DE19817150A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Verkleben von scheibenförmigen Substraten - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Verkleben von scheibenförmigen Substraten

Info

Publication number
DE19817150A1
DE19817150A1 DE19817150A DE19817150A DE19817150A1 DE 19817150 A1 DE19817150 A1 DE 19817150A1 DE 19817150 A DE19817150 A DE 19817150A DE 19817150 A DE19817150 A DE 19817150A DE 19817150 A1 DE19817150 A1 DE 19817150A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
bonding material
suction
head
dvd
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19817150A
Other languages
English (en)
Inventor
Stefan Kempf
Reinhard Gerigk
Edgar Rueth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Singulus Technologies AG
Original Assignee
Singulus Technologies AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Singulus Technologies AG filed Critical Singulus Technologies AG
Priority to DE19817150A priority Critical patent/DE19817150A1/de
Publication of DE19817150A1 publication Critical patent/DE19817150A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/78—Means for handling the parts to be joined, e.g. for making containers or hollow articles, e.g. means for handling sheets, plates, web-like materials, tubular articles, hollow articles or elements to be joined therewith; Means for discharging the joined articles from the joining apparatus
    • B29C65/7841—Holding or clamping means for handling purposes
    • B29C65/7847—Holding or clamping means for handling purposes using vacuum to hold at least one of the parts to be joined
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/01—General aspects dealing with the joint area or with the area to be joined
    • B29C66/05—Particular design of joint configurations
    • B29C66/10—Particular design of joint configurations particular design of the joint cross-sections
    • B29C66/11—Joint cross-sections comprising a single joint-segment, i.e. one of the parts to be joined comprising a single joint-segment in the joint cross-section
    • B29C66/112—Single lapped joints
    • B29C66/1122—Single lap to lap joints, i.e. overlap joints
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/40—General aspects of joining substantially flat articles, e.g. plates, sheets or web-like materials; Making flat seams in tubular or hollow articles; Joining single elements to substantially flat surfaces
    • B29C66/41—Joining substantially flat articles ; Making flat seams in tubular or hollow articles
    • B29C66/45—Joining of substantially the whole surface of the articles
    • B29C66/452—Joining of substantially the whole surface of the articles the article having a disc form, e.g. making CDs or DVDs
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
    • B29C65/52—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the way of applying the adhesive
    • B29C65/521—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the way of applying the adhesive by spin coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
    • B29C65/52—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the way of applying the adhesive
    • B29C65/54—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the way of applying the adhesive between pre-assembled parts
    • B29C65/544—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding characterised by the way of applying the adhesive between pre-assembled parts by suction
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2017/00—Carriers for sound or information
    • B29L2017/001—Carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records
    • B29L2017/003—Records or discs
    • B29L2017/005—CD''s, DVD''s

