TW508287B

TW508287B - Super-fine polishing particle turntable for mirror finishing

Info

Publication number: TW508287B
Application number: TW090119790A
Authority: TW
Inventors: Takahiro Hirata; Yukio Okanishi
Original assignee: Almt Corp
Priority date: 2000-09-13
Filing date: 2001-08-13
Publication date: 2002-11-01
Also published as: EP1319470A1; KR20020060735A; DE60125200D1; CN1177676C; US20030003858A1; EP1319470A4; KR100486429B1; DE60125200T2; WO2002022310A1; CN1392823A; MY124918A; JPWO2002022310A1; US6692343B2; EP1319470B1; JP3791610B2

Description

508287 五、發明說明（i) 技術領域本發明係有關於一般的超細研磨粒轉盤，特於，為鏡面加工矽、玻璃、精密陶£、鐵酸鹽、，有^

硬合金等的硬質脆性材料，所用的鏡面加工用超細；磨J 轉盤。背景技術最近，半導體裝置的高集積化及精密陶瓷、玻酸鹽等加工的超精密化，藉由如此急激的技術革新 ^ 料的高精度之鏡面加工。如此的鏡面加工，_般由被研磨加工之研削方法進行。具體地，此研削方法向研磨^ 盤及工作物間提供混合著研磨液的游離研磨粒對研盤及工作物施加壓力的同時，使之互相碰擦，藉借游離粒的轉動作用及刮磨作用，將工作物切削，在工作物的表面加上尚精度的鏡面之加工方法。然而，研磨加工因大量地消費游離研磨粒，使用完的游離研磨粒，工作物的切削而生的切削粉，及與研磨液的混合物，即就是被之物，量的產生，使作業環境惡化，產生公害等，一研/成^尼大問題。、

因此，作為上述用游離研磨粒的研削方法之替代方使用，定著的微細的超細研磨粒之鏡面加工法之研究择 =盛行。作為應用固定著的微細的超細研磨粒之鏡面力彈性地保持著平均粒徑為數μ的超細研磨粒之丨超細研磨粒轉盤的加工法，以及，一邊用電解將結1 合，邊對金屬結合劑超細研磨粒轉盤進行修整，使月

508287 五、發明說明（2) 屬結合劑超細研磨粒轉盤對材料研削的EL工D (Electrolytic In_process Dressing)之研削加工法等係眾所週知的。但是，上述的應用樹脂結合劑超細研磨粒轉盤之加工法，因使用微細的超細研磨粒，砂輪之鋒利度不良，而且因砂輪之磨耗大，容易引起工作物加工面之形狀變化及精度低下，有必須頻繁地對砂輪進行整形和修整的問題。 ^ 又，在上述的金屬結合劑超細研磨粒轉盤的加工法，為得到由樹脂結合劑超細研磨粒轉盤的加工法製得之工作物 =工面及同程度的鏡面狀態，因金屬結合劑具有高剛性，需要使用比樹脂結合劑超細研磨粒轉盤用的，更細小之超細研磨粒。其結果，更有砂輪鋒利度惡化之問題。為解決鋒利度的問題，使用陶竟結合劑料結合材，且丄慮」咸小超細研磨粒的面肖。例如，在使用陶究結合劑乍為二二材的超細研磨粒上形成多數的溝槽，有助於研削 ::::Γ研f粒層係互相留有間隙地被形成。使用能形、、& μ * I =研」粒層的超細研磨粒轉盤，不僅將原來的用工、i = 研拉削田加玉法’肖用固定著的超細研磨粒研削加工法變更，還藉用金剛整形和修整j供鋒式整人形器（“下，稱為RD)進行結合劑超細研磨粒轉盤':孫：：長的鏡面加工用之陶竞翕：?丨扣如也轉盤此係因為陶兗結合劑之大容量的工效率作用，使切削粉能順利地排出，提高加度。、’此°于為鏡面狀態的工作物之微小的表面粗 508287 、發明說明（3) 在上述鏡面加工用陶瓷結合劑超細研磨粒轉盤中複數個扇形狀的超細研磨粒層，沿著環狀的砂輪座之四周相互空著一定間隔地配置著。然而，根據扇形的大小及形狀鏡面加工中被破碎的超細研磨粒及脫落的超細研磨粒或加工屑由於被夾在超細研磨粒層及工作物間 . 產生擦痕之場合。又，亦有除去擦痕的 = 費時間之問題。 4 ^ 嫌特許第2976806號公報中，扇形的研削砂輪之構k被^案出。在此扇形式的砂輪中 ^ ^ ^ ^ ^ ^ 1 ^ # ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 〇 ^ ^ 眉曰塞住扇形固定溝，有加工屬的排出變得極門又，在特開昭54-1 37789號公報中平而m ^ 碭。造被提案出。於此公報公開的扇形砂輪中用ίΓΞ 磨粒層係用金屬結合劑及樹脂結合劑的姓二=中，超細研 = 形成的。如該公報的第4圖與圖所將亍超：2 相互空著間隔地配置之場合，雖然加工^ 的四周方向，好，因一使用金屬結合劑及樹脂結合劑作 k侍良抗變兩之問題。因此，研削加工的鋒口材，有研削抵粒層易從砂輪座脫落的問題。在研肖l'"，有超細研磨增加，超細研磨粒層的脫落增多，==，,广隨著广工量的果，有研削砂輪的壽命降低的問題。$ ’艮的％合。其結而且’在上述公報的第1圖中，將形成的圓筒狀超細研發明說明（4) __ 環狀的砂輪座的四周方向，相互空。但是，如此之圓n狀^削=扇形砂輪之構造被提案出從砂輪座脫落研磨粒層雖在研削加工上不易倒1者塞，可能引起：工】容易將圓筒狀超細研磨粒層之内因此:：ϊ屑的排出性變壞之問題。 U此’本發明的目的係生的破碎的超細研磨粒或股隻从如31問喊，鏡面加工中產梆出性之改盖#炔脫的超細研磨粒，或加工屑的提供if痕不易產生，進行高效率加工的同時，超細研磨粒‘之：：f ti層不易從砂輪座脫落，且可防止研磨粒轉盤:洛引起的擦痕產生之鏡面加工用超細發明的概述係包括:、ί : : 2形態之一，鏡面加工用超細研磨粒轉盤的ii方ί相Λ的環狀砂輪座，及沿著此環狀的砂輪座面上的且°，久伽去工者間隔地配置著，被固定在砂輪座之端，如此構造的超細研磨粒轉盤具有以：磨。超細研磨粒層的各個有平柘报貼0田^号傲稷數的超轉盤之斿艎站继主&—板形狀，，周側鸲面與超細研磨粒 > “平仃地被配置著。被複數的超細研磨粒狀之厚度所規定之面，即就是，沿著平板 7狀之厗度方向之面係被固定在砂輪座之端面上。在超细 7磨粒層中，超細研磨粒係由陶莞結合劑之結合材結合而成0 在上述般地所構成的超細研磨粒轉盤中，有平板形狀

