TW524875B - Method and apparatus for feeding gas phase reactant into a reaction chamber - Google Patents

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524875 A7 B7 五、發明説明Ο ) 發明之背景 發明之範疇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關使用液體，尤其是固體物質充當例如薄 膜之氣相加工之先驅者。本發明尤其係有關一種裝置及方 法，其中液體或固體物質係在一反應物源中汽化，而該汽 化反應物饌送入一氣相加工之反應室，以例如生長一薄膜 於一半導體裝置之基底上。 相關技藝之敘沭： 在加工半導體之晶片時，各種氣體被饌送入反應室中 。一般上採用之氣體在反應物源中係氣體形態。它們在周 遭（即正常）壓力及溫度下亦常爲氣體形態。它們包括氮 氣、氧氣、氫氣、及氨。在某些情形下，亦採用在周遭壓 力及溫度下爲液體或固體之化學源之氣體。這些物質或許 需加熱以產生足夠量供反應之氣體。對某些固體物質而言 ，因在室溫下之汽體壓力太低，故需加熱甚至高達攝氏數 百度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一般上固體先驅係以粉末狀構形，可能甚細緻，使固 體物質形成一細粉末。該細粉末易與反應物一齊傳導，而 小顆粒及粉末可經由擴散傳送。若顆粒降在基底上，它們 會在薄膜上形成小針點尺寸之孔及變形。 傳統上，固體先驅材料係置於與反應室相通之敞口容 器中，而未設置任何由汽化之反應物氣體中分離出粉末之 裝置。該容器通常是與反應室一般套置在相同的壓力殼體 -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 524875 A7 ______B7 五、發明説明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 中。因此，壓力殼體或真空容器之尺寸需加大。此外，化 學物在承載及保養作業時與空氣相接觸，而可能會造成先 驅材料受污染。在載入化學物時，反應室之真空被中斷。 當反應物源置於反應器內時，化學物會持續的蒸發；故至 少有一些汽化之先驅會經一出口槽道排出，而一些材料會 澱積在槽壁上。 發明槪沭 本發明之一目的在於克服習知技藝之缺點，及提供一 種全新方法及裝置以饌送來自液體，或尤其是固體源之氣 相脈量進入一氣相反應室。 本發明之另一目的爲提供一種可產生一氣相反應物流 之反應物源總成。 本發明之上述及其他目的，及其與習知技藝相較之優 點將在參照下文說明而有進一步之認知。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之觀念係源自在一氣相過程中將反應物氣體之 產物自所使用之氣體中分離出來。此觀念係藉提供兩各別 單元來實施，兩各別單元爲一反應物源及一反應室，各別 設於分開之容器中，各置於本身之壓力殼體中。因此，兩 單元可分離且各別淸空，以容許獨立作業及保養。 較佳者爲提供給反應物源一氣體入口以餵送氣體入反 應物源，及一氣體出口以抽出氣態反應物。因此，承載氣 體可餵送入反應物源中，而所需反應物源之氣體流入反應 室之流動可藉包含有已蒸發反應物之承載氣體來達成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 - 524875 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本發明一較佳具體實施例，反應物源包含具有一 開□之第一容器，其置於一壓力殼體內，且藉套置在該壓 力殼體內之加熱裝置加熱至汽化溫度。該汽化之反應物係 由容器經一第一淨化器傳導以去除容裝在已汽化之反應物 內之不純物，該汽化反應物係收集在一氣體空間內，而氣 相反應物係藉與反應物源及反應室相連通之第一導管，由 虱體空間鶴送進入氣相反應室。 根據所述，本發明亦提供一種用以生產一氣相反應物 流之新穎反應物源總成。其包含具有一開口且容裝液體或 固體反應物物質之第一容器；具有一氣密容器壁圍繞第一 容器’及環繞第一容器界定一氣體空間之第二容器；至少 一第一氣體噴嘴套置在第二容器之容器壁內，以餵送氣體 進入氣體空間；及至少一第二氣體噴嘴套置在第二容器之 容器壁內，以將在第一容器內汽化之反應物抽出，並收集 在氣體空間內。 更具體言之，根據本發明之裝置其特點係如申請專利 範圍第1項之特徵部分所述者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據本發明之裝置其特點係如申請專利範圍第1項之 特徵部分所述者。 裝置之特點係如申請專利範圍第3 8項之特徵部分所 述者。 氣相反應物流之反應物源總成之特點係如申請專利範 圍第4 5項之特徵部分所述者。 本發明提供顯著之優點。