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Verkleben zweier Substratteile zu einem Substrat, insbesondere einem scheibenförmigen Substrat oder einer DVD, wobei der untere Substratteil durch ein Halteelement mit Unterdruck über einen ersten Strömungsweg an einem Substratträger lagefixiert ist und über einen zweiten Strömungsweg zwischen den beiden Substratteilen befindliches Bondmaterial beim Schleudern der Substratteile mit einem variablen Unterdruck beaufschlagt werden kann. Dadurch wird ein kontrolliertes, zentrisches Ansaugen des Bondmaterials in Richtung zur Drehachse gewährleistet.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Verkleben von aus zwei Teilen oder Hälften zusammengefügten scheibenförmigen Substraten, insbesondere zum Verkleben zweier Halbseiten von digitalversatilen Disks (DVD's) mit Bondmaterial.
Aus der DE-A 196 51 423 ist eine Vorrichtung zum Verkleben von aus zwei Hälften bestehenden Substraten bekannt, die auf einem Substratträger gehalten werden, der über eine Antriebseinrichtung angetrieben bzw. in eine Rotations­ bewegung versetzt werden kann. Der aufzutragende Kleber wird über eine Zuführeinrichtung auf die Oberfläche der ersten auf dem Substratträger liegenden Substrathälfte aufgebracht. Danach wird die zweite Substrathälfte auf die erste Hälfte aufgelegt. Dann wird der Substratträger in eine Rotations­ bewegung versetzt, so daß der Kleber zwischen den beiden Substrathälften durch Zentrifugalkräfte radial nach außen getrieben wird. Gleichzeitig kann von einer zentralen Öffnung im Substrat aus mittels einer Vakuumpumpe ein Hohlraum zwischen den beiden Substrathälften, der zunächst nicht vom Kleber ausgefüllt ist, mit einem Unterdruck beaufschlagt werden, so daß der Kleber auch radial nach innen, d. h. in Richtung zur Drehachse gezogen wird. Der durch die Zentrifugalkräfte aus dem Hohlraum zwischen den Substrathälften nach außen geschleuderte Klebstoff wird durch eine Sammelrinne zum Klebstoffbehälter zurückgeführt. Die Sammelrinne kann ebenfalls mit dem von der Vakuumpumpe erzeugten Unterdruck beaufschlagt werden. Die beiden Substrathälften werden während des Klebevorgangs durch Reibschluß am Substratträger gehalten.
Es ist ferner eine Vorrichtung zum Verkleben von DVD's bekannt, wobei ein Unterdruck eine Substrathälfte am Substratträger festhält und gleichzeitig am Hohlraum zwischen den beiden Substrathälften durch die zentrale Öffnung im Substrat anliegt. Diese Vorrichtung hat insbesondere den Nachteil, daß sich das Klebematerial unbefriedigend verteilt. So ist ein gezieltes, zentrisches Ansaugen des Klebematerials zwischen den beiden Substrat­ hälften in der als Abschleuderkopf bezeichneten Vorrichtung nicht oder nur sehr unvollkommen möglich, da der Unterdruck zum Festhalten des Substrats auf dem Substratträger dies behindert. Ferner ist es schwierig die Vorrichtung sauber zu halten, da ein Druckausgleich erst dann erfolgen kann, wenn der Substratträger mit den Substrathälften nicht mehr rotiert. Unter Umständen ist jedoch der Kleber bereits vor dem Stillstand des Substratträgers bis über den Rand der zentralen Öffnung der Substrathälften hinaus vorgedrungen, so daß die Vorrichtung selbst mit Kleber verunreinigt wird. Die damit verbundenen Reinigungs- und Wartungszeiten erhöhen die Betriebskosten erheblich.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte Vorrichtung und ein verbessertes Verfahren zum Verkleben von zwei Substratteilen zu einem Substrat, insbesondere einem scheibenförmigen Substrat bzw. einer DVD zur Verfügung zu stellen.
Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Patentansprüche gelöst.
Dabei geht die Erfindung von dem Grundgedanken aus, die Fixierung des Substrats auf dem Substratträger separat zur Verteilung des Bondmaterial-Klebematerials zwischen den Substrathälften, insbesondere in Richtung zur Drehachse des Abschleuderkopfes, mittels mindestens zweier voneinander unabhängiger Unterdrücke vorzusehen. Einerseits wird das Substrat auf einem Substratträger fixiert und andererseits das Bondmaterial zwischen den beiden Substratteilen im Abschleuderkopf gezielt und zentrisch nach innen gesaugt, wobei eine Beeinflussung des Ansaugens nach innen durch den Unterdruck der Festhaltevorrichtung ausgeschlossen wird.
Dadurch wird gegenüber den bekannten Klebevorrichtungen insbesondere die Möglichkeit geschaffen, das Substrat auf einfache Weise am Substratträger zu sichern und gleichzeitig den Unterdruck zum Ansaugen des Bondmaterials durch die zentrale Öffnung im Substrat entlang einer beliebigen Funktion während des Schleudervorgangs zu variieren, so daß eine verbesserte Verklebung hergestellt werden kann und gleichzeitig eine Verunreinigung oder Beschädigung der Vorrichtung vermieden wird. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß Klebevorrichtungen, die bereits mit Vakuum­ haltevorrichtungen für Substrate ausgestattet sind, durch den Austausch relativ weniger Bauelemente zur erfindungs­ gemäßen Vorrichtung umgerüstet werden können. Dadurch können sowohl Umbaukosten gespart wie auch die Effizienz bestehender Anlagen gesteigert werden.
Die Erfindung wird nachstehend mit Bezug auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vor­ richtung zum Verkleben von zwei Substratteilen zu einem Substrat; und
Fig. 2 das Detail II von Fig. 1.
Die Fig. 1 und 2 zeigen eine Vorrichtung 2 zum Verkleben von zwei Substratteilen 4 und 6 zu einem Substrat 8. Das Substrat 8 ist in der dargestellten Ausführungsform eine DVD, die im wesentlichen aus zwei Substratteilen 4 und 6, die jeweils Halbseiten bilden, besteht. Die Vorrichtung 2 weist einen Substratträger 10 auf, auf dem die Halbseiten 4, 6 der DVD 8 aufliegen. Zur Positionierung und Zentrierung der beiden Halbseiten 4 und 6 der DVD 8 auf dem Substrat­ träger 10 ist ein Dorn 12 vorgesehen, der zentrale Öffnungen 14 bzw. 16, die in den Halbseiten 4, 6 jeweils vorgesehen sind, fluiddicht abdichtet. Die Reihenfolge des Zusammen­ setzens der einzelnen Teile wird später erläutert.
Der Substratträger 10 weist an seinem radial äußeren Umfang einen Ringkanal 18 auf, der beim Abschleudern radial nach außen austretendes überschüssiges Bondmaterial 40 (Klebematerial) sammelt. Der Ringkanal 18 wird von einem Leitelement 20 gebildet, das am Substratträger 10 befestigt ist. Zum Abtransport des überschüssigen Bondmaterials ist im Ringkanal 18 mindestens eine Ablauföffnung 22 vorgesehen, durch die das Bondmaterial 40 abfließen kann, um an­ schließend über eine Rücklaufleitung 24 einem Bondmaterial-Vor­ ratsbehälter zugeführt zu werden.
Der Substratträger 10, der Ringkanal 18 und das Leitelement 20 sowie der Dorn 12 sind um eine gemeinsame Drehachse 26 drehbar gelagert. Um diese Elemente in eine Rotations­ bewegung zu versetzen, ist eine Antriebseinrichtung (nicht dargestellt) mit einer Antriebswelle 28 vorgesehen, die bei Bedarf ein beliebig steuerbares Drehmoment zum Antreiben der Vorrichtung 2, die auch als Abschleuderkopf bezeichnet wird, zur Verfügung stellt.
