TW535029B - Apparatus and method for exposing an object with light - Google Patents

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發明背景 1·發明範疇 本發明係關於一種投影方法 ,万法和糸統，且較特別的是一ί 使用凋正S?、明於半導體裝置微影參 1佩〜衣私之投影方法和系統〇 2·相關技藝說明 由於一半導體裝置係製成ULSI(超Α型積體電路）晶片另 式，對於決定性地決定半導體裝置各元件之圖樣寬度之！ 影製程的研究即更積極性實施。為了形成微小寬度之圖* ’當執行微影製程時需要高解析度及一適當之焦點深力 (DOF)’因此’為了取得高解析度及適當之d〇f，目前已石 發多種新方法，諸如一縮短光源波長之準分子雷射方法 使用相位麦移光罩之曝露方法、及一調整照明方法，电 如一傾斜照明方法。 傾斜照明方法可以藉由改變孔在蠅眼透鏡背後之移位， 以改善由線與間距反覆排列組成之圖樣之解析度及D〇f， 而不調整透鏡與照明系統。傾斜照明方法係依據孔之形狀 而分類成一雙極式照明方法、一四極式照明方法、一縮回 式照明方法、及一環形照明方法。 請參閱圖1、2A、2B及2C，一習知傾斜照明方法說明如 下：圖1說明習知投影曝露裝置之一照明系統之結構，及圖 2A至2C揭示安裝於習知投影曝、露裝置之照明系統内之多種 孔形狀。 請參閱圖1，習知照明系統包含一光源丨〇、一包括透鏡陣 列之蠅眼透鏡12、一預定形狀之孔14及一縮聚透鏡16，孔 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

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535029 A7 B7 五、發明説明（ 14可以形成圖2A所示之雙極式、圖2B所示之四極式、或圖 2C所示之環形。光源10内產生之光線係由蠅眼透鏡12轉換 成平行光線’及孔14傳輸一部分光線，亦即，孔14使光線 之垂直成分截斷，而僅有光線之傾斜成分通過及因此，僅 有一部分光線，亦即光線之傾斜成分，可到達一主光罩18 。隨後，光線由主光罩18繞射及通過一投影透鏡2〇。最後 ，繞射光線投影於一晶圓上且晶圓之一表面局部地曝露， 完成投影曝露方法。 傾斜照明方法為其中一種調整照明方法，其係參考圖3、 4而詳細說明於後。 圖3係一間不圖，揭不一传用習4〇日δ +、丄 從用㈢知一明方法之習知投影曝 露方法，及圖4係-簡示圖，揭示一使用上述傾斜照明方法 之投影曝露方法。 依圖3之習知投影曝露方法所示，光線係透過縮聚透鏡^ 而投射於光罩18上’以致於光線落下之平面重合於光罩is 之-傅利葉轉換平面。投射於傅利葉轉換平面上之光線分 佈：-圓形區域内且繞射’入射光垂直成分之零階繞射光 沿著一光學轴線行進，且入射光傾斜成分之+ist及-广階繞 射光沿著繞射角Θ方向行進，零階與+ 1“及·pt階繞射光通過 .投影透鏡2G，且在晶圓上相互干涉以最終形成_影像。 通常，光罩之圖樣越細微，則繞射角θ越大，且因此⑽ 越大。若大於投影透鏡20之數值孔徑（να),則+ist及·广 u光無法通過投影透鏡2Q，@僅有零階繞射光通過投 影透鏡洲達晶圓之-表面，其未造成干涉。此時，最小

丨X 297公釐) 535029 A7 ----— —_ B7 五、發明説^ ) " ~ 3 ’ 解析度R定義為： R = λ /(2ΝΑ) 依據圖4所示一使用傾斜照明方法之投影曝露方法，通過 孔14之光線係以一特定之傾斜入射角α投射於光罩1 8上， 傾斜入射角α係由透過以下等式而由光學軸線與孔14之一 透明部分之間之距離χ以及縮聚透鏡丨6之焦距f決定：

/sin a = X 投射於光罩18上之光線係由形成於光罩18上之圖樣繞射 ’此時’零階光線係相關於光學軸線而以一繞射角Θ繞射， 且+1及-1 1階光線相關於光學軸線而分別以一繞射角㊀1及〜 繞射，0丨及02具有以下關係： sin0i+ sin α = λ / ΡΓ sin02- sin α = λ / ΡΓ 其中’ Pr為光罩18之一線距或一間距，亦即，光罩is之一 圖樣間距。 一較高階繞射光行進於其他路徑，-Ist階或較高階繞射無 法進入投影透鏡20，因為光罩1 8之圖樣間距細微且投影透 鏡20之NA大於sin02，結果，僅有零階及階繞射光係在 一鏡面上繞射及通過投影透鏡20，以在晶圓表面上相互干 涉，因此形成一影像。解析度範圍係較高於習知投影曝露 方法者1.5倍。 、 惟，上述傾斜照明方法具有若干問題。 首先’一供光線通過之面積遠小於阻擋光線之面積，例 如，在圖2C所示之環形孔例子中，光傳輸比係由以下等式 -6· 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 x 297公釐) 535029 ‘發明説明（ 計算： (σ〇2-σί2) /σ〇2 由於此關係’ ％ =2σ。/3可知為最佳者 ，其曝露時間增加2倍。 傳輪比為5/9 在圖2Β所示之四極式孔 計算·· r㈣輪比係由以下等式 4σ，/σ〇2 田σ! 〇。/4日可’傳輸比為1/4，曝露 :投影系統之效率。同樣地，當使用圖2Α;:雙 時光傳輸比係由以下等式計算： 2σ丨2 /σ02 低Γ:Γ:時’傳輸比為1/8，曝露時間增加8倍，嚴重減 低才又影系統之效率。 κ 用於增加具有環形孔之曝露光線量 1仏η Μ 、明裝置係揭露於 wa寺人之5’757,470號美國專利，其中-對凹形斑凸 形，使環形孔中心部分之光線發散’且發散性光束收斂 使得自光源放射之光線可呈環形投射。 依據頒給Dewa等人之該5,757,470號美國專利之照明裝置 所示，自光源放射之光線係透過蠅眼透鏡而入射於凹^ 形透鏡上，隨後，人射光即以一預定角度散佈至孔之周邊 部分，散佈之光線接著入射於凸形錐形透鏡上，以收斂及 到達縮聚透鏡。 由於光學軸線中央部分之光線可以充分使用，光線效率 即可增加❶惟，由於光學轴線周邊部分之光線亦散佈且使 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） 裝 訂 線 535029 五、發明説明（ 得所有光線無法收斂至環形 ^L L 孔，光線效率即無法依需要增 加過鉅。此外，當供光線昭 綠阳掩μ γ I、、射通過之孔之尺寸擴大時，光 線阻擋邛分之面積亦擴大， 部八* 且因此，孔之尺寸及光線阻擋 刀之面積難以各別控制。 再者，製造半導體裝置黨 — 衣罝*要曝露製程重覆多次，每當執 订各曝路製程時，需要一祭 — 最適用於各曝露製程之各別裝置 二因此曝露裝置之操作者需變化該孔。一包括連發式孔 =改良曝露裝置曾引用過’但是其問題在改良曝露裝 置太龐大，且孔之形狀受到連發式孔之限制。 發明概要 本發明係、為了解決上述問題，且據此本發明之第一目的 在提供-種以光線曝露-物件的方法，以增進光線效率。 本發明之第二目的在提供—種以光線曝露—物件的裝置 ’以增進光線效率。 為了達成本發明之第一目的，提供一種以光線曝露一物 件之方法，包含以下步驟：產生具有一均句強度分佈之光 束；將光束折射成複數發散性光束；^复數發散性光束折 射成複數平行光束；及以複數平行光束之光線曝露一物件。 在上述方法中，複數發散性光束具有一合成強度，其大 致等於光束折射前之強度，因此，用於曝露物件之複數光 束之強度幾乎等於未發散光束折射前之強度，因而在以光 線曝露一物件中可以最大化光線效率。 為了達成本發明之第二目的，提供一種以光線曝露一物 件之裝置，包含：一組件，用於產生具有一均勻強度分佈 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐） 535029 五、發明説明（ 之光束，一第一折射組件，用於將光束折射成複數發散性 光束，一第二折射組件，用於將複數發散性光束折射成複 數平行光束；及一組件，用於以複數平行光束之光線曝露 一物件。 —在上述袭置中，第一折射組件可將光線折射成二發散性 光束，其係相關於一垂直於光束行進方向之第一方向線而 呈相互對稱。 第一折射組件亦可將光線折射成四發散性光束，其係相 關於垂直於光束行進方向之一第一方向線及一第二方向線 而呈相互對稱。 上述裝置可以進一步包括一控制組件，用於控制第一折 射組件及第二折射組件之間之一相對位移，其中若控制組 件使第才斤射組件分離於第二折射組件，光束係折射成複 數發散性光束且複數發散性光束折射成複數平行光束，及 若控制組件使第一折射組件及第二折射組件相互接觸，光 束即全部通過第-折射組件及第二折射組件而無折射。 ·,上述裝置進-步包含_第三折射組件，用於將複數平行 光束=射成複數第二發散性光束；及一第四折射組件，用 於將複數第二發散性光束折射成複數第二平行光束。 為了達成本發明之第二目的，提供—種以光線曝露一物 件之裝置，包含：-組件，用、'於產生具有—均勾強度分佈 之光束；一第一透鏡系、統，用於將入射於其上之一第一光 ，折射或傳輸，其中第一光束折射成複數發散性光束且複 數發散性光束折射成平行光束，或第一光束通過第一透鏡 裝 訂