本發明可在不用中斷反應室 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 524875 A7 B7 五、發明説明（4 ) 之真空下，改變及載入新的反應化學物。本發明可防止反 應化學物及空氣相接觸，亦不需對連接反應物源及反應室 之導管分別加熱，可保証反應物氣體之持續流動，粉末可 有效的自反應物氣體移除。本發明之觀念可擴大以允許複 數反應物源連接至相同的反應室。 本發明適用大數量之固體先驅，例如金屬化合物、例 如金屬鹵化物、包含金屬一碳鍵之有機金屬化合物、不包 含金屬一碳鍵、但包含碳（即thd化合物）之金屬有機化 合物、及元素金屬。 本發明將由下列說明就一較佳具體實施例詳加解說。 圖式之槪述 圖1顯示與反應室相組合之反應物源總成之立體圖； 圖2顯示依據本發明之反應物源主結構之剖視圖； 圖3顯示該反應物源結構之立體圖； 圖4顯示一固體源總成結構之片斷側視圖；及 圖5 a至5 c顯示反應物容器之各種具體實施例。 主要元件對照 J——!lltl. ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 真 空 容器/源頭 Γ 氣 體 出口活門 2 加 熱 元件 2， 熱 反 射盒 3 熱 反 射片 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -7 - 524875 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明 (5 ) 1 I 3， 熱 反 射 門 1 1 I 4 固 體 源 / 反 m 物 源 / 第 二 容 器 1 I 4， 水 冷卻 I 請 1 5 氣 體 入 P 活 門 先 閱 1 讀 1 I 6 cm 過 濾 器 / 第 二 淨 化 器 背 1 I 之 1 7 氣 體 空 間 注 意 1 I 事 1 8 閉 合 閥 項 再 1 9 啓 動 器 填 寫 S 本 | 9， 管 路 / 第 一 導 管 頁 、w^ 1 1 10 導 入 件 1 11 小 容 器 / 第 一 容 器 1 1 I 12 蓋 體 1 訂 13 燒 結 物 / 開 □ / 第 一 淨 化 器 1 1 14 導 入 件 1 1 15 壓 力 釋 放 閥 ! 丄 16 閉 合 閥 9 I 17 閉 合 閥 1 1 | 20 第 — 氣 嘴 1 22 第 二 氣 嘴 Ί 30 液 骨扭 或 固 體 源 化 學 物 之 空 間 1 31 燒 結 物 / 開 □ 1 1 I 40 液 體 或 固 骨拽 源 化 學 物 之 空 間 1 50 容 器 / 液 體 或 固 Η豆 源 化 學 物 之空間 1 1 51 開 □ / 燒 結 物 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - 524875 A7 _________B7_ 五、發明説明（6 ) 60 反應室 62 真空容器（反應器） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 70 反應物質 8〇 第二導管 82 第三導管 曼J5之詳盡說明： 如上所述，本發明係有關一種將一反應物源中之氣相 反應物餵送入一氣相反應室之裝置及方法。在該方法中， 在周遭溫度下爲一液體或固體之反應物係在一反應物源中 在一汽化溫度下汽化，而該汽化反應物餵送入反應室內。 依據本發明，反應物源及反應室是設於可各別淸空之各別 容器中。反應物源及反應室最好是相互成熱隔絕。此可藉 爲其等提供包含分離之冷卻及加熱裝置之主動熱隔絕件使 容器外表面保持在周遭溫度下，及達成在容器內之所需加 熱而達成。 加熱裝置可包含管狀加熱器元件。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 反應物源及反應室之氣體空間係設計成相連通，以將 來自反應物源之氣相反應物餵送入反應室。惟相連通之第 一導管最好是包含至少一閥，以在一或兩容器淸空及/或 保養之際，可將反應物源及反應室之氣體空間分離。亦可 在導管內設置惰性氣體活門，藉形成與在導管中之反應物 流成相反方向流動之一氣體阻礙件，來防止反應物自反應 物源流至反應室。 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 524875 Α7 Β7 五、發明説明（7 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由於不活性的，最好是惰性氣體被餵送入反應物源， 故反應物源可在一大於反應室壓力之壓力下操作。爲了該 目的，該反應物源包含至少一入口以餵送氣體入反應物源 ，及至少一出口以自反應物源抽出氣體。該反應物源之出 口最好係與反應室相連通。 爲了去除任何散佈的液體滴或固體顆粒，汽化之反應 物被傳導至一淨化器。淨化器可包含一可半滲透之薄膜， 或可完全去除尺寸小於Ο.