DE10108383A1 - Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten - Google Patents

Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten

Info

Publication number
DE10108383A1
DE10108383A1 DE2001108383 DE10108383A DE10108383A1 DE 10108383 A1 DE10108383 A1 DE 10108383A1 DE 2001108383 DE2001108383 DE 2001108383 DE 10108383 A DE10108383 A DE 10108383A DE 10108383 A1 DE10108383 A1 DE 10108383A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
gripper
substrates
grippers
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2001108383
Other languages
English (en)
Other versions
DE10108383B4 (de
Inventor
Stefan Bartsch
Holger Hill-Ehrenfeuchter
Martin Saemann
Roland Wagner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Steag Hamatech AG
Original Assignee
Steag Hamatech AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Steag Hamatech AG filed Critical Steag Hamatech AG
Priority to DE2001108383 priority Critical patent/DE10108383B4/de
Priority to PCT/EP2001/014661 priority patent/WO2002067252A1/de
Priority to TW90132868A priority patent/TW574120B/zh
Publication of DE10108383A1 publication Critical patent/DE10108383A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10108383B4 publication Critical patent/DE10108383B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

Vorrichtung zum Handhaben von wenigstens zwei Substraten, mit wenigstens zwei Substratgreifern, wobei ein erster, schwenkbarer Substratgreifer zwischen einer zum zweiten Substratgreifer seitlich benachbart liegenden Aufnahmeposition und einer über dem zweiten Substrathalter liegenden Halteposition schwenkbar ist.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Aufnehmen von wenigstens zwei Substraten und insbesondere zum Anordnen der Substrate in einer Sandwichposition, d. h. im wesentlichen parallel und beabstandet zueinander.
Bei der Herstellung von Datenträgern, wie beispielsweise DVD's oder CD's, ist es bekannt, zwei den Datenträger bildende Halbseiten miteinander in einer entsprechenden Verklebestation zu verkleben, wie es beispielsweise aus der auf die selbe Anmelderin zurückgehende, nicht vorveröffentlichten deutschen Patentanmeldung Nr. 101 00 426.5 bekannt ist. Zum Beladen der bekannten Verklebestation wird eine sogenannte "Sandwich"-Handhabungsvorrichtung verwendet. Diese Sandwich-Handhabungsvorrichtung weist einen unteren Substratgreifer zum Aufnehmen und Halten einer ersten Halbseite des Datenträgers, sowie einen darüber liegenden Substratgreifer zum parallelen und beabstandeten Halten einer zweiten Halbseite des Datenträgers auf. Der obere Substratträger ist passiv ausgebildet, d. h. er kann nicht selbst ein Substrat, beispielsweise von einem Förderband aufnehmen, sondern muß durch einen separaten Handhabungsmechanismus beladen werden. Dabei weist der separate Handhabungsmechanismus zwei linear Bewegungs­ achsen, sowie eine Drehachse auf, um eine aufgenommene Halbseite des Datenträgers in Horizontal- und Vertikalrichtung über den oberen Substratgreifer zu bewegen (Linear-Bewegungsachsen) und dann um 180° zu drehen, um zu bewirken, daß die zu verklebenden Oberflächen der Halbseiten des Datenträgers zueinander weisen, da die zu verklebenden Oberflächen der Halbseiten des Datenträgers vor ihrer Aufnahme jeweils nach oben weisen.
Das Beladen der Sandwich-Handhabungsvorrichtung ist zeitaufwendig, da zum Beladen einer separater Handhabungsmechanismus verwendet wird. Dieser separate Handhabungsmechanismus, der mit den Bewegungen des Sandwich-Handhabungsvorrichtung synchronisiert werden muß, führt ferner zu einer komplexen und teueren Handhabungsvorrichtung.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Handhaben von wenigstens zwei Substraten vorzusehen, die auf einfache und kostengünstige Weise eine schnelle Aufnahme und Anordnung der Substrate in einer Sandwichposition, d. h. übereinanderliegendend, ermöglicht.