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減2折射；_第二透鏡系統，用於將人射於其上之一 ===戈傳輸1中第二光束折射成-環形發散性 束.雨^放性先束折射成—環形平行光束，或第二光 :鏡系統而無折射；及-組件，用於以複數平 行光束或環形平行光束之光線曝露一物件。 在上述裝置中，複數發散性光束之-合成強度大致等於 未發散光束折射前之強度，因而在以光線曝露一物件中可 以最大化光線效率。此外’物件可以使用相同裝置做多樣 式曝露。 圖式簡單說明 本發明之上述及其他目的可以藉由參考以下詳細說明及 考慮配合於相關圖式而較易於明瞭，其中： 圖1係習知投影曝露裝置之一照明系統之結構； 圖2A至2C係截面圖，揭示安裝於習知投影曝露裝置之照 明系統内之多種孔形狀； 圖3係簡示圖，揭示一使用習知照明方法之習知投影曝露 方法； 圖4係簡示圖，揭示一使用傾斜照明方法之投影曝露方法； 圖5係戴面圖，闡釋本發明第一實施例之一曝露裝置； 圖6係立體圖，揭示圖5所示之第一及第二傳輸構件； 圖7係一視圖，闡釋當一光束行進通過相異折射指數值之 介質時之折射現象； 圖8係一視圖，闡釋圖5所示第一及第二傳輸構件之間之 間隙距離與平行光束之間隔距離之間之關係。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 535029 A7 -------— ___ i ^ (8 ) " ~ s·〜— 圖9係截面圖，闡釋本發明第二實施例之一曝露裝置· 圖10係立體圖，揭示圖9所示之第一至第四傳輪構件· 圖11A係一視圖，揭示一光線通過圖9所示之各傳輪構件· 圖11B係平面圖，揭示一光線通過圖9所示之第’ 寻輸構 圖12係截面圖，闡釋本發明第三實施例之一曝露裝置· 圖13係立體圖，揭示圖9所示之第一至第三傳輸構件； 圖14係截面圖，闡釋本發明第四實施例之一曝露袭置. 圖15Α至15C係視圖，用於闡釋依據第一及第二透鏡系統 以提供於曝露段之多種光束形狀； ” 圖16係流私圖，用於闡釋以光束曝露一物件的第一方法 ;及 / 圖17係流程圖，用於闡釋以光束曝露一物件的第二方法。 較佳實施例之詳細說明 文後，本發明之實施例將參考配合圖式做詳細說明。 以光線曝露物件之裝詈 實施例1 圖5係截面圖，闡釋本發明第一實施例之一曝露裝置。本 發明之曝露裝置將入射光束折射成二發散性光束，其係相 關於一垂直於入射光束行進方向之第一方向線而呈相互對 稱，及將一發散性光束再次折、射成平行光束，曝露裝置即 以平行光束之光線曝露一物件。 請參閱圖5’曝露裝置包括一光束產生段1〇〇，供產生具 有一均勻強度分佈之光束。光束產生段1〇〇具有一光源1〇1 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公爱) 535029 A7 ------------B7 五、) — 9 供產生光線，及一蠅眼透鏡102包括微透鏡102以將光源101 供給之光線轉換成一平行光束。通過蠅眼透鏡1 02之光束係 订進有如平行光束，其具有一均勻強度分佈。 曝露裝置亦包括一第一傳輸構件104，可將光束產生段 100提供之光束（文後稱為初光束）折射成二發散性光束，及 第一傳輪構件106，可將二發散性光束折射成二平行光束。 圖6係立體圖，揭示圖5所示之第一及第二傳輸構件。 —第一傳輸構件104將初光束折射成二發散性光束，分別沿 者一第一路徑及一第二路徑行進，其係相關於一垂直於初 光束行進方向之第一方向線而呈相互對稱。 幸又特別地，第一傳輸構件〗〇4包括一垂直於初光束行進方 向之入射表面1〇4a、垂直於入射表面1〇如且平行於初光束 行進方向之四側表面1〇4b、及相關於第一方向線ιΐ4而呈相 互對稱且相對於入射表面购之第一及第二放射表面i〇4c 、104d，第一及第二放射表面104(：、1〇4d併合形成一又形 槽。 y 初光束進入第一傳輸構件1〇4而無折射，且沿著第一 構件104内之初方向行進，因為初光束係以⑽。直角入射至 二射表面lG4a上。隨後，部分初光束到達第—放射表面 l〇4c及其餘初光束到達第二放射表面_ 光束折射至第-放射表一且沿著一第一二‘ -傳輸構件面其餘初光束折射至第二放= L〇4第二：沿者一相關於第一方向線114而呈對稱於第-路栌 一路㈣開第一傳輸構件104。因此，初光束分割成： 535029 A7

X f光束，因·為第一及第二放射表面係形成具有一V形。 依據第一及第二放射表面104c、104d / 路徑將闡釋如下。 之先束折射 人：7:糸-硯圖，闡釋當一光束行進通過相異折射指數值之 "質％之折射現象。 4體上，—光束係依折射定律折射，此稱為斯淫爾(Sne„) 疋，且在介質為同向性材料之條件時可表示如下。 ni sine^ n2 Sin02 其中wh為介質之折射指數，01為形成於入射光束方向 與-邊界表面法線之間之入射角，及02為形成於折射光束 方向與一邊界表面法線之間之折射角。 依折射定律所示，一光束係以一小於9〇。角度入射至同向 性介質之-表面上’以利折射，因此，為了使光束折射及 自第一傳輸構件104行進至空氣，在第—傳輸構件ι〇4内行 進之光束即以一小於90。角度到達第一及第二放射表面1〇乜 、104d。為了此目的，第一及第二放射表面係以一預定斜 角形成。 由於第一傳輸構件104較空氣密實，第—傳輸構件1〇4之 折射指數值即大於空氣者，因此，當一光束自第一傳輸構 件104行進至空氣時，折射角即大於入射角。 因此，放射表面104c、104d之形狀變化即導致折射光束 之路從變化’放射表面l〇4c、1 〇4d係相關於_預定基線而 相互對稱地形成，因此部分初光束離開第一放射表面i〇4c 而其餘初光束離開第二放射表面1 〇4d。因此，初光束係依 L ___二13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） II535029 發明説明（ 據放射表面104c、104d之斜角而呈收斂或菸 當放射表面1〇4c、1〇4d形成一鋸齒形時（突出光 束即由第一放射表面104c及第二放射表面1〇4(1收斂，而當 放射表面104c、104d形成一 V形槽時，初光束係由第一: 射表面104c及第二放射表面104(1發散。據此，為了使平行 =進之初光束折射成二發散性光束，第一放射表面⑺“及 第二放射表面104d需呈一 V形槽。 當形成於-垂直於第-放射表面购之法線與—初光束 方向之間之第一入射角係相同於形成於—垂直於第二放射 表面l〇4d之法線與一初光束方向之間之第二入射角時，二 發散性光束即以相同折射角折射於第一及第二放射表面 购上。另方面’當第—入射角不同於第二入射角 0守’一發散性光束係以不同折射角折射於第_及第二放射 表面 1 04c、1 04d上。 入射表面HMa形成較大，以利於所有初以可以入射於 入射表面1 04a上。 第二傳輸構件1〇6將二發散性光束再次折射成二平行光束 ’及因此’二平行光束係相關於第—方向線m而呈相互對 b且在相同之初光束方向中相互平行地行進。 :特別的是：第二傳輸構件106包括第—及第二入射表面 殽面B播古。'相關於初光束’行進方向而併合具有三角形 截面且備有一邊緣線，即 卩3 一入射表面相互接觸處且平行 :::方向線及朝向第-傳輸構件104突出，四側表面106c 係平行於初光束之行進方向，及一放射表面觸係相對於 5張尺度適财a目家料爱〉 m 裝 訂 14· 535029

入射表面106a、i〇6b且垂直於初光束之行進方向。 自第一傳輸構件1G4行進至空氣之二發散性光束進入第二 傳輸構件1G6，由於第二傳輸構件iQ6係較空氣密實，依據 折射：律則入射角大於折射角。因此，當二發散性光束入 射於第二傳輸構件1G6之第_及第二人射表面驗、腿上 時，該二發散性光束各折射向第一入射表面l〇6a與第二入 射表面106b相互接觸且同時朝向第一傳輸構件1〇4突出之邊 緣線處。 第一及第二入射表面1〇6a、1〇6b形成一形狀，以致於二 發散性光束折射成平行光束。較特別的是，在考量於發散 性光束之入射角與第二傳輸構件1〇6之折射指數值，第二傳 輸構件106之第一及第一入射表面1〇6a、1〇仍各相關於發散 性光束方向而形成一斜角，使得以一預定入射角入射於第 一傳輸構件106上之二發散性光束可以折射成二平行光束。 第二傳輸構件106係形成較大，使得二發散性光束可以完 全入射於第一及第二入射表面1〇6a、1〇6b上，且入射光束 元全放射通過放射表面1〇6d。因此，產生於光束產生段1〇〇 内之W光束之強度大約相等於自第二傳輸構件1〇6放射之平 行光束之合成強度。 曝露裝置進一步包含一控制組件116，用於控制第一及第 二傳輸構件104、106之一相對位移，控制組件116可以調整 第一傳輸構件104與第二傳輸構件ι〇6之間之一間隙距離， 且自第二傳輸構件106放射而相交於第一方向線114之二平 行光束之間之一間隔距離D得以控制。較特別的是，間隙距 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇 χ 297公釐） 裝 訂 五、發明説明（13 ) ，增加越多’·自第-傳輸構件⑽放射至空氣之 束之行進距離越多，結果，行 ^ 越多。 仃進距離越多，間隔距離D增加 ，制組件116控制呈_特定形狀之第—及第二傳輸構件 IM盖杜剛之間之間隙距離，當控制組件116使第—及第二傳 輸構件1〇4、106相互分離而—間距形成於第-及第二傳幹 時’初光束係折射成二發散性光束且‘ 先束折射成二平行光束。當控制組件116使第— ^第二傳輸構件刚' 106相互接觸且無間距形成於第-及 第一傳輸構件1 04、1 〇6之η主 , 々 s寺，？刀光束即全部傳輸通過第 一及第二傳輸構件1〇4、1〇6，而無折射。 較佳為，第-及第二傳輸構件1〇4、1〇6係由一透明材料 :成’諸如玻璃、石英、及透明塑膠。第一及第二傳輸 L:l、106可以使用不同材料製成，但是較佳為使用相同 ;斗製成，使得第一及第二傳輸構件104、1〇6之折射指數 相同，上述關係將參考圖8說明於後。 圖8係一視圖，闡釋間隙距離與間隔距離之間之關係。 為了將光束折射成二平行光束，第一傳輸構件1〇4之第— 放射表面104c及第二放射表面i刚需分別平行於第二傳幹 構件1〇6之第一入射表面1〇6a及第二入射表面祕。 1 因此，當第一傳輸構件104與第二傳輸構件1〇6接觸且無 間距形成於第一傳輸構件1〇4與第二傳輸構件1〇6之間時”，、、 第-傳輸構件1G4與第二傳輸構件⑽之間之間隙距離變成〇 ，且初光束全部傳輸通過第一及第二傳輪構件1〇4、1〇6, 535029 A7