ΟΙμηι，最好是小於〇.〇〇5μΐΉ之細 顆粒之過濾器。 參證各附圖，根據本發明一較佳具體實施例，本發明 之方法包含下列步驟： 將保持在一反應物源中之液體或固體反應物物質內之 反應物加以汽化，該反應物源包含具有一開口之第一容器 ，該第一容器係置於一壓力殼體內，且藉套置在該壓力殼 體內之加熱裝置加熱至汽化溫度； 將來自容器之已汽化之反應物經第一淨化器傳導以去 除容裝在汽化反應物內之不純物； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將該汽化反應物收集在一氣體空間內；及 將來自氣體空間之氣相反應物經第一導管餵送進入氣 相反應物。 在本具體實施例中，爲了使汽化反應物由液體或固體 不純物中釋出，汽化反應物可經第一淨化器淨化，然後收 集在氣體空間內。第一淨化器包含覆蓋第一容器之開口之 過濾器（任何與下述之第二過濾器相關之種類均可）。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 524875 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α? Β7 五、發明説明（8 ) 本發明適用任何包括化學蒸汽澱積，C V D之氣相製 程。尤其特別適合原子層澱積，A L D (習知稱爲原子層 外延，簡稱ALE)。即有之商用技藝爲由芬蘭愛斯拍（ Espoo)之ASM Microchemistry〇y公司所提供，商標名爲 A L C V D。在A L D技藝中，反應物係以氣相脈量之形 態輪替及各別的被餵送入反應室中。就A L D具體實施例 而言，本發明可加以修飾以適合其使用，即藉收集汽化反 應物於一氣體空間內，該氣體空間之氣體容積顯著的比氣 相脈量之體積爲大；且藉第一導管由該氣體空間每一次鶴 送一氣相脈量至氣相反應室中。 收集在氣體空間內之汽化反應物可圍繞反應物容器形 成，即介於容器及圍繞容器之第二容器之間的空間。 氣體空間係保持在等於或大於汽化溫度之溫度下，以 防反應物凝結。氣體空間之氣體容積最好是比一氣相脈量 之氣體容積大上五倍。 第二容器之容器壁係由選自不鏽鋼、鈦、及鋁之一金 屬所製成，而第一容器（下文又稱「小容器」）是由玻璃 製成。 第一容器亦可由具有一額外不反應之表面塗層之材料 所製成，以防材料腐蝕。 將反應物源及反應室相連通之第一導管之一實質長度 係容置於壓力殼體內，故不需在導管周圍設置加熱裝置來 防止反應物蒸汽之凝結。 第二淨化器可置於第一導管內，第二淨化器包含〜由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ΜΙ . I 扯衣 Ί ... I ~~ 訂 ·* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 524875 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁) 機械過濾器、陶瓷分子篩網、及靜電過濾器等選出之過濾 裝置，可由反應物氣流中分離出散佈的液體或固體滴或顆 粒或極小分子尺寸之分子。 爲了防止氣體在脈量之間由反應物源中流出，可如上 文述及般形成一不活性之氣體阻礙件。實務上，氣體阻礙 件之形成，可藉在由氣體空間餵入氣相脈量的間隔之間， 將不活性氣體經在一連接點處連接至第一導管之第二導管 餵入第一導管內。不活性氣體經連接至第一導管之第三導 管由第一導管內抽出。第三導管係保持在等於或大於氣相 反應物之凝結溫度之溫度下，且係在第二導管上游之一點 處連接至第一導管。因此，可獲得和反應物氣體流成相反 方向之不活性氣體流。 第二導管之一賓質長度最好是容置於壓力殻體內，以 免除外部加熱之必要。 第三導管係保持在等於或小於反應溫度之溫度下，第 三導管包含一容置於壓力殻體內之敞口氣流槽道。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述所有實施例中，不活性氣體如氮氣或氬充當汽 化固體或液體之承載氣體。不活性氣體經第四導管餵入氣 體空間內。 較佳者可利用閥來控制汽化試劑，或選擇性的加上不 活性氣體，通過第一導管、其中閥之調整裝置係置於壓力 殼體之外方。 實務上，反應物源總成可形成一分離之模組單元，當 需要載入新的反應化學物時，可以一相同的模組單元代替 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -12 - 524875 A7 B7 五、發明説明（1〇 ) 。爲了此目的，上述第二容器最好是以可移除方式連接至 第一及第四導管。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 綜言之，本發明之反應物源總成包含： 第一容器，具有一開口且容裝液體或固體反應物物質 ;及 第二容器，具有一氣密容器壁圍繞第一容器，及環繞 第一容器界定一氣體空間。 至少有一第一氣體噴嘴套置在第二容器之容器壁內， 以餵送氣體進入氣體空間；至少一第二氣體噴嘴套置在第 二容器之容器壁內，以將在第一容器內汽化之反應物抽出 ，並收集在氣體空間內。至少一閥連接至第一氣體噴嘴， 用以控制流通過第一氣體噴嘴進入氣體空間之氣體，及至 少一閥連接至第二氣體噴嘴，用以控制來自氣體空間流通 過第二氣體噴嘴之氣體。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 參考各附圖，反應物源設於真空容器1中，真空容器 1之內部藉輻射加熱器2及熱反射片3加熱。容器之壓力殼 體設有水冷卻4，4’以冷卻容器之表面至周遭溫度。真空 容器設有反應物源容器，反應物源容器包含足夠量之化學 物，以允許在一延展時間，例如三個月內作業。反應物源 模組之作業溫度係20至400°C。 反應物容器包含一玻璃小容器11，防止其內之化學物 與圍繞小容器之鋼容器直接接觸。小容器包含一殼體及一 蓋體12，其等藉具有打光表面之圓錐形接頭連接。蓋體有 一陶瓷燒結物，用以防止餵送入容器之承載氣體流打擊到 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 524875 A 7 B7 五、發明説明（11 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 粉末反應物。一氣體空間形成在反應物源容器及玻璃小容 器之間，氣體空間之容積比各別氣相脈量之容積大。因此 ’氣體空間可稀釋反應物脈量之濃度，.及維持氣相脈量之 固定濃度。 夾自反應物源之汽化反應物之脈衝係利用一氮氫阻礙 件5來實施。在本例中，只有一脈衝閥，且係套置於真空 容器外方。 亦可連接數個固體源總成至反應器壓力殻體，因而可 在不同壓力下作業。 在真空容器中有一商用過濾器6，其具有一內部，包 含由鋼、陶瓷、或惰性金屬製成之薄膜。該過濾器可在作 業時，藉將其加熱達超越使用溫度之一溫度，及將其泵離 .汽化物質下而潔淨之。該過濾器可去除99.9999999%之大 於0.003 μηι之顆粒。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 在作業中，反應物源小容器可在任何階段中不接觸化 學物之情形下更換，此乃藉在管路中之全金屬閉合閥8及 氮氣壓力來實行。反應物源可在不中斷反應器內之真空下 加以更換。此可藉利用閉合閥來關閉與反應器相通之氣體 導管，及形成一阻擋由反應物源朝反應器流動之反應物氣 體流之惰性氣體活門而達成。空氣不會進入反應室內。 閉合閥乃用以在每次加工後閉合反應物源，及閉合將 反應物源及反應室相接之氣體導管，閥亦可在加熱及冷卻 時使用。閥之殼體之最高操作溫度係例如接近500°C。閥 總成乃構製成使氣體啓動器9乃置於真空容器外方。閥所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 14 - 524875 A7 B7 五、發明説明（12 ) 需求之封閉動作可利用一線性導入件10來達成。由於閥完 全是由金屬製成，故其完全不滲漏。爲此原因，在閥相反 側設有一氮氣壓力，以阻礙進入管路之洩漏。 在圖式所示實施例中，總成及反應物源容器之管路乃 置於真空器之壓力殻體內。最好係在管路中有一持續之氮 氣^荒’及/或不變的控制壓力。該結構防止任何洩漏造成 之健康危害’及防止任何洩漏至裝備所造成之加工問題。 圖5a-5c顯示反應物容器之三種實施例。在第一實施 例中’谷描：3 〇具有一中心軸線，及一垂直於中心軸線之環 形剖面。開口 3 1至少形成在容器之內表面上，由一薄膜覆 胃’最好是一可半滲透之薄膜（包括燒結型之陶瓷薄膜）以 移除粉末。承載氣體流及反應物氣體流均具有出口及入口 噴嘴。 在第一實施例中，容器4 0爲圓筒形，在頂端有一開口 4 1 °此實施例是在前文中已提及之工作實例。在第三實施 例中’容器5 0爲圓筒形，在側壁有一開口 5 1，即側壁爲由 透氣材料製成，最好是陶瓷燒結物，以配合過濾程序。 I,----i!f II * (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -15 -

Claims (1)

1. 524875 A8 B8 C8 _ _ D8 六、申請專利範圍 2 6 ·根據申請專利範圍第1項之方法，其中該反應物 源係在一大於反應室壓力之壓力下加工。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 7 ·根據申請專利範圍第1項之方法，其中該反應物 源包含至少一入口以餵送氣體入反應物源，及至少一出口 以自反應物源抽出氣體。 8 .根據申請專利範圍第7項之方法，其中該反應物 源之出口係於反應室相連通。 9 ·根據申請專利範圍第1項之方法，其中該汽化之 反應物被傳導至一淨化器，以去除任何散佈其內的液體滴 或固體顆粒。 1 0 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中該淨化 器包含一可半滲透之薄膜或相近之過濾器，以完全去除尺 寸小於0 . 