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung zum Handhaben von wenigstens zwei Substraten, mit wenigstens zwei Substratgreifern gelöst, wobei ein erster, schwenkbarer Substratgreifer zwischen einer zum zweiten Substratgreifer seitlich benachbart liegenden Aufnahmeposition und einer über dem zweiten Substrathalter liegenden Halteposition schwenkbar ist. Die erfindungsgemäße Handhabungsvorrichtung benötigt keinen separaten Handhabungmechanismus zum Beladen von übereinanderliegenden Substrat­ greifern. Dadurch werden die Kosten für die Handhabungsvorrichtung erheblich verringert. Darüber hinaus kann bei ausgeschwenktem ersten Substratgreifer eine gleichzeitige Aufnahme von Substraten erfolgen, was zu einer Zeitersparnis beim Beladen der Handhabungsvorrichtung führt. Ferner ist bei der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung zum Beladen des ersten Substratgreifers nur eine Schwenkbewegung des Substratgreifers notwendig, während bei der bekannten Vorrichtung zum Beladen des oberen Substratgreifers eine vertikale, eine horizontale und eine Drehbewegung notwendig ist. Der Aufbau der Vorrichtung ist wesentlich vereinfacht, und die mit entsprechenden Antriebseinheiten verbundenen Kosten sind reduziert.
Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung liegen die Substratgreifer in einer Substrat-Aufnahmeposition in im wesentlichen der selben Ebene, um eine gleichzeitige Aufnahme von Substraten zu ermöglichen. Um den Substrataufnahmevorgang nicht zu beeinträchtigen, und eine anschließende Anordnung der Substrate in der Sandwichposition zu erleichtern, liegt die Schwenkachse des ersten Substratgreifers vorzugsweise über dieser Ebene.
Vorzugsweise ist der erste Substratgreifer um 180° schwenkbar, um die Substrate aus einer ersten, in einer gemeinsamen Ebene liegenden Position in eine zweite, parallel beabstandete Position zu bringen, und um ferner die miteinander zu verklebende Oberflächen der Substrate derart anzuordnen, daß sie zueinander weisen. Vorzugsweise ist eine Platte mit einem Ausschnitt vorgesehen, in den der Substratgreifer derart hineinschwenken kann, daß das Substrat auf der Platte aufliegt. Hierdurch wird eine gute Ausrichtung des Substrats zum zweiten Substratgreifer sichergestellt.
Für eine gute und einfache Aufnahme der Substrate weist wenigstens ein Substratgreifer wenigstens eine Vakuumgreifer auf. Dabei sind Vakuumgreifer am ersten und zweiten Substratgreifer vorzugsweise mit einer gemeinsamen Unterdruckversorgung verbindbar, um die Kosten für die Vorrichtung zu reduzieren. Vorzugsweise sind die Vakuumgreifer jedoch unabhängig voneinander mit Unterdruck oder Umgebungsdruck beaufschlagbar, um das Aufnehmen und lösen der Substrate zu unterschiedlichen Zeitpunkten zu gewährleisten.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung sind die Substratgreifer an einer gemeinsamen Bewegungsvorrichtung angebracht, um die Substrate nach ihrer Aufnahme weiter zu transportieren, beispielsweise um sie in eine Verklebestation zu bringen. Hierzu weist die Bewegungsvorrichtung vorzugsweise eine Hubeinheit sowie eine Dreheinheit auf, um die Substrate in vertikaler sowie horizontaler Richtung zu bewegen.
Weitere Merkmale, Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden nachfolgend anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Figuren erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Hand­ habungsvorrichtung mit einem ausgeschwenkten Substratgreifer; und
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Hand­ habungsvorrichtung mit eingeschwenktem Substratgreifer.
Die Fig. 1 und 2 zeigen eine erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zum Handhaben von Substraten 2.
Die Vorrichtung 1 weist einen Antriebsteil und einen Substrataufnahme- und Halteteil 6 auf.
Der Antriebsteil 4 weist ein stationäres Gehäuseteil 8, sowie ein hierzu drehbares Gehäuseteil 10 auf. Das drehbare Gehäuseteil 10 ist über einen nicht näher dargestellten Antrieb, wie beispielsweise einen Pneumatikantrieb oder einen Elektroantrieb bezüglich des stationären Gehäuses 8 drehbar. Die Antriebselemente sind in dem stationären Gehäuse 8 und/oder dem drehbaren Gehäuse 10 untergebracht.
Am Gehäuse 10 ist eine Linear-Bewegungseinheit 12 derart angebracht, daß diese mit dem Gehäuse 10 drehbar ist. Die Linear-Bewegungseinheit 12 erstreckt sich im wesentlichen parallel zur Drehachse des Gehäuses 10 und sieht somit eine Bewegung vor, die im wesentlichen senkrecht zur Drehbewegung des Gehäuses 10 gerichtet ist.
