TW539858B - IC tester adjusting unit - Google Patents

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539858 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（1 ) 發明背景 1. 發明領域 本發明係關於積體電路測試器調整裝置（IC tester adjusting unit)，用以調整積體電路測試器（IC tester)。 2. 相關技藝說明 積體電路測試器係為一種測試各種積體電路的操作 特性的裝置，其中，該積體電路測試器係藉由評估輸出訊 號並與測試輸入訊號比較，以測試該積體電路是否為正常 的操作狀癌。當使用此積體電路測試器時，測試輸入訊號 的相互時序關係可週期性或任意地調整，並且，特別設計 的調整裝置（即積體電路測試器調整裝置）係應用在此調 整。當積體電路的速度提高時，使用此種積體電路調整裝 置以調整測試輸入訊號的相互時序關係將是相當的重要， 因此’測試積體電路操作特性的調整次數將會增加以確保 測試的精確度。 第3圖係顯示習用的積體電路調整裝置的一般構造的 透視圖。在第3圖中，圖號1係為板框，圖號2為測試板， 圖號3為自動裝置框（robot frame)，圖號4為自動裝置 (robot)，圖號5為量測探針（measuring pr〇be)，圖號6為 汛號墊，圖號7為控制器，圖號8為定位銷，圖號9為量 測裝置，圖號10為積體電路測試器。該板框1係用以支撐 該測試板2並且具有定位銷8，該定位銷8係位於板框i - ， . . ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 的四個角落，以調整該板框1與該自動裝置框3之間的位 置關係。

1 313108 539858 A7 五、發明說明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 该測試板2係為印刷電路板，該印刷電路板具有多數 個形成於表面上的訊號墊6,該測試板2係安裝在該板框1 上之特定位置。積體電路的測試輸入訊號係由該積體電路 測器10輸入至每一訊號墊6。該等測試輪入訊號係藉由該 測試板2背面的連結端子而輸入至該測試板2，然後，該 等測試輸入訊號再藉由形成於該測試板2上的分佈電線而 輸入至該等訊號墊6。 第3圖所示的六個訊號墊6係用以解釋該習用的積體 電路測試器調整裝置的一般結構範例，在測試板2上形成 之該等訊號塾6的數目須對應於輸入至積體電路的測試輸 入訊號。當該測試板2用以測試多數個積體電路時，在測 試板2上形成之該等訊號塾6的數目應等於測試輸入訊號 的數目與積體電路的數目的乘積值。當經由中繼腳（γ^ pln)測試積體電路時’該等訊㈣6係在壓力下而與該等 積體電路的每^輪入接腦？日、φ > , 鞠入接腳相連接，以便將該等測試輸入訊 號輸入至每一輸入接腳。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ㈣動框3係為用以支撐該自動裝置4的金屬框，並 八有疋：孔3a ’邊疋位孔3a係與該定位銷8相互結合於 四個角落。該自動裝置4係可藉由該量測探針5在X-Y平 的移動（4 X-Y平面係平行於該測試板2)而將該量測 探^定位並且設定於每一訊號塾6上，該自動裝置4亦 ==量測探針5,使得該量測探針5可在壓力下與該 目接觸。該量測探針5係提供前述之輸入於訊號 丨本紙張尺度適用中國國進！制器7係控制- 313108 A7

539858 五、發明說明（3 ) 該自動裝置4的操作。該量測裝置9係量測輸入訊號的 序。 吟 當該積體電路測試器調整裝置具有前述的結構，該量 測探針5可藉由該自動裝置4而定位及設定於該訊號墊^ 上。當該板框1的定位銷8接合或插入於該自動裝置框3 的定位孔3a時，該自動裝置4與該測試板2之間的位置關 係可賦予高的精確度，藉此，該自動裝置4可準確地將該 量測探針5定位及設定於該訊號墊6上。當該量測探針$ 與該訊號墊6相接觸時，測試輸入訊號輸入至該量測裝置 9其中’測試訊號之間的時序可量測，藉此，該積體電路 測試is 10可以測試訊號的時序為特定的時序關係而作調 整。 - 惟，該習用的積體電路測試器調整裝置具有下列的問 題： (1) 疋位銷8需設置於板框1，因此，積體電路測試 器調整裝置的成本將會增加。 (2) 定位銷8將會限制測試板2的設計，即，在設計 測試板2的尺寸及形狀時，需要考慮定位銷的存在。 (3) 若板框1與測試板2在周圍溫度的影響下或類似 之於響下而變形，此變形將使得量測探針5與訊號墊6之 間的位移無法被更正。 (4) 若訊號墊6的面積被更進一步地縮小並且達成高 的積集度，該量測探針5將無法正確地定位及設定於訊號 整6上0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 313108 . . · ---------------------訂---------線 C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 539858 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（4 ) 發明概述 本發明已克服上述的習用的積體電路測試器調整裝 置的問題，本發明具有下列的目的。 (1) 不需設置定位銷於板框上，量測探針即可被高精 度地定位及設定在訊號墊上。 (2) 積體電路測試器調整裝置的成本可降低。 (3) 測試板的設計自由度可增加。 (4) 無論是板框或測試板的變形、訊號墊的小面積及高 積集度之趨勢，量測探針可高精度地定位及設定在訊號蟄 上。 為達到上述目標，本發明採用積體電路測試器調整裝 置作為第一裝置，該第一裝置包括訊號墊6,該訊號墊6 形成於測試板Γ上，用以測試積體電路的操作特性，藉由 該訊號墊6與該積體電路的接觸以輸入測試輸入訊號至該 積體電路，並且藉由評估該積體電路的輸出訊號與前述的 測試輸入訊號，該積體電路的操作特性可被測得，該積體 電路測試器調整裝置復包括自動裝置4，量測探針5，及多 數個位置校正電極11，該等位置校正電極係分散地設置在 該測試板V上，該等位置校正電極被施加固定的電壓，其 中，當該量測探針5被該自動裝置4所移動時，該量測探 針5可與該訊號墊6相接觸，因此可偵測供給至該訊號塾 6的測試輸入訊號的時序，根據該偵測的結果，該測試輸 入訊號的時序可被調整，並且其中，該等位置校正電極u 的位置可被該量測探針5所偵測，藉此，該自動襞詈4沾 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 一 --- 313108 -----------^--------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁} 4 539858 A7 B7 五、發明說明（5 ) 座標系統與該測試板2,之間的相對位置關係可被賦予。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明採用該積體電路測試器調整裝置作為第二裝 置，其中，前述的第一裝置中的三個位置校正電極u可設 置在該測試板2’上俾形成一個最大的三角形，且該三角形 的頂點於該測試板2 ’上被擴大至極限。 本發明採用該積體電路測試器調整裝置作為第三裝 置，其中，於前述的第一装置或第二裝置中，藉由偵測該 位置校正電極11及該位置校正電極n周圍的多數點的電 壓’該位置校正電極11的位置可被偵測。 本發明採用該積體電路測試器調整裝置作為第四裝 置’其中’於确述的第一裝置至第三裝置中的任一裝置， 母一位置校正電極11係為圓形，並且每一位置校正電極 11的中心點係被债測為該位置校正電極11的位置。 本發明採用該積體電路測試器調整裝置作為第五裝 置，其中，於前述的第一裝置至第四裝置中的任一裝置， 該訊號墊6係取代該位置校正電極丨i。 圖示簡箪說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1圖顯示本發明的較佳實施例的積體電路測試器調 整裝置的一般構造之透視圖。 第2圖顯示如何偵測位置校正電極之位置的概念。 第3圖顯示習用的積體電路測試器調整裝置的一般構 造之透視圖。 元件符號之說明 1、1’板框 2、2’測試板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 5 313108 539858

--*· ---------------------^---------線 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 6 313108 539858 A7 五、發明說明（7 ) 試板2’時’習用的定位銷8不需被考慮，藉此，該測試板 2所开> 成的面積可較習用的測試板2為大。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 该自動裝置4(更精確的說法為：該自動裝置4的自動 裝置座標系統）與該測試板2,之間的相對位置關係可使用 位置校正電極11求得，其相對關係依據下列的方式來計 根據本發明的較佳實施例，該積體電路測試器調整裝 置亚沒有習用的定位銷8與定位孔3a，該板框i，與該自動 裝置框3’之間的位置關係並沒有被賦予高的精確度。因 此，固定於該自動裝置框3’的自動裝置4的座標系統，即， 該自動裝置座標系統與固定於板框i，的測試板2，之間的相 對位置關係在初始的狀態並沒有被賦予高的精確度，因 此自動裝置4並無法精確地將量測探針5定位及設定於 訊號塾6上。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 然而，藉由使用該量測探針5以偵測位置校正電極u 的正確位置，該自動裝置4將可精確地計算及偵測該自動 裝置座標系統與該測試板2,之間的相對位置關係。根據該 量測探針5的計算及偵測結果，該自動裝置4可將該量測 探針5定位及設定於該訊號墊6上。 亦即，雖然該板框1，與該自動裝置框3,之間的位置關 2並沒有賦予高的精確度，該自動裝置4仍可大略地將該 里測4木針5疋位及設定於該訊號墊6上，藉此，該量測探 針5可在固定間隔的位置偵測靠近於該位置校正電極u 置’因此’該等位置校正電極U的正確位置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐―) ------ 7 313108 539858 A7 五、發明說明（8 ) 計算及偵測。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第2圖為顯示如何偵測該位置校正電極u之位置之 圖形。點P1係為該量測探針5的初始定位及設定的大略 位置，其係靠近於該位置校正電#11。當該自動装置4移 動至點P1時’該量測探針5可偵測點ρι的周圍，因此， 該位置校正電極U，即，施加於該等位置校正電極㈣ 直流電壓㈣可被制’因此，每_位置校正電極n鱼點 P1之間的相對位置可被大略地摘測。當以虛線顯示之正交 格的交叉點被偵測，以使得偵測每一個圓形的位置校正電 極11的中心點P0的正確位置時，根據每一交叉點的電 壓，每一位置校正電極Π的_心點p〇將可被計算。 每一位置校正電極11的中心點p〇的計算可應用於所 有的位置校正電極u’藉此，該測試板2，與該自動裝置框 3’在X_Y平面上的位置關係，即，其χ方向、γ方向及 Χ-Υ平面上的角度將可被精確地計算及偵測。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據本發明的較佳實施例，因為該自動裝置框3，與測 試板2’之間的位置關係藉由計算及偵測該測試板2，上的多 數個位置校正電極11的位置，而並沒有藉由習用的定位銷 8與定位孔3a而以機械的方式賦予該板框丨，與該自動裝置 框3’之間的位置關係，該量測探針5可定位及設定於該訊 號墊6上，不受該板框丨’或該測試板2,的變形影響，或者 不受該訊號墊6的面積縮小及高積集度的趨勢的影響。 ‘紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 又，每一位置校正電極11設置於該板框丨，上的方式可使得 該位置校正電極Π所形成的矩形（或三角形）面積儘可能的 313108 539858

增大，因此，該自動裝置框3,與該測試板2，之間的位置關 係將可被賦予較高的精確度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本發明的較佳實施例，雖然該位置校正電極u 為分離地設置，然而該訊號墊6可用來取代該位置校正電 極11。亦即，四個或三個訊號墊6可儘量地形成一個較大 的矩形或三角形，並且固定的直流電壓可施加於取代該位 置校正電極11之訊號墊6。在此情況下，本發明的較佳實 施例亦可用於已知的測試板。 根據本發明的較佳實施例的積體電路測試器調整裝 置’因為該自動裝置的自動座標系統與該測試板之間的相 對位置關係可藉由下列措施而被賦予：分散地設置多數個 位置校正電極、該等位置校正電極被施加固定的直流電 壓、及藉由該量測探針以偵測該等位置校正電極的位置， 即使沒有習用技術所使用的板框定位銷，或該板框或該測 試板變形或該等訊號墊的面積變小與達成高積集度，該量 測探針仍可被精確地定位及設定於該等訊號墊上。因此， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 積體電路測試器調整裝置的成本可減少並且設計測試板的 自由度亦可增加。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 9 313108

Claims (1)

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   第90125479號專利申請案 申請專利範圍修正本 (92年3月6曰） 1 一種積體電路測試n調整裝置’包括形成於測試板（2,) 的訊號墊（6)，用以測試積體電路的操作特性，藉由該 訊號塾（6)與該積體電路的接觸以輸入測試輸入訊號^ 該積體電路，並且藉由評估該積體電路的輸出訊號與前 述的測試輸入訊號，該積體電路的操作特性可被測得， "亥％體電路測試器調整裝置復包括自動裝置（4)、量測 探針（5)、及多數個位置校正電極（1丨），該等位置校正電 極係分散地設置於該測試板（2，）上，且該等位置校正電 極係被施加固定的電壓； 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 其中’當该置測楝針（5 )被該自動裝置（4)所移動 時’該量測探針（5)可與該訊號墊（6)相接觸，因此可偵 測供給至该訊號墊（6)的測試輸入訊號的時序，根據該 偵測的結果’該測試輸入訊號的時序可被調整；以及 其中’該等位置校正電極（1 1)的位置可由該量測探 針（5)所偵測，藉此，該自動裝置（4)的自動座標系統與 該測試板（2’）之間的相對位置關係可被賦予。 2 ·如申請專利範圍第1項的積體電路測試器調整裝置，其 中，三個位置校正電極（11)係被設置於該測試板（2，）上 以形成一個最大的三角形，且該三角形的頂點係在該測 試板（2’）上被擴大至極限。 3.如申請專利範圍第1項或第2項的積體電路測試器調整 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格⑽，公楚) ；— 539858

   : 偵測該等位置校正電極⑼的電壓及 置校正電極⑴）周圍的多數點的電壓，該等位置 权正電極（11)的位置可被偵測。 4 ·如申清專利範圍第 壯 員或弟2項的積體電路測試器調整 f置’其中’每-位置校正電極⑴)係為圓形，並且每 -位置校正電極⑴)的中心點係被偵測為每一位置校 正電極（11)的位置。 5·:申請專利範圍帛丨項或第2項的積體電路測試器調整 裝置’其中’該訊號塾（6)係取代該等位置校正電極 (11)。

   經濟部中央標準局員工福利委員會印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 x 297公釐） 2 313108