TW567304B - Pattern evaluation method, pattern evaluation system and computer-readable recorded medium - Google Patents

Description

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方向（以下稱CD方向）與電子線之掃描方向一致即盔法計測 之問題。因此，為解決如此問題，而有例如使電子線之掃 描方向與CD方向一致後而計測’或使用仿射變換等圖像處 理而旋轉圖像，使CD方向與電子線之掃描方向一致後而計 測等處理方法。但這些處理需花許多時間，就縮短計測時 間而言並不理想。而於計測前若預先不知CD之方向，則有 必要將電子線之掃#方向或圖像旋轉角度分配於某一範圍 ，因此需要更長的時間。 同樣地，計測對象為孔圖案時，習知方法係以sem圖像 之X軸方向即γ軸方向之最大值做為圖案之孔徑而計測。但 此種方法如為例如圖案之最大孔徑對又軸或丫軸傾斜時，則 難以得到其最大孔徑。此外，考慮孔圖案形狀之歪曲，亦 有以邊緣點所包圍之面積或最小二次圓計算出近似直徑之 方法，但僅以該平均計測值則無法把握到複雜之圖案形狀。 ，本發明係有#於前述情形而成者，纟目的不僅係克服前 述白知問題之困難點，並且具有多附加價值之圖案評估方 法，圖案評估裝置及電腦可讀取之記錄媒體。 解決課題之手段 本發明係以以下手段解決前述之課題。 亦即’根據本發明之第1型態， 係提供一種圖案評估方法，其具備：邊緣點檢測過程， ’、接又5平估對象之圖案之圖像資料，處理前述圖像資料並 檢測出前述圖像之前述圖案邊緣點之座標；配對過程，其 以則述各邊緣點組合成邊緣點對；演算過程，其算出構成 -5- 本紙張尺度適甲圈國家樣準(CNS) A4規格(2歡297公爱)

裝 訂

k 567304 A7 B7 ;點對之前述邊緣點間之距離，及連接前述邊緣點 任意軸線間之角^距離角度分布圖製作過程 衣作Μ述邊緣點對之前述距離與前述角度之分布圖； :二”』抽出過程’其抽出前述分布圖之特徵點；解析過程 、根據所抽出之前述特徵點對前述圖案進行解析。 义根據本發明之第㈤態，因製作前述邊緣點之前述距離盘 :述角士度=分布圖，並根據該分布圖抽出前述特徵點/而 可同日寸且向速進行種種圖案計測。圖案計測巾，可例如含 有以下項目。 ,)良圖案之、’泉寬之最大值、最小值及平均值，及孔圖案之 電子偵查徑之最大值、最小值及近似圓徑 〃 -)圖案傾斜角度（於孔圖案時，定義為最大電子偵查徑之 角度） 3) 圖案之粗糙度 4) 傾斜圖案之前述計測值及前述其傾斜角度 5) 於任意方向投影之圖案之前述計測值 6) 同時投景々複數個圖案時自前述計測值之平均值 於引述之配對過权中，可以所檢測出之全部的邊緣點組 合前述邊緣點對，亦可以所檢測出之一部分的邊緣點組合 前述邊緣點對。 此外，W述配對過程亦可為於前述圖案為線圖案時，進 行屬於位在前述圖像之一方側之圖案邊緣之邊緣點與屬於 位在前述圖像之另一方側之圖案邊緣之邊緣點間之配對， 而於前述圖案為封封閉曲線圖案時，選擇前述圖案之任意 -6 · 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐)"

裝 訂

567304 A7 B7 五、發明説明（4 ) 分剔線亚使用此分割線而將前述圖.案分為二個，再進行屬 於位在前述圖像之一方側之圖案邊緣之邊緣點與屬於位在 刖述圖像之另一方側之圖案邊緣之邊緣點間之配對。此時 ，可對各種評估對象以單一代數進行評估，再以必要之最 /J限度之邊緣點對製作前述分布圖。結果，可以更高速來 進行圖案評估。 前述封閉曲線中包含有典型的孔圖#，此外，前述分割 線包含tit過前述封閉曲、線圖案t重心而與前述轴線垂直 之線及前述封閉曲線之主轴中之至少一者。 别述特徵點抽出過程亦可為藉由對前述分布圖進行圖像 處理而抽出前述特徵點。 錯此，除了可高速地抽出前述特徵點外，亦可減少因取 錯邊緣點等所引起之計測誤差。前述圖像處理係包含二值 化處理、媒體處理及雜訊濾波器環中之至少一者。 此外，前述圖案評估方法較佳為更具備有記憶控制過程 :其：前述分布圖之資料中附加對應與儲存有前述圖像資 料^第1記憶區域相異之第2記憶區域之記憶體位址。 藉此，可高速地製作前述分布圖。此外於前述特徵點抽 出過程中，可使用既有之圖像處理代數，高❹出前述分 布圖之特徵點。 前述記憶控制過程亦可於每—前述邊緣點，根據前述距 離及前述角度依比例分配假想之副像素，並以前述分布圖 之㈣做為複數個位元之圖像資料而附加前述記憶體位址。 藉此’可提昇圖案計測之精度。

567304 A7 B7 五、發明説明（5 ) ' --- 此外刚述才寸彳玫點抽出過程較佳為包含於前述分布圖資

料或前述分布圖之前述特徵點近旁之資料處附加表示濃S 之層次值。 依此，於前述分布圖全體或前述分布圖之特徵點近旁區 域設置濃淡差，可容易取得對應圖案粗糙度之資訊。 另外，上述記憶控制過程較佳係包含根據上述邊緣點對 之位置貧訊，而在上述分布圖附加可逆變換至 料之還原用資訊之過程。 ^像貝 藉此’可將在上述分布圖上所進行之圖像處理之結果作 為實際平面上之圖案輸出。而作為上述還原用資訊，例如 有構成各邊緣對之各邊緣座標之中點座標。 時 圖 述 來 上述圖案於至少包含】個以理想形狀所形成之理想圖案 ，上述特徵點抽出過程較適當者係包含抽出自上述理想 案所得到之上述分布圖之特徵點之理想特徵點，及自： 評估對象之圖案所得到之上述分布圖之特徵點，並輸出 ^由上述評估對象之圖案所得到之特徵點上之上述理想 Μ點之差異之過程。 基 圖 藉此’因以自上述理想圖案所得到之上述分布圖作為 =而可進行比較評估對象之圖案，故可於上述評估對象 案之开> 狀進行規袼確認。 圖 另:，於上述圖案為複數個圖案時，較理想者為上述 :合角度分：圖製作過程係製作上述每一圖案之上述分布圖 户自之弟1被合成分布圖之過程，而上述特徵點抽出過程 心自上述第1被合成分布圖之-部份區域抽出顯示上述每- 0X297公釐） 本纸張尺度適準(CNS) Α4規格(21 • 8 - 圖案之上述特徵點與上述圖案間之相對位置關係之上述特 ^政點之過程。 藉此，即使是由複數個圖案所構成之複雜圖案，亦可高 速評估構成要素之各圖案及構成要素之圖案間之位置關係。 另外，上述圖像資料於包含複數個圖案之圖像資料時， 上述配對過程包含設定禁止規則之過程即可，其禁止在各 圖案所對應之圖案邊緣間以外之配對。 藉此，即使在同時計測複數個圖案時亦可單獨取出需計 測之資訊。因可將來自非必要之邊緣點之f訊作為雜訊1 除，故可以單純的處理正確且高速地抽出上述分布圖之特 徵點H即使於評估對象之圖案所存在之區域存在有 評估對象以外之圖案時，亦可由上述分布圖將不必要之圖 案除外並只取得評估對象之圖案之計測值。其結果，在計 測之前將無嚴密指定計測區域之必要。 另外，上述圖像資料於包含複數個圖案之圖像資料時， 與此相反，其上述配對過程可進行各圖案所對應之圖案邊 緣間以外之配對。 依此’於同時計測複數個圖案時，可區別評估對象外之 圖案資訊或橫跨各個構成圖案間之資訊而以上述分布圖之 形態作為資料儲存。因此，可計測更多的種類。 另外，較佳為上述距離角度分布圖製作過程係對每個圖 案製作上述分布圖’且以所得到之上述分布圖間進行圖像 運算處理並製作第2被合成分布圖，而上述特徵點抽出過程 則係自上述第2被合成分布圖抽出上述特徵點，並定量化上 -9- 7 五、發明説明（ 述分布圖合成之上述圖案彼此間形狀之差異之過程。 因在上述分布圖彼此間進行圖像運算處理，故可由上求 第2被合成分布圖容易地比較出上述圖案彼此間之形狀。^ 於上述形狀之差異之定量化，係包含例如在取得經運算處 理之圖案間之平均形狀後，數值化來自該平均形狀之各 案的分散。 〇 另外，可代替此者為，上述距離角度分布圖製作過程對 各個圖案製作上述分布圖，而上述特徵點抽出過程則自各 個圖案所得到之上述分布圖抽出上述特徵點，且於所得到 之上述特徵點彼此間進行運算處理，並定量化該特徵點彼 此間之差異之過程。 又，於上述圖案包含封閉曲線圖案時，較希望其上述特 ，點抽出過程係設定上述分布圖之特徵曲、線，再根據該特 徵曲線抽出上述特徵點。 如此，藉由對分布圖追加特徵曲線，可由自一部份或全 部包含封閉曲線之圖案所得到之上述分布圖高速且正確地 抽出上述特徵點。於根據上述特徵曲線所抽出之特徵點， 包含有例如由於上述境界曲線之極值及上述境界區域之濃 淡差的蔓延所導出之粗糙度值。 另外，上述配對過程較佳為選擇上述圖案之任意分割線 及上^封閉曲線圖案内之任意點，以上述任意點為中心而 以任思角度紋轉上述分割線旋轉，於每個上述任意角度使 用上述分割線將上述圖案分割成2個’並於上述每個任意角 度進行屬於位在上述圖像之上述一方側之上述第案邊緣 五、發明説明（ 8 ) 之邊緣點與屬於位在上述圖像之上述另一方側之上述第二圖 案邊緣之邊緣點間之配對過程，而上述距離角度分布圖梦 作過程較佳為於上述每個任意角度製作上述分布圖。 衣 因在上述每個任意角度製作上述分布圖，故藉由比較對 照所製作之複數個分布圖，可較易取得在上述圖案之輪廓 形狀的異常’特別是有關凹部的資訊。 此外，上述圖案於包含複數個封閉曲線圖案時，其上述 距離角度分布圖製作過程對各個封閉曲線圖案製作上述= 布圖i而上述特徵點抽出過程則對所得到之各封閉曲線= 案之母個上述分布圖設定上述特徵曲線，再根據該特徵曲 線對每個封閉曲線圖案抽出上述特徵點，運算處理其所得 到之複數個上述特徵點並定量化上述複數個封閉曲線圖= 間之差異即可。 藉此，可高速地取得有關上述封閉曲線圖案之平均形狀 及上述封閉曲線圖案間之相似度的資訊。 另外，上述圖案為包含線圖案時，較佳為 上述特徵點抽出過程以上述距離為χ，上述角度為丫，上 述線圖案之寬為D之時，於上述分布圖設立以函數 X = D/cosy 表示之至少1條近似曲線，根據該近似曲線抽出上述特徵 點。 藉此，可自由一部份或全部包含線之圖案所得到之上述 分布圖高速且正確地抽出上述特徵點。 此外’上述圖像資料為時間性變化之一系列之圖像資料 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準規格(21GX^^--- 567304 五 、發明説明（ A7 B7 日寸，上述圖案評估方法較佳為上述配對過程、上述運算過 私/上述距離角度分布圖製作過程及上述特徵點抽出過程 ，係關於構成上述一系列圖像資料之圖像資料逐一進行， 且*更具備即時輸出所抽出之上述特徵點之變化之輸出過程。 =此，可取得關於有時間性變動之圖案的形狀資訊。其 $ ^間性變動之圖案，例如有起因於SEM裝置之連續列調 正或於藉電子線曝光裝置之CP孔之線形狀之連續調整等之 動畫圖案。 另外’根據本發明之第2形態， 裝 訂 線 係提仏種圖案評估裝置，其具備：邊緣點檢測手段， 其：受評估對象之圖案之圖像資料，處理前述圖像資料並 自^述圖像檢測出前述圖案邊緣點之座標；配對手段，其 =别述各邊緣點組合成邊緣點對；運算手段，其算出構成 所述邊緣點對之邊緣點間之距離’及連接前述邊緣點間之 ^線^任意轴線間之角度；距離角度分布圖製作手段，其 乍月,j述邊緣點對之月:】述距離與前述角度之分布圖；特徵 點抽出手段’其抽出前述分布圖之特徵點；解析手段，其 根據所抽出之前料徵點對前述㈣進行解析。 ’、 根據本發明之第2形態，可提供一種圖案評估裝置’並因 具備有製作上述邊緣點之上述距離與上述角度之分布圖之 距離角度分布圖製作手段，及處理該分布圖而抽出上述特 试點之特徵點抽出手段’故可同時且高速地進行種種圖幸 計測。 M ^ 於上述圖案評估裝置之_實施形態中，上述配對手段其 -12- 567304 A7 B7

上述圖案為線圖案時，係於屬於位於上述圖 <闺彳冢一方側之圖 案邊緣之邊緣點，與屬於位於上述圖像他方側之圖案、每緣 之邊緣點間進行配對，而上述圖案為封閉曲線圖案時，則 選擇上述圖案之任意分割線並使用該分割線將上述圖案分 告'J成2個，而於屬與位於上述圖像一方側之上述圖案邊緣之 邊緣點，與屬於位於上述圖像他方側之圖案邊緣之邊緣點 間進行配對。 ‘ 另外，上述圖案評估裝置較佳為更加具備包含有儲存上 述圖像資料之第1記憶區域，及儲存上述分布圖之第2記憶 區域之記憶手段。 上述之圖案評估裝置較佳為更加具備記憶控制過程，其 對上述每個邊緣點對，根據上述距離及上述角度依比例分 配假想之副像素，並以上述分布圖之資料做為複數個位元 之圖像貢料.而附加上述記憶體位址於上述分布圖之資料上。 上述記憶控制過程又若根據上述邊緣點對之位置資訊， 於上述分布圖附加可逆變換至上述圖像資料之還原用資訊 則為佳。 又’上述特徵點抽出過程較佳為於上述分布圖或上述分 布圖之上述特徵點近旁之資料附加表示濃淡之層次值並輸 出。 另外，根據本發明之第3形態， 可提供一種電腦可讀取之記憶媒體，記錄使電腦進行圖 案#估方法之程式，該圖案評估方法具備：邊緣點檢測步 私，其接叉評估對象之圖案之圖像資料，處理前述圖像資 -13- 本紙張尺度適財S时料(〇^4規格(21GX 297公釐)----- 567304 五、發明説明（ 料前述圖像之前述圖案邊緣點之座標；配對步驟 ，引心各邊緣點組合成邊緣點對；演算步驟，其笞出 成别㈣緣點對之前述邊緣點間之距離， =間之直線與任意轴線間之角度;距離角度分布圖= 其製作前述邊緣點對之前述距離與前述角度之 :?寺徵點抽出步驟’其抽出前述分布圖之特徵點；解析 乂驟’其根據所抽出之前述特徵關前述圖案進行解析。 根據本發明之第3形態，因可記錄使電腦進行上述圖案評 估方法之程式’該圖案評估方法係具備有製作上述邊緣點 之上述距離與上述角度之分布圖之距離角度分布圖製作步 驟及處理该分布圖抽出上述特徵點之特徵點抽出步驟， 故可提供使用通用之電腦並同時且高速地進行種種圖案計 測之記錄媒體。 儲存於±述記錄媒體之上述程式之上述圖案評估方法中 ，上述配#步驟可為在所檢測出之全部的邊緣點進行組合 上述邊緣點肖之步㉟’亦可為》所檢測出之一部份邊緣點 之彼此間進行組合上述邊緣點對之步驟。 另外，上述配對步驟其上述圖案為線圖案時，係在屬於 位於上述圖像之一方側之圖案邊緣之邊緣點與屬於位於上 述圖像之他方侧之圖案邊緣之邊緣點間進行配對，而上述 圖案為封閉曲線圖案時’亦可選擇上述圖案之任意分割線 ，使用該分割線將上述圖案分割成2個，而在屬於位於上述 圖像之一方側之上述圖案邊緣之邊緣點與屬於位於上述圖 像之他方側之圖案邊緣之邊緣點間進行配對。 14- 567304

又’上述圖案評估方法較佳係· 竿^係更具備有附加記憶體位址 於上述分布圖之資料上之記憶控制步驟，該記憶體位址對 應與儲存有上述圖像資料之第！記憶區域相異之第2 另外’記錄於上述記錄媒I#夕叙4 ， 荪錄體之轾式中之上述圖案評估方 法’較佳係更具備有記憶控制步驟，其對上述每個邊緣點 對，根據上述距離及上述角度依比例分配假想之副像素， 並以上述分布圖之資料做為複數個位元之圖像資料而附加 記憶體位址於上述分布圖之資料上。 上述記憶控制步驟較佳係根據上述邊緣點對之位置資訊 而於上述分布圖上附加可逆變換至上述圖像資料之還原用 之資訊。 另外’上述特徵點抽出步驟較合適者係於上述分布圖之 資料或上述分布圖之上述特徵點近旁之資料附加表示濃淡 之層次值並輸出。 發明之實施形態 以下，-面參照圖面-面說明幾個關於本發明之實施形 態。於以下之實施形態中係說明關於評估半導體之細微圖 案之情形，但本，發明並非只限定於該情形，其可作為圖案 評估之新手法而適用於各式各樣之工業領域。 (Α)圖案評估裝置之一實施形態 圖η系顯示有關本發明之圖案評估裝置之實施一形態之方 塊圖。於同-圖所顯示之圖案評估裝置2係具備有工作㈣ 、圖像處理裝置丨4、記憶體Μ及輸出裝置18。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐） -15 五、發明説明（13 ) 記憶體16係儲存寫入有本發明之圖案 製法檔案。工作站12係由記憶體宰之：：之 製法檔案控制裝置全體，並抽出配根據該 八—G σ木自後述之距離角度 刀布圖(以下稱為DAD圖)之計測目的之特徵點等之資

出裝置18係將透過工作和而自圖像處理裝置供kDAD 圖及藉由工作站12抽出之转糌κ 门+ *之知说點，同時以顯示器等顯示。 另外’於本實施形態中雖設定由輸出裝置18顯示dad圖等 ，但DAD圖等並盔料別顯+夕v_ 口予m貝不之必要，亦可將該資訊只儲存 留於記憶體16。 圖像處理裝置14係包含CPfi9?、 <罝你已各匕W22、圖像處理部24、圖像記憶 體控制部26及圖像記憶體28。 圖像處理部24係接收自未圖示之CDSEMm供給之sem圖 像資料並進行後述之圖像處5里。圖I記憶體2 8係具有複數 個忑隐區域，藉由圖像記憶體控制部26之控制，將MM圖 像之資料及DAD圖之資料儲存於不同之記憶區域。 於本實施形態中圖像處理部24係構成邊緣點檢測手段、 配對手段、運异手段運算手段及距離角度分布圖製作手段 ，而工作站12則構成特徵點抽出手段及解析手段。 關於圖1所示之圖案評估裝置2之動作，參照圖面說明有 關本發明之圖案評估方法之實施形態。 (B)圖案評估方法之實施形態 以下’說明幾個關於與本發明有關之圖案評估方法之實 施形態。第1至第4及第9實施形態中，係以線圖案作為評估 對象之具體例來說明，又第5至第8、第11、第12及第13之 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 567304 A7 ___B7 _ 五、發明説明（U ) 貫施形態中’則以孔圖案作為評估對象來說明。 (1)第1實施形態 首先，參照圖2至圖4說明關於本發明之圖案評估方法之 第1實施形態。 圖2係說明本實施形態之概略步驟之流程，而圖3則為顯 示處理線圖案之SEM圖像之圖像處理所得到之邊緣點對模 式圖，此外，圖4係顯示於本實施形態其特徵的DAD圖之一 例。 如圖2所不，先由未圖示之SEM裝置取得評估對象之圖案 之圖像資料（步驟1)。 其次，圖像處理部24係由所取得之圖像資料認知邊緣， 藉由既知之方法檢測構成邊緣之邊緣點座標（步驟2)。於圖3 之模式圖可顯示出由某種代數檢測出邊緣之理想形狀之線 圖案LP1。如前所述，在以往之計算方法中，於圖3的又軸 方向找出邊緣對而求該等邊緣對間之平均距離。於本實施 形悲中’圖像處理部24係取構成線之右側邊緣之點與構成 左側邊緣之點之全部組合（步驟3),算出於各組合之右側邊 緣與左側邊緣間之距離，及連結該邊緣間之直線對於χ軸之 角度（步驟4)，作為距離角度分布圖（即DAD圖）呈現出來（步 驟5)。關於圖3所示之線圖案所表現之DAD圖於圖4中顯示 。圖4中，X軸係表示邊緣點間之距離，又γ軸則表示連接 對之直線之對於X軸方向之角度。邊緣點間之距離係以像素 數來表不。該點係與以下所示之實施形態共通。但於通常 的計測中，將該像素數值乘上校正常數並變換成長度單位 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 567304 A7

本用中國國家標準(⑽) 567304 A7 B7

DAD圖。如同圖所示，即使對於複數條線，亦與計測丨條線 時相同，可同時取得各線圖案之最大值、最小值及最小線 寬。 (5) 弟5實施形態 其次，說明關於本發明之圖案評估方法之第5實施形雜。 本實施形態係評估對象之圖案為孔圖案時之評估方法。 孔圖案之場合與線圖案不同，因於邊緣點並無右側、左側 之區別，故製作所有的邊緣點之對之DAD圖。但於本實施 形悲中為節省計算時間，如圖1丨所示，對所得到之邊緣點 以通過該圖案之重心之垂直線VL1分割成2組。於以下之說 明中，稱該垂直線為邊緣分割線。在本實施例中係由圖案 重心之X成分導出邊緣分割線，但亦可使用其他適當之量， 例如與圖案主軸一致之線來定義。利用此種方式不單使計 算時間減少一半，而如後述亦可檢測出圖案之凹部分之資 訊。而圖11所示之孔圖案HP1係為直徑〇之正圓，該場合之 DAD圖則如.圖12所示製作而成。並可由乂座標之最大值〇求 得孔圖案HP1之直徑Dc。 (6) 第6實施形態 其次，說明關於本發明之圖案評估方法之第6實施形態。 本實施形態之特徵係在於評估對象圖案為橢圓圖案時， 可確切地抽出特徵點。 圖13係顯示橢圓圖案之一例。又於圖_示由該橢圓圖 案HP2所得収DAD圖之一 <列。同圖中之特徵點£v9及 EV10係分別表示橢圓之長徑及短徑之距離與角度。一般而 -20·

567304 A7 _ ~___B7 五、發明説明（18 ) '~" 吕，該值係被認為是各個孔圖案之最大及最小之電子偵查 (Ferret)徑。於本實施形態中，係將儲存於圖像記憶體以之 DAD圖以圖像處理部24平滑處理後進行二值化處理，並藉 由中心值（Median)處理除去DAD圖上之孤立點，於最後求 出EV9及EV10。依據本實施形態，即使於如此之圖像處理 中發生因邊緣檢測誤差之疑似邊緣點時，亦可去除其影響 並進行正確的計測。 (7) 第7實施形態 其次，說明關於本發明之圖案評估方法之第7實施形態。 於圖丨5係顯示半導體製造之微影術製程中所形成之^孔圖 案之一例。於同一圖所示之孔圖案HP3因種種加工誤差之影 響而發生歪曲及沿著周圍之粗度。圖16係顯示對圖15所示 之孔圖案HP3所製作之DAD圖之一例。同圖中圖案之歪曲及 粗度之資訊係匯集至分布之右側之境界線（此後稱之為右側 境界線）。該右側境界線可以傅利葉分解等之通常方法進行 解析來求得。此外，藉由以平行於γ軸之直線近似右側境界 線，可取得某種近似圓。又於DAD圖中之各分布點附加有 強度值。因此，除了使用上述境界線之方法以作為特徵曲 線外，亦可使用使其近似分布之極大值的點而連接之曲線 ，或使用使其近似具一定強度以上之點而連接之曲線。該 點對後述之第8、9、13及14之實施形態亦相同。 (8) 弟8實施形態 其-人’ ό兒明關於本發明之圖案評估方法之第8實施形態。 本實施形態之特徵係在於使用DAD圖進行評估對象圖案 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 567304

之規格確認。例如計測對象為孔圖案，於該孔圖案具有LSL (Lower Spec Llmit)或 USL (Upper Spec umit)或其雙方時， 職規格㈣DAD圖上，如圖17所示之帶區域训來表示。 藉此㈣计具右侧境界、線與該帶區域SB i之&含關係，即 可瞬間進行規格確認。另外，於本實施形態中雖因採用關 於正圓之規格而成為帶區域，但藉由自實際產品決定，亦 可瞬間進行更複雜之規格確認。 (9)第9實施形態 其^，說明關於本發明之圖案評估方法之第9實施形態。 本實施形態之特徵係在於即使為彎折成鉤型之圖案亦可 正確地計測。圖18係顯示如此之鉤型線圖案之具體例。同 -圖所示之線圖案LP7、LP8 ’為例如在半導體製造步驟所 形成之圖#，特別是對於中間細部分（若有中間細的話）必須 要計測尺寸。圖19為該圖案⑴、m之DA[)圖，其中間細 部分之尺寸可由DAD圖之左側境界線的最小值測定而出。 於本貫施形態中算出其中間細部分之距離為68像素。另外 ，將圖之DAD圖看成由如圖2〇所示之4條曲線部分a、b 、C、⑽構成的，藉由函數㈣—近似各自之曲線，例 如圖21所示，亦可計測位於圖18之線圖案^了、[ρ8之周邊 之其他線圖案LP9〜LP12之各種尺寸。例如由圖2()之近似曲 線B、C’可測定線圖案LP10、LPU之中間細部分以外之線 寬。此外’由圖20之近似曲線D亦可計測出由線圖案㈣ 所具有中間細部分其佔有全體之線寬。 (10)第10實施形態 •22-

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其次，說明關於本發明之圖幸烊 <囵茶汗估方法之第ίο實施形態 。本實施形態之特徵在於於 牡π於孔圖案之邊緣部具有凹部時， 取得凹部之資訊。 圖22係顯示輪廊成為凹曲線之圖宏 人n U四跟炙圖案之一例之SEM圖像之 圖。關於如此之孔圖案HP4,於圖23顯示於對圖22之乂轴為 〇度之方向上取得為檢測出邊緣點之分割線所製作之D A D圖 ，於圖24顯示於對圖22之X軸A 90择+七人 心釉马90度之方向上取得分割線所 製作之DAD圖。 由圖23及圖24之對比可明確得知，即使是相同的圖案， 因於圖案之凹部分之輪廓存在著有邊緣點，故配合分割線 之傾斜DAD圖會有變化。於本實施形態中以〇度及9〇度之大 差距的步驟使分割線旋轉，#亦可能例如將其以各1〇度或 各1度之小步驟來進行’且根據以其各自之分割線所得到之 分布圖，於圖案之邊緣計測存在於任意方向之凹部分之資 訊。另外，此時較佳為於Z軸取分割線之角度並以3度空間 來表示分布圖，之後抽出特徵點而計測圖案之凹部分之資 訊。 (1 1)弟1 1實施形態 其次，說明關於本發明之圖案評估方法之第丨丨實施形態 。本實施形態之特徵在於對自2個SEM圖像中所分別得到之 2個DAD圖進行運算處理。 圖25係顯示自2個孔圖案所分別得到之SEM圖像之一例。 於本實施形態該2個孔圖案HP5 ' HP6，係指可存在於同一 圖像内之各別場所時’亦可存在於各別之SEM圖像時。 -23· 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 567304 A7 _____B7 五、發明説明（21 ) 該圖案HP5、HP6之DAD圖分別顯示於圖26之⑷及（b)。 另外，該DAD圖係圖1所示之圖案評估裝置2 对，獨立儲存於各別之記憶體區域。其次：像= 部24進行該等DAD圖彼此間之圖像運算處理。圖27(&)及（b) 則顯示出對圖26(a)及（b)之DAD圖分別進行加瞀# 及減算處理之結果。根據本實施形態.，基於圖：示= 算結果’可定量化2個孔圖案HP5、HP6之差異。於圖25其2 個孔圖案HP5、HP6雖係顯示相互隔離且長轴方向呈相互正 父之位置，但如同上述，此僅表示將分別取得之sem圖像 作如此配置之結果，實際上亦有例如於孔圖案Hp5内包含有 孔圖案HP6之情形。如圖27所示，藉由對自該㈣圖像所得 到之DAD圖彼此間進行運算處理，亦可明4地得知該位置 關係。另外，於本實施形態中，歲藉由單純地於圖像彼此 間之運算處理求得圖案彼此間之差異點，但亦可於對各個 DAD11進行二值化後，再藉由工作站。進行例如兩者之 AND或OR之迦輯運算。又在求取DAD圖間之差時，其作為 運算結果之正負亦可例如以顏色之不同來表現並以輸出裝 置18顯示。 ^ (12)第12實施形態 其次，說明關於本發明之圖案評估方法之第12實施形够。 於上述之通常DAD圖製作之步驟外，加上於形成邊緣點 對之步驟，其係求得表示各邊緣點對之實平面上之位置關 係之資訊，例如成為對之各邊緣點之中點座標，與邊緣點 對之距離及角度之補為資料而儲存於圖像記憶體(參 _ _24_ ^紙張尺度適财S S家¥準(哪）A4規格(_21GX 297公爱)--------- 567304 A7 B7 五、發明説明（22 ) 照圖1)。藉此，使用該追加之位置資訊，而將DAD圖上之 點所表現之邊緣點對返回實平面，而可容易回復到原來之 圖案形狀。 (13)第13實施形態 其次，說明關於本發明之圖案評估方法之第13實施形態 。本實施形態之特徵係合成分別由2個圖案所得到之DAD圖 ’再根據所合成之DAD圖抽出各圖案彼此間之相對的特徵 再次以圖25所示之2個孔圖案HP5、HP6為例說明此點。 另外，如同上述該孔圖案係可於同一圖像内之各別場所時 ’亦可在各別之圖像。 孔圖案HP5、HP6之各DAD圖係如圖26所示，但於本實施 形態中，如圖28所示，首先由該等DAD圖檢測出各圖 特徵，例如各DAD圖之境界線SB5、SB6。接著，由其結果 求取平均之境界線SBav.。而自該平均境界線沾…所^到 之計測資訊係成為各個孔圖案HP5、HP6之某種被平均之資 訊。另外’藉由以平均之境界、.SBav為基準算出各圖案: 境界線SB5、SB6之分散，可定量化於各個圖案_、_ 之形狀面的誤差。 U4)第14實施形態 其次’說明關於本發明之圖案評估方法之第"實施形熊 。本貫施形態之特徵在於取得隨著一系列之時間變化 SEM圖像之圖像資料，並逐一 又 、衣作DAD圖且控制於圖幸之 特徵點之變化。 口未< 25- 567304

圖29係為說明本實施形態之圖案評估方法之方塊圖。於 圖29中除圖i所示之圖案評估裝置1〇外，尚有電子線裝置％ 。毛子線裝置70係具備有CDSEM80、掃描轉換器9〇及列電 壓控制部100。CDSEM80係包含將電子線對著試料射出之電 子搶部82，及控制該電子線之執道並使其照射至試料之電 子光學糸統84。電壓控制部i 〇〇則連接於圖案評估裝置i之 工作站12及CDSEM80之電子光學系統84。 在此，例如於CDSEM80之電子光學系統84之列調整中使 用孔圖案之場合時，分配予各種參數，於透過掃描轉換器 90而由檢測器86所得到之SEM圖像中，孔的形狀會因電子 線像差而有變化。藉由使用上述圖案評估方法，可透過 DAD圖即時追蹤該孔圖案形狀之時間變化。而圖案評估裝 置10之工作站12則透過電壓控制部1〇〇將該追蹤結果回饋到 電子光學系統84之各種參數，而可易於進行電子線之列調 整。 例如於試料表面所形成之圖案為正圓之場合時，進行列 調整而使得於DAD圖之境界線呈直線（參照圖12)即可。以上 之步驟不只限於CDSEM裝置，亦可適用於例如於電子線曝 光裝置’作為文字投影例如控制圓形光線時。 (C)記錄媒體 上述之圖案評估方法之一系列步驟及電子線裝置之控制 方法之一系列步驟，亦可收容使電腦執行之程式於軟碟及 CD-ROM等之記錄媒體，而使電腦讀取並執行。藉此，可 使用Λ用之電腦而實現有關本發明之圖案評估方法。記錄 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐） 567304 A7 B7 五、發明説明（24 ) 媒體並不只限定磁碟及光碟等可攜·帶之物，亦可是硬碟裝 置或記憶體等之固定型之記錄媒體。另外，亦可透過網際 網路等之通訊電線（包含無線通訊）來傳送分發具備上述圖案 評估方法之一系列步驟之程式。此外，亦可對具備上述圖 案評估方法之一系列步驟之程式加以暗號化、或加以變調 ，而在壓縮之狀態下透過網際網路等之有線電線或無線電 線或收容於記錄媒體來分發。 發明之效果 如同以上詳述，本發明可獲致以下之效果。 依據本發明，可提供一種可同時以高速、高精度實行種 種圖案評估，並付與高附加價值之圖案評估方法及 估裝置。 〃 另外，依據本發明，可提供—種可使用㈣電腦而進行 可U致上述效果之圖案評估方法之記錄媒體。 圖示之簡單說明 塊^圖Π係有關本發明詩估裝置之—實施形態之 【圖2】係顯示有關本發明之圖案評估方法 態之概略步驟之流程。 弟只轭形 【圖3】係顯示藉由圖2所示之圖 得到所檢測出之邊緣點之模式圖。彳法而自線圖 【圖4】係顯示藉由圖2所 之線圖案所得到之嶋圖之—例⑽㈣方法而自圖3所 【圖^係顯示因加工誤差於計測區域有不同線寬之線 評 方 案 不 圖 -27- 567304 A7 B7

案之SEM圖像之一例。 【圖6】係顯示出對於圖5之線圖案，藉由圖2所示之步驟 所製作之DAD圖之一例。 【圖7】係顯示對著基準軸傾斜並由SEM像所取得之線圖 案之一例之圖。 【圖8】係顯示關於圖_7所示之傾斜圖案所製作之dad圖 之一例之圖面。 【圖9】係、顯示於計測區域内共同存在彼此線寬不同之複 數個線圖案之例。 【圖10】係顯示由有關本發明之圖案評估方法之第4實施 形態設定禁止規則，並自圖9所示之複數個線圖案所取得之 DAD圖之-例。 【圖Π】係顯示正圓形狀之孔圖案之一例之圖。 【圖12】係由有關本發明之圖案評估方法之第5實施形態 ’而自圖Η所示之孔圖案所取得之Dad圖之一例。 【圖13】係顯示橢圓圖案之一例之圖。 【圖14】A由圖13所示之糖圓圖案所得到之dad圖之一 例。 【圖15】係顯不於半導體之微影術製程因加工誤差，而 伴隨歪曲及粗度所形成之孔圖案之一例之圖。 【圖16】係由圖15所示之孔圖案所得到之bAD圖之一例 之圖。 【圖17】係於DAD圖上表示有關孔圖案徑之規格之圖。 【圖1 8】係顯示彎成鉤型之線圖案之SEM圖像之一例之 -28· 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

裝 訂

線 ^〇/i〇4

装

订

567304 A7 B7 五、發明説明（27 ) 元件符號之說明 2 圖案評估系統 10 圖案評估裝置 12 工作站 14 圖像處理裝置 16 記憶體 18 輸出裝置 22 CPU 24 圖像處理部 26 圖像記憶體控制部 28 圖像記憶體 70 電子線裝置 80 CDSEM 82 電子搶部 84 電子光學系統 86 檢測器 90 掃描轉換器 100 電壓控制部 -30- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

Claims (1)

1. 567304 567304 3. 第091105747號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(92年6月） 六、申請專利範圍 l二種圖案評估方法’其具備：邊緣點檢測過程，其接受 ?平估對象之圖案之圖像資料，虑以 Ψ ^ ^ ^ ' - 'f ^ J 里珂述圖像資料並檢測 出則速圖像之刖述圖案邊緣點之座把· 配對過程，其以前述各邊緣點組；成邊緣 、演算過程:其^構成前述邊緣點對切述邊緣點間 之距離，及連接‘述邊緣點間 度· 農、、泉與任意軸線間之角 、距離角度分布圖製作過程，其製作前述邊緣點對 述距離與前述角度之分布圖； ’ ^ ' 特徵點抽出過程，其抽出前述分布圖之特徵點. 行::過程，其根據所抽出之前述特徵點對前述圖案進 2. ::Γ!=!圍第1項之圖案評估方法，其中前述配對過 私於則述圖案為線圖案時，進行屬於位在前述圖像之一 万侧案邊緣之邊緣點與屬於位在前述圖像之 側之圖案邊緣之邊緣點間之配對； 於前述圖案為封閉曲線圖案時，選擇前述圖案之任音 分割線並使用此分割線而將前述圖案分為二個，再進;： 屬於^前«像之—賴之圖㈣緣之邊緣點與屬於丁 位在“圖像H侧之圖案邊緣之邊緣點間之配對。 如申請專利範園第i項之圖案評估方法，其中前述特徵點 抽出過程亦可為藉由對前述分布圖進行圖像處理而 前述特徵點。 4.如申請專利範圍第1項之圖案評估方法，其中更具備有吃 O:\77\77208-920625.DOC\ 裝 訂 令紙狀麟騎®目家鮮(CNsTIIiiT^ X 297公釐） 567304 A8 B8 C8 —"________ 、申請專利範圍 憶控制過程，其於前述分布圖之資料中附加對應與儲存 有前述圖像資料之第1記憶區域相異之第2記憶區域之記 憶體位址。 5.如申請專利範圍第4項之圖案評估方法，其中前述記憶控 制過程亦可於每一前述邊緣點，根據前述距離及前述角 度依比例分配假想之副像素，並以前述分布圖之資料做 為複數個位元之圖像資料而附加前述記憶體位址。 6·如申請專利範圍第1項之圖案評估方法，其中前述特徵點 抽出過程包含於前述分布圖資料或前述分布圖之前述特 徵點近旁之資料處附加表示濃淡之層次值。 7·如申請專利範圍第4項之圖案評估方法，其中上述記憶控 制過程包含根據上述邊緣點對之位置資訊，而在上述分 布圖附加可逆變換至上述圖像資料之還原用資訊之過程。 8.如申請專利範圍第1項之圖案評估方法，其中上述圖案至 少包含1個以理想形狀所形成之理想圖案； 上述特徵點抽出過程更包含抽出自上述理想圖案所得 到之上述分布圖之特徵點之理想特徵點，及自上述評估 對象之圖案所得到之上述分布圖之特徵點，並輸出來自 由上述評估對象之圖案所得到之特徵點上之上述理想特 徵點之差異之過程。 9·如申請專利範圍第1項之圖案評估方法，其中上述圖案為 複數個圖案； 上述距離角度分布圖製作過程係製作上述每一圖案之 上述分布圖被合成之第1被合成分布圖之過程； -2- O:\77\77208-920625.DOC\ 5 本紙張尺度適用中S S家檩準(CNS) Μ規格_χ297公釐) 六、申請專利範固 上述特徵點抽出過程係自上述第1被合成分布圖之一部 份區域抽出顯示上述每一圖案之上述特徵點輿上述圖案 間炙相對位置關係之上述特徵點之過程。 如申請專利範圍第！項之圖案評估方法，其中上述圖像資 料包含複數個圖案之圖像資料； 上述配對過程包含設定禁止規則之過程，其禁止在各 圖案所對應之圖案邊緣間以外之配對。 八π 11 ·如申叫專利範圍第i項之圖案評估方法，其中上述圖像資 料包含複數個圖案之圖像資料； 上述配對過程可進行各圖案所對應之圖案邊緣間以外 之配對。 12·如申請專利範圍第i項之圖案評估方法，其中上述圖案為 複數個圖案； 上述距離角度分布圖製作過程係對每個圖案製作上述 分布圖，且以所得到之上述分布圖間進行圖像運算處理 並製作第2被合成分布圖； 上述特欲點抽出過程係自上述第2被合成分布圖抽出上 述特欲點，並定量化上述分布圖合成之上述圖案彼此間 形狀之差異之過程。 13·如申請專利範圍第丨項之圖案評估方法，其中上述圖案為 複數個圖案； 上述距離角度分布圖製作過程對各個圖案製作上述分 布圖； 上述特徵點抽出過程則自各個圖案所得到之上述分布 O:\77\77208-920625.DOC\ 5 -3- 567304

   圖抽=上述特欲點，且於所得到之上述特徵點彼此間進 行運算處理，並定量化該特徵點彼此間之差異之過程。 14. 如申請專利範圍第1項之 _币貝《圖案砰估方法，其中上述圖案包 含封閉曲線圖案； 上述特徵點抽出過程係設定上述分布圖之特徵曲線， 再根據該特徵曲線抽出上述特徵點。 15. 如申請專利範圍第1項之圖案評估方法，纟中上述圖案為 封閉曲線圖案； 上id配對過私為選擇上述圖案之任意分割線及上述封 閉曲線圖案内之任意點，以上述任意點為中心而以任意 角度旋轉上述分割線旋轉，於每個上述任意角度使用上 述分割線將上述圖案分割成2個，並於上述每個任意角度 進行屬於位在上述圖像之上述一方側之上述第旧案邊緣 <邊、緣點與屬於位在上述圖像之上述另_方側之上述第2 圖案邊緣之邊緣點間之配對過程； 上述距離角度分布圖製作過程為於上述每個任意角度 製作上述分布圖。 16. 如申請專利範圍第13或14項之圖案評估方法其中上述 圖案包含複數個封閉曲線圖案； 上述距離角度分布圖製作過程對各個封閉曲線圖案製 作上述分布圖； —上述特徵點抽出過程則對所得到之各封閉曲線圖案之 母個上述分布圖設定上述特徵曲線，再根據該特徵曲線 對每個封閉曲線圖案抽出上述特徵點，運算處理其所得 O:\77\77208-920625.DOC\ 5 -4- 本紙張尺度適财目目家標準(CNS) A4規格7^Χ297公董）

   裝 η

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   到之複數個上述特徵點並定量化上述複數個封閉曲線圖 案間之差異。 如申叫專利範圍第1項之圖案評估方法，其中上述圖案包 含線圖案； 上述特欲點抽出過程以上述距離為X，上述角度為y， 上述線圖案之寬為D之時，於上述分布圖設立以函數 X = D/cosy 表π之至少1條近似曲線，根據該近似曲線抽出上 徵點。 1如申請專利範圍第i項之圖案評估方法，其中上述圖像資 料為時間性變化之一系列之圖像資料； 上述配對過程、上述運算過程、上述距離角度分布圖 製作過程及上述特徵點抽出過程，係對於構成上述一系 列圖像資料之圖像資料逐一進行； 且更具備即時輸出所抽出之上述特徵點之變化之輸出 過程。 19. 一種圖案評估裝置，其具備：邊緣點檢測手段，其接受 評估對象之圖案之圖像資料，處理前述圖像資料並自二 述圖像檢測出前述圖案邊緣點之座標； =對手段，其以前述各邊緣點組合成邊緣點對；運算 手段丄其算出構成前述邊緣點對之邊緣點間之距離，及 連接前述邊緣點間之直線與任意軸線間之角度； 距離角度分布圖製作手段，其製作前述邊 述距離與前述角度之分布圖； 緣點對之前 O:\77\77208-920625.DOC\ 5 -5-

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   567304 A8 B8 C8 ---------- D8 六、申請專利範圍 上述特徵點抽出手段係自上述第1被合成分布圖之一部 份區域抽出顯示上述每一圖案之上述特徵點與上述圖案 間之相對位置關係之上述特徵點之手段。 24·如申請專利範圍第19項之圖案評估裝置，其中上述圖像 資料包含複數個圖案之圖像資料； 上述配對手段包含設定禁止規則之手段，其禁止在各 圖案所對應之圖案邊緣間以外之配對。 25·如申請專利範圍第19項之圖案評估裝置，其中上述圖像 資料包含複數個圖案之圖像資料； 上述配對手段可進行各圖案所對應之圖案邊緣間以外 之配對。 26.如申請專利範圍第19項之圖案評估裝置，其中上述圖案 為複數個圖案； 上述距離角度分布圖製作手段係對每個圖案製作上述 分布圖，且以所得到之上述分布圖間進行圖像運算處理 並製作第2被合成分布圖； 上述特欲點抽出手段係自上述第2被合成分布圖抽出上 述特徵點，並定量化上述分布圖合成之上述圖案彼此間 形狀之差異之手段。 27·如申請專利範圍第19項之圖案評估裝置，其中上述圖案 為複數個圖案； 上述距離角度分布圖製作手段對各個圖案製作上述分 布圖； 上述特徵點抽出手段則自各個圖案所得到之上述分布 O:\77\77208-920625.DOC\ 5 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公董) 々、申請專利範圍 圖抽出上述特徵點，且於所得到之上述特徵點彼此間進 行運算處理，並定量化該特徵點彼此間之差異之手段。 28 29. 30· 如申請專利範圍第19項之圖案評估裝置，其中上述圖案 包含封閉曲線圖案； 上述特徵點抽出手段係設定上述分布圖之特徵曲線， 再根據該特徵曲線抽出上述特徵點。 如申請專利範圍第2〇項之圖案評估裝置，其中上述圖案 為封閉曲線圖案； 上述配對手段為選擇上述圖案之任意分割線及上述封 閉曲線圖案内之任意點，以上述任意點為中心而以任意 角度旋轉上述分料旋轉，於每個上述任意角度使用上 述:分割線將上述圖案分割成2個，並於上述每個任意角度 進^於位在上述圖像之上述—方侧之上述第1圖案邊緣 (邊緣點與屬於位在上述圖像之上述另—方側之上述第2 圖案邊緣之邊緣點間之配對手段； 上述距離角度分布圖製作手段為於 製作上述分布圖。 < 母個任〜、角度 …，其中上述 閉曲線圖案製 上述距離角度分布圖製作手段對各個封 作上述分布圖； —倣點抽出手段則對所得到之各封閉 母個上述分布圖設定上述特徵曲 '7 對每個封閉曲線圖案抽出上述特徵心據該特徵曲線 试站運算處理其所得 5 O:\77\77208-920625.DOC\ -8 - 、申請專利範園 到之複數個上述特徵點並定量化上述複數個封閉曲線圖 案間之差異。 3 1 ·如申請專利範圍第19項之圖案評估裝置，其中上述圖案 包含線圖案； 上述特徵點抽出手段以上述距離為X，上述角度為y， 上述線圖案之寬為D之時，於上述分布圖設立以函數 x= D/cosy 表π之至少1條近似曲線，根據該近似曲線抽出上述特 徵點。 32·如申請專利範圍第19項之圖案評估裝置，其中上述圖像 資料為時間性變化之一系列之圖像資料； 上述配對手段、上述運算手段、上述距離角度分布圖 製作手段及上述特徵點抽出手段，係對於構成上述一系 列圖像資料之圖像資料逐一進行； μ 且更具備即時輸出所抽出之上述特徵點之變化之輸出 種黾細可頡取之記憶媒體 吞匕綠便電腦進行圖案評估 方法之程式，該圖案評估方法具備： 邊緣點檢測步驟，其接受評估對象之圖案之圖像資料 ’處理前述圖像資料並檢測出前述圖像之前述圖案邊緣 點之座標， 配對步驟，其以前述各邊緣點組合成邊緣點對； 演异步驟’其算出構成前述邊緣點對之前迷邊 之距離’及連接前述邊緣點間之直線與任意輪線間^ O:\77\77208-920625.DOC\ 5 _ g 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格Τϋ〇Χ297公^ 六、申請專利範園 、=!度分布圖製作步驟，其製作前述邊緣，w 述距離與前述角度之分布圖； 謂疋則 f u抽出步驟’其拙出前述分布@之特徵點. 解析步驟，其根據所抽出 二， 行解析。 付级…占對則述圖案進 34.如申明專利範圍第33項之記錄媒體，其中 於前述圖案為線圖案時，進行屬於位在前述=:= 側义圖案邊緣之邊緣點與屬於位在前述圖像之另 •^圖案邊緣之邊緣點間之配對； 万貝1 於前述圖案為封閉曲線圖案時，選擇前述 使用此分刻線而將前述圖案分為二個，丄： 屬二二前述圖像之一方侧之圖案邊緣之邊緣點與屬於 位在則述圖像之另一方侧之圖案邊緣之邊緣點間之配對。 35.如申請專利範圍第33項之記錄媒體，其中更具備有記憶 ^制過程’其於前述分布圖之資料中附加對應與儲存有 刖述圖像資料之第i記憶區域相異之第2記憶區域之記憶 體位址。 u 36.如申請專利範圍第33項之記錄媒體，其中上述圖案至少 包含1個以理想形狀所形成之理想圖案； 上述特徵點抽出過程更包含抽出自上述理想圖案所得 到之上述分布圖之特徵點之理想特徵點，及自上述評估 對象之圖案所得到之上述分布圖之特徵點，並輸出來自 由上述砰估對象之圖案所得到之特徵點上之上述理想特 O:\77\77208-920625.DOC\ 5 -10 - 六、申請專利範園 徵點之差異之過程。 其中上述圖案包含 37.如申請專利範圍第33項之記錄媒體 複數個圖案； 上述距離角度分布圖製作過程係製作上述每一圖案之 上述分布圖被合成之第1被合成分布圖之過程； 上述特徵點抽出過程係自上述第i被合成分布圖之一部 份區域抽出顯示上述每—圖案之上述特徵點與上述圖案 間<相對位置關係之上述特徵點之過程。 38. 如申請專利範圍第33項之記錄媒體，其中上述圖像資料 包含複數個圖案之圖像資料； 上配對過私包含设定禁止規則之過程，其禁止在各 圖案所對應之圖案邊緣間以外之配對。 39. 如申請專利範圍第33項之記錄媒體，其中上述圖像資料 包含複數個圖案之圖像資料； 上述配對過程可進行各圖案所對應之圖案邊緣間以外 之配對。 40.如申凊專利範圍第33項之圖案評估方法，纟中上述圖案 包含複數個圖案； 上述距離角度分布圖製作過程係對每個圖案製作上述 为布圖，且以所得到之上述分布圖間進行圖像運算處理 並製作第2被合成分布圖； 上述特徵點抽出過程係自上述第2被合成分布圖抽出上 述特欲點，並定量化上述分布圖合成之上述圖案彼此間 形狀之差異之過程。 O:\77\77208-920625.DOC\ 5 ^ ^ 本紙張尺度適用巾g國家標準⑴⑽）Μ規格(⑽X挪公愛) 567304 六、申請專利範園 41·如中請專利範圍第33項之記錄媒體，其中上述圖案包含 複數個圖案； 口 上述距離角度分布圖製作過程對各個圖案製作上述分 布圖； 上述特徵點抽出過程則自各個圖案所得到之上述分布 圖抽出上述特徵點，且於所得到之上述特徵點彼此間進 仃運算處理，並定量化該特徵點彼此間之差異之過程。 42. 如申請專利範圍第33項之記錄媒體，其中上述圖案包含 封閉曲線圖案； 上述特徵點抽出過程係設定上述分布圖之特徵曲線， 再根據該特徵曲線抽出上述特徵點。 43. 如申請專利範圍第33項之記錄媒體，其中上述圖案包含 封閉曲線圖案； 上述配對過程為選擇上述圖案之任意分割線及上述封 閉曲線圖案内之任意點，以上述任意點為中心而以任意 角度旋轉上述分割線旋轉，於每個上述任意角度使用上 述分割線將上述圖案分割成2個，並於上述每個任意角度 進行屬於位在上述圖像之上述一方侧之上述第丨圖案邊緣 之邊緣點與屬於位在上述圖像之上述另一方側之上述第2 圖案邊緣之邊緣點間之配對過程； 上述距離角度分布圖製作過程為於上述每個任意角度 製作上述分布圖。 44.如申請專利範圍第41或42項之記綠媒體，其中上述圖案 包含複數個封閉曲線圖案； 12- O:\77\77208-920625.DOC\ 5 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 567304

   上述距離角度分布圖製作過程對各個封閉曲線圖案製 作上述分布圖； —上述特徵點抽出過程則對所得到之各封閉曲線圖案之 每個上述分布圖設^上述特徵曲線，再根據該特徵曲線 對每個封閉曲線圖案抽出上述特徵點，運算處理其所得 I之複數個上述特徵點並^量化上述複數個封閉曲線圖 45. 如申請專利範園第33項之記錄媒 線圖案； 體，其中上述圖案包含 上述特徵點抽出過程以上述距離為χ，上述 上述線圖案之寬為D之時’於上述分布圖設立以函數 χ = D/cosy 表示之至少1條近似曲線，根據該 很像系近似曲線才由出上述特 46. 如申請專利範園第33項之圖案評估方 資料為時間性變化之一系列之圖像資料；八 义圖像 上述配對過程、上述運算過程、 製作過程及上述特徵點抽出過程， 列圖像資料之圖像資料逐一進行； 上述距離角度分布圖 係對於構成上述一系 上述圖案評估方法更具備即時輪出 點之變化之輸出過程。 由出疋上述特徵 O:\77\77208-920625.DOC\ -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）