Die Linear-Bewegungseinheit 12 weist eine stationär am Gehäuse befestigte Schiene 14, sowie einen daran befestigten Gleiter 16 auf, der über einen geeigneten, nicht näher dargestellten Antrieb, wie beispielsweise einen Pneumatik- oder Elektroantrieb entlang der Schiene 14 bewegbar ist. Der Gleiter 16 trägt einen im wesentlichen L-förmigen Haltebügel 18, der an seinem freien, d. h. vom Gleiter 16 entfernten Ende in geeigneter Weise die Substrat-Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 trägt. Die Substrat-Aufnahme und Haltevorrichtung 6 ist somit mit dem Gehäuseteil 10 um dessen Drehachse drehbar und über die Linear-Bewegungseinheit 12 auch senkrecht hierzu bewegbar.
In der bevorzugten und in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform erfolgt die Drehung des Gehäuseteils 10 um eine sich vertikal erstreckende Drehachse, so daß die Substrat-Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 bei einer Drehung des Gehäuseteils 10 horizontal bewegt wird. Die Linear-Bewegungseinheit 12 erstreckt sich parallel zur Drehachse des Gehäuseteils 10, so daß die Substrat-Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 über die Linear-Bewegungseinheit 12 horizontal bewegbar ist. Obwohl die Kombination einer Drehbwegungseinheit und einer Linear-Bewegungseinheit bevorzugte wird, könnten auch andere Bewegungseinheiten zum Bewegen der Substrat- Aufnahme- und Haltevorrichtung 6, wie beispielsweise zwei Linear- Bewegungseinheiten vorgesehen sein.
Die Substrat-Aufnahme und Haltevorrichtung 6 weist ein Aufnahme- und Halteteil 20 und ein Antriebsteil 22 auf, der nachfolgend noch näher beschrieben wird.
Der Aufnahme- und Halteteil 20 weist zwei Substratgreifer auf, von denen in den Fig. 1 und 2 nur ein Substratgreifer 24 zu sehen ist. Der in den Figuren nicht zu erkennende Substratgreifer ist im Bereich einer unteren Platte 26 des Aufnahme- und Halteteils 20 angeordnet und kann beispielsweise durch die Platte 26 gebildet werden, die eine Vielzahl von Vakuumöffnungen zum Ansaugen eines Substrats 2 aufweisen kann. Alternativ oder auch zusätzlich kann in der Mitte der Platte 26 ein sogenannter Innenlochgreifer vorgesehen sein, der beispielsweise in ein Innenloch des Substrats 2 eingreift und dadurch hält. Die Unterseite der Platte 26 ist eben und erstreckt sich horizontal.
Der Aufnahme- und Halteteil 20 weist ferner eine obere Platte 28 mit einer ebenen Oberfläche 29 auf, die sich parallel zur unteren Platte 26 erstreckt. Die Platte 28 besitzt einen Ausschnitt 31, der zur Aufnahme des Substratgreifers 24 geeignet ist, wie nachfolgend noch näher beschrieben wird.
Der Substratgreifer 24 weist einen Schwenkarm 33 auf, der in geeigneter Weise schwenkbar mit den Platten 26, 28 des Aufnahme- und Halteteils 20 verbunden ist. An seinem freien Ende trägt der Schwenkarm 33 einen Greifkopf 35, der beispielsweise einen Vakuumgreifer in der Form eines Vakuumringes aufweist. Alternativ kann der Greifkopf 35 auch einen Innenlochgreifer aufweisen, der beispielsweise in das Innenloch einer CD oder DVD-Hälfte eingreifen kann. Bei der derzeitig bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird jedoch ein Vakuumgreifer bevorzugt, da dieser den Innenlochbereich des Substrats 2 frei läßt, und somit das Einführen eines Zentrierstiftes und/oder eines Innenlochgreifers ermöglicht.
Der Greifkopf 35 und der Schwenkarm 33 des Substratgreifers 24 sind so bemessen, daß sie in den Ausschnitt 31 der oberen Platte 28 hineingeschwenkt werden können, wie nachfolgend noch näher beschrieben wird.
Der Schwenkarm 33 wird an seinem Schwenkende zwischen zwei Trägern 37 gehalten, an denen auch die jeweiligen Platten 26, 28 getragen werden. Die Träger 37 tragen den Schwenkarm 33 derart, daß die Schwenkachse des Tragarms 33 radial außerhalb der Abmessungen der Platten 26, 28 und zwischen den durch die Platten 26, 28 gebildeten Ebenen liegt. Im ausgeschwenkten Zustand des Substratgreifers 24 liegt die Schwenkachse auf halbem Wege zwischen der Mitte der Platte 26 und der Mitte des Greifkopfs 35.
