TW442400B - A printhead and a method of manufacture thereof - Google Patents

Description

442400 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明領域 本發明偽闢於一種用於一噴墨印表機的列印頭*且更 特別地簡於使用小尺寸之一可阑受徹粒墨水饋送過濾器以 減小撤粒阻播並維持一高速墨水充填的一種列印頭。 發明背署 噴墨印表機藉由將一小量墨水透遇在鄰近於標記或列 印要被置於其上的一媒體中保持的一表面上之多艢小孔噴 出而操作；埴些小孔以一樣式被配置在該表面上使得從關 於該媒體之特殊位置的一灌取數目之小孔噴出的一滴墨水 導致一期望的宇S或影像之一部分之産生；在墨滴之另一 噴出後該具小孔表面或該媒體之受控制再定位導致期望的 字體或影像之更多Η段之産生；再者，各種顔色的墨水可 被縝合至小孔之镰別配置使得小孔之δ取的發射可用該噴 墨印表機産生一多彩色影像。 數種檐構己被使用以産生為從一列印頭哦出一墨滴所 需的力，其中有熱式、壓霣式、及靜霣式機構；當下列解 說偽參考於熱式墨水瀆出機構而做出，本發明也逋用於其 它墨水喷出機構。 在一習用熱式喷鋈印表檐中墨滴之噴出煤由於快速地 將墨水加熱至超遇墨水溶液之沸點的一溫度以産生璺水之 汽相氣泡；墨水之快速加熱偽藉由使一霣流脈波通過一傾 別可定址霣阻加熱器的一瞾水嚷出器1至3撤秒而連成，而 由此産生的熱被供合至保持在一般稱為一發射腔室的一封 閉區中的一小量之墨水；發射腔室之封閉螢面之一由被多 本紙張尺廋速用中國國家標準（CNS > A4«L格（210X297公釐） (誚先助讀背面之注意事項再蛾寫本頁) *?τ 442400 A7 B7__ 五、發明説明（2 ) 個小孔穿透的表面形成；在此小孔平板中的小孔之一相對 於電胆加熱器被配置使墨水能夠從該小孔噴出；當墨水氣 泡在罨阻加熱器形成核醱並膨脹時，它位移一墨水量其迫 使一等量之墨水噴出該小孔以沉積在媒體上；然後氣泡縮 小而位移之墨水量從一較大的墨水餘庫通遇在發射腔室之 壁面之一中的一墨水餵送通道被再充埔。 有必要儘快地使墨水再填該腔室，因而致能列印頭之 小孔之棰速發射；小孔之快速發射導致能夠在一喷墨印表 機中達到高速列印；在霣阻加熱器之次一發射前，墨水必 須有足夠的時間再《腔室使在s滴之尺寸上一不期望的變 化不致發生；因此，在列印可能發生的速度限制偽關於發 射腔室被再熵充的速度。 在喷墨列印頭中經常發生的一問豳供在一墨水餓送通 道或在列印頭之小孔中發生的阻播；撤小粒子可浦留在導 向墨水發射腔室的通道中因而引起霣阻加熱器之早期故障 ，墨滴之誤導、或供應至發射腔室之減里墨水導致大幅減 小的璺滴尺寸；酋被命令發射一墨滴時卻不這麽做的一小 孔從一被印字體留下遣漏部分或從一被印影像産生一條遣 獮黏；結果被威知為一較差品霣的列印物，對於一噴璺印 表機此為一極不期望的待性；為了解決此不期望的結果， 有呰人建嫌使用鲴(用或冗餘小孔來嗦畕以取代不良的噴墨 器（例如，請看美國専利第4, 963,882號$第5,640,183號I )或至墨水發射腔室的多重入口。 用於噴墨列印的墨水習用上被儲存在與列印頭機構關 -^ -- - ------------------- - - 本紙張尺度適用中國W家樣舉（CNS ) Α4规格（2丨0乂297公釐） (誚先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) iw*各. 訂 » 442^0 〇 A7 B7 五、發明説明（3 ) ---------^ — (請A閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 聪的儲庫中：.