501169 A7 B7 五、發明説明（】） 〔發明背景〕 本發明係關於在2個區域間具有開口，在該2個區域 間進行基板運送之基板處理裝置。 半導體裝置的製造過程已隨著近年半導體晶圓的大口 徑化而演進爲單片處理化。例如，在1個系統內進行抗蝕 劑塗敷處理及顯像處理之複合式處理系統則是從卡匣中逐 片取出晶圓，在處理單元內逐片處理晶圓，將經處理過的 晶圓逐片送回到卡匣中。 爲了防止晶圓上附著微粒子，而塗敷顯像處理系統設 置在淸淨室內，進而在處理系統的內部形成淸淨空氣的向 下吹送。另外，系統具有收容卡匣之卡匣站及進行過程處 理之過程處理部。此系統則是當從卡匣站將卡匣送入到過 程處理部之際，將卡匣載置在設於卡匣站之卡匣台上，直 到設在過程處理部之開口爲止使其移動該卡匣台，經由開 口利用設在過程處理部之機械臂將卡匣內的晶圓逐片取出 送到過程處理部內。在卡匣的開口安裝自由裝脫之蓋使卡 匣移動到開口時，微粒子不致侵入到卡匣內。因此，實際 上經由過程處理部的開口取出晶圓之際，必須使卡匣抵接 到取蓋機構的蓋面才取下該蓋。 此種的複合處理系統由於必須經過如上述的取蓋動作 ，因而爲了運送晶圓必須施加一定的推力以上抵接到過程 處理部。即是以未達一定的推力抵接到半導體加工裝置也 不張開開口，則無法送入晶圓。越是提高推力則取蓋動作 越能實現，不過推力過高則會有安全上的問題。即是推力 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4 · 501169 A7 B7 五、發明説明（2 ) 太高則會有抵接到半導體加工裝置之前在晶圓送入/送出 裝置與半導體加工裝置的間隙誤夾手指的情形，非常危險 〇 〔.發明槪要〕 本發明目的係提供確實且高安全性下實現2區域間基 板的送入或送出之基板處理裝置。 爲了達成上述目的，本發明主要的觀點：基板處理裝 置具備載置持有用來出入基板的開口部而能裝脫地安裝在 開口部之具有蓋的卡匣之卡匣載置台、及用來處理此卡匣 載置台上被收容在卡匣內的基板之處理部、及從卡匣載置 台的卡匣取出基板，將基板運送到處理部，處理後的基板 ®送到卡匣載置台的卡匣之運送機械臂機構、及設置在運 送機械臂機構與卡匣載置台之間，將運送機械臂機構側的 氣相從卡匣載置台側的氣相中隔開，具有比卡匣的開口部 還大的開口之隔間構件、及能朝隔間構件的開口方向進退 所配置之卡匣運送機構、及經由此隔間構件的開口從卡匣 的開口部取下蓋，將蓋安裝在該卡匣的開口部之取蓋機構 、及在卡匣每隔一定間隔到達隔間構件的前後使卡匣運送 機構的推力變化之推力控制機構等。 本發明則是卡匣運送機構能在接近一定的間隙後使卡 匣運送機構的推力變化。理想的是前述推力控制機構進行 控制使前述卡匣運送機構上的前述卡匣與前述隔間構件的 距離當超過一定距離以上則降低前述卡匣運送機構的推力 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 % 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7 _ 五、發明説明（3 ) ，當未達一定距離則提高前述卡匣運送機構的推力。 由於此因，當接近一定的間隔之際即使夾到作業者的 手指，也由於推力較低而降低事故的危險性。即是卡匣與 處理部的距離比一定的間隔還寬時若是降低推力而夾到作 業者等的手指也由於保持著較低推力因而保持安全性。而 且因從比一定的間隔還窄的位置開始提高推力，所以能容 易地開放卡匣開口部。 理想的是在卡匣運送機構的移動路徑上設置被固定配 置在卡匣載置台之推力切換機構，卡匣運送機構的一部分 抵接到該推力切換機構，因而將切換該卡匣運送機構的推 力之訊號輸出到推力控制機構。 依據此種搆成，卡匣與處理部的距離超過一定距離以 上及未達一定距離時，由於卡匣運送機構的一部分抵接到 推力切換機構，因而能使運送體的推力變化，且能以簡單 的構成改變卡匣運送機構的推力。 〔實施形態〕 以下，參照圖面說明本發明的實施形態。 (第1實施形態） 第1圖係表示本發明一定實施形態的基板處理裝置所 適用的塗敷顯像處理系統之全體構成圖。 如圖1圖所示，塗敷顯像處理系統1具備容納複數個 卡匣C R之卡匣站1 1、及對晶圓W進行抗蝕液塗敷及顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7 五、發明説明（4 ) 像的過程處理之過程處理部1 2、及將塗上抗蝕液之晶圓 w轉交到曝光裝置（未圖示）之界面部1 3。卡匣站1 1 具備出入例如以2 5片單位收容半導體晶圓W的卡匣C R 之載置台14、及從卡匣CR取出晶圓W之第1輔機械臂 機構1 5。 載置台1 4朝Y軸方向伸出設置，卡匣C R以等間距 間隔載置在載置台1 4上面。卡匣站1 1則是如第1圖所 示在載置台1 4上配置當作卡匣運送機構的例如4個滑動 座9 1 ，在各滑動座9 1上載置卡匣C R，則利用3個突 起1 4 a，卡匣C R朝向過程處理部1 2側將晶圓出入口 4 1定位。 第1輔機械臂機構1 5可以將晶圓W轉交到過程處理 部1 2的主機械臂機構1 6，且可以也對屬於後述過程處 理部1 2側的第3處理單元群G 3的多段單元部之調節單 元（A L I Μ )及待機單元（E X T )進行存取。 在卡匣站1 1與過程處理部1 2之間轉交晶圓W係經 由第3單元群G 3進行。此第3處理單元群G 3係將複數 個過程處理單元排列成上下多段縱型。即是處理單元群G 3係依序由上往下排列例如冷却處理晶圓W之冷却單元（ C〇L )、對晶圓W進爲了提高抗蝕液的密著性的疏水化 處理之附著單元（A D )、進行晶圓W的對位之調節單位 (A L I Μ )、爲使晶圓W待機之待機單元、將曝光處理 前述抗鈾膜加熱之2個前置加熱單元（PRE BAKE) 、顯像處理後的晶圓W進行加熱處理之後置加熱單元（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 ___ B7 _ 五、發明説明（5 ) P ◦ B A K E )及曝光處理後進行加熱處理之後曝光加熱 單元（PEBAKE)等而被構成。 晶圓W轉交到主機械臂機構1 6係經由待機單元（ EXT)及調節單元（AL IM).進行。 另外，如第1圖所示，在此主機械臂機構1 6的周圍 設置包含第3處理單元群G 3之第1〜第5處理單元群 G 1〜G 5使其圍繞此主機械臂機構1 6。