TW554149B - Poppet valve with heater - Google Patents

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554149 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（1 ) 發明所屬之技術領域 本發明，是關於使用在理化機械等，以直接供應反應 氣體等之動作流體，或是使用於運用此類反應氣體之真空 處理室來做減壓等所使用的提動閥（poppet valve )，再詳 細說，是關於以加熱器防止來自上述動作流體的生成物附 著於閥構件等而構成，之具加熱器的提動閥。 先前技術 例如在半導體之製造裝置中，在真空處理室內進行蝕 刻等化學處理時，須使用高溫的反應氣體，其中提動閥便 是被用於其氣體供給或是做真空處理室的減壓用。然而， 上述反應热體右過於低溫化則易析出生成物，由於該生成 物會附著於提動閥內部或閥構件上而降低開閉精度，所以 對於如此之提動閥，防止由動作流體析出生成物或附著於 閥構件等之構成乃非常重要。 因此從以往，就提案有各種以加熱器加熱殻體或閥構 件等，來防止生成物之附著之具加熱器的提動閥。在日本 專利第3 0 0 5 4 4 9號公報中，揭示有在殻體外面捲繞 帶狀加熱器之同時，於開關流路之閥構件中，將棒狀加熱 器安裝於通過由該閥構件而延伸之中空連桿內部。又，日 本專利第3 0 1 2 8 3 1號公報中，揭示有在殼體外面安 裝有矽膠加熱器之同時，在與閥構件成一體之筒狀保持體 外周安裝另一加熱器。再者，於日本特開平1 1 一 8 2 8 0 7號公報中，揭示有在殼體外面安裝矽膠加熱器 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-4 - 554149 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（2 ) "~_ 之同時，在與閥構件成一體之中空連桿內部內藏有可撓式 加熱器。 如此先前技術之提動閥的任一者，作爲加熱殼體外面 之加熱器者’皆是使用具有可撓性之帶狀加熱器或矽膠加 熱器而將該加熱器捲繞於殼體外面。 然而，此等加熱器，由於是在如矽膠等薄且柔軟的絕 緣性外皮內埋入鎳鉻絲等發熱體而形成，所以價格較高。 而且，是將之捲繞於殻體的外周面，所以實際上是以毫無 間隙地將上述發熱體捲繞於殼體的外部全周上，因而導致 發熱體所需長度過長而必須消耗所需消耗電力以上之電力 。而且，當上述發熱體有斷線之情形時，無法只更換該發 熱體，而必須更換掉包含外皮之加熱器整體。 發明內容 【發明所欲解決之問題】 本發明之技術性課題，即是在於以使用價廉之棒狀加 熱器而能夠效率良好地加熱提動閥殼體的外周面整體。 【用以解決問題之手段】 爲了解決上述之課題，本發明之具加熱器提動閥，以 具備：具有第1主通口及第2主通口、及連結該等兩主通 口之流路、及設於該流路中之環狀閥座之閥殼體；及連結 於上述閥殼體之汽缸；及設於上述閥殼體內，開閉上述閥 座之提動式閥構件；及將前端部連結於上述閥構件，基端 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 5 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 554149 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 部延伸至上述汽缸內部之連桿；及滑動自如地配設在上述 汽缸內部之同時，連結於上述連桿之基端部的活塞；及在 上述閥殼體外周面，將該閥殻體整體以包圍方式被覆由熱 傳導性佳之材料所成之導熱外殼；及內藏於上述導熱外殻 之呈棒狀的一個以上的第1加熱器，來作爲其特徵。 依據具有上述構成之本發明之提動閥，由於閥殼體的 外周面包覆有導熱外殼，且該導熱外殼內藏有棒狀的第1 加熱器，所以來自該第1加熱器的熱，透過上述導熱外殼 而均等分散地傳達到閥殼體的外周面整體，其結果，能夠 藉由價廉的棒狀加熱器透過導熱外殻效率良好地將上述閥 殼體之外周面整體予以加熱。 