Eine der Halbseiten 4 der DVD 8 wird durch Unterdruck auf dem Substrathalter 10 und einem Halteelement 30 gehalten. Das Halteelement 30 ist vorzugsweise ringförmig ausgebildet und weist mindestens einen Kanal 32 zum Absaugen von Luft mit Hilfe einer ersten Absaugvorrichtung (nicht dargestellt) auf. Somit wird die Halbseite 4 der DVD 8 konzentrisch zum Dorn 12 auf dem Substratträger 10 fixiert. Zum Absaugen der Luft ist der mindestens eine Kanal 32 über einen Strömungs­ weg 50 mit der ersten Absaugvorrichtung verbunden. Der erste Strömungsweg 50 weist einen ersten Teilabschnitt 55, der im Abschleuderkopf vorgesehen ist, einen zweiten Teilabschnitt 54, der in der Antriebswelle 28 der Antriebseinrichtung vorgesehen ist, und einen dritten Teilabschnitt (nicht dargestellt), der eine Verbindung zwischen der Absaug­ vorrichtung und der Antriebswelle 28 herstellt, auf. Durch Betätigung der Absaugvorrichtung wird die im ersten Strömungsweg 50 enthaltene Luft abgesaugt und ein Unterdruck erzeugt, der die untere Halbseite 4 der DVD 8 auf dem Halteelement 30 lagefixiert.
Anschließend wird das Bondmaterial 40 auf die untere Halbseite 4 der DVD mit Hilfe einer Zufuhreinrichtung (nicht dargestellt), beispielsweise ringförmig, aufgetragen. Die obere Halbseite 6 der DVD 8 kann durch eine Tragvorrichtung, z. B. einen Tragarm bzw. Schwenkarm (nicht dargestellt), transportiert und konzentrisch zur unteren Halbseite 4 über den Dorn 12 geschoben werden. Der Dorn 12 dichtet einen radial inneren Hohlraum 48 zwischen den Halbseiten 4, 6 gegen die Ränder der zentralen Öffnungen 14, 16 fluiddicht ab.
Zum Verteilen des Bondmaterials 40 zwischen den beiden Halbseiten 4 und 6 der DVD 8 wird der Abschleuderkopf in Rotationsbewegung versetzt, so daß das Bondmaterial 40 durch Zentrifugalkräfte radial nach außen getrieben bzw. geschleudert wird. Tritt das Bondmaterial 40 über den radial äußeren Rand 42 der DVD 8 hinaus, wird es gegen das Leitelement 20 geschleudert und über den Ringkanal und die Ablauföffnungen 22 mittels der Rücklaufleitung 24 zum Bond­ material-Vorratsbehälter entlang der Pfeile 44 und 46 zurückgeführt.
Zur Verteilung des Bondmaterials 40 zwischen den beiden Halbseiten 4 und 6 der DVD 8 wird parallel zum Schleudern an den radial inneren Hohlraum 48 zwischen den beiden Halbseiten 4 und 6 ein Unterdruck angelegt. Dazu ist dieser Hohlraum 48 über einen zweiten Strömungsweg 36 mit einer zweiten Absaugvorrichtung (nicht dargestellt) verbunden. Der zweite Strömungsweg 36 weist einen Teilabschnitt 52 im Abschleuderkopf, einen weiteren Teilabschnitt 34, 38 in der Antriebswelle 28 und einen Abschnitt zwischen der Absaug­ vorrichtung und der Antriebswelle 28 auf. Der im Abschleuderkopf befindliche Teilabschnitt 52 des zweiten Strömungsweges 36 stellt eine Verbindung zum Hohlraum 48 her und erstreckt sich dazu durch den Dorn 12. Der Teilabschnitt 52 ist beispielsweise als in die Oberfläche des Dorns 12 eingearbeitete Nut ausgebildet, wobei bereits eine einzige Nut zur Erzeugung des Unterdruckes im Hohlraum 48 ausreicht. Der Teilabschnitt 52 beeinträchtigt nicht die exakte Lagefixierung und die Zentrierung der unteren Halbseite 4 der DVD 8 und den Abdichtungseffekt zwischen dem Dorn 12 und den zentralen Öffnungen 14, 16 der Halbseiten 4, 6 der DVD 8. Dadurch liegt der Unterdruck im Hohlraum 48 der DVD 8 unabhängig vom Unterdruck zum Fixieren der DVD 8 am Halteelement 30 bzw. dem Substrathalter 10 im Abschleuder­ kopf an. Das Bondmaterial verteilt sich zwischen den beiden Halbseiten 4 und 6 gleichmäßig und breitet sich vorzugsweise auch gleichzeitig nach allen Richtungen aus. Beispielsweise kann der Unterdruck zum Fixieren der zuerst in den Abschleuderkopf eingelegten Halbseite 4 sofort nach dem Einlegen und der Unterdruck zum Verteilen des Bondmaterials im Hohlraum 48 lediglich während der Rotation des Abschleuderkopfes angelegt werden. Die Druckverhältnisse zum Fixieren der DVD 8 auf dem Substrathalter 10 und zum Ausfüllen des Hohlraumes 48 mit Bondmaterial 40 werden unabhängig voneinander entsprechend gesteuert. Unterschiedliche, zwangsläufig vorhandene Leckagen am Außen­ umfang der DVD 8 haben keinen Einfluß auf den Unterdruck im Hohlraum 48 zwischen den beiden Halbseiten 4 und 6 der DVD 8.
Die zweite mit dem Hohlraum 48 verbundene Absaugvorrichtung erzeugt ein dem Prozeßverlauf angepaßtes und während des Prozeßverlaufes variables Ansaugprofil, wobei über den zweiten Strömungsweg 36 gezielt ein Unterdruck zwischen den beiden Halbseiten 4 und 6 der DVD 8 erzeugt wird und so ein gesteuertes, kontrolliertes zentrisches Ansaugen des Bondmaterials in Richtung zur Drehachse der DVD 8 gewährleistet wird. Da somit das Bondmaterial 40 mit verschiedenen Unterdrücken beaufschlagt wird, kann abhängig von den Prozeßparametern, z. B. Drehzahl des Abschleuder­ kopfes, Größe des Hohlraums 48, Temperatur, Art des Bondmaterials, Beschaffenheit der Oberflächen usw., eine exakte Verteilung des Bondmaterials 40 gewährleistet werden. Gleichzeitig kann sichergestellt werden, daß der Dorn 12 nicht durch Bondmaterial 40 verschmutzt wird. Dies ist insbesondere deshalb möglich, da die Absaugung durch den zweiten Strömungsweg 36 nicht zwangsläufig während des Festhaltens der DVD 8 erfolgen muß.
Das Ansaugen der unteren Halbseite 4 der DVD 8 am Substrathalter 10 mit Unterdruck gewährleistet ein einfaches und sicheres Fixieren der Lage auf dem Substratträger 10, ohne dabei umständliche und teure mechanische Haltevor­ richtungen vorsehen zu müssen.
Zum Entfernen der fertig verklebten DVD 8 vom Substratträger 10 kann der Dorn 12 gegen die Federkraft einer Feder 56 (schematisch dargestellt) nach unten gedrückt werden, so daß ein Greifer (nicht dargestellt) die DVD 8 durch die zentrale Öffnung 14 und 16 ergreifen und entnehmen kann.
Über die Rücklaufleitung 24 des Bondmaterials kann zur Unterstützung der Rückführung ebenfalls ein Unterdruck im Gehäuse 58 außerhalb der DVD 8 erzeugt werden.
Zur Erzeugung der jeweiligen Unterdrücke für die erfindungs­ gemäße Vorrichtung 2 kann anstelle der verschiedenen Absaug­ vorrichtungen auch eine einzige gemeinsame Absaugvorrichtung vorgesehen sein. Diese wird dann jedoch über geeignete Mittel so steuerbar sein, daß einerseits die untere Halbseite 4 der DVD 8 über den Strömungsweg 50 lagefixiert werden kann und unabhängig davon über den zweiten Strömungsweg 36 ein variabler Unterdruck erzeugt werden kann. Auch die Absaugung über die Rücklaufleitung 24 könnte gegebenenfalls über eine zentrale Absaugvorrichtung realisiert werden. Die gemeinsame Absaugvorrichtung weist dann eine Steuereinrichtung auf, mit der beispielsweise Ventile in den Strömungswegen 50, 36 gesteuert werden können, um verschiedene Unterdruckverhältnisse zu erzeugen.

Claims (14)

1. Vorrichtung zum Verbinden zweier Substratteile (4, 6) zu einem Substrat (8), insbesondere einem scheiben­ förmigen Substrat oder einer DVD mittels eines Bond­ materials (40) mit:
einem um eine Drehachse (26) drehbaren Abschleuderkopf zum Aufnehmen der Substratteile (4, 6),
einer ersten Absaugvorrichtung zum Erzeugen eines ersten Unterdruckes zur rotationssymmetrischen Lage­ fixierung mindestens eines Substratteils (4, 6) im Abschleuderkopf,
und einer zweiten Absaugvorrichtung zum Erzeugen eines zweiten Unterdruckes zum Verteilen des Bondmaterials (40) zwischen den Substratteilen (4, 6) des scheiben­ förmigen Substrats (8) in Richtung zur Drehachse (26) des Abschleuderkopfes,
wobei die Unterdrücke unabhängig voneinander steuerbar sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Abschleuderkopf einen Substratträger (10) zum Aufnehmen eines ersten Substratteils (4), einen Zentrierdorn (12) zum Zentrieren und radial inneren Abdichten der Substratteile (4, 6), ein Unterdruck-Halte­ element (30) zur Lagefixierung des mindestens einen Substratteils (4, 6) auf dem Substratträger (10) und eine Antriebseinrichtung mit einer Antriebswelle (28) aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, mit einem ersten Strömungsweg (54, 50, 55) zwischen der ersten Absaugvorrichtung und dem Halteelement (30).
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, mit einem zweiten Strömungsweg (38, 34, 36, 52) zwischen der zweiten Ab­ saugvorrichtung und einem zwischen den beiden Substrat­ teilen (4, 6), dem Bondmaterial (40) und dem Zentrier­ dorn (12) gebildeten, radial inneren Hohlraum (48).
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, 3 oder 4, wobei die Strömungswege (36, 50) zumindestens teilweise in der Antriebswelle (28) der Antriebseinrichtung des Abschleuderkopfes verlaufen.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der Abschleuderkopf ein einen Ringkanal (18) bildendes Leitelement (20) und mindestens eine Ablauföffnung (22) für überschüssiges Bondmaterial (40) zu dessen Rückführung aufweist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei eine weitere Absaugvorrichtung zur Unterstützung der Rückführung des überschüssigen Bondmaterials (40) vorgesehen ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Absaugvorrichtungen voneinander unabhängig arbeiten oder eine einzige Absaugvorrichtung mit einer geeigneten Steuereinrichtung zur Bereitstellung der voneinander unabhängigen Unterdrücke ausgebildet sind.
9. Verfahren zum Verbinden zweier Substratteile (4, 6) zu einem Substrat (8), insbesondere einem scheibenförmigen Substrat oder einer DVD mittels eines Bondmaterials (40), mit den Schritten:
  • a) Einlegen und Zentrieren eines ersten Substratteils (4) auf einen Substratträger (10) in einem um eine Drehachse (26) drehbaren Abschleuderkopf;
  • b) Erzeugen eines ersten Unterdrucks und Fixieren der Lage des ersten Substratteils (4) auf dem Substrat­ träger (10);
  • c) Auftragen eines Bondmaterials (40) auf den ersten Substratteil (4);
  • d) Auflegen eines zweiten Substratteils (6) auf den ersten Substratteil (4) und das Bondmaterial (40);
  • e) Drehen des Abschleuderkopfes, so daß das Bond­ material (40) durch Zentrifugalkräfte in Richtung zum radial äußeren Rand des Substrats (8) getrieben wird; und
  • f) Erzeugen eines zweiten Unterdrucks, so daß das Bondmaterial (40) zwischen den Substratteilen (4, 6) des Substrats (8) in Richtung zur Drehachse (26) fließt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der zweite Unterdruck unabhängig vom ersten Unterdruck steuerbar ist.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, wobei überschüssiges Bondmaterial (40) über ein Leitelement (20), einen Ringkanal (18) und Ablauföffnungen (22, 24) zurück­ geleitet wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei zur Unterstützung der Rückführung des Bondmaterials (40) außerhalb der Subtratteile (4, 6) ein Unterdruck erzeugt wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei die Unterdrücke von voneinander unabhängigen Absaugvor­ richtungen erzeugt werden.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei die Unterdrücke von einer gemeinsamen Absaugvorrichtung mit einer geeigneten Steuereinrichtung zum Erzeugen der verschiedenen Unterdrücke bereitgestellt werden.
DE19817150A 1998-04-17 1998-04-17 Vorrichtung und Verfahren zum Verkleben von scheibenförmigen Substraten Ceased DE19817150A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19817150A DE19817150A1 (de) 1998-04-17 1998-04-17 Vorrichtung und Verfahren zum Verkleben von scheibenförmigen Substraten

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19817150A DE19817150A1 (de) 1998-04-17 1998-04-17 Vorrichtung und Verfahren zum Verkleben von scheibenförmigen Substraten

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19817150A1 true DE19817150A1 (de) 1999-10-21

Family

ID=7864897

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19817150A Ceased DE19817150A1 (de) 1998-04-17 1998-04-17 Vorrichtung und Verfahren zum Verkleben von scheibenförmigen Substraten

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19817150A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2347262A (en) * 1999-02-22 2000-08-30 M2 Engineering Ab A method of gluing together first and second disc elements in the manufacture of a DVD
WO2001062473A1 (de) * 2000-02-22 2001-08-30 Krauss-Maffei Kunststofftechnik Gmbh Vorrichtung zum vakuumpressen von dvd-substraten

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0790608A1 (de) * 1996-02-15 1997-08-20 Kitano Engineering Co., Ltd. Verfahren zur Entwicklung eines Klebstoffes sowie Drehtisch dazu

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0790608A1 (de) * 1996-02-15 1997-08-20 Kitano Engineering Co., Ltd. Verfahren zur Entwicklung eines Klebstoffes sowie Drehtisch dazu

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2347262A (en) * 1999-02-22 2000-08-30 M2 Engineering Ab A method of gluing together first and second disc elements in the manufacture of a DVD
GB2347262B (en) * 1999-02-22 2003-05-07 M2 Engineering Ab A method of gluing together first and second disc elements in the manufacture of a DVD
WO2001062473A1 (de) * 2000-02-22 2001-08-30 Krauss-Maffei Kunststofftechnik Gmbh Vorrichtung zum vakuumpressen von dvd-substraten
US6971428B2 (en) 2000-02-22 2005-12-06 Krauss-Maffei Kunststofftechnik Gmbh Device for vacuum-pressing of DVD substrates

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1939532A1 (de) Kuehleinrichtung fuer Scheibenbremsen
DE69722044T4 (de) Verfahren und Gerät zum Zusammenkleben von Scheibenelementen
DE3740411C2 (de) Stülpfilterzentrifuge
DE4041199A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum verkleben von zwei miteinander zu verbindenden, informationen tragenden scheiben oder dergleichen
DE19817150A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Verkleben von scheibenförmigen Substraten
AT500984A1 (de) Vorrichtung zur flüssigkeitsbehandlung von scheibenförmigen gegenständen
DE102006029113B4 (de) Verfahren zur Herstellung einer Filterbaugruppe
EP0908876A2 (de) Verfahren zum Verkleben eines flachen, kreisscheibenförmigen ersten Substrats aus einem Kunststoff mit einem ebensolchen zweiten Substrat zu einer digital video disc und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE19651423C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Verkleben von zwei Substratteilen zu einem Substrat, insbesondere zu einem optischen Datenträger (CD)
DE60212259T2 (de) Vakuumtrommel mit Leimsammler
DE4211194C2 (de) Gehäuse oder Kabine zur Aufnahme einer Werkzeugmaschine
EP2939772A1 (de) Fliehkraft-spannsystem
DE3319328C2 (de)
DE7823882U1 (de) Montagevorrichtung fuer schleifblaetter
EP0054820A1 (de) Vorrichtung zur Aufgabe eines Fluids auf einen sich drehenden Hohlkörper
WO2014072088A1 (de) Fluidikmodul für eine zentrifugale filtration und verfahren zum filtern einer probe
DE10122668C1 (de) Vorrichtung zum Verkleben von Substraten
DE102011112163B4 (de) Werkzeugaufnahme einer Werkzeugmaschine
DE69909591T2 (de) Vorrichtung und verfahren zum beschichten von scheiben
EP1055234B1 (de) Substratscheibe
DE202017103971U1 (de) Schleifscheibenanordnung
DE10063666C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Zusammenfügen von Substraten
EP1430479B1 (de) Vorrichtung zum verkleben von substraten
WO2005112021A1 (de) Vorrichtung zum beschichten von substraten für optische datenträger
DD241034A1 (de) Reinigungsvorrichtung fuer werkzeugschaefte

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8131 Rejection