B7__ 五、發明說明（1 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關於一種夾緊閥，其係用於化學工廠、半 導體製造、食品、生物科技等各種產業之流體輸送配管上 者，更進一步詳細地說係有關一種夾緊閥，其係更為簡潔 袖珍，可提升管體於閥之開關之耐久性者。 近年來’有各種關於夾緊閥之提案，諸如日本公開公 報特公昭45-3264號所揭示者。依據該公報，如第6囷、 第7圓所示’在嵌設於以機台37及支撐架38所構成的支 撐構件39上的汽缸40之上側與下側之活塞41、42中，位 於上侧之活塞41係固定於袖桿43的上端部，而位於下方 之活塞42係固定於遊嵌於拍桿43之管轴44之上端部。於 管軸44下邊設有翼片45，而該翼片45則以連結棒46為 中介固定於下側擠壓件47。另一方面，轴桿43之下端部 係固定有上側擠壓件48。且，於兩端部嵌設有凸緣49，而 藉橫架於兩凸緣49間之橫桿50及支撐構件39所支撐之閥 管體51係以上側夾壓件48及下侧夾壓件47夾壓中央部而 配置，對穿設於汽缸40之孔52、53、54壓入適量空氣， 使連結於活塞41、42之上側夾壓件48、下側夾壓件47作 上下對稱移動，俾使閥管體51開放/關閉者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 惟，現在的半導體等製造裝置，配置有多種類且具複 雜的配管設計之配管及控制機械係朝向裝置本身簡潔袖珍 化演進a隨之而來，針對用於該裝置内配管的夾緊閥，也 殷切期望可以精簡空間且袖珍化，因此該裝置内夹緊閥之 袖珍化為一大課題。 但是，前述構造之夾緊閥係因驅動部及閥本體係為獨 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公釐） Α7 Β7 五、發明說明（2 ) 立構造，在汽缸40及為流路部之閥管體5 i間設有支撐構 件39、機台37及翼片45之故，該閥的整體高度變高無法 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使之袖珍化。因此，夾緊閥在半導體等的裝置内部配管中 完全無法使用β 本發明係有鑑於上述習知技術之問題點而所構建者， 目的係於提供一種夾緊閥，其係與習知之夾緊閥相比，閥 的全體高度更低、袖珍化，且管逋在閥的開關運轉時更能 提高对久性’延長閥的耐用期限者。 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 為能連成上述之目的’本發明人係經苦心研究，結果 發現：藉使驅動部及閥本部一體化可使夾緊閥全體更為簡 潔者；而終究完成本發明。亦即，本發明的構造係包含有， 如第1圖及第3圖所示者；以彈性材料所構成之管體1、 一對連結於該管體1兩端之接頭部2、汽缸本體6、第1 夾壓件10、第2夾壓件14、彈簧彈性體15、閥本體18、 及設於汽缸本雜（5侧面之進氣口 27。而汽缸本艘6則係包 含有：由内部上方朝下方延伸形成之第1汽缸部3、由第！ ί飞缸部3擴大直徑形成之第2汽紅部4、及一對用以收容 沿下端部流路方向設置之接頭部2之切口部5。第1夾壓 件10係固定於第1連動棒8之下端，並於相對於流路軸線 呈線對稱之位置上各形成有第1貫通孔9,且由前述管體1 上方推壓前述管體1;該第1連動棒8係由第1活塞7中 央處垂設’該第1活塞7係可於前述第1汽缸部3内周面 作上下移動且以密封狀態滑接者。第2失壓件14係固定於 第2連動棒13之下端’並由前述管想1下方與第1夾壓件 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS>A4規格（210 * 297公釐） A7 B7 五、發明說明（3 ) 10同時失持該管體1者；該第2連動棒Π係各自於第2 活塞12兩端朝下垂設且各貫通於第1貫通孔9,該第2活 塞12係可於前述第2汽缸部4内周面作上下移動且以密封 狀態滑接’且於中央部形成有使第I連動棒8以密封狀態 貫通之第2貫通孔11。彈簧彈性體15係由第2活塞12下 端面及第1夾壓件1〇上端面所夾持者β於閥本趙18上係 沿流路轴線設有一用以收容管體i及接頭部2之凹槽16 及一於與該凹槽垂直之位置上嵌設有第2夾壓件14且可使 之作上下移動之導槽17。進氣口 27係連通於由第1活塞7 下端面、第2活塞12上端面及汽缸本體6内周面所包圍形 成之第1空間部19 » 以上為本發明之第1特徵。 又’本發明之構成係以於管體1的外周面形成保護部 21為第2特徵，而以使與前述第1夾壓件之流路軸線 相垂直之方向的尺寸大於導槽17者為第3特徵。 進而’本發明之構成係以管體1的材質為Epdm、氟 素橡朦、梦質橡膠’或以上的複合艘者為第4特徵。 進而又’本發明之構成係以管艘1由聚四氟乙稀及橡 膠彈性體之複合體所構成者為第5特徵。 本發明爽緊閥的管體只要是EPDM、氟素橡膠、矽質 橡膠，或氣素橡膠及矽質橡膠之複合鳢等之彈性體，並無 特別限定’但以氟素橡膠及矽質橡膠之複合艏之彈性體（含 有氟素之彈性體）為佳’尤以聚四氟乙烯（以下簡稱PTfe) 及前述各橡膠彈性體之複合體所構成者為佳。 本紙張尺度適用中國因家標準(CNSM4规格<210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) V:.裝 線. 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 -6- 44263〇 Α7 Β7 五、發明說明（4 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ’ A缸本體及閥本體係只要具有金屬、塑膠等網性 者即可，並無特別限制，其中尤以諸如PVC、PVDF等塑 膠者為佳。 又’接頭部係只要具有塑膠等耐藥性者即可，並無特 別限定’其中尤以PVC、PVDF、PFA者為佳。 圖式簡單說明 第1囷係本發明實施例之夾緊閥，由侧面（流路方向） 觀察其關閉狀態之縱剖面圖。 第2圖係顯示第1圖之開放狀態之縱剖面圏。 第3圖係一由正面觀察第1圖之縱剖面圖。 第4圈係第1圖中本體之平面囷。 第5囷係第1圖之部分切除立體囷。 第6圖係習知之夾緊閥，由側面（流路方向）觀察其關閉 狀態之縱剖面圖。 第7圖係由正面看第6圊之部份縱剖面圖。 最佳實施態樣之說明 以下針對本發明之實施態樣，參照圖示說明之，但當 然本發明並無限定於該實施態樣。第1圖係本發明實施例 之夾緊閥由側面（流路方向）觀察其關閉狀態之縱剖面圖。 第2囷係頰示第lffl之開放狀態之縱剖面圖》第3圖係一 由正面觀察第1闽之縱剖面圖。第4囷係第1圖中本體之 平面圖》第5圖係第1圖之部分切除立體圖。 本紙張尺度適用中國Η家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 -7- ί請先閱請背面之注意事項再填寫本頁) ^1 灯· 線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（5 ) 於圖中’標號1為其内部有流體流動且由PTFE及矽 質橡膠之複合體所構成之管體。該管體〗係藉使含浸有諸 如矽質橡膠之PTFE薄層黏著積層好幾層而形成有目標厚 度者。 又’標號2 1為EPDM製保護部，係裝著於管體！中央 部之外周全艘者。在本實施例中，管趙1之材質係為PTFE 及梦質橡膠之複合趙，而用以EP DM、梦質橡膠、氟素橡 膠及這些的複合體等之彈性體也可，並無特別限定。又， 同樣地’保護部21之材質係為Epdm，但CR等其他的橡 膠彈性體也可，在朝管體1裝設時係宜使之可包圍中央部 外周全體者，而至少設於管體丨與後述之夾壓件1〇、14 相接觸之部位者為佳。 標號2為PFA製接頭部’該接頭部2係由pfa製蓋形 螺帽24及PFA製螺紋接頭22所構成；該蓋形螺帽24係 呈矩形截面，插入於管體1之兩端部之外周，且於内周與 插入側及反對側具有螺紋接頭22螺著之螺母部26 ;而該 螺紋接頭22則插入於管體1兩端部内部，設於插入側之内 周之螺栓部25螺著於蓋形螺帽24之螺母部26而與蓋形螺 帽24同時夾持固定管體丨端部，並於插入侧及反對側有— 用以將該爽緊閥之螺母部23設於内周，且於内部形成有流 路者。此外，於本實施例争係形成一使管體丨及接頭部2 之結合係藉螺紋接頭22之螺母部23夾持固定之構造，但 也可構成將管體1以軟管帶等接續於螺紋接頭22者，其接 合構造並無特別限定β又，在本實施例中之用以將本失 本紙張尺度適用♦國國家標準^CNS)A4规格（210 χ 297公爱） •8 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •線. 五、發明說明（6 ) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 閥配管之構造係指設於螺紋接頭22之螺母部23，也可於 螺紋接頭22外周設置螺栓部，只要可與本夾緊閥配管者， 其構造並無特別限定》 標號6為PVC製之汽缸本體，係由第1汽缸部3、第 2汽缸部4及一對切口部5所構成者，該第1汽缸部3係 由汽知:本體6内部上方朝下方延伸形成而具有圆筒狀空 間’該第2汽紅部4係由該第1汽缸部3擴大直徑連靖形 成且具有圓筒狀空間；而該對切口部（5)則係呈矩形，用以 收容沿下端部流路方向所設置之接頭部2 ^又，在汽缸本 艘6側面上係鑿開有一進氣口 27，該進氣口 27係與由後 述之第1活塞7下端面、第2活塞12上端面及汽缸本體6 内周面所形成之第1空間部19以及外部進氣機器之壓縮機 (未圖示）相連通。進而’在汽缸本體6上面係鑿開有_與 外部相連通之進氣口 20。 標號7為第1活塞，其係於側周面裝設有〇形環29 且PVC製之圓盤狀者，並可於第1汽缸部3内周面作上下 移動且以密封狀態滑接者》而10為SUS製第1夾壓件， 其載面呈半圓錐體且全體為棒狀，係形成大於後述之閥本 體18之導槽17之長向的尺寸。又，第1夾壓件1〇上，於 相對於流路轴線呈線對稱之每一位置上設置有使後述之第 2連動棒13各滑動貫通之第1貫通孔9，並鉚接固定有由 第1活塞7之下端面中央處朝下垂設之Sus製第1連動棒 8之下端，使其曲面可相接於管艘1側。 標號12為第2活塞’其係於側周面裝設有〇形環28 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4规格（210 X 297公釐） -9 ------*丨_ 丨·----^-裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ι·έί_ _ 線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（7 ) 之PVC製圓盤狀者，其外徑係形成大於第〗活塞7外徑， 而於中心部則形成有於内周面裝設有〇形環3〇之第2貫 通孔11，後述之第1連動棒8係以密封狀態貫通該第2貫 通孔11，該第2活塞12係可於第2汽缸部4内周面作上 下移動且以密封狀態滑接者。 標號14,係嵌設於後述本體is之導槽17之sus製之 第2爽壓件’其截面為半圓錐體形狀且全體呈棒狀者，並 以螺絲帽32螺著於第2連動棒i3之下端，使曲面接觸於 管體1側’而該SUS製之第2連動棒13係由第2活塞12 下端面之兩端各朝下垂設且貫通於相對於第1爽愿件 之流路軸線呈線對稱之位置上所形成之兩個第1貫通孔 9;又該第2夾壓件14係由管體1的下方而與第1夾壓件 10同時夾持管體1。 又’在本實施例中，第1活塞7及第2活塞12之材質 係PVC製’但也可為其他樹脂或金屬，並無特別限定。又， 第1夾壓件10及第2夹壓件14的材質為SUS製者，但其 他金屬也可。進而，第1連動棒8及第2連動棒13之材質 係SUS製者，但其他金屬或具有相當強度之樹脂也可。 標號15為大、小2根SUS製之彈簧彈性體，係於由 第2活塞12下端面及第1夾壓件1〇上端面所夾持之狀態 下而裝設於汽缸本艘6内部。在本實施例係裝設有2根彈 簧彈性體，也可因應所期望之附勢能也可改變所裝設之根 數。又，為使彈簧彈性體15之付勢能各均衡地傳到第1 失壓件10及第2活塞12,也可於與彈簧彈性體i 5下端面 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公嫠） •10- (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 訂. --線. 4 42 63 〇 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 、發明說明（8 ) 及第1夾壓件10上端間設置金屬製之圓盤狀金屬板（未圖 示）。此外，在本實施例中’彈簧彈性體之材質係sus製 者’但因應所需，也可使用施有pTFE等之塗料者。 標號18為P VC製之閥本體，係沿流路軸線上設有斷 面為矩形狀之凹槽16，在凹槽16之中心且與流路軸線垂 直之位置上設有導槽17,該導槽17之長向尺寸短於第1 夾壓件10之長向尺寸’並於導槽17之兩端底部形成有圓 筒槽31»凹槽16内裝設有固定有接頭部2之管體1，而在 兩端部處，用以構成接頭部2之蓋形螺帽24係以閥本趙 18及汽缸本體6之切口部5所夾持並加以固定者。又，在 導槽17内插入有各第2連動棒13且嵌設有可作上下移動 之第2夾壓件14。又，閥處於開放狀態時，螺著於第2連 動棒13之下端部之螺絲帽32是内包在圓筒槽31内。 如以上的說明，本實施例之夾緊閥不需要如習知之夾 緊閥般在驅動部及閥本體間具有支撐構件、支撐台及翼 片’因此閥的整體高度降低，和習知的夾緊閥相比，整趙 變得更為袖珍。在此’比較本實施例及習知夾緊閥的高度， 對口徑25mm而言’習知品之高度為371mm，而本發明品 只有140mm’本發明的高度尺寸與習知品相比約為1/25, 可知整體更形袖珍者》 又，關於管逋1的保護，本實施例並非如習知之夾緊 閥般’具有直接以夾壓件夾持流路部之構造，而使藉保護 部21保護管體1’因此管體1不易劣化可以延長夾緊閥的 使用壽命。在此，以保護部21保護管體1之本實施例及具 本紙張尺度適用中S國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公« ) -11 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4
一6J -線· 44263〇 A7 B7 五、發明說明（9 ) 有直接以夾壓子夾持流路部之構造之習知品在耐久性之比 較上’以夹緊閥之長期開閉試驗的次數比較，在口徑25mm 時，習知品之開閉次數在70萬次時流路即有破損，而本實 施例達140萬次也無異常，因此可知本實施例之管艘1的 耐久性與習知品相比有卓越的提升，且本實施例之夾緊間 的耐用期間也格外的變長。 並且’以PTFE及矽質橡膠的複合體形成管體1時， 則使因管想1之開關動作而由内周面所產生之塵粒比其他 的橡膠彈性體少’因此特別是對塵粒會嚴重影響到製品良 率之半導體產業領域而言使用在流體配管時可發揮極大的 效果》 由上述構成所構建成之本實施例之央緊閥的動作係如 下所述。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第1圓所示，本實施例之夾緊閥處於全關閉狀態時， 由進氣孔27朝第1空間部19供給加入壓縮空氣時，即藉 該空氣壓’首先一面使其直徑比第1活塞7大且收容面積 也大之第2活塞12之側周面滑接於第2汽缸4内周，且一 面壓缩彈簧彈性體15,使之開始下降，同時藉由第2活塞 12朝下垂設之第2連動棒13，而使以螺絲帽32螺著於第 2連動棒13下端之第2爽愿件14在導槽17内下降。隨後 第2夾壓件14到達凹槽ι6之底部，且第2活塞12的下降 也停止。同時藉第1空間部19内部之空氣壓，使第丨活塞 7之側周面一面滑接於第1汽缸部3内周一面上昇，且使 由第I活塞7上端面及汽缸本體6内周面所包圍之空間内 -12· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I線. 本紙張尺度適用中Η國家標準（CNS>A4規袼（210 X 297公爱） 0 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 五、發明說明（10 ) 所積留之氣趙由進氣孔20釋出β據此，藉由第1活塞7 朝下垂設之第1連動棒8,使螺著於第i連動棒8下端之 第1夾壓件10在第2汽缸4内上昇*接著，第j活塞7 到達汽缸本體6之第1汽缸部3内部上端面，停止上昇， 該夾緊閥即成全開放狀態（第2圊的狀態）。 接著，於第2圖所示之前述夹緊閥之全開狀態下，停 止由進氣口 27朝i空間部19供給氣體，呈大氣開放時， 與彈簧彈性體15相接觸之第1失壓件1〇則因彈簧彈性體 15之反彈力而下降，由管體！上方推壓管體t，使第1夾 壓件10之兩端下端面33接觸於閥本體18之上端面34而 停止下降。同時藉彈著彈性艘15之反彈力，與彈簧彈性想 15上端相接觸之第2活塞12，使側周面一面滑接於第2 汽缸部4内周，一面使第2活塞12上昇到其上端面周緣部 35接觸於第2汽缸部4内部上端面周緣部36為止β隨著 上述動作，使藉螺絲帽32螺著之第2夾壓件14上昇至由 第2活塞12朝下垂設之第2連動棒13之下端部，而與第 1夾壓件10共同夾持推壓管體1，使該夾緊閥形成全關閉 狀態（第1圖之狀態）。 本發明係以以上構造構建者，藉使用該構造，可得到 下列優異之效果》 1.由於與習知品相比，夾緊閥之整體高度低，且簡潔 袖珍’所以可將配管空間減少者。因此，可於具有複雜的 配管設計之半導體等製造裝置内進行配管，進而也可圖謀 製造裝置的袖珍化。 本紙張尺度適用中固國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） •13· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 線. 4^263〇 A7 B7 五、發明說明（11 ) 2. 在管體裝設保護部，係與習知品相比，管體的耐久 性提昇，進而可顯著地延長夾緊閥的耐用期限。 圖中元件標號說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 ....... .....管體 2 ‘· ....接頭部 3 ....... .....第1汽缸部 4._ .…第2汽缸部 5 ....... .....切口部 6.. 7....... .....第1活塞 8.. ....第1連動棒 9....... .....第1貫通孔 10 ....第1夾壓件 11...... .....第2貫通孔 12 .…第2活塞 13...... .....第2連動棒 14 .…第2夾壓件 15...... .....彈簧彈性體 16 .…凹槽 17...... .....導槽 18 ....閥本體 19...... .....第1空間部 20 ....進氣口 21...... .....保護部 22 ....螺紋接頭 23...... .....螺母部 24 ....蓋形螺帽 25.•… .....螺栓部 26 ....螺母部 27.•… .....進氣口 28, 29,30……Ο形環 31..… .....圓筒槽 32 ....螺絲帽 33 .....下端面 34 —上端面 35..… .....上端面周緣部 36 ....上端面周緣部 37•… .....機台 38 ....支撐架 39.·… .....支撐構件 40 .…汽缸 41.·... .....上侧活塞 42 .…下側活塞 43"… .....轴桿 44 ....管抽 45..... .....翼片 46 ....連結棒 47 .....下側夾壓件 48 ....上側夾壓件 49…" .....凸緣 50 ....橫桿 51..… .....閥管體 52,53,54......孔 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐〉