DE10108383A1 - Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten - Google Patents
Vorrichtung zum Aufnehmen von SubstratenInfo
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Abstract
Vorrichtung zum Handhaben von wenigstens zwei Substraten, mit wenigstens zwei Substratgreifern, wobei ein erster, schwenkbarer Substratgreifer zwischen einer zum zweiten Substratgreifer seitlich benachbart liegenden Aufnahmeposition und einer über dem zweiten Substrathalter liegenden Halteposition schwenkbar ist.
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Aufnehmen
von wenigstens zwei Substraten und insbesondere zum Anordnen der
Substrate in einer Sandwichposition, d. h. im wesentlichen parallel und
beabstandet zueinander.
Bei der Herstellung von Datenträgern, wie beispielsweise DVD's oder CD's,
ist es bekannt, zwei den Datenträger bildende Halbseiten miteinander in einer
entsprechenden Verklebestation zu verkleben, wie es beispielsweise aus der
auf die selbe Anmelderin zurückgehende, nicht vorveröffentlichten deutschen
Patentanmeldung Nr. 101 00 426.5 bekannt ist. Zum Beladen der bekannten
Verklebestation wird eine sogenannte "Sandwich"-Handhabungsvorrichtung
verwendet. Diese Sandwich-Handhabungsvorrichtung weist einen unteren
Substratgreifer zum Aufnehmen und Halten einer ersten Halbseite des
Datenträgers, sowie einen darüber liegenden Substratgreifer zum parallelen
und beabstandeten Halten einer zweiten Halbseite des Datenträgers auf. Der
obere Substratträger ist passiv ausgebildet, d. h. er kann nicht selbst ein
Substrat, beispielsweise von einem Förderband aufnehmen, sondern muß
durch einen separaten Handhabungsmechanismus beladen werden. Dabei
weist der separate Handhabungsmechanismus zwei linear Bewegungs
achsen, sowie eine Drehachse auf, um eine aufgenommene Halbseite des
Datenträgers in Horizontal- und Vertikalrichtung über den oberen
Substratgreifer zu bewegen (Linear-Bewegungsachsen) und dann um 180° zu
drehen, um zu bewirken, daß die zu verklebenden Oberflächen der Halbseiten
des Datenträgers zueinander weisen, da die zu verklebenden Oberflächen der
Halbseiten des Datenträgers vor ihrer Aufnahme jeweils nach oben weisen.
Das Beladen der Sandwich-Handhabungsvorrichtung ist zeitaufwendig, da
zum Beladen einer separater Handhabungsmechanismus verwendet wird.
Dieser separate Handhabungsmechanismus, der mit den Bewegungen des
Sandwich-Handhabungsvorrichtung synchronisiert werden muß, führt ferner
zu einer komplexen und teueren Handhabungsvorrichtung.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung
daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Handhaben von
wenigstens zwei Substraten vorzusehen, die auf einfache und kostengünstige
Weise eine schnelle Aufnahme und Anordnung der Substrate in einer
Sandwichposition, d. h. übereinanderliegendend, ermöglicht.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung zum Handhaben
von wenigstens zwei Substraten, mit wenigstens zwei Substratgreifern gelöst,
wobei ein erster, schwenkbarer Substratgreifer zwischen einer zum zweiten
Substratgreifer seitlich benachbart liegenden Aufnahmeposition und einer
über dem zweiten Substrathalter liegenden Halteposition schwenkbar ist. Die
erfindungsgemäße Handhabungsvorrichtung benötigt keinen separaten
Handhabungmechanismus zum Beladen von übereinanderliegenden Substrat
greifern. Dadurch werden die Kosten für die Handhabungsvorrichtung
erheblich verringert. Darüber hinaus kann bei ausgeschwenktem ersten
Substratgreifer eine gleichzeitige Aufnahme von Substraten erfolgen, was zu
einer Zeitersparnis beim Beladen der Handhabungsvorrichtung führt. Ferner
ist bei der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung zum Beladen des
ersten Substratgreifers nur eine Schwenkbewegung des Substratgreifers
notwendig, während bei der bekannten Vorrichtung zum Beladen des oberen
Substratgreifers eine vertikale, eine horizontale und eine Drehbewegung
notwendig ist. Der Aufbau der Vorrichtung ist wesentlich vereinfacht, und die
mit entsprechenden Antriebseinheiten verbundenen Kosten sind reduziert.
Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung liegen
die Substratgreifer in einer Substrat-Aufnahmeposition in im wesentlichen der
selben Ebene, um eine gleichzeitige Aufnahme von Substraten zu
ermöglichen. Um den Substrataufnahmevorgang nicht zu beeinträchtigen, und
eine anschließende Anordnung der Substrate in der Sandwichposition zu
erleichtern, liegt die Schwenkachse des ersten Substratgreifers vorzugsweise
über dieser Ebene.
Vorzugsweise ist der erste Substratgreifer um 180° schwenkbar, um die
Substrate aus einer ersten, in einer gemeinsamen Ebene liegenden Position
in eine zweite, parallel beabstandete Position zu bringen, und um ferner die
miteinander zu verklebende Oberflächen der Substrate derart anzuordnen,
daß sie zueinander weisen. Vorzugsweise ist eine Platte mit einem Ausschnitt
vorgesehen, in den der Substratgreifer derart hineinschwenken kann, daß das
Substrat auf der Platte aufliegt. Hierdurch wird eine gute Ausrichtung des
Substrats zum zweiten Substratgreifer sichergestellt.
Für eine gute und einfache Aufnahme der Substrate weist wenigstens ein
Substratgreifer wenigstens eine Vakuumgreifer auf. Dabei sind Vakuumgreifer
am ersten und zweiten Substratgreifer vorzugsweise mit einer gemeinsamen
Unterdruckversorgung verbindbar, um die Kosten für die Vorrichtung zu
reduzieren. Vorzugsweise sind die Vakuumgreifer jedoch unabhängig
voneinander mit Unterdruck oder Umgebungsdruck beaufschlagbar, um das
Aufnehmen und lösen der Substrate zu unterschiedlichen Zeitpunkten zu
gewährleisten.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung sind die Substratgreifer an einer
gemeinsamen Bewegungsvorrichtung angebracht, um die Substrate nach
ihrer Aufnahme weiter zu transportieren, beispielsweise um sie in eine
Verklebestation zu bringen. Hierzu weist die Bewegungsvorrichtung
vorzugsweise eine Hubeinheit sowie eine Dreheinheit auf, um die Substrate in
vertikaler sowie horizontaler Richtung zu bewegen.
Weitere Merkmale, Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden
nachfolgend anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme
auf die Figuren erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Hand
habungsvorrichtung mit einem ausgeschwenkten Substratgreifer;
und
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Hand
habungsvorrichtung mit eingeschwenktem Substratgreifer.
Die Fig. 1 und 2 zeigen eine erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zum
Handhaben von Substraten 2.
Die Vorrichtung 1 weist einen Antriebsteil und einen Substrataufnahme- und
Halteteil 6 auf.
Der Antriebsteil 4 weist ein stationäres Gehäuseteil 8, sowie ein hierzu
drehbares Gehäuseteil 10 auf. Das drehbare Gehäuseteil 10 ist über einen
nicht näher dargestellten Antrieb, wie beispielsweise einen Pneumatikantrieb
oder einen Elektroantrieb bezüglich des stationären Gehäuses 8 drehbar. Die
Antriebselemente sind in dem stationären Gehäuse 8 und/oder dem
drehbaren Gehäuse 10 untergebracht.
Am Gehäuse 10 ist eine Linear-Bewegungseinheit 12 derart angebracht, daß
diese mit dem Gehäuse 10 drehbar ist. Die Linear-Bewegungseinheit 12
erstreckt sich im wesentlichen parallel zur Drehachse des Gehäuses 10 und
sieht somit eine Bewegung vor, die im wesentlichen senkrecht zur
Drehbewegung des Gehäuses 10 gerichtet ist.