而無折射。 傳輸構件1〇4與第二傳輸構件106相互隔離且一間 :、於第一與第二傳輸構件104、1〇6之間時，第-傳輪 n曰1〇4之折射指數值需實f相等於第二傳輸構件者: 仔入射於第_傳輸構件1〇6上之二發散性光 二平行光束。 了成 推光t係以一入射角〜及一折射角㊀2自第一傳輸構件104行 至空氣，折射光束則以一入射角〜自空氣行進至第二傳 輸構件1〇6,因為第一及第二放射表面i〇4c、刪平行於第 -及第二入射表面騎、祕。以斤射光束之入射角為心 ，則折射光束之折射角需為θι，以利折射光束由第二傳輸 構们崎折射成平行光束。因此，第—傳輸構件⑽之折 射指數實質相等於第二傳輸構件1〇6者，易言之，第一與第 傳輸構件1 〇4、1 〇6較佳為相同材料組成。 "若第與第一傳輸構件1 〇4、106係以一特定形狀具體實 苑，則可控制第一與第+傳輸構件1〇4、1〇6至少一位置之 控制組件116可以改變平行光束之間之間隔距離D。 例如，控制組件丨丨6包括齒條與小齒輪以安裝於第一與第 二，輸構件104、1〇6,及一電力源供驅動齒條與小齒輪、。 田第一與第二傳輸構件1 〇4、i〇6係以一特定形狀具體實 施且安裝控制組件116時，自第二傳輸構件1〇6放射之二平 仃光束之間之一間隔距離〇係由以下等式（1)表示之。 D = (2d tan 5 tan0) / (tan0· tan 5 )-..............—.......⑴ 其中，θ為第一放射表面或第二放射表面與一初光束行進 17- 15 15 JjJKJZy 五、發明説明（ 方向之間之一銳角，占為 光束行進方向與-初光束行進；放射之-發散性 -傳輸構件與第二傳輸構 ；銳角’及d為第 等式⑴係在初光束行進 距離》 成之-角度等於初光束行進第：放射表面104c之間形 形成之-角度條件下為真實。π。弟-放射表面购之間 關=θ、5具有—根據—折射等式而由以下等式⑺表示之 cose= cos(0- (5 )............. 其中ηι為第一傳輸構件104之折射指數值。……⑺ 特別是，當光束自第-傳輸構件刚 等式即由以下等式（3)表示之。 了進至折射 ni sin0i= .................... 上 及二氣之折射指數值假設為1。 ::參考圖8以考慮θι、θ2、θ及占之間之幾何關係，入射角 ㊀丨寺於90·θ，且折射角θ2等於㊀!…因此，等式⑺可重新 表不成5及Θ之函數且形成等式（2)。 s第-及第二傳輸構件1〇4、雨具有上述形狀時，供二 發散性光束行進且相互面對之第二傳輸構件1〇6之二側表面 之間之"距離（X)係大於二平行光束之間之間隔距離⑼及一 沿:初光束之水平方向切割之截面表面寬度之總距離（X,), 該寬度平行於第-方向線114。同樣地，第二傳輸構件106 之另二側表面之間之一距離係大於一沿著初光束之水平方 18- 535029 A7

向切割之截面表面寶声兮宫译 此H 見纟3見度垂直於第-方向線114。因 弟一傳輸構件106容許二發散性氺击 性光束折射成二平行光束。 二發散 放t露裝置:亦包括一曝露段109 ’用於以第二傳輸構件106 、之一平仃光束之光線曝露_物件。曝 一 :行光束通過之縮聚透請'-主光罩圖樣u〇M一： 主光罩圖樣繞射之繞射光束投影於其上之投影透鏡⑴。 t第二傳輸構件1G6放射之二平行光束通過縮聚透鏡108 ’隨後，二平行光束係以—傾斜之人射角人射於主光罩圖 樣U0上且由主光罩圖樣110繞射，接著，繞射光束行進至 技〜透鏡1 12。在繞射光束之中，零階與+lSt階繞射光束通 過㈣透鏡112，m繞射光束通過至投影透鏡ιΐ2外， 較高階繞射光束則沿著另一路徑行進。 通過投影透鏡112之零階與階繞射光束係在物件之一 表面上干涉及曝露物件，針對本發明之一較佳實施例，物 件可為一晶圓W，較特別的是，一具有光阻膜塗佈於其上 之晶圓。 據此，自光束產生段100產生之初光束折射成平行光束且 物件係由平行光束之光線曝露’導致改善一光線效率及半 導體裝置之生產率。 實施例2 圖9係截面圖，闡釋本發明第二實施例之一曝露裝置。 本發明之曝露裝置可容許光束產生段產生之光束可相關 於一第一方向線及一第一方向線而呈發散之四發散性光束 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公爱)

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線 535029 五、發明説明（17 ，該二方向線垂直於光束之一行進方向，且四發散性光束 折射成四平行光束。 本實施例之曝露裝置包含第一及第二傳輸構件，係相同 於安裝至第一實施例曝露裝置之第一及第二傳輸構件，及 進一步包含一第三及一第四傳輸構件。 請參閱圖9,曝露裝置包括一光束產生段2〇〇，供產生具 有一均勻強度分佈之光束。光束產生段2〇〇包含一光源2〇1 ί、產生光線，及由複數微透鏡組成之绳眼透鏡，以將光 源201供給之光線轉換成平行光束。因此，通過蠅眼透鏡 2〇2之光束係行進有如具有一均勻強度分佈之平行光束。 曝露裝置亦包括第一至第四傳輸構件，使光束產生段2〇〇 產生之光束（文後稱為初光束）折射成四發散性光束，且四發 散性光束折射成四平行光束。 圖10係立體圖，揭示圖9所示之第一至第四傳輸構件。圖 11Α係一視圖，揭示一光線通過圖9所示之各傳輸構件。圖 11B係平面圖，揭示一光線通過圖9所示之第四傳輸構件。 曝露裝置包括一第一傳輸構件204，可將初光束3〇〇折射 成二發散性光束302,第一傳輸構件2〇4將初光束折射成二 發政性光束，且分別沿著一第一路徑及一第二路徑行進， 其係相關於一垂直於初光束300行進方向之第一方向線22〇 而呈相互對稱。 較特別地，第一傳輸構件2〇4包括一垂直於初光束3〇〇行 進方向之入射表面204a、垂直於入射表面2〇4a且平行於初 光束300行進方向之四側表面2〇4b、及相關於第一方向線 -20· 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 535029 A7 B7 五、發明説明（18 ) 220而呈相·互對稱且相對於入射表面204a之第一及第二放射 表面204c、204d，第一傳輸構件204之入射表面204a係形成 較大，使得所有初光束可以入射於入射表面204a上。 曝露裝置進一步包含一第二傳輸構件206，可將二發散性 光束302折射成二平行光束304，第二傳輸構件206將二發散 性光束302折射成二平行光束304，且在相同於初光束300之 方向中行進。 請參閱圖10，第二傳輸構件206包括第一及第二入射表面 206a、206b，係相關於初光束300行進方向而併合具有三角 形截面且備有一邊緣線，即該二入射表面206a、206b相互 接觸處且平行於第一方向線220及朝向第一傳輸構件204突 出，四側表面206c係平行於初光束300之行進方向，及一放 射表面206d係相對於第一及第二入射表面206a、206b且垂 直於初光束之行進方向。 第二傳輸構件206係形成較大，使二發散性光束302僅入 射於入射表面206a、206b上，且所有入射光束係如同平行 光束地僅放射通過放射表面。 由於第一及第二傳輸構件204、206係依相同於本發明第 一實施例之方式形成，因此第一及第二傳輸構件204、206 之進一步說明將省略之。 曝露裝置亦包括一第三傳輸.構件208，可將二平行光束折 射成四發散性光束，第三傳輸構件208將二平行光束304折 射成四發散性光束306，其係相關於一垂直於光束產生段 200所生初光束300行進方向之第二方向線222而呈相互對稱。 -21 - 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） 535029 A7 B7 五、發明説明（19 ) 請參閱圖10，第三傳輸構件208包括一垂直於通過第二傳 輸構件206之二平行光束304行進方向的入射表面208a、垂 直於入射表面208a且平行於平行光束304行進方向之四側表 面208b、及相關於第二方向線222而呈相互對稱且相對於入 射表面208a之第三及第四放射表面208c、208d。 第一方向線220及第二方向線222形成一在大約45與90度 範圍内之角度y。 由於以90°之入射角入射於第三傳輸構件208上，二平行光 束304即在相同行進方向中通過第三傳輸構件208，隨後， 二平行光束304在放射表面208c、208d上折射成四發散性光 束。 二平行光束304係由一第一平行光束304a及一第二平行光 束304b組成，第一平行光束304a以一預定折射角折射於第 三及第四表面208c、208d上而成為二發散性光束，且相同 於第一平行光束304a的是，第二平行光束304b亦以一預定 折射角折射於第三及第四表面208c、208d上而成為二發散 性光束。據此，第一及第二平行光束304a、304b折射成四 發散性光束306，同時通過第三傳輸構件208。此時，自同 一放射表面放射之第一及第二平行光束304係以相同折射角 折射。 另方面，形成於第一方向線220及第二方向線222之間之 角度y係相關於四發散性光束之光線通量。特別是，當角度 y為90度時，第一及第二平行光束各折射成二發散性光束， 且各發散性光束具有相同光線通量。因此，角度y需以90度 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公爱)

