TW574083B

TW574083B - Hydrogen fluxless soldering by electron attachment

Info

Publication number: TW574083B
Application number: TW91120215A
Authority: TW
Inventors: Chun Christine Dong; Wayne Thomas Mcdermott; Richard E Patrick; Brenda F Ross
Original assignee: Air Prod & Chem
Priority date: 2001-09-10
Filing date: 2002-09-04
Publication date: 2004-02-01
Also published as: DE60210553T2; US20030047591A1; KR20030022704A; CN1406106A; JP2003126958A; KR100510910B1; US6776330B2; DE60210553D1; CN1215744C; EP1291111A1; EP1291111B1; ATE322954T1; JP3828471B2

Description

574083 發明說明（1) 發明背景、重流焊接是表面安裝型電子元件的組裝中所最常使用。在重流焊接方法中，元件用預先印製在線路板上、知Θ女裝在線路板的對應痕跡區域。如此製備的部件缺，被裝入重流爐中，穿過加熱和冷㈣，通==:'、、、 =从=濕、和固化來在線路板上形成元件導線與焊接區之堂^ 。為確保熔融焊料在連接表面上的良好潤濕，通中含有有機助焊劑來除去焊料和基底金屬上的初 ^ί化物，並在固化前將表面保持為潔淨態。但在焊門5知二助焊劑大多蒸發為氣相，助焊劑揮發物可帶來線路板上一總有一些助焊劑殘留⑯，可引起腐姓和短路。的焊接方法面装皮動焊接是組裝插裝型元件的傳統使用連接到線路板上而：接前通過枯合劑將元件臨時況，插入或臨時連接了元件件。對於這兩種情來除去在元件導線和焊接區上：=須：用液體助焊劑融焊料槽。熔融焊料自動潤渴所：二過高溫熔沿成坏點。在所述槽中的熔二，甶從而形成焊料浮渣《因而，不彳θ π谇枓具有很南的氧化傾向，來對所述焊料槽表面進行二經械除去所述浮逢帶來了與上述重流烊接相同的U仍存留在線路板上，這為除去助谭劑殘留物，必須使用後_清潔方

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潘劑，佴使用氣氟烴（CFCs) 的防護性臭氧層，少量活化劑來減少助焊劑殘留物數量對包括助焊劑所有上述問題的一焊接壤境取代有機術稱為“無助焊劑使用氫氣作為反應化物是特別引人注副產物是水，其可和連續式焊接生產至75%)。因而，氮求的技術目標。來作為清因而其使殘餘物的與助焊劑揮發物、個好的解助焊劑來焊接”。性氣體來目的，因容易地從線相容氣無助焊 ' 〜吧味用被禁止。雖然已開發了使用不需清潔的助焊劑，但其是在活性的增減中進行折衷。助焊劑殘留物、和形成浮渣的決方案疋使用還原性氣體作為除去金屬乳化物。這種焊接技在各種無助焊劑焊接方法中，減少在基底金屬和焊料上的氧為它是很清潔的方法（僅有的爐中排出），且其可與開放式 !是非毒性的，其可燃範圍為4 劑焊接長時間以來一直是所追 —但氫氣無助焊劑焊接的主要限制是，在通常的焊接溫度範圍，金屬氧化物在氫氣中的還原效率低且速度慢，= ，是對於焊料氧化物，其具有比所要焊接的基底金屬上的氧化物更高的金屬氧鍵合強度。氫氣的這種低效率是氫分子在低溫下缺少反應活性所致。在遠高於通常焊接溫度範圍的溫度下形成高反應活性的基團，如單原子氫。例如，對於純&來說其還原在錫基焊料上的氧化錫的有效溫度高於3 50 C。這樣高的溫度或者會損壞積體電路（IC)片，或者會引^可靠性問題。因而，在工業上人們在尋求在通常的焊接範圍中有助於產生高反應活性的&基團的催化方

