TW574120B - Device for receiving substrates - Google Patents

Device for receiving substrates Download PDF

Info

Publication number
TW574120B
TW574120B TW90132868A TW90132868A TW574120B TW 574120 B TW574120 B TW 574120B TW 90132868 A TW90132868 A TW 90132868A TW 90132868 A TW90132868 A TW 90132868A TW 574120 B TW574120 B TW 574120B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate
scope
item
patent application
claw
Prior art date
Application number
TW90132868A
Other languages
English (en)
Inventor
Stefan Bartsch
Holger Hill-Ehrenfeuchter
Martin Saemann
Roland Dr Wagner
Original Assignee
Steag Hamatech Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Steag Hamatech Ag filed Critical Steag Hamatech Ag
Application granted granted Critical
Publication of TW574120B publication Critical patent/TW574120B/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

574120 五、發明説明(1β ) 本發明係關於-裝置,翻以取放至少二基板,特別是 Γίϊ*胁—三明治位助’树大致上是相互平行且彼 此間有間距。 ,在製造數據載具’例如DVD或CD時,要將二數據載 具形成之半片相互在黏合站内黏合,可參考例如同一申請人 之、尚未公開之翻專利申請案第101 00426 之黏麵之上料使用-所謂之「三明治」-操作裝置。此三 明治-操作裝置具有-用以取放及固定數據載具之第一半片 =下基板爪手,及另外具有—位於其上用以平行及以間距固 ^據載具之第二半片之基板爪和上基板載具係設計成被 力;^亦即其不说例如從輸送帶自行取放基板,而必须藉由 一额外之操作機構進行上料。其中,此額外之操作機構具二 線性運動财-轉姉,崎提取之數魏狀半片於水平 及垂直方向触至上基板爪手之上(雜職軸),然後轉 動約⑽度,使數據載具之半片要加以黏合之表面相互對 互’因為數據載具之半片要加以黏合之表面在取放之前均面 向上。 三明治-操作裝置之上料非常耗時,因為上料時要使用 額外之操作機構。此額外之操作機構必須與三明治-操作裝 置之運動同步進行,進而進行—複雜及昂貴之操作裝置。 ,由DE D 606服C1專利案可知一用以在各個圓形設 置I程序站間輯練之裝置,其巾,運輸由—設置有 基板爪手之獅^平台完成。基板爪手可對轉動平台之轉動轴 轉動,且由一適當之升降裝置平行於轉動轴運動〇 ^本紙張尺度適财國國家^7^)74規格(2l^^Fp^ 頁 裝 574120 2. 、發明説明( 根據上紅技術現況,本發明之任務為,提出_用 2 V-基板之裝置,此裝置以簡單及低成本之方式 基板快速取放及安置在三明治位財,抑是上下放置。、 根據本發明,此任務係藉由一操作至少二基板、具有至 少二基板爪手之裝置來加崎決,其巾,—可觸之第一基 板爪手,介於一面向第二基板爪手在侧向相鄰之取放位置t 與一在第二基板固持件上之固定位置間,可對一平行於第二 基板爪手之平面延伸之轉祕齡。本發明之操作裝置不需 额外之操作機構,來進行上下放置之基板爪手之上料。如此 了大大降低此操作裝置之成本。除此之外,在第—基板爪手 轉開後,可同時取放基板,以節省操作裝置之上料時間。另 外,在本發明之操作裝置中,第一基板爪手之上料只需基板 爪手作轉動運動,而在習知之裝置中,上基板爪手之上料需 要一垂直、一水平及一轉動運動。此裝置之構造基本上極為 簡化,且相應之驅動單元所需之相關成本也大為降低。 經濟部智慧財產局員X消費合作社印製 根據一特別偏好之發明實施形式,在一基板取放位置内 之各基板爪手大致上位在同一平面内,以便能同時取放基 板。為不影響基板取放過程,並易於隨後在三明治位置中安 置基板’第一基板爪手之轉動軸最好位在此平面之上。 第一基板爪手最好可轉動180度,以將基板由第一、位 於一共同平面上之位置送至第二、平行有間距之位置,且基 板相互間要加以黏合之表面須如此之安排,使其面面相向。 最好設有一具有一缺口之板,基板爪手可如此轉動進入此缺 口’以將基板置於此板上。如此,基板相對第二基板爪手可 本紙張尺度適用中國國家榡準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 574120 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(3· 確保有極佳之對正。 為順利及簡單之取放基板,至少一基板爪手具有至少一 真空爪手。此時’在第一及第二基板爪手上之真空爪手最好 可與一共同之低壓源相連,以降低裝置之成本。真空爪手最 好可相互獨立施以低壓或是環境壓力,使基板可在不同時刻 進行取放。 根據一發明之實施形式,各基板爪手被置於一共同之運 動裝置上,以在基板取放後繼續送至例如一黏合站。對此, 該運動裝置最好具有-升降單元及一轉動單元,以帶動基板 在垂直及水平方向運動。 以下根據較偏好之實施例,以圖式說明本發明之其他特 徵、優點及細節。各圖式之說明如下: 圖-本發明之操作裝2之透姻,基板爪手已轉出;及 圖二本發明之操作裝置之透姻’基板爪手已轉入。 圖一及圖二顯示一本發明之裝置丨,用以操作基板2。 置1具有一驅動邵份及一基板取放及固定部份6。 驅動部份4具有-固定之外殼部份8,及一可轉動之外 殼部份10。可轉動之外殼部分1〇藉由一未進—步圖示出之 驅動器’例如氣壓驅動器或是電機驅動器,可相對固定之外 殼8轉動。驅動元件是置於固定之外殼8心或可轉動之外 殼10内。 在外殼1G上置有—線性運動單元12,其也可隨外殼 轉動。線性運動單元U之延伸大致與外殼1〇之轉動轴平 仃,因而其運動大致是垂直於外殼10之轉動運動。 娜尺細中國 -----------Μ衣— -. . (請先閲讀背面之注意事項再填頁) 訂 -線· -7 - 574120 五、發明説明(4.) 線性運動單70 12具有-目定之、目 Μ,及-蚊於其上之滑座16,其藉由—適當之、未2 步圖示出之軸器,例如—«或電機軸器沿導軌14運 動=座16承載-大致為L形之固定座18,其位於固定座 自由末端:神與滑座16遠距端,以適當方式支承有基板 取放及固疋裝置6 ’此基板取放及固定裝置6因而可與外殼 部份10對此轉動軸轉動,且經線性運動單元以亦可做垂直 運動。 在此偏好之、在圖一所圖示之實施形式中,外殼⑴對 一垂直延伸之轉動軸轉動,因而基板取放及固定裝置6在外 殼10轉動時做水平運動。此線性運動單元12之延伸平行於 外殼部份10之轉動軸,因而基板取放及固定裝置6藉由線 性運動單元12可做水平運動。雖然較為偏好此轉動運動單 元及線性運動單元之組合,亦可使用其他之運動單元驅動基 板取放及固定裝置6,例如二線性運動單元。 此基板取放及固定裝置6具有一取放及固定部份2〇, 及一驅動邵份22,以下會再進一步說明。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此取放及固定部份20具有二基板爪手,在圖一及圖二 中只圖示出一基板爪手24。未圖示出之基板爪手是設置在 取放及固定部份20之板26下端範圍内,且可例如由板26 組成,其具有多個真空開口,以吸取基板2。另外,或亦以 额外之方式,在板26之中央設置所謂之内孔爪手,其例如 伸入基板2之内孔内,並將基板固定。板26之下端是平面, 並沿水平方向延伸。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 取放及固定裝置20另具有一有一平面表面29之上板 28 ’其平行於下板26延伸。板28有—缺口 3卜其適 放基板爪手24,以下會再作進一步之說明。 、、 基板爪手24具有-轉姆33,其以齡核轉動,虚 取放及蚊部份20之板26、28相連接。轉動臂%在^ 由末端承載有-爪手頭35,其例如是—真空爪手, 環形狀。除此之外,爪手頭35亦可具一内孔爪手,其例二 可伸入CD或腦-半片之内孔内。目前較偏好之發明實施 形式較偏好真空爪手,因為此爪手讓基板2之内孔範圍開 放,如此可導入定心銷及/或形成内孔爪手。 基板爪手24之爪手頭35及轉動臂%之尺寸,使其可 轉動進入上板28之缺口 3丨内,以下會再作進—步之說明。 轉動臂33之轉動端被固定在二支架37 $,在支架上也 支承有二板26、28 〇支架37如此之支持轉動臂%,使轉動 臂33之轉動軸位於板26、28徑向尺寸之外,且在板%、 28間形成平面。轉動献致延料行於板26、28。當基板 爪手24在轉出狀態時,轉動軸介於板%中央與爪手 中央間約一半距離處。 連接元件Μ連接支承臂33之働末端與驅動單元 22 ’此驅動單元將基板爪手% _—所圖示之位置驅動轉 至圖二所圖示之位置。驅動器可例如是,如圖所示,為一氣 壓驅動器,但其亦可是其他適當之驅動機構,以轉動基板爪 手24 〇 以下根據圖式更進一步說明本發明裝置之操作。 574120 A7
五、發明說明(6·) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 首先,基板取放及固定裝置6運動經外殼1〇至基板取 放位置,此位置可例如在輸送帶上。在輸送帶上有二相鄰放 置之DVD_半片,其要由取放及固定裝置6取出。基板爪手 24轉出至圖一所示之位置,在此位置,爪手頭35之抓取部 份,例如真空環,位於與板26之取放部份相同之平爾内。 板2 6之中心點與爪手頭3 5之中心點間之距離,與位在其下 於DVD半片中心點間之距離相同。 現在取放及固足裝置6精線性-運動單元12被降下,使 在板26上之基板爪手及在爪手頭35上之基板爪手,與位於 其下之二基板2接觸。該基板藉由各基板爪手同時抓取,例 如被吸取。 隨後取放及固定裝置6藉由線性運動單元12被舉升, 使基板2被從底墊,例如輸送帶上舉升。當基板2被從底塾 舉升後,外殼部份10即可對其轉動軸轉動,以將基板水平 送至下一加工站,例如在開始時提及之黏合站。在同時或甚 至在轉動運動10開始前,基板爪手24藉由驅動單元22由 圖一所示之位置轉動至圖二所示之位置。在圖二所示之位置 内,爪手頭35及爪手臂33位在圖一所示之板28之缺口 31 内。在此轉動運動中,一基板爪手24轉動180度,因而固 定在爪手頭35上之基板2也轉動180度。在抓取前向上之 面此時向下。基板2位於板28上,並由之支承。 在圖二所圖示之基板取放及固定裝置6位置内,由下基 板固持件固定之基板,及在基板爪手24上固定之基板2, 一者被平行及相互定心固定。 本紙張尺¥適用+¾¾準(CNS)A4規格(21G x撕公愛)---- -10 - (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 574120
在下一加工站,例如黏合站,基板被由基板固定及取放 駛置藉由適當之上及下基板爪手取出,或者由未圖示出之下 基板爪手只是很單純的放鬆,使下基板被置於例如一底墊或 是定心銷上。 因而,本發明裝置可以簡單及低成本方式同時抓取二基 板,其中,一基板被轉動180度,並將基板置於三明治内, 即是上下放置。基板之取放及轉動只需單一運動軸,也就是 爪手臂33之轉動軸。 雖然本發明根據偏好之實施例說明本發明,但本發明並 不限制於此具體圖τχτ之實施例。如前所述,可轉動之外殼 10,線性運動單元12及驅動單元22可使用不同之驅動器, 當然各元件相互間之方向也可與所圖示之方向不同,例如, 板26、28不需是水平設置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 574120 A7 B7 五、發明說明(8·) 元件符號說明 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 1 裝置 2 基板 4 驅動部份 6 基板取放及固定部份 8 外殼部份 10 外殼部份 12 線性運動單元 14 導軌 16 滑座 18 固定座 20 取放及固定部份 22 驅動部份 24 基板爪手 26 板 28 板 29 表面 31 缺口 33 轉動臂 35 爪手頭 37 支架 40 連接元件 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規袼(210 : (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -12-

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 574120 C8 ------- D8____ 六、申請專利範圍 第90132868號專利案申請專利範圍修正本 1· 一種用於操作至少二基板⑵之裝置⑴,其具至少二 基板爪手(24),其中,一可轉動之第一基板爪手(24), 於相對第二基板爪手於侧向相鄰之取放位置,與一 在第二基板固持件上之固定位賴,可對-平行於第二 基板爪手之平面延伸之轉動軸轉動。 2·根據申請專利範圍第1項所述之裝置,其特徵為,各基 板爪手(24)在基板取放位置大致上是位於同一平面内。 3·根據申請專利範圍第2項所述之裝置,其特徵為,第一 基板爪手(24)之轉動軸位於平面之上。 4·根據申請專利範圍第丨項所述之裝置,其特徵為,第一 基板爪手(24)可轉動180度。 5·根據申請專利範圍第1項所述之裝置,其特徵為,第一 基板爪手(24)可如此之轉動進入板(28)之缺口(31) 内,使基板爪手(24)上之基板(2)位於板上。 6·根據申請專利範圍第1項所述之裝置,其特徵為,至少 一基板爪手具至少一真空爪手。 7.根據申請專利範圍第6項所述之裝置,其特徵為,在第 -及第二基板爪手上之真空爪手可與—共同之低壓源相 連接。 8·根據中請專利範m第7項所述之裳置,其特徵為,各真 空爪手可相互獨立施以低壓:或環境壓力。 9·根據申請專利範圍第1項所述之裝置,其特徵為,各基 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)-— -13- -----II —------- n «I n^t 1 ϋ n I n an «ϋ t— fl (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) A8B8C8D8 574120 六、申請專利範圍 板爪手是置於一共同之運動裝置上。 10. 根據申請專利範圍第9項所述之裝置,其特徵為,該運 動裝置具一升降單元。 11. 根據申請專利範圍第9項所述之裝置,其特徵為,該運 動裝置具一轉動單元。 I-----„---I-------------^»11 —---I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -14-
TW90132868A 2001-02-21 2001-12-28 Device for receiving substrates TW574120B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001108383 DE10108383B4 (de) 2001-02-21 2001-02-21 Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW574120B true TW574120B (en) 2004-02-01

Family

ID=7675015

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW90132868A TW574120B (en) 2001-02-21 2001-12-28 Device for receiving substrates

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE10108383B4 (zh)
TW (1) TW574120B (zh)
WO (1) WO2002067252A1 (zh)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19606763C1 (de) * 1996-02-23 1997-04-03 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Greifen, Halten und/oder Transportieren von Substraten
DE19718471A1 (de) * 1997-04-30 1998-11-05 Steag Hamatech Gmbh Machines Verfahren und Vorrichtung zum Verkleben von zwei Substraten
DE19827124A1 (de) * 1998-06-18 1999-12-23 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen
DE10008109A1 (de) * 2000-02-22 2001-08-23 Krauss Maffei Kunststofftech Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer DVD
EP1143433A1 (de) * 2000-03-10 2001-10-10 BMO Treuhand und Verwaltung AG Vorrichtung zur Herstellung eines scheibenförmingen Datenträgers
DE10100426B4 (de) * 2001-01-08 2006-04-06 Steag Hamatech Ag Verfahren und Vorrichtung zum Zusammenfügen von Substraten

Also Published As

Publication number Publication date
DE10108383B4 (de) 2006-06-14
DE10108383A1 (de) 2002-09-12
WO2002067252A1 (de) 2002-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200831377A (en) Processing table
WO2020090270A1 (ja) 物品移載設備(article transfer facility)
TW574120B (en) Device for receiving substrates
CN217754451U (zh) 装箱设备
CN215828905U (zh) 一种晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构
JPH1022364A (ja) 搬送装置における吸着ハンド
CN212220651U (zh) 一种封套插针机
JP2007234681A (ja) 半導体製造装置
CN211683477U (zh) 一种双面贴膜机
JP3652906B2 (ja) 自動ラベル貼り機
JP4518513B2 (ja) 電気的な構成要素を準備するためのウエハテーブル及び構成要素を基板に装着するための装置
CN114695191A (zh) 带安装器
KR102033795B1 (ko) 시트 부착 장치 및 시트 부착 방법
TW525416B (en) Method and apparatus for loading printed circuit board or the like, and receiving method and apparatus
KR100395549B1 (ko) 트레이 피더 교환장치
CN219009231U (zh) 一种用于线路板夹取式搬运的多功能一体式治具
CN219113177U (zh) 一种磁铁组装治具除胶设备
JP2003170330A (ja) 板材搬送装置
CN220146948U (zh) 自动印刷设备
JP4319310B2 (ja) シート吸着装置及び吸着方法
CN218230884U (zh) 一种试剂盒自动分拣装置
CN217728772U (zh) 一种托平翻转装置
CN217412793U (zh) 一种结构紧凑的自动化镭雕设备
CN217143795U (zh) 一种斑马条的插件设备
JP7263809B2 (ja) 保持機構及び搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
GD4A Issue of patent certificate for granted invention patent