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535029 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 形成。 曝露裝置亦包括一第四傳輸構件2丨〇，可將四發散性光束 306折射成四平行光束308，第四傳輸構件21〇將相對於第二 方向線222對稱的四發散性光束3〇6折射成在相同於初光束 300之行進方向中相互平行地行進的四平行光束3〇8。 第四傳輸構件210包括第三及第四入射表面2i〇a、21〇b， 係相關於初光束300行進方向而併合具有三角形截面且備有 一邊緣線’即該二入射表面21 〇a、21 〇b相互接觸處且平行 於第二方向線222及朝向第三傳輸構件2〇8突出，四側表面 2 10c係平行於初光束方向，及一放射表面21〇d係相對於第 二及第四入射表面21〇a、210b且垂直於初光束方向。 折射於第三傳輸構件208之放射表面上且行進至空氣中之 四發散性光束306係入射於較空氣密實之第四傳輸構件210 上。依據折射定律，當光束通過第四傳輸構件21〇時，入射 角即大於折射角。因此，當四發散性光束3〇6入射於上述形 狀之第四傳輸構件210上時，四發散性光束306即分別相關 於第四傳輸構件210之第三及第四入射表面21〇a、21〇b相互 接觸處之邊緣線而對稱地折射。 第四傳輸構件210之入射表面210a、210b係形成以容許四 發散性光束折射成各別之平行光束。較特別的是，在考量 於發散.性光束之入射角與第四傳輸構件21〇之折射指數，自 第四傳輸構件210突出之第三及第四入射表面21 〇a、2i〇b係 相關於初光束300之行進方向而以預定角度形成，使得入射 於第二及第四入射表面21〇a、21〇b上之四發散性光束3〇6折 -23- 本纸張尺度適财國g家標準(CNS) Μ規格(灿MW公爱) 535029

射成四平行光束且行進平行於初光束300。結果，四發散性 光束306入射於第四傳輸構件21〇，及隨後折射成四平行光 束 308。 第四傳輸構件210係形成較大，使得四發散性光束3〇6可 以完全入射於入射表面210&、21叽上，且入射光束完全放 射成平行光束。因此，初光束3〇〇之光線通量係相等於自第 四傳輸構件210放射之各平行光束3〇8之光線通量和。 本貫施例之曝露裝置亦包括一第一控制組件23〇，用於控 制第一傳輸構件204及第二傳輸構件2〇6之一相對位移，及 一第二控制組件232，用於控制第三傳輸構件2〇8及第四傳 輸構件210之一相對位移。第一控制組件23〇控制第一傳輸 構件204與第二傳輸構件2〇6之間之一第一間隙距離，且自 第二傳輸構件206放射而相交於第一方向線22〇之二平行光 束304之間之一第一間隔距離仏因而得以控制。再者，第二 控制組件232控制第三傳輸構件2〇8與第四傳輸構件21〇之間 之一第二間隙距離，且自第四傳輸構件21〇放射而相交於第 二方向線222之四平行光束308之間之一第二間隔距離〇2因 而得以控制。因此，第一傳輸構件2〇4與第二傳輸構件2〇6 之間之第一間隙距離增加越多，自第一傳輸構件2〇4放射至 空氣之二發散性光束302之行進距離亦增加越多。結果，二 發散性光束302之行進距離越多，自第二傳輸構件2〇6放射 之二平行光束304之間之第一間隔距離Di增加越多。 同樣地’第三傳輸構件208與第四傳輸構件2 1〇之間之第 一間隙距離增加越多，自第三傳輸構件2〇8放射至空氣之四 -24· 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 535029 A7 __________ B7 五、發明説明（22 ) 發散性光束306之行進距離亦增加越多。結果，四發散性光 束306之行進距離越多，自第四傳輸構件21〇放射之四平行 光束308之間之第二間隔距離D2增加越多。 第一控制組件230控制具有一特定形狀之第一傳輸構件 204與第二傳輸構件206之間之第一間隙距離，當第一控制 組件23 0使第一及第二傳輸構件2〇4、206相互分離且留下一 間距於第一及第二傳輸構件204、206之間時，初光束300係 折射成相關於第一方向線220而呈相互對稱之二發散性光束 302，且隨後二發散性光束3〇2折射成二平行光束3〇4。當第 一控制組件230使第一及第二傳輸構件2〇4、2〇6相互接觸且 無間距形成於第一及第二傳輸構件2〇4、2〇6之間時，初光 束300即全部傳輸通過第一及第二傳輸構件2〇4、2〇6，而無 折射。 同樣地，第二控制組件232控制指定於一特定形狀之第三 傳輸構件208與第四傳輸構件21〇之間之第二間隙距離，當 第二控制組件232使第三及第四傳輸構件2〇8、21〇相互分^ 且留下一間距於第三及第四傳輸構件2〇8、21〇之間時，二 平订光束304係折射成相關於第二方向線222而呈相互對稱 之四發散性光束306，且隨後四發散性光束3〇6折射成四平 行光束308田第一控制組件232使第三及第四傳輸構件2〇8 、210相互接觸且無間距形成於第三及第四傳輸構件2〇8、 210之間枯，一平行光束3 〇4即全部傳輸通過第三及四 輸構件208、210，而無折射。 當第一及第二傳輸構件2〇4、2〇6相互接觸，且第三及第 表紙張尺度通用中國國家標準(CNS) Aii_(21GX297公爱了

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四傳輸構件208、210相互分離時，通過第-及第二傳輸構 件204、206之光束係行進於與初光束3〇〇相同之方向中，而 無折射。’亦即’通過第一及第二傳輸構件2〇4、2〇6之光束 相同於初光束300。隨後’當通過第—及第二傳輸構件2〇4 、206之初光束300入射於第三傳輸構件2〇8上時初光束 3〇〇係折射成相關於第二方向線222而呈相互對稱之二發散 性光束306，且隨後二發散性光束3〇6再次折射及轉變成二 平行光束，同時通過第四傳輸構件21〇。 如上所述，初光束300可以藉由第一及第二控制組件23〇 、232控制第一及第二傳輸構件2〇4、2〇6之間之第一間隙距 離D丨以及第二及第四傳輸構件2〇8、2丨〇之間之第二間隙距 離D2，以折射成相關於第一或第二方向線而呈相互對稱之 四平行光束或二平行光束。若有需要，初光束可以全部傳 輸通過第一傳輸構件204至第四傳輸構件21〇 ,而無折射。 執行上述功能時，第一傳輸構件204之第一放射表面2〇乜 係設定為平行於第二傳輸構件206之第一入射表面2〇以，且 同時第一傳輸構件204之第二放射表面2〇4d設定為平行於第 一傳輸構件206之第二入射表面206b。因此，當第一傳輸構 件204及第一傳輸構件206相互接觸且無間距形成於第一及 第一傳輸構件204、206之間時，初光束即以相同方向傳輸 通過第二傳輸構件206，而無折射。此外，當第一及第二傳 輸構件204、206相互分離，且第一傳輸構件2〇4之第一及第 二放射表面204c、204d分別平行於第二傳輸構件2〇6之第一 及第一入射表面206a、20 6b時，第一及第二傳輸構件2〇4、 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） 535029 A7 五、發明説明Y24 ---— 2〇6之折射.指數需實質相等，以利將入射於第二傳輸構件 206上之二發散性光束折射成二平行光束。 、，同樣地，第二傳輸構件208之第三放射表面208c係設定為 平行於第四傳輸構件21〇之第三入射表面21〇&，且同時第三 傳輸構件208之第四放射表面2〇8d設定為平行於第四傳輸構 件210之第四入射表面210b。因此，當第三傳輸構件208及 第四傳輸構件210相互接觸且無間距形成於第三及第四傳輸 構件208、210之間時，通過第二傳輸構件2〇6之光束即以相 同方向傳輸通過第四傳輸構件21〇，而無折射。此外，當第 二及第四傳輸構件208、21〇相互分離，且第三傳輸構件2〇8 之第三及第四放射表面208c、2〇8(1分別平行於第四傳輸構 件206之第二及第四入射表面21〇a、21〇b時，第三及第四傳 輸構件208、210之折射指數需實質相等，以利將入射於第 四傳輸構件210上之二發散性光束折射成二平行光束。 幸乂佳為，第一、第二、第三及第四傳輸構件204、206、 208、2 10係由一透明材料組成，諸如玻璃、石英、及透明 塑膠。第一至第四傳輸構件2〇4、2〇6、2〇8、21〇可以使用 不同材料製成，但是較佳為使用相同材料製成，使得第一 至第四傳輸構件204、206、208、210之折射指數相同。 曝露段211係以第四傳輸構件21〇放射之平行光束3〇8之光 線曝露一物件，曝露段211包含一供平行光束3〇8通過之縮 聚透鏡212、-主光罩圖樣214、及一供由主光罩圖樣繞射 之繞射光束投影於其上之投影透鏡2丨6。 自第四傳輸構件210放射之平行光束通過縮聚透鏡212， -27- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公爱^ 535029 A7 _____ B7_____ 五、發明説明（25 ) 隨後，平行光束係以一♦傾斜之入射角入射於主光罩圖樣214 上且由主光罩圖樣214繞射，接著，繞射光束行進至投影透 鏡216，及通過投影透鏡216。通過投影透鏡216之光束係在 物件之一表面上干涉及曝露物件，隨後物件即由平行光束 之光線曝露。 據此，自光束產生段200產生之初光束折射成平行光束且 物件係由平行光束之光線曝露，導致改善光線效率及半導 體裝置之生產率。 實施例3 圖12係截面圖，闡釋本發明第三實施例之一曝露裝置。 本發明之曝露裝置將光束折射成四發散性光束，其係相 關於垂直於光束行進方向之一第一及一第二方向線而呈相 互對稱’及將四發散性光束再次折射成平行光束，以利相 同於本發明第二實施例之曝露裝置方式以光線曝露一物件。 明參閱圖12’曝露裝置包括一光束產生段4〇〇，供產生具 有一均勻強度分佈之光束。光束產生段4〇〇包含一光源4〇1 供產生光線，及由複數微透鏡組成之蠅眼透鏡4〇2，以將光 源401供給之光線轉換成平行光束。因此，通過蠅眼透鏡 402之光束係行進有如具有一均勻強度分佈之平行光束。 曝露裝置亦包括第一至第三傳輸構件，使光束產生段4〇〇 產生之光束（文後稱為初光束）折射成四發散性光束，且四發 散性光束折射成四平行光束。 圖13係立體圖，揭示圖12所示之第一至第三傳輸構件。 曝路裝置包括-第-傳輸構件4〇4，可將光束產生段彻 •28-

535029 A7 B7 五、發明説明（26 ) 放射之初光束折射成二發散性光束，第一傳輸構件4〇4將初 光束折射成二發散性光束，且分別沿著一第一路徑及一第 一路徑行進’其係相關於一垂直於初光束行進方向之第一 方向線420而呈相互對稱。 較特別地，第一傳輸構件404包括一垂直於初光束3〇〇行 進方向之入射表面404a、垂直於入射表面404a且平行於初 光束300行進方向之四側表面4〇4b、及相關於第一方向線 420而呈相互對稱且相對於入射表面4〇4a之第一及第二放射 表面404c、404d ,放射表面併合形成一 V形槽。 第一傳輸構件404之入射表面404a係形成較大，使所有初 光束入射於入射表面404a上。 由於第一傳輸構件404係依相同於本發明第一及第二實施 例之方式形成，因此第一傳輸構件404之進一步說明將省略 之。 曝露裝置進一步包含一第二傳輸構件4〇6 ’可將二發散性 光束折射成二平行光束，及再次將二平行光束折射成四發 散性光束。 較特別的是，第二傳輸構件406包括第一及第二入射表面 406a、406b，係相關於初光束行進方向而併合具有三角形 戴面且備有一邊緣線，即第一及第二入射表面4〇6a、4〇讣 相互接觸處且平行於第一方向線及朝向第一傳輸構件綱突 出，四側表面406c係平行於初光束之行進方向，及第三及 第四放射表面406d、406e係併合形成一 槽且備有一邊 緣線，其中第三及第四放射表面406d、4〇心相互接觸且平 -29-

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行於與初光束方向垂直之第二方向線422。 第二傳輸構件406係形成較大，使二發散性光束可入射於 入射表面406a、406b上，且所有入射光束係如同平行光束 地僅放射通過放射表面。 第方向線420及第二方向線422形成一在大約45與90度 範圍内之角度y。 入射於第二傳輸構件406上之入射光束係如同二平行光束 般折射及行進通過第二傳輸構件406，二平行光束隨後折射 於第二傳輸構件406之放射表面406d、406e上，且如同四發 散性光束般折射及行進至空氣中。 二平行光束之一者係定義為一第一平行光束，而二平行 光束之另一者則定義為一第二平行光束，第一平行光束係 以一預定折射角折射於第三及第四放射表面4〇6d、4〇心上 且發散成一發散性光束。因此，第一及第二平行光束折射 成四發散性光束而通過第二傳輸構件4〇6，此時，自同一放 射表面放射之第一及第二平行光束即以同一折射角折射。 當第一及第二平行光束各折射成二發散性光束時，形成 於做為第二傳輸構件406之一放射表面上所形成又形槽之基 線的第二方向線422與做為第二傳輸構件4〇6之一入射表面 上所形成一 v形突出部分之基線的第一方向線420之間之_ 角度係相關於四發散性光束之光線通量。較特別的是，當 第一方向線與第二方向線之間之角度為90。時，第一及第二 平行光束各折射成相同光線通量之二發散性光束，因此， 第一及第二方向線420、422之間之角度需為9〇0。 •30- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇 X297公釐）

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535029 A7 B7 五、發明説明（28 ) +路裝置亦包括一第三傳輸構件4〇8，可將四發散性光束 折射成四平仃光束，第三傳輸構件4〇8將四發散性光束折射 成平行光束，且相關於一第二方向線而呈相互對稱及在 相同於初光束之方向中行進。 ^第一傳輸構件408包括第三及第四入射表面4〇8a、4〇肋， 係併合形成二角形截面且朝向第二傳輸構件4〇6突出及備有 一邊緣線平行於第二方向線422，即第三及第四入射表面 4〇8a、408b相互接觸處，四側表面4〇8c係平行於初光束方 向，及一放射表面408d係相對於第三及第四表面4〇8a、 408b且垂直於初光束方向。 折射於第二傳輸構件4〇6之放射表面上且行進至空氣中之 四發散性光束係入射於較空氣密實之第三傳輸構件上。 依據折射定律，當光束通過第三傳輸構件4〇8時，入射角即 ^於折射角。因此，當四發散性光束入射於上述形狀之第 三傳輸構件408上時，四發散性光束即分別相關於第三傳輸 構件408之第三及第四入射表面仙心、4〇朴相互接觸處之邊 緣線而對稱地折射。 第三傳輸構件408之入射表面408a、408b係形成以令四發 散性光束折射成各別之平行光束。較特別的是，在考量於 發散性光束之折射角與第三傳輸構件4〇8之折射指數，自第 三傳輸構件408突出之第三及第四入射表面4〇8a、4〇扑係相 關於初光束之行進方向而呈一預定角度，使得入射於第三 及第四入射表面408a、408b上之四發散性光束折射成四平 行光束且行進平行於初光束。結果，四發散性光束入射於 -31 -

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第三傳輸構件408，及隨後折射成四平行光束。 第三傳輸構件408係形成較大，使得四發散性光束完全入 射於入射表面408a、408b上，且入射光束完全放射成平行 光束。因此，初光束之光線通量係相等於自第三傳輸構件 408放射之各平行光束之光線通量和。 本實施例之曝露裝置亦包括一第一控制組件43〇 ,用於控 制第一傳輸構件404及第二傳輸構件4〇6之一相對位移，及 一第二控制組件432，用於控制第二傳輸構件4〇6及第三傳 輸構件408之一相對位移。第一控制組件43〇控制第一傳輸 構件404與第二傳輸構件4〇6之間之一第一間隙距離，且通 過第二傳輸構件406而相交於第一方向線42〇之二平行光束 之間之一第一間隔距離因而得以控制。再者，第二控制組 件432控制第二傳輸構件4〇6與第三傳輸構件4〇8之間之一第 一間隙距離，且自第三傳輪構件4〇8放射而相交於第二方向 線422之四平行光束之間之一第二間隔距離因而得以控制。 因此，第一傳輸構件404與第二傳輸構件4〇6之間之第一 間隙距離增加越多，自第一傳輸構件4〇4放射至空氣之二發 散性光束之行進距離亦增加越多。結果，二發散性光束之 行進距離越多，通過第二傳輸構件4〇6之二平行光束之間之 第一間隔距離增加越多。 同樣地，第二傳輸構件4〇6與第三傳輸構件4〇8之間之第 一間隙距離增加越多，自第二傳輸構件4〇6放射至空氣之四 發散性光束之行進距離亦增加越多。結果，四發散性光束 之行進距離越多，自第三傳輸構件4〇8放射之四平行光束之 -32- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公 535029

間之第二間隔距離增加越多。 第一控制組件430控制具有一特定形狀之第一傳輸構件 404與第二傳輸構件4〇6之間之第一間隙距離，當第一控制 組件43 0使第一及第二傳輸構件4〇4、4〇6相互分離且形成一 間距於第一及第二傳輸構件404、406之間時，初光束係折 射成相關於第一方向線420而呈相互對稱之二發散性光束， 且隨後二發散性光束折射成二平行光束。當第一控制組件 43 0使第一及第二傳輸構件4〇4、4〇6相互接觸且無間距形成 於第一及第二傳輸構件404、406之間時，初光束即傳輸通 過第一傳輸構件404及入射於第二傳輸構件4〇6上而無折射 ，同時保持初光束方向。 同樣地，第二控制組件432控制具有一特定形狀之第二傳 輸構件406與第三傳輸構件4〇8之間之第二間隙距離，當第 二控制組件432使第二及第三傳輸構件4〇6、4〇8相互分離且 形成一間距於第二及第三傳輸構件4〇6、408之間時，二平 行光束係折射成相關於第二方向線422而呈相互對稱之四發 散性光束，且隨後四發散性光束折射成四平行光束。當第 二控制組件432使第二及第三傳輸構件4〇6、4〇8相互接觸且 無間距形成於第二及第三傳輸構件4〇6、4〇8之間時，二平 行光束即全部傳輸通過第二及第三傳輸構件4〇6、4〇8，而 無折射。 執行上述功能時，第一傳輸構件4〇4之第一放射表面4〇乜 係設定為平行於第二傳輸構件4〇6之第一入射表面4〇以，且 同時第一傳輸構件404之第二放射表面404(1設定為平行於第

裝

k -33-

535029 A7 B7 五、發明説明（31 ) 二傳輸構件406之第二入射表面406b。因此，當第一傳輸構 件404及第二傳輸構件406相互接觸且無間距形成於第一及 第二傳輸構件404、406之間時，初光束可以相同方向行進 於第二傳輸構件406内，而無折射。此外，當第一及第二傳 輸構件404、406相互分離，且第一傳輸構件404之第一及第 二放射表面404c、404d分別平行於第二傳輸構件406之第一 及第二入射表面406a、406b時，第一及第二傳輸構件404、 406之折射指數需實質相等，以利將入射於第二傳輸構件 406上之發散性光束折射成平行光束。 同樣地，第二傳輸構件406之第三放射表面406d係設定為 平行於第三傳輸構件408之第三入射表面408a，且同時第二 傳輸構件406之第四放射表面406e設定為平行於第三傳輸構 件408之第四入射表面408b。因此，當第二傳輸構件406及 第三傳輸構件408相互接觸且無間距形成於第二及第三傳輸 構件406、408之間時，通過第二傳輸構件406之光束即以相 同方向傳輸通過第三傳輸構件408，而無折射。此外，當第 二及第三傳輸構件406、408相互分離，且第二傳輸構件406 之第三及第四放射表面406d、406e分別平行於第三傳輸構 件408之第三及第四入射表面408a、408b時，第二及第三傳 輸構件406、408之折射指數需實質相等，以利將入射於第 三傳輸構件408上之發散性光束浙射成平行光束。 曝露段409係以第三傳輸構件408放射之平行光束308之光 線曝露一物件，曝露段409包含一供平行光束通過之縮聚透 鏡410、一主光罩圖樣412、及一供由主光罩圖樣412繞射之 -34- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 535029 五、發明説明（32 ) 繞射光束投影於其上之投影透鏡414。 自第三傳輸構件408放射之平行光束通過縮聚透鏡410，

