TW497168B

TW497168B - Treatment solution supply apparatus and treatment solution supply method

Info

Publication number: TW497168B
Application number: TW090107081A
Authority: TW
Inventors: Akihiro Fujimoto; Kosuke Yoshihara; Masahiro Enomoto
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2000-03-27
Filing date: 2001-03-26
Publication date: 2002-08-01
Also published as: KR100583089B1; KR20010090572A; JP3706294B2; US6578772B2; JP2001269608A; US20010025890A1

Description

五、發明說明（1 ) 【發明之技術領域】本發明係有關於-種用以對基板上供給處理液之處理液供給裝置及其方法。【發明之背景】以往’舉例言之’對晶圓w等基板供給光阻液之光阻液供給裝置係藉栗而將處理液由收容處理液之容器輸送至光阻液噴嘴，並由光阻液噴嘴吐出預定量而進行光阻液之供給者。

由於上述之光阻液供給裝置採用了對用以收容光阻液之谷益达入氣體而將容器内之光阻液加壓以供給光阻液之方法，故因光阻液之加壓而容易產生氣泡。-旦對晶圓W 吐出上述含有氣泡之光阻液，光阻液將無法均勾擴散於晶圓W之表面。口此為it產生上述之氣泡’ __種對光阻液使用過遽器以除去氣泡之方法亦在考量之列。然而，該方法㈣可輕易去除已明顯存在之氣泡，但經多次吐出程序而逐漸形成之氣泡則非常難P去除。【發明之概要】本發明係為解決上述問題而設計者，其目的在提供一種可有效去除氣泡之處理液供給裝置及處理液供給方法。本發明之處理液供給裝置係用以對基板上供給處理液者，包含有：一吐出喷嘴，係用以對該基板供給處理液者，· 一容器，係用以收容該處理液者；一供給配管，係用以連結該吐出喷嘴與該容器者；一泵，係配設於該供給配管 497168

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

五、發明說明（2 ) 一泵驅動機構，係用以控制該泵之運轉者；一循環配管，係鳊自該谷益與該泵間之配管分岐，另一端則配設於該泵者，一過濾益，配設於該供給配管中途且位於該循環配管之一端與另一端間，係用以過濾該處理液以去除異物者；一排放配管，係用以將已藉該過濾器加以過濾並含有異物之處理液排出者；及，一控制閥，配設於該排放配管内’係用以控制由該過濾器所排出之處理液流量者。本發明之處理液供給方法係用以對基板上供給處理液者，包含有：一準備程序，係準備下列各項者：一吐出噴嘴，係用以對該基板供給處理液者；一容器，係用以收容該處理液者；一供給配管，係用以連結該吐出噴嘴與該容器者；一泵，係配設於該供給配管者；一泵驅動機構，係用以控制該粟之運轉者；一循環配管，係一端自該容器與該泵間之配管分岐，另一端則配設於該泵者；一過濾器，配設於該供給配管中途且位於該循環配管之一端與另一端間’係用以過濾該處理液以去除異物者；一排放配管，係用以將已藉該過濾、器.加以過渡並含有異物之處理液排出者；及，一控制閥，配設於該排放配管内，係用以控制由該過濾器所排出之處理液流量者；一吸入程序，係將處理液由該容器吸入該泵内者；以及，一吐出程序，係朝該吐出喷嘴吐出業經吸入該泵内之處理液，並使處理液循環於該循環配管中，以藉該過濾器而將處理液中至少一部分之氣泡分離者。又，上述之異物不僅包含懸濁粒狀物，亦包含光阻液本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5- I I---· I--— II I ^ · I I I----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168 A7 _B7 五、發明說明（3 ) 中所含之氣泡。根據本發明，由於處理液之一部分循環於循環配管内而進行液供給，故處理液之一部分將再度通過過濾器而自吐出噴嘴吐出。因此，可有效地去除存在於處理液中之異物。且，可於一般之吐出程序中，.將處理液所含之氣泡等異物蓄積於過濾器，並進行簡便之排氣控制。【圖式之簡單說明】第1圖係顯示具有本發明一實施例之處理液供給裝置之塗佈顯影處理系統之整體構造者。第2圖係第1圖之塗佈顯影處理系統之正面圖。第3圖係第1圖之塗佈顯影處理系統之背面圖。第4圖係顯示本發明一實施例之光阻液塗佈單元構造之縱截面圖。第5圖係顯示第4圖之光阻液塗佈單元（c〇丁）構造之平面圖。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製第6(a)圖係顯示誃實施例之光阻液供給裝置之處理液供給系統之模式圖，第6(b)圖係顯示氣動閥之構造者，第 6(c)圖係顯示氣動閥之構造者。第7圖係顯示該實施例之泵進行吸入動作時之造者。、第8圖係顯示該實施例之泵進行吐出動作時之造者。 '' 胃第9圖係顯示該實施例之泵室内進行吸入動作時之 497168 之 A7 B7 五、發明說明（4 ) 細構造者。第10圖係顯示該貫施例之栗室内進行吐出動作時之詳細構造者。第11圖係該實施例之光阻液供給動作之流程圖。第12圖係該實施例之吐出控制.之流程圖。第13(a)圖係顯示該實施例之吐出控制之吸入時間之 , 曲線圖，第13(b)圖係顯示該實施例之吐出控制之吐出時間之曲線圖’第13(c)圖係顯示該實施例之吐出控制之加壓時間之曲線圖，第14圖係該實施例之排氣控制之流程圖。第15圖係該實施例之變形例之光阻液供給動作之流程圖第16圖係該實施例之變形例之光阻液供給動作之流程圖第1 7圖係顯示本發明第2實施例之光阻液供給裝置處理液供給系統之模式圖。第18圖係該實施例之光阻液供給動作之流程圖。【本發明之實施例】以下，參照附圖說明本發明之實施例。 (第1實施例） (塗佈顯影處理系統之構造）第1圖係顯示應用本發明一實施例之基板處理裝置之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） -1------------· I — II---訂· I---— II1^^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（5 ) 塗佈顯影處理系統之整體構造者。如第1圖所示，塗佈顯影處理系統1包含有用以收容多枚晶圓匣CR之匣狀站11、可對晶圓W進行光阻液塗佈及顯影之工序處理之工序處理部12、用以將業經塗佈光阻液之晶圓W搬運至未予圖示之曝光裝置之界面部13。匣狀站η 則包含有可供以諸如25枚為單位收納有半導體晶圓w之晶圓匣CR出入之載置台14及可自晶圓匣CR取出晶圓界之第i 輔助臂機構15。載置台14係朝γ軸方向延出而設置者，晶圓匣CR則以等間距間隔载置於載置台14上。如第1圖所示，£狀站n 於載置σ 14上配置有諸如4個作為晶圓匣搬送機構之滑台 H 一旦將晶圓ECR載置於各滑台14b上，晶圓gcR即口藉個大起14a而使晶圓出入口 4丨面朝工序處理部12側而定位。第1輔助臂機構15可將晶圓W搬運至工序處理部12之主#機構1 6,亦可移近後述之工序處理部12側之第3處理單謂⑺之屬多段單元·部之校準單元（ALIM)及延伸單元 (EXT) 〇 E狀站11與工序處理部12間之晶圓w之搬運係藉第3 處理單元群G3而進行。如第3圖所示，該第3處理單元群⑺ 係將多個工序處理單元以上下多段縱型層疊而成者。即，該第3處理單元群⑺係為諸如下列各單元由下至上依次層 $所構成者’即，—用以將晶圓W冷卻處理之冷卻單元 (COL)肖以進行可提高光阻液對晶圓w之密著性之疏水 X 297公釐）本紙張尺度賴屮_ &鮮（CNS)A4規^^ 497168 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（6 化處理之黏合單元（AD)、一用以進行晶圓w之定位之校準單元（ALIM )、一用以預先使晶圓冒待機之延伸單元 (EXT)、2個用以加熱曝光處理前之光阻液膜之預焙單元 (PREB AKE)、-用以進行顯影處理後之光阻液膜之加熱處理之後培單元（P0BAKE)及一用以·進行曝光後之加熱處理之曝光後顯影前之烘烤處理單元（PEB AKE)。晶圓w則係藉延伸單元（ΕΧΤ)及校準單元（aum)而搬運至主臂機構16者。又，如第1圖所示，該主臂機構16之周圍設有包含第3 處理單元群G3之第丨〜第5處理單元群G1〜G5而包圍該主臂機構16。與上述之第3處理單元群以相同，其他處理單元群Gl、G2、G4、G5亦係由各種處理單元朝上下方向層疊而構成者。另，如第3圖所示，主臂機構16係於朝上下方向延接之筒狀導件17内側裝備有主臂18並使其可朝上下方向方向）昇降自如者。筒狀之導件17則係與馬達（未予圖示）之旋轉軸相連接，並可藉該馬達之旋轉驅動力而以旋轉軸為中心、/、主煮18體方疋轉者，主臂18並因此構成可朝㊀方向旋轉自如。又，筒狀之導件17亦可構成與可藉該馬達而旋轉之其他旋轉軸（未予圖示）相連接。如上所述，藉將主臂18朝上下方向驅動，即可使晶圓w對各處理單元群〇1〜(}5之各處理單元任意移近。首先，自匣狀站11經第3處理單元群G3之延伸單元 (EXT)而承接晶圓w後，主臂機構16即將該晶圓w搬入第$ 本紙張尺度適用中_家標準_(CNS)A4規格⑽χ 297公爱_1------ ^--------^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 A7 ' ---~5Z___ 發明說明（7 ) 處理單兀群G3之黏合單元（AD)内，以進行疏水化處理。接著，再將晶圓w自黏合單元（AD)搬出，而於冷卻單元（c〇L) 中進行冷卻處理。晶圓w經冷卻處理後，則藉主臂機構16而使之對第t 處理單元群G1(或第2處理單元群G2)之光阻液塗佈處理裝置（COT)相對定位，並將之搬入其中。晶圓W經塗佈光阻液後，則藉主臂機構16將之卸下，再經第4處理單元群G4而將之搬至界面部i 3。如第3圖所示，該第4處理單元群G4係為諸如下列各單元由下至上依次層疊所構成者，即，一冷卻單元（C〇L)、一延伸·冷卻單元（EXTC〇L)、一延伸單元（Εχτ)、一冷卻單凡（COL)、2個預焙單元（PREBake)及2個後焙單元 (POBAKE)。自光阻液塗佈單元（COT )取出晶圓W後，首先，將之插入預焙單元（PREBAKE)内，並由光阻液去除溶劑（稀釋劑）而加以乾燥。又，亦可以諸如減壓法進行該乾燥。即，亦可採用將晶圓W插八預焙單元（PREBAKE)或另外設置之處理室内’而將晶圓w周邊減壓以去除溶劑（使光阻液乾燥）之方法。其次，於冷卻單元（COL)中冷卻晶圓w後，則經延伸單元（EXT)而將之搬至上述界面部丨3所設之第2輔助臂機構 19内。苐2輔助臂機構19承接晶圓w後，則將所承接之晶圓w 依次收納於緩衝匣BUCR内。該界面部13則係用以將該晶本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 10- --------訂---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168 A7 B7 • r 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（8 圓W搬至未予圖示之曝光裝置内，並承接曝光處理後之晶圓W者。在周邊曝光裝置（WEE)内將曝光後之晶圓W周邊部之多餘光阻液膜曝光後，則經與上述說明相反之動作而將之搬至主臂機構16上，該主臂機構16則將該曝光後之晶圓w 插入曝光後顯影前之烘烤處理單元（pebake)而進行加熱處理，然後於冷卻單元（COL)内進行冷卻處理以達預定之溫度。其後，再將之插入顯影裝置（DEV)内並進行顯影。晶圓W經顯影處理後，再將之搬送至任一後焙單元 (POBAKE)並予以加熱乾燥，然後經該第3處理單元群⑺之延伸單元（EXT)而將之搬送至匣狀站丨丨，並將之收納於晶圓匣CR中。另，第5處理單元群G5係可選擇性地設置者，在本例中，其構造與第4處理單元群〇4相同。又，該第5處理單元群G5並係構成為執道20所保持而呈可移動之狀態，而可使對該主臂機構16及第1〜第4處理單元群G1〜G4之維修處理容易進行者。 _ 當將本發明之處理液供給裝置應用於第丨〜第3圖所示之塗佈顯影單元時，由於各處理單元係上下層疊式之構造，故可大幅減少裝置之設置面積。 (光阻液塗佈單元之整體構造）第4圖係顯示應用本實施例之處理液供給裝置之光阻液塗佈單兀（COT)整體構造之縱截面圖。如第4圖所示，該光阻液塗佈單元（COT)之中央部配設有環狀之杯體cp， -------II---I « ·1111111 ^ ---I--I I « (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） >12- 裝 —訂--------- 497168 A7 B7

五、發明說明（1Q ) # # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製劣化。光阻液喷嘴48則視光阻液之種類及黏度等不同而設有多個，而可依處理條件之不同分別加以使用。另，導軌51上不僅設有用以支持光阻液喷嘴掃猫臂49 之垂直支持構件52 ’亦设有用以支持沖洗噴嘴掃瞄臂”並可朝Y方向移動之垂直支持構件56 ·。沖洗喷嘴掃瞎臂55則係可藉γ方向驅動機構（未予圖示）而並進或直線移動於設定於杯體CP侧方且以實線代表之沖洗喷嘴待機位置與設定於旋轉卡盤41上所設置之半導體晶圓W周緣部正上方且以虛線代表之沖洗液吐出位置間者。 (處理液供給系統之構造）第6圖係顯示本貫施例之處理液供給裝置之處理液供給系統者。如第6(a)圖所示，光阻液供給裝置6丨具有作為容器之光阻液槽62，沿行作為由該光阻液槽62所供給之光阻液之吐出通路之供給配管63a〜63d而由吐出通路之上流側至下流側依次設有用以檢測光阻液之供給量之液體終端傳感器64、用以將光阻液中之溶解氣體與氣泡之脫泡及懸濁粒狀物等異物分離及去除之過濾器65、用以進行光阻液之吐出及吸入之泵66及用以吐出光阻液之光阻液喷嘴67。光阻液槽62與液體終端傳感器64係藉供給配管63 a而相連通，液體終端傳感器64與過濾器65係藉供給配管63b 而相連通’過濾器65與泵66係藉供給配管63c而相連通，泵 66與光阻液喷嘴67則藉供給配管63d而相連通。又’光阻液槽62並經氣體供給管68a而與用以加壓槽内本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21Q χ 297公髮） -13- i--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168