上述導熱外殻，以熱傳導性佳且輕量的鋁來形成爲理 想。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在本發明中，可以在上述導熱外殻外面，設置用以防 止對外部進行熱傳導之絕熱蓋。該絕熱蓋，是由在絕熱板 的內面，安裝上讓來自上述導熱外殼的熱得以擴散之熱擴 散板來構成，並夾介墊片而與該導熱外殻之間，以保持一 定空隙之方式來安裝於上述導熱外殻爲理想，上述絕熱板 是由氟碳橡膠或是發泡氟碳橡膠來形成爲佳。 在本發明中，且上述閥構件可以安裝一個以上的第2 加熱器。該第2加熱器，是安裝於上述閥構件前面，是當 閉閥時處於上述閥座內孔內的位置而面向流路之部分，同 時以加熱器蓋氣密地加以覆蓋爲理想。 在本發明中，且上述閥殼體的內部，配設有把在開閥 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 554149 A7 B7 五、發明説明（4) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 位置下與上述閥構件接觸之導熱面具備於前端之導熱體， 於該導熱體安裝有一個以上的第3加熱器。該導熱體爲圓 筒狀，以同心圓狀設置於上述連桿的周圍，在設置於該導 熱體之加熱器孔內，內藏有上述第3加熱器爲理想。 上述閥殻體與汽缸’亦可以是夾介用來防止從該閥殼 體對汽缸進行熱傳導之絕熱部所連結。 實施方式 第1圖〜第3圖爲顯示本發明之具加熱器提動閥的第 1實施例。該提動閥1 A，是適合於半導體製造裝置中， 使用在真空處理室之減壓者，是由：以閥構件1 3開閉流 體流路1 4之閥開閉部2、及驅動上述閥構件1 3之汽缸 操作部3、及介於該等閥開閉部2與汽缸操作部3之間的 絕熱部4所構成，並在上述閥開閉部2，設有第1〜第3 的3組加熱機構5、6、7。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述閥開閉部2，具有由不鏽鋼（S U S )等材料所 形成的四角柱狀之閥殻體1 0。該閥殻體1 0，係具備有 :使用以連接上述真空處理室或真空泵之其中任一方的第 1主通口 1 1 ，與用以連接另一方面的第2主通口 1 2， 兩者可相互以9 0度朝不同方向之同時且連結該兩主通口 1 1、1 2之上述流路1 4，以及設於該流路1 4中的圓 環狀閥座1 5。 在上述閥殼體1 0之內部，設有開閉閥座1 5之提動 式上述閥構件1 3。該閥構件1 3，是將在呈圓盤狀基材 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 554149 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 3 a的下面外周，安裝有接離於上述閥座1 5之橡膠製 密封構件1 3 b而形成者，並在該閥構件1 3的背面中央 部’安裝有驅動用之連桿1 6的前端部，而該連桿1 6的 基端部’是貫通閥殻體1 〇端部之區隔壁1 7以及上述絕 熱部4而延伸至上述汽缸操作部3，而連結於活塞2 1。 又’在上述閥構件1 3的背面與區隔壁1 7之間，安裝有 圍繞於上述連桿1 6周圍而可伸縮自如之波管紋1 8。 另一方面，上述汽缸操作部3，係在上述閥殼體1 0 的一端部’具有夾介上述絕熱部4而連結之汽缸2 0。在 該汽缸2 0內部中，上述活塞2 1是夾介密封構件2 2而 滑動自如地被收容，在該活塞2 1的兩側形成有第1壓力 室24a以及第2壓力室24b，使該等壓力室24a、 2 4 b，分別連接於朝汽缸2 0側面呈開口之第1操作口 25a及第2操作口 25b。圖中20a ，爲封塞上述汽 缸2 0端部之汽缸蓋。