與前述的第3 處理單元群G 3同樣地，其他的處理單元群G 1、G 2、 G 4、G 5也是朝上下方向排列各種的處理單元所構成。 此外，主機械臂機構1 6，如第3圖所示，在往上下 方向延續之筒狀導引1 7的內側，能往上下方向（Z方向 )自由升降地裝備主機械臂1 8。筒狀的導軌1 7連接到 馬達（未圖示）的旋轉軸，利用此馬達的旋轉驅動力，以 旋轉軸爲中心而與主機械臂1 8成一體地旋轉，由於此因 主機械臂1 8成爲能依0方向自由旋轉。然而，筒狀的導 軌1 7連接到利用前述馬達旋轉的其他旋轉軸（未圖示） 所構成亦可。如上述過，朝上下方向驅動主機械臂1 8而 能各處理單元群G 1〜G 5的各處理單元之任意地使其存 取晶圓W。 從卡匣站1 1經由第3處理單元群G 3的待機單元（ E X T )取得晶圓W之主機械臂機構1 6，首先將此晶圓 W送入到第3處理單元群G 3的附著單元（AD)，進行 疏水化處理。接著從附著單元（A D )送出晶圓W，經由 冷却單元（C〇L )加以冷却處理。 本紙張尺度通用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^ ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7 五、發明説明（6 ) 經冷却處理過的晶圓W利用主機械臂機構1 6 ，對向 定位且送入到第1處理單元群G 1 (或是第2處理單元群 G 2 )的抗蝕液塗敷處理裝置（C〇τ )。 塗上抗蝕液之晶圓W利用主機械臂機構1 6卸載，經 由第4處理單元群G 4轉交到界面部1 3。 此第4處理單元群G 4，例如如第3圖所示，從上到 下依序排列冷却單元（C〇L )、待機•冷却單元（ E X T · C〇L )、待機單元（E X T )、冷却單元（ C〇L)、2個前置加熱單元（PREBAKE)、及2 個後置加熱單元（P〇B A K E )等所構成。 從抗蝕液塗敷單元（C〇T )所取出之晶圓W，首先 插入到前置加熱單元（P R E B A K E )，從抗蝕液中飛 散溶劑（thinner )後加以乾燥。然而，此乾燥例如以減壓 法亦可。即是將晶圚W插入到前置加熱單元（ P R E B A K E )或是另設之容室內，將晶圓W周邊減壓 而除去溶劑（將抗蝕液乾燥）之方法亦可。 其次，此晶圓W以冷却單元（C〇L )加以冷却後， 經由待機單元（E X T )轉交到設在前述界面部1 3之第 2次機械臂機構1 9。 收到晶圓W之第2次機械臂機構1 9將所收到的晶圓 W依序存在在從緩卡匣b U C R內。此界面部1 3將前述 晶圓W轉交到曝光裝置（未圖示），收取曝光處理後的晶 圓W。· 曝光後的晶圓W利用周邊曝光裝置（w E E )曝光晶 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7 五、發明説明（7 ) 圓周邊部（例如1 m m )的不要抗飩膜後，經過與前述相 反的動作轉交到主機械臂機構1 6 ;此主機械臂機構1 6 將曝光後的晶圓W插入到後置曝光加熱單元（ B E B A K E )加以加熱處理過後，利用冷却單元（ C〇L )以一定溫度加以冷却處理。其後插入到顯像裝置 (D E V )使其進行顯像。顯像處理後的晶圓w送入到任 一的後置加熱單元（P〇B A K E )加以加熱乾燥過後， 經由此第3處理單元群G 3的待機單元（E X T )運送到 卡匣站1 1 ，存放在卡匣C R內。 然而，第5處理單元群G 5係選擇性設置，此例則與 前述第4處理單元群G 4同樣地被構成。另外，此第5處 理單元群G 5以導軌2 0可移動地保持著，使其容易對前 述主機械臂機構1 6及第1〜第4處理單元群G1〜G4 進行維修處理。 當本發明的基板處理裝置用於第1〜第3圖所示的塗 敷顯像系統時，因各處理單元以上下排列式所構成所以能 使裝置的設置面積顯著減少。 其次，參照第4圖及第5圖說明本發明的基板處理裝 置。 第4圖係將卡匣站1 1的一部分剖開而顯示本實施形 態的卡匣取蓋機構之部分透視斷面圖。第5圖係顯示卡匣 C R及蓋之分解斜視圖。如第4圖所示，卡匣站1 1的運 艾室2 1利用第1垂直隔間板2 2隔開淸淨室氣相。垂直 隔間板2 2例如以壓克力板或不銹鋼板製成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 501169 A7 B7 五、發明説明（8 ) 在第1垂直隔間板2 2例如形成有4個開口 2 3 a。 此開口 2 3 a內部設有取蓋機構2 4。取蓋機構2 4在通 路2 7內從卡匣CR取下蓋4 2。從卡匣CR所取下之蓋 4 2暫時存放在設於開口 2 3 a的下部之蓋存放部2 3 b 。.另外，設在第1垂直隔間板2 2之開口 2 3 a當非處理 時利用閘開板6 1加以封閉。此閘門板6 1朝Z軸方向移 動就能封閉或開放開口 2 3 a。 另外，卡匣站1 1與過程處理部1 2以第2垂直隔間 板2 6陽開。在此第2垂直隔間板2 6設有開口 2 6 a。 卡匣站1 1內的氣相與過程處理部1 2的氣相以此開口 2 6 a連通。在第1及第2垂直隔間板2 2與2 6之間的 空間形成有通到此開口之通路2 7。然而，在第2垂直隔 間板2 6安裝有開關閘門2 8。此閘門2 8朝Z軸方向移 動就能封閉或開放第2垂直隔間板2 6的開口 2 6 a。當 卡匣CR在載置台1 4上時開放，卡匣CR不在載置台 1 4上時則封閉。通路2 7的橫斷面積比卡匣C R的開口 還稍大。 在通路2 7設有第1輔機械臂機構1 5。第1輔機械 臂機構具備能使機械臂1 5 a往X軸方向之X軸驅動機構 3 1、及能使機械臂1 5 a往Y軸方向移動之γ軸驅動機 構3 0、及能使機械臂往Z軸方向移動之Z軸驅動機構 3 2、及能使機械臂1 5 a繞Z軸旋轉之旋轉驅動機構。 此第1輔機械臂機構1 5經由通路2 3 a從卡匣C R中取 出晶圓W，再經由第2垂直隔間板2 6的開口 2 6 a將晶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2i〇x297公釐） ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂 線肩 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 501169 A 7 __B7 _ 五、發明説明（9 ) 圓W送入到過程處理部1 2。 