用於儲存墨水如一多孔泡棉材料或一密封容 器的裝置像己知以散出微粒，其可塞住墨水饋送通道或噴 出小孔；已被觀察到許多檝粒偽細長的、製造過程之不期 望産物的繼質橄粒；該等纖質撤粒經常從墨水容納裝置脱 離並無顧於在墨水進入列印頭前發生的特殊清潔程序和墨 水過濾地被墨水帶入列印頭（如在美國專利第4,771,295 號和第5,025,271號中描述的）；細長微粒之過濾已在1995 年7月11日由TUothy Weber等人申請的名為”可耐受撤粒 之噴墨列印頭建構”之美國專利申讅案第08/500,796號中 被提出，其中多個外部陣壁島防止細長微粒免於到逹墨水 饋送通道或墨水發射腔室；墨水遇濾也已在美國專利第5, 463, 413號中被掲露.其中多根柱條被配置在墨水儲庫和 發射腔室間，各柱條與至一發射腔室之人口聯合；該等柱 條被小於或等於糸统之最小尺寸的一距離所隔開，並儘可 能地靠近置於一共同墨水源以防止撤粒進入發射腔室；糸 統之最小尺寸應是小孔孔徑直徑或將墨水葱連接至發射腔 室的通道之霣度。 當小孔、發射腔室、及墨水饋送通道之尺寸被減小以 提供改良的列印特性時，由於它們之小尺寸，己通過墨水 播送通道並已被從先前設計之小孔_出的微粒之大小可現 在塞住列印頭；在使用有小於20 的尺寸之小孔或墨水 饋送通道的設計中，如皮屜的撖粒和污物變為滞留在該墨 水餵送通道或小孔中；再者，如皮醱和其它生物細胞之撤 粒不硬旦因此可簧形並通過具有等於在列印頭中的最小尺 . — " .......... —...—~ 6~ … 本紙張尺度遍Λ1中國國家橾率（CNS ) A4规格（210X297公釐} ^42400 A7 B7 五、發明説明（4 ) 寸的一孔徑大小之一過濾器；很適於較大徹粒的先前嘗試 控制和過濾撤粒無法解決被較小撤粒塞住較小通道的問題。 太發明枏蓉 從至少一發射腔室噴出墨水用於一噴墨印表機的一列 印頭包括有一噴墨器設置其上的一基體；一障壁層被設在 該基饉之至少一部分上，具有一第一尺寸的一厚度，具有 將墨水從一墨水源網合至發射腔室的至少一墨水餓送通道 ;該墨水饋送通道具有被該障壁層、該基醱及一小孔平板 之一延長的分離所形成的壁面；該延長的分離傜被一第二 尺寸之一宽度所界定；該陣壁層包括多個島體，各從一郫 近島鑲被不大於一第三尺寸無開，並設置在該墨水擦和該 至少一墨水餾送通道之間；該第二尺寸等於或大於該第一 尺寸而該第三尺寸傈小於該第一尺寸。 蹰式之簡厘說明 第1圏葆一喷墨印表機列印頭之一等大視画； 第2_像可被使用在第一圈之_墨列印卡匣中的列印 頭之一横截面正視·; ^M.JJI中戎i?^-^h τ,'φί"'作衫卬纪 (誚先簡讀背面之注意事項再填寫本頁) 第3園偽可使用本發明的一列印頭之障壁層和基髖的 一等大平視國；及 第4 A和4 B圓偽説明陣壁層搭橋效果的一璺水饋送 通道之横截面正視圔。 龄样奮掄例細椹沭 一典型噴墨卡匣被顯示在第1圈中，其中一卡匣本體 携件101包封一墨水供應並經由墨水導管將墨水導至一列 本紙張尺度適；0中國國家揉率（CMS ) ( 210X297公釐） 好浐部中呔榀卑而n.Tiv)f合作淞印Ϊ! 4 4 2 4 0 0 A7 B7 五、發明説明（5 ) 印頚103;在列印頭之外表面可見到的是多催小孔1〇5,通 過其中依據印表機（未示）之命令墨水被灌澤地噴出*這 些命令透過霄氣連接和結合的導線（未示）被連通至 列印頭103;在一噴墨列印卡匣之一寅施中，列印頭從一 半導髑基體被組構，包括它們設在基體上或中的薄膜霉阻 加熱器、一可撤彩界定的瘅壁和黏合層、及具有完全延伸 通過小孔平板並被小孔1〇5例示的多鍤小孔的一多孔的小 孔平板；實髖和電氣連接藉由縫合線結合或類似的半導體 技術被做於一撓性聚合物隳帶109，之後被用於實體強度 和抗流®的一類樹脂材料安置；聚合物醪帶103可以從3H 公司在商場上_得的Kaptont "或可被光切或化學蝕刻以産 生開孔和其它期望特性的相似材料所形成；鋦或其它導線 被設置或安置在β帶之一面使得霣氣連接107可與印表機 接觸並導至基體；謬帶典型上如所示地鐃著列印卡匣之一 邊綠鸞曲並安置。 列印頭之一横截面被示在第2騸中並從在第1圓中所 示的截面Α — Α部分被取用；卡匣101之本體201之一部分 被顯示以與饜力結合的一黏性被安置於列印頭；在該較佳 實施例中，墨水通過一共同墨水空間205並透過在列印頭 基驩207中的一除缝206被供翥至列印頭；（替換地，墨水 可沿箸基驩之ft邊被供應）；霣粗加熱器和它們翮聯的小 孔習用上被配置在癉近從墨水空間的璺水入口的兩條大致 平行列上；在許多例子中«阻加熱器和小孔以一歧蝠組態 被配置在各列中，且在該較佳實施例中如在第2圖中被電 ------ -Α_- - — —- 本紙張尺度適用中«困家梯準（CNS ) A4规格（210X297公釐） --------J裝-------1T------W (rtAMI讀背面之注意事項再楨寫本頁) A7 B7 4-Ο^ΰ-------------- 五、發明说明（6 ) 阻加熱器2Q9和211例示的，電阻加熱器被設在基體2 0 7之 隙缝206之兩側上。 小孔平板203藉由以在小孔平板上所要的恃歟讲合之 形式將鍊電沉積茌有具適當尺寸的椿和堤和合適牽引角的 一心軸上而産生使得在一預定時間量之完成時一厚度之鎳 己被沉積；在冷卻後形成的錁薄膜被移除且然後機械地平 坦化和處理以備用；鍊小孔平板然後塗上一層如金、鉑、 或铑的貴重金颸以抵抗腐蝕：在它裂成後，小孔平板被固 附於有一障壁層2 13的半導髏基體2£»7 ;以電沉積在心軸上 産生的小孔從小孔平板109之外表面通遇該材料延伸至内 表面，卽形成墨水發射腔室之壁面之一的表面；通常，一 小孔直接越遇霣阻加熱器被對齊使得墨水可從該小孔嘍出 而無被一餳支導致的一軌»錯誤。 基艚207和小孔平板109被一障壁層材料213固附在一 起；在此較佳寅施例中，障壁層材料213以一團型形成被 設在基體207上致使發射腔室215和2Π在繞箸霣阻加熱器 之區中産生；該障壁層材料也被觀型化使得墨水攞立於發 射腔室地被一或更多墨水«送通道供*;基於印表機之命 令在一霣阻加熱器之快速加熱上墨滴219被§揮地嗔出； 有障壁層固附於一表面的基Β然後相對於小孔平板被設置 致使該等小孔被精確地與基篇之«阻加熱器對齊。 在此較佳實施例中，陣壁層213使用如ParaW、Vacr eltBl、IJ5000、或為負Η光威的其它材料之一聚合可光學 界定材料、多重成分、以曝露於光或類似罨磁輻射聚合化 本紙張尺度適用中阐國家榡率（CNS ) Α4规格（210X297公釐） ---------d裝-------訂------W .{誚A閔讀背面之注意事項再^寫本頁) 4424 0 0 A7 B7 五、發明説明（7 ) 的聚合乾膜；此類之材料可從德拉瓦卅之維明银市之社邦 公司播得；以適合被選的特殊材料的足夠®力和熱之施用 該障壁層首先被施用為在基鑲207上的一連鑲層；通常， 該障壁層膜被夾制在聚酯保護Η之間；一Η被移除以將障 壁層叠積於基體；另一聚ffiH留在定位直到障壁層露出為 止；撤影層透過一負Η光睪被暴露於紫外光（較佳在440, 340na之波長範園中）以聚合障壁層材料：經曝光障壁層 然後使用N甲基2烷醑和二甘酵之一74:26 w/wX混合的一顯 影液做化學洗皤使得陣壁層之未曝光匾被化學作用移除； 障壁層之餘留匾形成_著各霣阻加熱器的各墨水發射腔室 之壁面；同時，障壁層之餘留匾形成将墨水發射腔室導至 一墨水源（如通過在第2圖中所示的陳缝之畢水空間205 )的一墨水饌送通道之壁面；逭些墨水鑌送通道致能墨水 發射腔室之起初充«有墨水並在墨水從該腔室之各次噴出 後提供發射腔室之一連纗再充煩；墨水可進入並充填墨水 發射腔室之速率葆決定印表機可列印之最高速度的一重要 因素；在此較佳實施例中，兩墨水饋送通道在障壁層中産 生以將墨水空間鎘合至墨水發射腔室使得墨水之一冗餘供 應被維持於該腔室並使得一离速再充«可被實現而不使為 墨水氣泡蒸發産生的能董之一額著部分從墨水饋送通道散 掉。 小孔平板之一叠積於障壁層在此較佳實施例中偽以施 用熱蛋（大約20〇υ)和壓力（在50和250psi.之間 > 多至 15分鏟之一時間而完成；如那些在1996年10月1日由Garold ___-in 本紙張尺度通用t國困家搮车(CNS > A姑t格（2丨0X297公羞} ---------^裝-------.訂------W "誚先M讀背面之注意事項再填艿本頁) 經："'部中戎"^’^h 消於合作·,£印來 4 424 0 0 A7 B7 五、發明说明（8 )

Radke等人申請的美國專利申諝案第Οδ/742,1 18號中掲露 者的黏合促進物可被使用以加強在小孔平板和障壁層間的 結合；聚合物之最後設定和結合之處治然後以在大約220 的一熱浸泡大約30分鐘而完成。 在此較佳實施例之障壁層中一額外特激被産生；在至 各墨水餞送通道之入口設有多餹障壁層島301如在第3圖 之基器（移除小孔平板）之表面的等大平視圖中所示的； 各陣壁島包含有障壁材料並将障壁層213之整届厚度從基 體207延伸至小孔平板；為了避免島®從小孔平板或基體 脫離，各陣壁ft将大約200 «»*的一黏合區提供於各表面 ;這些障壁島之主要目的傜防止來自畢水的徹粒和污物到 達墨水饑送通道和各發射腔室之小孔；為了正確功能，此 遇濾器要求在各島（相當於通濾器細孔）間的空間（S)小 於各發射腔室之通道寬度（W)並小於小孔孔徑之直徑；因 此，能滞留在墨水饋送通道或在小孔中的任何污物被這些 重點匾阻播；多數島S (和其間之空間）之結果，在島間 的空間之任一阻播不致«重地阻礙墨水流到各墨水饋送通 道而一墨水發射腔室之閉塞的可能性被大幅減小；用各種 空間尺寸（S= 10,12,和14/i )的實驗己証明一高速墨水發 射腔室再充熵，列印頭之性能並不被此範圍之尺寸所彩 在此較佳實施例中.列印頭之許多元件之尺寸可被做 得相當小於先前已知設計以«由使用小璺滴而産生一高品 質的墨水列印；對於從具有之一孔徑直徑 的一小孔之噴出，公稱墨滴重量偽大約為了達到支 本紙張尺度通用中ma家採準（CNS > A4规格（210X297公兼} ---------j裝---J---.訂------W .(iijt閲讀背面之注項再填窍本頁)

Ά 4 0 D Α7 __ 五·、發明説明（9 ) 持一 15ΚΗζ頻率之操作的一墨水發射腔室再充填，兩鎬支 墨水餓送通道303、305被使用以提供冗餘墨水再充缜能力 ;各墨水饋送通道具有17w*(±2w·)之一通道寛度及大 約30 ill之一通道長度；這些尺寸之通道和小孔産生比在 其中有人類皮虜细胞大小的橄粒將阻擋一墨水饋送通道或 小孔之先前採用的污物過濾更大的挑戰；因為此大小的撤 粒包括不硬的一些生物細胞，故遇濾器细孔大小必須小於 列印頭之最小操作尺寸以捕陷潛在的阻擋撖粒；依嫌特殊 醮用，最小操作尺寸為墨水饋送通道，17jw*(±2w·)之w ,或大約18 «Β之小孔孔徑直徑；在此較佳實施例中，在 各島間的空間（S)為12//·(土 〇.5«*);障壁層之厚度為 14“ jg(± 1.5u )〇 負性光阻偽熟知為解決主要由於在材料微影顙影製程 時脹大的限制；已知在障壁層中界定的任何特戡，或在任 何如此特瞅間的空間醮具有超遇陣壁層之厚度尺寸的尺寸 :諸看1983年4月的固際半導睡期刊由(ieiss寫的”最新光 阻技術”，其陳述當正性光阻能有1:1比率時負性光阻材料 受限於層厚度對特徽尺寸的1:2或1:3比率；一期望的墨水 嫌送通道横截面之一例被顥示在第4A國中；基體2 07具 有設在其表面上的陣壁®2U;小孔平板109被安置於瘅壁 1213;陣壁層己有被光學界定和顥影成障壁層的一通道 401使得一墨水嫌送通道已被基«、障壁層、和小孔平板 之夾制而産生：當通道之宽度尺寸小於障壁層之厚度尺寸 時，如在第4Β圔中所示的不完金發展發生且障壁層之一 --- 丨丨 _ 1- 本紙伕尺度適用中网闽家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） --------j裝-------^訂------W («先閲讀背面之注意事項再楨寫本頁) 好"•部中λ^^^Β 消於含"il卬氣 442400 A7 B7 五、發明説明（10 ) 連橋403餘留撟遇狹窄通道；此連橋閉塞該通道並減少流 至墨水發射腔室之墨水量。 已被決定了在曝光時分解的氣之空乏限制可被界定在 大的特激間的通道寬度；對於在障壁表面一給予障壁厚度 、曝光劑置、劑量速率、溫度、及氣可穫度，氣之擴散據 相倍受限於一有限距離；當障壁厚度係一通道被界定在此 距離内者，氧之續散邮近效鼴變得較在限制的幅形比上之 脹大更重要。 當障壁層材料之一匾被暴露於離子化輻射時，化學反 暱被衍生在障壁膜中，其形成如a«化氳原子鼷的自由原 子圃；這些自由原子鼷組合以形成使暴露E免疫於顯影液 並因此界定期望的影像之交叉連繫反鼴，然而，在一普通 製造琛境中，來自空氣之二镄的氣偽與在障壁層膜中的其 它成分琪於平衡；在交叉連繫反應可鑛起前，對於自由原 子靨更具反鼴性的氣分子必須先解抑；一θ為與邸可獾的 氣反應所需的輻射置被超過，則進一步輻射交叉連繫該材 料。 引起”不完全發展”（或”達撟”）的都近效醮在障壁之 暴露的和未暴s的匾間之介面發生：暴露之鋼己耗盡氧分 子.而未暴鯖之倒仍有平衡的集中量；因此，因為障壁層 膜係被它的聚》覆羞膜從在空氣中的氣分開，一瞬時集中 量梯度迫使《分子從鄰.近未慕®蹕壁移入已暴靄匾以平衡 氣之分佈；氧之移出未暴露通道然後降低為暴霸該障壁所 需的輻射置，因為在交叉《繫之設定前只有較少的氣分子 __-13·=ι 本紙張尺度述圯中困國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐} ---------j裝-------_訂------W ,(誚先聞讀背面之注意事項再读寫本頁) A7 442400 B7 五、發明说明（11 ) 須解抑，因此允許光罩的通道被從未光軍的區敵射的輻射 所不期望地暴露；因此，在一噴墨列印頭中，當障壁層厚 度大於被發展的特激之宽度且該特欺偽緊鄰於一大量之障 壁材料時，特戡之連橋被預期發生；然而，當該特擻具有 小於障壁層厚度之一宽度尺寸但距大量之障壁材料有一距 離時，在為界定麗型之其餘所用的曝光能量對於寬度小於 障壁厚度但大於倍該障壁層厚度，連橋不致發生；該 待擻必須從該大置之条露的材料以障壁層厚度之一 2至5之 因素分開的距離依賴於該大最之暴露的材料之實際大小； 據此，在本發明之眈較佳實施例中，島體301從最近量之 障堃層以l〇w m(± 0.25/z B)之一距離（D)被隔開；請注意 ，用於障壁靥特獻的尺寸被给予如光阻光罩之尺寸；在障 壁層壁面間之間距、如5之間距、障壁ft間距、及墨水饋 送通道宽度w,被期望變得以1和間大於光阻光軍尺寸。 因此，在墨水供鼴和墨水餵送通道間障壁層之島體之 安置於發射腔室並被小於墨水饋送通道之宽度或小孔孔徑 之直徑所分照將減少墨水餓送通道或小孔孔徑被墨水中的 污物阻擋；《在島醴間的空間尺寸小於障壁層之厚度時， 藉由將島醱從障壁層材料之其餘隔離而可預防在鳥鳗間之 連橋。 采件斟昭盎 101卡匣本釀構件 105小孔 103列印頭 107電氣接酤 10 9聚合物驂帶（小孔平板） -—-------- _. -----— — - i 4' , 丨 晒- 本紙張尺度適用中明國家梂车《CNS > A4规格（210X297公釐） ---------j裝----^—-訂------W ,(部先閱讀背面之注意事項再楨寫本頁) 441400 —A42 4 ----------- 五、發明説明（π ) 20 1卡匣本體 2 05墨水空間 20S隙縫 20 7基體 209、211電阻加熱器 203小孔平板 213障堃層 215、217發射腔室 219墨滴 301島體 303、3Q5墨水饋送通道 401通道 403連橋 ---------j裝----^----訂------W ,(誚先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 耔^部中^"'if^h 消贽合作ίι卬 f 本紙張尺度適用ϋϋ家揉率（CNS ) A4规格（210X297公羞_/5

Claims (1)

1. 經濟部中央檫準局負工消费合作社印策 $714^2¾ 〇 〇 Α8 C8 ___ D8 六、申請專利範圍 1 . 一種列印頭，用於為一噴璺印表機從至少一發射腔室 哦出鋈水.該列印頭包含有： 有一噴墨器（209、211)設置其上的一基體（207); 一障壁《(213),設置在該基體之至少一部分上 ，該障壁層包括有： 具有一第一尺寸的一層厚度， 將墨水從一墨水琢網合至該發射腔室的至少 一墨水餿送通道（303、305),該至少一墨水饋送 通道具有由該嬅堃層、該基醴及一小孔平板（203) 之一長形缺口所形成的壁面.該長形口偽由一第 二尺寸之一寬度（w)所界定，及 多艟島霾（301),該等多儀島體各與一鄰近 島讎KS两不大於一第三尺寸（S),並設置在該墨 水源和該至少一墨水饋送通道之間；及 其中該第二尺寸偽等於或大於該第一尺寸， 而該第三尺寸你小於該第一尺寸。 2. 依據申請専利範《第1項之列印頭，其中該小孔平板 你設置在該障璺層上，並有一小孔（215、217)穿過， 該小孔從該小孔平板最接近簿壁晒之一表面延伸至該 小孔平板之一外部表面，並相對於該噴墨器而設置， 藉此，墨水可被該噴墨器嗔出。 3. 依據申請専利範圍第2項之列印頭，其中該小孔平板 更包含具有大於該第一尺寸的一最小孔徑尺寸的該小 孔。 本紙張尺度逋用中__家鏢準（CNS > Α4Λ#· ( 210X297公羞1 ---------裝------訂----- •(請先閱讀背&之注意事項再填寫本頁) ___-16-__ 8 888 ABCD f 442400 六、申請專利範圍 4. 一種裂造一列印頭的方法，該列印頭為一噴墨印表機 從至少一發射腔室噴出墨水，該方法包含下列步驟： 在一基醱（207)之一部分上設置具有一第一尺寸 的一厚度之一障壁層（213); 將該障壁靥之一預定部分暴露於電磁_射下，該 預定部分包括有將墨水從一墨水源網合至該發射腔室 並被一第二尺寸（《)予以彼此隔開的一墨水餿送通道 (303、305)之多掴壁面、及多鏟島爨（301), 該等多 锢島饅各與該等多倕ft龌中之一相鄰島體隔開不大於 一第三尺寸（S)並設置在該墨水源和該墨水嫌送通道 之間，該第二尺寸係等於或大於該第一尺寸，而該第 三尺寸俱小於該第一尺寸；及 顯影該障壁層以移除該簿壁層未暴露於電磁輻射 下的部分。 5. 依據申謓專利範团第4項之方法，其更包含下列步驟： 在一小孔平板（203)上産生至少一小孔（215、217) ，該小孔從該小孔平板之一第一表面延伸至該小孔平 板之一第二表面，並具有一第四尺寸的一孔徑；及 將該小孔平板設在該障壁層上，藉此，墨水可被 該噴墨器經該産生的小孔《出。 6. 依镰申«専利範園第5項之方法，其更包含産生大於 該第一尺寸的該孔徑第四尺寸的步 本紙張尺度逍用中因«家樣丰（CNS ) A4洗格（210 X 297公釐） ---------V 裝------訂------¥、 # * ·(請先閉讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局頁工消费合作社印袈 ^17-