Ik後，平行光束係以一傾斜之入射角入射於主光罩圖樣4 ^ 2 上且由主光罩圖樣412繞射，接著，繞射光束行進朝向投影 透鏡414。通過投影透鏡414之光束係在物件之一表面上干 涉，且一形成於物件表面上之層即依據主光罩圖樣412而選 擇性地炼化。 ' 據此，自光束產生段4〇〇產生之初光束折射成平行光束且 投影於物件上，導致改善光線效率及半導體裝置之生產率。 實施例4 圖14係戴面圖，闡釋本發明第四實施例之一曝露裝置。 本發明之曝露裝置將光束折射成二或四平行光束，且可 將一或四平行光束投影於一物件上。若有需要，曝露裝置 亦將光束折射成環形光束，且將環形光束投影於一物件上。 請參閱圖14,曝露裝置包括一光束產生段5〇〇，供產生具 有一均勻強度分佈之光束。光束產生段5〇〇包含一光源5〇1 供產生光線，及由複數微透鏡組成之蠅眼透鏡502 ,以將光 原501供、”σ之光線轉換成平行光束。因此，通過题眼透鏡 5〇2之光束係行進有如具有一均勻強度分佈之平行光束。 、曝路裝置亦包括一第一透鏡系統5〇4，可將平行光束折射 成複數發散性光束，&將複數發散性光束再次折射成複數 平行光束，或經此使平行光束可以相同方向通過。 第透鏡系統5〇4包括一第一傳輸構件5〇6，可將光束產 生段500提供之光束（文後稱為初光束）折射成二發散性光束 535029

發明説明 33 第二傳輸構件508，供二發散性光束入射於其上及折射 成一平行光束且自此放射之二平行光束再折射成四發散性 光束’ 一第三傳輸構件510，可將四發散性光束折射成四平 仃光束，及一第一與一第二控制組件512、514 ,用於控制 傳輪構件之間之相對位置。 文後’第一透鏡系統504將做詳細說明。 第一傳輸構件506將初光束折射成二發散性光束，分別沿 弟路！及一第二路徑行進，其係相關於一垂直於初 光束行進方向之一第一方向線530而呈相互對稱。 較特別地，第一傳輸構件5〇6包括一垂直於初光束行進方 向之入射表面、垂直於入射表面且平行於初光束行進方向 之四側表面、及相關於第一方向線53〇而呈相互對稱且相對 於入射表面之第一及第二放射表面，第一及第二放射表面 併合形成一 V形槽。第一傳輸構件506之入射表面較大，使 得所有初光束可以入射於入射表面上。由於第一傳輸構件 5〇6係依相同於本發明第一及第二實施例之方式形成，因此 第一傳輸構件506之進一步說明將省略之。 曝露裝置進一步包含一第二傳輸構件508，供二發散性光 束入射於其上，可將二發散性光束折射成二平行光束，及 將二平行光束折射成四發散性光束。 較特別的是，第二傳輸構件如8包括第一及第二入射表面 ，係併合形成二角形截面以朝向第一傳輸構件5〇6突出且備 有-邊緣線1第-及第二入射表面相互接觸處且平行於 第一方向線53〇’則則表面係平行於初光束之行進方向，及

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535029 ------------ B7 五、發明説明^— 第=及第西玫射表面係併合形成一V形槽且備有一邊緣線 八中第二及第四放射表面相互接觸且平行於與初光束方 向垂直之第二方向線5 32。 一第二傳輸構件508之第一及第二入射表面需分別平行於第 傳輸構件506之第一及第二放射表面，因此，當第一及第 二傳輸構件506、508相互接觸且無間距形成於第一及第二 傳輸構件506、508之間日寺，初光束即傳輸通過第一傳輸構 及入射於第二傳輸構件5〇8上而無折射，同時保持初 光束方向。 此外，第二傳輸構件5〇8之折射指數係實質相等於第一傳 輸構件506之折射指數。當第一傳輸構件5〇6之第一及第二 放射表面分別平行於第二傳輸構件5〇8之第一及第二入射表 面時，入射於第二傳輸構件5〇8上之二發散性光束即折射成 平行光束。 第一傳輸構件508較大，使二發散性光束皆可入射於入射 表面上，且入射光束完全自放射表面放射。 形成於第一方向線53〇與第二方向線532之間之一銳角係 在大約45至90範圍内，或較佳為大約9〇。。 入射於第二傳輸構件5〇8上之入射光束係折射成二平行光 束及以一平行光束行進於第二傳輸構件508内，隨後，二平 行光束再次於第二傳輸構件5QS之放射表面上折射成四發散 性光束及行進至空氣中。 一曝路裝置進一步包含一第三傳輸構件510 ,可將四發散性 光束折射成四平行光束，第三傳輸構件51〇將四發散性光束 •37- 本纸張尺度適财S g家標準(CNS) Μ規格(⑽χ挪公爱厂-- 535029 五、發明説明（35 =射成四平行光束，且相關於第二方向線532而呈相互對稱 及在相同於初光束之方向中行進。 較特別的是，第三傳輸構件510包括第三及第四入射表面 ，係併合形成三角形截面以朝向第二傳輸構件5〇8突出及備 有-邊緣線平行於第二方向線532，即第三及第四入射表面 相互接觸處，四側表面係平行於初光束方向，及一放射表 面係相對於第三及第四表面且垂直於初光束方向。 第-傳輸構件510之第二及第四入射表面需分別平行於第 一傳輸構件508之第三及第四放射表面，因此，當第二及第 三傳輸構件508、5 10相互接觸且無間距形成於第二及第三 傳輸構件508、510之間時，自第一傳輸構件5〇6放射之光束 即完全傳輸通過第二及第三傳輸構件5〇8、51〇，而無折射。 此外’第三傳輸構件510之折射指數係實質相等於第二傳 輸構件508之折射指數。當第二傳輸構件5〇8之第三及第四 放射表面分別平行於第三傳輸構件51〇之第三及第四入射表 面時’入射於第三傳輸構件51〇上之四發散性光束即折射成 四平行光束。 第二傳輸構件5 10較大，使四發散性光束皆可入射於入射 表面上’且入射光束完全自放射表面放射且折射成四平行 光束。 四發散性光束係在第三傳輸構件510之入射表面上折射成 四平行光束，且四平行光束係自第三傳輸構件510之放射表 面放射至空氣中。. 本實施例之曝露裝置亦包括一第一控制組件5 12，用於控 -38 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 535029 A7 -___B7 五、發明説明（36 )~~一 ~^ -----~^ 制第-傳輸構件寫及第二傳輪構件5〇8之相對位移，及— 第二控制組件514，用於控制第二傳輸構件5〇 構件510之相對位移。 —^輸 第-控制組件5 12控制第一傳輸構件5〇6與第二傳輸構件 508之間之-第-間隙距離，且通過第二傳輸構件规而相 交於第-方向線530之二平行光束之間之—第—間隔距離因 而知以控制。再者，第二控制組件5 14控制第二傳輸構件 508與第三傳輸構件510之間之一第二間隙距離，且通過第 三傳輸構件510而相交於第二方向線532之四平行光束之間 之一第二間隔距離因而得以控制。 因此，第一傳輸構件506與第二傳輸構件5〇8之間之第一 間隙距離增加越多，自第一傳輸構件5〇6放射之二發散性光 束之行進距離亦增加越多。結果，二發散性光束之行進距 離越多，通過第二傳輸構件508之二平行光束之間之第一間 隔距離增加越多。 同樣地，第二傳輸構件508與第三傳輸構件51〇之間之第 一間隙距離增加越多，自第二傳輸構件5〇8放射至空氣之四 發散性光束之行進距離亦增加越多。結果，四發散性光束 之行進距離越多，自第三傳輸構件51〇放射之四平行光束之 間之第二間隔距離增加越多。 當第一控制組件512使第一及、第二傳輸構件5〇6、508相互 分離且形成一間距於第一及第二傳輸構件5〇6、508之間時 ，初光束係在第一傳輸構件506之放射表面上折射成相關於 第一方向線530而呈相互對稱之二發散性光束，且隨後二發 -39- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 535029

散性光束在第二傳輸構件508之入射表面上折射成二平行光 束。當第一控制組件512使第一及第二傳輸構件5〇6、508相 互接觸且無間距形成於第一及第二傳輸構件5〇6、508之間 日守’初光束即傳輸通過第一傳輸構件5〇6及入射於第二傳輸 構件508上而無折射，同時保持初光束之方向。 同樣地’當第二控制組件514使第二及第三傳輸構件5〇8 、510相互分離且形成一間距於第二及第三傳輸構件5〇8、 5 10之間時，二平行光束係係在第二傳輸構件508之放射表 面上折射成相關於第二方向線532而呈相互對稱之四發散性 光束’且隨後四發散性光束在第三傳輸構件51〇之入射表面 上折射成四平行光束。當第二控制組件5 14使第二及第三傳 輸構件508、5 10相互接觸且無間距形成於第二及第三傳輸 構件508、5 10之間時，二平行光束即全部傳輸通過第二及 第三傳輸構件508、510，而無折射。 因此’初光束係依據由第一控制組件512與第二控制組件 5 14所控制之第一間隙距離與第二間隙距離，以折射成四平 行光束或一平行光束，且相關於第一方向線53〇或第二方向 線5 3 2而呈相互對稱。 通過第二傳輸構件508之二平行光束之間之第一間隔距離 與自第三傳輸構件5丨〇放射之四平行光束之，間之第二間隙距 離亦可藉由本發明第一實施例中說明之等式（丨）取得。 本貫施例之曝露裝置亦包括一第二透鏡系統516，可將通 過第一透鏡系統504之四平行光束折射成一環形發散性光束 ，及將環形發散性光束再次折射成環形平行光束，或可經 40- A7

