TW468058B - Optical device and fabrication thereof - Google Patents

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4 6 8 058 A7 B7 五、發明說明（1 ) 本發明之技術範圍 本發明關於光纖通信之範圍。特別關於一含雷射及調變 器之光學裝置，及關於該光學裝置之製造方法。 相關技藝説明及本發明之背景 在許多光纖系統應用中，對光源之需求非常迫切。特別 是需要良號之頻譜純度，以在長距上傳輸高位元率資訊。 在雷射調變期間，會發生頻譜之最小擴展。線性調頻爲超 過’較猗頻所需之頻譜寬度之頻譜擴展。因爲不同波長以 不同速度在頻散媒介中傳播，如光纖，由於大幅線性調頻 之存在，會造成跨光纖網路上，傳輸之調變光信號之較大 頻譜擴展。 因此，降低線性調頻爲光學通信之長遠理想。低線性調 變之調變雷射源在長距離，高位元率光纖傳輸系統中非常 要’因線性調頻引起之脈衝失眞，能降低性能及距離。 調變雷射光使用二種方法：直接調變及外部調變。直接 調變中，雷射，如雷射二極體由一資訊直接調變，以產生 調變之雷射輸出。外部調變時，利用一調變器以調變自雷 射二極體之光。一資訊信號加至調變器，而非如直接調變 加在雷射上。自外部調變之頻率偏移（線性調變），較直接 調變雷射達成者低甚多，特別是，如需要傳輸之光信號之 高消率時爲甚，而不論在雷射與調變器間之發生之光電互 動。 在外部調變中，.利用二不同配置以連接外部調變器與雷 射源。在第一配置中，調變器與雷射配置在分立，各別之 ， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·！丨丨丨II訂·!----Ί nil 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468 05 8 A7 B7 五、發明說明（2) 基體上，在第二配置中，調變器及雷射則構造成在—單晶 片上之積體雷射調變器裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在第一配置中，雷射與調變器間之光互動可用一光隔離 器，置於雷射與調變器之間，以達成將雷射及調變器光隔 離，該光隔離器可使光僅在一方向傳播。 在第二配置中，雷射與調變器製造在一單一晶片上，俾 可獲得雷射與調變器之内連。但，其甚爲複雜及價筇，如 非不可能將一光隔離器，與雷射及調變器統合在單—晶片 上。 爲了降低成本，複雜性及大I]、，利用第二配置非常理想 ’即統合一雷射及碉變器之組合及降低光互動，及降低線 性調變，而不用光隔離器" 如圖1所示’爲一習知技藝之統合之雷射/調變器.。雷射 部份1及調變器部份3 ’形成在一具有背平面7及前平面9 之基體5上。爲獲得良號性能，利用此一積體配置必須使 晶片上之内部反射爲最小，因爲反射回至雷射之光，會干 擾雷射及造成線性調頻及其他問題。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲降低調變器中之向回反射，在調變器3之輸出端13與 前平面9之間形成一所謂視窗結構11 ^视窗區爲丨5微米長 _，由InP組成並安排成自由光傳播。由於自調變器3之光· 輸出之擴散，前平面9反射之光’被搞合回至波導，因此 可以降低。此外，爲降低前干面9之反射率，典型地在其 上會形成一抗反射（AR)塗層15。在配置中保持高效率耦合 ，甚爲重要，但此舉使降低反射至雷射.部份更爲複雜。 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 3 05 8 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（3 在傳統裝置中抑制内部反射，在許多情況下均不夠，因 而導致此種基體調變器/蕾射裝置之生產上，不良之產量。 自晶片上調變器波導終端13引起之反射，與AR-塗層之 前平面9之剩餘反射，均返回波導。 本發明之概述 本發明之一主要目的爲提供一含雷射及一調變器之光學 裝置，其中之内部反射可以降低。. 本發W之一特殊目的爲提供光學裝置，其中，雷射部份 與調變器部份間之光互動可以降低。 本發明之另一目的爲提供一光學裝置，其可同時展現良 好之韓合效率。 冬發明之又一目的爲提供一光學裝置，其爲—簡單，低 成本及有緊縮尺寸。 根據本發明，此等目的可由一光學裝置達成，該裝置具 有一背平面及前平面，彼此相對，此裝置包括一雷射，— 調變器，及一视窗區β雷射適於放射與背平面傳直之光。 #1變器有一輸入端及一輸出端，其適於接收及調變自雷射 放射之光，及在調變器輸出端，輸出調變之光。視窗區安 棑在”周變li輸出端與裝置之前平面之間，俾自調變器^出 之調變光，可經視窗區傳輸，並由裝置之前平面輸出。此 調變器爲彎的，俾自調變器輸出之調變光，主要在—方1 傳播’其與前平面之法線成一角度。 有此設施，在前平面反射之光自調變器之輸出端被導向 ，而不致向其反射回去，.因而自前平面反射之向回反射: -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝-------訂------ _| 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 B 05 8 A7 _ B7 _ _ 五、發明說明（4 ) 則不致進入調變器及雷射，因此，線性調頻可以降低。 根據本發明之第二特性，上述之目的可由一光學裝置提 供’其具有背平面及前平面，彼此相對，該裝置包括—雷 射，一調變器，及一視窗區。雷射適於發射光。調變器有 一輸入端及一輸出端’並適於接收及調變放射自雷射之光 ’並在調變器之輸出端輸出調變之光。視窗區安排在調變 輸出端與裝置之前平面之間，俾自，調變輸出之調變光，可 經視窗區傳輸’並可由裝置之前平面輸出ν此外，裝置之 安排可使自調變器輸出之光，主要在一方向傳播，該方向 與裝置前平面之法線成一角度。最後，調變器輸出端爲遞 變的。 在此設施後·，在調變器輸出端反射之光可降低。此外，遞 變之調變器輸出端，在改進耦合效率上亦甚有效，因其將 自調變器光輸出之角擴展更窄。角度入射於前平面與遞變 之調變器輸出之組合，可進一步降低反射在前平面之光， 該光將反射回至調變器。因此，線性調變可進一步降低。 組合本發明之二第一特性，可獲得一光學裝置，其中， 向後散射之被防止而無法進入調變器，其中之彎調變器與 斜前平面可設計爲，使裝置之光輸出之方向，與自雷射之 光放射之傳播方向平行。 本發明之另一目的爲提供一方法，以根據本發明之第一 及第二特性製造光學裝置。 在此一方面，本發明有一特別目的，即提供一製造方法 可提供高產量。 -7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ί琦先閱讀背面之速意事項再填寫本買} - " - . 裝 ---il-lir-----ΙΙΊΙ- 468058 A7 — 1 _________ B7 __ 五、發明說明（5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，根據本發明之第三特性，備有—方法以製造一光 學裝置’方法包括步驟⑴提供一具有背平面及前平面彼此 相對I基體；以）在基體中或其上形成雷射，此雷射適於 方射與背平面成垂直之光；在基體之内或其上形成— 具有輸入端及輸出端之調變器，此調變器可適於接收及調 變自雷射方射之光，及在調變器輸出端輸出調變之光；及 (ίν)在調變器輸出端與裝置之前平面間，構成一視窗區，使 自裯變IT之賙變光，可經視窗區傳輸，並經裝置之前平面 輸出。此外’調變器形成一彎曲，使自調變器之輸出調變 光’可在一與裝置之前平面之法線成一角度之方向傳播。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 最後’根據本發明之第四特性，備有一製造光學裝置之 方法，含下列步驟：⑴提供一具有前平面及背平面，彼此 相對之基體；（ii)在基體中或其上形成一雷射，此雷射適 於放射光·’（iii)在基體中或其上，形成一輸入端及輪出端 之調變器，調變器於接收及調變自雷射放射之光，並在調 變器之輸出端輸出調變之光；（iv)在調變器之輸出端與裝 置之前平面間，建立一視窗區，俾自調變器輸出之調變光 ，可經由視窗傳輸，並經由裝置之前平面輸出。形成基體 ，雷射，ϊ周變器及視窗區等步驟實施後’自調變器輸出之 調變光’可在一方向傳播，該方向與裝置前平面之法線成 一角度。此外，調變器形成一遞變輸出端。 本發明之一優點爲低内部反射及良好之耦合效率可同時 獲得。 