如第5圖所示，在卡匣C R的前面部形成有開口 4 1 ，經由此開口，晶圓W從卡匣C R出入。此開口 4 1覆蓋 著蓋4 2 ，卡匣C R內成爲氣密狀態。例如，在卡匣C R 的內部充塡如N 2氣體的非氧化性氣體。另外，例如在載置 台1 4設置N 2氣體充塡手段，將N 2氣體等補充裝塡到取 出晶圓W之卡匣C R內亦可。另外，在蓋4 2的表面側形 成有2個鍵孔4 3。2個鍵孔4 3的位置依據S Ε Μ I規 格被規格化。 如第4圖所示，在卡匣載置台1 4其運送室2 1側的 側面，朝Υ軸方向並排設置4個蓋存放部2 3 b。蓋存放 部2 3 b係用來存取從卡匣C R所取下的蓋4 2之空間。 此外，設在運送室2 1的4個取蓋機構2 4係對應於 蓋存放部2 3 b而設置，從卡匣C R取下蓋4 2而存放在 下方的蓋存放部2 3 b。 其次，參照第7圖及第9圖說明取蓋機構。 取蓋機構2 4具備閘門板6 1。閘門板6 1利用支承 構件加以支承著。在此支承構件6 2設有朝Z軸方向貫通 的2個開口（未圖示）。例如在此2個開口安裝螺帽6 3 。螺帽6 3旋鎖在升降機構6 4的滾珠螺桿6 5，滾珠螺 桿6 5的齒輪6 6與馬達6 7的驅動齒輪6 8嚙合。另外 ，例如在支承構件6 2的左右兩端部安裝螺帽（未圖示） ，各螺帽（未圖示）連結到各別的連線導軌6 9。利用此 升降機構6 4，閘門板6 1往軸方向移動從通路2 3 a到 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 19 _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
501169 A7 B7 五、發明説明（10 ) 蓋存放部2 3 b的空間。然而升降機構6 4也能採用氣缸 。另外，與設在閘門板6 1兩端之2個支承構件6 2相對 應的各個升降機構6 4利用控制器9 3被同步控制。進而 ，閘門板6 1被構成爲當利用X軸驅動機構9 9取下蓋 4. 2時能往X軸方向移動。 另外，卡匣C R載置在往X軸方向滑動載置台1 4之 滑動座9 1上。 第8圖係省略掉取蓋機構所顯示卡匣取蓋動作之圖。 取蓋機構2 4的閘門板6 1利用Z軸驅動機構（未圖示） 朝X軸方向些微移動而將蓋4 2從卡匣CR取下，進而保 持蓋4 2而朝Z軸方向驅動，卡匣C R的蓋4 2移往箭頭 的蓋存放部2 3 b。 第9圖係表示分別偵出卡匣的前端部或是從露出卡匣 的晶圓之光學感測器9 7 a、9 7 b及直到使卡匣移動到 取蓋位置之滑動座9 1的構成之部件構成圖。 在卡匣載置台1 4設置連結到X軸氣缸9 2 a的氣缸 桿9 2 b之可動基台9 2。可動基台9 2固定配置在滑動 座9 1的下面，因成成一體構成滑動座91及可動基台 9 2。在滑動座9 1的上面中央安裝突起1 4 a。當卡匣 C R載置在滑動座9 1的上面則突起1 4 a卡合到卡匣 C R的底部凹處（未圖不）而卡匣C R被定位。在此突起 1 4 a的附近，與各突起1 4 a相對應而配置有感測器 1 4 b，利用該接觸式感測器功能，當卡匣c R載置到滑 動座9 1的上面則偵出卡匣C R，而將該偵出訊號傳送到 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ΤτΓ. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 % 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7 五、發明説明（n) 控制器9 3。另外，如第1 〇圖的平面圖所示，在可動基 台9 2的兩側面，與可動基台9 2隔著一定的間隔分別設 置直線導軌1 0 1 ，在該間隔中夾入滾珠構件1 〇 2。利 用此直線導軌1 0 1及滾珠構件1 〇 2，可動基台9 2及 滑動座9 1能朝X軸方向直線移動。 在可動基台9 2的下面安裝切換驅動片9 4。切換驅 動片隨著可動基台9 2的X軸方向直線移動而移動，在該 驅動片9 4的行進路，例如固定在直線導軌1 〇 1而配置 推力切換機械式閥9 5。此推力換機械式閥9 5由拉桿切 換閥9 5 a及切換拉桿9 5 b所形成。此拉桿切換閥9 5 a豎立設置切換拉桿9 5 b，從切換拉桿9 5 b的軸方向 施力而切換拉桿9 5 b傾倒。本實施形態則是切換驅動片 9 4朝X軸方向直線移動直到一定的位置則切換驅動片 9 4抵接到切換拉桿9 5 b。然後，經由此抵接從切換拉 桿9 5 b的橫方向施力而傾倒切換拉桿9 5 b，切換X軸 氣缸9 2 b所形成的推力。此處，一定的位置係指光學感 測器的蓋4 2與垂直隔間板2 2例如接近到5〜2 0 m m 的位置，更理想的是接近到1 0〜1 5 m m的位置。此位 置係表示蓋4 2與垂直隔間板2 2的相互間距離不致造成 夾到作業者手指的危險性之位置。然而，以下的說明中， 將卡匣C R與不致夾到作業者手指程度之垂直隔間板2 2 其兩者的相對位置稱爲「第2位置」。 光學感測器9 7 a、9 7 b將在第3位置之卡匣C R 的前面部分別設置在閘部件6 0的上下使其橫切該光軸。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 14 _ 501169 A7 B7 五、發明説明（12 ) 然而，「第3位置」係指從卡匣c r取下蓋4 2的卡匣 C R位置及從取下蓋4 2之卡匣C R取出晶圓W時的卡匣 位置。另外’ 「第1位置」係指卡匣c R載在滑動座9 1 的上面加以定位時最初的卡匣C R位置。 控制器9根據感測器1 4 b及從光學感測器9 7 a、 9 7 b所送出之偵出資訊分別控制X軸氣缸9 2 a及取蓋 機構2 4其馬達6 6的動作。 閘門板6 1具有一對的鍵6 1 a ，鍵6 1 a分別支承 在0 >旋轉驅動機構（未圖示）。各鍵6 i a安裝在閘門 板6 1使其分別對應於第5圖所示卡匣蓋4 2的鍵孔4 3 。鍵6 1 a插入到鍵孔4 3，使鍵6 1 a 0，旋轉則鎖 止片（未圖示）落入到鍵孔4 3的鍵溝，卡匣蓋4 2鎖止 在閘門板6 1。 