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，當來自上述第1操作口 2 5 a之壓縮空氣等之 壓力流體供給至第1壓力室2 4 a內時，如第1圖所示地 ，由於使得活塞2 1及連桿1 6後退，使該連桿1 6前端 之閥構件1 3亦後退而開啓上述閥座1 5。又，開啓上述 第1操作口 25 a之同時，當來自第2操作口 2 5b之壓 力流體供給至第2壓力室2 4 b內時，便如第2圖所示地 ，使上述活塞2 1及連桿1 6前進而使閥構件1 3擋接於 閥座1 5而將該閥座1 5閉鎖。 上述第1加熱機構5 ，是被安裝在閥殻體1〇的外面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 8 - 554149 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___B7五、發明説明（6 ) ，而如以下所構成。亦即’該第1加熱機構5，係於上述 閥殼體10具有以圍繞其外周面整體之方式而包覆的角柱 狀導熱外殼3 0。該導熱外殼3 0，是由如鋁般之熱傳導 性優異之硬質材料以具有某程度肉厚之方式而形成，並被 安裝成密貼於上述閥殼體1 0之外面之狀態。該導熱外殼 3 0，可以將整體以一體方式形成，也可以由複數個部分 ，例如依閥殼體1 〇的四個側面，將之分割而組合形成亦 可〇 在上述導熱外殼3 0的肉厚內，貫穿開設有複數個與 閥殻體1 0之軸線平行的加熱器孔3 1，在各加熱器孔 3 1內，各別插入有成棒狀的第1加熱器3 2。並且，來 自該等第1加熱器3 2之熱，是以經由導熱外殼3 0均等 地分散，而均等地傳導至閥殻體1 〇整體之方式。圖中 3 3 ，是由上述第1加熱器3 2所延伸出的導線，其乃連 接於沒有圖示出之加熱器控制電路。 又，上述第1加熱器3 2之至少其中之一，安裝有溫 度察覺器3 4，藉由該溫度察覺器3 4所檢測出之信號， 利用上述加熱器控制電路，予以控制第1加熱器3 2之發 熱溫度。該溫度察覺器3 4之導線，是與上述第1加熱器 3 2之導線3 3 —起導出至外部。又，上述溫度察覺器 3 4 ’以不設在第1加熱器3 2而設在導熱外殼3 0亦可 〇 在圖示之實施例中，雖然是使上述第1加熱器3 2被 設置在導熱外殻3 0的四個角，對於該等設置位置以設於 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐1 一" 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 554149 A7 ________B7 五、發明説明（7 ) 導熱外威3 0各側面的中央部、或是其他適當位置亦可。 且，該第1加熱器3 2的數目並非限定爲四個，以三個以 下或五個以上皆可，依加熱條件以僅設置一個也可以。又 ，設置有複數個第1加熱器3 2時，爲了使發熱在經由導 熱外殻3 0可容易均等地分散，以將該等加熱器儘可能地 以等間隔配置爲佳。 上述棒狀第1加熱器3 2，例如，可以將鎳鉻線等電 阻抵抗發熱體在電氣絕緣狀態下，容納在熱傳性優異之金 屬製外筒內而形成，但以其他構成者亦可。 在上述導熱外殼3 0各側面的外側，設有爲了防止由 該各側面熱傳導至外部之絕熱蓋3 7。該絕熱蓋3 7，是 在由矽膠或氟碳橡膠、或是發泡氟碳橡膠等所成之平板狀 絕熱板3 7 a的內側面，安裝具有把來自上述導熱外殼 3 0的熱能予以擴散功能之薄熱擴散板3 7 b而形成者， 在上述導熱外殼3 0的各側面，藉由夾介有墊片3 8而與 該導熱外殻3 0之間以呈保持一定空隙4 0之狀態下，以 螺絲3 9固定。此時，一部分的絕熱蓋3 7之螺絲3 9， 以利用使其先端擋接於上述第1加熱器3 2之方式，來兼 用作爲該第1加熱器3 2之固定用爲理想。 上述熱擴散板3 7 b，可以以鋁等導熱性材料來形成 ，而以其他材料也行。又，在圖示之實施例中，上述絕熱 蓋3 7雖分爲四個，但使之整體爲一體亦可’或使相鄰接 的二個絕熱蓋3 7、3 7結合成一體亦可。 