TW528670B - Device for vacuum compressing DVD substrates - Google Patents

Description

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經¾部智慧財產局員工消費合作社印製 、本發明侧於-種數位影音光碟片基板經真空歷合製 成-數位影音光碟片之裝置，其特別處在於應，種熱溶膠 土為塑性膠黏劑，其係根據後述之申請專利範圍第丄項及第 16項之概念。 、根據雜術現況，習知有多種不同之實施例，圓盤形基 板之黏結’例如触料光碟片基板，係於真空狀態下及受 壓力讀用下_。此種核適合於_有利之運用領域， 即以辦奋膠型之膠黏劑加以黏結，亦適用於可經由紫外線之 硬化心黏权黏結。然而，在應用料線硬娜漆為膠黏劑 2，相對於熱溶膠型，其僅需一較小之壓力即已足夠。其進 步之不同點在於，只要不產生料線及紫外線黏漆時硬 化’當^用料線硬化黏漆時，該相互堆疊之基板則仍呈現 浮動狀態，然而當運用熱熔膠黏劑時，該等基板於膠黏劑表 面接觸時，即會立即固定在一起，因而於其後之對位調整， 即一極微量之相互移動，即不再可能發生。 於專利案DEWi5 779A1中，建議將兩片表面以塗佈 紫外線黏漆為膠黏劑之數位影音光碟片基板加以黏結之方 法為，將-基板置於真空室之罩蓋，而另一基板則置於其基 厓’、於該處將其對心定位並倾定，並將鮮蓋適當地置於 基座上，使得該膠黏劑層緊鄰相對。在真空室抽成真空及壓 力下降至-預定之壓力後，—設置於該罩蓋中之對心定位裝 置/夾緊裝置即被鬆懈，而上基板即掉落至下基板上，於此， 該掉落物經由數個配置於罩蓋上而環繞著基板中心孔，且具 有數個轴向導銷之重塊所支撐。也可以設置彈簧元件或類似 Μ氏張尺度適用中國國(CNS)A4規格 1.21Q χ 297公爱Γ -----------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 528670 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（2·) 之物來取代該重塊。當該等基板之二膠黏劑層以液狀堆疊接 合後，該真空室即被充氣，而該膠黏劑及該二基板間若還有 任何尚未接觸之區域，該大氣壓力即會促使其相互壓合。而 此種配置對表面塗佈熱熔膠黏劑之基板之黏結壓合並不適 合，因為以該重塊及大氣壓力是無法以必要之壓合壓力將該 基板乾淨地壓合黏結。此外，該重塊支撐之相疊基板是無法 均勾分佈於整個基板表面。 由專利案JP 1-204727 A可知，在製造光學數據載具 時，一基板以熱溶膠型膠黏劑加以塗層，之後再置於一真空 室中相互黏結，其中針對壓力、溫度及壓合壓力之數值已預 先設定好一確定之上限。該真空室之壁面設計成一供活塞拉 桿之導引通道，兩塊壓力板可藉由該導引通道相互對壓，而 基板則置於其中。 類似之裝置亦描述於文件jp 〇827321〇 A及EP 〇 624 870 A2中，其中，在前述之技術現況之評價文獻中即為此 情況。 於專利案EP 0 735 530 A1中，數位影音光碟片基板在 其平坦之區域，首先塗佈一熱熔型膠黏劑（熱塑性膠黏劑）。 之後’在其中一片基板上，於其中心孔附近凹槽内充填一種 f 膠黏劑。緊接著，將該僅塗饰熱溶型膠黏 劑（基板，經由一操控機構旋轉18〇。，使得該等基板塗有膠 黏劑之面相互對立’並置於下基板上。在此種相互黏結狀態 下’琢二基板及數位影音光碟片係放置於一下壓力板上，於 其中央具有-水晶麵窗，以便紫外線光之人射，此外並 -----------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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528670 形成一真空室之底板。該真空室之罩蓋被自上向下導引，直 到罩盍邊緣接觸到底板，且形成一空室，該空室可經由一於 底板上之接頭抽成真空。而於活塞_汽缸_單元内之活塞拉桿 則被導引貫穿該罩蓋。在活塞拉桿下端則有另一壓力板。如 果真空室内未達預設之壓力，該上活塞拉桿即被加壓向下運 動，並將位於上壓力板及底板間之相互堆疊之基板相互壓 合。同時，紫外線_光將經由該水晶玻璃窗照射入該真空室， 以將紫外線膠黏劑硬化。在一段預先訂定之時間後，該真空 1：即被充氣，而活塞向上運動，紫外線即被停止。則該基板 之黏結即完成，且該完成之數位影音光碟片即可被取出。 此一習知之用以黏結數位影音光碟片基板之機構之缺 點在於…方面其之真空室，且另—方面其之壓合機構兩者 間設計成相互分離，並進而使其相互獨立分離運轉。如此將 會造成用於將絲相互壓合之壓力板會持續被不由自主地 =導’使得在基板外之輕微傾斜翻轉不驗立即補償清除。 當基板處於極微小之傾斜翻轉狀況下，其中某一位置將承受 -極高之壓合壓力，而另一其他位置則承受一較低之壓合2 力。如此，最後受害的則是數位影音光碟片之平行性。 在德國新型專利案DE 299 04 325 U1中，描述一進一步 <裝置’其運用在-真空壓之情況下，黏結數位影音光確片 基板、。在該文件中，設計了 一可相互閉合之空室，並於該真 空室之罩蓋放置-基板，並雜基座内放置另—基板。該^ 於基厘内之基板固持件被動態支承。另外也設計了一升降 板’其上凸起之多個導引轴，穿過該真空室之基座與下基板 297公釐） -7- #裝--------tr---------ΜΦΙ — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度翻t關家標準（CNS)A4規格（210 528670 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（4· 固持件保持—相互關連作 使得下基_恤—撕機 互一低壓:則爾之下細持輯—步 在第二步驟中，她二f壓口壓力相互壓結黏合。 μ升降板即向上運動，並且經 作用，使下基板固持件產味趟七、μ寺導引軸 被接t Π —待牛機械而該壓合壓力才能夠 徒同至弟一數值。其中之一缺點立，兮里措w +、 Κ成本化費。另一缺點是，至少該升降板及導引軸，由於 與下基板目持件_猶結，必麵_、_敍壓向上運 動’因此，該升降板之驅動機構必須同時由該升降板機械分 離，或雜動機構必須也隨著黏結用真空壓而向上運動。此 外，在此種機構系財，丨軸與升降板會使基板間不由自 王的相互勒。此核也具有域_之技術舰之缺點。 、2此’本發明之任務為，輯一數位影音光碟片基板之 ^壓合裝置，於其上’待黏結之基板能齡互自行調整對 位，且其結構設計須相對簡單，此外，於其上，用以壓合黏 —亥等數位影晉光碟片基板之壓力，可在極大之範圍内連續 地被$周整。 该任務之解決方法即在於根據申請專利範圍第i項之 概念所述之裝置及其各該標示元件之特徵。根據本發明建 議，在一真空室内設置一可移動之中間元件，於其周圍並設 置有密封機構，該中間元件將真空室區隔成一與真空泵相接 通之第一空室（負壓室），及一與壓縮空氣源相接通之第二

«壯衣 ^-------- —(請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 528670 A7 " ----------B7____ 五、發明綱（5·) ' ' 空室（高壓室），使其形成一雙室系統，其中，該中間元件 於紐1：那-面被設計成第—基板目持件，而該第二基板固 持件則被設置於該負壓室相對於第—基板固持件之另一 面、0此S面藉由對低壓，而方面藉由對高壓之目 ^周正？P了使真空壓合被調整成一最佳化之生產過程，此 時’經由真芝之作用，該中間元件被拉動並使得該負壓室變 小’如此即使得基板間也相互拉緊，同時，在適當之時機點， 經由在高壓室額外建立之壓力，該中間元件及經由其將基板 相對於另一基板將會有一足夠強之壓合力。基於該中間元件 僅具密封機構，以及就某方面而言其為一種浮動支承之原 因’將使其此夠產生極微小之翻轉式傾斜，如此，可使得該 中間元件之基板固持件在某種範圍内得以配合另一基板固 持件之位置。此外，尚須注意，該塑膠射出成型之基板並不 疋王面性且百分之百具有相同之厚度，如此，將產生某些區 域承受一高之壓合壓力，而其他區域則承受一較低之壓合壓 力。更有利之進一步發展及設計可於下述之申請專利範圍第 2項至弟15項中發現。 本發明之另一更進一步之設計於申請專利範圍第16項 及其後之項次，該下空室可選擇性地或交互切換式地與一壓 縮空氣源及一真空泵相接通。如此將可在該中間元件之兩侧 產生真空壓。如果將其兩側調整成相同大小之真空壓，將形 成一力量平衡，且該中間元件首先將維持在其原始位置。如 果該負壓達到一特定值，於下空室中，其真空壓將減少至與 環境壓力同，如此將使得該中間元件向上移動，並使得基板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝 訂---------線巍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（6·) 相互接觸。之後城至高壓，續可崎到 作用三藉由-速度，即於下空室之真空壓下降多快=姿合 可使知雜結速度被機至—製程最 =度’ 對較脆紐狀糾，錄錄奸Sim細 可頡數位影音_片（DVD_R)及 # (DVD-RW)财具域。 ^先碟片 以下本發明將藉由各實施例及其 以詳細說明。圖式内容如下： 口主圖五加 圖（a)至圖（m)真空壓合時黏結過程之示. 圖二根_—⑴所示黏結步驟之放大圖式； 圖三黏結站於開放狀態下之第一實施形式； 圖四根細三所示開放狀態下黏結站之上視圖’· 圖五黏結站於開放狀態下之第二實施形式。 根據圖一，設置一真空室！，其包含一基座2用以承載 ^練3,及—罩蓋4_承载B基板5。綱合該真空室， β罩盍4可繞著-垂直於本紙面之轉軸6旋轉。首先，將塗 有膠黏劑之數位影音辆絲板3及4置人錄歧罩蓄内 (圖一 a) ’並使塗有膠黏劑之表面朝上放置。該等基:置 於基厓及罩蓋之毅圓盤上，並藉由該真_ (維持用真空 壓）固定於其位置上。於其後之步驟中（圖_b)，施於A 基板3上之維湘毅壓及祕B基板5上之為持用直空 壓被關閉，、中傾7及8即⑽，並分別以穿職等基板之 各中心孔（万式雜。緊接著，施於B基板5上之維持用 本紙張尺度_巾關家鮮（CNS)A4規^^· 297公釐） -10- 528670