其次，參照第6圖說明爲使滑動座9 1作動之壓力流 體迴路作爲1個實施例。 迴路2 0 0係利用氣體供應源2 0 2的氣體作爲壓力 流體之迴路；具備使卡匣C R抵接到也是卡匣站1 1的開 口部位之開口 2 3 a的卡合動作之卡合迴路、及使卡匣 C R分離的分離動作之分離迴路。 首先說明卡合迴路。管線2 2 0的一端連通到推力切 換機械閥9 5其拉桿切換閥9 5 a的側接口，他端側在大 氣中開放。拉桿切換閥9 5 a的下流側管線2 2 1連通到 壓力切換閥2 1 2的滑動主接口。壓力切換閥2 1 2的側 接口分別連接2個上流側管線2 2 4、2 2 6及1個下流 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ ) 5 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7___ 五、發明説明（13 ) 側管線2 2 9。壓力切換閥212的下流側管線229連 通到X軸氣缸9 2 a其一方側的內室。在此管線2 2 9設 置附逆止閥的速度控制閥2 1 4。在一方的上流側管線 2 2 4設置持有控壓迴路之壓力（驅動壓）控制閥2 0 8 ，在他方的上流側管線2 2 6設寘附逆止閥的速度控制閥 2 10。 壓力控制閥2 0 8的上流側管線2 2 3及速度控制閥 2 1 〇的上流側管線2 2 5在上流側合流或管線2 2 2。 相反地則是從管線2 2 2分歧爲2個管線2 2 3、2 2 5 。此合流管線2 2 2連通到電磁閥2 0 6的側接口。進而 ，電磁閥2 0 6的其他側接口連接到排氣管線2 3 0。此 排氣管線2 3 0成爲與X軸氣缸9 5 a的驅動側相反側之 排氣路徑。另外，電磁閥2 0 6的其他側接口經由管線 2 2 8連通到空氣供應源2 0 2。空氣供應源2 0 2的驅 動電路（未圖示）連接到控制器9 3的輸出部，空氣供應 源2 0 2的動作依照從預定的初期輸入條件及各部感測器 的偵出資訊加以控制。 拉桿切換閥9 5 a的內部迴路以拉桿9 5 b切換，當 拉桿9 5 b直立時壓力切換閥2 1 2的接口連通到管線 2 2 4 ’較弱壓力（例如，〇 · 〇 5 Μ P a程度）的空氣 供應到X軸氣缸9 2 a的內室。此外，當拉桿9 5 b傾倒 時壓力切換閥2 1 2的接口連通到管線2 2 6 ，較強壓力 (例如’ 0 · 3 6 Μ P a程度）的空氣供應到X軸氣缸 9 2 a的內室。電磁閥2 〇 6當電壓施加到電磁閥驅動 本"ϊϋ尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） ~ " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線一 501169 A7 B7 五、發明説明（彳4 ) 2 0 4的管線2 3 4則電磁活門2 0 6 b連接到接口，當 電壓施加到管線2 3 7則其他的電磁活門2 〇 6 a連接到 接口。 其次，說明分離電路。利用控制器9 3控制動作之電 磁閥驅動器2 0 4經由管線2 3 4切換到電磁閥2 0 6的 電磁活門2 0 6 b而使其連通到接口。此電磁閥2 〇 6的 電磁活門2 0 6 b的其他接口經由管線2 3 5再經過附逆 止閥的速度控制閥2 3 2而連通到管線2 3 6。進而管線 2 3 6連通到X軸氣缸9 2 a的他方內室。 上述塗敷顯像處理系統1設置在形成有向下吹送淸淨 空氣之淸淨室內。利用第1 1圖及第1 2圖說明系統1內 的淸淨空氣流。如第1 1圖所示，也在系統1的內部獨自 形成有向下吹送淸淨空氣；因此提高處理系統1各部的淸 淨度。在系統1設置卡匣站1 1、過程處理部1 2及在界 面部1 3的上方設置空氣供應室1 1 1、 1 1 2及1 1 3 。在各空氣供應室1 1 1、 1 1 2及1 1 3的下面安裝持 有防塵功能之U L P A濾網1 1 4、1 1 5及1 1 6。 另外，如第1 2圖所示，在處理系統1的外部或背後 設置空調器1 2 1，空氣由此空調器1 2 1經過配管 1 2 2導入到各空氣供應室111、112及113，淸 淨的空氣由各空氣供應室的U L P A濾網1 1 4、 1 1 5 及11 6以向下吹送方式供應到各部11、 12及13。 此向下吹送的空氣經過多數個設在系統下部的適當處所之 通風孔1 2 3集中在底部的排氣口 1 2 4，從這個排氣 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 線·- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 17 _ 501169 A7 B7 五、發明説明（15) 1 2 4經過配管2 1 5回收到空調器1 2 1。 另外，過程處理部1 2則是在第1及第2組G 1、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) G 2的多段單元當中所被配置在下段之抗蝕劑塗敷單元（ COT). ( C〇T )的頂端面設置U L P A濾網1 2 6 •，從空調器1 2 1送來的空氣經過由配管1 2 2分歧之配 管1 2 7傳送到U L P A濾網1 2 6。在此配管1 2 7的 中途設置溫度•濕度調整器（未圖示）；適於抗餓劑塗敷 過程之一定溫度及濕度的淸淨空氣供應到抗鈾劑塗敷單元 (COT)、 （ C 〇 T )。然後，在 U L P A 濾網 1 2 6 的吹出側附近設置溫度•濕度感測器1 2 8 ;該感測器輸 出諸到該溫度•濕度調節器的控制部，以反饋方式能正確 控制淸淨空氣的溫度及濕度。 第1 1圖中，在面對各旋轉型處理單元（C 0 T )( D E V )的主機械臂機構1 6之側壁設置用來出入晶圓W 及運送機械臂之開口部D R。在各開口部D R安裝閘門（ 未圖示）使微粒子不致從各單元進入到主機械臂機構1 6 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 利用空調器1 2 1控制送往運送室2 1的空氣供應量 及排氣量；運送室2 1的內壓被設定爲比淸淨室的內壓還 高。由於此因，從淸淨室或卡匣C R的內部朝向運送室 2 1之氣流不致形成；此結果：微粒子不致侵入到運送室 2 1內。