^8287 五、發明說明（5) 的各個超細研磨粒層，由於被厚度所規定之面係被固定在砂輪座之端面上，超細研磨粒層之間可形成足夠的間隙，加工屑及切屑的排出性可變得良好。 ’ 又，因超細研磨粒層的各個周側端面與超細研磨粒轉盤之旋轉軸幾乎平行地被配置著，隨著研削加工的發展，超細研磨粒層即使有磨耗，在切入磨法研削加工中，相對於加工物，因各超細研磨粒層之作用面之位置幾乎保持一定，可以持續安定的加工形態。因此，各超細研磨粒層之作用面可與工作物之中央部相接觸。藉此，工作物之加工完變得平坦。

特別是，上述的超細研磨粒轉盤之平板形狀之超細研 ^粒層，因超細研磨粒係由結合劑之結合材結合而成，可以降低研削加工中的研削抵抗。因此，在研削加工中可’ ，超細研磨粒層之脫落不易發生。藉此，可防止因超細研磨粒層之脫落而引起於工作物之表面產生擦痕。又，即使加工量增加，亦可較低地維持研削抵抗。因此，可防止因超細研磨粒層之脫落而引起的壽命低下。

依照上述的形態之一，鏡面加工用超細研磨粒轉盤之 ::研磨粒層係、有與超細研磨粒轉盤之旋轉軸幾乎垂直之面，複數的超細研磨粒層之作用面積最好，係連結複數 ^ 2 Γ研磨粒層之各個外周側邊緣之線，與連結複數的超 :研粒層之各個内周側邊緣之線，而形成的環狀面積相，有5%以上80%以下之比率。在本發明的超細研磨粒轉盤，藉著將各超細研磨粒層

五、發明說明（6) :形狀作成平板狀，超細研磨粒磨粒層成-體的連續物的類 J ,端面上，形成超細研磨粒層的作用面之面積率下，α二疋對於連續型，超細研超細研磨粒之力增大。藉此在y ^控制使作用於每一個削性的同時，能圓滑地進曰行超2:超細研磨粒轉盤之研平板狀的各超細研磨轉盤之自生作用。合，平板狀的複數個的超細研磨粒二方：的幅度相同之場的係連續型之面積之5%〜80%之比率θ ^作用面之面積，較好範圍内。因此，相對於連續型 …’更好的係在10%〜50%之加工壓力，在本發明的超細研磨2: : Ϊ粒層之2〜1〇倍的超細研磨粒層之作用面，可持=，加於平板狀的各依照本發明的形態之一於而、鋒利度良好的狀態。之超細研磨粒層係最好含有平見;工用，研磨粒轉盤作為被含有的超細研磨粒。樹二：=磨粒很適合磨粒相比，因破碎性高，藉由成超細研為理想的。貝舳形成微小的切刀，此係最作為樹脂結合劑用合成金剛石 Α—νβ公司製品中的，商品侧、 :份有，公司製品中，商品名⑽，的，商品名CDA等產品可適用。作為樹脂 GE SUper ΜΗ, 第10頁 2075-4266-PF I ahddub.ptd 508287

商品名 SBNB、SBNT、昭和電工股份有限公司製品中， SBNF等可適用。 m金在岡ΓΛ整鐘形Λ修整，從效率和成形精度考慮，雖然使用 RD(金剛石旋轉式整形器）最好作為汕的替代 #:=65“m)前後，除去金剛石研磨粒的頂部高度的；均的金屬研磨粒或電著研磨粒等亦可以使用。 =本：明的另-個形態，鏡面加工用超細研磨粒轉盤係匕括.有端面的環狀砂輪座，及沿著環狀的砂輪座的四周方向，相互空著間隔地地配置著，被固定在砂輪座之端面上，且，各個具有含周側端面的複數超細研磨粒層等，具備以上各部分之超細研磨粒轉盤，有以下之特徵。a複數2 細研磨粒層的各個，有被彎曲成山形之板形狀，且，周側端面係與超細研磨粒轉盤之旋轉軸幾乎平行地配置著。被複數超細研磨粒層的各個板形狀之厚度所規定之面係被固定在砂輪座之端面上。在上述般地所構成的超細研磨粒轉盤中，首先，與上述的依照本發明的一個形態之超細研磨粒轉盤同樣地，被複 t的超細研磨粒層的各個板形狀之厚度所規定之面，即就是，&由於沿著平板形狀之厚度方向之面係被固定在砂輪座之端面上，複數的超細研磨粒層之間可形成足夠的間加工屑及切屑的排出性可變得良好。，又，與上述的依照本發明的一個形態之超細研磨粒轉盤同樣地，周側端面係與超細研磨粒轉盤之旋轉軸幾乎平行地超細研磨粒層的各個被配置著，因而，切入磨法研削加

508287 五、發明說明（8) 工中，隨著研削加工的發展，超細研磨粒層雖有損耗，但因各超細研磨粒層的作用面相對於工作物之位置一定，可持續安定的加工形態。因此，可一直使超細研磨粒層的作用面與工作物之中央部相接觸。藉此，工作物的加工變得平坦。特別係，在依照本發明的另一個形態之超細研磨粒轉盤，複數超細研磨粒層的各個有被彎曲成山形之板形狀。因山被山形的板形狀之厚度所規定之面係被固定在砂輪座之端面上，即就是，相對於砂輪座之端面，因超細研 ^ 固著面的形狀係山形，研削加工時，加在各超細研磨粒曰層的的垂及超細研磨粒轉盤之旋轉方向之抵抗增強超么田研磨粒^不易從砂輪座脫落。藉此，可防止因超細研粒層之脫落而引起的工作物之表面產生擦痕。 ” 在：照本發明的另一個形態，鏡面加工用超轉孤之超細研磨粒層，超細研磨粒最好係用結合材結合而成。作為結合材，陶莞；土：？丨之時，降低研削抵抗，可使超細研磨粒了在研削加工脫落。藉此，可更有效地防止研削輪座之端面之脫落而引起的工作物表面產生捧痕。又2細研磨粒層莞結合劑可使超細研磨粒轉盤之自 ’作為結合材，陶助於維持良好的鋒利度。 51滿地進行，有又，在依照本發明的另一個形熊粒轉盤之超細研磨粒層，超細 ^最 ϋ工用超細研磨之結合材結合而成。作為結合材磨= 第12頁 2075-4266-PF ； ahddub.ptd 五、發明說明（9) 陶瓷結合劑同樣地，可使有助於維持良好c轉盤之自生作用圓滿 m丨=有彈性作用，具有使研又，作為結合材，樹脂作物表面粗度變小之效果。丨加工中產生的擦痕變小，在依照本發明的另一個形離 ’ 超細研磨粒層的各個，被彎曲成二研磨粒轉盤之複數細研磨粒轉盤之内周側的位置成:的部分，最好配置在超成山形而被封閉的部分之 a j如此構成地，被彎曲粒轉盤之外周侧，研削加工中產\者、部分，位於超細研磨地從開著的部分排出。因此二，工屑及切屑可簡單複數的超細研磨粒声的.伽Z加工屑的排出性。之板形狀。藉著= 最好係有被彎曲成V字形丁，你訂加在各超細研磨粒層研磨粒轉盤之迴轉方向之抵抗，超細研磨粒層Κ及超得細易從砂輪座之端面脫落。因此，可防止研削加工中因1不研磨粒層之脫落而引起的擦痕產生。超細研磨粒層的各個有被彎曲成V字形之板形狀之場合，V字形的頂角最好係在30度以上150度以下。將V字形的頂角作成3 0度以上的理由，係使研削加工時的加工屑及切屑有效地排出。又，將V字形的頂角作成150度以下的理由，係在有效地將研削液供給於工作物之研削面的同時，相對於研削加工時的抵抗，超細研磨粒層不易從砂輪座之端面脫落。為提高此些效果，V字形的頂角最理想的係在45度以上9 0度以下。