0 1 // m，較佳者是小於0 · 0 0 5 // m之細 顆粒。 1 1 .根據申請專利範圍第1至1 0項中任一項之方 法，包含： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將保持在一反應物源中之液體或固體反應物物質內之 反應物加以汽化，該反應物源包含具有一開口之第一容器 ，該第一容器係置於一壓力殼體內，且藉套置在該壓力殻 體內之加熱裝置加熱抵汽化溫度； 將來自容器之已汽化之反應物經第一淨化器傳導以去 除容裝在汽化反應物內之不純物； 將該汽化反應物收集在一氣體空間內；及 將來自氣體空間之氣相反應物經第一導管饌送進入氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 524875 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 相反應物內。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 2 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該反 應物係以氣相脈量之形態餵送入反應室中，包含將該汽化 反應物收集在一氣體空間內，該氣體空間之氣體容積顯著 的比氣相脈量之體積爲大；及藉第一導管由該氣體空間每 次餵送一氣相脈量至氣相反應室中。 1 3 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該容 器設有活性熱隔絕。 1 4 ·根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該汽 化反應物係在第一淨化器內淨化，而後收集在氣體空間內 〇 1 5 ·根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該第 一淨化器包含一覆蓋容器開口之機械過濾器。 1 6 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該容 器具有一中心軸線，及一垂直於中心軸線之環形剖面，開 口係至少形成在容器之內表面上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 7 ·根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該容 器具有一中心軸線，及一垂直於中心軸線之圓形剖面，開 口係形成在容器之頂表面上。 1 8 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該容 器具有一中心軸線，及一垂直於中心軸線之圓形剖面，開 口係形成在容器之側壁上。 1 9 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該汽 化反應物係收集在環繞容器之氣體空間內。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐)-: - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524875 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4 2〇·根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該氣 體空間係形成在介於第一容器及圍繞第一容器之第二容器 間之空間內。 2 1 ·根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該氣 體空間係保持在等於或大於汽化溫度之溫度下。 2 2 ·根據申請專利範圍第1 2項之方法，其中該氣 體空間之氣體容積比一氣相脈量之氣體容積大上五倍。 2 3 ·根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該第 一導管之一實質長度係容置於該壓力殼體內。 . 2 4 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中一第 二淨化器係容置於該第一導管內。 2 5 ·根據申請專利範圍第2 4項之方法，其中第二 淨化器包含一由機械過濾器、陶瓷分子篩網、及靜電過濾 器等選出之過濾裝置，可由反應物氣流中分離出散佈的液 體或固體滴或顆粒或極小分子尺寸之分子。 2 6 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中： 在由氣體空間餵入氣相脈量的間隔之間，將不活性氣 體經在一連接點處連接至第一導管之第二導管餵入第一導 管內，以形成一氣體阻礙件，氣體阻礙件可抵制藉第一導 管將來自反應物源之汽化反應物流至反應室之流動； 不活性氣體經連接至第一導管之第三導管由第一導管 內抽出’第三導管係保持在等於或大於氣相反應物之凝結 溫度之溫度下，且係在第二導管上游之一點處連接至第一 導管。