另外，過程處理部1 2的內壓被設定爲比運送室 2 1的內壓還更加提高。由於此因，從運送室2 1朝向過 程處理部1 2之氣流不致形成；此結果：微粒子不致侵入 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _化- 501169 A7 B7 五、發明説明（16 ) 到過程處理部1 2。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第14 (a)圖所示，卡匣CR載置在載置台14 止面而加以定位時最初的卡匣C R位置稱爲「第1位置」 。另外，如第1 5 ( c )圖及第1 8 ( i )圖所示，從卡 匣CR取下蓋4 2或是安裝蓋4 2時卡匣CR的位置以及 如第17 (g)圖及圖17 (h)圖所示，從取下蓋42 之卡匣C R中取出晶圓W時卡匣C R的位置稱爲「第3位 置」。卡匣C R是否在第1位置係根據感測器1 4 b所送 來的偵出資訊，控制器9 3進行判斷。另外，光學感測器 97a、 97b係爲了避免所待避之卡匣CR的蓋當上升 時與晶圓相互干涉，而偵出從卡匣C R中露出之晶圓W。 其次，參照第1 3〜1 9圖依照第1 3圖的流程圖說 明取蓋機構2 4的動作。 卡匣C R載置在載置台1 4之前，如第9圖所示，取 蓋機構2 4的閘門板6 1位於通路（隧道）2 3 a內。由 於此因，設在第1垂直隔間板2之開口 2 3 a利用閘門板 6 1封閉，運送室2 1內的氣相從淸淨室氣相中隔斷。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第1 4 ( a )圖所示，卡匣C R載置在滑動座9 1 的上面則突起1 4 a卡合到卡匣C R的底部凹處（未圖示 )，而卡匣C R被定位在第1位置（S 1 )。然後，從作 爲接觸式感測機功能之感測器1 4 b，指示卡匣運送開始 動作之訊號S 1 a傳送到控制器9 3。另外訊號S 1 a送 到控制器9 3則從控制器9 3對空氣供應源2 〇 2的空氣 供應指令訊號伋電磁閥驅動器2 0 4輸出接口切換訊號° -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 501169 A7 _______ B7__ 五、發明説明（17 ) 由於此因電磁閥2 0 6及壓力控制閥2 0 8分別作動，低 壓力空氣經由管線2 2 9供應到X軸氣缸9 2 a —方側的 內室’例如以9 N的較弱推進力，卡匣C R與滑動座9 1 一起開始前進（S2)。 如第1 4 ( b )圖所示，滑動座9 1以推力9 N移動 而卡匣C R從第1位置移動到第2位置，則切換驅動片9 4抵接到推力推換機械閥式9 5的切換拉桿9 5 b。由於 此因’切換拉桿9 5 b傾倒而切換機械式閥9 5。由於此 因’推力增加到7 0 N之推力增加訊號S 2 b輸入到X軸 氣缸9 2 a。具體上，切換第6圖所示的切換閥9 5 a的 電路’而管線2 2 1開通。由於此因，壓力切換閥2 1 2 的滑動頭移動到下方，而阻撕管線2 2 4，他方的管線 2 2 6開通，高壓力空氣經由管線2 2 6供應到氣體9 2 a —方側的內室，以較強推進力使卡匣c R前進（第1 3 圖的S 3 )。因而從夾到作業者手指的可能性較少的距離 才開始較強的推力推壓卡匣C R，所以微粒子不致侵入到 裝置內，也不致夾到作業者的手指而具有安全性。第1 9 圖係表不X軸方向其卡匣CR的位置與X軸氣缸9 2 a的 推力其兩者的關係之圖。然而，從第1位置到第2位置的 推力設爲9 N，不過並不侷限於此，理想的的5〜1 5 N 程度。另外，從第2位置到第3位置的推力設爲7 0 N， 不過並不侷限於此，理想的是2 0 N〜1 〇 0 N。 卡匣C R以此推力7 0 N前進到第3位置，卡匣蓋 4 2推接到閘門板6 1 ( S 4 )。第1 5 ( c )圖表示此 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T -線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -20- 501169 A7 B7 五、發明説明（18 ) 卡匣蓋4 2的推接狀態。 卡匣蓋4 2是否推接到閘門板6 1係經由接觸式感測 器9 7 a、9 7 b偵出卡匣蓋4 2已前進而進行判斷。接 觸式感測器97a、 97b偵出卡匣CR已前進到第3位 置則將偵出訊號S 4 a輸出到控制器9 3。當收到此訊號 S 4 b則真空保持部6 1 b以真空吸引吸持卡匣蓋4 2 ( 5 5 )。然而，此處已顯示根據感測器9 7 a、9 7 b的 偵出訊號進行位置的偵出及蓋4 2的吸持之情況，不過以 其他的感測器檢出卡合訊號進行蓋4 2的吸持。 此狀態，卡匣蓋4 2與閘門板6 1成一體化，鍵6 1 a成爲插入到鍵孔4 3的狀態。卡匣蓋4 2吸持在卡匣板 6 1 ，接著控制器9 3將訊號S 5 a輸出鍵6 1 a。收到 訊號S 5 a則鍵6 1 A以0 /方向旋轉，閘門板6 1鎖止 在卡匣蓋4 2 ，並且解除對卡匣蓋4 2的卡匣C R問鎖（ S 6 )。 如第1 5 ( d )圖所示，控制器9 3將後退訊號 S 6 a輸出到閘門板6 1的X軸驅動機構（未圖示）而使 閘門板6 1後退，卡匣蓋4 2從卡匣C R中分離（S 7 ) 。接著如第1 6 ( e )圖所不’控制器9 3將下降訊號 S 7 a輸出到升降機構6 4而與閘門板6 1 —起使蓋4 2 下降（S 8 )，將蓋4 2存放到存放室（下部開口） 2 3 b ( S 9 ) ° 第3位置因在通路（隧道）2 3 a內，所以卡匣CR 的內部與處理系統1的內部氣相連通。另外’利用卡匣 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -21 _ — — Γ —----f (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7 五、發明説明（19 ) C R，運送室2 1內的氣相從淸淨空氣相中隔斷，阻止微 粒子經由通路2 3 a侵入到處理系統1內。另外，由於在 滑動座9 1的中央部設置卡匣鈎鍵（未圖示），因而在處 理晶圓中無法從載置台1 4提起卡匣C R。