2075-4266-PF ： ahddub.ptd 第13頁五、發明說明（10) 關於有被彎曲成V字形之板形狀之超細研磨粒層的大小，較好的係將V字形作成，一邊的長度2〜2〇inm，構成ν字形 f板形4狀之厚度〇·5〜5mm，構成V字形之板形狀之高度，即就疋，沿著超細研磨粒轉盤之旋轉軸方向之長度3〜1〇mm。更好的是，將V字形作成，一邊的長度3d 5mm，構成v字形之板形狀之厚度卜3mm，構成V字形之板形狀之高度3〜1〇mm。又， ^被彎曲成V字形之板形狀之超細研磨粒層，較好的係沿著砂輪座的四周方向，相互空開〇· 5〜2〇_之間隔，被固定在環狀砂輪座的端面上，如將其間隔作成卜1〇111111更理想。超細研磨粒層之間隔最好係由研削加工條件、工作物的種類等適宜地決定。依照本發明的另一個形態，超細研磨粒轉盤之複數超、、、田研磨粒層的各個，最好被彎成有曲面的板形狀。換而言之，超細研磨粒層的被彎曲的形狀，角部最好有曲率半徑。 ^ 藉由各超細研磨粒層有被彎成有曲面的板形狀，和被聲曲成V子形之板形狀的場合同樣地，可有效地進行研削液的供給和加工屑及切屑的排出，相對於研削加工時的抵抗超細研磨粒層不易從砂輪座脫落。藉此，可防止研削加工中因超細研磨粒層之脫落而引起的擦痕產生。又，被彎成有曲面的板形狀，亦可採用圓筒狀物被割成一半的半圓形狀，或U形狀，C形狀等。依照本發明的另一個形態，鏡面加工用超細研磨粒轉盤，其超細研磨粒層有與超細研磨粒轉盤之旋轉軸幾乎垂直的作用面，複數的超細研磨粒層的作用面積最好係相對

2075-4266-PF ； ahddub.ptd 第14頁 508287 五、發明說明（11) 於，由連結複數的超細研磨粒層之各個外周側邊緣之線，及連結複數的超細研磨粒層之各個内周側邊緣之線，而形成的環狀面積，有5%以上80%以下之比率。因複數超細研磨粒層的各個的形狀成板形狀，在砂輪座的端面形成一個超細研磨粒層連續成一體之類型，即對於連續型，降低超細研磨粒層作用面之面積率，可對增大每個超細研磨粒之作用力進行控制。在提高研削性的同時，可使超細研磨粒轉盤之自生作用圓滿地進行。在使沿著超 =研磨粒轉盤之半徑方向的各超細研磨粒層之長度相同之場合，複數的板形狀之超細研磨粒層之作用面之面積，相對於連續型，較好的為5%〜80%，10%〜50%的範圍更理想。在本發明的超細研磨粒轉盤，相對於連續型之超細研磨粒層 2〜1 0倍的加工壓力加於各超細研磨粒層的作用面，可使利度良好之狀態持續。依照本發明的另一個形態，鏡面加工用超細研磨粒轉盤，其超細研磨粒層最好含有平均粒徑為〇· i 以上1〇〇 “ «η以下之超細研隸。依照本發明的另一個形態，作為超細研磨粒轉盤之結合材，在使用陶瓷結合劑及樹脂結合劑之場合，作為被含有的超細研磨粒，樹脂結合劑用合成超細磨粒很適合。樹脂結合劑用合成超細研磨粒，與金屬社八劑用合，超細研磨粒及圓鋸刀用合成超細研磨粒相比，^ 破碎性南，藉由RD(金剛石旋轉式整形器）的整形與修整在超細研磨粒之頂端形成微小的切刃，此係最為理想。’ 作為樹脂結合劑用合成金剛石研磨粒，GE Sup2r

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、口中，商品名 RVM、RJKl，Tomei Diamon 股，有限公^製品中，商品名IRM， De Beers公司製品中，商扣名CDA等產品可適用。作為樹脂結合劑用合成cbn研磨粒、Gp Super Abrasive公司製品中，商品名BMP 1，昭和電工股份有限公司製品中，商品名SBNB、SBNT、SBNF等可適以在進订本發明的超細研磨粒轉盤之整形與修整，從效率和成形精度考慮，雖然使用RD (金剛石旋轉式整形器）最作為RD的替代，金剛石粒度#30 (粒徑650 /zm)前後，除去

岡J石研磨粒的頂部高度的不均的金剛石研磨粒或電著研磨粒等可以使用。如上所述地，在使用本發明的鏡面加工用超細研磨粒轉盤進行研削加工時，可有效地防止研削加工中破碎的超 :田研磨粒及脫落的超細研磨粒，或，加工屑及切屑被夾在超二粒層與工作物間，而在工作物表面產生擦痕等。如叙地，在提高超細研磨粒或切屑的排出性之同時，使研削 =工中超細研磨粒層不易從砂輪座之端面脫落，亦可防止由超細研磨粒層的脫落而產生擦痕。圖式簡單說明

轉盤：1 平圖面係圖顯。示依照本發明實施形態之-的不的超細研磨粒轉盤之11 - 11線之第2圖係沿著圖1所剖面端面圖。第3圖係依照本發明貫施形態2之超細研磨粒轉盤之平