由於第1加熱機構5具有如此之構成’所以來自上述 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐1 ' 10 ' ϋ·— H.1 ϋϋ m^1 nn ^11^1 mu n_^i 111 am (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 554149 A7 B7 五、發明説明（8 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 各第1加熱器3 2之熱，經傳導於上述導熱外殼3 0而均 等地分散於蓋整體，而能均等地傳達到閥殼體1 0之外周 面整體。其結果，即使上述閥殼體1 0是由如SUS之導 熱性並不好之材料所形成時，亦能夠藉由價廉的棒狀加熱 器3 2夾介上述導熱外殼3 0將其外周面整體效率良好地 加熱。 又，由於在上述導熱外殼3 0的外面包圍有絕熱蓋 3 7，不會致使由該導熱外殻3 0所散發的熱對周邊的機 器或人體等造成危險，因此安全性亦高。而且此時，由於 在絕熱蓋3 7的內面安裝有熱擴散板3 7 b，所以即使接 近第1加熱器3 2部分的局部溫度很高時，利用該熱擴散 板3 7 b亦可以使其分散於熱絕熱蓋3 7整體，而不會有 局部性高溫作用於該絕熱蓋3 7，不僅可以提高該絕熱蓋 3 7的耐久性，同時可以提升絕熱效果。而且，由於在上 述絕熱蓋3 7與導熱外殼3 0之間設有空隙4 0，藉由該 空隙使得絕熱效果更加提升。但是，上述絕熱蓋3 7，也 可以以接觸於導熱外殼3 0之狀態來罩蓋。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者，上述絕熱蓋3 7以氟碳橡膠來形成時，不僅耐 熱性優，而且可以防止矽氧烷氣體等之有害氣體的產生， 並具有與矽膠同等以上的絕熱性，若使用發泡氟碳橡膠則 可更加提升絕熱性。 又，上述第2加熱機構6，是被安裝在上述閥構件 1 3。亦即，於該閥構件1 3前面，在閉閥時位於上述閥 座1 5之內孔內而面對流路1 4之部分，以螺絲4 1而可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)~* 1 ^ - 554149 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝卸自如地安裝一個以上的第2加熱器4 2之同時，使覆 蓋該第2加熱器4 2之加熱器蓋4 3，藉由螺絲4 4呈氣 密且裝卸自如地被安裝。上述第2加熱器4 2，雖適合將 發熱體容納於呈圓板形、圓環形或是渦卷形之外皮內來使 用，但其外形形狀呈直棒狀或圓弧狀也可以。並且，該第 2加熱器4 2亦可內藏溫度察覺器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 從上述第2加熱器4 2之導線4 5，是貫穿閥構件 1 3及導熱體5 0與上述區隔壁1 7而延伸至上述絕熱部 4內部，再由該絕熱部4側面的孔4 7導引至外部。此情 形下之上述導線4 5，以不會妨礙閥構件1 3之開閉動作 之方式，在上述絕熱部4之內部使之撓彎，或是如圖示之 方式以形成捲線狀爲理想。又，上述第2加熱器4 2內藏 有溫度察覺器時，該溫度察覺器之導線，可以與上述第2 加熱器4 2之導線4 5 —起導出至外部，或各別另外導出 皆可。如此地，將讓來自第2加熱器4 2之導線4 5所貫 通之孔設於閥構件1 3時，雖有損及該閥構件1 3之內外 面間的氣密性之虞慮，但由於在該閥構件1 3前面，上述 加熱器蓋4 3是以氣密地覆蓋於該孔及第2加熱器4 2之 方式被安裝，所以藉由該加熱器蓋4 3 ，使得上述第2加 熱器4 2不會與反應氣體接觸而受到保護，同時良好地保 持了上述閥構件1 3內外面間的氣密性。 如此地，在閥構件1 3前面與反應氣體臨接之部分安 裝有第2加熱器4 2，藉由直接加熱該與氣體臨接面，可 以確實地防止由於反應氣體之凝縮等所造成之副生成物的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 12 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 554149 A7 _B7 五、發明説明（10 ) 附著。