535029 A7 ____B7 五、發明説明（39~) " 光線曝露一物件，曝露段523包括一供平行光束通過之縮聚 透鏡524、一主光罩圖樣526、及一供由主光罩圖樣526繞射 之繞射光束投影於其上之投影透鏡528。 自第二透鏡系統51 6放射之平行光束係以多種方式提供於 曝露段523。 / 圖15A至15C係視圖，用於闡釋依據第一及第二透鏡系統 以提供於曝露段之多種光束形狀。 請參閱圖1 5 A，光束係在折射成環形平行光束後提供於曝 露段523。 初光束入射於第二透鏡系統516上，當入射光束自第一錐 形透鏡518放射時，入射光束之一中央部分係以一較大於入 射光束之周邊部分者之折射角折射。由第一錐形透鏡518折 射之光束係由第二錐形透鏡5 2 0再次折射成環形平行光束， 此時，第一及第二控制組件512、514使第一透鏡系統5〇4之 第一、第二及第三傳輸構件506、508、510相互接觸，因此 初光束可以相同方向通過第一透鏡系統5〇4而無折射。同時 ，第三控制組件522使第二透鏡系統516之第一及第二錐形 透鏡518、520相互分離且一間距形成於第一錐形透鏡518與 第二錐形透鏡520之間，因此由第一錐形透鏡518折射之發 散性光束即再次折射成環形平行光束。 光束亦可在折射成複數平行光束後提供於曝露段523。 初光束入射於第一透鏡系統504上，且複數平行光束係自 第一透鏡系統504放射，隨後，複數平行光束需通過第二透 鏡系統而無折射。因此，第一及第二傳輸構件之間之第一 -42·

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~間隙距離至少 之弟一及第二錐 傳輸通過第二透 間隙距離與第二及第三傳輸構件之間之第 其中一者係控制為大於〇，且第二透鏡系統 形透鏡相互接觸，因此複數平行光束可以 鏡系統。 圖15B係視圖 曝露段。 說明光束係在折射成四平行光束後提供於 控制組件512使第一透鏡系統5〇4之第 第一 —---个—得輸構件506 與弟二傳輸構件508相互分離，且第二控制組件514亦使第 一透鏡^統504之第二及第三傳輸構件5〇8、5ι〇相互分離， 再者，第三控制組件522使第二透鏡系統516之第一及第二 錐形透鏡518、520相互接觸。據此，初光束係由第一透鏡 系統504折射成四平行光束，且四平行光束傳輸通過第二透 鏡系統5 16而無折射地投影於物件。 自第二透鏡系統516放射之平行光束通過縮聚透鏡524, 隨後，平行光束係以一傾斜之入射角入射於主光罩圖樣526 上且由主光罩圖樣526繞射。接著，繞射光束行進至投影透 鏡528 ’通過投影透鏡528之光束係在物件之一表面上干涉 ’物件即由通過投影透鏡之光束之光線曝露。 據此，投影於物件上之一入射光束係由第一及第二透鏡 系統504、516變化，且自光束產生段5〇〇產生之初光束折射 成平行光束且以光線曝露物件.，導致改善光線效率及半導 體裝置之生產率。 圖15C係視圖，說明光束係在折射成二平行光束後提供於 曝露段。 -43- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐) 535029 五、發明説明（41 第-控制組件512使第—透鏡系統5〇4之第一與第二傳輸 2件寫、508相互分離，且第二控制組件514亦使第一透鏡 :、統之第二及第三傳輸構件·、⑽相互分離，再者，第 二控制組件522使第二透鏡系統516之第—及第二錐形透鏡 518、520相互接觸。據此，初光束係由第一透鏡系統$崎 成平行光束，且一平行光束傳輸通過第二透鏡系統W 而無折射地投影於物件。 自第二透鏡系統516放射之平行光束通過縮聚透鏡524 , 酼後’平仃光束係以一傾斜之入射角入射於主光罩圖樣526 上且由主光罩圖樣526繞射。接著，繞射光束行進至投影透 鏡528，通過投影透鏡528之光束係在物件之一表面上干涉 ，物件即由通過投影透鏡528之光束之光線曝露。 ' 據此，投影於物件上之一入射光束係由第一及第二透鏡 系統504、516變化’且自光束產生段5〇〇產生之初光束折射 成平行光束且以光線曝露物件，導致改善光線效率及半 體裝置之生產率。 依本發明之第四實施例所示，三傳輸構件5〇6、5〇8、51〇 用於將初光束折射成平行光束，但是顯然四傳輸構件，例 如本發明第二實施例之第一、第二、第三及第四傳輸構件 ’其可用於替代三傳輸構件。 一種以光束曝露一物件的方法。 一種以光束曝露一物件的方法係闡釋如下： 實施例5圖16係一流程圖，用於闡釋以光束曝露一物件的第一方 -44- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公爱) -—__ 裝 訂 線 535029 A7 B7 五、發明説明（42 ) 法。 請參閱圖1 6，有均勻強度分佈之光束係由包括一光源及 一绳眼透鏡在内之光束產生段產生，自光源供給之光束則 在通過包括微透鏡在内以將一光線轉換成平行光束之蠅眼 透鏡後，即如具有均勻強度分佈之平行光束般行進（步驟 sio)〇 隨後’平行光束折射成二發散性光束（步驟s丨2)，特別是 ,初光束折射成二發散性光束，其係相關於一垂直於初光 束行進方向之第一方向線而呈相互對稱。初光束係如圖5所 不在第一傳輸構件104之一放射表面上折射成二發散性光束 一發散性光束之合成強度大約等於初光束折射前之強度 土一發散性光束各以一相同折射角或不同折射角折射，較 佺為一發散性光束折射使得二發散性光束之各光線通量相 同且以相同折射角折射。 ^ ik後，一發散性光束折射成二平行光束（步驟$ 14)，二平 行光束行進相同於初光束之方向。由第—傳輸構件1〇4發散 發散性光束復經第二傳輸構件折射成二平行光束，且 行進相同於初光束之方向。 門:::=第一方向線而呈相互對稱之二平行光束之間之-‘散性= 由初光束折射成二發散性光束之折射角以及二 折二角盘/斤射成一平订光束前之行進距離所決定。由於 n行進距離之間關係容易利用三角函數得知，因此 十角與行進距離上之數學等式關係可以省略。 二平行光束投影於一物件上，且物件係由二平行光束之 10X297公釐） 張尺度適财g g家標準(CNs) 規格(2 -45- 535029 A7 ___B7 五、發明説明（43 ) 光線曝露（步驟S 16)。 二平行光束通過縮聚透鏡，且二平行光束隨後入射於主 光罩圖樣上且由主光罩圖樣繞射。針對本發明之一實施例 ’物件為一半導體晶圓上之一光阻層。 二平行光束係以一傾斜之入射角入射於主光罩圖樣上且 由主光罩圖樣繞射’接著，繞射光束行進至投影透鏡。在 繞射光束之中，零階與+ 1“階繞射光束通過投影透鏡，而<st 階繞射光束通過至投影透鏡外，較高階繞射光束則沿著另 一路徑行進。 通過投影透鏡之零階與+ 階繞射光束係在物件之一表面 上干涉，且一形成於物件表面上之層即依據主光罩圖樣而 選擇性地曝露。 據此，當一物件係由光束做局部曝露時，一焦點深度及 解析度可以藉由將初光束折射成之二平行光束投影於物件 上而改善’同樣地，由於投影在主光罩圖樣上之二平行光 束之合成強度大致等於初光束折射前之強度，故可增進光 線效率及縮短處理時間。 實施例6 圖17係一流程圖，用於闡釋以光束曝露一物件的第二方 法。 請參閱圖17，有均勻強度分，佈之光束係由包括一光源及 一 *1眼透鏡在内之光束產生段產生，自光源供給之光束則 在通過包括微透鏡在内以將一光線轉換成平行光束之蠅眼 透鏡後’即如具有均勻強度分佈之平行光束般行進（步驟 -46- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇χ 297公釐) 裝 訂

線 535029 A7 B7 五、發明説明（44 ) S20)。 隨後，平行光束折射成四發散性光束（步驟S22),特別是 ，請參閱圖9，第一傳輸構件204將初光束折射成二發散性 光束，且分別沿著一第一路徑及一第二路徑行進，其係相 關於一垂直於初光束300行進方向之第一方向線22〇而呈相 互對稱。第二傳輸構件206將二發散性光束3〇2折射成二平 行光束304，且在相同於初光束3〇〇之方向中行進。第=傳 輸構件208將二平行光束折射成四發散性光束，其係相關於 一垂直於光束產生段200所生初光束3 〇〇行進方向之第二方 向線而呈相互對稱。 四發散性光束之合成強度大約等於初光束折射前之強度 ，第一及第一方向線之間形成之一銳角係在大約與列度 範圍内。 、又 較佳為，四發散性光束需折射以致於四發散性光束各具 有相同光線通量與折射角。首先，初光束係以相同折射角 折射成二發散性光束，及隨後二發散性光束再次折射成二 平行光束，此時，初光束折射而具有相同光線通量。因此 ，二平行光束之光線通量亦相同。供二發散性光束相關於 此而折射成對稱狀四發散性光束之第二方向線係垂直於第 一方向線，二平行光束分別以相同折射角折射成四發散性 光束，此時，二發散性光束係折射以致於各發散性光束之 光線通量相同，且形成四發散性光束。 隨後，如圖9所示之第四傳輸構件21〇將四發散性 折射成四平行光束（步驟S24)，四平行光束3〇8在相同於初光 -47- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 535029 A7