五、發明說明（13) 面圖面圖第4圖係依照本發明實施形態3之超細研磨粒轉盤之平第5圖係圖4所示的超細研磨粒轉盤之側面圖。第6圖係沿著圖4所示的超細研磨粒轉盤之v丨—v丨線之剖面端面圖。第7圖係顯示圖4所示的超細研磨粒轉盤細研磨粒層部分之部分立體體。第8圖係依照本發明實施形態4之超細研磨粒轉盤之平面圖。第9圖係圖8所示的超細研磨粒轉盤之側面圖。第1 0圖係模式地顯示切入磨法研削加工之立體體。第11圖係在本實施例3中，作為研削加工試驗之一個結果，加工次數與工作物的PV值（工作物之加工表面之凹凸最大巾田，即就疋山與谷間的最大距離）及表面粗度^之關係顯示圖。第1 2圖係在本實施例3、5、6、7中，作為研削加工試驗之一個結果，加工次數與工作物的表面粗度之關係顯示圖。第1 3圖係在本實施例3、5、6、7中，作為研削加驗之一個結果，加工次數與研削抵抗之關係顯示圖。# 第1 4圖係顯示在本實施例7中，製作電用的導電性之類型平面圖。寬者金剛石層時所第15圖係顯示在本實施例7中，製作電著金剛石層時所

2075-4266-PF ； ahddub.ptd 第17頁 ^υδΖδ/

用的導電性之類型側面圖。比較例1所製的超細研磨粒轉第1 6圖係顯示本發明之盤之平面圖。第1 7圖係顯示在太义 / 驗之一個結果，加工文本發明之比較例1中，作為研削加工試關係圖。數”工作物的PV值及表面粗度Ra之層裝發J7:之較:二為將超細研磨粒轉盤本發明之比較例4中所製作的超細研磨粒符號說明 I 0 0〜超細研磨粒轉盤； II 0〜超細研磨粒層； 111〜超細研磨粒層11 〇之周側端面； 11 2〜與超細研磨粒轉盤1 〇〇之旋轉軸幾乎垂直之作用 11 3〜被超細研磨粒層11 0之平板形狀厚度所規定之面 1 2 0〜砂輪座；又 1 2卜砂輪座1 2 0之一個端面； 122〜插入超細研磨粒轉盤1〇〇之旋轉轴之孔· 2 0 0〜超細研磨粒轉盤； ’ 2 1 0〜超細研磨粒層； 2 2 0〜砂輪座； 22卜砂輪座220之一個端面；

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第18頁

508287 五、發明說明（15) 3 0 0〜超細研磨粒轉盤； 3 1 0〜超細研磨粒層； 3 11〜超細研磨粒層3 1 0之周側端面； 3 1 2〜與超細研磨粒轉盤3 0 0之旋轉軸幾乎垂直之作用面； 3 1 3〜被超細研磨粒層3 1 0之平板形狀厚度所規定之面； 3 1 4〜V字形頂部； 3 2 0〜砂輪座； 3 2 1〜砂輪座3 2 0之一個端面；4 0 0〜超細研磨粒轉盤； 41 0〜超細研磨粒層； 4 2 0〜砂輪座； 421〜砂輪座420之一個端面； R1〜旋轉方向； R 2〜旋轉方向； 1〜超細研磨粒轉盤； 2〜旋轉軸； 3〜被削材； 3 1〜被削材之被削面； 3 2〜被削材之中心部分； 4〜導電性之模型； 4卜導電性之模型之V字形斜面； 5 0 0〜超細研磨粒轉盤； 5 1 0〜環狀超細研磨粒層； 5 2 0〜砂輪座；

2075-4266-PF ； ahddub.ptd 第19頁五、發明說明（16) 52卜砂輪座520之一個端面； 522〜插入超細研磨粒轉盤50 0之旋轉軸的孔； 600〜超細研磨粒轉盤； 6 1 〇〜超細研磨粒； 6 2 0〜砂輪座； 621〜砂輪座620之一個端面； 622〜插入超細研磨粒轉盤6 0 0的旋轉軸之孔； 623〜砂輪座620之一個端面上621形成的直徑6mm之孔。用以實施發明之最佳形態 (實施形態1 ) “ 如第1圖及第2圖所示，超細研磨粒轉盤1 〇〇，係由銘合金等形成的盃狀砂輪座120，及砂輪座120之一個端面121 上，沿著四周方向相互空著間隔地被配置著，並固定著的複狀之超細研磨粒層110所構成。被超細研磨粒曰110的厚度所規定之面，即就是，沿著厚度方向之面輪座120之—個端面121上形成的所定幅之圓周 ρ ’ 。超細研磨粒層110之周側端面111盥超细研磨粒轉盤旋轉軸幾乎平行，使超細研磨粒層^之田長研产磨 =0超:二磨粒轉盤1〇°之半徑方向一致地，各超細研磨粒層110被固疋在砂輪座120之一個端面121上。各超細研磨粒層11 0有與超細研磨粒轉盤丨〇〇之旋轉軸幾乎垂直之作用面112。在砂輪座12〇之中央部形成插入 100之旋轉軸之孔122。唧靨祖轉盤

(實施形態2 ) 如第3圖所示’作為本發明的另一個 =盤20 0,係，銘合金等形成的盃狀砂輪㈣。，及在：二上0之個端面22 1上，沿著四周方向相互空著間隔地定著的複數個的平板狀之超細研磨粒層210 冓成。圖/、圖1所不的超細研磨粒轉盤1〇〇之相異點，在於超細研磨粒轉盤200之超細研磨粒層21〇之各個長度方向 $對於超細研磨粒轉盤200之半徑方向成α角度，各超細研磨粒層210被固定在砂輪座22〇之一個端面221上。 (實施形態3) 如第4圖〜第7圖所示，作為本發明之另一個實施形態之超細研磨粒轉盤300,係由鋁合金等形成的盃狀砂輪座32〇, 及砂輪座320之一個端面321上，沿著四周方向相互空著間隔地被配置著並固定著地，有複數個的被彎成山形之板形狀之超細研磨粒層310所構成。被各超細研磨粒層31〇的板形狀厚度所規疋之面313，被固定在砂輪座320之端面321上形成的所定幅之圓周方向之溝漕。各超細研磨粒層3 1 〇之周側端面311幾乎與超細研磨粒轉盤3〇〇之旋轉軸平行地，使各超細研磨粒層310之被彎曲的部分314位於超細研磨粒轉盤3 0 0之内周側地，各超細研磨粒層3丨〇被固定在砂輪座 320之一個端面321上。此實施形態之場合，超細研磨粒層 3作為被彎成山形之板形狀，成ν字型之形狀，因此，使ν字型之頂部314位於超細研磨粒轉盤3〇〇之内周側，被固定在砂輪座320之一個端面313上。

508287 五、發明說明（18) (實施形態4 ) 如第8圖和第9圖所示，更作為本發明之另一個實施態之超細研磨粒轉盤400,係由叙合金等形成的盃狀 7 m，及砂輪座420之一個端面421上，沿著四周方向相互闲空者間隔地被配置並固定者地，有複數個的被彎成山形之形狀之超細研磨粒層410所構成。在此實施形態，與圖4〜圖 7所示超細研磨粒轉盤300不同，作為被彎成超細研磨粒声 410之山形之板形狀，係有曲面地被彎曲成板形狀，即就^ 成為角部有曲率半徑之形狀。 ’ 在上述實施形態丨和2中（第丨圖和第2圖所示的超細磨粒轉盤100,以及第3圖所示的超細研磨粒轉盤2〇〇)使用陶竟結合劑作為結合材。又，在上述實施形態3和4中’（第4 圖〜第7圖所示的超細研磨粒轉盤3〇〇,以及第8圖和第9 =超細研磨粒轉盤400 )，料結合材，雖可使用金屬結合悧或電著結合劑，但使用陶瓷結合劑或樹脂結合劑更好。兗結合劑用精密陶竟系的玻璃較好，有氣孔構造的則 ^。又，作為樹脂結合劑，苯紛系樹脂較好，有添加的更好。盤之任何一個實施形態 ^ €著劑或臘接等，接合且，在本發明的超細研磨粒轉中，超細研磨粒層最好藉由樹脂系於砂輪座之一個端面。 (實施例）製作本發明之實施例之超細細研磨粒轉盤，使用各超細研磨研磨粒轉盤和比較例之超粒轉盤，在切入磨法研削方

508287 五、發明說明（19) 式中，進行鏡面加工試驗。作為鏡面加工試驗之評價方法，直徑1 0 Omm的圓板狀的單結晶矽之工作物，以切刻量（粗加工及加工完成的合計切刻量）3 5 # m進行研削，以此研削加工作為一次的加工。因此，一次的研削加工量係274. 9mm3 。繼續此研削加工，藉由工作物加工後的表面粗度，及加工後的表面凹凸之最大幅（山及谷之間的最大距離）的!^值進行評價。以下顯示的表面粗度Ra及PV值均係進行了 5次研削加工時的數值。且，切入磨法研削加工係如第1 0圖所示，裝在旋轉軸2 上的超細研磨粒轉盤1沿著r 1所示方向旋轉的同時，被削材 3沿著R2所示方向旋轉地進行的。在圖丨〇中，超細研磨粒層被固定在超細研磨粒轉盤1的下側之面上。使超細研磨粒層與被削材3之研削面31接觸，超細研磨粒轉盤1被設置著如此叙地，超細研磨粒轉盤1之超細研磨粒層，常通過被削材3之中心部分地進行研削加工。如此的研削加工被稱為切入磨法研削方式。 (實施例1) 將陶瓷結合劑及粒度#3000 (研磨粒徑2〜6 //m)之金剛石研磨粒均一地混合。將此混合物在室溫壓擠成形後，放入溫度11 0 °C之燒成爐内燒成，製作為平板狀之超細研磨粒層之金剛石層。平板狀之端面係一邊長度4mm、厚度lmm、高度5mm。陶瓷結合劑之組成如表1所示。

2075-4266-PF ; ahddub.ptd 第23頁 508287

五、發明說明（20) 表1

Si02 62重量免 ai2o3 17重量％ K20 9重量％ CaO 4重量免 Β2〇3 2重量％ Na20 2重量宪 Fe2〇3 0 - 5重量免 MgO 0.3重量％在外徑200mm、厚度32mm之鋁合金製的砂輪座之一個端面，形成深度1mm，幅寬4· 5mm之圓周方向之溝槽。此溝槽中，上述所得的複數的金剛石層，相互以2· 5mm的間隔空開，使金剛石層之板狀端面之長度方向成為砂輪座之半徑方向，用環氧樹脂系接著劑接著。#此般地，製作如第示的鏡面加工用金剛石轉盤。上，藉=轉桌式平面研削盤單結晶矽之鏡面加工f元整和整形後，進行工。其鏡面加工條件如表2所示。

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508287 五、發明說明（21) 表2 轉盤寸法 1 Φ 200-32Τ 工作物單結晶砂 ' 研削盤縱軸旋轉桌式平面研削 jVt 盤轉盤旋轉數 ~ 3230min*1 ~ 轉盤周速度 33.8m/sec 粗加工總切刻量 30只m 粗加工切刻速度 20 u ια/min 完成加工總切刻量~ 5 // m 完成加工切刻速度 5 u m/min 火花濺出 30sec 工作物旎轉數 lOOr .p.m 其結果係得到鋒利度好、工作物表面粗度Ra為〇 Η 5 //m、PV值〇· 20 //m，擦痕少的良好狀態。 · (實施例2 ) 將陶瓷結合劑及粒度#30 0 0 (研磨粒徑2〜6 #m)之金剛石=磨粒均。一地混合。將此混合物在室溫壓擠成形後，放入溫度11 0 °C之燒成爐内燒成，製作平板狀之金剛石層。平板狀之端面係一邊長度4mm、厚度lmin、高度5匪。山在外徑20〇mm、厚度32匪之鋁合金製的砂輪座之一個端面，形成深度lmm，幅寬4· 5mm之圓周方向之溝槽。此溝槽中’上述所得的複數的金剛石層，相互以2· 5mm的間隔空開， f使金剛石層之板狀端面之長度方向與砂輪座之半徑方向致就是，與超細研磨粒轉盤之半徑方向成角度^ = 2 〇度’用％氧樹脂系接著劑接著。如此般地，製作如第3圖所示的鏡面加工用金剛石轉盤。

508287 五、發明說明（22) “ ^將a所彳于之金剛石轉盤裝在縱軸旋轉桌式平面研削盤上，&精a金剛石旋轉式修整器，在完成修整和整形後，進行單二!I矽之鏡面加工。其鏡面加工條件與實施例1用同樣的條仵。旯結？系得到鋒利度好、工作物表面粗度Ra為〇. 〇15 βm 值0·21 #m，擦痕少的良好狀態。 (實施例3) ^ ^ Ϊ結合劑及粒度#3〇〇〇(研磨粒徑2〜6 "m)之金剛入加产丨彳nV~地混合。將此混合物在室溫壓擠成形後，放金：i層==燒tA作板狀且端面為v字形之成V字來诚而沾7 係一邊長度4mm、板狀厚度lmm、構 5mm 0 、兩邊之角度為90度，金剛石層之高度為端面在形外成、#度32mm之紹合金製的砂輪座之一個中上‘所P二:m私幅寬·4. 5錢之圓周方向之溝槽。此溝槽互以-的間隔空開j 用金剛者如此般地，製作如第4圖所示的鏡面加工將所得之金剛石轉盤件泰，藉由金剛石旋轉式修整器=千面研削盤上結晶石夕之鏡面加工。其整/面整和整形後，進行單。其鏡面加工條件與實施例1用同樣條其結果係得到鋒利声七绰引度好工作物表面粗度h為〇.〇15