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法。接：在現有技術中使用若干種技術來進行無助焊劑（乾）焊化学活性的面氧化物。接強度並加題，並可侵射來將金屬方法通常在物再氧化。望熔化或蒸而且，通常層上有直接焊接應用的含鹵氣但這種速腐蝕蝕焊接氧化物惰性或但氧化發基底鐳射是的瞄準適用性可使用有去焊接時的表其減小焊接連和環境處理問可使用鐳發溫度。這種已釋出的污染點相近，不希法難以實施。必須在氧化物技術對大多數氣蟫遺留鹵化物。這種化合物還設備。燒蝕、或加熱至還原性氣氛下進物與基底金屬的金屬。因而，這昂貴的’且操作線。這些因素限 1 6不隊殘餘物，存在安全匕們的蒸行以防止熔點或沸種錯射方效率低，制了雷射 y在提高的溫度下經過反應性氣體（如Η2)的作用來將表面氧化物^進行化學還原（例如還原為水）。通常使用在惰性載體（如氮氣）中含5%或更多還原性氣體的混合物。然後’反應產物（如水）在提高的溫度下通過解吸從表面釋出’並在氣流中帶走。通常操作溫度必須超過3 5 〇。匸。但這種方法即使在高溫下也是慢和低效的。可通過使用更多種有活性的還原物類來增加還原過程的速度和效率。這種有活性的物類可使用通用的電漿技術來產生。可使用音頻、射頻、或微波頻率下的氣體電漿來產生

C:\My Documents\PI-A531.ptd ^ 第7頁 574083 五、發明說明（4) 用=表面除氧化物的反應性基團。在這種方法中磁輻射來使I I2 A、或包括含氟化合物的^ 並：離i高反應活性的基團。可在低於3。〇、漿的最佳條具工愉仟下進仃。真空操作需|晶音 ΪΓΠΐ:分批方法而不是快的、連續方二散開的方式來分散於加工室内， ;導向特疋的基材區域。因而，在所述方法中反應 =能有效地利用。電漿還可通過減射過程引起加：才貝壞’並可在絕緣體表面產生空間電荷的聚集，導致可2 ==壞。微波本身還可引起微電路損壞，且在處』控制。電漿還可釋放出有潛在危險的 i:,适ί 需要昂貴的電器設備並消耗相當大的月匕1，因而減少了它們的總體投資效率。 US5409543#公開了一種使用熱電子（熱燈絲）電子輻射，生反應性氫物類的方法。激發的氯將基材表面化學 f。由保持在50 0 t至2200 t溫度下的難熔金屬絲輻射出還子態的電+。使用電偏壓的格柵來使過量其捕獲。由在惰性載氣中含2%至蘭氫氣的U 物來產生反應性物類。 US6、2〇3637也公開了一種使用熱電子陰極放電來活化，的方法。在以種情況下，在含加熱燈絲的獨立（遙控）來進行賴射過程。離子和活化的中性物質流人處理t，對氧化的金屬表面進行化學還原。但這種熱陰極方法為實

574083 五、發明說明（5) 現最佳效率和燈絲壽命而需要真空條件。真空操作需要昂責的設備，這些設備必須組合在焊接傳送帶系統中，因而減小了它們的總體投資效率。

Potier 等人的 “Fluxless Soldering Under Activated Atmosphere at Ambient Pressure(在環境壓力下活化氣氛中的無助焊劑焊接），，，Surface Mount

