TW445397B - Method of etching apertures in a thin metal sheet to form a shadow mask for a color picture tube - Google Patents

Description

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d4539 7 五、發明說明（1 ) 本發明有關一種在薄金屬片中蝕刻穿孔以形成有色圖形 管之薄影光罩之方法，及特別是於蝕刻薄張力影光罩時利 用磁性组合物之方法以磁性固定該光罩材料。 發明背景 有色圖形管包含對管型螢幕產生及導入三各電子束之電 子槍。該螢幕位於管型面板内表面且由放出三種不同色彩 之磷之元素陣列所構成。彩色選擇電極或陰影光罩插置於 該槍及該螢幕之間以使各電子束僅衝撞與該電子束相關之 磷元素。陰影光罩爲薄片金屬如鋼或鋼鎳合金，其輪靡通 常與管型面板内表面些許平行。 一類有色圖形管具有架設在其面板飾板内之張力陰影光 軍。該張力陰影光罩包含含有數個垂直延伸股之平行線之 活性穿孔部分。複數個延伸穿孔位於該股之間。在管操作 期間電子束通過活性部分之延伸穿孔。 在製造期間處理張力陰影光罩可能非常困難，尤其是若 在光罩股間無軌距桴或其他連接物時。例如，若張力&影 光罩借用以製造習知圓頂光罩之製成蝕刻，則蝕刻期;: 將過度移動且因此更難以獲得再現性結果。本發明提供— 種利用磁性組合物以克服張力陰影光罩蝕刻期間產生之困 難度之方法。 發明概述 本發明提供一種在薄金屬片中蝕刻穿孔以形成有色圖形 管之薄影光罩之改良方法。該金屬片在其—主要表面上具 有第一抗酸型板及在其另一主要表面上具有第二抗酸型板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^-----r---訂·--------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4A539 Ί Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1、發明說明（2 ) 至少一個i板中在所欲穿孔位置上具有開口。該改良方 法包括以平坦磁性组合物磁性固定金屬片之步驟，及將磁 性固定該金屬片於其上之磁性組合物移經蚀刻室之步驟。 該磁性组合物包括支撑在抗酸板上之磁性層。 週示簡單説明 圖1爲可用以操作此新穎方法之第—具體例之裝置圖示説 明。 圖2及3爲操作此新穎方法第一具體例之不同階段時之磁 性組合物及金屬片之剖面圖。 圖4爲可用以操作此新穎方法之第二具體例之裝置圖示説 明。 圖5至9爲操作此新穎方法第二具體例之不同階段時之兩 個磁性組合物及金屬片之剖面圖。 較佳具體例詳細説明 圖1顯示水平定向之絕緣條10，其由左至右移經蝕刻室 12。蝕刻室12具有入口 14及出口 16 β在蝕刻室12底部置 有集水坑1 8以收集自位於蚀刻室頂端之噴霧噴嘴射出之液 體蝕刻劑。集水坑1 8中之蝕刻劑藉泵2 2流經管子2 4 (其包 含控制閥26)至附接有噴嘴20之集流管28。平坦磁性组合 物3 0顯示在蝕刻室1 2中之絕緣條1 〇頂端。磁性組合物3 0 頂端爲用以產生陰影光罩之金屬片32。 如圖2所示，磁性組合物3 0爲絕緣電路板材料3 4，其包 含附接於其上之薄磁性層36。金屬片32包含在其—主要表 面上之第一抗酸上型板38及在其另一主要表面上之第二抗 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I----K---------訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ4539 Ί Α7 _______Β7____ 五、發明說明（3 ) 酸下型板40。該上型板38内在完成陰影光罩所欲之穿孔處 具有開口 42。該磁性組合物30及金屬片32維持在蝕刻室 1 2中足夠時間’以確使穿孔完全蝕刻通過該片。圖3顯示 離開蝕刻室12後之磁性組合物30及金屬片32，而在金屬片 32中形成完成之穿孔44。 另一具體例中，如圖4所示者，絕緣條4 6通過兩個蝕刻 室4 8及5 0。第二蚀刻室5 0之構造類似於前述具體例之蚀刻 室12。第一蚀刻室48不同於第二蝕刻室5〇之處為前者包含 自條46下端噴物之喷霧喷嘴52而非自上端喷霧。較好，絕 緣條4 6以及第一具體例之絕緣條丨0在蝕刻期間.連績移動。 圖5顯示金屬片54，其包含在其—主要表面上之第一抗 酸下型板56及在其另一主要表面上之第二抗酸上型板58 ^ 型板56及58在冗成陰影光罩中所欲穿孔處分別具有開口6〇 及62。蚀刻製程開始時，金屬片54藉包含其上附接有薄磁 性層68之絕緣電路板材料66之磁性組合物64，磁性固定在 絕緣條4 6底部。在第一蝕刻室4 8中金屬片5 4蝕刻出部分穿 孔7 0以深度約為片厚度之4 〇 %，如圖6所示。磁性組合物 64及金屬片54離開第一蚀刻室48後，包含其上附接有薄磁 性層76之絕緣電路板材料74之第二磁性组合物72置於金屬 片5 4下侧’如圖7所示。接著，第一磁性組合物6 4自條4 6 頂端移開及磁性附接有金屬片5 4之第二磁性组合物7 2置於 條46頂端，如圖8所示。接著金屬片54進入第二蝕刻宣50 ’而第二抗酸型板面5 8向上。金屬片5 4蝕刻經部分穿孔7 0 ’因此形成最終穿孔7 8，如圖9所示。蝕刻後，移開抗酸型 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A.丨規格（2〗〇 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·--—II--訂------II 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 44539 7 五、發明說明（4 板，及剩下之金屬片54即爲陰影光罩。 磁性層36、68及76較好爲連續矩形，其面積至少大如金 屬片32及54。或者，該磁性層可爲以與移經蝕刻室方向平 行排列之磁性條。例如，磁性組合物以平行於移經触刻室 万向之方向連接之磁性條所構成，其附接至（}_1〇條列之電 路板片。此例中，由於電路板材料之熱膨脹係數小及其對 用以製造光罩之蚀刻溶液具有抗性，因此選擇電路板材料 。較好，磁性條置於光罩活性區域外以使蝕刻期間溶液更 換而避免污染^磁石維持光罩材料以避免蝕刻期間材料過 度移動’及可處理光罩而不改變光罩股之任何切角或發生 其他光罩損壞。又，在金屬片頂端可使用磁石室，以在蝕 刻期間，進一步將光罩定位，及避免光罩與蝕刻設備之任 何接觸。 裝 ---------訂 ------I . f靖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X 297公楚）

Claims (1)

1. 44539 7 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 1 . 2. 4. 5. 6. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7 一種在薄金屬片中蝕刻穿孔 置Η法，… 成有色圖形管之薄影光 罩心万法，孩金屬片在其一主 ,e Β # ^ 要表面上具有第一抗酸型 板及在其另一王要表面上具有 币一抗鉍型板，至少—個 31板中在該片所欲穿孔處具有開 ' 处喇開，孩万法包括下列步 驟： 以平坦磁性组合物磁性固定 哪丨王口疋兔屬片，該磁性組合物包 括支撑在抗酸板上之磁性層，及 將玄磁f生，且口物移經蚀刻室同時該组合物係磁性固定 該金屬片於其上。 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該型板中僅-個 在該金屬片中所欲穿孔該處具有開口，五該金屬片以該 開口面向上以該型板定向。 根據申請專利範圍第2項之方法，其中該金屬片在該蚀 刻室中僅自該片上端蝕刻。 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該磁性層爲連續 矩形’其至少大如該金屬片之面積。 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該磁性層包含與 移經該蚀刻室之方向平行排列之磁性條。 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該第一及第二抗 酸型板在該片中所欲穿孔該處具有穿孔。 根據申請專利範園第6項之方法，其中該蝕刻室具有通 過於其間之絕緣條；該金屬片置於該絕緣條下而該第一 抗酸型板面朝下；該磁性組合物置於該絕緣條頂端而該 磁性層面朝下以磁性地固定該金屬片靠向該絕緣條；其 -8- 297公釐） f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -I If K* I >l5 I I— an I I n n n 1— f — n n n tf I I 44539 7 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 上有磁性組合物及金屬片之該絕緣條移經該蝕刻室；及 該金屬片自其底端部分蝕刻。 根據申請專利範園第7項之方法，其中該部分蝕刻過之 金屬片轉移至第二磁性组合物且藉其磁性地固定；該第 二磁性組合物移至該絕緣條頂端而在該金屬片上之第二 抗酸型板面朝上；及該第二組合物及金屬片移經第二蝕 刻室’其中蚀刻通過該金屬片中之該字孔D I------------0%^ i I I l· I--訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧对產局員工消費合作社印製 9- 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2ί0 X 297公釐）