本發明之其他特性及優點可自下列實施例之詳細說明後 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 46 8 05 8 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（6 ) ，而非常明顯。 圖式簡略説明 本發明可在詳細説明實施例及附圖式1 - 4後而更爲瞭解 ，彼等僅係說明性質，而無限制意。 圖1圖解説明習知技藝之積體雷射/調變器之頂視圖。 圖2説明本發明第一實施例之積體雷射/調變器之頂視圖。 圖3説明一調變器之部分頂視圖，，調變器具有一突變輸 出端及二遞變輸出端，其安排與前平面成一角度關係，該 圖特別説明遞變調變器輸出端之優點、 圖4説明本發明之第二實施例之積體雷射/調變器之頂视 圖’插圖爲前平面之放大。 實施例之詳細説明 以下之説明中’係爲解釋之目的，而非限制，其所述之 特殊細節如特殊技術及應用，以提供對本發明之徹底瞭解 。對精於此技藝人士而言’非常明顯，即本發明可以與此 特殊細節不同之實施例實施，有時，知名之方法及装置之 詳細之説明，已予省略，俾不致以無必要細節混淆本發明 之説明。 參考圖2 ’其圖解説明一基體雷射/調變器之頂視圖，本 發明之第一實施例將予以説明。 此基體雷射/調變器包含一基體21，其中，雷射部份23及 調變器部份25形成其内。雷射23爲典型DFB (分步回輸）雷 射’亦可爲其他適合雷射，即DBR (分步Bragg反射）雷射。 調變器25最好爲一 EAM (電吸收調變器），其中之波導有一 -9 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

裝--------.訂-------！嗥—Y I, _| 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 468058 Α7 Β7 五、發明說明（7) 大或量子壁結構，波導可爲埋入或及脊波導。或者，調變 器爲其他型如Mach-Zehnder調變器6 此系統最好由材料系統InP/Ini xGaxAsyPi y構成，其他材料 系統亦可使用ό 此外，裝置包含一背平面27及一前平面29彼此相對。最 好’二平面爲平坦而彼此平行之平面，俾圖2之ζ轴構成與 二表面正交。背平面27可用作在雷射部份之反射機構，特 別在雷射·爲DFB時爲然，並可備有一高反射（HR)塗層（未説 明）。前平面29輸出調變光，其最好備有一 ARs 31。視窗 區33備於調變器25與裝置前平面29之間。 根據本發明，調變器25爲曲線形，故雷射23放射之光沿 Ζ轴，’並由調變器25在操作期間調變，並以一方向輸出進 入視窗區33，如圖2之34所示，其形成裝置之前平面之法 線，即Ζ軸成一角度。調變器之彎曲半徑爲約5〇〇微米。角 度α至少2度，最好爲至少5度，更佳爲至少或約爲8度。 總折射角之上限，視視窗區33之折射率，AR塗層31，及四 邊空氣而定，上限之典型値爲15-20度。 如此設計，即以彎曲終止波導，而非以直線，俾調變器 波導之尖端或輸出端35，可與Ζ軸形成一角α，因此可能 降低反射回波導之光。此可由幾何考慮而瞭解：光將以與 Ζ軸成α角進入視窗區33，在前平面29(包括AR塗層31)反 射之光，因此角之關係，而大部份反射遠離波導輸出端。 此可抑制自前平面（包括AR塗層）之反射。 此外，波導最好一遞變方式終結，意即波導之寬度及/ -10 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 tr-i------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 0 05 8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（8 ) 或厚度，在一長約爲20-50微米區域，漸漸降爲零，或接近 零。此舉使自波導終止35產生之反射降低，因爲，波導不 連續將出現一段距離，與材料中之光波長相較爲大。此外 ，場之形狀亦因此遞變而改變，其結果將參考圖3加以説 明。 最後，向外耦合裝置37，其爲典型透鏡-隔離器組合， 用以耦合光進入光纖39，該裝置位於（即裝置37之光軸41) 與Z軸成-一角度々處，以使積體雷射/調變器組件之耦合效 率最大。該適當之角度/3由Snell定律所定，及在典型狀況 下，爲30度（在波導終端35自Z軸有10度之偏移（〇〇)。 此積體雷射/調變器裝置，向外合裝置及選擇性之光纖 連接，可安裝於模组中或包封中。 現在轉向圖3 ’其爲調變器51之部份頂視圖，其具有一 突變輸出端53’及一調變器55，其具有一遞變輸出端57， 與前平面59安排成一角度，遞變調變器輸出端之優點將予 以討論。 因爲波導之遞變之結果，遞變區之輸出之光將橫向，擴展 。此舉意味，視窗中之衍射之角擴展，要較無遞變時爲小 。自突變53及遞變57輸出端之光輸出，角擴展由圖3之63及 67所示。 較小之角擴展代表耦合之效率可獲改進。 此外，彎調變器與遞變調變器組合之優異效應爲，在有 角度之遞變調變器端57’之輸出之角分布中之光較少，因 其大部反射回至調變器波導。此與—直線調變器爲一對比 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------— 1 訂·! ---Ί :β 463^5^8 A7 一 一 一 B7 五、發明說明（9) ，此情況下，光以與前平面垂直方式入射，此時，較小之 角擴展’將導致更多之光反射回至調變器。 (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 其次參考圖4，其爲一積體雷射/調變器裝置之頂視圖， 其中之插圖顯示前平面之放大，本發明之第二實施例將予 以説明。 此第二實施例之裝置與圖2中之裝置相同，但在圖4中， 裝置前平面以29’表示，此前平面與z軸成一角度，而非與 Z轴以一角度配置一任何外部向外耦合装置。裝置之所有 其他零件’與圖1所示之參考號碼相同。在此實施例中， 一 AR塗層（未説明）可涵蓋此前平面。 前平面29'可能應用適當技術，如乾蚀刻與z軸成一角度 。乾蚀刻視窗終端之角度厂主要由Sndl|律而定（提供一 與Z軸平行之輸出耦合）。 吾人應注意，在此實施例中，最好應用大或更大角度（ 即圖2中之角度α之調變器彎曲，因爲，乾蝕刻之角度前 平面29'可降低，光傳播方向與裝置之前平面的法線（71)之間 之角度（在）β 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 吾人應暸解，本發明之遞變調變器端，在與有角度之入 射至裝置之前平面結合時，具有三重優異效應：第一，在 調變器端之反射可以降低；第二，向外耦合效率可獲改進 :第三’自前平面反射回至調變器之反射可降低。吾人暸 解，此等特性可在不提供一彎調變器時獲得。 例如，裝置之前平面可與Ζ軸成一角度，如第二實施例 所述，而備有遞變輸出端之調變器爲直線形（無寶曲）a入 -12- 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS)A4規格（2W X 297公釐）

6 B 05 B 第89122184號專利申請案 中文說明書修正頁(9〇年8斤y -------A7~----^ ------ρ Ψ _ 五、發明説明（〒年扣， 〜-----

ί I J 射進入裝置之前平面之有角度光，僅由前平面傾斜而定。 在另一直線雷射/調變器版式中，具有遞變調變器輸出 端之配置可用對角線方式安排在基體上。 以本發明之原理，可獲得一在反射上較佳性能之 變器/雷射。 、本發明提供-機會，以獲得積體雷射，調變器中之低内 部反射，而無AR塗潛上之需纟。同時可獲得良好之輕合效 率。本發明（新穎特性’有潛力可降低自波導終端之反 射，及剩餘平面反射。 非常明顯，本發明可有許多方式之變化。此等變化不被 認為有悖本發明之範圍。所有修改對精於此技藝人士而 言，甚為明顯，並意欲包括在本發明之申請專利範圍中。 元件符號說明 I 雷射部份 3 調變器部份 5 基體 7 背平面 9 前平面 II 视窗結構 1 3 輸出端 15 抗反射（AR)塗層 2 1 基體 23 雷射 25 調變器 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4规格(210X297公釐) 4 6 8 Q_ 5 889122184號專利申請案 A7 B7 中文說明書修正頁(90年8月） 五、發明説明（伽 27 背平面 29，29’ 前平面 3 1 A R塗層 3 3 視窗區 3 4 方向 3 5 輸出端 3 7 向外镇合裝置 3 9 光纖 4 1 光軸 5 1 調變器 5 3 輸出端 5 5 調變器 5 7 輸出端 5 9 前平面 63,6 7 光輸出之角擴展 7 1 法線 -13a-本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 4 68 〇5 8 第89mi84號專利申請案 部 中文申請專利範圍修正本(9〇年8月）gj 六、甲請專利範圍 1·—種光學裝置，具有一背平面（27)及一前平面（29; 29’）’彼此相對，該裝置包括： 一雷射（23)適於放射與背平面垂直之光； 一調變器（25; 51; 55)分別具有一輸入端及輸出端（35; 53; 57)，及適於接收及調變自雷射放射之光，及輸出調 變之光於調變器輸出端；及 一視窗區（33)安排在調變器輸出端與裝置之前平面之 間； 該裝置被安排成，使自調變器之調變光經由視窗區輸 出’及自該裝置經由該前平面輸出，其特徵為 調變器為彎的’俾自調變器之調變光輸出在一方向 (34)傳播’該方向與該前平面之法線（2;71)成一角度 (5) 〇 2.如申請專利範園第1項之光學裝置，其中之表光之傳播 方向與該前平面之法線間之角度至少為2度’較 佳至少5度，更佳至少為8度，最佳約為8度。 經濟部中央標準局男工消费合作社印製 3·如申請專利範圍第1項之光學裝置，其中該調變器輸出 端為漸尖遞變。 4·如申請專利範圍第3項之光學裝置，其中該調變器輸出 端之寬度為漸尖遞變。 5. 如申請專利範圍第3項之光學裝置，其中該調變器輸出 之厚度為漸尖遞變。 6. 如申請專利範固第3項之光學裝置，其中之遞變調變器 本紙張尺及適用中國國家揉準（CNS > A4規格（210X297公釐） 468 05 8 A8 B8 C8 D8 經濟部t央標準局貝工消費合作社印裝 六、申請專利範園 輸出端部份’約為10至1000微米長度之間，最好在2〇至 50微米長度之間。 7 .如申請專利範圍第1項之光學裝置.，其中該前表面備有 一 AR塗層（31)。 8 .如申請專利範圍第1項之光學裝置，其中之裝置係為一 單塊積體半導體裝置。 9. 如申請專利範圍第i項之光學裝置，其中之雷射為DFB 雷射，調變器為一 EAM。 10. 如申請專.利知圍第9項之光學裝置，其中之背平面備有 一 mi塗層。 11. 如申·請專利範圍第1項之光學裝置，其中之裝置由 InP/In^GaxASyPh製成。 12_如申請專利範圍第！項之光學裝置，其中之前平面（29，） 與背平面成一角度（r)。 13.如申請專利範圍第12項之光學裝置，其中在光傳播方向 與該前平面之法線（71)間之角度（<5 )，及在前平面與背 平面間之角度（7 )，須加以選擇俾經視窗區傳輸之光， 及自裝置輸出之光在一方向傳播，該方向與該背平面垂 直。 14_ 一種光學模組，包含如申請專利範圍第丨項之光學裝 置。 .子 15.如申請專利範圍第14項之光學模組，尚包含—向外轉 合裝置（37)安排成與光學裝置之前平面之法線成L角产 ___ -2· 本紙張又度逋用中囷國家揉準（CNS ) A4規格（210x297公釐） ---------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) I17 4 6 B 05 8 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (沒）。 16. 如申請專利範圍第15項之光學模組，其中該與光學裝置 前平面所成之角（沒）須加以選擇，俾經由視窗傳輸及自 光學裝置輸出之光，主要在一方向傳播，該方向與該向 外耦合裝置之光軸（41)平行。 17. 如申請專利範圍第15項之光學模組，其中該向外搞合裝 置含一透鏡及/或一光學隔離器。 is. —種光學模組’包含如申請專利範園第12項之光學裝 置，及一向外耦合裝置（37)。 19. —種光學裝置，具有一背平面（27)及前平面（29; 29，)彼此 相對，該裝置含： 一雷射（23)適於放射光； —調變器（25; 51; 55)分別具有一輸入端及一輸出端（35; 53; 57) ’及適於接收及調變自雷射放射之光，並適於在 調變器輸出端輸出調變光；及 一視窗區（33)安排在調變器輪出端與裝置之前平面之 間； 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印製 該裝置尚安排成，使自調變器之調變光輸出經由該視 窗區傳輸’及自該裝置之輸出經由該裝置之前平面輸 出，其特徵為 該裝置安排成，自調變器輸出之調變光主要在一方向 (34)傳播，該方向與該裝置之前平面之法線（z;71)成一 角度（α ; <5);及 ._ _3. 本紙張XJt適用情國家揉準)从祕（21()><297公着） 8 5 ο 8 b

   ABCD 、申請專利範圍 該調變器輸出端為漸尖遞變。 (請先閲請背面之注意事項再填寫本頁) 20.如申請專利範園第19項之光學裝置，其中，在光傳播方 向與該前平面之法線間之角度（α ; τ )至少為2度，較佳 為至少5度’更佳為至少8度，最佳為約8度。 21，如申請專利範圍第19項之光學裝置，其中該調變器輸出 端之寬度為漸尖遞變。 22. 如申請專利範圍第19項之光學裝置，其中該調變器之輸 出端之厚度為漸尖遞變。 23. 如申請專利範園第19項之光學裝置，其中，漸尖調變器 輸出端部份長度在10至1000微米之間，最好在20至50微 米之間。 24. 如申請專利範園第19項之光學裝置，其中該前平面備有 一 AR塗層（3 1)。 25_如申請專利範圍第19項之光學裝置，其中之裝置為單塊 積體半導體裝置。 26. 如申請專利範圍第19項之光學裝置，其中該調變器為彎 的。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裂 27. 如申請專利範圍第19項之光學裝置，其中該調變器與該 前平面之法線成一角度。 28. 如申請專利範圍第19項之光學裝置，其中之該前平面 (29')與該背平面成一角度（Τ)。 29. —種用以製造一光學裝置之方法，含下列步驟： 提供·一基體’其具有一1背平面（27)及前平面（29; 29，）彼 -4- 本紙張尺度適用中圃國家雜準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 4 〇Β 05 8 A3 Β8 C8 D8 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 夂、申請專利範圍 此相對； 在基體中或其上構成—雷射（23)，該雷射適於放射於 背平面成垂直之光； 形成一具有輸入端及輸出端（35; 53; 57)之調變器（25; 51; 55)於一基體中或其上，該調變器適於接收及調變自 雷射之光’及在該調變器輸出端輸出調變之光；及 在調變器輸出端與裝置前平面間形成一視窗區（33)， 俾自調變器之調變光輸出，可經由該視窗區傳輸，及自 該裝置經由裝置之前平面輸出，其特徵為 形成一具有彎曲之調變器，俾自調變器之調變光輸出 主要由一方向（34)傳播，該方向與裝置之前平面之法線 (Z;71)成一角度（α; 5)。 30. —種用以製造一光學裝置之方法，含下列步驟： 提供一基體’其具有一背平面（27)及前平面（29; 29·)彼 此相對； 在基體中或其上形成雷射（23)，該雷射適於放射光； 形成一具有輸入端及輸出端（35; 53; 57)之調變器（25; 51; 5 5)於基體中或其上’該調變，器適於接收及調變自雷 射放射之光’及在調變器之輸出端輸出調變之光；及 在调變器輸出端與裝置前平面間形成一視窗區（33)， 俾自調變器之調變光輸出可經由該視窗區傳輸，並經由 該裝置之前平面輸出，其特徵為 形成基體’雷射’ 1周變器及視窗區，俾自調變器之調 -5- 本紙張適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（2丨0X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本I)

   468 05 8 韶 C8 D8 六、申請專利範圍 變光輸出主要在一方向（34)傳播，該方向與裝置之前平 面之法線（Z;71)成一角度（α; 5);及 形成漸尖遞變之調變器輸出端。. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '..,4 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家楯準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）