Die Linear-Bewegungseinheit 12 weist eine stationär am Gehäuse befestigte
Schiene 14, sowie einen daran befestigten Gleiter 16 auf, der über einen
geeigneten, nicht näher dargestellten Antrieb, wie beispielsweise einen
Pneumatik- oder Elektroantrieb entlang der Schiene 14 bewegbar ist. Der
Gleiter 16 trägt einen im wesentlichen L-förmigen Haltebügel 18, der an
seinem freien, d. h. vom Gleiter 16 entfernten Ende in geeigneter Weise die
Substrat-Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 trägt. Die Substrat-Aufnahme
und Haltevorrichtung 6 ist somit mit dem Gehäuseteil 10 um dessen
Drehachse drehbar und über die Linear-Bewegungseinheit 12 auch senkrecht
hierzu bewegbar.
In der bevorzugten und in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform erfolgt die
Drehung des Gehäuseteils 10 um eine sich vertikal erstreckende Drehachse,
so daß die Substrat-Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 bei einer Drehung des
Gehäuseteils 10 horizontal bewegt wird. Die Linear-Bewegungseinheit 12
erstreckt sich parallel zur Drehachse des Gehäuseteils 10, so daß die
Substrat-Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 über die Linear-Bewegungseinheit
12 horizontal bewegbar ist. Obwohl die Kombination einer
Drehbwegungseinheit und einer Linear-Bewegungseinheit bevorzugte wird,
könnten auch andere Bewegungseinheiten zum Bewegen der Substrat-
Aufnahme- und Haltevorrichtung 6, wie beispielsweise zwei Linear-
Bewegungseinheiten vorgesehen sein.
Die Substrat-Aufnahme und Haltevorrichtung 6 weist ein Aufnahme- und
Halteteil 20 und ein Antriebsteil 22 auf, der nachfolgend noch näher
beschrieben wird.
Der Aufnahme- und Halteteil 20 weist zwei Substratgreifer auf, von denen in
den Fig. 1 und 2 nur ein Substratgreifer 24 zu sehen ist. Der in den
Figuren nicht zu erkennende Substratgreifer ist im Bereich einer unteren
Platte 26 des Aufnahme- und Halteteils 20 angeordnet und kann
beispielsweise durch die Platte 26 gebildet werden, die eine Vielzahl von
Vakuumöffnungen zum Ansaugen eines Substrats 2 aufweisen kann.
Alternativ oder auch zusätzlich kann in der Mitte der Platte 26 ein
sogenannter Innenlochgreifer vorgesehen sein, der beispielsweise in ein
Innenloch des Substrats 2 eingreift und dadurch hält. Die Unterseite der Platte
26 ist eben und erstreckt sich horizontal.
Der Aufnahme- und Halteteil 20 weist ferner eine obere Platte 28 mit einer
ebenen Oberfläche 29 auf, die sich parallel zur unteren Platte 26 erstreckt.
Die Platte 28 besitzt einen Ausschnitt 31, der zur Aufnahme des
Substratgreifers 24 geeignet ist, wie nachfolgend noch näher beschrieben
wird.
Der Substratgreifer 24 weist einen Schwenkarm 33 auf, der in geeigneter
Weise schwenkbar mit den Platten 26, 28 des Aufnahme- und Halteteils 20
verbunden ist. An seinem freien Ende trägt der Schwenkarm 33 einen
Greifkopf 35, der beispielsweise einen Vakuumgreifer in der Form eines
Vakuumringes aufweist. Alternativ kann der Greifkopf 35 auch einen
Innenlochgreifer aufweisen, der beispielsweise in das Innenloch einer CD
oder DVD-Hälfte eingreifen kann. Bei der derzeitig bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung wird jedoch ein Vakuumgreifer bevorzugt, da
dieser den Innenlochbereich des Substrats 2 frei läßt, und somit das
Einführen eines Zentrierstiftes und/oder eines Innenlochgreifers ermöglicht.
Der Greifkopf 35 und der Schwenkarm 33 des Substratgreifers 24 sind so
bemessen, daß sie in den Ausschnitt 31 der oberen Platte 28
hineingeschwenkt werden können, wie nachfolgend noch näher beschrieben
wird.
Der Schwenkarm 33 wird an seinem Schwenkende zwischen zwei Trägern 37
gehalten, an denen auch die jeweiligen Platten 26, 28 getragen werden. Die
Träger 37 tragen den Schwenkarm 33 derart, daß die Schwenkachse des
Tragarms 33 radial außerhalb der Abmessungen der Platten 26, 28 und
zwischen den durch die Platten 26, 28 gebildeten Ebenen liegt. Im
ausgeschwenkten Zustand des Substratgreifers 24 liegt die Schwenkachse
auf halbem Wege zwischen der Mitte der Platte 26 und der Mitte des
Greifkopfs 35.
Ein Verbindungselement 40 verbindet das Schwenkende des Tragarms 33 mit
der Antriebseinheit 22, die eine Schwenkbewegung des Substratgreifers 24
von der in Fig. 1 gezeigten Position zu der in Fig. 2 gezeigten Position
bewirkt. Der Antrieb kann beispielsweise, wie dargestellt, ein
Pneumatikantrieb sein, aber es können auch andere geeignete
Antriebsmechanismen vorgesehen werden, um den Substratgreifer 24 zu
schwenken.
Nachfolgend wird nun der Betrieb der erfindungsgemäßen Vorrichtung anhand
der Figuren näher erläutert.
Zunächst wird die Substrataufnahme- und Haltevorrichtung 6 über das
Gehäuse 10 in eine Substrat-Aufnahmeposition, die sich beispielsweise über
einem Förderband befindet, bewegt. Auf dem Förderband befinden sich zwei
benachbart liegende DVD-Hälften, die durch die Aufnahme- und
Haltevorrichtung 6 aufgenommen werden sollen. Der Substratgreifer 24 wird
in die in Fig. 1 gezeigte Position ausgeschwenkt. In dieser Position liegt der
Aufnahmeteil des Greifkopfs 35, wie beispielsweise ein Vakuumring in der
selben Ebene wie der Aufnahmeteil der Platte 26. Der Abstand zwischen dem
Mittelpunkt der Platte 26 und dem Mittelpunkt des Greifkopfes 35 entspricht
genau dem Abstand zwischen den Mittelpunkten der darunterliegenden DVD-
Hälften.
Nun wird die Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 über die Linear-Bewegungs
einheit 12 abgesenkt, so daß der Substratgreifer an der Platte 26 und der
Substratgreifer am Greifkopf 35 simultan mit den zwei darunterliegenden
Substrathälften 2 in Eingriff kommen. Die Substrate werden über die
jeweiligen Substratgreifer gleichzeitig aufgenommen, wie beispielsweise
angesaugt.
Anschließend wird die Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 durch die Linear-
Bewegungseinheit 12 angehoben, so daß die Substrate 2 von ihren jeweiligen
Unterlagen, wie beispielsweise dem Förderband abgehoben werden. Wenn
die Substrate 2 von ihren Unterlagen abgehoben sind, kann das Gehäuseteil
10 um seine Drehachse gedreht werden, um die Substrate horizontal zu der
nächsten Bearbeitungsstation, wie beispielsweise der Eingangs genannte
Verklebestation, zu bewegen. Gleichzeitig oder auch schon vor dem
Einsetzen der Drehbewegung 10 wird der Substratgreifer 24 über die
Antriebseinheit 22 von der in Fig. 1 gezeigten Position in die in Fig. 2
gezeigte Position geschwenkt. In der in Fig. 2 gezeigten Position befinden
sich der Greifkopf 35 und der Greifarm 33 in dem in Fig. 1 dargestellten
Ausschnitt 31 der Platte 28. Bei dieser Schwenkbewegung wird der
Substratgreifer 24 um 180° geschwenkt, so daß das am Greifkopf 35
gehaltene Substrat 2 um 180° gedreht wird. Die vor der Aufnahme nach oben
weisende Oberfläche weist nunmehr nach unten. Das Substrat 2 kommt auf
der Platte 28 zum Liegen und wird auch durch diese getragen.
In der in Fig. 2 dargestellten Position der Substrataufnahme- und Halte
vorrichtung 6 werden das am unteren Substrathalter gehaltene Substrat,
sowie das am Substratgreifer 24 gehaltene Substrat 2 parallel und zentriert
zueinander gehalten.
In der nächsten Bearbeitungsstation, wie beispielsweise der Verklebestation
werden die Substrate von der Substrathalte- und Aufnahmevorrichtung durch
geeignete obere und untere Substratgreifer entnommen bzw. wird der untere,
nicht dargestellte Substratgreifer einfach gelöst, um das untere Substrat
beispielsweise auf einer Unterlage bzw. einem Zentrierstift abzulegen.
Die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ermöglicht somit auf
einfache und kostengünstige Weise ein gleichzeitiges Aufnehmen zweier
Substrate, von denen eines um 180° gedreht wird, und das Anordnen der
Substrate in einem Sandwich, d. h. übereinanderliegend. Für die Aufnahme
und die Drehung des einen Substrats ist nur eine einzelne Bewegungsachse,
nämlich die Schwenkachse des Greifarms 33 vorgesehen.
Obwohl die Erfindung anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der
Erfindung beschrieben wurde, ist die Erfindung nicht auf dies konkret
dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt. Wie schon erwähnt, können
unterschiedliche Antriebe für das drehbare Gehäuse 10 die Linear-
Bewegungseinheit 12 und sowie die Antriebseinheit 22 vorgesehen werden.
Auch kann natürlich die Ausrichtung der einzelnen Elemente zueinander von
der konkret dargestellten Ausrichtung abweichen, beispielsweise ist nicht
notwendig, daß die Platten 26, 28 horizontal angeordnet sind.
Claims (11)
1. Vorrichtung (1) zum Handhaben von wenigstens zwei Substraten (2), mit
wenigstens zwei Substratgreifern (24), wobei ein erster, schwenkbarer
Substratgreifer (24) zwischen einer zum zweiten Substratgreifer seitlich
benachbart liegenden Aufnahmeposition und einer über dem zweiten
Substrathalter liegenden Halteposition schwenkbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Substratgreifer (24) in einer Substrat-Aufnahmeposition im wesentlichen in
derselben Ebene liegen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine
Schwenkachse des ersten Substratgreifers (24) über der Ebene liegt.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der erste Substratgreifer (24) um 180° schwenkbar ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der erste Substratgreifer (24) derart in einem
Ausschnitt (31) einer Platte (28) hinein schwenkbar ist, daß ein Substrat (2)
am Substratgreifer (24) auf der Platte aufliegt.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens ein Substratgreifer wenigstens einen
Vakuumgreifer aufweist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Vakuumgreifer
am ersten und zweiten Substratgreifer mit einer gemeinsamen
Unterdruckversorgung verbindbar sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die
Vakuumgreifer unabhängig voneinander mit Unterdruck oder
Umgebungsdruck beaufschlagbar sind.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Substratgreifer an einer gemeinsamen
Bewegungsvorrichtung angebracht sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die
Bewegungsvorrichtung eine Hubeinheit aufweist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die
Bewegungsvorrichtung eine Dreheinheit aufweist.
Priority Applications (3)
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19606763C1 (de) * | 1996-02-23 | 1997-04-03 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zum Greifen, Halten und/oder Transportieren von Substraten |
DE19827124A1 (de) * | 1998-06-18 | 1999-12-23 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19718471A1 (de) * | 1997-04-30 | 1998-11-05 | Steag Hamatech Gmbh Machines | Verfahren und Vorrichtung zum Verkleben von zwei Substraten |
DE10008109A1 (de) * | 2000-02-22 | 2001-08-23 | Krauss Maffei Kunststofftech | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer DVD |
EP1143433A1 (de) * | 2000-03-10 | 2001-10-10 | BMO Treuhand und Verwaltung AG | Vorrichtung zur Herstellung eines scheibenförmingen Datenträgers |
DE10100426B4 (de) * | 2001-01-08 | 2006-04-06 | Steag Hamatech Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Zusammenfügen von Substraten |
-
2001
- 2001-02-21 DE DE2001108383 patent/DE10108383B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-13 WO PCT/EP2001/014661 patent/WO2002067252A1/de not_active Application Discontinuation
- 2001-12-28 TW TW90132868A patent/TW574120B/zh active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19606763C1 (de) * | 1996-02-23 | 1997-04-03 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zum Greifen, Halten und/oder Transportieren von Substraten |
DE19827124A1 (de) * | 1998-06-18 | 1999-12-23 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW574120B (en) | 2004-02-01 |
DE10108383B4 (de) | 2006-06-14 |
WO2002067252A1 (de) | 2002-08-29 |
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