TW438940B - Oil-sealed rotating-slider vacuum pump with oil-supply - Google Patents

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TW438940B
TW438940B TW085108677A TW85108677A TW438940B TW 438940 B TW438940 B TW 438940B TW 085108677 A TW085108677 A TW 085108677A TW 85108677 A TW85108677 A TW 85108677A TW 438940 B TW438940 B TW 438940B
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TW085108677A
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Thomas Abelen
Peter Muller
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Leybold Vakuum Gmbh
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4 3 89 4 Q B7 經濟部十央標隼局員工消费合作杜印製 五、發明説明 ( r ) 1 1 本 發 明 偽 關 於 具 有 申 諳 專 利 範 圍 第 1 項 待 擻 之 油 封 葉 1 1 ! 輪 式 回 轉 真 空 泵 0 I t —» 種 具 有 甲 請 專 利 範 圍 第 1 項 持 歡 之 真 空 泵 在 DD -A - 請 l 先 1 2 5 65 4 0 中 已 為 人 所 知 〇 這 份 文 件 掲 示 一 種 αα 早 級 之 m 輪 式 閱 讀 i t 回 轉 真 空 泵 f 其 轉 子 藉 軸 承 栓 安 置 於 其 兩 端 上 0 此 二 個 ιέ i | 之 1 軸 承 栓 及 其 軸 承 外 殼 設 有 纘 孔 ] 這 鑽 孔 之 構 成 及 配 置 1 孝 i 方 式 需 使 這 些 纘 孔 具 有 (管道) 開 關 之 作 用 1 其 可 控 制 滲 項 ! 透 至 兩 葉 輪 中 間 區 的 過 剩 油 流 之 進 出 需 選 取 已 配 置 或卽 填 % 本 裝 將 配 置 之 纘 孔 » 使 得 當 兩 m 輪 中 間 區 有 最 大 體 積 時 » 油 頁 1 | 可 經 由 第 1. 軸 承 栓 流 進 兩 葉 輪 中 間 區 0 在 此 時 及 隨 後 兩 j 葉 輪 中 間 區 之 體 積 減 小 之 階 段 中 1 出 P a 在 聚 油 槽 的 方 1 1 1 向 受 到 阻 隔 > 因 此 , 在 兩 葉 輪 中 間 區 中 會 形 成 較 高 之 油 1 訂 壓 * 使 油 經 由 間 隙 抵 達 桶 狀 室 且 供 Μ 此 室 所 需 之 高 濃 度 1 的 潤 滑 油 該 間 隙 則 存 在 於 葉 輪 和 m 輪 決 缝 之 間 以 及 轉 1 1 子 正 面 之 區 域 中 0 在 兩 m 輪 中 間 區 達 到 其 最 小 體 積 前 之 1 I 短 暫 時 刻 中 9 油 出 η 將 經 由 第 二 軸 承 栓 而 打 開 Ό 由 於 兩 1 t 葉 輪 中 間 區 之 抽 吸 作 用 1 多 餘 之 油 流 出 且 回 到 聚 油 槽。 、皐 I 先 前 技 術 之 此 種 解 決 方 式 之 缺 點 是 * 桶 狀 室 之 池 供 m 1 不 ?£y 受 到 限 定 1 此 乃 因 其 是 經 由 間 隙 來 進 行 1 此 間 隙 具 1 1 有 製 造 公 差 (t 〇 1 e r a η c e )且需承受磨損現象。 此外, 先前 I 技 術 之 解 決 方 式 以 軸 承 栓 存 在 於 轉 子 之 兩 側 為 先 決 條 件 1 〇 依 據 先 前 技 m 之 此 種 解 決 方 式 7 利 用 一 髄 運 轉 中 的 轉 1 i 子 是 無 法 實 現 的 0 最 後 * 在 兩 窠 輪 中 間 區 中 經 常 在 短 時 1 I 間 中 又 形 成 高 的 油 壓 這 3 導 致 非 常 大 的 雜 音 (油的抬 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Λ4規格(2】ϋ-公釐) 43 8 b - ο A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( > ) 1 1 擊 聲 )。 1 1 本 發 明 之 g 的 為 設 置 種 本 文 開 頭 所 述 技 藝 之 葉 輪 1 1 式 回 轉 真 空 泵 9 能 夠 儘 可 能 地 地 避 免 油 的 拍 擊 聲 〇 請 1 先 1 依 據 本 發 明 » 此 一 百 的 利 用 串 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 恃 閱 ik 1 歡 而 得 以 «7J 決 在 本 發 明 之 真 空 泵 中 , 1. ..i 有 當 兩 葉 輪 中 背 1 | 之 1 間 區 增 大 其 體 積 時 油 才 會 進 入 兩 葉 輪 中 間 區 之 中 〇 此 注 意 1 ] 外 t 兩 葉 輪 中 間 區 與 桶 狀 室 之 間 的 連 接 經 常 是 開 著 的 項 1 | 再 不 會 發 生 油 壓 升 高 的 現 象 。 在 兩 葉 輪 中 間 區 縮 小 階 段 之 填 寫 本 裝 期 間 , 不 淮 許 油 進 入 其 中 > 使 兩 葉 輪 中 間 區 之 油 吸 作 用 頁 1 | 對 油 之 流 動 没 有 影 » 不 曰 産 生 油 的 泊 擊 聲 〇 到 逹 兩 葉 1 i 輪 中 間 區 之 油 量 在 每 一 轉 子 旋 轉 中 可 經 由 外 殼 中 及 軸 承 1 j 區 段 中 之 m 孔 的 瞬 間 相 對 靜 止 之 出 P 的 大 小 來 m 整 > 可 1 訂 以 較 簡 αο 単 之 方 式 來 遘 擇 這 些 鑽 孔 > 使 得 恰 巧 只 有 這 樣 的 1 油 量 流 入 兩 葉 輪 中 間 區 且 隨 後 流 入 桶 形 室 中 這 樣 的 油 1 I 量 足 夠 滿 足 此 泵 之 真 空 技 術 條 件 (例如, 在考廉應用領域 1 I 時 之 條 件 )。 另- -重要的事實是, 這些油以無壓力之方式 1 1 進 入 桶 狀 室 中 由 此 出 來 經 由 泵 之 出 □ 回 到 抽 吸 聚 集 處 I (聚油槽) 0 最 後 y 為 了 控 制 流 經 兩 葉 輪 中 間 區 之 油 里 只 1 需 一 摘 軸 承 栓 即 已 足 夠 使 本 發 明 在 真 空 泵 中 亦 可 放 入 1 1 運 轉 狀 態 中 之 轉 子 〇 i I 另 一 種 降 低 操 作 雜 音 之 方 式 是 將 油 及 空 氣 之 混 合 物 輸 1 \ 送 至 兩 m 輪 中 間 區 0 此 種 混 合 物 可 在 油 泵 之 刖 或 油 泵 中 1 1 製 造 α 1 i 允 許 油 進 入 兩 葉 輪 中 間 4 區 之 時 間 點 需 適 當 地 選 擇 1 使 1 ! 1 i I 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐)
438940 A7 _B7 五、發明説明(4 ) 兩葉輪中間區在油進入之瞬間具有最小之體積,這樣就 可確保不會産生油的抬擊磬。 其它之優點為.這些油可藉噴嘴而噴進兩葉輪中間區 之中。因此可保證有持續流入之油量。 本發明之其它歷點及細節將依據画1和圖2而加以描 述。匾式簡單說明如下: 第1圖依據本發明之兩段式葉輪式回轉真空泵實施例 縱切而。 第2圖:依據本發明之單段式葉輪式回轉真空泵的圖解 切而圖。 圖示之泵1包含外殼2 ,轉子3及驅動馬達4等各组 件。 外殼2基本上具有盆狀之形式.包括外壁5,蓋子6, 内紐件7,桶狀室8, 9以及軸承鑽孔U,末端圓板12和 軸承段13,此軸承段13可在正面將桶狀室8, 9封閉。軸 承辍孔11之軸以14表示。在外壁5和内组件7之間有油 室17,在泵之運轉期間,油室17之一部份以油填充。為 了控制油之狀態,在蓋子6中設置兩値油眼18, 19(最 大,最小油狀態油注入管套及油流出管套在圔中未示 出。聚油措在圖中以20表示。 内姻件7之内部有轉子3,轉子3傜以單组件之方式 構成且具有兩傾正面配置之支撑件21. 22及一館介於支 撑21. 22之間的軸承段23。支撑件21, 22設有葉輪26, 27所用之狹縫24. 25。依據圖1之圖式所選擇之方式是 本紙張尺度適用中國國家橾隼(CNS ) Α4規格(2!ΟΧ 297公烚) I. I . *^衣 H 1 訂 -ί I 丨 ^ /—' V (請先Μ讀背面之注意疒V再填寫本页) 經涛部中央標準局具工消費合作社印裝 ^389 4 〇 Λ'發明説明
Δτ 兩铤輪中間區28 , 29都位在圖式之平面中。葉輪狹縫25 • 26各由所靨之轉子正面_鉄切(milled)而成,因此能以 較簡單之方式達到正確之狭缝尺寸。軸承段23位於支撑 件21, 22之間。軸承段23及軸承资孔11構成轉子唯一之 軸承n 支撑件22和所屬之桶狀室9有一値較支撑件21和桶狀 室8還大之直徑。支撑件22和桶狀室9構成高真空1。 在捺作期間,高其空區9. 22之入口保持舆柚趿管套3 0 連抟。高真空區9, 22之出口及預真空區8, 21之人口經 由外殼纘孔31而保持連接,外殼辑孔31平行於桶狀室8· 9之軸而延伸。預真空區8, 21之出口通向油室17,含油 之氣醴在油室17中極為平靜且經由出口管套33而離開泵1 。為了清楚之故,此泵(puup)之二铕區段之入口孔和出口 孔在第1圖中未示出。此泵之外殼2適合由儘可能少之 钳伴來構成。至少包含此二桶狀室8, 9和油室17之壁 部5, 7應由單级方式構成a 經濟部中央橾準局頁工消費合作社印装 與軸承辑孔11之軸14共軸之軸承段13設有供轉子驅勤 用之鑽孔35。此菝孔35可以直接是驅動馬達4之軸36。 在第1圖所示之買施例中。在驅動軸36裸露之正面和轉 子3之間設有離合器區段37。離合器區段37 -方面與驅 動軸36铒合,另一方面與轉子耦合,其技術和方式不在 這裡詳細描述,而是詳細説明在DE_A_43 25 285此一文 件中。 圖示之泵設有一形成一醱之油泵,它是由軸承检段13 本紙乐尺度適用中國國家橾準(CNS > Λ4現格(210X297公釐) 經濟部中央榇準局貝工消費合作社印製 由之7)68進6)纘置攒當接,噴 經油P6·孔且(6向位向次建上由 及及 1 鑽來道徑.'1徑每之置經 HwI 氣氣{向出通之'其若得46位 。 空空11徑支油中在,使 ,τ 積 取之孔之分擇2326中 ,45於體 抽泵鑽績68蔟栓輪-68口泵位.之 17油承建孔需承葉孔出油次小 室開軸 I 辍面軸當鑽値至兩最 油離向有向 j擇油入兩種有有 從。通設徑 選之進有 一26具 64油6623由。需來内需成輪28 道取道栓69中面出間則形葉區 通抽通承孔向方66時,可,間 120,軸攒方一道短2-3都時中 第槽中-向之另通在栓,鞞輪 由油66中軸28且由能承時旋M 經聚道度之區置使只軸置次兩 。46從通高70間位·,,穿位每 , 45一,65入之嘴中7)口時貫 T 3 上 室45道進67噴輪(6開2)金其子置 狀泵通物 口 有葉口 的圖完在轉位 桶油二合開具兩開68考68輪在此 之 第混在,入.之孔參孔葉。在 ^3894 0 1補充^ · .........._丨__|_ 丨·丨丨丨“ I [〜 〇 · 五、發明説明U ) · 進入而由馬達刨出來之桶狀室4 5所構成,桶狀室4 5之中 具有可旋轉之橢圓形偏心輪4 6。閉鎖葉輪4 7緊接偏心輪 46,閉錤葉輪47受到螺旋彈簧48之壓力。油泵之儒心輪 4 6是離合器區段3 7之組件《徧心輪4 6與離合器區段3 7相 連接或在形式上只以軸向之間隙和離合器區段3 ?相連接。 在画示之具有油泵45, 46的實施例中,軸承段13在其 面向馬達4這邊設有圓形έ空位5 8,在空位58中有一値 圓板59。圓板59藉驅動馬逹4之外殼61支捜在其位置上, 圓板59設有一値中央鑽孔62,纘孔62偽利用驅動馬逹4 之軸36所形成。此外,圓板59之目的為限制油泵45, 46 本紙乐尺度通用中國國家橾隼(CNS ) Α4規格U10X 297公釐) I批水 訂 .線 」 ^(\ '\ (請先閲讀背面之注意事再填寫本頁) 43894 〇 A7 B7 經濟部中央橒準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( b ) 1 1 嘴 而 總 是 在 短 時 間 内 噴 人 兩 葉 m 中 間 區 28 之油 及 空 氣 混 1 1 合 物 流 m •*d. 兩 葉 輪 中 間 區 2 8且 以 無 壓 力 之 狀 態抵 達 桶 狀 室 1 i 8, 蓋子1 2之内側在桶狀室中設有溝槽7 1, 此溝槽7 1由 請 1 先 兩 葉 輪 中 間 區 2 8延 伸 至 桶 狀 室 8 之 中 0 為 了確 保 兩 葉 輪 閱 I 中 間 區 2 8 經 常 與 桶 狀 室 8 連 接 » 支 撐 件 2 1 之裸 露 的 正 面 背 面 J 之 t 另 外 設 置 一 個 中 央 旋 入 件 7 2 〇 注 意 f 若 本 發 明 之 真 空 泵 是 - 種 單 级 之 泵 i 則 油及 空 氣 之 混 項 1 I 再 I 合 物 中 之 標 準 成 份 流 經 m 孔 6 6 68 » 6 9和 兩葉 輪 中 間 區 填 寫 本 1 28而 進 入 桶 狀 室 8 之 中 且 由 此 出 來 而 回 到 油室 1 7 中 〇 只 頁 1 I 有 非 常 少 的 一 部 份 油 抵 達 軸 承 鑽 孔 1 1和 軸 承栓 2 3 之 間 的 1 1 軸 承 間 隙 及 以 潤 滑 油 供 應 此 軸 承 〇 m 滑 油 流經 軸 承 間 1 ] 隙 且 同 樣 進 入 桶 狀 室 8 中 〇 若 此 真 空 泵 (如圖1 之實施 1 訂 例 所 示 )以兩级方式形成, 則第三股油及空氣混合物依 1 高 真 空 泵 區 9, 2 2之方向流進軸承1 1, 2 3之軸承間隙中 1 I 0 若 此 油 及 空 氣 混 合 物 進 入 高 真 空 區 中 t 則油 中 所 含 之 1 I 空 間 影 蜜 真 空 泵 之 末 端 壓 力 狀 況 〇 由 通 道66 之 出 □ 至 1 1 高 真 空 區 之 桶 狀 室 9 之 路 徑 上 因 此 發 生脱 氣 現 象 〇 I 軸 承 拴 2 3 設 有 一 個 延 伸 之 溝 槽 7 4 S 有 一 m 孔7 5在 溝 槽 74 1 I 之 高 度 處 通 向 溝 槽 7 4 中 鑽 孔 7 5 暫 時 真 空 區 1 1 (纘孔3 1) 相 連 接 〇 1 依 據 圖 2 之 早 级 泵 的 切 面 fBT 圖 顯 示 更 進 步之 細 節 〇 油 1 1 及 空 氣 混 合 物 由 圖 上 付 號 所 示 之 油 泵 4 5 9 4 6經 由 通 道 6 6 1 至 開 口 67而 進 入 軸 承 m 孔 11 中 0 轉 子 3 是 顯示 在 葉 輪 2 6 1 I 佔 有 其 T 位 置 時 轉 子 所 在 之 位 置 中 在 此 位置 中 » 外 殼 1 1 中 之 通 道 6 6與 軸 承 段 2 3 中 8 之 徑 向 鑽 孔 68保 持連 接 〇 正 好 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21 OX 297公釐) 修正 4389 4 〇 μ俨”“為充 Β7 -1 ——-- 丨: 五、發明説明(,) 足钩之少量油量經由纘孔68, 69(具有噴嘴70)抵達兩葉 輪中間區2 8 ,兩葉輪中間區2 8在T位置時具有最小之Μ 蒱。 在與軸承段23相對之蓋子12中之溝槽71以虛線表示, 它是配置在出口 30附近,使葉輪26中之一經常在入口 33 和溝榜71之間,溝槽71之内部末端大大地延伸至轉子3 中之旋入件72之區域中,因此可確保油不會形成壓力而 離開兩萑輪中間區28且可經由旋入件72以及溝槽71而進 入桶狀室8之中。 符號對照表 (請先閲讀背面之注意事項「蜞寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 1 泵 2 外殼 3 轉子 4 驅動馬達 5 外壁 6 蓋子 7 内組件 8, 9 桶狀室 11 軸承鑽孔 12 末端圓板 13 軸承段 14 軸 17 油室 18,19 油眼 -9 - 本紙張尺度適用令國國家標隼(CNS )_Α4規格(210Χ297公釐)
經濟部中央標準局負工消費合作社印製 20 聚 油 槽 21, 22 支 撑 件 23 軸 承 段 24 , 2 5 狹 縫 26 , 27 葉 輪 30 抽 吸 管 套 31 外 殼 鑽 孔 33 出 Ρ 管 m 35 纘 孔 36 軸 37 離 合 器 1 段 45 桶 狀 室 46 偏 心 輪 47 閉 鎖 葉 輪 48 螺 旋 彈 簧 5δ 空 位 59 圓 板 61 外 殼 62 鑽 孔 64 , 65 , 66 通 道 67 開 Ρ 68 徑 向 鑽 孔 69 軸 向 鑽 孔 79 噴 嘴 7 1 溝 槽 72 中 央 旋 人 件 74 溝 槽 75 鑽 孔 9-1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ----------装-------tr------0 ' λ -. (请先閑讀背面之注意事項再本頁)

Claims (1)

  1. 438940 A8 B8 , C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種油封葉輪式回轉真空泵,其包括:桶狀室(8); ----------政 ί kkl^i pf^i ^pn nnr 一 ^ (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 以可旋轉之方式配置在桶狀室中之轉子(3),轉子(3) 設有支撐件(21)和軸承段(23);設置在支撐件中之葉 輪狹縫(24);兩値配置在葉輪狹缝中之葉輪(26),此 二葉輪在其中間形成兩窠輪中間區(2 8 );軸承,以供轉 子(3)使用,軸承包含軸承段(23)和軸承纘孔(U); 油泵(4 5 , 4 6 ),用於産生流經兩藥輪中間區(2 8 )之油流 :控制機構,使進入兩葉輪中間區(28)之油經由通向軸 承纘孔(11)之油通道(66)及經由徑向纘孔(68)和軸向 鑽巩(69)而進入軸承段(23)之中,其待激為: 關於葉輪(26)或葉輪狹缝(24)之位置,一方面需選 取通向軸承纘孔(11)之油通道(66)之開口位置,另一 方面需選取軸承段(23)中之徑向鑽孔(6?)之位置,使 得當兩葉輪中間區(2 8}擴大其體積時,油只進入兩葉 輪中間區(2 8 )之中,且對離開兩葉輪中間區(2 8 )之油 産生經常打開(open)之通向桶狀室(8)的連接。 2. 如申諳專利範圍第1項之泵,其中需選擇油通道(66) 之開口位置及軸承段(23)中之徑向鑽孔(68)的位置, 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 使得當兩葉輪中間區之體積為最小時,油只能進人兩 葉輪中間區之中。 3. 如申請專利範圍第1或第2項之泵,其中軸向纘孔 (69)設有噴嘴(70)。 4. 如申請專利範圍第1或第2項之泵,其中桶狀室(8丨之與 軸承段(23)相對之蓋子(12)設有溝槽(71),溝槽(71)將 -1 0 - 本紙浪尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21 0 X 297公釐) 4389^ ^ i · D8 ___----- 六、申請專利範圍 兩窠輪中間區(28)與桶狀室(8)相連接。 5. 如申謓專利範圍第4項之泵,其中面向蓋子之轉子(21) 正面設有中央旋入件(72)。 6. 如申請專利範圍第1或第2項之泵,其中徑向纘孔 (68)芫全貫穿軸承段(23)。 7. 如申請專利範圍第1項之泵,其中油泵(45, 4㈠設有 输送管以供油(65)及氣腥(64}使用。 8. 如申請專利範圔第1項之泵,其中設有:轉子(3>; 兩摘正面配置之支捜件(21,22)以形成預真空區(8, 21);高真空區(9, 22)以及存在於支撐件(21, 22)之 間的軸承段(23),其待微為:設有除氣裝置以供由開 口(67)往高真空區(9, 22)之方向流動之油所使用》 9. 如申請專利範圍第8項之泵,其中介於徑向纘孔(68) 和支撐件(22)之間的軸承段(23)設有延伸之溝槽(74)’ 溝槽(74)與泵之暫時真空區(31)柑連接。 ι^ϋ ^^^^1 —^ϋ n^i tB^^i Bn— m l^i US— 1^1^1 ml ^ikn V Ί (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐)
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