2075-4266-PF ； ahddub.ptd 第26頁 508287 五、發明說明（23) A m、P V值0 · 2 1 // m,擦痕少的良好狀態。、又，對隨著加工次數變化的工作物之PV值與表面叙皮進行測定。其測定結果如第i!圖所示。又，加工虚= =物的表面粗度之關係如第12圖所示，加工次數與削抗之關係如第1 3圖所示。從第丨丨圖及第丨2圖中可推知-使加工次數增加，工作物的表面粗度及”值以的/ 值，變化範圍亦小。又，從第13圖可推知，即使加m數研削抵旦抗亦不太變化’並維持較小的數值。因此= 增加加工1，研削抵抗亦可維持較，P使工中因超細研磨粒的脫落而引起的擦， n防止研削加細研磨粒轉盤之壽命0 、 ’且可增長超 (實施例4 ) 將陶瓷結合劑及粒度#3〇〇〇(研磨粒徑2 石研磨粒均一地混合。將此混合物之金剛入溫度litre之燒成爐内燒成，製^ 擠成形後，放 (半圓筒狀)之金剛石層。半環狀端； = 面為半環狀厚度lmm、高度5_。、干從為4mm、板狀在外徑20〇mm、厚度32㈣之鋁合端面，形成深度1mm，幅寬4. 5mm之古I的砂輪座之一個中，上述所得的複數的金剛石層相^ °之溝槽。此溝槽使金剛石層之半環狀端面的被彎曲部八的間隔空開，並側半徑方向，用環氧樹脂系接著劑刀朝考砂輪座之内周第8圖所示的鏡面加工用金。如此般地，製作如將所得之金剛石轉盤裝在縱轉轴盤旋轉得果式平面研削盤第27頁 2075-4266-PF ί ahddub.ptd 508287 五、發明說明（24) 上，藉由金剛石旋轉式修整琴 ☆ 單結晶石夕之鏡面加工。ι/面修整和整形後，進行條件。其鏡面加工條件與實施例1用同樣其結果係得到鋒利度好、 . pv，tn ο, ^工作物表面粗度Ra為0.018 ^ PV值0.24 am，擦痕少的良好狀離。 (實施例5 ) 石研之燒成爐:燒此成二之一邊係長度狀構成子形鈿面的兩邊之角度為90度，金 5mm。樹脂結合劑主要使用苯酚系樹脂。 -度為端面在乂仏! 「、厚度32mm之紹合金製的砂輪座之一個二寬4.5mm之圓周方向之溝槽。在此溝並使金剛石層v字形相互以lmm的間隔空開，向，用環氧樹脂系接著劑接；。：：f座之内周側半徑方示的鏡面加工用金剛者二接盤者。。如此般地’製作如第4圖所將所得之金剛石轉韻：梦太上，藉由金剛石旋轉J$轉桌式平面研削盤單結晶石夕之鏡面加工二rsf元；修整和整形後，進行條件。八鏡面加工條件與實施例1用同樣其到鋒利度好、工作物表面粗度 β PV值0 · 18 VI擦痕少的良好狀態。观287 五、發明說明（25) 又，對隨著加工次數變化的工作物之表面粗度與研削抵抗進行測定。加工次數與工作物的表面粗度之關係如第 1 2圖所示，加工次數與研削抵抗之關係如第1 3圖示。從第 1 2圖中可推知，即使加工次數增加，工作物的表面粗度以相對小的數值維持，變化範圍亦小。又，從第1 3圖可推知，與用陶瓷結合劑之實施例3之超細研磨粒轉盤相比較，因研削抵抗南，即使加工次數增加，研削抵抗之變化小。從此點可推知，實施例5之使用樹脂結合劑之超細研磨粒轉盤，與實施例3使用陶瓷結合劑之超細研磨粒轉盤相比較，雖然研削抵抗高，與使用陶瓷結合劑之超細研磨粒轉盤同樣地，可發揮自生作用，使鋒利度變良好。 (實施例6 ) 將金屬結合劑及粒度# 2 4 〇〇 (研磨粒徑4〜8 // m )之金剛石研磨粒均一地混合。將此混合物在室溫壓擠成形後，用熱壓擠法進行燒結，製作板狀且端面為V字形之金剛石層。 V字形端面係一邊長度4mm、板狀厚度lmm、構成v字形端面的兩邊之角度為90度，金剛石層之高度為5mm。金屬結合劑使用銅-錫系合金。在外徑200mm、厚度32mm之鋁合金製的砂輪座之一個端面，形成深度lmm，幅寬4. 5mm之圓周方向之溝种。在此溝 ::’上述所得的複數的金剛石層，才目互以-的曰間隔空開， 2使金剛石層V字形端面頂部朝著砂輪座之内周側半徑方 ^樹脂Λ接者劑接著。如此般地，製作如第4圖所不的鏡面加工用金剛石轉盤。 Μ币

2075-4266-PF *. ahddub.ptd 第29頁五、發明說明（26) h li將得之金剛石轉盤裝在縱軸旋轉卓弋平面g 單結晶矽之鏡面加工:匕f元成修整和整形後，進行條件。其鏡面加工條件與實施例1用同樣 _、利度好、工作物表面粗度Ra為〇, 021 VI擦痕少的良好狀態。不具持續性隨著1例之超細研磨粒轉盤相比，鋒利度生多處二對隨著工，重度變壞。工作… 研削抵抗進行測定σ:: ^化的工作物之表面粗度與如第12圖所示二二次數與工作物的表面粗度之關係圖及第13二與4研=之關係如第13圖所示轉盤盔自峰你田圖了推知，用金屬結合劑之超細研磨粒露出’雖顯干工作物超矣細研磨粒被損耗，金屬結合劑之表面作物表面粗度變小之現象，研削抵抗上昇、鋒利度變壞、引起工作物表面產生燒傷現象。 (實施例7) 準備夕個如第14圖及第15圖所示的導電性之模型，導電1±之模型4之V字形斜面41上進行電著，藉此，製作電著金剛石層。模型之大小，L1為6mm，L2為5mm，L3為4mm。模型4 亡=升y成著V子形凹處。將多個此模型並排，然後放入氨基尹、酉欠錄’谷中，型之上有粒度#2400(研磨粒徑4〜8 #m)之金剛石研磨粒藉由電鑄固著，形成厚度0· 7 mm之金剛石層。其後，金剛石層從模型中剝離，製作板狀且端面為V字形之金第30頁 2075-4266-PF ; ahddub.ptd 五、發明說明（27) 剛石層。V字形端面係一邊县库

