JPS5925098A - 油回転真空ポンプの注油装置 - Google Patents
油回転真空ポンプの注油装置Info
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- JPS5925098A JPS5925098A JP13380882A JP13380882A JPS5925098A JP S5925098 A JPS5925098 A JP S5925098A JP 13380882 A JP13380882 A JP 13380882A JP 13380882 A JP13380882 A JP 13380882A JP S5925098 A JPS5925098 A JP S5925098A
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- JP
- Japan
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- oil
- exhaust valve
- pump
- cartridge
- exhaust
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/02—Liquid sealing for high-vacuum pumps or for compressors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、油回転真空ポンプの注油装置に係り、油量減
少による到達圧力の劣下を防止すると共に、排気音の消
音を行なうようにした油回転真空ポンプの注油装置に関
するものである。
少による到達圧力の劣下を防止すると共に、排気音の消
音を行なうようにした油回転真空ポンプの注油装置に関
するものである。
従来、油回転真空ポンプにおいては、第１図及び第２図
に示すように、排気弁２及び弁座６がかくれるまで油４
を注油し、核油によって排気弁部なシールすると共に、
その一部をケーシング１内に逆流させることによって気
密を良くする一方、排気口９の近傍でベーン７とロータ
ー６とケーシングとによって囲まれるいわゆるデッドボ
リュームを埋めることによってポンプの圧縮効率を高め
、到達真空度を向上させるようにしている。そして最近
の油回転真空ポンプは、圧縮効率をよくするために、図
示のように、吸気口８の位置に比べ排気口９の位置を上
死点（トップ）に近づけるように少し下げた設計をとっ
ている。なお、第１図はトップから吸気口中心までの距
離ａとトップから排気口中心までの距離すが等しいもの
を、また第２図は異なるものをそれぞれ示している。
に示すように、排気弁２及び弁座６がかくれるまで油４
を注油し、核油によって排気弁部なシールすると共に、
その一部をケーシング１内に逆流させることによって気
密を良くする一方、排気口９の近傍でベーン７とロータ
ー６とケーシングとによって囲まれるいわゆるデッドボ
リュームを埋めることによってポンプの圧縮効率を高め
、到達真空度を向上させるようにしている。そして最近
の油回転真空ポンプは、圧縮効率をよくするために、図
示のように、吸気口８の位置に比べ排気口９の位置を上
死点（トップ）に近づけるように少し下げた設計をとっ
ている。なお、第１図はトップから吸気口中心までの距
離ａとトップから排気口中心までの距離すが等しいもの
を、また第２図は異なるものをそれぞれ示している。
上記のように油回転真空ポンプにおいては、油が必要で
あシ、クール部の洩れは厳禁であるので、ポンプ油量は
増加される傾向がある０もちろんポンプ油の油量を多く
する利点は数多くあるが、この排気弁部のシール用とし
て必要外油量は、その排気弁のレベルがオイルレベルよ
シ常に数■低い位置にあることである。
あシ、クール部の洩れは厳禁であるので、ポンプ油量は
増加される傾向がある０もちろんポンプ油の油量を多く
する利点は数多くあるが、この排気弁部のシール用とし
て必要外油量は、その排気弁のレベルがオイルレベルよ
シ常に数■低い位置にあることである。
ところが、例えば５０− Ｉ ＤＯＴｏｒｒ （ＩＩＩ
Ｈｔ）の低真空（高負荷）で連続負荷運転するような運
転モードでは、排気弁部の油が排気ガスにより該排気弁