因而能夠防止 作業者誤提起處理中的卡匣C R而中斷處理之事故。 如第1 6 ( f )圖所示，將第1輔機械臂機構1 5 a 插入到卡匣C R內而從卡匣C R中取出晶圓W ( S 1 〇 ) 。如第2 0圖所示，在第1輔機械臂機構1 5的機械臂 1 5 a ，能移動地安裝1對的定位用感測器1 5 b。此2 個感測器1 5 b當定位動作時前進到機械臂1 5 a的先端 。因而，從卡匣C R露出之晶圓W存在時，感測器1 5 b 衝突到所露出之晶圓W，而產生定位的誤動作，並且晶圓 W受到損傷。爲了避免此露出的晶圓W與感測器1 5 b的 相互干涉，而光學感測器9 7 a、9 7 b偵出從卡匣C R 中所露出的晶圓W，則收到該偵出訊號之控制器9 3發出 警報並且中斷定位動作。作業者檢查卡匣C R內的晶圓W ，將晶圓W修正成卡匣C R的正確位置。然後，按下重設 鈕而重新處理作業。 晶圓W從卡匣站1 1運送到過程處理部1 2且在過程 處理部1 2的各單元內進行處理，進而在曝光裝置進行曝 光處理，經處理完成後再度回送到卡匣站1 1的卡匣C R 內。 經此過程完成卡匣C R內全部晶圓W的處理，則如第 1 7 ( h )圖所示，控制器9 3將上升訊號S 1 2 a輸出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- ^01169 A7 B7 五、發明説明（20 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 到升降機構6 4而與閘門板一起使蓋4 2上升移動（ s 1 1 )。然後，如第1 8 ( i )圖所示，控制器9 3將 前進訊號s 1 3 a輸出到X軸驅動機構（未圖示）而使閘 門板61前進（S12)。由於此因，蓋42卡進卡匣 c R的開口。 進而，將解鎖訊號s 1 4 a輸出到鍵6 1 a而回轉鍵 6 1 a使閘門板6 1與蓋4 2的鎖止解除，將鍵6 1 a解 鎖（S 1 3 )。然後，控制器9 3將吸引停止訊號 S 1 5 a輸出到真空保持部6 1 b而停止真空吸引，解除 蓋4 2的吸持（S 1 4 )。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第1 8 ( j )圖所示，控制器9 3將後退訊號 S 1 6輸出到X軸氣缸9 2 a。具體上，開放指令訊號從 控制器9 3送出到電磁活門驅動器2 0 4，而開通電磁閥 2 0 6的其他接口。具體上，依據接口切換訊號2 3 4切 換到電磁活門。由於此因，空氣經由管線2 3 6供應到氣 缸9 2 a的他方內室，卡匣CR後退，而脫離系統1。然 後，卡匣C R從第3位置後退到第1位置（S 1 5 )。然 而，滑動座9 1回到第1位置同時壓力空氣供應到拉桿切 換閥9 5的接口，拉桿9 5 b從傾倒姿勢回到直立姿勢。 然後，從卡匣站1 1運出卡匣C R。然而，從傾倒姿勢回 到直立姿勢之拉桿9 5 b利用彈簧力等恢復直立姿勢之復 元力亦可。 依據上述裝置，因非處理時間閘門板6 1封閉通路 2 3 a ’處理時卡匣C R阻隔通路2 3 a ，所以微粒子不 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 501169 A7 B7 五、發明説明（21 ) 易淸淨室之外的路徑侵入到系統內部。 另外，因在卡匣C R的前端插入到通路2 3 a中的狀 態下從卡匣C R中取出晶圓，所以能夠完全防止作業者不 經意從卡匣站1 4上提起處理中的卡匣C R之困擾。 進而，直到會有夾到作業者手指的危險性之位置爲止 ，當卡匣C R前進之際使推力降低，在沒有危險性的位置 才提高推力。由於此因，直到會有夾到手指等危險性的位 置爲止維持在未滿一定的推力運送卡匣C R，且減少夾到 手指的危險性。 (第2實施形態） 第2 1圖及第2 2圖係爲用來說明本發明第2實施形 態的基板處理裝置之圖。然而，此第2實施形態與上述第 1實施形態共通的部位則省略說明，相同的構成附註相同 的圖號。 第2 1圖係爲剖開本實施形態其基板處理裝置的卡匣 站一部分而顯示取蓋機構之透視斷面圖。與第1實施形態 不同之處係爲也可在可動基台9 2的移動路徑中比推力切 換機械式閥9 5的配置位置還離開垂直隔間板2 2之側加 設置有推力切換機械式閥2 0 1。此推力切換機械式閥 2 0 1與推力切換機械室閥95同樣地，由拉桿切換閥 2 0 1 a及切換拉桿2 0 1 b所形成，切換拉桿2 0 1 b 經由驅動片9 4往X軸方向的直線移動而到達一定的位置 則進行切換。此處，一定的位置係指卡匣C R的蓋4 2與 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、言 發：
501169 A7 B7 五、發明説明（22 ) — 垂直隔間板2 2的間隔例如爲2 0 m m〜5 0 m m程度的 k置’理想的是2 5 m m〜3 0 m m程度。此距離係表示 即使作業者的手指夾在蓋4 2與垂直隔間板2 2的間隔也 能脫開之距離，能夠依使用狀況等適當地變更該間隔的寬 度。 第2 2圖表示配置號號9 5及2 0 1的2個推力切換 機械式閥時其X軸方向的位置與卡匣C R的推力其兩者的 關係。 如第2 2圖所示，經由推力切換機械式閥9 5切換推 力後的動作與第1實施形態的第1 9圖相同。本實施形態 則是進而卡匣C R接近垂直隔間板2 2，即是卡匣C R與 垂直隔間板2 2夾到作業者的手指也能脫開之距離爲止例 如推力增強到4 0 N ;經由機械式閥2 0 1切換推力後的 推力減弱爲9 N。其次在不致夾到作業者手指的位置，例 如在1 0〜1 5 m m的位置作動機械式閥9 5 (第2位置 )，例如以7 0 N的抵接到隔間板2 2。因此，更加提高 作業的安全性，並且更加提高閘門板6 1的取下卡匣蓋 4 2的確實性。另外從不致夾到手指程度的距離不開始以 較高的推力前進卡匣座9 1 ，因而能在短時間內進行卡匣 C R的送入動作。然而，直到經由機械式閥2 0 1切換推 力爲止的推力設爲4 0 N，不過並不侷限於此，理想的是 2 0 N〜1 〇 Ό N。