而且，由於上述第2加熱器4 2是被安裝在閥構件 1 3前面，所以在變更發熱量或故障等而要更換該第2加 熱器4 2時，只要將上述加熱器蓋4 3卸下就可以容易地 進行更換作業。 再者，上述第3加熱機構7，係具備有：在上述閥殻 體1 0內部之波管紋1 8內，沿著連桿1 6而設置的上述 導熱體5 0、及被內藏於該導熱體5 0之一個以上的第3 加熱器5 1。上述導熱體5 0，是由如鋁之導熱性佳之金 屬材料以圓筒狀而形成，並且被配置於上述連桿1 6周圍 並保持以微小間隙之同心圓狀，利用螺栓將其基端部固定 於上述區隔壁1 7，使之固定地被設置在閥殻體1 0內的 特定位置。在該導熱體5 0之肉厚內，與該導熱體5 0之 中心軸線平行地形成有一個以上的加熱器孔5 2，在該加 熱器孔5 2內，成棒狀的上述第3加熱器5 1是與上述連 桿1 6相平行而被內藏。又，該導熱體5 0之前端部是呈 環狀的導熱面50a ，該導熱面50a ，如第2圖所示， 與前進至閉閥位置爲止之閥構件1 3保有一定距離相間離 而沒有相互接觸，而如第1圖所示，該閥構件1 3在藉由 開閥而後退之後，就會與該閥構件1 3背面的環狀受熱面 1 3 c相接觸。 來自上述第3加熱器5 1之導線5 3，是由上述絕熱 部4側面之孔4 7而被導出至外部。此時，由於第3加熱 器5 1沒有位移，所以其導線5 3就不必要撓彎或形成捲 線狀。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ ' " -------·1·裝丨=---r--訂-----0 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 554149 A7 B7 五、發明説明（11 ) " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述第3加熱機構7具有以下之功能。亦即，如第2 圖所示’當上述閥構件1 3將閥座1 5閉鎖時，由於該閥 構件1 3與導熱體5 〇相離有一定距離之間隔，所以來自 第3加熱器5 1之熱，並無法經由該導熱體5 〇而傳達至 受熱面1 3 c。但是，如第1圖所示，當上述閥構件1 3 後退，閥座1 5呈開啓時，由於該閥構件1 3之受熱面 1 3 c擋接於上述導熱體5 〇前端的導熱面5 〇 a ，使得 來自上述第3加熱器5 1之熱被傳導至導熱體5 〇而加熱 。如此地’當上述閥構件1 3開閥而與大量的反應氣體相 接觸時’由於該閥構件1 3受第3加熱器5 1直接加熱， 而其加熱非常具有效果，而能夠確實地防止副生成物的附 著。並且’即使由於上述波管紋1 8隨著上述閥構件1 3 之開閉動作而伸縮，致使在該波管紋1 8內部產生吸呼而 暫時性造成溫度下降時，由於藉由上述第3加熱器5 1透 過導熱體5 0使該波管紋1 8內部經常被加熱，所以可以 將該溫度下降幅度抑制在非常小的範圍，而能對閥構件 1 3進f了局溫加熱。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述導熱體5 0與連桿1 6之間，爲了使其能夠相 對地位移而夾介有微小間隙，但若是欲使來自上述第3加 熱器5 1之熱，盡量從該導熱體5 0經由連桿1 6傳導至 閥構件1 3時，則儘可能縮小上述間隙，同時以鋁等導熱 性佳之材料來形成上述連桿1 6即可。相反地，若欲使來 自上述第3加熱器5 1之熱，盡量不要經由導熱體5 0傳 導至連桿1 6時，則儘可能加大上述間隙、或是將上述連 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-14 - 554149 A7 B7 五、發明説明（12 ) 桿1 6以陶瓷等之熱傳導抵抗大的材料來形成、又或是兩 者皆施即可。