部よシ気泡とガって霧状に排気と共に吹き飛ばされてし
まうことがある。したがって、高価な油の損失となるば
かりで危く油の減少のために、その後の到達圧力付近の
運転モードでは油量が不足し、わト気弁部に必要とされ
るだけの油が存在し力いことになり、したがって核排気
弁部のシール特性が劣下し、それに伴って到達真空度の
劣下を来たし、その都度油を補給し外ければガらガいと
いう手間のかかる欠点があった。
Ｈｔ）の低真空（高負荷）で連続負荷運転するような運
転モードでは、排気弁部の油が排気ガスにより該排気弁
部よシ気泡とガって霧状に排気と共に吹き飛ばされてし
まうことがある。したがって、高価な油の損失となるば
かりで危く油の減少のために、その後の到達圧力付近の
運転モードでは油量が不足し、わト気弁部に必要とされ
るだけの油が存在し力いことになり、したがって核排気
弁部のシール特性が劣下し、それに伴って到達真空度の
劣下を来たし、その都度油を補給し外ければガらガいと
いう手間のかかる欠点があった。
この発明の目的は、前記した従来のものの欠点を解消し
、油の損失をなくして必要な最小限度の油量を確保する
と共に、排気音の消音作用をも行わせるようにした油回
転真空ポンプを提供するにある。
、油の損失をなくして必要な最小限度の油量を確保する
と共に、排気音の消音作用をも行わせるようにした油回
転真空ポンプを提供するにある。
この目的を達成するために、本発明は、オイルポンプユ
ニットと排気弁座を蔽うように取付けられた排気弁カー
トリッジ並びに必要に応じて油圧制御弁を備え、それら
を油圧配管によって連結し、該カートリッジ内部にポン
プ油を常時適量保持させるようにしたことを特徴とする
。
ニットと排気弁座を蔽うように取付けられた排気弁カー
トリッジ並びに必要に応じて油圧制御弁を備え、それら
を油圧配管によって連結し、該カートリッジ内部にポン
プ油を常時適量保持させるようにしたことを特徴とする
。
以下、本発明の一実施例を図面第３図ないし第５図と共
に説明する。
に説明する。
第３図は、油槽５内に浸漬して定置された本発明の油回
転真空ポンプを示し、該真空ポンプは、ポンプケーシン
グ１内に偏心して軸支されたローター６を具え、該ロー
ター６に設けられた半径方向の２個の溝内にそれぞれベ
ーン７．７が摺動自在に挿入され、偏心ローター６とポ
ンプケーシング１との上部接点を挿んで両側に吸気口８
と排気口９が設けられ、吸気口８は吸気管１０を介して
被排気室に、また排気口９は該排気弁座３を蔽うように
してケーシング上部に取付けられた排気弁カートリッジ
１１を経て大気側にそれぞれ連通されている◎ 上記排気弁カートリッジ１１の内部は、油溜まシのでき
る構造となっておシ、排気口９の弁座３を開閉する排気
弁２と該排気弁２を弁座３へ押圧するスプリング１２と
を内蔵し、その−側壁の上部には排気ガスの通多穴１３
が、またその下方にはオーバーフロー用の溢流穴１４が
それぞれ穿設されている。そして該排気弁カートリッジ
１１には、ポンプ作動中、後に述べるオイルポンプより
油が常時供給されるように構成されている。
転真空ポンプを示し、該真空ポンプは、ポンプケーシン
グ１内に偏心して軸支されたローター６を具え、該ロー
ター６に設けられた半径方向の２個の溝内にそれぞれベ
ーン７．７が摺動自在に挿入され、偏心ローター６とポ
ンプケーシング１との上部接点を挿んで両側に吸気口８
と排気口９が設けられ、吸気口８は吸気管１０を介して
被排気室に、また排気口９は該排気弁座３を蔽うように
してケーシング上部に取付けられた排気弁カートリッジ
１１を経て大気側にそれぞれ連通されている◎ 上記排気弁カートリッジ１１の内部は、油溜まシのでき
る構造となっておシ、排気口９の弁座３を開閉する排気
弁２と該排気弁２を弁座３へ押圧するスプリング１２と
を内蔵し、その−側壁の上部には排気ガスの通多穴１３
が、またその下方にはオーバーフロー用の溢流穴１４が
それぞれ穿設されている。そして該排気弁カートリッジ
１１には、ポンプ作動中、後に述べるオイルポンプより
油が常時供給されるように構成されている。
第４図は、第３図に示された油回転真空ポンプを中間ス
テージを挿んで２段に直結して使用した場合の本発明の
実施例を斜視図で示したものであって、第１段（低真空
側）ポンプ１５の吸気側には吸気管１０が取付けられて
おり、排気口９には第２段（高真空側）ポンプ１６の吸
気側へ連通する通孔９′（第３図）が設けられておシ、
且つ両ポンプの排気口には何れも排気弁カートリッジ１
１゜１１′が取付けられている。両排気弁カートリッジ
１１ 、１１’は軸方向の巾が異方る以外、格別構造上
の差は外い。また、直結された第２段ポンプの端部には
、例えばトロコイドポンプで吸上げ力の比較的小さなオ
イルポンプ１８が同軸上に直結して設けられておシ、該
オイルポンプ１８の吸込側は導管を経てポンプケーシン
グ底部よ！ｌ１３０ｇＩｍ前後離して設けられた粗大ゴ
ミをＰ遇するオイルストレーナ１７に連結され、該オイ
ルポンプ１日から吐出された油は、途中に設けられ、該
ポンプからの吐出油に油圧（背圧）を発生させ、その値
を適切に制御する油圧、制御弁１９を経て、該真空ポン
プ内部への給油と前記両排気弁カートリッジ１１．１１
’への給油路に分けて給油される。外お、前記油圧制御
弁１９は、例えば油圧配管２０に設けられた弁を、バネ
力に抗して作動させるようにした周知の簡単列構造のも
のでよく、ポンプ作動中は所要油圧と平衡して作動して
おり、ポンプが停止すると、油が速断されて逆流が防止
されるように構成されている。
テージを挿んで２段に直結して使用した場合の本発明の
実施例を斜視図で示したものであって、第１段（低真空
側）ポンプ１５の吸気側には吸気管１０が取付けられて
おり、排気口９には第２段（高真空側）ポンプ１６の吸
気側へ連通する通孔９′（第３図）が設けられておシ、
且つ両ポンプの排気口には何れも排気弁カートリッジ１
１゜１１′が取付けられている。両排気弁カートリッジ
１１ 、１１’は軸方向の巾が異方る以外、格別構造上
の差は外い。また、直結された第２段ポンプの端部には
、例えばトロコイドポンプで吸上げ力の比較的小さなオ
イルポンプ１８が同軸上に直結して設けられておシ、該
オイルポンプ１８の吸込側は導管を経てポンプケーシン
グ底部よ！ｌ１３０ｇＩｍ前後離して設けられた粗大ゴ
ミをＰ遇するオイルストレーナ１７に連結され、該オイ
ルポンプ１日から吐出された油は、途中に設けられ、該
ポンプからの吐出油に油圧（背圧）を発生させ、その値
を適切に制御する油圧、制御弁１９を経て、該真空ポン
プ内部への給油と前記両排気弁カートリッジ１１．１１
’への給油路に分けて給油される。外お、前記油圧制御
弁１９は、例えば油圧配管２０に設けられた弁を、バネ
力に抗して作動させるようにした周知の簡単列構造のも
のでよく、ポンプ作動中は所要油圧と平衡して作動して
おり、ポンプが停止すると、油が速断されて逆流が防止
されるように構成されている。
また第５図は、第４図に示された真空ポンプ装置の排気
弁カートリッジ１１．１１’を特に拡大して示したもの
であシ、各排気弁カートリツ：）１１゜１１′の内部に
は、真空ポンプの作動中、オイルポンプ１８から低い油
温の油が配管２０を経て連続して給油されており、この
供給された油は溢流穴１４．１４’より油槽内へ戻され
るので、排気弁カートリッジ内の油は一定量常時確保さ
れていることになる。なお、排気弁２よυの排気ガスは
、該排気弁カートリツ：）１１．１１’内へ吐き出され
た後、上方に設けられた排気ガス通り穴１５．１５’よ
シ外気へ吐き出されるが、この際、開口部に第３図に示
すような短管を取付けるなど、穴の形状や数等を適宜設
計することにより排気音の音質が微妙に変化し、また排
気ガスの運動エネルギーを初期に消滅させるので、油の
排気口への飛散を少なくする効果があ夛、更に排気ガス
通り穴をラバール形状にすることによシ更に効果が増大
する。
弁カートリッジ１１．１１’を特に拡大して示したもの
であシ、各排気弁カートリツ：）１１゜１１′の内部に
は、真空ポンプの作動中、オイルポンプ１８から低い油
温の油が配管２０を経て連続して給油されており、この
供給された油は溢流穴１４．１４’より油槽内へ戻され
るので、排気弁カートリッジ内の油は一定量常時確保さ
れていることになる。なお、排気弁２よυの排気ガスは
、該排気弁カートリツ：）１１．１１’内へ吐き出され
た後、上方に設けられた排気ガス通り穴１５．１５’よ
シ外気へ吐き出されるが、この際、開口部に第３図に示
すような短管を取付けるなど、穴の形状や数等を適宜設
計することにより排気音の音質が微妙に変化し、また排
気ガスの運動エネルギーを初期に消滅させるので、油の
排気口への飛散を少なくする効果があ夛、更に排気ガス
通り穴をラバール形状にすることによシ更に効果が増大
する。
本発明は、前述のような構成になっているので、真空ポ
ンプ１の作動中、オイルポンプ１８も共に駆動されるの
で、該オイルポンプ１８はオイルストレーナ１７を経て
吸上げた油を、油圧制御弁１９により設定された油圧で
真空ポンプ内部の所要個所へ給油すると共に、排気弁カ
ートリッジ１１゜１１′内へ連続して給油し、溢流穴１
４．１４’より一部油槽内へ戻すようにしているので、
該カートリッジ内には前記のように一定量の油が常時確
保されている。
ンプ１の作動中、オイルポンプ１８も共に駆動されるの
で、該オイルポンプ１８はオイルストレーナ１７を経て
吸上げた油を、油圧制御弁１９により設定された油圧で
真空ポンプ内部の所要個所へ給油すると共に、排気弁カ
ートリッジ１１゜１１′内へ連続して給油し、溢流穴１
４．１４’より一部油槽内へ戻すようにしているので、
該カートリッジ内には前記のように一定量の油が常時確
保されている。
一方、油回転真空ポンプ１は、ローター６の回転に伴い
吸気管１０よシ吸気し、吸気されたガスは排気弁２をス
プリング１２に抗して押上げて排気弁カートリツＪ）１
１内の油中へ気泡となって排気され、排気ガス通シ穴１
３より外気へ吐き出される。しかしこの際、前記のよう
な低真空における高負荷運転時、排気弁よシ排出される
気泡に伴って一部の油が該カートリッジ室内より通υ穴
１３を経て外部（油槽内）へ排出され、一時油しにルの
低下が生じても引き続いてオイルポンプよシ給油されて
いるので、運転性能の劣下は生じない。
吸気管１０よシ吸気し、吸気されたガスは排気弁２をス
プリング１２に抗して押上げて排気弁カートリツＪ）１
１内の油中へ気泡となって排気され、排気ガス通シ穴１
３より外気へ吐き出される。しかしこの際、前記のよう
な低真空における高負荷運転時、排気弁よシ排出される
気泡に伴って一部の油が該カートリッジ室内より通υ穴
１３を経て外部（油槽内）へ排出され、一時油しにルの
低下が生じても引き続いてオイルポンプよシ給油されて
いるので、運転性能の劣下は生じない。
したがって、高負荷連続運転時間を延長することができ
る。
る。
また排気弁カートリッジ１１を備えているので、排気弁
部のシールに必要なオイルレベルを、第３図に示すよう
に油の溢流穴１４の位置又はそれよシ下方の位置まで下
げることができる。したがって、該溢流穴１４の位置を
必要な最低レベルに設定することによシ、高価なポンプ
油を必要な最少限度の範囲内で経済的に利用できるので
、ユーザーのメリットは大きく、また真空ポンプ内部の
油循環が、オイルポンプによる給油と排気弁カートリッ
ジへの循環路のため非常によくなシ、積極的に行われる
ようになるので、ポンプシリンダー１の冷却にも効果が
ある。また、該排気弁カートリッジ１１ば初期マフラー
の役目とバッフルの役目を果し、油滴の飛散と排気音の
低下にも有効である。特Ｋ、油滴の飛散エネルギーを吸
収し、油滴状態での排気ガス通り穴１３への飛来は非常
に少なくなり、油のポンプ外壁への汚染も小さくできる
靜の種々の効果を有するものである。
部のシールに必要なオイルレベルを、第３図に示すよう
に油の溢流穴１４の位置又はそれよシ下方の位置まで下
げることができる。したがって、該溢流穴１４の位置を
必要な最低レベルに設定することによシ、高価なポンプ
油を必要な最少限度の範囲内で経済的に利用できるので
、ユーザーのメリットは大きく、また真空ポンプ内部の
油循環が、オイルポンプによる給油と排気弁カートリッ
ジへの循環路のため非常によくなシ、積極的に行われる
ようになるので、ポンプシリンダー１の冷却にも効果が
ある。また、該排気弁カートリッジ１１ば初期マフラー
の役目とバッフルの役目を果し、油滴の飛散と排気音の
低下にも有効である。特Ｋ、油滴の飛散エネルギーを吸
収し、油滴状態での排気ガス通り穴１３への飛来は非常
に少なくなり、油のポンプ外壁への汚染も小さくできる
靜の種々の効果を有するものである。
更に、油圧制御弁１９は油逆流防止機能を備えているの
で、ポンプが停止された後は油の逆流が阻止され、油は
その状態に維持されるので、ポンプの再スタート時の諸
問題及び低温起動時にも有効であり、また停電時などの
不測の事態に対しても、ユーザー側の設備への損傷を最
小限にすることができる。しかしこの油圧制御弁上、本
発明に係る注油装置の機能を果たすためには必ずしも必
要ではない。
で、ポンプが停止された後は油の逆流が阻止され、油は
その状態に維持されるので、ポンプの再スタート時の諸
問題及び低温起動時にも有効であり、また停電時などの
不測の事態に対しても、ユーザー側の設備への損傷を最
小限にすることができる。しかしこの油圧制御弁上、本
発明に係る注油装置の機能を果たすためには必ずしも必
要ではない。
なお、第４図に示された２段直列の場合も前記と同様な
作用効果が行われる０この２段直列の場合、低真空の段
階では第１段ポンプ１５の排気弁からも排気されるが、
真空度が高まるにつれて、第１段ポンプからの排気は子
べて排気弁１１の手前の通孔９′よシ第２段ｌンプ１６
の吸気側へ吸気されるようになることは従来と変シはな
い。
作用効果が行われる０この２段直列の場合、低真空の段
階では第１段ポンプ１５の排気弁からも排気されるが、
真空度が高まるにつれて、第１段ポンプからの排気は子
べて排気弁１１の手前の通孔９′よシ第２段ｌンプ１６
の吸気側へ吸気されるようになることは従来と変シはな
い。
上記の実施例では、ベーン型（回転翼型）の真空ポンプ
について説明したが、他の型の油回転真空ポンプにも適
用されることはもち論である０以上のように本発明は、
排気弁カートリッジを従来の排気弁部に取付け、オイル
ポンプによって強制給油することによシ、排気弁部に必
要な最少限度の油を常時確保することができるのでオイ
ルレベルの低下によるポンプ性能への影響の恐れがなく
なるばかりでなく、高価なポンプオイルを経済的に利用
できる外、排気マフラーの役目をし、低騒音の運転が期
待できる０
について説明したが、他の型の油回転真空ポンプにも適
用されることはもち論である０以上のように本発明は、
排気弁カートリッジを従来の排気弁部に取付け、オイル
ポンプによって強制給油することによシ、排気弁部に必
要な最少限度の油を常時確保することができるのでオイ
ルレベルの低下によるポンプ性能への影響の恐れがなく
なるばかりでなく、高価なポンプオイルを経済的に利用
できる外、排気マフラーの役目をし、低騒音の運転が期
待できる０
第１図及び第２図は従来の油回転真空ポンプの断面図で
、第１図はローターの接するトップから吸気口および排
気口の両中心までの距離が等しいもの、第２図は異なる
ものを示す。第６図は本発明の油回転真空ポンプの断面
図、第４図は本発明の油回転真空ポンプを２段に直結し
て使用した場合の注油装置を示す斜視図、第５図は第４
図における排気弁カートリッジ部を拡大して示した斜視
図である。 １・・・ポンプケーシング、 ２・・・排気弁、 ３・
・・排気弁座、 １１・・・排気弁カートリッジ、１２
・・・排気弁部えスプリング、１３・・・排気ガス通り
穴。 １４・・・溢流穴、１８・・・オイルポンプ、１９・・
・油圧制御弁、２０・・・油圧配管。
、第１図はローターの接するトップから吸気口および排
気口の両中心までの距離が等しいもの、第２図は異なる
ものを示す。第６図は本発明の油回転真空ポンプの断面
図、第４図は本発明の油回転真空ポンプを２段に直結し
て使用した場合の注油装置を示す斜視図、第５図は第４
図における排気弁カートリッジ部を拡大して示した斜視
図である。 １・・・ポンプケーシング、 ２・・・排気弁、 ３・
・・排気弁座、 １１・・・排気弁カートリッジ、１２
・・・排気弁部えスプリング、１３・・・排気ガス通り
穴。 １４・・・溢流穴、１８・・・オイルポンプ、１９・・
・油圧制御弁、２０・・・油圧配管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 排気弁部が油に浸たるように油槽内に浸漬された
油回転真空ポンプにおいて、排気弁座を蔽うようにして
排気弁部に取付けられ、内部に排気弁と該排気弁部えス
プリングとを収納すると共に、周壁の上方部に排気ガス
通シ穴をまたその下方適宜位置に油の溢流穴を設けた排
気弁カートリッジと、該真空ポンプに直結して駆動され
油槽内の油を吸込むようにされたオイルポンプと、該オ
イルポンプの吐出側と前記排気弁カートリッジの内部と
を連通する油圧配管とよシなることを特徴とする注油装
置。 ２、 オイルポンプの吐出側と排気弁カートリッジの内
部とを連結する油圧配管の途中に油圧制御弁を設けたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の注油装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13380882A JPS5925098A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 油回転真空ポンプの注油装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13380882A JPS5925098A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 油回転真空ポンプの注油装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5925098A true JPS5925098A (ja) | 1984-02-08 |
| JPH022479B2 JPH022479B2 (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=15113513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13380882A Granted JPS5925098A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 油回転真空ポンプの注油装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5925098A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6224085U (ja) * | 1985-07-29 | 1987-02-13 | ||
| JPS6248987A (ja) * | 1985-08-27 | 1987-03-03 | Toshiba Seiki Kk | 油回転真空ポンプの給油装置 |
| KR100442467B1 (ko) * | 1995-07-19 | 2004-09-18 | 라이볼트 바쿰 게엠베하 | 오일공급부를갖춘오일밀봉된베인-타입회전진공펌프 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437692A (en) * | 1977-08-31 | 1979-03-20 | Toshiba Corp | X-ray generator |
-
1982
- 1982-08-02 JP JP13380882A patent/JPS5925098A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437692A (en) * | 1977-08-31 | 1979-03-20 | Toshiba Corp | X-ray generator |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6224085U (ja) * | 1985-07-29 | 1987-02-13 | ||
| JPS6248987A (ja) * | 1985-08-27 | 1987-03-03 | Toshiba Seiki Kk | 油回転真空ポンプの給油装置 |
| JPH0588391B2 (ja) * | 1985-08-27 | 1993-12-22 | Toshiba Seiki Kk | |
| KR100442467B1 (ko) * | 1995-07-19 | 2004-09-18 | 라이볼트 바쿰 게엠베하 | 오일공급부를갖춘오일밀봉된베인-타입회전진공펌프 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH022479B2 (ja) | 1990-01-18 |
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