44b6 9 9 a? B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 ) 1 ] 枝 術 JL 域 1 ί 本 發 明 像 有 關 於 一 種 在 移 動 體 的 變 位 作 用 下 譬 如 可 [ 搬 送 工 件 (V 0 Γ k) 等 的 致 動 器 及 其 控 制 裝 置 0 1 I 請 卜 I a. 晉 枝 術 先 閱 1 1 讀 I Η 往 使 用 致 動 器 於 製 品 的 搬 送 等 如 第 18 圖 所 示 ， 背 ! \ 之 該 致 動 器 200 具 有 斷 面 矩 形 狀 長 尺 的 導 座 201 • 與 圖 未 注 黃 1 事 1 表 示 的 軸 承 框 之 兩 端 部 回 轉 如 所 支 持 以 傅 達 圖 未 表 項 再 ! 填 、 示 之 驅 動 源 的 回 轉 驅 動 力 的 進 給 螺 絲 軸 202 ♦ » 與 在 上 述 進 寫 太 袈 頁 1 給 螺 絲 軸 202 契 合 之 螺 綠 孔 貫 通 形 成 而 在 上 述 進 給 螺 絲 1 軸 202 的 回 轉 作 用 下 t 沿 著 導 座 201 之 長 度 方 向 往 復 動 作 1 1 的 移 動 體 203 〇 1 1 尚 且 藉 由 在 上 述 導 座 201 與 移 動 體 203 之 間 裝 置 滾 訂 I 珠 204 構 成 在 上 述 滾 珠 204 的 轉 動 作 用 下 移 動 體 203 1 I 會 有 圓 滑 的 往 復 動 作 0 1 1 I 可 是 * 有 闞 於 上 述 Μ 往 技 術 的 致 動 器 200 臂 如 由 1 於 進 給 螺 綠 軸 202 的 螺 牙 的 摩 耗 因 而 移 動 體 203 的 直 線 I 精 度 劣 化 時 9 或 者 上 述 進 給 螺 絲 軸 202 與 直 徑 不 同 的 另 一 1 | ^ 進 給 螺 絲 軸 或 是 滾 珠 螺 絲 軸 等 其 他 的 驅 Ffir. 動 力 傅 達 構 件 交 換 1 時 f 被 —λ 體 化 的 進 給 螺 絲 軸 202 及 移 動 體 203 等 非 整 體 的 1 I 交 換 不 可 上 述 父 換 作 業 會 變 成 煩 雜 再 者 因 為 不 只 進 1 1 I 給 螺 絲 轴 202 連 同 移 動 腊 203 也 非 交 換 不 可 >λ 致 有 成 本 1 1 增 大 的 不 妥 〇 1 再 者 } 有 闞 於 >λ 往 技 術 的 致 動 器 200 使 用 者 随 使 用 1 1 環 境 興 通 常 的 規 格 不 同 的 其 他 規 格 使 用 致 動 器 200 時 導 I 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） 1 395 2 1 4 456 9 9 A7 B7 五、發明説明（2 ) 致分解該致動器200之後，重組裝成希望的構成相當困難 且煩雜，Μ致有成本高漲的不妥。 再者，在以往如已知的有第19圖所示之電動致動器 300 *第19圖所示之罨動致動器300具有沿著長度方向形 成長尺狀，且包含有大致平行的一組導軌318a、318b之框 架320與在導軌318a、318b的導引下沿著框架320之長度方 向變位的移動體3 30 。 在上述框架320構成的凹部321内，沿著長度方向支 持滾珠螺絲軸316 ，移動體330固著有與滾珠螺絲軸316 螺合之形成圖未表示的螺絲孔的軸承方框341 ，再者，上 述電動致動器300包含有固著於框架320的一端部且旋動 自如的支持滾珠螺絲軸316的支持方框342 ，與構成固定 於框架320的另一端部將滾珠螺絲軸316向規定方间回轉 驅動的驅動部之無刷馬達322 ，其中如上述所構成的罨動 致動器300 ，供給電源至無刷馬達322 ，因而驅動無刷馬 達322時，無刷馬達322的轉子（圖未表示）之回轉驅動力 被傳逹至滾珠螺絲軸316 ，滾珠螺絲軸316在規定方向被 經濟部中央標準局員4消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 回轉驅動。 依據滾珠螺絲軸316之回轉驅動•藉螺合於滾珠螺絲 軸316的軸承方框341 ，移動體330沿著導軌318a、318b 圓滑的變位成直線狀*將搬送被載置於移動體330圖未表 示的工件。 尚旦，編號310a及310b係分別固著於框架320的一端 及另一端之制動擋，限制移動體330的移動範圍。 本紙張尺度適用中國國家標準（cns ) A4規格（2iox297公釐） 2 3 9 52 1 經濟部令央標準局員工消費合作社印繁 4456 9 9 Λ7 B7 五、發明説明（3 ) 可是，在如上述的从往的電動致動器300 ，將被載置 於移動體330的工件，沿著框架320搬送時，在移動體330 與框架320之端部的制動擋31〇a、310b之間夾入異物等時 ，或移動體330在框架320的端部之制動擋310a、310b碰 到時，希望鑀和移動體330的移動而能限制驅動源的轉矩 為宜。 此即，將電動致動器300豎立狀態設置使移動體330 的變位方向成為垂直方向時也一樣，將移動體330變位至 下降右向時，因驅動源的回轉驅動力與工件的自重使下降 速度增加*在移動體330與制動擋310a、310b之間有必需 避免異物等夾入。 為此，作為Μ往的電動致動器300的控制裝置，在驅 動源與滾珠螺絲軸316之間設置作為轉矩限制器之圖未表 示的摩擦板等*在負荷變成過大時藉摩擦板之滑動，防止 過大的驅動力加於移動體300 *用以施行驅動源的轉矩控 制0 J 可是，依上述以往的方法，組裝驅動源時，轉矩限制 器的繫緊力非事先設置希望的值不可，遇所載置的工件變 更等而工件的自垂變更時，不容易變更轉矩限制器的轉矩 限制值，以致有轉矩限制值無法自由變更的問題存在。 本發明係提供一種致動器及其控制裝置，能夠僅將騮 動力傳達軸簡便且廉價交換的同時•按照使用環境能夠簡 單重組裝·而且可Μ簡易設定變更回轉驅動源的轉矩限制 值為目的者。 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（210Χ297公釐） 3 39 5 2 1 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 445 6 9 9 B7 經濟部中央標準局肩工消費合作社印製 五、發明説明（ 4 ) I 發明之概要 1 1 依 本 發 明 有 翮 的 致 動 器 ， 利 用 在 移 ffit, 動 座 形 成 有 驅 動 力 1 傳 達 軸 與 其 軸 線 正 交 的 方 向 可 插 通 的 開 P 部 能 使 驅 動 力 1 請 [ ] 傳 達 軸 的 組 裝 和 維 修 能 夠 簡 便 者 0 先 閱 1 讀 1 1 再 者 依 據 本 發 明 之 致 動 器 之 控 制 裝 置 根 據 產 生 的 背 1 1 之 1 1 速 度 模 式 的 速 度 控 制 回 轉 驅 動 源 的 回 轉 速 度 的 操 作 量 控 注 意 1 [ 制 信 號 之 水 平 受 限 制 在 轉 矩 限 制 值 信 號 的 水 平 而 依 被 水 事 項 再 1 1 平 限 制 的 操 作 量 控 制 信 號 t 控 制 致 動 器 的 回 轉 驅 動 源 的 通 1 本 裝 電 量 上 述 回 轉 驅 動 源 的 轉 矩 被 控 制 在 轉 矩 限 值 的 限 制 值 頁 1 ! 信 號 的 水 平 〇 1 I 因 而 回 轉 驅 動 源 的 轉 矩 依 據 轉 矩 限 制 值 信 號 被 控 制 1 1 f 且 由 於 能 夠 容 易 設 定 轉 矩 限 制 值 信 號 回 轉 驅 動 源 的 轉 訂 I 矩 之 設 定 變 更 能 夠 依 據 使 用 條 件 容 易 變 更 依 X 件 的 條 件 1 I 能 夠. 設 定 最 適 當 的 轉 矩 0 1 ! 1 圖式的簡蜇說明 1 人 第 1 圆 画 係 有 關 本 發 明 之 實 施 形 態 的 致 動 器 的 斜 視 圖 0 1 第 2 回 圖 表 示 在 第 1 圖 沿 著 I — I 線 的 縱 斷 面 圆 圖 0 L 第 3 圆 表 示 構 成 第 2 圖 之 致 動 器 移 動 座 的 變 形 例 之 斜 1 視 圖 0 1 1 第 4 固 画 表 示 構 成 第 2 圖 之 致 動 器 軸 承 座 的 變 形 例 之 分 1 1 1 解 斜 視 圖 〇 I 1 第5A圖表 示 對 構 成 導 向 機 構 的 轉 動 溝 施 行 硬 化 處 理 1 的 狀 態 之 一 部 份 省 略 的 斷 面 圖 〇 1 ί 第5B圖表 示 連 通 上 述 轉 動 溝 的 儲 油 用 孔 部 形 成 之 狀 態 1 1 本紙張尺度適用中國.國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公t ) 4 3 9 52 1 Λ7 4 45d 9 B7 五、發明説明（5 ) 的一部份省略的斷面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第6圖表示第1圖之致動器納入半導體晶片的搬送糸 統狀態的概略斜視圖。 第7圖表示第1圖之致動器的變形例之一部份省略的 斜視圖。 第8圖表示第1圖之致動器的變形例之一部份省略的 斜視圖。 第9圖表示第1圖之致動器的變彤例之一部份省略的 斜視圖。 第10圖表示第1画之致動器的變形例之^部份省略的 分解斜視圖。 第11圖表示第1圖之致動器的變形例之一部份省略的 斜視圖。 第12圃表示有關本發明之實胞形態構成致動器的控制 裝置之方塊圖。 第13A圖和第13B圖係表示提供在第12圖的致動器的控 制裝置生成的移動速度祺式的說明之模式圃。 經濟部中央棹準局員工消費合作社印製 第14A圖和第14B圖表示致動器配置於水平方向的狀態 *移動體在一定方向移動的狀態之概略構成圖。 第14C圖表示上述移動體移動時的速度模式的說明圖 0 第15A圖和第15B圖表示致動器配置成水平方向的狀 態*移動體與上述相反方向移動的狀態之概略構成圖，第 15C圖表示上述移動體移動時之速度模式的說明圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） 5 3 95 2 1 4456 9 9 Λ7 Β7 五、發明説明（6 ) 第16A圖表示致動器配置成垂直方向的狀態*移動體 下降狀態的概略構成圖，第16B圖表示上述移動體下降時 速度模式的說明圖。 第17A圖和第17B圖表示致動器配置於垂直方向的狀態 ，移動體上昇的狀態概略構成圖，第17C圖表示上述移動 體上昇時的速度横式說明圖。 第18圖係有關於Μ往技術的致動器之斜視圖。 第19圖表示有關於其他的Μ注技術電動致動器構成的 一部份斷面正面圖。 發明之最佳茛施形態_ 玆參照所附圖面就本發明致動器及其控制裝置列舉適 當賁施形態詳细說明如下。 在第1圖和第2圖•參照數字10係表示有關於本發明 之實施形態之致動器。 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 該致動器10係具有：斷面呈3字形長尺狀所形成之框 架12;與固設在上述框架12的凹部14内或在該框架12的一 端部連結的驅動部；與作為傳達上述龌動部的驅動力的具 驅動力傳達構件機能之進給螺絲軸16;與藉上述進給螺絲 軸16傳達的驅動力作用下沿著框架12的長度方尚變位的移 動體18;與引導上述移動體18能沿著框架12的長度方向的 導向機構20·在上述框架12的表面實腌硬質防蝕鋁癍理。 尚且，上述驅動部譬如包含如第2圖所示之馬達等的 回轉驅動源21，或者在缸筒室收裝的活塞在壓力流體的作 用下做往復動作的未圖示的流體壓缸筒等，或者組合上述 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） R 39 5 2 1 4456 9 9 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 7 ) 1 I 回 轉 驅 動 源 21 與 流 體 壓 缸 筒 使 用 亦 可 0 1 1 更 且 * 上 述 致 tfil. 動 器 10係 沿 著 框 架 1 2長 度 方 向 的 兩 端 開 1 P 部 分 別 加 封 閉 ) 同 時 1 安 裝 作 為 限 制 移 動 ΜΗ 體 18移 動 範 1 請 | 圍 具 制 動 JtlHI 體 機 能 的 一 組 端 板 22 3 22b 上 述 端 板 22 a、 22b 先 閲 1 | 讀 1 支 持 封 閉 框 架 12上 面 之 開 口 部 24的 頂 蓋 26 在 上 述 頂 蓋 26 背 1 I 之 的 兩 側 面 t 如 第 2 圖 所 示 沿 著 長 度 方 向 分 別 彤 成 斷 面 T 字 注 意 1 | 狀 的 長 溝 沿 著 上 述 長 溝 安 裝 封 墊 構 件 28 a ί 再 者 在 框 事 項 再 1 t -· ·、 架 12側 * 也 形 成 與 上 述 同 樣 的 長 溝 上 述 長 溝 設 置 封 墊 構 填 寫 本 •) 裝 件 28b 與 頂 蓋 26 側 的 封 墊 構 件 28 a 對 峙 0 頁 1 1 該 封 墊 構 件 28 a 、28b 係 保 持 在 框 架 12的 長 溝 內 係 由 1 1 相 對 於 該 長 溝 的 斷 面 形 狀 之 保 持 部 30與 和 上 述 保 持 部 30 一 1 1 體 形 成 而 具 有 可 撓 性 的 唇 部 32所 構 成 由 於 上 述 一 組 的 封 訂 1 墊 構 件 28 a、 28b在 沿 著 框 架 1 2的 長 度 方 向 設 成 其 一 部 份 重 1 1 I 盤 框 架 1 2與 頂 蓋 26之 間 的 間 隙 被 封 閉 的 同 時 由 於 移 動 1 1 1 體 ΐδ移 動 時 封 墊 構 件 28 a、 28b的 唇 部 32如 後 述 的 接 觸 在 連 1 L ) 結 板 向 下 方 側 彎 曲 能 夠 阻 止 在 框 架 1 2 內 發 生 的 灰 塵 等 流 1 出 至 框 架 12的 外 部 0 1, 因 而 將 本 實 施 形 態 有 闞 的 致 動 器 10適 合 於 像 清 淨 室 1 等 需 清 淨 性 的 環 境 來 使 用 成 為 可 能 再 者 上 述 唇 部 32的 1 I 先 端 部 可 岔 開 成 二 形 成 其 分 岐 的 一. 方 的 唇 部 (圖未表示） 1 1 | 向 上 方 側 另 方 的 唇 部 (圖未表示）向 下 方 側 彎 曲 亦 可 0 1 框 架 1 2係 由 構 成 下 部 側 的 第 1方框體34與由上述第1方 1 框 apt 體 3 4的 兩 端 部 向 上 方 突 出 的 側 部 所 連 結 的 一 組 第 2 方 框 1 ί 體 36形 成 為 一 體 > 此 時 9 上 述 第 1 方 框 體 34及 第 2 方 框 體 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） 7 3 95 2 1 4456 9 9 Λ7 B7 五、發明説明（8 ) 36·臀如可用溶著、螺絲締结、或者後述的連結構件等的 結合方式組裝成為一體。 像這樣的，將框架12分別自別體形成的第1方框體34 及一組的第2方框體36分割所構成，由於上述第1方框體 34及第2方框體藉36分別由同一材質或者不同材質的金鼷 製材料或磁性體等形成，可視其載重之不同分別由不同強 度的部份來彤成框架12成為可能。 這情形，譬如上述第1方框體34由鋼撖材料或者不却 鋼440(sus 4 40)等彤成，上述第2方框體36由耐熱不却鋼 (sus)、組或者鎂等形成時最適合。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 框架12的下面和相互對向的外壁面形成斷面圼T字狀 沿著長度方向延長的長溝38，醫如，在上述長溝38的規定 部位安裝圖未表示的感測器等，再者_構成框架12的第1 方框體34的內壁面，形成斷面圓弧狀的轉動溝40*沿著上 述轉動溝40設置可轉動自如的複數滾珠42，更且，在上述 第1方框體34的内壁面，沿著長度方向延長形成複數流體 通路44，瞽如，作為驅動部使用圖未表示的流體壓缸筒時 ，可藉通過插人上述流體通路44內的配管構件（圖未表示） 對上述流體壓缸茼供給壓力流體•或者由該流體壓缸筒排 出壓力流體。 第2方框體36的外壁面，形成與第1方框體3 4同樣彤 狀的長溝3 8 *在上述外壁面與反對側的內壁面，則形成能 保持後述的封墊構件的封墊保持用長溝。 移動體18由形成平板狀的平板部46與在上述平板部46 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2Η)χ_297公釐） 8 3 95 2 1 4456 9 9 Λ7 Β7 五、發明説明（9 ) 下面連结的進給螺絲軸16以非接觸狀態圍繞的斷面圓孤狀 的開口部48所形成的移動方框50，與上述平板部46與移動 方框50之間連結隔一定間隔的一組連结板52，與在上述移 動方框50的一側面（沿著移動體1δ的移動方向的一側面）譬 如，藉螺絲繫結可拆裝自如連結|與進給螺絲軸16螺合的 螺絲孔54貫通肜成的軸承方框56等所構成（參照第2圖>。 該情形，由於將連接板52的端部形成如船首形狀的前 頭狹窄*移動體18移動時可減輕對封墊構件28的滑動阻力 (參照第1圖），再者，形成於移動方框50之開口部4δ的寬 度設定比進給螺絲軸16的直徑還大•尚且，上述移動方框 50的形狀非限定如第2圖之例，臀如*如第3画所示，使 用具有斷面矩形狀的開口部58的移動方据60亦可。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述軸承方框56，譬如，第2圖所示的長方形狀的板 材，或者如第4圖所示的，上述長方形的板材與圓筒體連 結形成一體亦可，上述一組的連结板52之間，形成頂蓋26 可貫通的空間部，上述平板部46的上面*斷面呈Τ字狀， 為安裝圖未表示的工件之安裝用溝部62;形成2條略平行 著。 導向機構20由在構成框架12的第1方框體34的內壁面 形成的斷面圓弧狀的轉動溝40，與在移動方框50的外壁面 形成的斷面圓弧狀的轉動溝64，形成複數的滾珠42轉動的 循環軌道，上述循環軌道藉圖未表示的回流通路形成連通 於移動方框50的循環孔66。 本發明之實施形態有關的致動器10，基本上係如Κ上 本紙張尺度適用中國國家標準（cns ) Α4規格（2丨〇 X 297公釐） ο 39 5 2 1 4 45 6 9 9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 10 ) ] I 形 成 者 9 其 次 ， 說 明 其動作和作用效果。 1 1 作 為 驅 動 部 譬 如|藉回轉驅動源21的 推 mx 壓 上 述 回 1 轉驅動源21的 回 轉 驅 動力傅達至進給螺絲 軸 16 上 述 進 給 1 螺 絲 軸 1 6在 定 方 向 旋轉，上述回轉驅動 力 藉 螺 A α 於 進 給 請 先 閱 I | 螺 絲 軸 16的 軸承方框56傳達至移動體18， 上 述 移 動 體 18沿 讀 背 1¾ 1 I 著 框 架 1 2的 長 度 方 向 變位。 i .1 I I | 該 情 形 由於構成框架12的第1方框體34的轉動溝40 事 項 再 1 本 1 1 與 構 成 移 «τΙ. 動 體 18的移動方框50的轉動溝64 形 成 沿 著 循 環. :") 裝 軌 道 及 循 環 孔 66 複數的滾珠42的轉動， 使 得 該 移 動 體 18 頁 ί 1 能 夠 圓 滑 變 位 0 1 1 苗 得 者 譬 如 上 述進給螺絲軸16的螺 牙 摩 耗 致 移 動 體 1 1 1 8的直線精度劣化 而換新進給螺絲軸16時 或 者 將 上 述 進 訂 I 給 螺 絲 軸 16與 直 徑 不 同的其他進給螺絲軸 (圖未表示）交 換 1 1 ! 時 或 者 將 上 述 進 給 螺絲軸16與其他的滚 珠 螺 綠 軸 等 其 他 1 1 I 驅 動 力 傳 達 構 件 (圖未表示）交換時*從框 架 12的上 面 拆 卸 1 1 頂蓋26後 藉 在 構 成 移動體18的移動方框 50的 一 側 面 可 由 ! 螺 絲 繫 結 之 軸 承 方 框 56與進給螺絲軸16成 一 體 從 該 移 動 方 1 Γ 框 50拆 卸 能 夠 簡 便 的交換上述推給螺絲 軸 16 換 曰 之 ) 1 移 動 方 框 50的 上 面 形 成有開口部48*通過 上 逑 開 口 部 4δ進 1 1 給 螺 絲 軸 1 6可 由 移 動 方框50的上方簡易拆 卸 0 1 I ] 丹 者 Τ 如 第5Α圖 所示，對構成導向機 構20的 轉 動 溝 40 1 1 6 4分別施行淬火後 ，施行磨削加工，更 且 藉 做 精 密 珠 1 擊 處 理 等 的 超 精 密 加 工，使上述轉動溝4 0 64的轉動面 Χ3Ε 1 1 化 9 能 夠 防 止 摩 耗 如第5Β画所示，藉連 通 於 上 述 轉 動 通 m 1 1 本紙張足度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1 〇 39521 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4456 9 9 Λ‘7 Β7 五、發明説明（11) 40、6 4的轉動面設置單數或複數個儲油用孔部68，能夠提 高滾珠42的潤滑性，此時•滾珠42由鋁、或聚乙烯亞胺樹 脂、或者超高分子聚乙烯等的材料形成，一方面*第1方 框體34由鋁材料形成，更且對轉動溝40、64由於KAHIZEH (註冊商標）電鍍等表面處理亦可，該情形，在上述儲油用 孔部68內，如設置可吸著含在潤滑油中灰塵的不織布則更 加合適。 其次，本實胞之形態有關的致動器10納入設置於清淨 室内之半導體晶片的搬送系統70的狀態如第6圖所示。 該搬送系統70*包含通過圃未表示的固定裝置沿著略 垂直方向立設的4支柱狀構件72a〜72d與一組分別横架在 上述柱狀構件的72a、72b，分別具有沿著X軸方向可移動 的圖未表示之移動體的第1致動器l〇a及第2致動器10b， 與上述第1致動器10a及第2致動器10b的移動體分別連結 •而沿著X軸方向移動自如所設置的第3致動器10c 。 上述第3致動器10c的移動體18係沿著Y軸方向移動 自如的設置著，上述移動體18係藉變位機構74沿著Z軸方 向附設移動自如的真空夾頭76，藉由驅動上述真空夾頭76 ，以軸部78作為支點將一組半導體晶片80能夠向箭頭方向 旋動規定的角度。 再者，上述搬送糸統70具有沿著Y軸方向變位的移動 體1δ設置的第4致動器10d ，上述移動體18的上方載置收 納半導體晶片80的箱子82，由上述真空夾頭？6保持的半導 體晶片80順次收納於箱子82內後，該箱子82在第4致動器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） Π 3 95 2 1 L--I 1 - - ί - 1 ' m - - n I _ m T ---- m [\- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 445 6 9 99 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 12 ) 1 [ 1 Od 的 驅 動 作 用 下 搬 送 至 規定 的 地 方 〇 1 1 其 次 t 本 實 施 的 形 態 有關 的 致 動 器 的 .變 形 例 如 第 7 ΓΒΪ 圖 1 〜第 1 1圖所 示 0 1 請 | 第 7 圖 所 示 之 致 動 器 90 * 係 本 實 施 形 態 有 關 的 致 動 器 先 閱 1 | 讀 1 10的 第 1 方 框體34單獨作為框架 12使用 再 者 將 滾 珠42轉 背 1 1 之 動的 循 環 軌 道 在 單 側 複 數 配列 0 注 意 I [ 第 8 圖 所 示 之 致動器100 將 上 述 第 1 方框體34進 ·, 事 項 1 1 再 填 步分 割 成 3 個 亦 即 » 上 述第 1 方框體34由平板狀 的 平 板 % 本 裝 102 與 相 互 相 對 在 上 述 平板102 的 上 面 隔 規 定 間 隔 連 结 頁 V* I 1 的一 組 側 板 104a 104b所構成 藉 在 上 述 平 板102 及 側 板 1 1 104a 、 104b的接合面分別形成 的 斷 面 T 字 狀 的 溝 部 106 嵌 1 I 合連 结 構 件 108 組 裝 白 如 所設 置 者 0 訂 第 9 圖 所 示 之 致 動 器 110 t 將 第 1 方 框體34與 第 2 方 1 I 框體3 6係 由 壓 出 法 或 抽 拉 法一 體 成形為椐架U 2 的 同 時 1 1 | 第2 回 圖 所 示 移動方框50與連結板52亦 由 壓 出 法 或 抽 拉 法 一 1 k 體成 形 為 移 動 體 114 0 1 第 1 0圖 所 示 之 致 動 器 120 » 係 為 使 轉 動 面 容 易 加 工 1 對框 架 122 的 內 壁 面 的 凹 部124 將 形 成 轉 ffil. 動 溝 4 0的構件 1 126 成 一 apt 體 裝 人 的 構 成 〇 I | 換 言 之 1 在 內 壁 面 能 彤成 矩 形 狀 的 凹 凸 面 128 狀 事 先 1 1 | 將框 架 122 — 體 壓 岀 或 抽 拉成 型 後 在 一 方 的 側 面 肜 成 嵌 1 合於 上 述 凹 凸 面 128 的 凸 凹面 129 在 另 一 方 的 側 面 形 成 1 斷面 圓弧狀的轉動溝40的構件126 裝 人 於 上 述 框 架 122 的 1 1 凹部 124 * 該 情 形 ， 對 框 架122 的 内 壁 面 轉 動 溝40無須 直 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2!〇Χ297公釐）’ 1 2 3 9 5 2 1 ^456 9 9 Λ7 B7 五、發明説明（13 ) 接加工*可在上述框架122為別體形成的構件126加工轉 動溝40*由此轉動溝40的加工能夠簡便且有效率的施行。 第11圖所示致動器130 ，在移動方框132側也相同， 表示事先形成的另一個構件134裝入轉動溝64的狀態。 尚且，其中在本實施形態，構成致動器10、10a〜10d 、90、100、120、130所有的構件，除封墊構件28之外， 均由鋁材料形成亦可。 其次•本發明實腌的形態有關的致動器的控制裝置之 構成如第12圖所示，尚旦，與第1圖和第2圖所示之致動 器10為同一的構成要素，附與同一的參照編號說明如下。 該致動器的控制裝置400依設定移動體18的移動速度 之加速/減速信號a、b通過開關SI、S2供給，且供給移動 體18的移動方向指示信號r，與後述的速度限制器402互應 ，將移動體18的移動速度模式由速度模式產生器（Speed Prof丨le Generator)401設定，一方面，藉接受開關S3、 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) S 4所供給的速度限制信號c、di從速度模式產生器401傳 來的輸出信號達到速度限制信號c 、d時，由速度限制器 402限制移動速度，移動體18的移動速度模式得以設定。 且更詳细的圃未表示之，臀如，將由負荷比設定器A 、BM希望的坡度為基準所設定負荷比之信號作為加速/減 速信號a、b輸出。使開關S1或S2在0N狀態時，相對於OFF 狀態之開關的加速/減速信號3或1)供給至速度棋式產生器 401 ，在此，加速/減速信號a、b供給至速度模式產生器 401做加速或減速的處理•再者，供給至速度橫式產生器 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4规格（2iox297公釐） 1 3 3 9 5 2 1 4Λ56 9 9 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 4 ) 1 1 401的移動方向指示信號r 的 極 性 為 基 準 譬 如 無 刷 馬 達 1 1 等 的 回 轉 驅 動 源 21的 回 轉 方 向 會 被 轉 換 〇 1 譬 如 1 移 動 方 向 指 示 信 號 Γ 係 正 極 性 時 回 轉 驅 動 源 I 請 | 21的 轉 子 係 反 時 鍾 方 向 的 回 轉 驅 動 來 白 負 荷 bb 設 定 器 A 先 閱 1 I 讀 E 的 負 荷 比 的 信 號 係 加 速 來 白 負 荷 比 設 定 器 B 的 負 荷 比 的 背 ί 之 1ΰ 號 係 作 加 速 再 者 * 移 動 方 向 指 示 信 號 Γ 係 負 極 性 時 9 注 意 I I 在 相 反 方 向 回 轉 驅 動 〇 事 項 再 1 一 方 面 > 速 度 限 制 器 402 的 情 形 也 同 樣 » 速 度 限 制 信 填 寫 本 裝 號 C 、d在 Π5Ι _ 未 表 示 9 譬 如 有 由 電 懕 設 定 器 C ‘ D相 對 應 於 移 頁 1 1 動 體 1 8的 移 動 速 度 所 設 定 的 信 號 開 關 S3在 0N 時 選 擇 速 度 1 1 限 制 信 號 C 開 關 S 4在 0N時 選 擇 速 度 限 制 信 號 d 0 I 1 因 而 選 擇 開 關 S1及 開 關 S3時 且 移 動 方 指 示 信 號 訂 Ι Γ 在 正 極 性 時 如 圖 13 A 實 線 所 示 依 據 加 速 / 減 速 信 號 1 1 1 a的坡度 速度被加速 如移動速度達到速度限制信號C 的 1 i ί 水 平 時 被 限 制 在 依 據 速 度 限 制 信 C 的 水 平 的 速 度 開 \ ι \ 闞 S3在 狀 態 之 期 間 會 被 限 制 在 速 度 限 制 信 號 C 的 水 平 1 > 接 著 選 擇 開 關 S2及 開 關 S4時 依 據 速 /減速信號b的 坡 度 1, » 速 度 會 被 加 速 移 動 速 度 達 到 速 度 限 制 信 號 d 時 會 被 限 I ι 制 依 據 速 度 限 制 信 號 d 之 水 平 的 速 度 開 關 S 4在 0N狀 態 1 I 之 期 間 會 被 限 制 如 此 般 設 定 速 度 模 式 0 1 ί 1 在 0N狀 態 的 開 關 S 1 或 S2 開 關 S 3或 S4 變 更 時 也 相 同 0 1 再 者 移 動 方 向 指 示 信 號 Γ 的 極 性 係 負 極 性 時 回 轉 驅 1 動 源 21 腿 未 表 示 的 轉 子 係 向 時 鐘 方 向 回 轉 驅 動 kk 加 速 / i 1 m 速 信 號 a、 b為 基 準 被 減 速 /加速 如第1 3A 圖 虛 線 所 示 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX297公釐） 1 4 3 9 5 2 1 4456 9 3 a7 _B7 五、發明説明（1 5 ) 速度模式遂被設定，同樣的，如第13B圖所示，也能夠設 定成連縯的複數之台形狀的速度模式。 —方面，回轉驅動源21的轉子之回轉數係藉霍爾元件 等的感測器403 ·檢出該回轉驅動源21的磁極位置，將來 自感測器403的輸出波形加Μ整型*與波型整型輸出的上 升及下降同步產生成脈衝波，且該脈衝波的頻率由速度檢 出機構40 4檢出，該速度檢出輸出與依據速度限制器402的 輸出速度模式的速度信號的差異*則由偏差檢出機構406 獲得。 來自偏差檢出機構406輸出的偏差信號，供給至比例 、積分、微分動作的控制器407 ，經比例蓮算407a、積分
經濟部中央標準局員工消費合作社印I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 蓮算407b及微分蓮算407c，由控制器407的輸出之操作量 控制信號供給至轉矩限制器408，由控制器407的輸出之操 作童控制信號的水平超過供給至轉矩限制器408的轉矩限 制值信號e、f的水平時*超過的部份被限制在轉矩限制值 信號e、f的水平*供給至轉矩限制器40 8的由控制器40 7輸 出的操作量控制信號係轉矩訊息的信號，轉矩限制器40δ 係藉開闞S5、S6供姶轉矩限制值信號e、f，上述開關S5、 S6中，任何一只供給在0N狀態的開關的轉矩限制值信號e 、f的水平，由控制器407輸出的操作量控制信號的水平 由轉矩限制器4 0 8來限制。 轉矩限制信號e及f也與速度限制信號c、d的情形一樣 ，圖未表示之譬如，由電壓設定器E、F設定。 由轉矩限制器408傳來的輸出力信號供給至過負荷檢 本紙張尺度適用中國國家標準（cns )以規格（2iox297公釐j Γ5 395 2 1 445699 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（ 16 ) I ] 出 回 路 409 超 負 荷 時 會 發 出 砮 報 信 號 0 1 1 —' 方 面 » 檢 出 画轉驅動源21的負荷電流 由 轉 矩 變 換 1 裝置機構410 7 因 而 回 轉驅動源21的負荷觜流換至負 何 電 1 流 為 基 準 之 轉 矩 信 號 由 轉 矩 變 化 裝 置 4 1 0 费 換 的 轉 矩 信 請 先 Μ 1 I 號 與 來 白 過 負 荷 檢 出 回 路 409 的 輸 出 轉 矩 信 號 之 差 異 在 蓮 背 面 1 1 算 器 411 檢 出 依 據 運 算 器 411 求 得 的 差 異 信 號 供 姶 至 脈 之 注 音 1 波 (PWM) 調 幅 回 路 412 在運算器4U 得 的 差 異 信 號 與 項 再 1 白 感 測 器403 檢 出 的 回 轉 驅 動源2 1之 表 示 定 子 線 圈 的 相 位 填 寫 本 袭 編 碼 的 線 圈 訊 息 信 號 等 為 基 準 將 脈 波 調 幅 輸 出 供 給 至 變 頁 1 1 流 器 回 路 413 將 線 圈 訊 息 信 號 為 基 準 的 定 子 線 圈 的 通 電 1 1 比 以 脈 波 調 幅 輸 出 為 基 準 來 控 制 >λ 控 制 回 轉 鼷 動 源21的 1 | 回 轉 . 尚 且 脈 波 調 幅 回 路 412 及 *** 费 流 器 回 路 413 係 構 成 訂 I 通 電 量 控 制 部 再 者 為 轉 換 回 轉 驅 動 源 2 1的 回 轉 方 向 y 1 1 I 在 變 流 器 回 路 413 供 給 輸 入 至 速 度 產 生 器401 的 移 動 方 1 1 1 向 指 示 信 號 Γ c 1 在 此 白 控制器407 輸 出 的 操 作 量 控 制 信 號 的 水 平 > 1 未 達 供 給 至 轉 矩 限制器4 0 8 的 轉 矩 限 制 值 信 號 的 水 平 時 > S 控制器407 輸 出 的 操 作 童 控 制 信 號 jnc 無 需 水 平 限 制 的 通 過 1 轉 矩 限 制器408 及 過 負 荷 檢 出 回 路409 自 控制器4 0 7 輸 f I 出 的 操 作 量 控 制 信 號 與 白 轉 矩 變 換 裝 置410 的 輸 出 之 差 異 1 1 | 為 基 维 回 轉 驅 動 源 21被 回 轉 驅 動 著 0 1 自 控制器407 輸 出 的 操 作 量 控 制 信 號 的 水 平 超 過 供 i 給 至 轉 矩 限制器408 的 轉 矩 限 制 值 信 水 平 部 份 ί 被 限 制 1 1 在 轉 矩 限 制 值 信 號 水 平 通 過 超 負 Μ 檢 出 回 路409 藉 超 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 16 3 9 52 1 Λ456 9 9 kl B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 7 ) 1 I 負 荷 檢 出 回 路 409 送 出 白 轉 矩 限 制 器 408 來 的 輸 出 信 號 與 1 1 白 轉 矩 變 換 裝 置41 0 輸 出 的 轉 矩 信 號 之 水 平 遵 興 為 基 準 ， 1 1 脈 波 被 調 幅 由 感测器403 檢 出 表 示 定 子 線 圈 的 相 位 編 碼 1 請 | 的 線 圏 訊 息 信 號 為 基 準 t 在 定 子 線 圈 脈 波 被 調 幅 的 電 流 藉 先 閱 1 I 讀 1 變 流 回 路 413 通 電 Jiftr 3X. 制 回 轉 驅 動 源 21的 回 轉 0 背 ft 1 1 因 而 » 通 過 轉 矩 限制器408 的 操 作 量 控 制 信 號 的 水 平 之 注 意 i 事 1 超 出 i 轉 矩 變 換 裝置410 輸 出 的 信 號 水 平 時 回 轉 驅 動 源 項 1 再 \ 填 ) 21的線圈 電 流 會 增 加 轉 矩 也 會 增 加 回 轉軀動源21之轉 寫 裝 子 被 高 速 的 回 轉 驅 動 相 反 的 通 過 轉 矩 限 制 器408 的 操 頁 ν_>· i 1 作 量 控 制 信 號 的 水 平 未 達 白 轉 矩 變 換 裝 置 410 輸 出 的 信 號 1 1 水 平 時 回 轉 驅 動 源21的線圈電 流 會 減 少 回 轉 驅 動 源 21 i 1 的 轉 子 係 實 質 的 被 制 動 豳 矩 會 降 低 >λ 低 速 回 轉 驅 動 0 訂 1 方 面 供 給 至 速 度 檢 出 機構404 的 自 感 測器403 來 \ \ ] 的 輸 出 信 號 也 供 給 至 位 置 檢 出 馈 構 405 在 位 置 檢 出 做 構 1 1 I 405 白 感 測器403 輸 出 信 號 的 相 同 轉 方 1¾ 為 基 準 生 成 上 1 ；S /下（U/D) 信虢的同時 •將感測器403 輸出的波形整型 1 與 波 形 整 形 輸 出 的 上 昇 及 下 降 同 步 生 成 脈 衝 波 該 脈 衝 波 匕 >λ 上 / 下 信 號 為 基 準 的 方 向 計 數 因 而 在 位 置 檢 出 機 構 1 405 移 動 體18的 位 置 可 實 質 的 檢 出 0 1 I 在 位 置 檢 出 機 構 405 的 計 數 值 作 為 移 動 體 1 8的 位 置 訊 1 ί | 息 供 給 至 回 轉 位 置 判 別 回 路 415 在 固 轉 位 置 判 別 回 路 1 415 事 先 供 給 的 反 時 鐘 方 向 終 點 確 認 位 置 訊 息 時 鐘 方 向 1 终 點 確 認 位 置 信 息 > 事 先 決 定 的 規 定 範 圃 ( 在 第 12圖 所 述 1 1 視 窗 模 式 範 圍 )下 端 位 置 訊 息 及 上 端 位 置 訊 息 反 畤 鐘 方 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 17 39 52 1 經濟部中央標準局貞工消費合作社印製 4456 9 9 Λ7 Β7 五、發明説明（18) 向範圍外確認位置訊息*時鐘方向範圍外確認位置訊息與 在位置檢出機構405的計數值在回轉位置判別回路415作 比較，對應在位置檢出機構40 5的計數值為基準的移動體 18的位置*反時鐘方向終點確認輸出、時鐘方向終點確認 輸出、事先決定的規定範圍内確認輸出、或者送出警報確 認輸出。 因而，藉由如以上構成的本發明有闞的致動器的控制 裝置400時，依據自速度限制器40 2輸出的移動速度模式 的移動速度為使回轉驅動源21的轉子回轉，K移動速度模 式為基準的速度與由速度檢出機構4 04所檢出速度的偏差 ，由控制器407作比例、積分、微分控制，自控制器407 輸出的操作量控制信號的水平在轉矩限制器408 ，只有超 過轉矩限制值信號水平的部份被限制在轉矩限制值信號水 平e、f，依轉矩變換裝置410所變換的回轉驅動源21的轉 矩與由轉矩限制器40 8輸出的信號之差異在蓮算器411運 算脈波調幅，由變流器回路413脈波調幅輸出為基準*回 轉驅動源21的固定子電流被控制，回轉驅動源21會回轉驅 動，或者被控制，回轉驅動源21之轉矩被控制在供給至轉 矩限制器408的轉矩限制值信號水平。 一方面，在位置檢出機構405所檢出的移動體18的位 置與在回轉位置判別回路415反時鐘方向终點確認位置訊 息、時鐘方向終點確認位置訊息、事先決定的規定範圍下 端位置訊息及上端位置訊悤、反時鐘方向終點範圍外確認 訊息、時鐘方向終點範圍外確認訊息做為比較，依據移動 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 裝. 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 18 3 9 5 2 1 4456 99 Λ7 ^Mt45b___ 五、發明説明（19) 體18的位置送出確認輸出。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 尚且在上述由圖來表示的負荷比設定器A、B，生成加 速/減速信號a、b，由圖未表示的電壓設定器C、D生成速 度限制信號c、d由圖來表示的電壓設定器E、F生成轉矩限 制值信號e、f、速度限制信號c、d的情形，雖已舉例表示 ，此等信號a〜f及開關SI、S2、S3、S4、S5及S6的ON時期 及期間，譬如由微電腦所成的圆未表示的控制器，被輸人 的模式指示為基準控制也可•其次說明該情形的例子。 臀如，第14A圖所示的致動器10被配置在水平方向， 動作模式1及移動方向指示信號r·在正極性亦即在反時鐘方 向回轉驅動回轉驅動源21的轉子一事指示控制器時，在第 14A圖移動體18被驅動向右側，該情形，開關SI、S2、S3 、S4及S5係如第14C圖所示在0N狀態，（參照第14C圖「”1" 」）被驅動*形式第14C圖的速度模式P·以該速度橫式P為 基準的速度，移動體18向右方向移動，成為推到右端狀態 ，接著轉矩依轉矩限制值信號e、f所設定，回轉驅動源21 的額定轉矩譬如轉換在50% •被控制在回轉驅動源21的額 經濟部中央標準局員工消费合作社印裂 的 矩 轉 定 矩 轉 之 板 端 的 .1MJ 機 器 -lull 制 具 之 示 所 圖 B 4 11 第 如 為 作 在 而 因 的 一―< 2 源 Τ0ΕΠ 屋 轉 固 在 $ 控 被 矩 轉 的 時 當 態 狀 住 擋 為 成 方 平 水 在 置 配 被 ο IX 器 RDZT· 致 的 示 所 〇 圖 矩 A 轉 5 0. 1 的第 % 如 50譬 之 > 矩者 轉再 定 額 及 2 源 驅 轉 回 式驅 模轉 作 回 動的 , 向 向方 在 r 號 信 示 指 向 方 移 子 轉 的 鐘 ’ 時時 順器 即制 亦控 性 示 Μ 指 負事 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1 Q 3 9 5 2 1 A7 B7 五、發明説明（2()) 移動體18在第15A圖向左側被驅動，這情形開關SI、S2、 S3、S4及S5係如第15C圖在Oil狀態被驅動，形成第15C圖的 速度模式f^，以該速度模式P·為基準的速度 > 移動體18向 左方向移動，成為推到左端狀況，接著轉矩依轉矩限制值 信號e、f設定，回轉驅動源21的額定轉矩*譬如轉換在50 ^ ，被控制在回轉驅動源21的額定轉矩之50¾的轉矩。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 因而， 成為擋住狀 矩的5 0 %之 軸變成被上 再者* 方向*動作 鐘方向的回 產生器401 逭情形開關 態被驅動， 基準的速度 推到下降狀 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 作為如第15B圖所示之具制動器機能之端板22a 態，其時轉矩被控制在回轉驅動源21的額定轉 轉矩，該情形，如第13A圖虛線所示，對時間 下對稱的表示*在第15C圖KP'簡略的表示。 譬如，第16A圖所示的致動器10被配置成垂直 模式2及移動方向指示信號r在正極性亦即反時 轉驅動回轉驅動21的轉子一事指示在速度模式 時，移動體18在第16A圖向下降方向被驅動， SI、S2、S3、S4及S5係如第16B圖所示在ON狀 形成第16B圖的速度模式P，K該速度橫式P為 ，移動體1δ向下降方向移動，端板22b成為被 態。 —方面*自移動體18在端板22a接觸的位置，由稍微 下降的位置開關S 5成0 N狀態，接著*轉矩依轉矩限制值信 號e、f設定，回轉驅動源21的額定轉矩譬如轉換為0 % ， 被控制在轉矩0 ，因而，如第16A圖所示移動體18下降中 為轉矩0的狀態，以其狀態變成擋住狀態，因而，移動18 與端板22b之間，譬如，異物等存在峙*也藉由回轉驅動 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公;i ) 20 3 9 5 2 1 4456 9 b Λ7 B7 五、發明説明（21 ) 源21所驅動的移動體18，對上述異物等不會有推壓力量。 再者|譬如第17A圖所示，致動器10配置成垂直方向 |動作模式2及移動方向指示倍號Γ在負極性亦即順時鐘方 向的回轉驅動回轉驅動源21的轉子一事指示速度槙式產生 器401時，移動體18在第17Α圖向上昇方向驅動，該情形 ，開關SI、S2、S3、S4及S5係如第17C圖所示在0Ν狀態被 鼷動，形成第17C圖的速度模式P% Μ該速度橫式P'為基 準的速度移動體18向上昇方向移動，成為推到上端狀態， 接著轉矩依轉矩限制值信號e、f所設定，回轉驅動源21的 額定轉矩譬如轉換在50¾ ，被控制在回轉驅動源21的額定 轉矩之50 %的轉矩。 因而*第17B圖所示在端板22a變成擋住狀態，其時 的轉矩被控制在回轉驅動源21的額定轉矩譬如50 % •該情 瑕，如第14A圖虛線所示對時間軸變成上下對稱的表示， 在第17圖以P’簡略的表示。 產業h剌用的可能忡 經濟部中夬標準局負工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 依本發明有關的致動器，藉在移動方框形成驅動力傳 達軸能與其軸線正交的方向可插穿的開口部•得Μ簡便且 價廉的交換驅動力傳達軸|因而，上述驅動力傳逹軸的組 裝作業和維修作業能夠容易的胞行。 再者由於框架係將分割成複數的之方框體藉結合機構 形成一體，變成有可能按照使用環境簡便的可將該框架重 新組裝修改。 再者*依本發明有關的致動器的控制裝置*驅動致動 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公1 ) 2 1 3 9 5 2 1 4456 9 9 A7 B7 五、發明説明（22) 器的回轉驅動源之轉矩*係依據轉矩限制值信號所控制， 且由於回轉驅動源的轉矩可由轉矩限制值信號能夠容易的 易 容 件 條 用 〇 使矩 依轉 可的 更當 變適 定最 設定 矩設 轉件 的條 源的 動件 驅工 轉視 回可 此， 因更 , 變 定 Μ 設加 m —^n 1.^1 n^i I - I > ' 旁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、tT ίw 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 22 39 5 2 1