通過一真空鎖而裝載，且不須留下後者， 使各工件歷經一系列之處理加工步驟，例如所有已知之 真空工程版本中之塗覆過程包括CVD, LPCVD, PECVD, PVD K及蝕刻過程，清潔過程，加熱或冷卻過程。 舉例而言，自美國專利案5,344,542, —種所熟知之 解決方式是將來自負載鎖給料斗站之工件經由一涸中央 配置之真空輸送室而提供至數個相連接之處理站，為了 此項目的，使用一運輸機器人在輸送室中，為了將通過 輸送室之各處理站中個別處理步驟間之交叉污染減至最 低，可將各處理站藉閥，相對於該輸送室予K真空隔離 一 3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公处） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T it 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 589391 ΑΊ Β7 五、發明説明（2 ) 。工件係經由輸送室予Μ個別輸送至所意欲之處理站。 如果要滿足不同型式的處理站，特定的要求側附至此 輸送室，則此現象亦導致關於時間序列之不同要求，基 於此，涸別工件必須進行通過個別處理站，且亦關於在 相對應之處理站上，個別工件所歷經之處理時間。為了 達成於使個別工件歷經所意欲之處理時的彈性，美國專 利案5,3 44,542號亦建議使機器人配置與過程控制器相 互作用，在此時，可Κ自由界定由機器人設備服務處理 站之所需要之時間序列。 亦自美國專利案5,019,233號所得知者是應用單一工 件處理原理於真空狀況下之極複雜且重要之工件處理， 且特別應用於對於污染極為敏感之各處理步驟，如關於 美國專利案5,344,542所討論者。然而，經公認者：在 將各工件負載入一個輸入鎖中後，必須首先將工件調節 ，即：Κ如此一種方式，將它脫氣以便隨後，彼等不會 引入所吸收之外面氣體作為污染而進入極重要之過程中 。根據美國專利案5 019 233,如果當將工件通過真空 鎖而負載時，實胞工件的此項必須調節，則需要相當長 之調節時間。該真空鎖變成處理序列的最慢之元件且顯 著限制相對應處理設備的物料過量。 該問題以如此方式予Κ解決，即：並聯操作兩個負戟 鎖。將一工件成批輸送入第一負載鎖，於該處將它調節 ，隨後轉移至第二真空鎖中。自第二真空鎖，將工件一 次一個經由中央輸送室而分配至適當處理站，再在使用 一4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公嫠） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 衣. 、1Τ 經漓部中央標準局員工消f合作社印^ 589391 A7 B7 五、發明説明（3 ) 人可選擇之序列中，同時已經將下一個成批負載並在第 一真空鎖中予以調節。關於在處理站中，序列極精緻處 理步驟，仍遵循前述之單一工件處理過程。僅將通過真 空鎖之負載及關於調節Μ及關於卸載工件分類成為各批。 根據歐洲專利案〇 608 620,係遵循相似程序。基本 上，亦係使各工件歷經個別，重要真空處理步驟的複雜 序列。又在此情況下，仍維持以分批模式裝載和卸載工 件通過真空鎖並使工件個別歷經各種處理步驟的前逑槪 念0 根據該專利申請案，欲處理薄玻璃基體。如果將此類 基體曝露於突然溫度改變，據該存在著剌烈破裂問題。 然而，如果將此類玻璃基體，以單一工件處理模式，予 Μ個別加熱和逐漸冷卻，則整個系統的產量顯著減少， 如美國專利案5,019,233中正逑及。如在美國專利案 5,019,233的實例中，此處亦仍然是最緩慢的步驟，即 :仍然是Κ分批模式以實施逐漸加熱和逐漸冷卻。此外 ，此等是毋寧不重要之處理步驟。亦根據此專利案，將 一批的工件通過真空鎖而裝置，然後，將經裝載之”成批” 緩慢加熱作為加熱站中之一個”成批”。然而，隨後，將 此等工件個別輸送至各個處理站，然後在出口室予Κ收 集成為一個”成批”，在將彼等卸載至大氣中前，於出口 室中，將彼等緩慢冷卻。 如可見，個別地需要一複雜處理步驟的序列Μ處理每 一工件的槪念，即一次一工件，此槪念須有系統地被遵 -5 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公犮） ；-----:__ ΙΨΓ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 、-口 S, 589391

7 B \^/ 4 /{\明説明發 Λ五 於個 關僅 : I 即 件,Η 思之 意貴 的昂 行當 流相 是之 亦理 一 處 之欲 因及 原列 要序 主雜 的複 此的 了驟 為步 oJl 循處 ，害 制-損 控制 及限 Κ , 制時 控障 的故 適理 合處 理若 處 ， 於且 對而 成 ， 達列 於序 合理 適處 理製 處複 件和 工控 別監 國 〇 德 件之 工知 數熟 少所 於於 及至 只 案 請 申 利 專 個 1 第 是 Η 一 將為 應作 0 且 不而 中載 程卸 過和 理載 處裝 件而 Η 鎖 緻空 精真 極過 等通 此 ， 在式 亦模 : 枇 議分 建 Μ 其件 批 成 31一 理 處 個種 室 Κ 送 ， 輸站 央理 中處 至各 供在 提並 ,站 自 批 成 各進 至更 供 了 提為 等。 彼理 將處 ,以 處予 該1 作 或 操 法 同 方 相 的 或 到 同 提 相 所 個 後 數 最 作 於 操 似 聯 類 3J 可 發 , 本 量 ， 料 面 通 方 料 點 物。特 加站一 增理第 步處在 一 之 裝明 而發 鎖本 空 。 真站 過理 通處 ，同 式相 模個 批數 分至 Μ供 件提 工聯 將並 ，並 述送 所輸 上 ， 如載 。 卸 統和 系載 予各 給列 性下 彈在 應至 適甚 的率 度產 程生 高高 之之 列時 序理在 理處 ， 處件況 同工情 不持等 合保此 適時於 將同： 是，下 的法況 目方情 的此種 内Κ 構 架 的 性 彈 之 要 需 所 -----1 II |寶丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁

'1T 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 。 理 施處 實面 列表 序中 雜其 複在 Κ 件 驟工 步將 HE /V 理 處用 之使 岐供 分可 為站 極空 ，真 要個 i 1 S 1 極少 將至 須當 必 處工 藉出 可取 作和 操給 此進 則 ， ，器 蝕制 侵控 或理 覆處 塗此 K 過 予通 式 ， 模現 批實 分 K K予 : 器 即制 ，控 時理 制 控 間 時 的 件 Η 出 取 或 給 進 的 站 空 真 之 應 對。 相定 從界 和由 至自 件可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公犮） 589391 A7 B7 五、發明説明（5 ) 此與一般流行的意見不同，此一流行的意見是，分批 處理工件是無法有效地執行，即使是用彈性，可選擇且 不同的處理步驟。而本發明是要藉由對於高度複雜的處 理序列之可界定的處理步驟序列而達成分批工件之有效 處理。 根據本發明之方法及各自根據申請專利範圍第1項與 第15項之相對應處理設備，能使用相同基本設備來選擇 性使各種不同分批處理方法或根據使用人規格之處理序 列成形，或甚至依照個別產物系列的須求而成形。使用 相同基本分批形構且不顧所產生之高物料通過量，可達 成僅適合單一工件處理系統所熟知之形構彈性優點而因 此，實施各處理步驟變得可能，尤其Μ分批模式之處理 步驟序列，在過去，它是單一工件處理的獨特領域。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 假定一種且相關糸統的應用彈性，本發明的第二特點 係基於以下見識：如果將兩個或數個真空站安裝在一處 理糸統上，依照前述之概念，將工件Κ ”成批”形式裝載 入此等真空站中，可發生下列情況：基於其型式和執行 的努力一個或另一個所安裝之真空站上之成批尺寸應小 於另一真空站上者。 在這一方面，參考美國專利案5,590,994 。關於自此 專利|申請案所得知之該系統，就此種意義來說，第一真 空站是輸送站，特徵為支持該批的工件之輸送旋轉式輸 送帶。在將工件自輸送旋轉式輸送帶該批轉移至隨後之 輸送機器人前，（自該機器人，將彼等Μ單一工件模式 -7 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規桔（210Χ 297公犮） 9 .1 3 9 8 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 A7 B7 五、發明説明（石） ，供應至估別處理站），將彼等經由前者存積在大的諝 理室中。此處，較在前述之輸送室中，可容納多得多的 工件’’批"。將該調理室循環操作，卽：將一工件自該 輸送室嵌入調理室中，而在同時，取回先前已調理之工 件。此方式顯示：已經在該專利申請案中，業已了解： 仗用分枇模式真空站可以極為有利，此等真空站容納不 同大小的”分批”。然而，如所述，不同分批大小的兩値 真空站間之處理以及輸送僳以單一工件模式予以實施^ 在此第二特點下，本發明条統的目的在修改前述型式 之方法（在前述型式中，總是提供不同分枇大小的至少 兩個真空站），以致較使用在所已知条統中所實施之單 一工件轉移和處理方法，獲得較高之整個条統的物料通 過量。關於申請專利範圍第2項之方法和申請專利範圍 第16項之設備，此乃經由以分批模式，實施輸送至及/ 或自容納不同分批大小之各站予以實現，即：並非一次 一個工件至或自各站而是同時具有數個工件，即：一個 輸送分枇。 基於所安裝之真空站型式，此方式保留處理不同分批 大小之可能性，同時仍糸統式遵循分枇處理原則。以此 種方式，舉例而言，可將經設計成為真空鎖之真空站設 計適合極大分枇並此輸送機器人將真空鎖分批中之一較 小分批移去，如同是一部份，並將其輸送至相對醮之處 理站，其設計的方式是，並非此真空鎖分批所有的工件 可以同時被處理。 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ;裝· 訂 589391 A7 B7 經漓部中央標準局貝工消費合作社印^ 五、發明説明 ( 7 ) 1 1 I 如 ! 稍 後 將 予 解 釋 9 本 發 明 的 另 外 步 驟 是 亦 變 更 在 處 理 1 1 控 制 下 之 每 一 所 輸 送 之 分 批 的 大 小 > 在 具 有 容 納 不 同 分 1 1 批 大 小 之 數 個 真 空 站 之 % 統 中 摯 它 給 予 使 全 部 處 理 序 列 η 1 最 適 化 之 可 能 性 $ 即 1 作 為 分 批 源 之 一 個 函 數 白 它 9 閱 讀 1 背 1 必 須 完 成 一 輸 送 至 特 定 巨 的 地 分 批 〇 如 申 請 專 利 範 圍 第 面 之 1 3 項 及 第 17項 所 各 別 說 明 9 本 發 明 的 一 個 特 點 9 偶 爾 會 注 意 事 1 1 出 現 ”分批大小” 9 因 此 單 工 件 模 式 是 可 被 控 制 的 〇 項 再 在 本 發 明 之 此 第 三 特 點 下 9 其 巨 的 在 獲 得 最 大 應 用 彈 填 寫 本 # 性 Μ 及 最 適 宜 物 料 通 過 量 舉 例 而 _ν· > 基 於 美 國 專 利 案 頁 、^〆 1 5, 590 , 994 而 知 道 關 於 具 有 不 同 分 批 大 小 之 真 空 站 5 I 可 提 供 具 有 如 此 不 同 分 批 大 小 之 至 少 兩 個 真 空 站 使 用 1 1 I 一 個 真 空 站 來 裝 載 及 / 或 卸 載 然 而 f 相 同 所 輸 送 之 分 1 訂 批 大 小 並 不 最 適 宜 0 舉 例 而 9 如 果 設 計 欲 被 裝 載 之 一 1 1 個 真 空 站 適 合 分 批 大 小 為 九 而 第 二 者 設 計 適 合 分 批 大 1 1 1 小 為 十 9 則 顯 然 可 見 一 個 且 相 同 蓮 送 分 批 大 小 ( 它 可 1 1 能 是 三 或 五 ) 並 不 適 合 於 供 一 兩 個 真 空 站 予 剛 性 使 用 1 扇 〇 在 此 特 點 下 9 本 發 明 依 照 申 請 專 利 範 圍 第 3 項 之 文 乎 t 9 建 議 在 包 含 至 少 兩 個 真 空 站 之 工 件 處 理 方 法 中 ( 各 1 I 真 空 站 中 $ 工 件 係 K 分 批 予 容 納 ) t 為 了 裝 載 和 卸 載 1 I 具 有 工 件 分 批 之 此 等 真 空 站 > 可 控 制 其 大 小 〇 如 果 供 應 1 1 此 等 兩 站 9 舉 例 而 9 經 由 相 同 輸 送 機 器 人 9 則 舉 例 而 ! > 經 建 議 提 供 適 合 後 者 之 設 備 9 就 每 一 操 作 循 環 而 論 Γ » 通 過 此 設 備 $ 可 K 控 制 經 由 機 器 人 所 檢 拾 之 工 件 的 數 1 巨 〇 1 I -9 1 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（8 ) 根據此特點所設計之系統列載於申請專利範圍第17項 中 0 此處亦宜，該輸蓮分批大小序列，藉處理控制器而自 由可界定，或基於各種參數（例如，站分批大小和處理 步驟序列）經由一控制器予Μ最適化。 如上所述，可實行將輸蓮分批大小減少成為單一工件 ，如果需要此項操作的話。 經满部中央標準局貝工消费合作社印繁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在本發明的第四特點下，經承認：如果使用一種且栢 同基本設備形構來建造不同之總體形構，則應留意：如 第三特點下所討論者，亦可設計真空站適合不同之分批 大小。根據申請專利範圍第4項和第18項之文字，經建 議：各個站分批的工件數目應經由處理控制器自由可界 定。舉例而言，如果將具有分批大小為10之一真空站安 裝在輸送室的工件開口之一上，及具有站分批大小為5 之真空站安裝在另外工作開口上，則根據本發明，可將 此迅速容納，因為給予處理控制器Κ各個情況為基礎之 資訊（係關於在相對應之工作開口上，所預期之站分批 大小）；然後該控制器可計算最適宜輸蓮分批大小成為 固定或可變之數量。 