International Conference(表面安裝國際會議），1995， San Jose， CA，和US6146503 、US6089445 、US6021940 、 US6007637、US5941448、US5858312、和US5722581 公開了一種使用放電來產生活化h2(或其他還原氣體如ch4或nh3) 的方法。還原性氣體以“百分之幾的數量，，存在於惰性載氣（氮氣）中。使用“數千伏”的交變電壓源來產生放電。在遙控室中的電極輻射的電子產生帶電的和中性的氫基團’然後它們流動到基材上。所產生的過程在近於1 5 〇 °c 的溫度下使所要焊接的基材金屬上的氧化物還原。然而，這種遙控放電室需要可觀的設備設資，且不易於改造為適合現有的焊接輸送帶系統。另外，所述過程不是設計用來除去焊料氧化物的。· US5433820敘述了一種表面處理方法，其使用在大氣壓下來自高壓（1 kV至50 kV )電極的放電或電襞。所述電極置於基材附近而不是置於遙控室中。由電極發射的游離電子產生反應性氫基團、含原子氫的電漿，其然後流經置於被氧化的基材上的絕緣防護罩中的開口。絕緣防護罩將活性氫集中在需要脫氧化的那些特定表面部位。然而， 574083 五、發明說明(6) 這種絕緣防護罩可積累表面電荷，這些電荷可改變電場並抑制準確的加工控制。所述方法僅用於對基材金屬表面進行助焊處理。感興趣的其他現有技術包括：US37422 1 3 ; US5105761 ； US5807614 ； US5807615 ； US5928527 ； US5985378 ；US6004631 ；US6037241 ；US6174500 ； US6 1 93 1 35 ;US6 1 94036 ;US61 96446 ;Koopman 等人的 Fluxless Flip Chip Solder Joining,NEPCON WEST ， 95 PROCEEDINGS，pp91 9-931 ;和Shiloh 等人的Flus-free Soldering， NEPCON WEST ,95 PR〇CEEDINGS，PP251-273 。現有技術在為進行焊點中無氧化物或助焊劑裂紋異焊接而除去基材金屬和焊料氧化物方面所提供有效無助焊劑焊接方法的缺陷被本發明克服，1供' J溫下、接近環境或大氣麼條件下的焊^在有低的DC能源需求或相似的低能量電巧接，其具之前或之中使用帶負電荷的離子氫盥氧化焊接操作應，其細節在以下進行敘述。〜物進仃活性反發明簡述本發明是一種對一或行乾式焊劑處理的方法，其包c件的金屬表面進個要焊接的元件，所 :步驟：a)提供一供與所述目標組接而作為目襟ί 述第一和第二電極之間提供包含=第二電〜)在所 ____ 還原性氣體的氣體現合

C:\My D〇cuments\PI-A531.ptd 574083 五、發明說明（7) 物；d)對所述第一和第二電極提供直流（Dc)電壓，給所述還原性氣體提供電子以形成帶負電荷的離子態還原氣體； e)使所述目標組合體與帶負電荷的離子態還原氣體接觸，使在目標組合體上的氧化物還原。優選地，所述還原氣體是處在惰性氣體中的氫氣，所述|*胃性氣體如氣氣’以構成氣體混合物。所述元件優選為印刷電路板或電子器件’更優選為安裝在印刷電路板上的電子器件。優選在進行乾式焊劑處理以除去氧化物時或在進行該處理之後，通過在提高溫度下的重流或波動焊接而將所述元件焊接。發明詳述本發明流或波動焊屬，如對部合於隨後的化物的方法由圖1 處理過程中物引入到具或進行焊劑合體。當在產生低能電移過程中，涉及H2無助焊劑焊接。本發明可通過對傳統重機進行改進來實現。本發明還可應用於鍍覆金 ^印刷電路板或金屬表面鍍覆焊料以使之更適焊接。本發明通過氫氣無助焊劑操作來除去氧同樣可應用於這類金屬鍍覆技術。、2^3可看出所述方法的原理。在焊接或焊劑有Ϊίί原氣體如氫氣或一氧化碳的氣體混合 I陰極和陽極的加熱室、烘箱或爐的部件連接或安裝在陽極上以形成 i ;;和？極之間施加DC電壓時， -部分還：ί中漂移到陽極上。在這種電子漂 ’、氣體分子Η2可通過電子的附著而形

574083 五、發明說明（8) "一"' ' =^ T子二然後也漂移到陽極。在陽極上，帶負電荷的離氧可附著在焊料和要焊接的金屬表面上，從而不使用傳焊劑而還原了對應的氧化物。在這種過程中，惰性氣體如I不受影響，因為氮的電子親合性是零。 1 fl Μ對於本發明，在氣體混合物中的Η2濃度可為約0 · 1至浪積^更優選為約〇· 5至50體積％。溫度範圍可為約室二至4〇〇 C，更有利的是約為loo至250 °C。DC電壓可為約 ’優選範圍為約__2至_3〇kV。陰極與要處理的部的頂邛表面之間的距離可為約i至丨〇⑽，優選範圍為約2 cm。陰極或產生電子的裝置（光電發射源或放射源）應 Ϊ近陽極或目標組合體，不需要獨立的室或區。除H2外，二Ϊ ^原氣體也可用於所述氣體混合物，如co。在氣體混 a物中使用的惰性氣體除化外可為Ar，He，和其他物質。 =述壓力優選為環境大氣壓，意味著為加卫區域的現存壓 ::不需要特殊的壓力，如真空。通常，m2〇psia的壓疋可接叉的。但14至16psia、優選14· 7psia的壓力是最適宜的。，上述的電子附著技術以外，氫分子或雙原子氫的電 ^附者可通過光敏陰極的光電發射、€子束技術、射源技 j ::突崩技術來實現，其中在突崩技術中，階式初始電 i連、，漂移到電極陣列中電位較高的電極中，使得由各後 I ί，產生附加的電子。在例如光敏源、經受紫外光或其他適▲波長的光的照射後’可發生游離低能電子的光電發射。在由於DC電壓而不發射電子的那些技術中（即光電發

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=)，陰極和陽極仍會施加偏壓以使產生的電子和最终的帶負電的離子態氫分子或雙原子氫吸引到陽極。、、雖然不欲使本發明的機制受任何具體理論的限制，但处發明人確信當在電極上施加直流電壓時，在陰極產生低 2電子並在電場中向陽極漂移。低能電子具有足夠的能量來^，陰極並附著在分子態氫或雙原子氫上，但沒有充足的能5來解離氫分子。在電子漂移過程中，一部分分子態還原氣體，如氫氣，可通過電子的附著而形成負離子，^ t也漂移到陽極。在陽極上，帶負電的離子態氫可附著在 ¥料和要焊接的基材金屬表面上，從而還原了焊料和基材金屬上存在的氧化物。使用本發明電子附著方法，還原氧化物的活化能低於無附著的情況，因為附著電子的轟擊消除了氧化物鍵斷裂所需的大多數能量。完整過程可以下述來說明：電子附著·· H2 + e、=> H2-(在陰極和陽極之間）氧化物的還原：H2_ + M0 = >M + H20 + e’（M=焊料/基材金屬） (鄰近陽極）圖1以斷面示意圖圖示了改進的重流焊機的實例。所述裝置包括一烘箱或烘爐1，其通常具有位於沿中心軸的不同段的加熱/冷卻區，並在所述箱/爐1的兩端具有氣體入口 /出口。在所述箱/爐1中延伸的金屬棒2(或金屬網2d) 用作陰極或第二電極，其由低電子輻射能的金屬如黃銅或不錄鋼來製備。由導電材料如金屬製備的接地移動帶3用

574〇83 五發明說明（10) 一電極。在重流焊接過程中，" 個元件4 (如電子元件）通過預先印刷在一或板上上π糾…^焊膏臨時連接在一起，將其放置在移動帶3 冷、=廷些構成的目標組合體穿經所述箱/爐1以和冷部區。將氮氣和還原氣體… 合物6引入到烘笳赤忸摅〗ψ $虱乱次虱化奴的氣體混之門h nr 或九、爐1中，在所述棒/陰極2和帶/陽極3 電壓5。所述氣體混合物借助於在陰極部位電；(優選氫氣）㈣子而對陰極與陽極之間的出反應’從而變為帶負電荷的離子態還原氣體，這 /氣特徵性地遷移至陽極，所述陽極包含焊料和元件，任何存在的氧化物以乾式無助焊劑方式被還原， -曰Ϊ 了焊接連接。焊嘗在烘箱/烘爐1的加熱區熔融， j濕兀件的表面並在烘箱/烘爐丨的冷卻區再固化形成焊接物，不需要助焊劑並避免了氧化物或助焊劑殘餘物引起的焊接缺陷。圖2是與圖1極相似的用於波動焊接之前的助焊處理段的另一實例。所述裝置包括加熱室1〇，由金屬棒2〇或金屬網製成的陰極，和用作陽極的接地並導電的移動帶3〇。在助焊處理過程中，臨時插入了元件的電路板4〇安裝在帶3〇上並穿經室1 0，將氮氣與氫氣的氣體混合物6 〇引入到室i 〇中’在陰極20和接地帶極3〇之間施加])c電壓。在對著焊料槽中的焊料駐波通過時，所述元件的接觸點焊接到電路板上’由於帶負電荷的離子態氫還原氣體的作用，此時元件/電路板和焊料槽均無氧化物。 C:\MyDocuments\PI-A531.ptd ^ 1Α Έ 574083 五、發明說明（1” ' 一 ------- 圖3疋在波動焊接方法中用於對熔融焊料槽進行助焊 =的第三個實例，其與圖1也相當相似。所述裝= 由金屬棒2 00或金屬網製成的陰極，和用作陽極的氣體、曰焊料槽300。在操作過程中，將氮氣與氫氣的 2ΓΛ 到室1GQ+ ’並在陰極2gg與接地烊料槽陽還原氣體的之作間田施加DC電壓5 0 0。通過帶負電荷的離子態氫烊料氧化物或浮渣这使付焊料槽陽極300的表面保持沒有 =於以上的情況，陰極的幾何形狀可設計成不同的形且圖4中所示的實例，棒2a，具有一個尖端的棒η , 個尖端的棒2c和篩或金屬網2d。所述陰極的材料 ° 、汽、3、不銹鋼、或具有較小電子發射能的其他金屬。具體實施方式實施例1 試檨驗至規模的烘爐來進行第一項實驗。所使用的 :(熔銅板（陽極）上的無助焊劑的錫錯焊料預成型 Λ ，將所述試樣放入一烘爐中並錢中的叫 ίΓ和接高達25°°c。當試樣溫度平衡時，在負極(陰 (陽極）之間施加DC電壓，並以0.—的電流巧：”約-2kV。兩電極之間的距離為約^。壓力為 2大氣壓。#現’焊料確實报好地潤濕在銅表面上。在從i t 3 Ϊ的條件下，在如此低的溫度下甚至在純心中也從未達到無焊劑的焊料在銅表面上良好的潤濕，由於

C:\My Documents\PI-A531.ptd 第15頁 574083 五、發明說明（12) 除去f锡基焊料上的錫氧化物的有效溫度高於3 50 °C。因而’這一結果確認了電子附著方法促進H2無焊劑焊接的有效性。實施例2 使用與以上相同的裝置和相同的試樣來進行第二項實驗二，第一項實驗不同的是，在試樣在N2中的5%H2氣流中自^溫的加熱過程中以〇· 3m A施加2k V的電壓。加熱速率與正常重流焊接方法所通常使用的相似。發現，在22〇焊、料開始在銅表面上潤濕。實施例3 以與第二項實驗相同的方之處是，焊接部件是在接地銅型堪（熔點221 °C)。發現在23〇式來進行第三項實驗，不同板上的無助焊劑的錫銀預成 C ’焊料開始在銅上潤濕。實施例4 以與第一項實驗相同的之處是，將無助焊劑的錫鉛咖，直徑2 mm)設置在接地石同的電能時，發現溶融焊料熔融焊料表面確實是無氧化方式來進行第四項實驗，不同焊料預成型链（盤形，高度1 英板上。當在250 °c下施加相由盤形改變為接近球形，表物的。實施例5

574083 五、發明說明（13) 使用在接地銅板上的敏感光學裝置（預測試電流與電壓）來進行第五項實施例。將試樣放入相同的烘爐内，處於在Nz中的5% I氣流（體積）中。在試樣由室溫加熱至“ο t 及在25 0 C下保持5分鐘的過程中以〇· 3mA的電流施加_2kV 的DC電壓。然後將試樣冷卻到室溫。在加熱迴圈後，測試所述裝置（電流與電壓）以研究其是否有任何損壞。發現對測試裝置的電流與電壓曲線在加熱迴圈前後沒有改變。這一結果表明對於所施加的電場，沒有發生與介電擊穿的晶片損壞。本發明的另一可選擇方案是電漿輔助&無助焊劑焊接，其中通過微波或通過傳遞電暈放電來誘導電漿。本發明的由在DC電壓電位下電子附著所辅助的化無助焊劑焊接方法與電漿輔助方法明顯不同且優於之。主要的差別可排列如下： a) 電漿輔助方法僅用於清潔在要焊接的基底金屬上氧化物，對於重流焊接來說在焊膏中仍需要助焊劑。铁 :明是設計用來除去在基底金屬和焊料合金兩；上基底金屬相比’錫基焊料具有明顯高的氧化 m二：料氧化物更難於還原。®而，本發明設計為了助焊劑。對重流焊接來說徹底消除 b) 在電漿辅助方法中，在波動焊接或重流操，助焊處理㈣，助焊處理過程類似焊處理與焊接之間的獨立與連續波動焊接線：相工的助

574083 五、發明說明（14) 但其使重流焊接完全县 φ 盘重流焊接連績的。在本發明中，助焊，理的重流烊接中的應用是足而本發明在生產規模和連接有元件的電路板的焊J :甚J 進行助焊處理焊料檜的助焊處理來防止浮渣…b 進仃附加的熔融動焊接生產線本發明還可應用於波 c)在電漿輔助方法中，微來作為發生器，原子離翁异使用傳遞電暈放電但在本發明中，使用帶备雷許物類。 :作為返原金屬氧化物的活性物类頁。這種在活性飞約主要區別可產生如下的不同結果·· t (i)在電漿中由帶相反電荷的物類的組合所形子態氫是不穩定的，其具有形成分子態氫的傾向，這進、步烕$ 了自由能並達到了穩定態，特別是在環境壓力下而不疋在真空中。而本發明中的電子附著是能量釋放過程，其使得形成的活性物類、帶負電荷的離子態氫相♦ 定，附著壓力的增加，電子附著的可能性增加，這使^ 環境壓力下的操作比在真空中更有利。田品，推丄^ · · f 向，這進境壓力下 > 量釋放過態氫相當穩這使得在對於給定的率向於電漿 ‘的，其不能 ‘明，帶負電 •到焊料和金上的吸附， % %r的铞邗比在真空中更有利。因而，對於給定 I濃度，在環境壓力下，本發明的助焊處理效率高於辅助方法。 % 辅助方法。 (i i )對於電漿辅助、1 w习々；电求裯助万法，济’丨王柳頰是中性的，其^ 優先吸附在所要處理的表面上。然而對於本發明，帶負荷的離子態氫通過施加的連續電場自然地漂移到焊料淨屬表面（陽極）上，這增加了I在要處理的表面上的吸阶

Mil晒 C:\My Documents\PI-A531.ptd 第18頁 574083 五、發明說明從而減少了進行完全助焊處理所需的有效 (⑴）對於電漿輔助方法，高頻AD電墨比^電壓有利的，因為在電漿辅助方法中對於擊穿氣八，原子態氫來說AC電壓是更有效的。但，太刀子和形成帶負電荷的離子態氫，優先DC電壓。斤因β 明中為產生你田*厭禮〜k 原因疋與AC電壓相對比通過使用DC電壓獲侍低的電子能量，低能雷豆強電負性的氣體分子上附著的更高的親合力。電漿輔助方法與本發明的其他區別在於與本比來說電漿輔助方法需要的能源不同的缺點。 (i)與本發明的DC電壓相反，在電漿辅助方法中的傳遞電暈放電中所使用的AC電壓對半導體裝置來說是完全傳導性的，其增加了 IC或晶片損壞的可能性。 (i i)本發明電子附著方法的有效電壓範圍低於微波產生的電漿所使用的氣體放電的擊穿點，並且還低於在傳遞電暈放電中產生高能電子所使用的電壓值。因而，對於本發明，所述操作更安全，晶片損壞的可能性更低，能量消耗更低。 (i i i)對於電漿輔助方法，H2和化均是離子化的（h2和\ 的離子化能分別為1 5 · 4和1 5 · 5 e v )，離子化的n2離子對於活性物類的產生沒有貢獻。相反，對於本發明，由DC電位產生的電子可只附著在112分子上，其形成活性物類；電子親合性為零的N2不受影響，由於相同的結果，所以能量的消耗可以大大減小。另外，本發明的設備投資費用明顯低於電漿輔助無助

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簡言之，與電漿輔助方法相對比，本發明的主要價值在於：1)焊料和金屬表面均進行除去氧化物的處理以完全消除有機助焊劑，2 )其與連續焊接生產線相適應，包括重 f =接和波動焊接，3)在環境壓力下對於給定的&濃度和消耗實現了更高的助焊處理效率，4)晶片損壞性更低，和5)本發明導致投資費用降低。 7 ^ 以上針對若干優選或說但本發明的完整範圍應明定明性實施例對本發明進行了 ^ 由附後的申請專利範園來確說

C:\My Documents\PI-A531.ptd 第20頁 574083 圖式簡單說明圖1為針對重流焊接的本發明一圖。裡貫施方案的示意助焊處理，，的本發圖2為針對在波動嬋接之前進行明第二種實施方案的示意圖。施方案圖3是針對處理波動焊料槽的本的示意圖。今货明弟二種實圖4是本發明不同陰極設計的示意圖主要元件符號說明 1烘箱/烘爐2,2a，2b，2c，20,200金屬择_ 3,300接地移動帶4,4〇電路板55〇%nn金屬網 _氣體混合物1〇，1〇〇加熱t 5’5 ’⑽電壓 3 0 0 兩溫桿料槽

Claims

574083 六、申請專利範圍 i一種對要焊接的一或多個凡件的金屬表面進行助焊處理的方法，包括如下步驟：式 a) 提供一或多個要焊接的元件，所述元件相連接而作為目標組合體；件與第一電極 b) 提供與所述目標組合體鄰近的第二電極； =所述第-和第二電極之間提供包含還原氣體的氣體混合物；礼 d) 對所述第一和第二電極提供直流（DC)電壓，並^ 述還原氣體提供電子以形成帶負電荷的離子態還原^體· e) 使所述目標組合體與所述帶電荷的離子態還原氣㈣相接觸，使在所述目標組合體上的氧化物還原二’、’、 2·如申請專利範圍第1項的方法，其中所述還原氣體選自氫氣、一氧化碳和它們的混合物所組成的族群。 3.如申請專利範圍第2項的方法，其中所述還原是氫氣。股 4·如申請專利範圍第1項的方法，其中所述乾式助焊處理被作為所述一或多個元件的重流焊接的一部分來進行0 5.如申請專利範圍第1項的方法，其中所述乾式助焊處理被作為所述一或多個元件的波動焊接的/部分來進

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化物 6·如申請專利範圍第j項的方法，其中以所述兀件的同時，在所述一或多個元件田焊料被〜被還原。面上的氣 λ7.如^申，士利範圍第1項的方法，其中的惰性氣體 8.如申請專利範圍篦]@ μ + ^ 彳礼固罘1項的方法，豆中赂 Π R ^ ^ 八 Τ 尸汁物含0.1至1 GO體積％氫氣和可能存在的：二斤，氣體現合物含0.5至50體積％的氫氣和惰性氣體述氣體混合 9. 如申請專利範圍第8項的方法，1 選自氣、氦、1、氪和它們的混合物所組成的t:。氣體 10. 如申請專利範圍第i項的方法，其中所述& 體所處的溫度範圍為〇至4 〇〇 t：。 τ、、、且合 11.如申請專利範圍第10項的方法，其中所述目標板合體所處的溫度範圍為100至250 °c。 12.如申請專利範圍第i項的方法，盆中所述電壓範圍為-1 至-50kV。

C:\My Doeuments\PI-A531.ptd 第23頁 574083 六、申請專利範園 i3.如申請專利範圍第〗2項的方法，立士園為-2至-3〇kV。〃中所述電壓範如申請專利範圍第1項的方法，I 體與所述第二電極之間的距離為 /、斤述目標組合 “ un 至 1 〇 cm 。 cm 15.如申請專利範圍第14項的合體與所述第二電極之間的距離為2至5 ，、中所述目標組 16· —種對二或更多的焊點進行乾式助焊處理的方法，’〜〜〜ιτ兴垾料之間的要進行焊接的元件與焊、担：的方法，包括如下步驟· 接的元件和焊料；払組合體的二或多個要焊 b) 提供鄰近所述目標組合體的陰極，· c) 在所述陽極與陰極之間提氣體混合物； ’、飞乳和心性氣體的氣 d) 對所述陽極與陰極提供直流（Dc) 提供電子，從而形成帶負電荷的離子態氫；、、、口所遠風 e) 使所述目標組合體與所述帶負電荷的並使在所述元件和所述焊料上的氧化物還原。“接觸 1 7 · —種對二或更多的要進行焊接的元件與的焊點進行乾式助焊處理並進行焊接的方法，包括如下曰步驟·· Η 第24頁 C:\My Documents\PI-A531.ptd 574083 六、申請專利範圍 a) 在至少為1〇〇 C的提高的溫度下提供位於陽極上的作為目標組合體的二或多個要焊接的元件和烊料； b) 提供鄰近所述目標組合體的陰極； c) 在所述陽極與陰極之間提供包含氳氣和惰性氣體的氡體混合物； d) 對所述陽極與陰極提供直流（DC)電壓以給所述氫氣提供電子，從而形成帶負電荷的離子態氫； e) 使所述目標組合體與所述帶負電荷的離子氫接觸並使在所述元件和所述焊料上的氧化物還原； f) 使所述元件與焊料連接。 18· —種用被供給了電子的氫對二或更多的要進行焊接的元件與焊料之間的焊點進行乾式助焊處理並進行焊接的方法，包括如下步驟： a)在至少為10(TC的提高的溫度下和環境壓力下提供位於陽極上的作為目標組合體的二或多個要 ’和焊料； b)提供鄰近所述目標組合體的陰極； C )在所述陽極與陰極夕担A Α Λ f» ^ ^ 蚀之間挺供包含〇· 5至50體積％的氫氣和餘$的惰性氣體的氣體混合物； d) 對所述陽極與陰極提供至少為_2 以給所述氫氣提供電子，從而帘& * A 」且机…WM e) 使所述兩或更多個；:荷的離子態氫；所述帶負電荷的離子態氫接觸幻漂移到陽極上的处接觸並使在所述元件和所述烊料

C:\My Documents\PI-A531.ptd 第25頁六、申請專利範圍上的氧化物還原 f)使所述元件與焊料連接。處理=大第1項的方法，其中所述耗式助焊無助2二申二專二範法’其中所述焊料選* 錫銀焊膏、盔助焊劍沾:烊M的錫鉛焊料、無助焊劑的鉛焊膏、盖助焊劑的2銀焊料預成型链、無助焊劑的錫烊料的波^ Ϊ 焊料預成型$、無助焊劑的錫錯 ^ ^ θ .，、、助焊劑的錫銀焊料波焊槽和它們的混合物所組成的族群。』』Α 口 21· —種對要焊接的一或多個元件的金屬表面進行乾式助焊方法，包括如下步驟： a) 提供一或多個要焊接的元件，所述元件與第一電極相連接而作為目標組合體； b) 提供與所述目標組合體鄰近的第二電極； C)在所述第一和第二雷極之間提供包含還原氣體的氣體混合物； d) 對所述第—和第二電極提供直流（DC)電壓； e) 由一種源產述還原氣體提供所述電子以形成帶負電荷的離ΠίΚ體；〇使所述目標組合體與所述帶負電荷的離子態還原氣第26買 C:\My Documents\PI-A531.ptd 574083

體相接觸，使在所述目標組合體上的氧化物還原法’其中所述源選自放射源、突崩電子傳 2 2 ·如申請專利範圍第2 1項的方光敏陰極的光電發射、電子束傳播、播和它們的組合所組成的族群。種對要焊接的 %又徊7G件的金屬表式助焊 a) 相連接 b) c) 含分子 d) e) 形成帶 f) 相接觸處理的方法，包括如下步邦· 提供-❹個要焊接的元件，所述元件與第而作為目標組合體； 1 & 提供與所述目標組合體鄰近的第二電極；在環境大氣壓下在所述第一和第二氫的氣體混合物；之間&供包對所述第一和第二電極提供直流（DC) 由一種源產生電子並給所4+、八2 t ’ 負電荷的離子態分子氫；11 H供所述電子以使目標組合體與所述帶負電，使在所述目標組合體上的氧化物還原。…氣行乾式助焊處理的方法，包括/τ 和焊料的焊點進 a) 提供位於陽極上的二或更多個作為目標組合體；要知接的几件和焊申 b) 提供與所述目標組合體鄰近的陰極；

574083 六、申請專利範圍 C )在環境大氣壓下在所述陽極和陰極之間提供包含分子氫和惰性氣體的氣體混合物； ’、刀 —d)對所述陽極和陰極提供直流（DC)電壓以給所述分子氫提供所述電子從而形成帶負電荷的離子態氫； e)使所述目標組合體與所述帶負電荷的離態氮相接觸，使在所述元件和所诸 Ah Ah On W建焊料上的乳化物還原。

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