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   524875 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 2 7 .根據申請專利範圍第2 6項之方法，其中第二 導管之一實質長度係容置於該壓力殼體內。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 8 .根據申請專利範圍第2 6項之方法，其中經第 二導管餵入之不活性氣體係和反應物流成相反方向傳導。 2 9 .根據申請專利範圍第2 6項之方法，其中第三 導管係保持在等於或低於反應溫度之一溫度。 3 0 .根據申請專利範圍第2 6項之方法，其中該第 三導管包含一容置於該壓力殻體內之敞口氣流槽道。 3 1 .根據申請專利範圍第2 6項之方法，其中該不 活性氣體係在第二導管連接至第一導管之一點之下游處之 一點餵送至第一導管內，以提供和在第一導管內之反應物 流成相反方向之不活性氣體流。 3 2 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中不活 性氣體充當汽化之固體或液體反應物之承載氣體。 3 3 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中不活 性氣體係由第四導管餵送至氣體空間內。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 4 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中汽化 試劑，或選擇性的加上不活性氣體通過第一導管之流動， 係由一其調整裝置係置於壓力殻體外方之閥來控制。 3 5 ·根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中第二 容器是以可移除方式連接至第一及第四導管。 3 6 .根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中加熱 裝置包含管狀抗阻加熱元件。 3 7 ·根據申請專利範圍第1 1項之方法，其中該加 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） 524875 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 6 熱裝置係緊鄰該壓力殼體套置。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 8 · —種將反應物源中之一氣相反應物餵送入一氣 相反應室之裝置，包含可保持在一汽化溫度下之反應物源 以汽化一液體或固體反應物，及 一反應室’其特徵爲： 反應物源4及反應室6 0包含可各別淸空之分離容器 9 反應物源4可藉配置於第一導管9 ’內的閉合閥8來 與反應室6 0相隔離；及 - 該氣相反應物經由淨化器6及1 3所選出的至少一淨 化器來傳導。 3 9 .根據申請專利範圍第3 8項之裝置，其中該反 應物源與反應室係相互成熱隔絕。 4 0 ·根據申請專利範圍第3 8項之裝置，其中該反 應物源及反應室係與包含有至少一閥之第一導管相連通。 4 1 ·根據申請專利範圍第3 8至4 0項中任一項之 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 裝置，其中該反應物源及反應室係與一第一導管相連通’ 其中可藉形成一氣體的氣相障礙物來防止反應物由該反應 物源流至該反應室，該氣體係與在該導管內流動的反應物 呈相反方向流動。 4 2 ·根據申請專利範圍第4 0項之裝置，其中該閥 可用以在一或兩容器淸空之際分離反應物源及反應室之氣 體空間。 4 3 ·根據申請專利範圍第3 8至4 0項中任一項之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ：297公釐） -21 - 524875 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 7 方法，其中該反應物源包含至少一入口以餵送氣體入反應 物源，及至少一出口以自反應物源抽出氣體。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 4 ·根據申請專利範圍第4 3項之方法，其中該反 應物源之出口係與反應室相連通。 