在所有其特點下，關於該方法之本發明的其他較佳設 計版本列載於申請專利範圍第5至14項中，而根據本發 明，設備的較佳設計版本則列於申請專利範圍第1 9至2 5 項中。 若必須，將至少一些所安裝之真空站Κ如此方式予Κ 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（9 ) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 驟理顯例， 予 統於 方個 經示 敘由 經.，計 步 處作舉形 明 系務 之兩 站的 所經 ，題設 理 於 Η 者成 說 種服 明少 個端 明站；面主外 處 合，後和 例 一站 發至 一一 發各制截的另 別 適碟而削 舉 之空 本的 自另 本的控的明的 個別磁，切 之 明真·，據小 ，至 由小 Μ 統發作 染特體件屬 例 發批上根大 法送 經大予系本工 污備憶工金 實 本分器用批 方輸 據批間一是統 , 設記維於 作 據將制採分；之} 根分期第它系 者之，三用 充 根，控，站務明站 ，站理之 ，之 他 應圓和其。由 ，中理圖同服說衝 圖同處明統法 其 對晶面尤層經 式其處幅不 Κ 例緩 意不在發系方 由 相體平，塗明 形，在一有予舉作 示有小本型本 經 及導維具護發：之法定之具小所充 之具大據線據 除 Μ 半二 Η 保本示圖方界圖，大中ί 圖中其根之根 排法其，,耗之顯列種由 1 中批圖站 1 其,，法 ， 使方尤上件磨下等序一自第其分 2 理 第，務圖方匾 Μ之，本組積點此意之被於，蓮第處 於統服意該意 離 明碟基器沉特。示明可似統輸於分 似系 Μ 示據示 隔。發磁，機於其釋呈發列類系同基之.，類的予係根係 空性本件片括用有解圖本序圖種不圖外法圖法批圏為圖 真能—據 Η 基包，所後 1 據之 2 一由 3 另示 4 方分 5 成 6 互可根面之言如在隨第根中第的經第一表第之送第計第 相之 平示而例Κ或其 法站 由意 述輸 設 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（1〇) 版本，它是本發明的主題； 第7匾係示意圖，根據第6圖之一種系统的部份縱視 圖； 第8a圆可使用於第6圖與第7圖中所示之該型系統中 之運輸機器人設備的另外設計版本； 第8b,8c,8d圖此型的機器人設備的另外設計版本，適 合自由可變更之輸蓮分批大小（第8b圖），適合自由可 變更之節距寬度（第8c圖），用Μ聯合執行自由可變更 之節距寬度選擇和自由可變更之輸蓮分批大小選擇（第 8d 圖）； 第9圖係根據本發明主題之方法，而作業之系統的另 外設計版本之示意圖，其中各”成批”係在分批匣中予Μ 處理； 第1 0圖係示意画，特別適合於三維工件例如工具之分 批匣的設計販本，及 第11圖係根據本發明主題之方法而作業之条統的另外 設計版本之頂視圖。 經滴部中央標準局貝工消費合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1圖中，它是示意序列圖，顯示：根據本發明第一 特點之第一程序的原理。 工件之複雜真空處理方法，其中已經處理步驟例如， 通過真空鎖之蓮輸裝載和卸載以及CVD , PECVD, LPCVD ,PVD等處理可在此處無關之序列中予Κ實施者予Μ槪 述於第1圖中，子處理方塊1中。將至少一另外部份的 整個方法在至少兩個示意表示之真空處理站3a與3b中實 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（11 ) 施。舉例而言，兩處理站3a與3b可能是，CVD , PECVD, L P C V D , P V C塗覆站，蝕刻站，清潔站等，予以設計Μ便 接受一個站工件成批5a或5b。輸送T13a出現在子處理1 與真空站3a間，反之，輸送T5ai則自站3a至其餘過程1 ，類似地，在其餘過程1與處理站3b間。如第1圖中所 示，處理站3a與3b間之任何輸送出現在子處理1中。 根據本發明，設置一處理控制7 ,通過它，將輸送動 作的時間序列控制至少在子處理1與最好至少2涸分批 處理站3a, 3b之間，如經由方塊7 , MTxy(t)所代表， 它示意代表處理控制器。當該定時序列T y V( t)自由可界 定時，可K經由應用，視需要而選擇整個處理K內之時 間點，在此等時間上，欲裝載和卸載處理站3a和處理站 3b 〇 如稍後將予以解釋，裝載和卸載過程本身亦可以”成 批”予Μ實施。輸蓮分批（其係較站分批大小，具有相 同大小或不同大小）宜亦在各站3a, 3 b上，或可將它Κ 經滴部中央標準局貝Η消費合作社印繁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 單一工件輸送模式予K實施，例如，經由Μ快速序列， 裝載單一工件入相對應之站3中而宜連續性Κ便組合各 分枇5a, 5b之一。可將各工件一同蓮輸，係藉儲存器或 匣子，尤其，它是藉載體匣而分批蓮送之情況，此載體 匣界定運送工件分批，於此情況，該匣係根據欲予處理 之工件的幾何學予K設計。 如所述，除去闢於處理站3a, 3b之序列規格或若需要 ，其他任何地方以外，序列控制在子處理1中可自由界 本紙張尺度適用中國國家標卑（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（12 ) 定，亦在未予特別顯示之其他真空站上。 當然，宜提供超過兩涸真空站，其站分批大小可自由 界定及/或可將其輸蓮分批大小指定為可變或固定之數 值。在完全方法中，各個站亦可存在，此等站僅可以單 一工件模式予Μ操作及/或將各站排列在真空站之上游 或下游而可Κ正常大氣壓而操作。如果一些單一工件站 存在，則所需要之高物料通過量可經由並聯操作數個此 種單一工件站予Μ實現。 經满部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝載和卸載工件至整個真空處理設施，如第1圖中Κ ” I Ν ”和” Ο ϋ Τ ”所代表者宜經由裝載和卸載工件分批予以 實施。藉Μ，輸送來自周圍大氣之各個分批之輸入/輸 出處理機，例如來自一涸輸入輸送匣，經由一輸入負載 鎖而至真空設施，或自真空設施經由一輸出負載鎖最後 至周圍大氣中之接收匣者可靈活連接各輸入/輸出分批 的工件數目，例如入各個匣中而至真空設施中所處理之 各自分批的工件數目。另外，此處理機可連接工件的幾 何學排列，例如，輸入/輸出匣的工件堆至工件排列的 節距，例如真空設施中所處理之該分批的節距。因此， 例如，一具輸入/輸出處理機可適應一個匣主體中之工 件的相互距離，即：當在真空設施中予Κ處理時，周圍 環繞至此分批主體的節距中之匣的節距，藉Κ,根據本 發明，變得可能使用一具且相同真空設施用來處理工件 ，將工件餵供向著或自此設施入具有不同工件數目及/ 或具有不同排列之工件之分批匣中β -14 一 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（15 ) 類似於第1圖，第2圖顯示：本發明第二特點下，根 據本發明之程序。方框1再度顯示一部份的整涸方法， 此刻，此一部份並無立即重要性且其中，除去在周圍大 氣中所操作之輸入站和輸出站外，及例如，含有輸入/ 輸出工件之匣以及除去此等周圍大氣輸入/輸出室與真 空設施間之各自裝載鎖室以外，設置各個真空站，例如 ，清潔站，蝕刻站，塗覆站，尤其是CVD, PECVD, LPCVD 和PVD等站且彼等經由輸蓮站中之相對應輸送裝置 予以服務。第2圖的站30a，b均可能是此等型式的 站，即：可能是在周圍和接收之輸入/輸出工件匣上操 作之負載/卸載站，可能是互連各個周圍大氣輸入/輸 出站至整個真空處理設施的真空站之負載鎖站，另外可 能是各個真空站，例如清潔站，蝕刻站，塗覆站或輸送 站。設計兩真空站30a, b來容納各自之站分批50a, 50b 經滴部中央標準局貝Η消费合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，每一者具有不同大小％或〇]3。將工件藉各自之輸送分 相1 Bal，輸送在各站30與真空子處理1間 。即使各站3〇a, b中之分批大小不同，舉例而言，依照 站之型式，該項效果即：至少關於所考慮之各站和子處 理1 ，達成真正分批操作而因此之故，高物料通過量。 在第2画中所舉例說明之通常情況中，其中，視需要， 可變更站分枇大小nb且其中，視需要，亦可變更輸 運分批Bai, Ba2與Bbl, B&,基於此等站分批大小，必 須提供一個或兩個緩衝站在子處理1中。此將藉一個實 例予K解釋，此實例中，予以輸送來自第2圖的站30a 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（14 ) 之分批50a ,其中 a)η =3.5· η ; a b b ) η =3 a • % c ) η =2 a • n b 關於”測量的 單位 ”Ba2, 因此，余等獲得： a-,) bm_ = :3/7 · B 1 · 3.2 bl} nb : :6/7 · B 0 8i 2 第3圓顯示：如何將子處理1上之一緩衝站32,根據 第1圖，經由具有分批大小B&之站30a予K裝載，及自 該處，將數個站3 0 b負載Μ輸運分批大小B b i。意欲作 為一個實例，下表示出：逐步解釋，那一個分批大小將 K測量的單位B a2予K存積。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經滴部中央標準局貝工消費合作社印聚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（15 ) 步驟 30a B a2 Zs BB1 30b Ba2] [Ba2] [Ba23 0 3 0 0 0 0 1 2 1 0 0 0 2 2 0 1 0 0 3 2 0 4/7 3/7 0 4 2 0 4/7 0 3/7 5 2 0 1/7 3/7 3/7 6 2 0 1/7 0 6/7 全 1 7 8 9 經滴部中央標準局貝工消t合作社印裝

01234567 lx 11 1i 11 1X 1i 1i 11 1x 11 1x Λν Αν Λν Λυ Λυ loooooloooo 00/0// 000/00 / / / 6 6 6 7 7 3 6 7 7 7 7 7 7 «V TV/3//3//5//6//6//6//6//6/ 6 6 6 6 β 6 6 6 3 全 t (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（l6) 自此表，顯然可見：在17個輸送步驟後，各站30b的三 個已滿及3/7的輸運分批大小Ba2依然在緩衝站中。如 第3圓中所示，僅隨著下一次執行輸蓮自站30a至站30b ,緩衝站32會再變空，即：如果將來自站30a之兩個站 分批50a輸送入站30b之七個分批50b中。顯然可見： 基於處理時間，此處被視為目標站之站30b中之各工件 可在同時予以輸送向前，此乃意指：為了控制根據上表 之處理，必須考慮整體之處理並須使必須之輸送步驟及 其時間序列達到最適化。 當然，情況變得簡單得多，但是如果使用均勻輸送分 批大小，則物料通過量不一定最適化，即：根據第2圖 選擇

Bal =Ba2 =&b2 =Bbl 而在此情況下，站分批大小宜是輸送分批大小的整數倍。 關於設備形構，在本發明所針對之彈性的架構以內， 尤其當遵循本發明之槪念即：各處理站間之工件輸送。 經滴部中央標準局貝工消费合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (在此等處理站中各工件係Μ分批模式K存積）將藉輸 送分批而出現，顯然可見：關於具有不同分批大小的各 站之較複雜系統形構，適合於所有各站之一種最適宜， 一般可應用之輸送分枇大小大槪不能獲得。如果將所有 成形之真空站或某些此等站聚集環繞一個中央輸送站 (其具有機器人輸送各分批從及至具有不同站分批大小 之各站），則這是特別有問題的。為了順應此特點及為 了獲得高彈性，亦闞於當輸送係藉輸送分批予Κ實施時 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（17 ) 之處理序列最適化，作為本發明之一個特點，經建議： 使該輸送分批大小可控制。此藉第4圖之肋予K圖解式 的解釋。 假定根據第4圖，所見到的真空處理系統包括具有圖 解式所顯示之輸運機器人42之輸送室40。如所舉例說明 ，將數個站43a至43c連接至輸送室40,此等站43a至43c 可能是周圍大氣站，係各自之輸入/輸出匣中之工件分 批的輸入/輸出站，特別可能是真空站，例如負載鎖站 或任何種類的真空處理站或輸送站。設計此等所舉例說 明之站43 χ,特別係真空站來容納具有各自不同分批大 小n a，n b和n c之站分批。將各工件以分批模式輸送 在各真空站43間，即：機器人42能撿拾真空站之一中的 工件分批Βτ並將它供應至其他真空站之一。為了最適 化適應各接收站43之不同容量，輸送分批大小經由處理 控制器予Κ變更，如第4圖中圖式所舉例說明者，Κ便 ，舉例而言，自站43c中之大小分批η。，可將具有大 小n b之一分批供應至站43b及相對應於分批大小n a之 分批供應應至站43a如經由虛線所示。 經漓部中央標準局貝工消費合作社印繁 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因為Μ其基本可形構所建議之系統將靈活可適應於各 種應用要求（關於所安裝之站的數目，型式和設計，特 別是各真空站），Κ及亦適合所形構之相對應各站之站 分枇大小形，即：根據第2或4圖之可變數na , rib及 /或輸送分批大小B τ ,即：根據第2圖之Bal至Ba2 (不 論在該糸統的操作期間係固定或可控制）由分配至整個 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（18) 處理之處理控制器7而可自由界定。為了此目的，第2 圖含有處理控制器27,其上之時間序列T (服務各個站 30)，及/或欲被提供之各個站的站分批大小η及/或 欲被提共之至或自各站之輸送分批大小Β均可自由程式 規劃。關於第4圖中之處理控制器47，各站43的處理序 列Τ及/或其站分批大小及/或欲予控制之輸送分批大 小Β τ ,基於欲予形構之整個系統而可自由界定。 在根據本發明之基本原理（關於根據本發明之各種處 理）Κ如此一種方式，經由第1至4圖予以解釋Κ便專 家在其技巧的骨架Μ内，可迅速了解此概念（尤其關於 處理控制）後，呈簡單化和部份圖解形式之另外圖介紹条 統的實例，其中，個別或Μ任何聯合方式實行處理原則。 第5圖示意顯示一種線型系統，其中實施根據本發明 之下列基本原則： -時間序列Τ (Κ此序列可將工件供應至分批處理站） 藉處理控制器可自由界定。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -關於具有不同大小之站分批，設置各站，而至或自 此等站之輸送係以輸送分批Βτ而實行。此等站可能是 在周圍大氣下操作之各站，例如，係用Κ裝載和卸載各 個分批至和自具有各自之負載鎖室的真空設施之輸入/ 輸出各站，或特別，可能是真空操作之各站。 -輸送分批的大小係可控制。 -工件的數目（其相當於欲予提供之各個站的站分批 大小）可經由處理控制器自由予以界定。 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Λ4規格（210Χ297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（19 ) -亦，一個或數個輸送分批大小或其時間序列亦可使

I 用處理控制器而可自由界定。 亦，當然，可將根據本發明之僅個別原理或聯合之各 原理實施在該線形系統上，此系統將藉第5圖之助予以 敘述。 第5圖中示意所示之該系統的基本形構包括具有傳動 單元5 3和相對應之控制輸入S 55之從動的往復式線型輸 送機51。Μ虛線在GF處所建議之基本糸統形構亦包括輸 送室55，其具有一個所舉例說明之邊界壁57,其上設置 供法蘭站特別是真空站用之適當工作開口 59。將至少些 工作開口 5 9 (它是輸送室5 5中之輸送配置的一部份）各 自分配一個推桿配置61a和61b。 各輸送推桿單元61之特徵為具有相互無關而可延伸和 收縮之各個橫向輸送推桿63。為了控制推桿設備61上之 那一支推桿6 3欲予K伸長或收縮及為了控制時間序列 (在此時間序列中，發生此類動作），各個設備6 1係可 控制，如各自κ控制輸入s61a與s61b示意所指示。 經漓部中央標準局貝工消費合作社印紫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 基於應用及工件處理步驟的所意欲之序列，視需要將 所需要之站6 5a，65b置放在条統GF的基本形構之各開口 59側翼；將不需要之各開口使用蓋覆物（圖中未示）封 閉。舉例而言，站65a可能是一個CVD蓋覆站或與各自 之周圍大氣輸入/輸出站相闢聯之輸入/輸出負載鎖站 ,而站65b例如，可能是一個噴濺蝕刻站。舉例而言， 如果設計成為CVD塗覆站，則站65a容計分批處理大小 一 21- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（2〇） 為n a之站分批，例如圖中所例示與僅Μ —維所見者，舉 例而言，於此情況，na可能是4個工件67。如果設計 成為嗔濺蝕刻站，舉例而言，且由於噴濺蝕刻過程的受 限之有效分佈，例如，設計站65b用以處理具有工件計 數之一個站分批，舉例而言，它是較小且例如以一 維所示，包含2個工件。該線型輸送機5 1容許各推稈6 3 橫向到達通過它，Μ便可將它輸送之工件67上舉至工作 開口 59或自各開口取回或各個站在其側面及亦固定各工 件在處理位置Κ便持纊處理而不致妨礙線型輸送機5 1的 往復活動性。 基本形構GF其特徵為：一個處理控制單元6 9,在此處 ,可自由界定所計劃之輸送分批大小Βτ,連同基於站 分批大小η之線型輸送機5 1的所需要之操作序列Τ 。當 然，僅輸入所必須之許多可變數來避免整個處理控制變 成超有定值。 經满部中央標準局貝工消费合作社印$J. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如可立即見到者，可具有高度彈性而設計此種系統形 構而適合甚多種類的要求並通過適應輸送序列及/或輸 送分批大小，可Μ容納所提供之各站中，不同分批大小 η ° 顯然可見，此等解釋容許專業人士作許多變更。舉例 而言，可實行應用僅一個所舉例說明之輸送推桿設備61 但將此等推稈設備配置Μ受控制之切換動力级及一個傳 動器（其提供與線型輸送機51無關之流動性）。其重要 者是：工件或工件分批，一旦他們到達相對應各站上之 本紙張尺度適用中國國家標卑（CNS ) Λ4規格（2H)X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（21 ) 處理位置，就留在此處理位置而與推桿設備61的作用無 i 關，直至事實上，他們經由現在移動之推桿設備61再度 檢拾，它成為一完全分批，或成為較小輸送分批形式之 ”部份”。在第5圖中所舉例說明之線型条統的另外版本 中，使推桿設備61沿著各開口 59而線型移動，而不是線 型輸送機51,及依照所需要之站分批大小，供給此等開 口 K可界定的分批大小。 第6圖與第7圖中，舉例說明根據本發明之另外系統 ，在此情況中，是一個循環系統。如將予K解釋者，亦 可將所有前逑之基本原理個別或K任何所需要之聯合方 式而實施。此系統的基本形構，尤其如第6圖中所舉例 說明者，其特徵為一輸送室70,其中安裝有輸送機器人 72。它可經由一電動機環繞其軸A 72以可控制之角度予 κ旋轉，關於此起重裝置，設置一個控制輸入s 74在旋 轉傳動器74上，如第7圖中所舉例說明。 經滴部中央標準局員工消费合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 將由工件支架80所造成之兩個或數個分批載體76,環 繞旋轉軸A 72或載體75方位角式分佈。如第7圖中所舉 例說明，第一分批載體76a具有用Μ容納三工件77的分 批之容量。關於載體75,舉例而言，分批載體76a ，藉 密封式線型傳動器78 可徑向伸展和可收縮，如第7圖 中K雙箭頭R所指示。第二分批載體76b容納四個工件 的一個分批且亦可藉密封式傳動器78b予K徑向伸展或 收縮。可將它Μ角向交錯方式安裝在支架7 4上，基於密 封式傳動器78之衝程，它並非強迫性。在所舉例說明之 一 23 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（22 ) 實例中，再度選擇性地Μ角向交錯方式，將第三分批載 j 體76c安裝在支架74上。 如第7 _中示意所示，設置控制輸人S %用以控制傳 動器78的伸展和收縮動作。在基本系統形構中，再將數 個工件開口 82設置至任一真空站，或若需要，亦可將正 常壓力站凸緣，於此情況，可將未使用之工作開口，如 在84所示，藉覆蓋物予K緊密真空密封。 經漓部中央標準局貝工消费合作社印來 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如業已解釋，第7圖顯示輸送機器人72,各分批載體 76可經由徑向傳動器78在其上伸展或收縮。為了存積工 件77在相對應之真空站δ6中，工件載體88上之該處，使 相對移動（相對應於第7圖的移動或檢拾衝程Η )在機 器人設備72與各站86間開始。具有較長衝程之移動亦必 須在此方向（相當於第7圖中之Κ)出現，舉例而言， 分枇載體76a在各站之一 86a上，檢拾必須予Κ置放在 經定位更下之另外站86b中之一個分批。如圖式所指示 ,此等移動係由受控制之相對傳動器90予以執行，當然 ，於此種情況，將機器人72K及所提供之各站86以如此 方式而設計Μ便依照要求，彼等以此方间彼此間可移動 。如使用徑向傳動器78所指示，如果相對應之輸送分批 載體7 6 Κ方向R而充分可伸展，則可能不必須在根據第 7画之Χ/Υ方向具有機器人配備72的另外移動性。 如第6圖中另外所示，可Κ設置另外之輸送機器人設 備7 2，共操作在負載鎖站8 6。與一輸入/輸出站7 3間， 裝載來自周圍大氣之工件至和自負載鎖站86。將工件輸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（25 ) 入和輸出至與自站73,例如使用輸送匣。機器人72a各 自自輸入匣取出工件而將它經由負載鎖站86。而餵供至 真空設施及自該真空設施取出經處理之工件，經由負載 鎖86。而將彼等放回在周圍大氣中之輸送匣上。第7 , 8a至8d圖中所示之機器人均可使用作為根據第6圖之機 器人72a而經由一個或數個負載鎖站，从來自周圍大氣 之各自分批形式裝載工件入真空設施中，或反之亦然。 第8a圖顯示：機器人設備72的設計販本，其中將各個 輸送分批載體76c至76f K角向交錯方式堅固安裝在支 架75上。Μ衝程K ，使各個輸送分批載體移動至所需要 之操作高度，並Μ短衝程Η ,隨後將工件自相對應之站 取出或存積入其中。由於缺少徑向膨脹性，該機器人設 備7 2 (如經由Z / Υ所指示並予以控制作為站8 6的空間配 置之函數）僅在Ζ/Υ平面中移動。 如果使用根據機器人8a圖之機器人如同第6圖之機器 人72a ,則可設置僅一個輸送分批載體，例如：分批載 體76。 經滴部中央標準局貝Μ消費合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在根據第8b画之機器人設備72的設計販本中，載體75 上之每一所設置之工件支架80在所指定之徑向傳動器78 的控制下，個別可伸展或可收縮。此方式容許分批載體 7 6具有高度具彈性的形構，相似於第7圖中所示之設計 版本及在操作期間，改變形構亦經由伸展或收縮來自聯 合輸送分批轉移配置之單一工件支架80的所需要數目而 可變更。 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 589391 ΑΊ Β7 五、發明説明（8 ) 此處，亦須要一個受控制之大衝程κ K便對沿著各種 高度所排列之各個站有用，且為了檢拾或存積個別工件 ,亦提供一個受控制之小衝程Η 。在此配合中，垂直於 軸Α72之平面中，機器人設餚72的必須移動性，即：在 Χ/Υ方向者，可能不須要。亦可根據第8b圖之機器人可 K如同第6画之機器人來使用72a來輸送工件分批在周 圍大氣輸入/輸出站73與負載鎖站86之間。 第8c圖顯示：機器人設備7 2,其中，可將分批載體與 工件支架80間之距離a彈性設定並亦可使用系統形構予 K界定，在處理期間，此距離是固定或可變更。K此種 方式，可供給各站，舉例而言，如第7圖中所暗示，在 各站上，相對應之單一工件支架距離a ’可能不同。當然 ，可將實施例根據第8 c圖之可變更且可控制之單一工件 支架距離與第7, 8a與8b圖等中所示之所有版本聯合。 經滴部中央標準局負工消費合作社印策 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 舉例而言，在第8d圖中，顯示根據第8b與8c圖之設計版 本的極為彈性之聯合。使六個所舉例說明之工件支架30 的三個聯合伸展至一輸送分批載體76g而藉K減少單一 工件支架距離，而其他三個工件支架80 ’則是不工作狀 態而等待其分配。 再者，亦可使用根據第8c與8d圖之機器人設備作為第 6圖之周圍至真空輸送機器人設備72a 。藉K,特別關 於如第8d圖中所示之機器人，可K供給站73中之各輸入 /輸出匣的不同節距，並經由此機器人設備72a相間成 為負載鎖站86 中及隨後真空設施中，工件分批主體的 -26- 本紙張尺度適用中國國家標卑（CNS ) A4規格（210X297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（25 ) 標準節距。 當然，此方式啟發專業人士想到各種不同的可能實施 版本係關於：如何可將不同輸送分批載體靈活聯合在機 器人設備上，及除去用Μ檢拾與輸送分批至和自所需要 之各站上者Μ外，如何可實施例必須之移動。根據本發 明之基本建議是使輸送分批大小可界定，在系統運作期 間使它固定或可變更，且如果必須，亦變更機器人上所 謂的節距寬度及/或如果必須亦變更各個站分批上之節 距寬度，舉例而言，如第8d圖中所示之工件支架距離。 回到第6圖，並假定一種基本系統形構，除去加熱或 冷卻室8 6 c K外，其具有一個出口真空鎖8 6以及（亦 儀為了作為實例之目的），兩個工件處理室例如兩個 PECVD室 86a與 86b 〇 根據第7圖，各站或各室86之一，例如站86a ,例如 可具有na =12之分批容量，舉例而言，各室86b的分批 容量，nb將是3 ,而在一個一另外室上之分批大小， 經满部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 舉例而言，將是5等。如所舉例說明者，將各室86中相 對應分批的工件置放在個別工件支架88上，於此處，分 枇檢拾或自接鄰站86取出分批經由藉機器人設備72上所 指定之傳動器78收縮工件架80入所觀察之室86中予K實 _並存積在室86的分批載體89上，舉例而言，通過所觀 察之室86的相對提升動作Η (相對於機器人設備7 2)。該 項轉移係通過機器人設備相對於室86之提升動作予Κ實 胨。轉移動作Η係通過各室86及/或機器人設備72的移 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（26 ) 動予以實_。 1 如第7圖中所示，三工件的輸送分批大小可使用機器 人設備72,自所舉例說明之12工件中檢拾，例如，自具 有分批大小n a之室86a係經由伸展輸送分批載體76a 。 通過受控制之降低機器人72的-K衝程_(傳動圖中未示） ，使輸送分批載體76a與目的站86b對準並經由機器人 設備72的旋轉動作予Μ定位相對其檢拾開口。關於傳動 器78a ,將三工件的分批轉移至站86b 。當然，使用機 器人設備72,容易可能基本上，同時輸送數個輸送分批。 如自第6圖中可見，將該系統配置K:先前所述及之 各控制輸入S78供所安裝之徑向傳動器78;各控制輸入 S74適合旋轉角增量（相對應於第7圖的ω 72 )以及各 控制輸入Ζ適合機器人設備72與相對應各室86間之相對 衝程Η或Κ 。 經滴部中央標準局貝工消費合作社印^ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 提供一個處理控制器94作為該系統形構程序的一部份 ，將經指定至相對應各站之站分批大小；序列Τ (以此 序列欲供給相對應各站）；及可能地，各相對應之輸送 分枇大小Β τ輸入在該處理控制器94上，於該處，最適 宜之輸送分批大小Β τ宜經由處理控制器單元9 4 ,基於 所指定之站分批大小及經發琨最適宜之站操作序列而予 Κ自動計算。 此處所遵循之原則即：將相當多數目的工件支架設置 在機器人設備上，可將它選擇性控制並通過選擇活化所 指定之徑向傳動器78,予Κ聯合成為輸送分批載體，為 _ 2 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 589391 A7 B7 五、發明説明（2?) 了此目的，節距大小或甚至其改變圖型a(t)可自由界定。 i 根據本發明之另外系統，其中，已實琨了形成本發明 的基礎之所有原則，其係個別地，或呈任何所意欲之聯 合在第9圖中圖示予K舉例說明。又，此系統可遵照本 發明的所有前述之基本原則予K實現。而在迄今所討論 之各設計版本中，形成分批之各工件經敘述成係個別地 輸送，設計根據第9 _之系統來容納和輸送含有個別工 件之分枇匣，當然，使用上述之各個系統，其亦屬可能 。鑒於迄今所示之解釋，第9圖中所擧例說明之系統不 需要極詳細敘述。該基本形搆亦包括：輸送室1〇〇 ,其 中具有輸送機器人102及許多工作開口在輸送室100的 壁中。將機器人102 K如此方式安裝在輸送室中以便可 將它經由在示意所示之控制輸入S 的控制下，環繞一 支軸A 102傳動予Μ旋轉。一具徑向傳動器104 ,宜是經 由輸入$1()4予以控制之一線型且密封之傳動器容許將檢 拾元件106徑向引入經成形在基本系統形構上之真空站 108中及自該真空站108取回，為的是操作各站。代替 自個別工件所組合之各分批，將分批匣在此處處理。 經漓部中央標準局員工消费合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 將此種分批匣，如經提供在圖中所示之站108中者， 舉例而言，包栝一個載體滾筒110 (將數個工件112固 定在其周界上，在適當位置上）。各個分批匣110可堆 獯並具有軸向傳動器114 ,可控制在控制輸入S 114上， Κ及旋轉傳動器1 0 5 ,可控制在輸入S lc^上，及徑向傳 動器104 ,可控制在輸入S1()41，可檢拾一個，兩個或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 589391 kl 五、發明説明（28 ) 任何數目的分批匣單元110 (在接收單元106上用虛線 所示），並予Μ輸送和存積在所設置之另外各站中，例 如，圖中所示之站116 。 此處，亦使用一個處理控制單元1 1 δ ,各真空站上欲 予處理之匣分批大小（該系統的基本形構配置有各真空 站）可以自由界定至其上，連同適合個別真空站之操作 序列的序列Τ ,自此處理單元11 8 ,測定並以正確序列 輸出各個必須之控制信號，各自供機器人1 0 2的旋轉傳 動，徑向傳動器104和軸向傳動器114等用。在工件處 理過稃期間，具有此等匣分批單元11 0在環繞其軸A 1 1 0 旋轉之一個及/或其他所提供之真空站中可能有利，此 可經由以如此一種方式鎖住所堆曼之分批匣110而可容 易實現Μ便彼等不可能相互旋轉但是彼等係軸向可分離 且可藉經設置在相對應真空站上之傳動電動機120予以 旋轉。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此方式容許處理小的工件，例如工具，舉例而言，特 別是銑刀，可逆式梢，鑽，用於金屬切削或成形，表面 處理之一般工具，尤其是磨耗保護塗層或光學工件例如 眼鏡片，透鏡等。 第10圖舉例說明類似於第9圖的分批匣110之分批匣 作為一個實例，但是，舉例而言，用Κ容納銑刀或鑽等 ，即：通常需要三維處理之工件。此單元ll〇a包括各自 由一個下部和一個上部，宜是圓形板130或134所組成 之一個罩，將它扭轉式剛性連接至連接之^$138 。各板 -30 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 589391 Μ 五、發明説明（29 ) 134和130具有凸輪或凹式聯稈136 137 ,通過它， i 可將各板偶合至旋轉傳動器139 ,如第10圖中所示，或 傳輪旋轉移動之轉矩至所有堆《之單元。設置一中央錨 132 (其不具有相對於各板130 , 134之旋轉動作）， 在操作期間，將它鎖在其位置上，如在1 4 1處所示。在 分批匣110a的錨132上，有一個旋轉傳遞器例如傳動裝 置140 ,及在下部及/或上部罩板130或134的周界上 ，設置載體軸144 (其可在齒輪146上旋轉），將大量 工件147 ,例如鑽，磨床，銑刀等固定在此等軸（144) 上之適當位置。此乃意指：在處理期間，所有之軸連同 各個罩130 , 134 , 138環繞軸A110而聯合旋轉且另外 ,每一個別之軸144環繞其本身之軸A144旋轉。 根據本發明之另外系統舉例說明於第11圖中。它包括 至少一個輸送室200 ,宜可將它經由輸送室泵送配置201 泵送向下。將將一個輸送機器人安裝在該輸送室20 0內 部。在經由此圖所舉例說明之概今中，該輸送機器人203 係Μ如此方式予K安裝以便藉傳動電動機2 0 5 ,可使它 環繞線D而旋轉，而此機器人之特徵是一臂20 7 ,將它 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以一個傾斜角度，徑向支持至旋轉軸D上，或如所舉例 說明，一垂直支持之臂207 。藉一線型傳動器（圖中未 示），它是藉風箱設備209所隔離之真空，臂207可根 據衝程R予以徑向伸展或收縮。將一個接收板211安裝 至此臂的極尖端上。具有臂207之機器人203基本上具 有與第6 , 7 , 8b圖等中之機器人72相同設計。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公兑） 589391 A7 B7 五、發明説明（5Q ) 沿著輸送室20 0之壁所分佈者是數個（所舉例說明者 是7個）通過開口 213 ,若必須，可將它經由閥215關 閉。基於欲予實施之處理步驟的序列，將各真空站2 1 7 倚靠至各開口 213上。舉例而言，圖中顯示一開口 213a 具有所分派之閥215a (在該實例中，未使用它），因為 閥215a是處於非活性狀態且永久性關閉或（圖中未示） 將開口 213a使用一蓋密封。 各個站217亦可包括另外之輸送室K便建立工件分批 之一個範圍廣泛之輸送系統。舉例而言，如所舉例說明 之形構中所示，一個站包括一負載鎖和出口真空鎖219 。基於所需要之處理，其他各站可能由CVD , PECVD， PVD ,加熱或冷卻等站所組成，或如所述，另外之輸送 站或真空鎖站。在所舉例說明之設計中，將工件221負 載入真空鎖站219 (係在圓球形帽狀物分批匣223上） 中。在相對應之閥215開放後，具有六工件磁磲之分批 匣223 ,如一實例所示，經由真空鎖站219予Μ轉移至 輸送臂207上之板211 ,於該處將它固定。基於所選擇 之處理或處理步驟序列，在將所指定之閥2 1 5 (如存在） 經濟部中央標準局員工消費合作社印¾ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 開啟後，將該分批連續引至各站217 。在已將分批匣223 存積在相對應站217中後，則縮回具有板211之臂207 並再度關閉所指定之真空鎖閥215 。