A7 A7 B7 五、發明說明（8·) 該B中心銷8即可縮回，而雒 時黏結用真空壓即被關閉（圖-k) 即被開啟’同 =片〜—9(圓盤a)上並可 件9 驟11之放大相。趙：細持 件9及心中具有真空管道n至13，其 :與:ί_並水平穿越該等基板固持件9“中， =^孔附近之管道12及錢緣區域之妓_自# : 至基板固持件表面為止，其中管道12具 直徑。經由此一管道系統，該維持用 ”工£根據圖-所示製程步驟形成。經由切換抽真空至吹氣 =此-動作，根據圖-！所示之製程步驟，該空氣之供應也 枝由邊f道系統導入，如此即可同心吹離基板A及B。 此處《疋心對位係經由伸人該二中心孔之B中心銷8，為 此，在下基板目持件9中即預設了—足夠大之凸槽。經由此 y基板A及B之吹離動作’其即自基板固持件之表面鬆脫， 並於孩膠黏劑表面相互接觸前得以再次精確對心定位。藉由 内側車乂大之真空孔12，使得基板首先自内侧鬆脫並被吹 離。藉由基板自内向外逐步之鬆脫及吹離，即可大大減少空 氣滲入基板A及B間之危險。另一替代方案則是將内側及 外側管道12及13加以分離，亦如同依據圖五所示實施例之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） -12- 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 寫 本 頁 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 528670

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 h况、以便經由-分離之閥將外側之真空壓延緩關 閉及延緩 切換該吹離動作。當真空管遒丨2及1S (見圖五）侧獨立 運作日f ’其即可設計具_之直徑。基板邊、賴域之固定保 持可藉上下之0型環16及17加以支持。藉由對於位在上 基板固持件U)及下基板嚼件9中之真空管道加以分離之 設計及操控，使得上下不同之吹離壓力ρι及p2可加以調 整’如此將也可使-不同之碟片形狀得以被調整，以便將存 在之碟片效應加以強化控制或平衡補充。 圖二顯示該真空室1於開放之狀態，其中於該基座2 及罩盍4分別放置基板a及B (編號3及5)，並分別具有 中〜銷7及8。此外，在基座及罩蓋内分別標示之真空管道 11、12及13係供維持用真空壓及基板吹離之用。此外清楚 繪示者包括，下基板固持件9設計成如同活塞，其具有一上 密封唇14及一下密封唇15，其可浮動且具密封性而支承於 基座2内可上下移動。在上密封唇範圍内，尚設置一導引機 構25。此外’該活塞9與基座之内侧壁面保持一定距離。 以此方式，該浮動之活塞9可與固定之罩蓋形成最佳配合。 因此’當閉合並以密封環18加以密封真空室時，將形成一 雙室系統，其中，在活塞9之上係形成一負壓室20，其具 有一黏結用真空壓，而在活塞9之下則形成一高壓室19， 其並與一未圖示之壓縮空氣源21相連結。經由負壓室2〇 中之黏結用真空壓’該下基板固持件9即被吸上，且相對於 上基板固持件10吸附。根據圖一 h至圖一 k所示之製程步 驟，高壓室19係導入壓縮空氣，而該下基板固持件9則藉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- 衣--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^8670 —_ A7 ^B7_ _ 五、發明說明（1。·） " ^ 由该壓縮T氣向上運動。由於活塞9僅在上祕域範圍被導 S，並僅經由密封唇14及15與内側壁面相連結，於壓合過 心中’即不會產生任何機械應力。當下基板固持件及活塞9 進入靜止接觸狀態，絲塞9即可經由該高壓室19施加作 用一必要之壓合壓力，以確保黏結程序中之壓合步驟。 圖四顯示該真空室！在開放狀態下之上視圖。相同之元 件以相同之編號表示。 因為該膠黏劑係一種熱熔膠型式且不含溶劑，於高溫環 境下會熔融並具黏性，所以該真空室内之基板固持件9及/ 或10以及该罩盍及/或基座可以被加熱，以便縮短黏結步驟 及冷卻步驟間之空檔時間。 圖五顯示本發明之第二實施形式中之黏結站中，該下空 A 19不僅與一壓縮空氣源21相接通，且其亦與一真空系 24相接通，並且可選擇性地或以交互切換式地充填壓縮空 氣或被抽真空。為了徹底減少該等基板於黏結前其間之空 氣，在基板間之黏結空間20不可少地需要一高真空壓。一 高之黏結用真空壓可減少基板膠黏劑表面間之空氣滲入。如 此改善了膠黏劑表面及其黏附強度，進而可導致該被黏結之 碟片具較佳之穩定性及平面度。為將該高黏結用真空壓達到 約50毫巴（mbar)或更低，該下空室19首先也同樣須接通 至一真空泵24，並同樣地被抽真空。於活塞9之兩邊因此 可被i周整成一同樣大小之真空壓。負壓室2〇 (即黏結用真 空室）及該下空室19具有相同之直徑。如此會產生一力平 衡，而該活塞9首先保持於其原始位置。如果於活塞9之兩 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -14-

衣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線| 528670 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ —-—-----------Β7___ 五、發明說明（11·) 邊保持在期望之真空壓，在下空室19之真空壓即會被減少 f與環境壓力同，使得活塞9由於壓差而可向上運動。緊接 著在將其切換至壓縮f氣源21，就如根據圖三所示之例 子，孩基板被壓合。藉由一速度，即該真空下降多快之速度， 可使得該黏結速度，即該活塞9向上運動多快速度，被4 至-製程最佳化之速度。依據不同之黏結速度，黏結程序得 以被調整至較硬或較軟，而其針對較脆或敏感之層片，如數 位影晋光碟彳18 (DVD 18)，可讀减位影音光碟片 (DVD-R)及可讀寫數位影音光碟片（DVD_RW)則甚具 意義。其餘部份之結構及功能方式均如同圖三所示之實施 例。相同之元件以相同之編號表示。 為使該二基板自内向外黏結，上基板5首先藉由該上中 心銷8被輕微彎曲，達此一目的，該銷即設計成具有一適當 之階梯肩部。接著，作用於内真空管道12之真空壓首先被 關閉。其後作用於外真空管道13之真空壓被關閉。有需要 時也可在基板中央範圍區域額外再設置真空管道26，其最 好能夠與内真空接頭接通。一柔軟之基板接觸面，例如pAI 材料’可使得自内向外之黏結更容易。在内真空壓關閉之 後，可依實際需求將其切換至吹離程序。 為改善基板A及B相互間之定位及方向性，也可設計 成，該罩蓋4在與基座2閉合之後，即以機械插銷方式將其 閉鎖。 八 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G χ 297公爱） -------- --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -15- 528670 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_ 五、發明說明（l2·) 元件符號說明 1 真空室 2 真空室之基座 3 A基板 4 真空室之罩蓋 5 B基板 6 轉軸 7 A中心銷 8 B中心銷 9 A基板固持件（活墓） 10 B基板固持件 11 維持用真空壓及吹離程序之主管道 12 維持用真空壓及吹離程序之第一管道 13 維持用真空壓及吹離程序之第二管道 14 上密封唇 15 下密封唇 16 上〇型環 17 下〇型環 18 密封環 19 下空室（高壓室及有需要時額外之負壓室) 20 負壓室 21 壓縮空氣源 22 維持用真空之真空泵 23 維持用真空之真空泵 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -16- - - - , - --------------------訂—--------線-----------------------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 528670 A7 B7 五、發明說明（13·) 24 下空室19之真空录 25 導引機構 26 中央真空管道 27 外侧上真空接頭 28 内側上真空接頭 29 外侧下真空接頭 30 内侧下真空接頭 -----------衣--------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -17-

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 528670 A8 C8 〜…… __________ D8 1> i：：l =申請專利範ΐ -〜.…...-------1 第90104058號專利案申請專利範園修正本 1_ 一種®_基板之真空壓合裝置，尤其是數位影音光碟 片基板，該裝置具一真空室，於該真空室中具-用於A 圓盤之第一基板固持件（A基板固持件）及一用於B 圓盤之第二基板固持件（B基板固持件），且至少一基 板固持件具有產生壓力之機構，其特徵為，在真空室内 設置一可移動之，且於其周圍設置有密封機構之中間元 件，其將真空室區分為一接通於一真空泵之第一空室 (負壓罜），及一接通於壓縮空氣源之第二空室（高壓 至）’孩中間元件於負壓室那一面被設計成第一基板固 持件（A基板固持件），而於該負壓室A基板固持件對 面則設計成第二基板固持件（B基板固持件）。 2· -種BJ盤形練之真_合裝置，尤其是數位影音光療 片基板，該裝置具一真空室，於該真空室中具-用於A 圓盤一基板固持件（A基板固持件）及-用於B 圓盤足第二基板固持件（B基板固持件），且至少一基 板固持件具有產生壓力之機構，其特徵為，在真空室内 設置-可移動之，且於其周圍設置有密封機構之中間元 件，其將真空室區分為一接通於一真空泵之第一空室 (負壓ij ’及-第二空室，其可切換地與一真空泵及 -壓縮S氣源相互連接，該中間元件於第—空室（自壓 室^那二面被設計成第一基板固持件(A基板固持件）， 而於該第(負壓室）A基板固持件對面則設計成

   — — —φ^-----；---^i.-----— ά. (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

   本紙張尺;切财關家標準（cns)A4 x 297公釐） -18- 528670 A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 /、、申請專利範圍 第二基板固持件（B基板固持件）。 3·根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，在真 空室底部設置二分離之接頭，該二接頭之一與一壓縮空 氣源連接，而另一接頭與一真空泵相連接。 4·根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，在真 空室之底部設置一接頭，自其上導出_連接管道，其可 藉由一切換閥交互切換接通至一壓縮空氣源及一真空 泵。 5·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，該中 間元件係设计成活塞’並以兩個或多個相互保持一段距 離之送'封環環繞著活塞作為密封機構，並將其置入相應 之玉哀槽。 6·根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，該中 間元件係$又计成活森’並以兩個或多個相互保持一段距 離之密封環環繞著活塞作為密封機構，並將其置入相應 之環槽。 7·根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，該中 間元件係設計成活塞，並以兩個或多個相互保持一段距 離之密封環環繞著活塞作為密封機構，並將其置入相應 之環槽。 8·根據申請專利範圍第4項所述之裝置，其特徵為，該中 間元件係汉计成活I ’並以兩個或多個相互一 離^密封環職著活塞作域封機構，轉其置入相應 之樣槽。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) t 訂--------線.

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 9·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，該中 間70件係設計成多個部份，其至少有兩個部份設置有密 封機構，於各部份間則以預先安排好之拉桿或類似之機 構加以連接，該侷限形成負壓室之部份則設計成基板固 持件。 1〇·根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，該中 間7L件係設計成多個部份，其至少有兩個部份設置有密 封機構，於各部份間則以預先安排好之拉桿或類似之機 構加以連接’該侷限形成負壓室之部份則設計成基板固 持件。 U·根據申請專利範圍項所述之裝置，其特徵為，於該 中間元件周圍範圍配備有滑動及/或滾動軸承，使得該 中間元件於真空室中得以移動。 •根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，於該 中間元件周圍範圍配備有滑動及/或滚動軸承，使得該 中間元件於真空室中得以移動。根據申W專利範

   第丨項所述之裝置，其特徵為，設置 一或多個密封唇作為密封機構。 14,根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，設置 一或多個密封唇作為密封機構。 5.根，申請專利範圍第i項所述之裝置，其特徵為，在該 罩蓋内設置一可軸向移動之中心銷，該B基板即以該 中心銷保持對心定位，並且該穿過B基板之中心销可 乂插入位於A基板固持件上之A基板中心孔。 χ 297公釐） 20- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) t τ·II^——！線· 528670 A8SSD8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 16·，據中4專利範ϋ第2傭述之裝1，其特徵為，在該 ^蓋内設置—可轴向移動之中心銷，該Β基板即以該 中心銷保持對心定位，並且該穿過Β基板之中心銷可 以插入位於Α基板固持件上之Α基板中心孔。 17.根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，在該 基板固持件内設置—些真空管道，用於真空吸附基板， 上基板固持件及下基板固持件内之真空管道可以個 別單獨運作。 队根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，在該 紐崎件时置—些真抒道，用於真空吸附基板， 且上基板固持件及下基板固持件内之真空管遒可以個 別單獨運作。 I9.根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，在該 基板固持件内設置一些真空管道，用於真空吸附基板， 且上基板固持件及下基板固持件内之真空管道可以個 別單獨運作。 2〇·根據申請專利範圍第4項所述之裝置，其特徵為，在該 基板固持件内設置一些真空管道，用於真空吸附基板， 且上基板固持件及下基板固持件内之真空管道可以個 別單獨運作。 21·根據申請專利範圍第丨項所述之裝置，其特徵為，在基 板固持件中心孔附近範圍内設置之真空管道具有一較 邊緣區域内之真空管道較大之截面。 22·根據申請專利範圍第2項所述之裝置，其特徵為，在基 I紙張尺度適用巾國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公^^ ' ~ -21 - -------— if (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂！！線· A8B8C8D8 528670 六、申請專利範圍 板固持件中心孔附近範圍内設置之真空管道具有一較 邊緣區域内之真空管道較大之截面。 23·根據申請專利範園第3項所述之裝置，其特徵為，在基 板固持件中心孔附近範圍内設置之真空管道具有一較 邊緣區域内之真空管道較大之截面。 24.根據申請專利範圍第4項所述之裝置，其特徵為，在基 板固持件中心孔附近範圍内設置之真空管道具有一較 邊緣區域内之真空管道較大之截面。 25_根據申請專利範圍第17項所述之裝置，其特徵為，當 真空壓被關閉時，壓縮空氣可經由真空管道吹入。 26·根據申請專利範圍第is項所述之裝置，其特徵為，當 真空壓被關閉時，壓縮空氣可經由真空管道吹入。 27·根據申請專利範圍第19項所述之裝置，其特徵為，當 真空壓被關閉時，壓縮空氣可經由真空管道吹入。 28·根據申請專利範圍第20項所述之裝置，其特徵為，當 真2壓被關閉時，壓縮空氣可經由真空管道吹入。 29·根據申請專利範圍第25項所述之裝置，其特徵為，真 空壓之關閉及空氣之吹入，使得基板自中央向外被吹 離。 3〇·根據申請專利範圍第26項所述之裝置，其特徵為，真 空壓之關閉及空氣之吹入，使得基板自中央向外被吹 離。 根據申請專利範圍第27項所述之裝置，其特徵為，真 二恩之關閉及空氣之吹入，使得基板自中央向外被吹 i^用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) t 訂！！線· 經濟部智慧財產局員工消費合作、社印製 -22- 528670 A8S8D8 六、申請專利範圍 離。 32·根據申請專利範圍第28項所述之裝置，其特徵為，真 空壓之關閉及空氣之吹入，使得基板自中央向外被吹 離。 33·根據申請專利範圍第π項所述之裳置，其特徵為，用 於真空吸附基板之内、外真空管遒可以個別單獨運作。 34·根據申請專利範圍第18項所述之裝置，其特徵為，用 於真空吸附基板之内、外真空管遒可以個別單獨運作。 35·根據申請專利範圍第19項所述之裝置，其特徵為， 於真空吸附基板之内、外真空管遒可_別單獨運作用 36‘根據中請相範圍第2G項所述之裝|，其特徵為 於真空吸附基板之内、外真空管遒可叫固別單獨運作 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} ----丨！ I訂·—丨―丨丨丨丨-線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^張尺度適用巾國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公釐〉 ~ 23 -