宝來媸而的不、真 J 遺長度4mm、板狀厚度1mm、構成V 子形知面的兩邊之角度為9〇度再风v jr M9nn 广—又，i剛石層之鬲度為5mm。山在外仅200mffl、厚度32_之鋁合金製的砂輪座之一鈿面，形成深度1_，幅寬4.5mm之圓周方向之溝槽。槽中，上述所得的複數的金剛 a / 並使金剛石層V字形端面之的間隔空開，古6田俨# & / 丨朝者砂輪座之内周側半徑方向，用％乳树脂糸接著劑接著。如此所示的鏡面加工用金剛石轉盤。 ’ 〇圖 ρ Λ所/之金剛石轉盤裝在縱軸旋轉桌式平面研削盤上，藉由金剛石旋轉式修整5| 為+ 單壯晶矽之户而广二 70成修整和整形後，進行 =曰。曰石夕之鏡面加工。其鏡面加工條件與實施例】用同樣其結果係得到鋒利度好介物表面粗度Ra為〇. 029 …π ,入〜一奶彳、PV值〇· 32 /zm，擦痕少的良好狀態。或用Ξ: ’ Λ用陶究結合劑之實施例:之超細研磨粒轉盤不具持續性，隨著加工的重複鋒利碎^ s轉盤相/，鋒利度 ^ ^ , 扪置稷，鋒利度變更壞。隨著加工量

上表面產生燒傷。產生多數由此燒傷而引起抵^進—^者加1*數變化⑹工作*之* Φ粗度與研削 12 1疋。广卫次數與工作物的表面粗度之關係如第第12圖及第U圖可推知，隨著加工二3圖:，。從之超細研磨粒轉盤中的超細研磨粒大έ益自：結合劑又可推知，研削抵抗隨著加工次數的m λ自i作用， j項加而上昇，鋒利度變

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五、發明說明（28) 壞。 (比較例1 ) 將陶瓷結合劑及粒度# 3 0 0 0 (研磨粒徑2〜6 // m )之金剛石研磨粒均一地混合。將此混合物在室溫壓擠成形後，放入溫度110。(：之燒成爐内燒成，製作外徑2〇〇 mm、幅寬3mm ^環狀金剛石層。在環狀金剛石層之作用面，從外周側向 ^ =周側分斷，如此等間隔地形成幅寬lnm之溝槽（有底），沿著溝槽與溝槽間之超細研磨粒層之周方向的長度為， 3mm ° 山在外J^200mm、厚度32mm之鋁合金製的砂輪座之一個 =面，用裱氧樹脂系接著劑將環狀金剛石層接著。如此般，製作如第1 6圖所示的金剛石轉盤。

如第^6圖所示，環狀超細研磨粒層51〇，被固定在有幅見lmin溝槽之砂輪座/r〇中央邻机古也杯 20之一個鳊面521上。於砂輪座520 ^ 、ΐ = ί為超細研磨粒轉盤50〇之旋轉軸的孔522 , 上I付金>剛石轉盤裝在縱軸旋轉桌式平面研削盤單结晶石夕之h ,轉式（在完成修整和整形後，進行干、口日日吵之鏡面加工。盆條件。 /、鏡面加工條件與實施例1用同樣

其結果係得到终刹译站^ 、PV枯n w ’旧度好、工作物表面粗度Ra為0· 03] 其結果如第17圖所示表面粗度與ρν值進行測定研磨粒轉盤相比鲈 ^第17圖可推知，與實施例3之超相比幸又，工作物表面粗度Ra及PV值隨加工次棄

508287 五、發明說明（29) 變化大，且其值亦相對地較大。而且:製作多個有外徑2〇0mm之圓弧，幅寬3mm、圓周長，半％狀金剛石層’以幅寬i㈣之間隔空開，環狀地排列 =，糟由接著砂輪座之一個端面，製作與上述同樣之金剛石轉盤。用此金剛石轉盤進行單結晶矽之鏡面加工之場合可得到與上述同樣地結果。 ’ (比較例2 ) 將樹脂結合劑及粒度#2400(研磨粒徑4〜8以m)之金剛 ί :ί ΐϊ:地混合。將此混合物在溫度20(rc壓擠成形， ϋΓί 石層。金剛石層之形狀，或砂輪座之一個施例5使用H法糸與實施例1同樣地，樹脂結合劑系與實氧樹脂系接V::著的平f狀之金剛石層，用環作如第！圖所示的#鏡者/加=座金之剛一石個轉端盤面/如此般地，製將所侍之金剛石轉盤裝在縱軸上，藉由金剛石旋轉★像敕势— — # =杲式干面研削盤單結晶碎之式> 整器，在兀成修整和整形後，進行條件。兄σ工。其鏡面加工條件與實施例1用同樣其結果係得到工作物表面粗度“ 擦痕少的良好狀態，但隨著加工：二？：工負何上幵，在加工次數到第i 4超細、曰口^ ^ 因而產生擦痕之同時，超 (比較例3 )

五、發明說明（30) 石^金”及粒度#2400(研磨粒徑4〜8_)之金剛 ::磨粒均一t混合。將此混合物在室溫壓擠成形後」 :壓—擠法進行燒結，製作平板狀金剛石層。金剛石層之开 1 今凰或石^座之一個端面之裝配方法系與實施例1同樣地，之金：I 3糸用使二與實施例6同樣之物，將複數個的平板狀面n: r樹脂系接著劑接著在砂輪座之-個端盤又，製作如第1圖所示的鏡面加工用金剛石轉將所得之金剛石轉盤裝在縱轴旋轉桌式平面研削般亡’藉日由金剛石旋轉式修整器，在完成修整和整形後，進，于曰。曰石夕之鏡面加工。其鏡面加工條件與實施例^用同樣其結果係得到工作物表面粗度Ra為〇. 〇21 、Pv值 =23 /zm，擦痕少的良好狀態，但隨著加工次數的增加加工 *負荷上昇，在加工次數到第8次，超細研磨粒層從砂輪座脫 =。以此為原因在工作物上產生擦痕之同時，超細轉盤變得不能使用。 (比較例4) 將陶瓷結合劑及粒度#3000 (研磨粒徑2〜6 之金剛石研磨粒均一地混合。將此混合物在室溫壓擠成形後j放入/jnL度110 c之燒成爐内燒成，製作板狀且端面為v字开彡之金剛石層。V字形端面係一邊長度4mm、板狀厚度lmm、構成V字形端面的兩邊之角度為90度，金剛石層之高度為 10mm 〇

五、發明說明（31) 砂輪：為：=，所使用外徑2°°mm、厚度32mm之銘合金製的配金剛石層所需個：’妙古輪座620之一個端面上，僅形成裝著金剛石轉盤之外直徑6隨之孔623。此孔623之軸朝得现之外周側以45度角度傾斜著。入砂ί =?复數個有”形端面之板狀金剛石層各個，插環氣樹π f it—端面上621形成的直徑6mm之孔623,用金剛石Γ劑接著。如此般地，製作如第19圖所示的磨粒声6V、i第19圖所示，有v字形端面之板狀各超細研麻f固定在砂輪座620之一個端面上621上，相對轉盤6°〇的旋轉轴，有朝著外周側45度角度傾粒轉盤60Π的/在砂輪座620之中央部，形成插入超細研磨拉轉盤6 0 0的疑轉軸之孔6 2 2。卜莊將传之金剛石轉盤裝在縱軸旋轉桌式平面研削盤精由金剛石旋轉式修整器，在完成 =晶㈣面加工。其鏡面加工條件與; 石轉= 鋒利度雖好、研削加工時由於加在金剛石轉瓜之壓力，金剛石層之一部分發現缺欠。工粗度Ra為〇· 018 //m、PV值〇· 36 ，因捲進缺欠^ 粒層而引起的擦痕在工作物之表面被發現。、、ΰ、、、田研磨根據以上實施例與比較例的結果，本發明的鏡面加工用金剛石轉盤，與原來的金剛石 = 金剛石轉盤相比，工作物上產生的擦痕少轉可盤獲？= 表面粗度，且加工屑及切屑的排出性優良。 ° :月又、

508287 五、發明說明（32) 例示以並上非所限公制開例，而是如申請專利=:範圍;=非以上實施形態及實施意味及範利範圍有均等產業上利用的可能性本f明之超細研磨粒轉盤，適用瓷、鐵酸鹽、水曰、办π坡璃、精密陶工使用。“肖硬合金等的硬質脆性材料之：面陶加 2075-4266-PF ； ahddub.ptd 第36頁

Claims

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1 · 一種鏡面加工用超細研磨粒轉盤，包括：環狀砂輪座（ 1 20,220 )，具有端面（121,221);以及複數的超細研磨粒層（11 〇，2 1 0 )，沿著前述環狀砂幹座（ 1 20, 220 )之四周方向相互空開一定間隔地配置，並固^ 在前述環狀砂輪座（ 1 20, 220 )之端面（121，221)上，且，各^ 含周側端面（111 ); ’ 複數的前述超細研磨粒層（11 〇，2 1 0 )之各個，有平板形狀，且，周側端面（111 )與前述超細研磨粒轉盤（1〇〇, 2〇㈧之旋轉軸幾乎平行地配置著；被複數的前述各個超細研磨粒層（11 〇，2 1 〇 )的平板形狀之厚度所規定之面（113)，被固定在前述砂輪座（12〇, 220 )之端面（121，221)上； ’ 前述超細研磨粒層（11 0，2 1 0 )中，超細研磨粒係由陶兗結合劑之結合材結合而成的。 2 ·如申請專利範圍第1項所述之鏡面加工用超細研磨粒轉盤，其中於前述超細研磨粒層（丨1〇, 21〇)中，有與前述超細研磨粒轉盤（1 〇〇，2 〇〇 )之旋轉軸相垂直之作用面（丨丨2 ) ’複數的前述超細研磨粒層（11〇, 21 〇)作用面積，係相對於連結複數的超細研磨粒層（丨丨〇，2丨〇 )之各個外周側邊緣之線，與連結複數的超細研磨粒層之各個内周側邊緣之線，而形成的環狀面積，有5 %以上8 〇 %以下之比率。 3·如申請專利範圍第1項所述之鏡面加工用超細研磨粒轉盤，其中於前述超細研磨粒層（丨丨〇，2丨〇 )中，含有平均粒徑為0 · 1 // m以上1 〇〇 “ m以下之超細研磨粒。

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環狀砂輪座（ 320,420 )，具有端面（ 32 1,42 1 );以及複數的超細研磨粒層（310,41〇)，沿著前述環狀砂輪座（ 320, 420 )之四周方向相互空開一定間隔地配置，並^固时定 4· 一種鏡面加工用超細研磨粒轉盤，包括：在前述環狀砂輪座（ 320, 420 )之端面（321，421)上，且各^ 含周側端面（311); ’ ’ 複數的前述超細研磨粒層（310, 41〇)之各個，有被彎成山形之板形狀，且，周側端面（311)與前述超細研磨粒轉弓盤 (300, 400)之旋轉軸幾乎平行地配置著；由複數的前述各個超細研磨粒層（3丨〇，4丨〇 )的各個板形狀之厚度而規定之面（313)，被固定在前述砂輪座（32〇 420 )之端面（321，421)上。 ’ 5·如申請專利範圍第4項所述之鏡面加工用超細研磨粒轉盤，其中前述超細研磨粒層（31〇,41〇)中，超細研磨粒係由陶瓷結合劑之結合材結合而成的。 “ 6 ·如申請專利範圍第4項所述之鏡面加工用超細研磨粒轉盤，其中前述超細研磨粒層（31〇,41〇)中，超細研磨粒係由樹脂結合劑之結合材結合而成的。 7 ·如申明專利範圍第4項所述之鏡面加工用超細研磨粒轉盤，其中複數的前述超細研磨粒層（31〇, 41〇)之各個，被彎成山形之部分（31 4)，係被配置在前述超細研磨粒轉盤 (3 0 0，4 0 0 )之内周側。 8.如申請專利範圍第4項所述之鏡面加工用超細研磨粒轉盤，其中複數的前述超細研磨粒層（3丨〇 )之各個，有被

2075-4266-PF ； ahddub.ptd 第38頁厶〇 / 六、申請專利範圍彎成V字形之板形狀。 9 ·如申晴專利範圍第8項所述之鏡面加工用超細研磨；3L i盤’其中前述v字形之頂角為30度以上150度以下。粒轉般·如申明專利範圍第4項所述之鏡面加工用超細研磨料# a ’其中複數的前述超細研磨粒層（4 1 0 )之各個有被 •弓成含曲面之板形狀。粒轉公ΐ! ϊ專利範圍第4項所述之鏡面加工用超細研磨細研磨粒鐮般⑦^超細研磨粒層（310,410)中，有與前述超複數的二盤（300,400)之旋轉軸相垂直之作用面（312) 的各個超細研磨粒層（31〇,41〇)作用面積，有連結複數结複數2二研磨粒層（31〇, 41 〇)之外周側端邊緣之線，與連 ί # Mr ^細研磨粒層（31〇, 41 〇)之内周側端邊緣之線、而形成的被狀面積之5%以上m以下之比率。線，而粒轉二；：！專利範圍第4項所述之鏡面加工用超細研磨押ΑΠ ’/、則超細研磨粒層（31〇,41〇)中，含有平位為0.1 //Π1以上10〇以下之超細研磨粒。勺板第39頁 2075-4266-PF ； ahddub.ptd