如在各站之一 217 所示，亦將數個處理源，例如，噴濺源225分配在圓球 形帽狀物上，提供各工件221在處理站中以便一次一個 同時加工或處理。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公处） 589391 A7 B7 五、發明説明（51 ) 如在227處Μ虛線所示，在此情況中，亦容易可能置 放匣223在站215的旋轉傳動器227上，且如以雙箭頭 ω所鬭示以便在處理期間，旋轉具有工件221之匣223 在此站中。 自觀察第11圖，專業人士可迅速了解：亦可將各個站 215沿著數個大圓圈平面而排列，垂直於機器人設備的 旋轉軸D ,及Μ此種方式，亦可將相對於Κ之提升傳動 器依照敘述而提供，舉例而言，第7圖之敘逑，以及提 供相當於Η之短衝程傳動器用Κ存積和檢拾分批匣223 。另外，該機器人可能其特徵為數個臂207 ,可能具有 類似於第8c或8d圖之可變更節距Μ便可同時處理數個分 批匣。舉例而言，代替根據第7圖之系統中的涸別工件 ，如已經解釋，使用一個分批匣連同根據第9圖之系統 ，且可處理包含數個分批匣之”超级分批”。 另外，提供一個控制器2 30 ，將至少一臂207的旋轉 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 角士 Φ (t)之時間序列，其衝程R (t)的時間序列及如果 可應用，各衝程K (t) , H (t)的時間序列輸入在其上。作 為所輸入之旋轉角序列衝程序列，檢拾與存積動作的函 數，該處理控制器230亦控制所指定之閥215的開和關 動作。各閥215係基於是否真空隔離或各站與輸送室201 間之分成各自狎立室予K控制，而因此之故，亦需要在 各站217中。將不需要之輸送室上之各工作開口保持真 空緊密（2 1 5 a )。 此等真空站可由任何此類所已知站或在真空狀況下所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規輅（210X 297公# ) A7 _ B7_五、發明説明（# ) 操作之部份同一水準站所組成，例如，用於在大氣壓力 下進行CVD之各站，或LPCVD，PECVD, PVD等站，包括 :塗覆站，蝕刻站，清潔站，調節站等以及輸送站和真 空鎖站。基於須求，將各站相互真空隔離（尤其關於供 給數値此類站之輸送室）達到經由實際處理所霈要之程 度，舉例而言，即：真空緊密或經由壓力階段密封例如 ，曲徑式密封等。此項要求中所採耳之步驟，例如，適 當真空閥僳已知者。 關於根據本發明之處理方法或根據本發明所操作之設 備，處理各種工件例如，半導體晶圓，記億器磁碟，所 使用之玻璃基體，例如用以製造活性矩陣顯示器以及基 本上二維式平面或三維式工件。三維式所處理者，尤其 是各種機器組件或用於金屬移除和成形之工具，將對於 特別磨損保護塗層所提供者施加至其上。 示意上，引入許多可能的条統型式來顯示：如何實行 根據本發明之基本原則。當然不用説，關於詳細設計， (請先閲讀背面之注意事 1· ，項再填· 裝-- :寫本頁) 訂 i 形在 圓 ·· 或者 型調 線強 造應 欲外 否另 是 〇 於用 基利 亦家 ，專 備供 設可 人性 器能 機可 於多 關許 亦， 其統 尤条 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 内以 以 ， 構明 架發 的本 統照 条依 造並 製統 模条 規此 大的 上 實 Ml 星 衛 統 条 份 部 一 0 計作 設操 可以 僅予 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） 589391 A7 B7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經漓部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（55 ) 參考符號說明 3 a , 3 b 47,7,27 50a,50b,5a,5b T feal， T Ba 43 , 30 a , 30b 32 100,55,40,70 102,42,203 53 S 53 51 57 61a , b S 78, S74 74 76 , 76a , b 30,80 75

78b , 78aR 90 104 112 114 221,77,147 真空處理站 處理控制器 站工件成批 輸送 真空站 媛衝站 輸送室 輸送機器人 傳動單元 控制輸入 從動之往復式線型輸送機 邊界壁 推稈設備 控制輸入 旋轉傳動器 分批載體 工件支架 載體 密封式線型傳動器 工件 徑向傳動器 分批匣 軸向傳動器 工件 -3 5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規輅（210X29?公犮） 589391 A7 B7 五、發明説明（54 ^114 j 139,105 116 120,205 132 14 0 14 4 207 209 211 213 215 219 223 230 控制輸入 旋轉傳動器 站 傳動電動機 中央錨 傳動裝置 載體軸 臂 風箱設備 接收板 通過開口 閥 負載鎖和輸出真空鎖 分批匣 控制器 --------------訂------AWI (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經漓部中央標準局員工消费合作社印製 36- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規輅（210Χ 297公犮）

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 第87 1 1 0892號「用於真空處理工件的方法及對應之處理設 備」專利案 (93年1月修正） 六申請專利範圍： 1 · 一種在真空處理設施內藉由真空處理製造工件之方法， 該真空處理设施具有一裝載站’ 一*卸載站，一輸送裝置 ，及至少兩個處理站，該方法包括下列步驟： -裝載許多工件於該裝載站； -藉該輸送裝置輸送輸送批件於該裝載站，該至少兩個 處理站及該卸載站之間，藉此，可控制地變化該等輸 送批件之工件數目； -在該至少兩個處理站處理工件之處理批件，藉此，可 控制地變化在各該處理站同時處理之該等處理批件之 工件數目；及 -卸載該至少兩個處理室所處理之更多數的工件於該卸 載站。 2 .如申請專利範圍第1項之方法，進一步包括有藉自由 可程式規劃之處理控制器單元，控制該等輸送批件之 工件數目之步驟。 3 .如申請專利範圍第1項之方法，進一步包括 在一目的站控制該等輸送批件之工件數目不超過一 批件之工件數目之步驟。 4 .如申請專利範圍第1項之方法，進一步包括 589391 t、申請專利範圍 在一輸送目的站控制該等輸送批件之工件數目爲一 站批件之工件數目的整數分數之步驟。 5 .如申請專利範圍第1項之方法，進一步包括在該站中配 置該等工件於一活動匣內之步驟。 6 .如申請專利範圍第1項之方法，進一步包括輸送該等輸 送批次之工作於活動匣內之步驟。 7 .如申請專利範圍第1項之方法，進一步包括相互地且可 控制地隔離至少一部分該等站。