束之行進方向中相互平行地行進。 折射於第三傳輸構件208之放射表面上且行進至空氣中之 四發散性光束306係入射於耠六产 、 "軼二氣密實之第四傳輸構件2 1 ( 士。據此，當四發散性光束306入射於第四傳輸構件21〇上 時，四發散性光束3〇6即分別相關於第四傳輸構件21〇之第 :及第四入射表®2l0a、2l〇b相互接觸處之邊緣線而對稱 地折射。 相乂於第-方向線之二平行光束之間之第―間隙距離係 由初光束折射成二發散性光束之折射角以 折射成二平行光束前之行進距離所決[同樣地，相3 第-方向線之四平行光束之間之第二間隙距離係由二平行 光束折射成四發散性光束之折射角以及四發散性光束折射 成四平行光束前之行進距離所決定。 隨後，四平行光束投影於一物件上，且物件係由四平行 光束之光線曝露（步驟S26)。 四平行光束通過縮聚透鏡，且平行光束隨後入射於主光 罩圖樣上且由主光罩圖樣繞射，繞射光束行進至投影透鏡 。針對本發明之一實施例，物件為一半導體晶圓上之一光 阻層。 據此，當一物件係由光線曝露時，一焦點深度及解析度 可以藉由將初光束折射成之四·平行光束投影於物件上而改 善，同樣地，由於投影在主光罩圖樣上之四平行光束之合 成強度大致專於初光束折射前之強度，故可增進光線效率 及縮短處理時間。 •48- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐)

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本發明之較佳實施例雖已做說明，可以瞭解的是 並不限於諸較佳實施例，在不脫離文後巾請專 之本發明精神及範疇下，習於此技者仍可有多： 及變化。 文供尘式 -49-

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Claims (1)

1. 535029 A8 B8

   種以光線曝露一物件之方法，包含以下步驟 產生具有一均勻強度分佈之光束； 將光束折射成複數發散性光束； 將複數發散性光束折射成複數平行光束；及 以複數平行光束之光線曝露一物件。 2. 3. 4· 5. 如申請專利範圍第！項之方法，λ中複數發散性 有一合成強度，其大致等於光束折射前之強度。 如申請專利範圍第1項之方法，#中複數發散性 以大致相同折射角折射。 光束具 光束係 如申請專利範圍第1項之方法 散性光束。 其中光束係折射成二發 6.如申請專利範圍第丨項之方法 散性光束。 其中光束係折射成四發 如申請專利範圍第6項之方法，其中光束藉由以下方式 折射成四平行光束： 二 將光束折射成二發散性光束； 將二發散性光束折射成二平行光束； 將二平行光束折射成四發散性光束；及 將四發散性光束折射成四.平行光束。 8.如申請專利範圍第7項之方法，其中相對於該等光束之 第一方向線係對稱地折射成二發散性光束及相對於該二 平行光束之第二方向線係對稱地以某一角度折射成四發散 -50- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(21〇Χ297公釐） A8 B8 C8 D8

   535029 pT、申請專利ϋ 性光束。 9.如申請專利範圍第8項之方法，其中該角度係在大 至90度之間。 10·如申睛專利範圍第i項之方法，其中物件曝露之前，複 數光束之光線係繞射通過一圖樣。 11·如申请專利範圍第1〇項之方法，其中該圖樣係一主光罩 圖樣。 I2·如申请專利範圍第1項之方法，其中該物件係一半導體 晶圓。 13.如申明專利範圍第i項之方法，其中該物件係一半導體 晶圓上之一光阻層。 14 · 一種以光線曝露一物件之裝置，包含： 一產生組件，用於產生具有一均勻強度分佈之光束； 一第一折射組件，用於將光束折射成複數發散性光束； 一第二折射組件，用於將複數發散性光束折射成複數 平行光束；及 一曝露組件，用於以複數平行光束之光線曝露一物件。 15·如申請專利範圍第14項之裝置，其中光線係折射成二發 散性光束。 16.如申明專利範圍第1 5項之裝置，其中第一折射組件係一 第一傳輸構件，用於將光線浙射成二發散性光束，其係 相關於一垂直於光束行進方向之第一方向線而呈相互對 稱。 17·如申請專利範圍第16項之裝置，其中第一傳輸構件具有 -51 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公爱)

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   第傳輸構件包含一箓_ A 44*主 進方向；四個第―"主 射表面，係垂直於光束行 側表面，係垂直於第一入射表面且平 二;3:丁進方向’·及二個第-放射表面，併合形成- 對於第一方向線而呈相互對稱，第-放射表 面相對於第一入射表面； #:且Γ輸構件包含二個第二入射表面，該等第二入射 邊㈣：相關於光束行進方向之三角形截面且備有- 邊緣線，其中马：_ v A+ 、^一入射表面相互接觸處且平行於第一方 向線及朝向第一傳輸構件突出，四個第二側表面係平行 於光束之仃進方向，及二個第二放射表面係併合形成一 V形槽且相對於？二方向線而呈相互對稱；及 第三傳輸構件包含··一第三入射表面，係垂直於光束 之仃進方向；四個第三侧表面，係垂直於第三入射表面 且平仃於光束之行進方向；及二個第三放射表面，係併 合形成一 V形槽且相對於一第二方向線而呈相互對稱， 第三放射表面相對於第三入射表面。 23. 24. 第一傳輸構件，用於將光束折射成二發散性光束； 第二傳輸構件，用於將二發散性光束折射成二平行 如申叫專利範圍第20項之裝置，其中第一折射組件包含： 光束及將二平行光束折射成四發散性光束。 如申請專利範圍第21項之裝置，其中 第一傳輸構件包含一第一入射表面，係垂直於光束行 進方向，四個第一側表面，係垂直於入射表面且平行於 光束之行進方向，及二個第一放射表面，併合形成一V -53- 本紙張尺度適财s S家標準i：4(210X297公釐) :日且相對於第一方向線而呈相互對稱 相對於第一入射表面；A 放射表面 進ί::::件包含二第二入射表面，係相關於光束行 ::向而併合具有三角形截面且備有一邊緣線，即二入 娃表面相互接觸處且平行於第一方向線及朝向 聋件突出；四個第二側表面係平行於光束之行進方向^ 及二個第二放射表面係併合形成-V形槽且相對於第一 方向線而呈相互對稱。 了、第一 如：請專利範圍第14項之裝置，進一步包含—控制組件 用於控制第-折射組件及第二折射組件之間之一相對 位移’其中若控制組件使第一折射組件分離於第二折射 組件，光束係折射成複數發散性光束且複數發散性走 折射成複數平行光束，及若控制組件使第—折射組件及 第Τ折射組件相互接觸，光束即全部通過第一折射組件 及第二折射組件而無折射。 、 如申請專利範圍第25項之裝置，其中第一折射組件係一 第一傳輸構件，用於將光束折射成二發散性光束，且相 對於一垂直於光束行進方向之第一方向線而呈相互對稱 ，及第二折射組件係一第二傳輸構件，用於將二發散性 光束折射成二平行光束，使二平行光束相對於第一^向 線而呈相互對稱且在相同於光束之方向中行進。 。 如申請專利範圍第25項之裝置，進一步包含一第二折射 組件，用於將複數平行光束折射成複數第二發散性光束 ，及一第四折射組件，用於將複數第二發散性光束折 535029 A8 B8

   535029 園 中請專利範 相t:位Γ:!第二傳輸構件及第三傳輪構件之間之-第：傳幹構；ΐ第二控制组件使第二傳輪構件分離於 第束=二傳輸構件之光束係折射成複數 ㈣先束且複數第二發散性光束折射成複數平行 ’及右第二控制組件使第二傳輸構件及第：傳輪構 =接觸’通過第二傳輸構件之光束即全部=構 傳輸構件及第三傳輸構件而無折射。 ^第一. 沒如申請專利範圍第14項之裝置，進一步包含 將光束折射成-在光線中心周側發散：環形 —第四折射組件，用於將環形發散性光 束折射成一環形平行光束。 33·如中請專利範圍第32項之裝置，進—步包含—第三控制 組件’用於控制第三折射組件及第四折射組件之間之一 相對位移，其中若第三控制組件使第三折射組件分離於 j /折射、、且件’入射於第二折射組件上之光束係折射成 %形發散性光束且環形發散性光束折射成平行光束，及 若第一控制組件使第二折射組件及第四折射組件相互接 觸，入射於第三折射組件上之光束即全部通過第三折射 組件及第四折射組件而無折射。 34· —種以光線曝露一物件之裝置，包含·· 一產生組件，用於產生具有一均勻強度分佈之光束； 一第一透鏡系統，用於將入射於其上之一第一光束折 射或傳輸，其中第一光束折射成複數發散性光束且複數 發散性光束折射成平行光束，或第一光束通過第一透鏡 -56- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 系統而無折射； · 一第二透鏡系統’用於將人射於其上之—第二 开中第二光束折射成一環形發散性光束且環 Πΐ: 成一環形平行光束，或第二光束通過 弟一透鏡系統而無折射；及 光組件’用於以複數平行光束或環形平行光束之 光線曝露一物件。 35.如：：專利範圍第“項之裝置，第一透鏡系統包含： -傳輸構件，用於將光束折射成二發散性光束； 光^ ^ 件’用於將二發散性光束折射成二平行 構位ΓΓ广傳輸構件及第二傳輸 輸構件八Μ # ’其中若第-控制組件使第一傳 φ π &第二傳輸構件’光束係折射成二發散性光 光束折射成二平行光束，及若第-控制組 邛.甬π筮“冓件及第二傳輪構件相互接觸，光束即全 =過第-傳輪構件及第二傳輸構件而無折射。 36·如中請專鄕圍第34項之裝置，其中第二透鏡系統包含： 編“傳輸構件，用於將光束折射成-在光線中心周 侧發散之環形發散性光束；. 平傳Γ構件，用於將環形發散性光束轉換成環形 構二ΓΓ控制組件’用於控制第三傳輸構件及第四傳輸 冓件之間之-相對位移，其中若第二控制組件使第三傳 -57 X 297公釐） 本紙張尺T適用 AS B8