五、發明說明（11 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製之光阻液之N2氣體供給機構68相連接，以朝光阻液之吐出通路進行流暢之供給。另，氣體供給管68a則安裝有切換氣動閥68b。切換氣動閥68b之詳細構造則顯示於第6(b)及（c) 圖。切換氣動閥68b具有第1流路68d及第2流路68e，並可藉切換動作而交互切換各流路68d，68e。第6(b)圖中，N2加壓開放用之第1流路68d正切換至由&氣體供給機構68至氣體供給管68a之氣體流路側。該第1流路68d將封閉自N2氣體供給機構68至氣體供給管68a之氣體流路，而n2氣體則將被導入氣體供給管68c内。業經導入氣體供給管68c内之^[2氣體則將被放出至光阻液塗佈單元（C0T)外或無塵室外。第 6(c)圖中’ N2加麼用之第2流路68e則正切換至由氣體供給機構68至氣體供給管68a之氣體流路侧。該第2流路68e 將使由N2氣體供給機構68至氣體供給管68a之氣體流路連通’並封閉氣體供給管68c之供給口。藉此，即可對光阻液槽62内供給A氣體，並加壓光阻液槽62内之光阻液。 (泵、循環系統之構造）泵66之周圍已為底壁、側周壁及天井壁所限定。果％並具有用以收容吸入之光阻液之吸入口 66a及用以吐出光阻液以朝光阻液喷嘴67供給之吐出口 66b，而光阻液之吐出通路則為由該吸入口 66a至吐出口 66b之光阻液流路所限定。又’泵66並設有可將自泵送出之光阻液放出而使其循環之循環口 66c。該循環口 66c並與循環配管78之一端相連通。該循環配管78之另一端則與供給配管63b相連通，而為與經過過濾器65之光阻液吐出通路不同之通路，且為未經本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) " ΓΓΙ" --------訂---------· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制取 A7 ----- B7_ 五、發明說明（12 ) 過過渡器65而限定了用以使光阻液再度返回吐出通路之循環通路者。 (單向閥之構造）用以限定光阻液之吐出通路之供給配管63a、63b、 63c 63d白刀別對應设有早向閥69a、69b、69c、69d，以防止光阻液朝吐出通路逆流。又，循環配管78亦設有單向 _ 閥70，以防止光阻液於循環通路中逆流。 (栗之詳細構造）第7圖係顯示泵66之詳細構造者。泵66係用以改變泵室 81之内壓而反覆進行液體之吸入及吐出之管式隔膜泵。泵室81係形成略圓柱狀，並於其内部具有由pTF]E樹脂所構成之彈性隔膜82者。伸縮部83之全部與泵室81之一部分則封入有作為壓力傳達媒體84之油狀物。該壓力傳達媒體84則係可將伸縮部83之伸縮所產生之泵驅動力傳達至泵室8丨之彈性隔膜82之媒體。伸縮部83則可高度精確地為步進馬達 > 85所伸縮驅動，並藉控制器73而使其伸縮動作時間及伸縮速度’即，使光阻液·之吸入·吐出時間及吸入·吐出速度依設定條件而受制。又，步進馬達85則設有送碼器86。可動支持部88a之近旁安裝有透光型之感測器87。可動支持部88a則安裝有關閉構件88d而可橫貫該感測器87之光軸’並可檢測伸縮部8 3之變位。如第7圖所示，由於當伸縮部83收縮至極限時，即，液吸入程序之終了時，關閉構件 88d將遮住感測器87之光軸，故感測器87之受光部將不致檢出光。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -15- ---------------------訂--------•線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明說明（13 ) 另’如第8圖所示，由於當伸縮部83伸展至極限時，即，液吐出程序之終了時，關閉構件88d並未遮住感測器87之光轴’故感測器87之受光部將檢出光。一旦將該檢測信號輸入控制器73，控制器73則對馬達85之電源89下達指令，而分別驅動傳動帶機構90a〜90c及滾珠絲桿88,並使伸縮部83 伸長。 (泵室之詳細構造）以下說明泵室81之詳細構造。第9圖係顯示第7圖所示泵室81之詳細構造之截面圖，第10圖係顯示第8圖所示泵室81之詳細構造之截面圖。泵室81之周圍係為側周壁9la、底壁91b、及天井壁91c 所限定。泵室81並藉隔膜82而分隔成内外二部分，而對隔膜82之内側領域供給光阻液，對隔膜82之外側領域則封入有壓力傳達媒體84。天井壁91c之中央形成有凹所91d，該凹所9Id則經逆流防止閥92而與供給配管63c相連通。逆流防止閥92則包含有滾珠92a、入口 92b、滾珠收納室92c、停止栓 92d、出口 92e。· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製在吸入程序中，滾珠92a將嵌入停止栓92d内，而光阻液則將通過入口 92b及出口 92e而流入泵室81内。在吐出程序中，滾珠92a則將入口 92b封閉，光阻液則不流入泵室81 内。泵室81之直徑約60〜70mm，高度則約60〜70mm左右。管式隔膜泵93係藉側周壁91a之開口而與泵室81相連通，並可藉壓力傳達媒體84而將伸縮部83之泵驅動力傳達至隔膜82者。隔膜82則係以泵室81之中心為軸而以同心圓 -16- 請· 先閱讀背- 之注意事項4 I裝頁 I 一 I I I I I I 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^/168 ^/168 經濟部智慧— 財產局 β/ 工消費合作社印製 A7 五、發明說明（14 ) 狀設置者。隔膜82並係由諸如四氟乙烯全氟烴基乙烯醚共重合體（PFA)等富於彈性之樹脂材料所構成。又，循環配管 Μ則開口於天井壁91c之周緣部。天井壁91c之周緣部則比中央部兩’此處並形成有氣泡集合部9ie。在光阻液之吸入程序中，氣泡95將集合於氣泡集合部9 le，進而在吐出程序中’氣泡95則將由氣泡集合部91 e經循環配管78而自泵室81 内排出。另，氣泡集合部91 e對水平面之傾斜角度0則宜在 5。〜1〇。之範圍内。供給配管63d係經逆流防止閥94而開口於底壁91 b之中央部者。該吐出侧之逆流防止閥94則實質上與吸入側之逆流防止閥92相同。如第7圖所示，若使伸縮部83伸長，即可如第9圖所示般將光阻液吸入泵室8 1内。又，如第8圖所示，若使伸縮部 83收縮，即可如第丨〇圖所示般自泵室8丨吐出光阻液。由於供給配管63c、63d係共同開放於大氣壓力下者，故伸縮部 83之栗壓力將減少或增加，而藉此將光阻液吸入泵室8 j , 或自泵室81吐出之。另，封入於管式隔膜泵93内之壓力傳達媒體84則宜使用聚四氟乙烯油、或其他種油或純水等液體。藉採用液體以作為壓力傳達媒體84,即可抑制管式隔膜泵93内之經年谷量變化，並使系室81周圍之壁91 a〜91c之特定變位長期安定化。又，用以排出氣泡95之循環配管78係開口於泵室81之天井壁91c上者。該循環配管78之開口則與供給配管63c間 Μ--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 外/168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（15) 設有高低差h。藉該高低差h則可使氣泡95不致侵入供給配管63c。另’循環配管78並經閥（未予圖示）而與大氣壓力環境相連通。定期地，諸如每次更換光阻液槽62時等將該閥開啟’即可將積留於泵室8丨内之上部之氣泡95排出。如上所述，泵66所設之吸入口 66a及循環口 66c係設於泵66之天井壁91c上者，吐出口 66b則係設於泵66之底壁91b 上者。將吐出口 66b設於泵66之底壁91b上則係由於氣泡95 混入泵66内之光阻液時，該氣泡95將集合於泵66之上部，故為減少由氣泡95較少之泵66之底壁91b處所產生之光阻液吐出部分之氣泡95量而如此設計。將循環口 66c設於泵66之天井壁91c上之原因則與將吐出口 66b設於泵66之底壁91b上之原因相反。即，為使集合於泵66上部之氣泡95較多之光阻液再度返回吐出通路以有效去除氣泡95而如此設計。 (過渡器之構造）過濾器65内設有用以封閉由供給配管63b至供給配管 63c之吐出通路之多孔性構件65a。藉該多孔性構件65a則可僅使光阻液通過孔洞，並將混入光阻液中之懸濁粒狀物及氣/包與光阻液分離。多孔性構件6 5 a係由諸如四氟化聚乙婦 (PFE)或南分子聚乙稀所構成之多孔質或纖維狀之圓筒成形體。多孔性構件65a之平均孔徑則宜為諸如〇〇5 " m以下。又，排放配管71之一端則與過濾器65相連通，而由為與過濾、器65相連通之供給配管63b及63c所限定之吐出通路分岐。該排放配管71之另一端則與排放槽（未予圖示）相連本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -18- w.^^---I----訂---------· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168 ??一經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ——_B7___ 發明說明（16 ) 通，而可將包含已藉過濾器65内之多孔性構件65a分離之懸濁粒狀物及氣泡等異物之光阻液導入排放槽。該排玫配管 71則安裝有氣動闊71a，而可開閉排放配管71。如上所述，在光阻液供給裝置61中，由於在吐出通路具有過濾器65，故光阻液通過過濾器65後即自光阻液喷嘴 67吐出。 (液體終端傳感器之構造）液體終端傳感器64具有感測器（未予圖示）。該感測器則可測定液體終端傳感器64内之氣泡比例。由於氣泡將集中於液體終端傳感器64内之上部，故藉如此設置感測器，即可檢測氣泡已積存多少。又，液體終端傳感器64之上部並與排放配管72之一端相連通，其另一端則與排放槽（未予圖示）相連通，以將氣泡或包含氣泡之光阻液導入排放槽。該排放配管72並安裝有排放閥72a以開閉排放配管72。 (控制器之構造）泵66係與控制器73相連接，並用以控制光阻液吐出動作及循環動作者。又：液體終端傳感器64及切換氣動閥68b 亦與控制器73相連接。由該液體終端傳感器64所得之氣泡量則將輸出至控制器73，而切換氣動闊68b之流路則將自氣體供給管68c側切換成氣體供給管68a側，並進行藉N2加壓所進行之排氣操作。另，閥67a、70a、71a、72a係亦與控制器73相連接，並用以於吐出動作或去除動作時進行各配管之開關控制者。 (循環系統之構造）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -19- 497168

五、發明說明（17) 如上所述’本裝置設有可供由光阻液槽62經供給配管 63b而供給之光阻液經過過濾器65、供給配管63c、泵66、循環配管78而再度返回供給配管63b之循環通路。流動於該循環通路中之光阻液與由泵66之吐出口 66b吐出之光阻液之比率則可由控制器73加以適當設定。另，該比率並可藉於循環口 66c近旁設置用以局部封閉循環配管78之閉塞板 (未予圖示），並使該閉塞板滑動以改變封閉循環口 66c之面積而加以設定。當然，亦可藉閥7〇a而控制該比率。舉例5之’當進行吐出動作而由光阻液槽62供給之光阻液為4ml/min時，即可將循環配管78構成可供以丨岫化之光阻液循環之構造。此時，由光阻液噴嘴67吐出之光阻液則為3ml/min。又，當氣泡很多時，藉提高循環之光阻液之比率，即可有效去除氣泡。該光阻液之供給速度則可由裝設於内部之步進馬達85加以調節。 (控制器之機能）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製控制器73可選擇性地進行吐出控制與排氣控制之2種控制。吐出控制係有_ 一般之光阻液吐出動作之控制。即，控制泵66 ’並使光阻液沿行吐出通路而自光阻液喷嘴67吐出之控制，以及使通過供給配管63&、63b及63c而自吸入口 66a朝泵66内吸入之光阻液之一部分與積存於泵66内之氣泡及溶解氣體一同流經循環配管78之控制。排氣控制則係有關光阻液内之氣泡及溶解氣體之去除之控制。即，封閉泵66之吐出口 66b以使光阻液滯留於吐出通路’並將切換氣動閥68b切換以將N2氣體自氣體供給管本紙張尺度翻巾關家i準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) ^ ' 497168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ________B7_____ 五、發明說明（18 ) 68a运入光阻液槽62内，而將光阻液槽62内之光阻液加壓以藉過滤器65去除氣泡或溶解氣體之控制。 (光阻液供給步驟）以下’參照第11圖所示之流程圖說明本實施例之處理液供給裝置之動作。首先’在起動光阻液供給裝置61之同時將切換氣動閥丨 68b切換而使氣體供給管68a與光阻液槽62相連通，並於該狀態下將光阻液槽62内之光阻液加壓（si)。其次’ 一面保持該加壓狀態一面使泵66運轉（s2)，並使光阻液沿吐出通路流入（s3)。伴隨該光阻液之流入而將依次擠出供給配管63a〜63d 及過濾器65内之空氣，該等配管63a〜63d等則係於初始時供空氣流動’不久則供包含大量泡沫之光阻液流動者。而，一旦光阻液流入，泡沫之量即逐漸減少，最後幾乎不含泡沫之光阻液則經配管63a〜63d而流出。該光阻液之初期供給動作則可藉目視而確認光阻液是否送達光阻液噴嘴67，或藉以液體終端傳感器64之感測器輸出而確認液體終端傳感器64内已儲備預定量以上之光阻液以確認其已完成。確認已儲備預定量之光阻液後（S4)，即開始進行光阻液之吐出控制（s5)。光阻液之吐出控制雖大致與上述光阻液之流入動作相同，但吐出控制則係藉控制器73對泵66進行階式輸入而使泵66脈動，且將藉泵之1次驅動而經供給配管63d再自光阻液噴嘴67吐出之光阻液量控制於諸如4CC 者。此時，若使由液體終端傳感器64供給之光阻液量為本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -21- ^---I---I —----I I 1^. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168 A7 B7 五、發明說明（19 ) 5cc，則可使殘留之lcc光阻液循環於循環配管^而返回吐出通路。確認已進行500次之吐出動作後，則進行光阻液之排氣控制（s7)。其次，確認所有吐出動作皆p + 曰Q凡成（s8),而結束光阻液之供給。 (吐出控制步驟）參照第12圖之流程圖說明吐出控制之較詳細步驟。吐出控制可分為吐出動作與吸入動作二者。進行吸入動作時（s21)，通過過濾器65之光阻液將經供給配管63〇而大量流入泵室81内，氣泡95亦將流入（S23)其中。經供給配管63c而流入泵室81之光阻液量則為諸如5cc。此時，循環配管78之氣動閥70a將預先關閉（s22)。藉該氣動閥7如之作用則可封閉循環配管78之路徑，並使光阻液不致流入低於氣動閥70a之下流側之處。又，供給配管63d則為滾珠所封閉，而不致使光阻液流入供給配管63d(s24)。光阻液中之氣泡95則將因其與光阻液之比重差而集中於系室81之上方。 ------------i--------^----- <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

ϋ n n I 譬· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一旦對泵室81内‘流入足夠之光阻液，吸入動作即完成 (s25)，而接著進行吐出動作（s26)。進行吐出動作時，供給配管63d則開放以使光阻液到達光阻液喷嘴67(s28)。吐出至供給配管63d中之光阻液量則為諸如4cc。於該吐出時間之同時，氣動閥70a並將預先開啟（s27)。藉此，亦將使光阻液與大量之氣泡95—同流入循環配管78 (s29)。由於吸入泵室81之光阻液量為5CC，而吐出之光阻液量為4cc，故流入循環配管78之光阻液即為lcc。泵66之供給配管63〇本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公爱） -22- 497168 A7 裝訂五、發明說明（2G 於該吐出時間為滾珠92a所封閉，而不致使光阻液流入 (s30) 〇流入循環配管78之光阻液多無法到達光阻液喷嘴”而返回泵至81内而使液壓較低。該液壓較低之光阻液則將朝過滤器65周邊之供給配管63b、63c供給。如上所述在液壓較低之光阻液中，不限於原本即明顯存在之氣泡％，㈧⑨液壓高時溶解於光阻財而作為溶解纽之氣泡％亦將明顯可見。該等已明顯化之氣泡95則將再度通過過滤器 65。藉此，即可分離氣泡95之一部分（s31卜其後，一旦再度關閉氣動閥70a(s32)而結束吐出動作（s33)，則將再度開始吸入動作（s21)。上述之吸入及吐出動作中，以A氣體進行之光阻液槽 62内之光阻液加壓可設定於泵66之吐出動作之同時，在吐出動作以外之時間則可加壓或不加壓。然而，一旦持續將光阻液加壓，則將使光阻液中之液壓升高。因此，由於如此將使光阻液中之溶解氣體增加，故可配合諸如光阻液·之吸入動作之同時或該時間之一部分而解除加壓。且，亦可配合該時間而將切換氣動閥Mb切換以使A氣體經氣體供給管68c而朝大氣中放出。第丨3圖即顯不本實施例之光阻液吐出控制中沁氣體之加壓時間之時間曲線圖。(a)係顯示吸入時間者，⑻係顯示吐出時間者， (c)係顯示加壓時間者。橫轴為時間，縱軸於（&)、（b)中代表光阻液量，在（c)中則代表加壓量。如第13圖所示，在自 tl至t3、自t4至t7之時間内進行以泵66所進行之吸入動作，

4本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------------裝i I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . --線· A7 497168 五、發明說明（21 ) 而在自t2至t5、自t6至t8之時間内則進行吐出動作。該等吐出時間中，加壓係於略遲於吐出開始時間t2、t62t2a、t6a 時開始’而於吐出動作完成前之t5a、t8a時結束。又，亦可完全不進行該吸入及吐出動作之N2氣體加壓。此時，則宜於確認光阻液之初期供給動作完成後（s4), 將切換氣動闊68b切換而解除加壓。另’凡進行該吐出控制，即難以藉使光阻液經過循環通路而以過濾器65去除所有的氣泡95。因此，舉例言之，可於進行上述吐出動作500次後（s6)，再進行排氣控制（s7)。第14圖係顯示排氣控制之流程圖者。在排氣控制中，舉例言之，可使泵66停止以使光阻液不致由供給配管63c朝泵66流入（s41)。在該狀態下，因上述吐出動作而充分形成低壓之光阻液則將流入供給配管 63b内。其次，將氣動閥71a開啟並關閉氣動閥7〇a(s42)。然後，將切換氣動閥68b切換至氣體供給管68a側以將光阻液槽62内之光阻液加壓（s43)。藉此，即可藉過濾器“分離已明顯存在於光阻液·中之氣泡，並將含有眾多氣泡之光阻液由排放配管71朝排放槽（未予圖示）放出（S44)。另，一部分之光阻液則將由供給配管63d吐出。當然，由於光阻液將於通過過濾器65後流入供給配管63d，故氣泡％已幾乎完全去除。放出該光阻液時，則由於光阻液中存有充分之氣泡，故幾乎可完全解決多餘光阻液之廢棄問題。且，由於該排氣動作係於進行多次光阻液吐出控制後而進行，故可儘量降低廢棄於排放槽之光阻液量。此外，當進行1次排氣控制 i紙張尺度適用中國國家·^準^^規格（21Q x 297公釐）--------- --------訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費^乍土七史 497168

、發明說明（22 {請先閱讀背面之注意事項&填寫本頁) 裝訂· ---- -----、-!1! 而未能充分去除氣泡95時，亦可再度進行排氣動作（s45)。此時，舉例言之，可以過滤器65所設之感測器（未予圖示）進行監視而確認氣泡量，並判定是否必須再度進行排氣動作。而該判定並理當可使用控制器73而以自動控制加行。又，由於過濾器65係設置於泵66之吐出通路上流側，故可儘量防止含有氣泡之光阻液之再循環。在確認所有吐出控制皆完成後，即結束光阻液之供給。而，當所有吐出控制並未完全完成時，則再次開始進行吐出控制。另，本實施例雖說明了個別進行排氣控制與吐出控制之情形，但並無個別獨立進行排氣控制與吐出控制之必要。即便僅進行吐出控制，亦可藉光阻液之再循環及過濾，而於每次進行吐出動作時使光阻液之氣泡之明顯化。第15 圖即顯示了僅以吐出控制進行排氣時之流程圖。如第15圖所示’當僅以吐出控制進行排氣時，亦可於泵66之吐出時間將氣動闊71a開啟，.並每次皆進行排氣。此時，則無須以吐出時間之全長進行氣動閥71 a之開啟，舉例言之，亦可於進入吐出時間後，且經過以N2氣體進行之光阻液加壓之時間後，將氣動閥71a開啟。又’亦可於諸如在過濾器65等設置感測器（未予圖示），並由該感測器之輸出而算出氣泡量，而該算出值超過預定量時，進行該排氣控制。此時之光阻液供給動作則顯示於第16圖所示之流程圖中。 I紙張中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) -25- ------------ · ^--------^ · I-------^ (請先閱讀背面之江意亊頊存琅寫本貢) A7 497168 五、發明說明（23 ) (第2實施例）第17圖係用以說明本發明之第2實施例之基板處理裝置者。而，本第2實施例則省略了與上述第丨實施例共通之部分之詳細說明，並對同一構造附上同一標號。第丨實施例中雖將過滤器用⑤去除氣泡及溶解氣帛，但本實施例則於光阻液之循環通路設置收集箱以去除光阻液中之氣泡及溶解氣體。 (處理液供給裝置之構造）如第17圖所示，光阻液（處理液）供給裝置8〇具有作為谷器之光阻液槽62，而沿行作為由該光阻液槽62所供給之光阻液之吐出通路之供給配管63&、112、113、114、n5 則自吐出通路之上流側至下流側依次設有液體終端傳感器 64、作為可於光阻液中進行氣泡之分離及去除之去除部之收集箱111、用以進行光阻液之吐出及吸入之泵66、用以將氣泡之脫泡及懸濁粒狀物等異物分離及去除之過濾器65及用以吐出光阻液之光阻液噴嘴67。光阻液槽62與液·體終端傳感器64係藉供給配管63&而相連通’液體終端傳感器64與收集箱u i係藉供給配管u 2 而相連通’收集箱11丨與泵66係藉供給配管u 3而相連通，泵66與過濾器65係藉供給配管〗14而相連通，過濾器65與光阻液喷嘴67則藉供給配管u 5而相連通。又’用以將光阻液槽62内之光阻液加壓之N2氣體供給機構68則經氣體供給管68a而與光阻液槽62相連接，以防止光阻液中產生氣泡。而，氣體供給管68a則安裝有切換氣動本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^ " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-----訂----I 力1 身· 497168 請先閱讀背面之注意事細_ | I 本. 頁 I I I 雇 I I I 訂

A7 五、發明說明（24) 閥68b，並可藉切換操作且經氣體供給管68c而將N2氣體導入與用以朝光阻液槽62内供給之通路不同之通路。已導入氣體供給管68c内之％氣體則可朝光阻液塗佈單元（c〇T) 外或無塵室外放出。另，切換氣動閥68b之詳細切換動作則與第6(b)及（c)圖相同。 (泵、循環系統之構造）栗66之周圍已為底壁、側周壁及天井壁所限定6泵66 並具有用以收容吸入之光阻液之吸入口 66a及用以吐出光阻液以朝光阻液喷嘴67供給之吐出口 66b，而光阻液之吐出通路則為由該吸入口 66a至吐出口 66b之光阻液流路所限定。又’泵66並設有可將自泵送出之光阻液放出而使其循環之循環口 66c。該循環口 66c並與循環配管78之一端相連通。該循環配管78之另一端則與收集箱1丨〗之天井壁相連通。作為與吐出通路不同之通路之循環通路並為該循環配管78所限定。另，設於泵66之吸入口 66a、吐出口 66b、循環口 66c之上下方向之位置關係、泵66之詳細構造及泵室81 内之詳細構造則設定與第1實施例相同。 (單向閥之構造）用以限定光阻液之吐出通路之供給配管63a、112、 113、114、115皆分別對應設有單向閥69a、116、117、11 8、 119，以防止光阻液朝吐出通路逆流。又，循環配管78亦設有單向閥70’而可防止光阻液朝循環方向之相反方向流入。 (過濾器之構造）過濾器65内設有用以封閉由供給配管63b至供給配管本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（25 ) 63c之吐出通路之多孔性構件65a。藉該多孔性構件65a則可僅使光阻液通過孔洞，並將混入光阻液中之懸濁粒狀物及氣泡與光阻液分離。又，排放配管71之一端則與過濾器65 相連通’而由為與過濾器65相連通之供給配管63b及63c所限定之吐出通路分岐。該排放配管7丨之另一端則與排放槽 (未予圖示）相連通，而可將包含已藉過濾器65内之多孔性構件65a分離之懸濁粒狀物及氣泡之光阻液導入排放槽。該排放配管71則安裝有排放閥71b，而可開閉排放配管71。 (液體終端傳感器之構造）液體終端傳感器64具有感測器（未予圖示）。該感測器則可測定液體終端傳感器64内之氣泡比例。由於氣泡將集中於液體終端傳感器64内之上部，故藉如此設置感測器，即可檢測氣泡已積存多少。又，液體終端傳感器64之上部並與排放配管72之一端相連通，其另一端則與排放槽（未予圖示）相連通，以將氣泡或包含氣泡之光阻液導入排放槽。該排放配管72並安裝有排放閥72a以開閉排放配管72。 (收集箱之構造）. 收集箱111具有周圍為天井壁、側周壁及底壁所限定之槽本體111 a、設於槽本體111 a内並用以檢測槽本體丨丨丨a内之光阻液液面之上部感測器11 lb及下部感測器丨丨lc。該等感測器11 lb、111 c係可分別測定槽本體丨〗！a内之上部及下部之氣泡比例者。由於氣泡將集中於槽本體1丨丨a内之上部，故藉如此將感測器設置2個於槽本體illa之上下方向上’即可以3階段檢得氣泡已積存多少。又，槽本體丨丨j a 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） •28- ------------華------------------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) i員工消費合作祍印製 497168 A7 B7 五和 1¾. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製發明說明（26) 之天井壁並與排放配管120之一端相連通，其另一端則與排放槽（未予圖示）相連通，而可將氣泡或含有氣泡之光阻液導入排放槽。該排放配管120則安裝有排放閥120a，而可開關排放配管120。另，槽本體11 la内與過濾器65内同樣設有多孔性構件 (未予圖示）以封閉自供給配管112至供給配管113之吐出通路。藉該多孔性構件，即可僅使光阻液通過孔洞，而使混入光阻液中之懸濁粒狀物及氣泡與光阻液分離。又，排放配管120之一端係與槽本體llla相連通，而自吐出通路分岐。該排放配管120之另一端則與排放槽（未予圖示）相連通’而可將包含已藉多孔性構件加以分離之懸濁粒狀物及氣泡之光阻液導入排放槽。該排放配管丨2〇則安裝有氣動閥 82a，而可開關排放配管12〇。 (控制器之構造）泵66係與控制器73相連接，並用以控制光阻液吐出動作及循環動作者。又，上部感測器i i lb、下部感測器丨丨lc 及切換氣動閥68b亦與控制器73相連接。由該等感測器 11 lb、111 c所得之氣泡量則將輸出至控制器73，而切換氣動閥68b之流路則將自氣體供給管68c側切換成氣體供給管 68a側’並進行藉N2加壓所進行之排氣操作。另，閥67a、 70a、71a、82a係亦與控制器73相連接，並用以於吐出動作或去除動作時進行各配管之開關控制者。此外，由於若未特別提及，則其他控制器73之機能皆與第丨實施例共通，故加以省略。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -29- ^--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____Β7__ 五、發明說明（27 ) (循環系統之構造）如上所述，本裝置設有可供由光阻液槽62經供給配管 63b而供給之光阻液經過收集箱m、供給配管113、果66、循環配管78而再度返回收集箱ill之循環通路。流動於該循環通路中之光阻液與由泵66之吐出口 66b吐出之光阻液之比率則可由控制器73加以適當設定。舉例言之，當進行吐出動作而由光阻液槽62供給之光阻液為4ml/min時，即可將循環配管78構成可供lml/min之光阻液循環之構造。又，當氣泡很多時，藉提高循環之光阻液之比率，即可有效去除氣泡。該光阻液之供給速度則可由裝設於内部之步進馬達 85加以調節。 (光阻液供給步驟）以下’參照第18圖以說明本實施例之光阻液供給流程。另，由於光阻液供給步驟之概略流程與第丨丨圖共通，故省略其說明。第1 8圖係顯示本實施例之光阻液吐出控制之流程圖。該吐出控制可分為吐出動作與吸入動作兩者。進行吸入動作時（s8l)，已通過收集箱U1之光阻液將經供給配管113而大量流入泵室8丨内（s83)。經供給配管i i 3 而流入栗室81之光阻液量則為諸如5cc。此時，循環配管78 之氣動閥70a將預先關閉（S82)。而，供給配管} 14則為滾珠所封閉’以使光阻液不致流入供給配管丨14(s84)。光阻液中之氣泡95則因其與光阻液之比重差而集中於泵室81之上方0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） -30- 裝---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) tr---------#· 497168 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（28 ) 一旦對泵室81内流入足夠之光阻液，吸入動作即結束，（S85)而開始進行吐出動作（s86)。進行吐出動作時，供給配管114將開啟以使光阻液到達光阻液喷嘴67(s88)。朝供給配官114吐出之光阻液量則為諸如4cc。氣動閥了如則將於該吐出時間之同時預先開啟（s87)。又，於該吐出時間中，可配合該時間而適當開啟排放閥71b以去除氣泡及懸濁粒狀物（s89)。本步驟s89可於在諸如過濾器65設置用以檢測氣泡量等之感測器（未予圖示），且根據該感測器之輸出而知必須加以進行時，或以目視確認而確定必要與否後，再加以適當進行。另，於該過濾器 65進行之光阻液之排出亦可與排氣控制同時進行。經上述之程序後，光阻液將與大量之氣泡95 一同流入循環配管 78(s90)中。由於吸入泵室81内之光阻液量為兄。，而吐出之光阻液量為4cc，故流入循環配管78光阻液量為lce。於該吐出時間中，泵66之供給配管113將為滾珠92a所封閉以使光阻液不致流入（S91)。流入循環配管78之光阻液之氣泡95之一部分則將為收集箱u丨所捕捉。藉此，即可將氣泡95之一部分分離（s92)。其次則再度關閉氣動閥7〇a(s93) 而結束吐出動作（S94)，然後再開始吸入動作（s81)。另’光阻液槽62之N2加壓時間則與第1實施例相同。其次’進行上述之吐出控制500次後，即進行用以將為收集箱111所捕捉之氣泡95分離及去除之排氣控制。本實施例中之排氣控制與第1實施例相同，而亦對光阻液槽62内之光阻液進行A加壓以自收集箱U1壓出含有氣泡95之光阻本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 公釐） -31- 1 I I I ·1111111 ^ ·1111111· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 497168 A7 _____ B7 五、發明說明（29) 液。該排氣控制並係依照第1實施例之第i 4圖所示之步驟而進行者。又，在本實施例中，由於收集箱1丨丨設有感測器 lllb、liic，故可輕易確認是否已充分進行排氣。舉例言之，當以感測為111 c確認氣泡量已大量累積後，則進行排氣至起碼可以感測器11 lb確認氣泡量已減少之程度。如上所述，根據本發明，不僅可得到與第丨實施例相同之效果’並可藉過濾器65進一步進行排氣。因此，氣泡量可較第1實施例更為減少。又，由於可藉收集箱lu確認氣 /包畺並進行排氣，故可確實進行排氣控制，並消除可能供給含有大量氣泡之光阻液的危險性。其次，更換光阻液之種類時，亦可受益於收集箱j i i 之優點。即，欲更換光阻液之種類時，若未設置收集箱j i i 而僅以配管連結光阻液槽62與系66，則需要相當之時間以完全置換配管内部，但設有收集箱1丨丨時，則可縮短該置換所需之時間。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本發明並不限於上述之實施例。在上述之實施例中，用以控制光阻液之吐‘出動作及循環動作之泵66所設之吸入口 66a、66c雖配設於泵66之天井壁上，吐出口 66b則配設於底壁上，但其配置方式理當不限於此。若吐出口 66b相對於吸入口 66a而配設於果66之下側，則兩者可同時配設於諸如泵66之側周壁上。又，栗66亦不限於周圍為底壁、側周壁及天井壁所限定者，而理當可為其他構造者。此時，若其構造中，吐出口 66b相對於吸入口 66a而配設於泵66之下側，且循環口 66c配設於高於吐出口 -32- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 497168 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（30 6之系66上側，則可保持極高之氣泡去除效率。舉例㊂之，亦可使泵室8丨對水平面傾斜i〜2〇。，以使循％配官78之開口位於泵室81内最高處。此時，氣泡95則可經循環配管78而更快速地自泵室81排出。另，亦可使第 7〜10圖所示之泵室81對水平面傾斜9〇。。又，泵66除使用管式隔膜泵以外，亦理當可使用由伸縮囊與泵直接結合而成之伸縮型泵以進行相同之控制。此外’各排放配管雖皆通往排放槽而可將含有氣泡等之光阻液廢棄，但亦可使各排放配管返接回光阻液槽以進行再循環。如此，則可更降低光阻液之廢棄量，並進一步有效利用光阻液。又，設於第1實施例之過濾器65或第2實施例之收集箱 111之排放配管之閥71a、82a雖係用以控制排放配管之開關者，但其用途不限於此，不僅可控制開關，亦可用以控制吐出·吸入及排氣各時間之流量。另’過渡器6 5之設置位置亦可設於用以連結收集箱111 與栗66之供給配管ιι3中。若如此將過濾器設於泵66之上流側’則即便過濾器65發生阻塞，泵66所進行之光阻液吐出亦將保持安定。且’循環配管78由泵66之回程並不僅限於返回收集箱 111，而亦可構成返接回光阻液槽62。另’本實施之流程圖雖為便於說明而顯示流程為於果之吸入動作結束後乃開始吐出動作，且於吐出動作择束後乃開始吸入動作，但其並不限於此。舉例t夕，★ 牛狀J σ之，亦可於吸 ----------------I----訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、 A7 B7 發明說明（31 ) 入動作結束前開始進行吐出動作，或於吐出動束刖開始進行吸入動作。此外，上述之實施例雖說明了應用本發明於光阻液供給裝置之例，但，舉例言之，本發明亦可應用於顯影液供給裳置及反射防止膜溶液（ARC液.)塗佈裝置等，因使用低勘度之液體而有產生氣泡之虞之任何液處理系統單元。根據本發明，即可有效地去除處理液中所含之氣泡。且’去除氣泡所需之時間可較利用浸透膜所導致之壓力差以去除氣泡之習知方法減少。 ----^------裝---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·1 ·#· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -34- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

發明說明（32 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製卜··塗佈顯影處理系統 50…噴嘴保持體 U···匣狀站 51…導軌 12···工序處理部 52…垂直支持構件 13···界面部 53…光阻液噴嘴待機部 14···載置台 54…開口 14a···突起 55…沖洗喷嘴掃瞄臂 14b···滑台 56···垂直支持構件 15···第1輔助臂機構 61…光阻液供給裝置 16···主臂機構 62···光阻液槽 17···導件 63a〜63d 、 112 、 113 、] 18…主臂 115…供給配管 19…第2輔助臂機構 64…液體終端傳感器 20…執道 65…過濾器 41…晶圓出入口、旋轉卡盤 65a···多孑匕十生才冓牛 42…驅動馬達 66…栗 43…單元底板 . 66a···吸入口 44…開口 66b…吐出口 45…凸緣構件 66c···循環口 46…昇降驅動裝置 67…光阻液喷嘴 47…昇降導引裝置 67a…氣動閥 48…光阻液噴嘴 68…N2氣體供給機構 48a···光阻液供給管 68a…氣體供給管 49…光阻液噴嘴掃瞄臂 68b…切換氣動閥 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） -35- ^--------訂---------^ {請^^閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 497168 A7 B7 五、發明說明（33 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 68c···氣體供給管 88…滾珠絲桿 68d···第1流路 88a…可動支持部 68e···第2流路 88d…關閉構件 89…電源 69a、69b、69c、69d、70、 90ai〜90c…傳動帶機構 116〜119…單向閥 91a…側周壁 70a…氣動閥 9 lb…底壁 71…排放配管 91 c…天井壁 71 a···氣動闊 91d…凹所 71b···排放閥 9 le…氣泡集合部 72…排放配管 92…逆流防止閥 72a…排放閥 9 2 a…滾珠 73…控制器 92b…入口 7 8…循環配管 92c…滾珠收納室 80…光阻液（處理液）供給裝 9 2 d…停止检置 92e···出口 81…泵室 . 93…管式隔膜泵 82…彈性隔膜 94···逆流防止閥 8 2 a…氣動閥 9 5…氣泡 8 3…伸縮部 111…收集箱 84…壓力傳達媒體 111a…槽本體 85…步進馬達 111b…上部感測器 86…送碼器 111c…下部感測器 87…感測器 120…排放配管 H— 1_1 an n ·ϋ n ϋ ί I ·ϋ n I ϋ ϋ ·ϋ n u, ·_1·1 n n ϋ_ι (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -36- 497168 A7 B7 五、發明說明（34) 120a…排放閥 BUCR···緩衝匣 CP…杯體 CR···晶圓匣 h…高低差 W…晶圓 > WEE…周邊曝光裝置 G1〜G5…第1〜第5處理單元群 AD…黏合單元 ALIM…校準單元 COL···冷卻單元 EXT…延伸單元 PEBAKE···供烤處理單元 POBAKE···後焙單元 PREBAKE···預培單元 COT···光阻液塗佈處理裝置、光阻液塗佈單元 ---------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) #——[I—^- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製訂---------線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） -37-

Claims

六、申請專利範圍 1 · 一種處理液供給裝置，係衣1 係用以對基板上供給處理液者，包含有：土出喷嘴，係用以對該基板供給處理液者；一容器，係用以收容該處理液者； -供給配管，制錢結該吐㈣嘴與該容器者；一泵，係配設於該供給配管者；一泵驅動機構，係用以控制該泵之運轉者；一循環配管，係一端自該容器與該泵間之配管分岐，另一端則配設於該泵者；過濾器，配設於該供給配管中途且位於該循環配管之一端與另一端間，係用以過濾該處理液以去除異物者；一排放配管，係用以將已藉該過濾器加以過濾並含有異物之處理液排出者；及一控制閥，配設於該排放配管内，係用以控制由該過濾器所排出之處理液流量者。 2.如申請專利範圍第1項之處理液供給裝置，其並包含有：一加壓裝置，係用以加壓該容器内之處理液者；及控制器’係可配合該加壓裝置之加壓時間而開啟該控制閥者。 3·如申請專利範圍第1項之處理液供給裝置，其更具有一配設於該泵之下流側且位於該吐出喷嘴之上流側而用以去除處理液中之氣泡之去除部。 4·如申請專利範圍第1項之處理液供給裝置，其中該泵本紙張尺度適用中_家標準（CNS)A4規格⑽χ撕公髮）丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨丨•丨丨丨丨丨丨丨，^ ·丨丨丨丨丨丨丨· - (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -38- 經濟部智慧k產局員工消費合作社印製 497168 A8 B8 C8 I------ 六、申請專利範圍包含有：一循環口，係與該供給配管相連通者·，一吐出口，係與該供給配管之下流側相連通者；及及入口，係與該供給配管之上流側相連通者；其中該泵驅動機構則係可配合吸入時間而封閉該吐出口或配合吐出時間而封閉該吸入口，且對該循環配管供 ►給該處理液者。 5·如申叫專利範圍第4項之處理液供給裝置，其中該循環配管内設有一循環量控制部，該循環量控制部係用以對配合吸入時間而蓄積於該泵内之處理液，控制配合吐出時間而自該吐出口吐出之吐出量與循環配管中所殘留之處理液進行循環之循環量者。 6·如申請專利範圍第1項之處理液供給裝置，其中該過濾器係具有用以捕捉處理液中之異物之多孔性構件者。 7·如申請專利範圍第1項之處理液供給裝置，其中該過渡器係具有至少一個用以檢測液面之液面檢測部，並可依據該液面檢測部所檢出之該過濾器内之液位來判疋有無進行排氣動作之必要者。 8.如申請專利範圍第4項之處理液供給裝置，其中該循環口係開口於該栗之上部而高於該吐出口者。 9·如申請專利範圍第1項之處理液供給裝置，其中該處理液係指光阻液。 10· —種處理液供給方法，包含有：本紙張尺度適射國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公ίΤ -39- -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 六、申請專利範圍一準備程序，係準備下列各項者·· 一吐出噴嘴，係用以對該基板供給處理液者；一谷器’係用以收容該處理液者；一供給配管，係用以連結該吐出噴嘴與該容器者；一泵，係配設於該供給配管者；一泵驅動機構，係用以控制該泵之運轉者；一循環配管，係一端自該容器與該泵間之配管分岐’另一端則配設於該泵者；一過濾器，配設於該供給配管中途且位於該循環配官之一端與另一端間，係用以過濾該處理液以去除異物者；一排放配管，係用以將已藉該過濾器加以過濾並含有異物之處理液排出者；及一控制閥，配設於該排放配管内，係用以控制由該過濾器所排出之處理液流量者；經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一吸入程序，係將處理液由該容器吸入該泵内者；以及一吐出程序，係朝該吐出噴嘴吐出業經吸入該泵内之處理液，並使處理液循環於該循環配管中，以藉該過濾器而將處理液中至少一部分之氣泡分離者。 11. 如申請專利範圍第10項之處理液供給方法，其更包含一排氣程序，該排氣程序則係加壓該容器，並以該過濾器將泫處理液過濾，而自該排放配管排出含有氣泡之處理液者。 12. 如申請專利範圍第n項之處理液供給方法，其中該排六、申請專利範圍氣程序係於該吐出程序中進行者。 13.如申請專利範圍第項之處理液供給方法，其中該吸入程序或吐出程序中，當檢出該供給配管中之處理液之氣泡量’且該氣泡量已超過預定量時，即進行該排氣程序。 14·如申請專利範圍第n項之處理液供給方法，其中該控制閥係於該排氣程序中於開始加壓該容巧前之定時開啟者。 15·如申請專利範圍第13項之處理液供給方法，其中該氣泡量係藉設於該過濾器内之液面感測器檢出。 16·如申請專利範圍第ι〇項之處理液供給方法，其中該栗包含有：一循環口，係與該循環配管相連通者；一吐出口，係與該供給配管之下流側相連通者；及一吸入口，係與該供給配管之上流側相連通者；其中該泵驅動機構則係可配合吸入時間而封閉該吐出 Π或配合吐出時間而封閉該吸’且對該循環配管供給該處理液者。 17.如申請專利範圍第16項之處理液供給方法其中該循環配管具有一用以控制流動於該配管中之處理液流量之流量控制部，而藉該流量控制部，即可對依吸入定時而蓄積於該泵内之處理液控制配合吐出時間而自該吐出口吐出之吐出量與循環配管中所殘留之處理液進行循環之循環量。 497168 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣六、申請專利範圍 18.如申請專利範圍第10項之處理液供給方法，其中該處理液係指光阻液。 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) F·裝 1· n 1·— ϋ ammam J ， n n 1 ϋ Mmmf mam§ ββ§ I I tl_ -42- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）