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，從上述第2加熱器4 2及第3加熱器5 1傳達到 連桿1 6之熱，也會從該連桿1 6而傳導至活塞2 1側， 但由於該熱之大部分在絕熱部4散熱而被阻斷，而幾乎無 法傳導至活塞2 1 ，所以密封構件2 2並不會由於該熱能 而有劣化之虞。然而，作爲防止上述連桿1 6之熱傳導到 活塞2 1之更確實的方法，可以將該連桿1 6 ，區分成閥 構件1 3側之部分與活塞2 1側之部分，將該活塞2 1側 之部分以熱傳導抵抗大之材料來形成。 又，上述絕熱部4，是由具有複數個通氣孔4 7之圓 筒形絕熱構件4 a所形成，該絕熱構件4 a，是在上述閥 殼體1 0與汽缸2 0之間以圍繞上述連桿1 6設置成同心 圓狀，並藉由流通於該絕熱構件4 a內部之空氣來使上述 連桿1 6冷卻。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第4圖是顯示本發明之第2實施例，相對於上述第1 實施例之提動閥1 A皆以流體壓進行上述閥構件1 3開閉 之複動式提動閥，該第2實施例之提動閥1 B，是於非操 作時閥構件1 3爲處於閉閥位置之常閉形，同時爲以流體 壓進行開閥操作之單動形提動閥。亦即，於該提動閥1 B ，只有在汽缸2 0內部之活塞2 1前面側形成有壓力室 2 4，同時連通於該壓力室2 4的一個操作口 2 5乃形成 在汽缸2 0側面。並且，在上述活塞2 1的後面側形成有 彈簧室5 6，在該彈簧室5 6內之線圈狀復位彈簧5 7， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-15 - 554149 A 7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（13 ) 乃經常保持朝閉閥方向將上述活塞2 1予以彈壓。圖中符 號5 6 a是使上述彈簧室5 6對外部空氣呈開放之呼吸孔 〇 因此，當壓力流體不對上述壓力室2 4做供給時，閥 構件1 3受到上述復位彈簧5 7之彈推力而緊壓於閥座 1 5呈閉閥。然後，當來自操作口 2 5之壓力流體被供給 至上述壓力室2 4時，活塞2 1抵抗過上述復位彈簧5 7 之彈壓力而後退，使上述閥構件1 3由閥座1 5離開而開 啓閥。 由於該第2實施例之上述以外之構成在實質上與第1 實施例相同，所以對於主要相同構成之部分標示與第1實 施例相同之符號並省略其說明。 又，形成常開型提動閥之情形時，係與第4圖之提動 閥1 B在汽缸操作部3之情形相反，只要將壓力室2 4形 成在活塞2 1的後面側之同時，將活塞2 1之前面側形成 爲彈簧室5 6 ，使該彈簧室5 6內的復位彈簧5 7，經常 保持朝開閥方向將上述活塞2 1予以彈壓來設計即可。 第5圖爲本發明之第3實施例，該第3實施例之提動 閥1 C與上述第1實施例之提動閥1 A的不同點，係在於 沒有第3加熱機構7。且，第2加熱機構6中，設有內藏 被分割爲二之發熱體之第2加熱器4 2，由該等發熱體所 延伸出之導線4 5 a、4 5 b，係個別地貫通從區隔壁 1 7延伸之連桿導引6 0而延伸至絕熱部4內，在由該處 導引至外部。由於除上述以外之構成在實質上是與第1實 --------裝丨j---^---訂-----•線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -1b - 554149 A7 ___B7 五、發明説明（14 ) 施例相同，故對於主要相同構成之部分標示與第1實施例 相同之符號並省略其說明。 如該提動閥1 c，即使僅具備有第1加熱機構5及第 2加熱機構6，由於利用該等加熱機構5、6使閥殼體 1 0與閥構件1 3被效率良好地加熱，所以確實地防止副 生成物之附著。 第6圖爲本發明之第4實施例示。該提動閥1 d，爲 具備有第1加熱機構5與第2加熱機構6之常閉形的提動 閥，並且沒有如第2實施例中之第3加熱機構7與絕熱部 4。該提動閥1 D，其連桿1 6形成爲中空狀，在靠近該 連桿1 6前端部安裝有圓筒狀的彈簧導引6 3 ，同時在該 弓早黃導引6 3的則端部安裝有彈簧座6 4，在該彈賛座 6 4與汽缸2 0底部之區隔壁6 5之間，使經常保持將閥 構件1 3朝閉閥方向彈推之第1及第2復位彈簧6 6 a、 6 6 b ，以內外雙重之方式設於伸縮管（bellows) 1 8內 〇 又，在汽缸2 0內部，於活塞2 1之前面側形成有壓 力室2 4，同時連通於該壓力室2 4的一個操作通口 2 5 乃形成於汽缸2 0之側面。在活塞2 1的後面側，藉由二 片區隔板6 8 a 、6 8 b形成導線容納室6 9 ，在該容納 室6 9內’容納有由第2加熱機構6之第2加熱器4 2所 延伸之導線4 5 ’以形成爲捲線狀或形成爲撓彎狀態之部 分4 5 c。該導線4 5，係被貫通於上述連桿1 6之中空 部1 6 a內，由活塞2 1背面的呼吸室7 1貫通一方的區 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）~ 17 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝.

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 554149 A7 B7 五、發明説明（15 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 隔板6 8 a而導入上述收容室6 9內後，再貫通另一方的 區隔板6 8 b導出至外部。圖中符號7 2爲導線保護用襯 套。又，實施例顯示溫度察覺器3 4並無內藏於第1加熱 器3 2，而是安裝於導熱外殻3 0側。 在該第4實施例中，當壓力流體沒有供給至上述壓力 室2 4時，上述閥構件1 3受2個復位彈簧6 6 a、 6 6 b之彈推力緊壓於閥座1 5而呈閉閥。當來自操作通 口 2 5之壓力流體供給至上述壓力室2 4時，由於活塞 2 1抵抗過上述復位彈簧6 6 a、6 6 b之彈推力而後退 ’使上述閥構件1 3從閥座1 5離開而呈開閥。 由於該第4實施例之上述以外之構成在實質上與第2 實施例相同，所以對於該等主要相同構成之部分標示與第 2實施例相同之符號並省略其說明。 又，對於上述各實施例，雖顯示具備有第1〜第3加 熱機構5〜7之提動閥，以及具備第1及第2加熱機構5 與6之提動閥，但也可以是具備第1及第3加熱機構5與 7之提動閥。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如此提動閥，例如在第1及第2實施例中，可以由省 略附設於閥構件1 3之第2加熱機構6來取得。 又，閥殼體1 0之形狀並不限於四角柱狀，可製成圓 柱狀或其他形狀，若爲如此之情形時，當然可使第丨加熱 機構5之導熱外殻3 0或絕熱蓋3 7，以適合於該等形狀 之方式來形成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚）-18- 554149 A7 B7 五、發明説明（16 ) 【發明效果】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 依據如此本發明之提動閥，因爲在閥殻體之外周面包 覆導熱外殼，於該導熱外殼內藏棒狀第1加熱器，所以來 自該第1加熱器之熱，透過上述導熱外殻可以均等分散地 傳達至閥殼體之外周面整體，此結果，能夠藉由價廉的棒 狀加熱器，經由上述導熱外殼，將上述閥殼體之外周面整 體予以效率良好且確實地加熱。 圖式簡單說明 第1圖是本發明第1實施例中，顯示開閥狀態下的斷 面圖。 第2圖是上述第1實施例中，在閉閥狀態下的斷面圖 〇 第3圖是第1圖的平面圖。 第4圖是本發明第2實施例中，顯示開閥狀態下的斷 面圖。 第5圖是本發明第3實施例中，顯示開閥狀態下的斷 面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第6圖是本發明第4實施例中，顯示開閥狀態下的斷 面圖。 