4 5 · —種用以生產一氣相反應物流之反應物源總成 ，包含： 第一容器1 1，具有一開口 1 3且容裝液體或固體反 應物物質7 0 ; 第二容器4，具有一圍繞第一容器1 1的氣密容器壁 ，及界定一環繞第一容器11的氣體空間7; 至少一第一氣體噴嘴2 0套置在第二容器4之容器壁 內，以餵送氣體進入氣體空間7 ; 至少一第二氣體噴嘴2 2套置在第二容器4之容器壁 內，以將在第一容器1 1內汽化之反應物抽出，並收集在 氣體空間7內； 一閉合閥8設置在第一導管9’內，介於第二容器4 及反應室6 0之間；及 至少一由淨化器6及淨化器1 3中選出的淨化器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 .根據申請專利範圍第4 5項之反應物源總成， 另包含至少一閥用以控制流通過第一氣體噴嘴進入氣體空 間之氣體，及至少一閥用以控制來自氣體空間流通過第二 氣體噴嘴之氣體。 4 7 ·根據申請專利範圍第4 5項之反應物源總成， 其中該第二容器之容器壁係由選自不鏽鋼、鈦、及鋁之一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇X 297公嫠） =-22- 524875 8 8 8 8 ABCD 六、申請專利範圍 8 金屬所製成。 4 8 ·根據申請專利範圍第4 5至4 7項中任一項之 反應物源總成，其中該第一容器係由玻璃所製成。 4 9 ·根據申請專利範圍第4 5至4 7項中任一項之 反應物源總成，其中該第一容器係由金屬、石墨、陶瓷材 料所製成’該容器具有一不反應之表面層。 5 〇 ·根據申請專利範圍第4 5至4 7項中任一項之 反應物源總成，其中該第一容器之開口係以一機械過濾器 覆蓋’以去除由容裝其內之液體或固體物質汽化之氣體中 之不純物。 --------II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 綉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 公舌 第89111644號專利申請案中文說明書(含flfffJ範圍)修正本 申請曰期 89年 6月14日 案 號 89111644 類 別 (以上各攔由本局填註）

   524875 經濟部智慧財4局S工消費合作社印製 黍靈專利説明書 - 發明 一、新型名稱 中 文 將氣相反應物餵送入反應室之方法及裝置 英 文 Method and apparatus for feeding gas phase reactant into t reaction chamber (1)珍妮·凱莎技 Kesala，Janne 姓 名 國 籍 ⑴芬蘭 ^發明， —-' 人 創作 (1)芬蘭艾斯波伊斯汀萊克十六B二十號 Eestinlaakso 16 B 20, FIN-02280 Espoo, Finland 住、居所 姓 名 (名稱） (1) ASM撤相化學股份有限公司 ASM Microchemistry Oy 國 籍 (1)芬蘭 (1)芬蘭艾斯波郵政信箱第一三二號 三、申請人 住、居所 (事務所） Ρ·0· Box 132， FIN-02631 Espoo, Finland 代表人 姓 名 (1)梅堤•伊凡斯堤Ervasti, Maui 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

   f申請專利範圍1 ~ ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 · 一種將反應物源中之一氣相反應物餵送入一氣相 反應室之方法，其中在周遭溫度下爲液體或固體之一反應 物係在一反應物源中在一汽化溫度下汽化，且該汽化之反 應物被餵送入反應室內，其特徵爲： 反應物源4及反應室6 0分別設置於分離的真空容器 1及6 2內，該等真空容器可各別淸空； 反應物源4及反應室60係與第一導管9’相連接， 該第一導管9 ’配置有一閉合閥8以使反應物源4及反應 室Θ 0相互隔離；及 至少一淨化器，由第一淨化器1 3及第二淨化器6選 出，在將該汽化的反應物餵送入該反應室6 0之前，自該 汽化的反應物移除散佈的液體滴或固體顆粒。 2 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中該反應物 源及反應室係相互熱隔絕。 3 ·根據申請專利範圍第1項之方法，其中該反應物 源及反應室係藉包含至少一閥之第一導管相互連接。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中該反應物 源及反應室係藉第一導管相互連接，其中反應物由反應物 源至反應室之流動係藉形成一氣體阻礙件來翻防止之，在 導管內該氣體阻礙件之流動方向和反應物之流動方向成相 反。 5 ·根據申請專利範圍第1項之方法，其中該閥係在 一或兩容器淸空時，用以分離反應物源及反應室之氣體空 間。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2i〇X297公釐）