Ein Verbindungselement 40 verbindet das Schwenkende des Tragarms 33 mit der Antriebseinheit 22, die eine Schwenkbewegung des Substratgreifers 24 von der in Fig. 1 gezeigten Position zu der in Fig. 2 gezeigten Position bewirkt. Der Antrieb kann beispielsweise, wie dargestellt, ein Pneumatikantrieb sein, aber es können auch andere geeignete Antriebsmechanismen vorgesehen werden, um den Substratgreifer 24 zu schwenken.
Nachfolgend wird nun der Betrieb der erfindungsgemäßen Vorrichtung anhand der Figuren näher erläutert.
Zunächst wird die Substrataufnahme- und Haltevorrichtung 6 über das Gehäuse 10 in eine Substrat-Aufnahmeposition, die sich beispielsweise über einem Förderband befindet, bewegt. Auf dem Förderband befinden sich zwei benachbart liegende DVD-Hälften, die durch die Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 aufgenommen werden sollen. Der Substratgreifer 24 wird in die in Fig. 1 gezeigte Position ausgeschwenkt. In dieser Position liegt der Aufnahmeteil des Greifkopfs 35, wie beispielsweise ein Vakuumring in der selben Ebene wie der Aufnahmeteil der Platte 26. Der Abstand zwischen dem Mittelpunkt der Platte 26 und dem Mittelpunkt des Greifkopfes 35 entspricht genau dem Abstand zwischen den Mittelpunkten der darunterliegenden DVD- Hälften.
Nun wird die Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 über die Linear-Bewegungs­ einheit 12 abgesenkt, so daß der Substratgreifer an der Platte 26 und der Substratgreifer am Greifkopf 35 simultan mit den zwei darunterliegenden Substrathälften 2 in Eingriff kommen. Die Substrate werden über die jeweiligen Substratgreifer gleichzeitig aufgenommen, wie beispielsweise angesaugt.
Anschließend wird die Aufnahme- und Haltevorrichtung 6 durch die Linear- Bewegungseinheit 12 angehoben, so daß die Substrate 2 von ihren jeweiligen Unterlagen, wie beispielsweise dem Förderband abgehoben werden. Wenn die Substrate 2 von ihren Unterlagen abgehoben sind, kann das Gehäuseteil 10 um seine Drehachse gedreht werden, um die Substrate horizontal zu der nächsten Bearbeitungsstation, wie beispielsweise der Eingangs genannte Verklebestation, zu bewegen. Gleichzeitig oder auch schon vor dem Einsetzen der Drehbewegung 10 wird der Substratgreifer 24 über die Antriebseinheit 22 von der in Fig. 1 gezeigten Position in die in Fig. 2 gezeigte Position geschwenkt. In der in Fig. 2 gezeigten Position befinden sich der Greifkopf 35 und der Greifarm 33 in dem in Fig. 1 dargestellten Ausschnitt 31 der Platte 28. Bei dieser Schwenkbewegung wird der Substratgreifer 24 um 180° geschwenkt, so daß das am Greifkopf 35 gehaltene Substrat 2 um 180° gedreht wird. Die vor der Aufnahme nach oben weisende Oberfläche weist nunmehr nach unten. Das Substrat 2 kommt auf der Platte 28 zum Liegen und wird auch durch diese getragen.
In der in Fig. 2 dargestellten Position der Substrataufnahme- und Halte­ vorrichtung 6 werden das am unteren Substrathalter gehaltene Substrat, sowie das am Substratgreifer 24 gehaltene Substrat 2 parallel und zentriert zueinander gehalten.
In der nächsten Bearbeitungsstation, wie beispielsweise der Verklebestation werden die Substrate von der Substrathalte- und Aufnahmevorrichtung durch geeignete obere und untere Substratgreifer entnommen bzw. wird der untere, nicht dargestellte Substratgreifer einfach gelöst, um das untere Substrat beispielsweise auf einer Unterlage bzw. einem Zentrierstift abzulegen.
Die Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ermöglicht somit auf einfache und kostengünstige Weise ein gleichzeitiges Aufnehmen zweier Substrate, von denen eines um 180° gedreht wird, und das Anordnen der Substrate in einem Sandwich, d. h. übereinanderliegend. Für die Aufnahme und die Drehung des einen Substrats ist nur eine einzelne Bewegungsachse, nämlich die Schwenkachse des Greifarms 33 vorgesehen.
Obwohl die Erfindung anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung beschrieben wurde, ist die Erfindung nicht auf dies konkret dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt. Wie schon erwähnt, können unterschiedliche Antriebe für das drehbare Gehäuse 10 die Linear- Bewegungseinheit 12 und sowie die Antriebseinheit 22 vorgesehen werden. Auch kann natürlich die Ausrichtung der einzelnen Elemente zueinander von der konkret dargestellten Ausrichtung abweichen, beispielsweise ist nicht notwendig, daß die Platten 26, 28 horizontal angeordnet sind.

Claims (11)

1. Vorrichtung (1) zum Handhaben von wenigstens zwei Substraten (2), mit wenigstens zwei Substratgreifern (24), wobei ein erster, schwenkbarer Substratgreifer (24) zwischen einer zum zweiten Substratgreifer seitlich benachbart liegenden Aufnahmeposition und einer über dem zweiten Substrathalter liegenden Halteposition schwenkbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Substratgreifer (24) in einer Substrat-Aufnahmeposition im wesentlichen in derselben Ebene liegen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schwenkachse des ersten Substratgreifers (24) über der Ebene liegt.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Substratgreifer (24) um 180° schwenkbar ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Substratgreifer (24) derart in einem Ausschnitt (31) einer Platte (28) hinein schwenkbar ist, daß ein Substrat (2) am Substratgreifer (24) auf der Platte aufliegt.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Substratgreifer wenigstens einen Vakuumgreifer aufweist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Vakuumgreifer am ersten und zweiten Substratgreifer mit einer gemeinsamen Unterdruckversorgung verbindbar sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumgreifer unabhängig voneinander mit Unterdruck oder Umgebungsdruck beaufschlagbar sind.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Substratgreifer an einer gemeinsamen Bewegungsvorrichtung angebracht sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsvorrichtung eine Hubeinheit aufweist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsvorrichtung eine Dreheinheit aufweist.
DE2001108383 2001-02-21 2001-02-21 Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten Expired - Fee Related DE10108383B4 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001108383 DE10108383B4 (de) 2001-02-21 2001-02-21 Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten
PCT/EP2001/014661 WO2002067252A1 (de) 2001-02-21 2001-12-13 Vorrichtung zum aufnehmen von substraten
TW90132868A TW574120B (en) 2001-02-21 2001-12-28 Device for receiving substrates

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001108383 DE10108383B4 (de) 2001-02-21 2001-02-21 Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10108383A1 true DE10108383A1 (de) 2002-09-12
DE10108383B4 DE10108383B4 (de) 2006-06-14

Family

ID=7675015

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2001108383 Expired - Fee Related DE10108383B4 (de) 2001-02-21 2001-02-21 Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE10108383B4 (de)
TW (1) TW574120B (de)
WO (1) WO2002067252A1 (de)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19606763C1 (de) * 1996-02-23 1997-04-03 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Greifen, Halten und/oder Transportieren von Substraten
DE19827124A1 (de) * 1998-06-18 1999-12-23 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19718471A1 (de) * 1997-04-30 1998-11-05 Steag Hamatech Gmbh Machines Verfahren und Vorrichtung zum Verkleben von zwei Substraten
DE10008109A1 (de) * 2000-02-22 2001-08-23 Krauss Maffei Kunststofftech Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer DVD
EP1143433A1 (de) * 2000-03-10 2001-10-10 BMO Treuhand und Verwaltung AG Vorrichtung zur Herstellung eines scheibenförmingen Datenträgers
DE10100426B4 (de) * 2001-01-08 2006-04-06 Steag Hamatech Ag Verfahren und Vorrichtung zum Zusammenfügen von Substraten

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19606763C1 (de) * 1996-02-23 1997-04-03 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zum Greifen, Halten und/oder Transportieren von Substraten
DE19827124A1 (de) * 1998-06-18 1999-12-23 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen

Also Published As

Publication number Publication date
TW574120B (en) 2004-02-01
DE10108383B4 (de) 2006-06-14
WO2002067252A1 (de) 2002-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0737968B1 (de) Transportvorrichtung
DE3219502C2 (de) Vorrichtung zum automatischen Transport scheibenförmiger Objekte
DE10004193C2 (de) Trägerhandhabungsvorrichtung für ein IC-Modulhandhabungsgerät sowie Verfahren dafür
DE2834836A1 (de) Vorrichtung zum aufbringen elektronischer bauelemente auf einen hybrid- leitertraeger
DE10302103A1 (de) Montageeinrichtung für elektronische Bauteile und Montagekopfeinheit für elektronische Bauteile
DE102010060517A1 (de) Verfahren und Anordnung zum Handhaben eines Gegenstandes
DE3874892T2 (de) Verfahren und einrichtung zum ausrichten von siliciumplaettchen.
DE112005003767T5 (de) Ablage-Halteeinrichtung
DE3232859A1 (de) Vorrichtung fuer den zusammenbau von mikrobauelementen
WO2001041193A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum ausrichten von scheibenförmigen substraten
DE102008019100B3 (de) Bestückkopf, Bestückautomat, Verfahren zum Abholen von Bauelementen sowie Verfahren zum Bestücken von Substraten
DE29608724U1 (de) Vorrichtung zum Trennen von Glastafeln
DE10108383A1 (de) Vorrichtung zum Aufnehmen von Substraten
DE19945648C2 (de) Vorrichtung zum Be- und Entladen von Substraten
EP0906619A1 (de) Vorrichtung für den transport von substraten
DE10243663A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von verklebten Platten
WO2000015420A1 (de) Vorrichtung für den transport von kreisscheibenförmigen substraten von einer zuführstation über mehrere zwischenstationen zu einer endstation
DE3603534C2 (de)
DE10213273A1 (de) Herstellung von DVD-Cards und anderen Disks mit nicht runden Formen
DE102005005925B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Zusammenfügen von Substratscheiben eines optischen Datenträgers
DE10231767C1 (de) Multiformat-Spindeltransportvorrichtung für Transport und Kühlung von flachen Substraten
DE102023109901A1 (de) Planarmotorantriebssystem und zugehörige Reinigungsvorrichtung
WO2003017743A1 (de) Verfahren und einrichtung zur positionsveränderung von elektronischen bauteilen
DE3726226A1 (de) Saughaltevorrichtung zum halten eines plattenfoermigen informationstraegers beim abspielvorgang
DE102005029502A1 (de) Substrataufnahme

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee