TW559581B - Grinding method, electronic component, and variable capacitor - Google Patents

Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 559581 A7 B7 五、發明說明（/ ) 本發明之背畺 1. 本發明之領域 本發明係關於一種硏磨方法’其中對具有不同厚度的 多個工件執行硏磨操作’在每個工件的厚度方向上的端面 是一個要被硏磨的表面。更加具體來說’本發明相關於對 多個工件達到均勻硏磨的改進。 本發明也相關於一種電子元件’例如可變電容器’其 具有用上述硏磨方法硏磨的元件。 2. 相關技藝之敘述 例如，在日本未審査專利申請公告第6_290994和10_ 321467號中揭示一種與本發明相關的電子元件，更加具體 來說是可變電容器。揭示於這些專利申請公告中的可變電 容器基本上包括相同的部件。在日本未審查專利申請公告 第10-321467號中描述的可變電容器在圖2至4中顯示出。 圖2顯示出可變電容器1的外觀透視圖，圖3係從底 部看圖2中所示可變電容器的透視圖’以及圖4與圖2中 所示的可變電容器的剖面圖。 可變電容器1包括作爲元件的定子2、轉子3和蓋4。 定子2包括陶瓷介電質元件，並且定子電極5和6在 其中並排形成。以導電膜組成的定子端7和8形成在定子 2的邊緣的外表面上，使得其分別與定子電極5和6電連 接。 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7 五、發明說明（> ) 兩個定子電極5和6以及兩個定子端7和8如上文所 述形成，使得定子2具有對稱結構，並且可變電容器1可 以用定子2來組裝，不用考慮到定子2的方向。在圖2至 4中所示的組裝狀態中，定子電極5和定子端7起作用， 而定子電極6和定子端8不起作用。 突出部分9形成在定子2的下表面上，使其在中心的 縱向延伸。 轉子3包括導電金屬，並且置於在定子2的厚度方向 中的上端面10上。基本上爲半圓形的具有突出臺階的轉子 電極11形成在轉子3下表面上。具有與轉子電極11相同 高度的突起12形成在轉子3的下表面上，從而避免轉子3 由於存在轉子電極11而傾斜。轉子3還具有起子凹口 13， 以允許例如起子之工具來旋轉轉子3。 蓋4包括導電金屬，並且固定在定子2上並容納轉子 3。轉子3由蓋4所支承以使其可以相對於定子2旋轉。 用於暴露出轉子3的起子凹口 13的調節孔14形成在 蓋4中。與轉子3接觸並使得轉子3與定子2加壓接觸的 彈簧作用部分15被提供在調節孔14的週邊。彈簧作用部 分I5在調節孔14週邊向著中心加壓，並且具有多個突起 16 〇 在相對側向下延伸的嚙合部分17和18被提供于蓋4 上。嚙合部分17和18被彎曲，以與定子2的下表面相嚙 合，從而蓋4被固定到定子2上。提供於定子2的下表面 上的突起部分9的突起量基本上與嚙合部分π和18的突 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂·--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7 五、發明說明（)） 起相同，從而可變電容器1可以穩定地安裝在適當的佈線 板(未在圖中示出)上。 轉子端19還提供在蓋4上，向下延伸。 在具有上述結構的可變電容器1中，轉子電極11與定 子電極5相對，並且構成定子2的陶瓷絕緣件的一部分夾 在其間，從而產生電容。轉子3被旋轉以改變轉子電極11 與定子電極5之間的重疊面積，從而改變電容量。可以在 電連接到定子電極5的定子端7與提供于與形成有轉子電 極11的轉子3相接觸的蓋4上的轉子端19之間獲得可變 電容。 在該可變電容器1中，爲了增加最大電容量並且獲得 穩定的電容量，定子2的端面10被硏磨，從而端面1〇與 定子電極5和6之間的絕緣件的厚度降低，並且還可以在 與轉子電極11接觸的端面10獲得較平整的表面。 當定子2的端面10被硏磨時，爲了有效地執行硏磨操 作，多個定子2可以同時處理。 圖5A和5B示出用於上述的硏磨操作的習知硏磨方 法。要被硏磨的工件21對應於定子2，並且被簡要示出。 在圖中所述的工件21具有要在下表面的厚度的方向上 硏磨的表面22，並且要被硏磨的表面22對應於端面1〇。 在工件21中，電極23對應于平行於要被硏磨的表面22延 伸的定子電極5和6。在工件21中，還形成對應於突起部 分9的突起部分24。 如圖5A中所示，製備具有平的固定表面25的固定器 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ----訂--------- 559581 A7 B7 五、發明說明（午） 26，並且製備多個工件21。由於所用的製造方法，工件21 具有不同的厚度。 接著，工件21由固定器26所固定，與每個工件的要 被硏磨的表面22相對的相對表面27與固定器26的固定表 面相接觸。另外，儘管未在圖中示出，例如提供粘合劑以 便在固定表面25上固定各個工件21。 由固定器所固定的工件21的表面22被磨具28所硏 磨。在圖5A中，在執行硏磨之後的磨具28位置由虛線所 示。從而，執行硏磨的磨削量對應於在硏磨之前示出磨具 28的實線與虛線之間的距離。 圖5B顯示出被硏磨的工件21。如圖中所示，在習知 硏磨方法中，由於硏磨操作是根據相對表面27執行的，在 工件21的整體厚度中的差別導致在完成的各個工件中要被 硏磨的表面22與在電極23之間的距離的變化。因此，在 可變電容器1中出現電容中的變化。 爲了克服上述缺點，在此還公開一種在圖6A至6C中 所示的硏磨方法。在圖6A至6C中，相同的參考標號用於 對應圖5A和5B中所示的部件的部件，並且省略對其的描 述。 如圖6A中所示，製備具有平的固定表面29的第一固 定器30和多個工件21。 接著’工件21由第一固定器30所固定，每個工件的 要被硏磨的表面22與固定表面29相接觸。 接著，工件21的相對表面27受到模具31的初次硏磨， 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Γ-裝 ^1 ϋ ϋ 一：OJ ϋ n a^i ϋ «ϋ «ϋ I # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7_ 五、發明說明（Γ) 直到圖6Α中的虛線所示的位置，同時工件2ί由第一固定 器30固定。 圖6Β顯示出用初次硏磨完成的工件21。在該階段， 工件21被調節以具有相同的整體厚度。 接著，如圖6C所示，製備具有平的固定表面32的第 二固定器33。 工件21被第二固定器33所固定，每個工件21的相對 表面27與第二固定器33的固定表面32相接觸。 由第二固定器33所固定的工件，其被硏磨的表面22 被磨具34進行第二次硏磨，直到由圖6C中所示的虛線的 位置爲止。另外，磨具34和磨具31可以相同。 在這種硏磨方法中，在初次硏磨步驟中，相對表面27 被硏磨使得工件21具有相同的整體厚度，然後要被硏磨的 表面22在第二次硏磨步驟中硏磨。因此，在用第二次硏磨 完成的工件21中，在電極23與要被硏磨的表面22之間的 距離中的變化可以減小。 但是，在圖6Α至6C中所示的硏磨方法中，由於硏磨 操作必須在兩個步驟中執行，即，初次硏磨和第二次硏磨， 在硏磨操作中的步驟數增加，結果用於磨削加工的成本增 加。 在磨削加工中，通常，在加工時出現不可避免的偏差， 並且由於在加工偏差不可避免的硏磨操作被執行兩次，因 此加工偏差加倍，導致加工精確度下降。 7 I紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐] ' " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼ · i·^ in 1_1 f κ§ 一 · n ϋ ·ϋ ϋ tMmm team I # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7 五、發明說明（έ) 本發明之槪要 相應地，本發明的一個目的是提供一種可以解決上述 問題的硏磨方法。本發明的另一個目的是提供電子元件及 可變電容器，其具有用此硏磨方法硏磨的元件。 在本發明的一個方面中，一種硏磨方法，其中對具有 不同厚度的多個工件執行硏磨操作，在每個工件的厚度方 向上的端面是被硏磨的表面，其中包括如下步驟：由固定 器固定多個工件，使得被硏磨的表面在同一平面上對準， 並且在由固定器固定該工件時硏磨將被硏磨的表面。 在本發明的另一個方面中，一種硏磨方法，其中對具 有不同厚度的多個工件執行硏磨操作，在每個工件的厚度 方向上的端面是要被硏磨的表面，其中包括如下步驟：製 備具有平的對準表面的對準件；由對準件對齊工件，而要 被硏磨的各個工件的表面與對準件的對準表面相接觸；製 備固定器，其具有固定表面，用於將由對準件所對準的工 件固定在與要被硏磨的表面相對的相對表面側，以及硏磨 用固定劑，其把各個工件固定在固定器上；通過硏磨用固 定劑把工件固定在與固定器的固定表面相對表面的一側； 從工件上分離對準件；以及當工件被固定在固定器上時， 硏磨工件的要被硏磨的表面。 根據條件，硏磨用固定劑可以處於固定狀態或者可以 處於無定形狀態，可以使用各種類型的固定劑。 例如，當硏磨用固定劑在室溫中處於液態，並通過冷 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---- 111111. 559581 A7 ____________ B7 五、發明說明（) 卻到低於室溫的溫度而固化，用於把工件固定在固定器上 的步驟包括在等於或高於室溫的溫度把處於液態的硏磨用 固定劑注入固定器和工件之間的步驟，以及冷卻以固化硏 磨用固定劑的步驟。 當硏磨用固定劑在室溫中處於固態並且通過加熱到高 於室溫的溫度而液化時，用於把工件固定在固定器上的步 驟包括如下步驟：當加熱到高於室溫時，把處於液態的硏 磨用固定劑注入在固定器和工件之間的步驟；以及把溫度 降低到室溫以固化硏磨用固定劑。 在硏磨工件要被硏磨的表面時，硏磨用固定劑可以被 冷卻。 在本發明的硏磨方法中，可以使用對準用固定劑，以 把工件固定在對準件上。按照類似於上述硏磨用固定劑的 方式，對準用固定劑可以根據條件而處於固定狀態或無定 形狀態。 當對準用固定劑在室溫中處於液態並且通過冷卻到低 於室溫的溫度而固化時，由對準件固定工件的步驟包括如 下步驟：在等於或高於室溫的溫度施加對準用固定劑步驟， 使得對準用固定劑與工件和對準件相接觸；以及冷卻以固 化對準用固定劑的步驟。 當對準用固定劑在室溫處於固態並且通過加熱到高於 室溫的溫度而液化時，由對準件固定工件的步驟包括如下 步驟：在等於或高於室溫的溫度施加對準用固定劑步驟， 使得對準用固定劑與工件和對準件相接觸；以及把溫度降 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 零 ---I----^ ------I--· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7 五、發明說明（y) 低到室溫以固化對準用固定劑的步驟。 在從工件上分離對準件的步驟中，對準用固定劑可以 被加熱使得至少其部分被轉換成液態。在這種情況下’最 好通過加熱對準件而加熱對準用固定劑。 當使用對準用固定劑時，通過選擇硏磨用固定劑與對 準用固定劑的適當的組合，並考慮到硏磨用固定劑與對準 用固定劑的特性，可以有效和平滑地把工件從對準件傳送 到固定器，更加具體來說，從工件上分離對準件的步驟可 以有效和平滑地執行。硏磨用固定劑和對準用固定劑的最 佳組合包括如下。 首先，可以使用固化或液化溫度高於對準用固定劑的 硏磨用固定劑。其次，可以使用在預定溶劑中與對準用固 定劑不同的溶解度的硏磨用固定劑。第三，可以使用具有 比對準用固定劑更大的結合力的硏磨用固定劑。 另外，不依靠硏磨用固定劑和對準用固定劑的特性， 在固定器的固定表面上的浸潤性可以被設高於在對準件 的對準表面上的浸潤性。 本發明的硏磨方法可以有利地用於例如在上述可變電 容器1中的定子2上執行的硏磨操作。也就是說，在硏磨 方法中，工件是其中具有電極的絕緣部件，並且要被硏磨 的表面是平行於電極延伸的絕緣部件的端面。 在本發明的另一方面中，電子元件包括由上述硏磨方 法所硏磨的部件。 在本發明的另一方面中，可變電容器包括由上述方法 10 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) L裝---- ·111111. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 559581 A7 _ B7 五、發明說明（） 所硏磨的絕緣部件。 圖示簡要說明 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1A至1E係簡要顯示出在本發明的一個實施例中的 硏磨方法的步驟的剖面圖； 圖2顯示出本發明涉及的可變電容器1的外觀的透視 圖； 圖3是圖2所示的可變電容器1的透視圖； 圖4是圖2所示的可變電容器1的剖面圖； 圖5A和5B是顯示出第一習知的硏磨方法的剖面圖； 圖6A至6C是顯示出第二習知的硏磨方法的剖面圖。 元件符號說明 1 可變電容器 2 定子 3 轉子 4 蓋 5-6 定子電極 7-8 定子端 9 突出部分 10 上端面 11 轉子電極 12 突起 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 559581 A7 B7 五、發明說明（/0) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 13 起子凹口 14 調節孔 15 彈簧作用部分 16 突起 17-18 嚙合部分 19 轉子端 21 工件 22 硏磨表面 23 電極 24 突起部分 25 固定表面 26 固定器 27 相對表面 28 磨具 29 固定表面 30 第一固定器 31 磨具 32 固定表面 33 第二固定器 34 磨具 41 對準表面 42 對準構件 43 固定劑 44 固定表面 . ---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂--------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7 五、發明說明（//) 45 固定器 47 模具 銥佳窗施例詳細說明 圖1A-1E顯示出了本發明的一個實施例的硏磨方法的 步驟。在附圖中槪要顯示的工件21是圖2_4中顯示的可變 電容器1上具有的定子2，對於工件21，圖5A和5B及圖 6A-6C中所用的相同的標號用於相應的部分。 首先，如圖1A所示，製備具有平的對準表面41的板 對準件42。多個工件21與每個工件21的要被硏磨的表面 22對準，每個工件21要被硏磨的表面22與對準件42的 對準表面41接觸。 接著，如圖1B所示，由對準件42固定工件21。更具 體地說，製備對準用固定劑43，其用於將工件21固定在 對準件42上，使用對準用固定劑43將工件21固定在對準 件42上。 用作對準用固定劑43，可使用各種的固定劑。 首先，可使用諸如水或低溫凝結劑之類的對準用固定 劑43，其在室溫下呈液態，在冷卻到低於室溫的溫度下固 化。在這種情況下，以液態施加對準用固定劑43，以便在 等於或高於室溫的溫度下與工件21和對準件42接觸，然 後，通過冷卻使對準用固定劑43固化。另外，在工件21 由對準件42固定後，直到進行下一個步驟，在冷卻狀態下 13 尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

▼ I ϋ i ϋϋ ϋ— I I 一口、I Hi m a i·^ ^^1 a I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7 五、發明說明（/>) 保持對準件42固定工件21。 第二，可使用諸如臘或石蠟之類的對準用固定劑43， 其在室溫下呈固態，在加熱到高於室溫的溫度下液化。在 這種情況下，將對準用固定劑43加熱到高於室溫的溫度， 以液態施加對準用固定劑43，以便與工件21和對準件42 接觸，然後，通過將溫度降低到室溫使對準用固定劑43固 化。在這種情況下，在室溫下保持對準件42固定工件21。 另外，如上所述，可不使用對準用固定劑43由對準件 42固定工件21，例如，可採用各個工件21由一個機械裝 置支撐的結構。 接著，如圖1C所示，製備具有固定表面44的固定器 45，其用於將由對準件42固定的工件21固定在與要被硏 磨的表面22相對的相對表面27的一側上，還製備硏磨用 固定劑46，其用於將工件21固定在固定器45上。 通過硏磨用固定劑46將由對準件42固定的工件21固 定在固定器45的固定表面44上的相對表面27 —側上。施 加硏磨用固定劑46，以便充塡工件21和固定表面44之聞 的空隙，同時補償空隙中的尺寸差別。 作爲硏磨用固定劑46，可以用類似於對準用固定劑43 的方式使用各種類型的固定劑。 例如，可使用諸如水或低溫凝結劑之類的硏磨用闻$ 劑46，其在室溫下呈液態，在冷卻到低於室溫的溫度 化。在這種情況下，了將工件21固定在固定器45上， 在室溫下(或高於室溫的溫度下)以液態將硏磨用固定剛％ 14 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一 _ ϋ 1> I ϋ ϋ —ϋ i_i 訂-------- -% 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 559581 A7 B7 五、發明說明（ί;) 施加在固定器45和工件21之間，然後，通過冷卻使硏磨 用固定劑46固化。 例如，可使用諸如蠟或石蠟之類的硏磨用固定劑46， 其在室溫下呈固態，在加熱到高於室溫的溫度下液化。在 這種情況下，爲了將工件21固定在固定器45上，在加熱 到高於室溫的溫度下以液態將硏磨用固定劑46施加在固定 器45和工件21之間，然後，使溫度降低到室溫以使硏磨 用固定劑46固化。 接著，如圖1D所示，對準件42與工件21分離。在 這個階段中，爲了有效地將對準件42與工件21分離，加 熱對準用固定劑43，於是，至少一部分與對準表面41接 觸的對準用固定劑43變成液態。 當加熱對準用固定劑43時，儘管可用爐子等進行整個 加熱，但是，最好是加熱對準件42。通過加熱對準件42， 由於熱傳導作用，可在分離對準件42時需要的部分處使對 準用固定劑43快速液化，並且即使與硏磨用固定劑46相 同的固定劑用作對準用固定劑43,也可以僅液化對準用固 定劑43，並且保持硏磨用固定劑46不會由於熱傳導的差 異而處於液態，從而防止工件21以所不希望的方式從固定 器45上落下來。 另外，爲了更可靠地防止固定劑46的所不希望的液 化，最好是，硏磨用固定劑46的固化或液化溫度被設定的 高於對準用固定劑43的固化或液化溫度。 接著’如圖1Ε所不，通過硏磨用固定劑46由固定器 15 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝---- 訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 Α7 Β7 五、發明說明（Ά) 45固定工件21，工件21要被硏磨的表面22由模具47硏 磨到比如虛線所示的位置處。 如上所述，由於在各個要被硏磨的表面22對準在相同 的平面的同時進行硏磨，基本上可在多個工件21中獲得均 勻的磨削量，不會受到每個工件21的整體厚度的差異的影 響，並且在硏磨步驟進行後可以減少要被硏磨的表面22與 電極23之間的距離的變化。 另外，儘管要被硏磨工件21的整體厚度可能變化，但 這樣的變化基本上不影響可變電容器1的特性。 在上述的硏磨步驟中，可在冷卻硏磨用固定劑46的同 時進行硏磨。尤其是，如果通過冷卻到低於室溫的溫度來 固化硏磨用固定劑46,則最好是在冷卻的同時進行硏磨步 驟。 硏磨步驟完成後，工件21與固定器45分開。在這個 階段中，溫度加熱到等於或高於硏磨用固定劑46的液化溫 度，以分開工件21與固定器45，粘結到工件21上的硏磨 用固定劑46和對準用固定劑43被去除。另外，爲了去除 粘結到與固定器45分開的工件21上的硏磨用固定劑46和 對準用固定劑43，除了加熱外，可採用使用溶劑等淸洗、 機械剝皮等等。 在分離圖1D所示的對準件42的步驟中，爲了有效地 和平滑地進行分離，如上所述，加熱對準用固定劑43，其 中可加熱對準件42，或者可使用固化或液化溫度低於硏磨 用固定劑46的對準用固定劑43。 16 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一 裝--------訂--------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7

五、發明說明（fjP 首先，可使用在預定的溶劑中具有不同溶解度的對準 用固定劑43和硏磨用固定劑46。例如，如果使用在水中 可溶解而在有機溶劑中不溶解的固定劑作爲對準用固定劑 43，使用在有機溶劑可溶解而在水中不溶解的固定劑作爲 硏磨用固定劑46,當對準件42被分離時，對準用固定劑43 被溶解在水中。進行硏磨後，通過將硏磨用固定劑46溶解 在有機溶劑中，可容易地將工件21與固定器45分開。另 外，在這種情況下，更具體地說，作爲對準用固定劑43， 可使用可溶解在水中的聚乙烯醇等等，作爲硏磨用固定劑 46，可使用可溶解在醚中的石蠟等等。 第二，可使用結合力比對準用固定劑43更強的硏磨用 固定劑46。因此，通過簡單地將對準件42從固定器45上 拉下，可使對準件42與工件21分開，同時保持工件21由 固定器45固定的狀態。 第三，固定器45的固定表面44上的預定粘合劑的浸 潤性可被設定的比對準件42的對準表面41上的浸潤性大。 例如，固定器45由陶瓷等組成，而對準件42由諸如聚乙 烯、聚丙烯或聚乙烯對苯二酸之類的樹脂製成，·使用含氟 樹脂進行表面處理；或者可進行防粘劑的施加。在這種情 況下，通過簡單地將對準件42從固定器45上拉下，可使 對準件42與工件21分開，同時保持工件21由固定器45 固定的狀態。 在上述的實施例中，本發明的硏磨方法所採用的工件 21是圖2-4中所示的可變電容器丨上的定子2。但是，本 17 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ·- --------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 559581 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（/石） 發明不限於此。如果工件是其中具有電極的絕緣元件，要 被硏磨的表面是平行於電極延伸的端面，也可以以類似於 上述的方式使用本發明的硏磨方法。除了絕緣元件外，對 於電子元件上要被硏磨的部件或除電子元件外其他應用的 部件，也可使用本發明的硏磨方法。 在上述的實施例中，通過對準用固定劑43等將工件21 固定在對準件42的對準表面41上。但是，在不進行這種 固定的情況下，在多個工件21由對準件42簡單地對準的 情況下，也可進行將工件21固定在固定器45的固定表面 44上的相對表面27 —側上的步驟。 此外，爲了將工件21的要被硏磨的表面22對準在相 同的表面上，也可以採用不使用上述的對準件42的方法。 如上所述，根據本發明的硏磨方法，由固定器進行多 個工件的固定，以便各個工件的以便硏磨的表面對準在相 同的平面內，在被固定器固定的同時硏磨工件的以便硏磨 的表面。結果是，在工件中可獲得均勻的磨削量，不會受 到工件整體厚度變化的影響。 爲了獲得均勻的磨削量，由於僅進行一個硏磨步驟， 可以降低磨削加工的成本，也改進了加工精度。 在本發明中，爲了將各個工件的要被硏磨的表面對準 在相同的平面內，製備具有平的對準表面的對準件，由對 準件對準工件，同時要被硏磨的表面與對準表面接觸，於 是，可容易地將各個工件的要被硏磨的表面對準在相同的 平面內。 18 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

一垂 a 1 n I n ϋ i_l 一一 ox · n ϋ n ϋ ϋ *ϋ I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 559581 A7 B7 五、發明說明（/9) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲了由固定器固定工件，製備用於固定固定器上的工 件的硏磨用固定劑，通過硏磨用固定劑將由對準件對準的 在與要被硏磨的表面相對的相對表面一側上的工件固定在 固定器的固定表面上，因此，不管工件的整體厚度如何變 化，可容易地由固定器固定工件。結果是，通過在工件固 定在固定器的固定表面上之後將對準件與工件分離，可露 出工件的要被硏磨的表面，可以在工件被固定器固定的同 時硏磨工件的要被硏磨的表面。 如果使用在室溫下呈液態而在冷卻到低於室溫的溫度 下固化的硏磨用固定劑，或者如果使用在室溫下呈固態而 在加熱到高於室溫的溫度下液化的硏磨用固定劑，通過控 制硏磨用固定劑的溫度條件，可容易地將工件固定在固定 器上和容易地將工件與固定器分開。 當使用硏磨用固定劑時，在硏磨工件的要被硏磨的表 面的步驟中，通過冷卻硏磨用固定劑，可以通過硏磨用固 定劑更牢固地固定工件。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上所述，當使用對準件時，爲了由對準件固定工件， 如果使用對準用固定劑將工件固定在對準件上，可以容易 地通過對準件固定工件，並且下一個步驟可以不受工件未 對準的影響。 以類似於硏磨用固定劑的方式，通過使用在室溫下呈 液態而在冷卻到低於室溫的溫度下固化的對準用固定劑， 或者通過使用在室溫下呈固態而在加熱到高於室溫的溫度 下液化的對準用固定劑，通過控制對準用固定劑的溫度條 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559581 A7 B7 五、發明說明（#) 件，可容易地由對準件固定工件和容易地將對準件與工件 分開。 當對準件與工件分離時，通過加熱對準用固定劑，使 得其至少一部分變成液態，可以容易地進行分離。 爲了加熱對準用固定劑，如果加熱對準件’由於熱傳 導作用，可在分離對準件時需要的部分處使對準用固定劑 快速液化，並且即使與硏磨用固定劑相同的固定劑用作對 準用固定劑，也可以僅液化對準用固定劑’並且保持硏磨 用固定劑不會由於熱傳導的差異而處於液態，從而防止工 件以所不希望的方式從固定器上落下來。 在本發明中，當既使用硏磨用固定劑又使用對準用固 定劑時，通過將硏磨用固定劑的固化或液化溫度設定的高 於對準用固定劑的固化或液化溫度，通過使用在預定的溶 劑中具有不同的溶解度的硏磨用固定劑和對準用固定劑， 通過使用結合力比硏磨用固定劑更強的對準用固定劑，或 通過將固定器的固定表面上的預定粘合劑的浸潤性設定的 比對準件的對準表面上的浸潤性更大，可以有效地和平滑 地分離對準件與工件，結果是，可以容易地將工件從對準 件轉移到固定器上。 通過將本發明的方法應用在可變電容器中的具有電極 的絕緣元件的硏磨上，具體地說，是一個具有定子電極的 定子，可以減少由可變電容器產生的電容量的變化，結果 是，可以提供更高精度的電容的容差範圍必須變窄的可變 電容器。由於磨削量的變化減少，可以容易地減小電極和 20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 559581 A7 ____ B7 _ 五、發明說明（θ) 要被硏磨的表面之間的距離，因此，可增加最大電容量， 使得電容的調節範圍增大。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 11 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 559581 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 · 一種硏磨方法，其中對具有不同厚度的複數個工件 執行硏磨操作，在每個工件的厚度方向上的端面係爲被硏 磨的表面，其中包括如下步驟： 由固定器固定複數個工件，使得單獨工件的被硏磨表 面在同一平面上對準；以及 在由固定器固定該工件時，硏磨該要被硏磨的表面。 2 · —種硏磨方法，其中對具有不同厚度的多個工件執 行硏磨操作，在每個工件的厚度方向上的端面係爲被硏磨 的表面，其中包括如下步驟： 製備具有平面對準表面的對準構件； 由對準構件對齊工件，而各個工件要被硏磨的表面與 對準構件的對準表面相接觸； 製備固定器，其具有固定表面，用於將由對準構件所 對準的工件固定在與要被硏磨表面相對的相對表面側，以 及硏磨用固定劑，其將各個工件固定在固定器上； 藉由硏磨用固定劑把工件固定在與固定器的固定表面 相對表面的一側； 從工件上分離對準構件；以及 當工件被固定在固定器上時，硏磨工件上要被硏磨的 表面。 3 ·根據申請專利範圍第2項所述的硏磨方法，其中， 硏磨用固定劑在室溫中處於液態，並以低於室溫的溫度固 化，用於把工件固定在固定器上的步驟包括以下步驟：在 等於或高於室溫的溫度把處於液態的硏磨用固定劑注Ag[ 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ --------訂·--------· 559581 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 定器和工件之間的步驟，以及冷卻以固化硏磨用固定劑的 步驟。 4 ·根據申請專利範圍第2項所述的硏磨方法，其中， 硏磨用固定劑在室溫中處於固態並且加熱到高於室溫的溫 度而液化時，用於把工件固定在固定器上的步驟包括如下 步驟：當加熱到高於室溫時，把處於液態的硏磨用固定劑 注入在固定器和工件之間的步驟；以及把溫度降低到室溫 以固化硏磨用固定劑的步驟。 5 ·根據權利要求權利要求2至4中的任何一項所述的 硏磨方法，其特徵在於，在硏磨用固定劑被冷卻時，執行 硏磨工件要被硏磨的表面的步驟。 6 ·根據申請專利範圍第2項至第4項中的任何一項所 述的方法，進一步包括製備用於把工件固定在對準構件上 的對準用固定劑的步驟，其中以對準構件將工件對準的步 驟包括使用對準用固定劑把工件固定在對準構件上的步驟 〇 7 ·根據申請專利範圍第6項所述的硏磨方法，其中對 準用固定劑在室溫中處於液態並且以低於室溫的溫度冷卻 而固化，以對準構件固定工件的步驟包括如下步驟：在等 於或高於室溫的溫度施加對準用固定劑步驟，使得對準用 固定劑與工件和對準構件相接觸；以及冷卻以固化對準用 固定劑的步驟。 8 ·根據申請專利範圍第6項所述的硏磨方法，其中對 準用固定劑在室溫處於固態並且加熱到高於室溫的溫度而 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装--------訂---------線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 559581 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 液化，由對準構件固定工件的步驟包括如下步驟：在等於 或高於室溫的溫度施加對準用固定劑步驟，使得對準用固 定劑與工件和對準件相接觸；以及把溫度降低到室溫以固 化對準用固定劑的步驟。 9 ·根據申請專利範圍第7項所述的硏磨方法，其中從 工件上分離對準構件的步驟係把對準用固定劑加熱使得至 少其一部分被轉換至液態而實現。 10 ·根據申請專利範圍第9項所述的硏磨方法， 在從工件上分離對準構件的步驟中，藉由加熱對準構^ 加熱對準用固定劑。 11 ·根據申請專利範圍第7項所述的硏磨方法，_ + 硏磨用固定劑的固化或液化溫度係被設爲高於對準 劑的固化或液化溫度。 12 ·根據申請專利範圍第6項所述的硏磨方法，& 對準用固定劑與硏磨用固定劑在預定溶劑中具有不胃 解度。 合 13 ·根據申請專利範圍第6項所述的硏磨方、法，& 硏磨用固定劑具有比對準用固定劑更大的結合力。 14 ·根據申請專利第6項所述的硏磨方法，其ψ 定器的固定表面上預定結合劑的浸潤性被設爲高於 構件的對準表面上的浸潤性。 & $ 15 ·根據申請專利範圍第1項所述的硏磨方法， 工件是其中具有電極的絕緣兀件，並且被硏磨的表 緣部件的端面，其延伸平行於電極。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} ---------—訂---------! i紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）