另外，從經由機械式閥2 0 1切換推 力後至到第2位置爲止的推力設爲9 N，不過並不侷限於 此，理想的是5〜1 5 N程度◦另外，從第2位置到第3 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 25 _ — l·!----,1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7 五、發明説明（23 ) 位置的推力設爲7 Ο N，不過並不侷限於此，理想的是 2 0 〜1 〇 〇 N。 —— rl·——If (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明並不侷限於上述實施形態。第2 3圖表示本發 明的變形例。第2 3圖係表示卡匣C R其X軸方向的位置 與加諸到X軸氣缸9 2 a的推力其兩者的關係之圖。其他 的構成則與第1實施形態相同。與第1實施形態不同處係 在卡匣C R抵接到閘門板6 1的位置提高推力。由於此因 ’由於卡匣C R以足夠之力推接到閘門板6 1 ，因而提高 作業安全性，並且能夠與推接到閘門板6 1之力無關係地 設定夾到作業者手指的領域之力。因此，能更提高作業的 安全性。第2 3圖所示的情況，不需要機械式閥9 5。 -線 然而，本實施形態所示的取蓋機構當然也能用於此種 塗敷顯像處理系統以外的裝置。例如不只是從淸淨室送入 到卡匣時，從淸淨室送入或送出其他的處理室時或在2個 處理室之間送入或送出時等，在希望阻斷的2個領域之間 經由開口進行晶圓W的送入或送出時等都能適用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，在不脫離本發明的要旨之範圍內種種變更皆爲 可能。 然而，本實施形態則是使用晶圓作爲基板，不過除此 之外的基板，例如L C D基板等也同樣地能適用。 另外，本實施形態，處理時以卡匣C R阻隔設在垂直 隔間板2 2的開口 2 3 a而將淸淨空氣相從處理系統1內 的氣相中阻隔，不過並不一定要此樣的阻隔，只要以經由 處理系統1內的向下吹送所形成之淸淨空氣相的正壓就能 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） 501169 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（24 ) 防止微粒子等從淸淨氣相侵入到處理系統1內。進而，在 可動基台9 2的下面設置切換驅動片9 4，不過當軸X軸 方向驅動滑動座9 1等、卡匣CR時若爲與卡匣CR —起 朝X軸方向移動之構成則設置成任何的構成皆可。 進而，取蓋機構的構成並不侷限於上述的構成。例如 利用氣缸加以驅動之構成或不只朝Z軸方向驅動也能朝X 軸方向驅動之構成皆可。進而，以X軸爲中心軸加以旋轉 而從取蓋位置移動到蓋存放位置之構成亦可。 另外，上述實施形態則是表示至少以2階段的階段狀 使推力變化之情況，不過並不侷限於此。若在比第2位置 還接近運送室2 1的位置維持一定的推力則例如第2 4圖 所示，連續性使推力變化且又以3階段或4階段的階段狀 使推力變化亦可。 另外，是否在第3位置係以光學感測器9 7 a、9 7 b偵出，不過這些光學感測器9 7 a、9 7 b不設置亦可 〇 另外，取蓋動作係表示使閘門板6 1從取蓋位置往後 退因而取下蓋4 2之情況，不過並不限於此。例如使卡匣 C R從取蓋位置往後退，比第3位置稍微離開開口 2 3 a 而定位卡匣的狀態下使蓋4 2朝Z軸方向移動而使其存放 在蓋存部2 3 b亦可。此情況，在閘部6 0的上下與光學 感測器9 7 a、9 7 b並排進而設置新的光學感測器使其 光軸橫切存放蓋4 2之際其卡匣C R的前端部較爲理想。 利用此新的光學感測器能夠偵出卡匣C R在離開開口 2 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） -27- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線一 501169 A7 B7 五、發明説明（25 ) a的位置。 另外，如第2 5圖所示，將取蓋機構2 4的閘門板 6 1傾斜亦可。具體上，取蓋機構2 4的閘門6 1通常是 與安裝在卡匣C R之蓋4 2成爲平行而相互對面著，不過 將閘門板6 1傾斜使閘門板6 1與蓋4 2的間隔越往上部 就越縮窄亦可。例如將閘門板6 1傾斜使閘門板6 1與蓋 的間隔在上部與下部之間產生5 m m程度的差。閘門板 6 1因以下部支承著，所以將閘門板6 1傾斜使閘門板 6 1與蓋4 2的間隔越往上部越縮窄，而當閘門板6 1與 蓋4 2抵接之際結果是均等地從閘門板6 1將力施加到蓋 4 2。由於此因，閘門板6 1與蓋4 2完全密接，而能順 暢進行鍵6 1 a的旋轉動所形成的開關或鍵6 1 a的插拔 〇 進而，如第2 6圖所示，在比卡匣C R的開口面還例 如1 m m程度內側的位置能裝脫蓋4 2，並且在閘門板 6 1設置凸部6 1 a。然後當閘門板6 1與蓋4 2抵接之 際此凸部6 1 a插入到卡匣C R內。由於此因，閘門板 6 1與蓋4 2抵接之際結果是均等地從閘門板6 1將力施 加到蓋4 2，閘門板6 1與蓋4 2完全密接，而能順暢地 進行鍵6 1 a的旋動所形成的開關或鍵6 1 a的插拔。 另外，上述過的實施形態則是控制卡匣C R側的推力 ，不過控制取蓋機構2 4的推力亦可。例如第2位置與第 3位置之間例如利用X軸驅動機構9 9控制取蓋機構2 4 的推力亦可。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ———丨丨——If (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 501169 A7 B7 五、發明説明（26 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如以上所詳述過，依據本發明，當晶圓送入到處理系 統內之際，防止手指夾在卡匣與隔間板之間，能確實且安 全地送入晶圓。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係爲表示本發明一實施形態其基板處理裝置的 全體構成之圖。 第2圖係爲同上實施形態的基板處理裝置之正面圖。 第3圖係爲同上實施形態的基板處理裝置之背面圖。 第4圖係爲剖開同上實施形態其卡匣站的一部分而顯 示卡匣取蓋機構之部分透視斷面圖。 第5圖係爲表示同上實施形態其卡匣及卡匣蓋之分解 斜示圖。 第6圖係爲表示用來使同上實施形態的滑動板作動之 壓力流體迴路的構成之圖。 第7圖係爲表示同上實施形態的卡匣取下機構之斜示 圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第8圖係爲表示同上實施形態的卡匣取下動作之斜示 圖。 第9圖係爲表示同上實施形態其卡匣取下機構的控制 機構之部件斷面圖。 第1 0圖係爲同上實施形態其卡匣站及卡匣取下機構 之上面圖。 第1 1圖係爲表示同上實施形態其基板處理裝置內的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇'〆297公菱） -29- 501169 A7 _____ B7 ___ 五、發明説明（27 ) 淸淨空氣流之內部透視圖。 第1 2圖係爲表示同上實施形態其基板處理裝置內白勺 淸淨空氣流之內部透視圖。 第1 3圖係爲表示同上實施形態其卡匣取下動作的流 程义@。薇b) 第1 爲同上實施形態其卡匣取下動作之過程斷 面圖。暴 第1 同上實施形態其卡匣取下動作之過程斷 面圖。 /Si義^ j (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1 爲同上實施形態其卡匣取下動作之過程斷 面圖。冴臀 第1 同上實施形態其卡匣取下動作之過程斷 面圖。 ψΆ:、. mnj) 第1 8 Μ係爲同上實施形態其卡匣取下動作之過程斷 V Λ. % \ 面圖。 第1 9圖係爲表示實施形態其卡匣存取動作中卡匣X 軸方向的位置與推力其兩者的關係之圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2 0圖係爲表示同上實施形態其從卡匣內露出的晶 圓與輔機械臂的定位感測器相互干涉時之平面圖。 第2 1圖係爲剖開本發明第2實施形態其基板處理裝 置的卡匣站一部分而顯示卡匣取下機構之透視斷面圖。 第2 2圖係爲表示同上實施形態其X軸方向的位置與 卡匣的推力其兩者的關係之圖。 第2 3圖係爲表示本發明的變形例其X軸方向的位置 -30- 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 501169 A7 B7 五、發明説明（28 ) 與卡匣的推力其兩者的關係之圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第2 4圖係爲表示本發明其他實施形態其X軸方向的 位置與卡匣的推力其兩者的關係之圖。 第2 5圖係爲本發明其他實施形態其卡匣站及卡匣取 下機構之說明圖。 第2 6圖係爲本發明另外實施形態其卡匣站及卡匣取 下機構之說明圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 號說明〕 1 塗敷顯像處理系統 1 1 卡匣站 1 2 過程處理部 1 3 界面部 1 4 載置台 1 4 a 突起 1 4 b 感測器 1 5 第1輔機械臂機構 1 5 a 機械臂 1 5 b 定位感測器 1 6 主機械臂機構 1 7 導軌 1 8 主機械臂 1 9 第2輔機械臂機構 2 1 運送室 ^紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格（210X297公釐） 31 - 501169 A7 B7 五、發明説明（29 2 2 2 3a 2 3b 2 4 2 5 2 6 2 7 2 8 3 0 3 1 3 2 3 3 4 1 4 2 4 3 6 0 6 1 6 2 6 3 6 4 垂直隔間板 開口 蓋存放部 取蓋機構 開關機構 第2垂直隔間板 通路 開關閘門 Y軸驅動機構 X軸驅動機構 Z軸驅動機構 Θ軸驅動機構 開口 蓋 鍵孔 閘部件 閘門板 支承構件 螺帽 升降機構 滾珠螺桿 齒輪 馬達 驅動齒輪 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 7 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 32- 501169 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（30 ) 6 9 螺帽 9 1 滑動座 9 2 可動基台 9 2a Y軸氣缸 92b 氣缸桿 9 3 控制器 94 切換驅動片 95 推力切換機械式閥 9 5a 拉桿切換閥 95b 切換拉桿 9 7 a、9 7 b 光學感測器 101 直導導軌 102 滾珠構件 1 1 1、 1 1 2、1 1 3 空氣供應室 1 1 4、1 1 5、1 1 6 U L P A 濾網 121 空調器 12 2 配管 123 通風孔 124 排氣口 12 5 配管 12 6 U L P A 濾網 12 7 配管 12 8 溫度•濕度感測器 2 0 0 迴路 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 33 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 501169 A7 B7 五、發明説明（31 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 〇 2 空 氣 供 應 源 2 〇 4 電 磁 線 驅 動器 2 〇 6 電 磁 閥 2 〇 8 壓 力 控 制 閥 2 1 0 速 度 控 制 閥 2 1 2 壓 力 切 換 閥 2 1 4 速 度 控 制 閥 2 2 0 管 線 2 2 1 下 流 側 管 線 2 2 2 管 線 2 2 3 管 線 2 2 4 管 線 2 2 5 管 線 2 2 6 管 線 2 2 8 管 線 2 2 9 管 線 2 3 0 速 度 控 制 閥 2 3 2 速 度 控 制 閥 2 3 4 管 線 2 3 5 管 線 2 3 6 管 線 2 3 7 管 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 34 _