【符號說明】 1A、1B'1D、1D:提動閥 4 :絕熱部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)"" 554149 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（17) 1 〇 :閥殼體 11:第1主通口 1 2 :第2主通口 1 3 :閥構件 1 4 :流路 1 5 :閥座 1 6 :連桿 2 0 :汽缸 2 1 :活塞 3 ◦:導熱外殼 3 1 :加熱器孔 3 2 :第1加熱器 3 7 :絕熱蓋 3 7 a :絕熱板 3 7 b :熱擴散板 3 8 :墊片 4〇：空隙 4 2 :第2加熱器 4 3 :加熱器蓋 5 0 :導熱體 5 0 a :導熱面 5 1 :第3加熱器 5 2 :加熱器孔 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -ΖΌ-

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 554149 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 1 . 一種具加熱器提動閥，其特徵爲具備： 具有第1主通口及第2主通口、及連結該等兩主通口 之流路、及設於該流路中之環狀閥座之閥殼體；及 連結於上述閥殼體之汽缸；及 設於上述閥殼體內，開閉上述閥座之提動式閥構件； 及 將前端部連結於上述閥構件，基端部延伸至上述汽缸 內部之連桿；及 滑動自如地配設在上述汽缸內部之同時，連結於上述 連桿之基端部的活塞；及 在上述閥殼體外周面，將該閥殻體整體以包圍方式被 覆由熱傳導性佳之材料所成之導熱外殼；及 內藏於上述導熱外殼之呈棒狀的一個以上的第1加熱 2 ·如申請專利範圍第1項之具加熱器提動閥，其中 上述導熱外殻是由鋁所成。 3 ·如申請專利範圍第1或2項之具加熱器提動閥， 其中在上述導熱外殻的外面覆蓋有絕熱蓋。 4 ·如申請專利範圍第3項之具加熱器提動閥，其中 上述絕熱蓋，是在絕熱板的內面，藉由安裝有爲了使來自 上述導熱外殼之熱能夠擴散之熱擴散板而形成，並夾介墊 片而與該導熱外殼之間，以保持一定空隙之方式來安裝於 上述導熱外殻。 · 5 .如申請專利範圍第4項之具加熱器提動閥，其中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - --------0^—^----、訂------9^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 554149 A8 B8 C8 D8 --— ----- 六、申請專利範圍 2 上述絕熱板是由氟碳橡膠或是發泡氟碳橡膠所成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 6 ·如申請專利範圍第1或2項之具加熱器提動閥， 其中上述閥構件具有一個以上的第2加熱器，該第2加熱 器，爲安裝於上述閥構件前面，是當閉閥時處於上述閥座 內孔內的位置而面向流路之部分，同時以加熱器蓋氣密地 加以覆蓋。 7 .如申請專利範圍第1或2項之具加熱器提動閥， 其中在上述閥殻體的內部，配設有把在開閥位置下與上述 閥構件接觸之導熱面具備於前端之導熱體，於該導熱體安 裝有一個以上的第3加熱器。 8 .如申請專利範圍第7項之具加熱器提動閥，其中 上述導熱體爲圓筒狀，以同心圓狀設置於上述連桿的周圍 ，在設置於該導熱體之加熱器孔內，內藏有上述第3加熱 9 .如申請專利範圍第1或2項之具加熱器提動閥， 其中上述閥殻體與汽缸，是夾介用來防止從該閥殻體對汽 缸進行熱傳導之絕熱部所連結。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22· 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐）