JPS6248987A - 油回転真空ポンプの給油装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、油回転真空ポンプの給油装置に関する。

［従来の技術］ 従来、ロータ軸に固定されるロータをシリンダ室内で回
転させてなる油回転真空ポンプは、油溜室内の油をシリ
ンダ室内に供給可能とする油回転真空ポンプの給油装置
を備えてなる。すなわち、油回転真空ポンプは、シリン
ダ室内で回転されるロータの潤滑およびロータとシリン
ダ室内壁との間の気密性を確保するために所定量の油を
順次シリンダ室内に供給を行なっている。このため、従
来の給油装置はロータの回転状態下により負圧とされる
シリンダ室内に、該負圧力を介して順次油溜室内の油の
供給を行なっていた。

しかしながら、上記のような油回転真空ポンプの給油装
置においては、ポンプの運転を停止するとシリンダ室内
をはじめとする真空系路内が負圧となるために、該負圧
分だけ油溜室の油が余分にシリンダ室等に供給されるこ
ととなる。このため、ポンプを再始動させる際、シリン
ダ室内に供給される余分な油により、ロータに大きな起
動トルクが必要とされた。特に油が冷えるとその分粘性
抵抗が増加し、ロータの定常運転までに時間がかかるも
のとされた。

このような不具合を解消するため、出願人は従来特公昭
５８−７８４０号に記載される提案を行なった。この提
案によれば、油は、ポンプの運転時に順次シリンダ室内
に供給される他、ポンプの停止時においては、シリンダ
室に僅かな油が供給されることはあっても、再始動に支
障をきたすような失敬の油が供給される不具合は解消さ
れることとなった。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来の油回転真空ポンプの給油装置
にあっては、シリンダ室内への油の供給をシリンダ室内
の負圧力を介して行なっていたため、シリンダ室内への
安定した油の供給という点で非効率的であった。特にポ
ンプを一度停止させ、さらに再始動させた場合に、油が
安定供給されるまでに時間がかかり、その分潤滑性、気
密性が不安定とされた。

本発明は、油回転真空ポンプのシリンダ室内に油を安定
供給し、該ポンプの運転中における潤滑性、気密性の安
定化を図ることを目的としている。

［問題点を解決するた・唯゛、ンの１−鴎」上記目的を
達成するために、本発明は、ロータ軸に固定されるロー
タをシリンダ室内で回転させる状態下で、油溜室内の油
をシリンダ室内に供給可能とする油回転真空ポンプの給
油装置において、ロータ軸に連結され、油溜室内の油を
油供給路を介してシリンダ室内に圧送可能とする油供給
ポンプと、油供給路に介在され、真空ポンプ停止時のシ
リンダ室内負正に対しては閉じる開閉弁と、を有するこ
ととしている。

［作用］ 本発明によれば、油回転真空ポンプの運転時に、ロータ
軸に連動して確実に駆動される油供給ポンプにより、シ
リンダ室内への油の供給の、確実化を図ることが可能と
なる。これにより、ポンプの運転中における潤滑性、気
密性の安定化を図ることができる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例に係る油回転真空ポンプの給
油装置を示す断面図、第２図は第１図のＩＩ　−Ｈ線に
沿う矢視図、第３図（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ開閉弁の
作動状態に係り、第３図（Ａ）は開閉弁の開状態を示す
断面図、第３図（Ｂ）は開閉弁の閉状態を示す断面図、
第４図は第１図のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。

油回転真空ポンプ１０は、第４図に示すようにハウジン
グ１１内を油溜室１２としてなり、さらに該油溜室１２
内には略円筒形状のロータハウジング１３が備えられる
。ロータハウジング１３内は、シリンダ室１４とされ、
該シリンダ室１４の円筒軸方向にはロータ軸１５が配設
される。ロータ軸１５は不図示の原動モータの駆動によ
り、矢示Ａ方向に回転駆動可能とされる。ロータ軸１５
には、円柱形状のロータ１６が支持されてなる。

ロータ１６は、ロータ軸１５の回転駆動によりシリンダ
室１４内を矢示Ａ方向に回転駆動可能とされる。シリン
ダ室１４内のロータ軸１５は、断面円形状のシリンダ室
１４内において偏心状態で配設され、これにより、ロー
タ軸１５に支持されるロータ１６も該シリンダ室１４内
において、シリンダ室１４の内壁に上方を接する状態で
偏心配置されることとなる。

ロータ軸１５およびロータ１６の軸線方向に直交する方
向〔Ｂ方向〕には、挿通孔１７が穿設され、該挿通孔１
７内の中心には、圧縮スプリング１８が配設される。さ
らに圧縮スプリング１８の両端部には、それぞれベーン
１９が配設され、各へ−７１９は圧縮スプリング１８の
付勢力によりシリンダ室１４内壁に当接される。

ベーン１９が当接されるシリンダ室１４の内壁には、そ
れぞれ吸入口２０および吐出［］２１が形成される。吸
入口２０は、ハウジング１１の上方における空気取入口
２２と連通され、該空気取入口２２には、例えば真空チ
ャー／バに接続されるポンプホースが連結可能とされる
。一方吐出［］２１は油溜室１２と連通され、該吐出口
２１の油溜室１２側番ごは、弁体２３が配、設される、
油回転真空ポンプ１ａｔす原動モータの駆動によるロー
タ１６の回転により作動され、該作動はシリンダ室１４
の内壁に当接されるベーン１９を矢示Ａ方向に連続回転
させて行なわれる。この結果、吸入口２０よりシリンダ
室１４内に空気を流入可能とし、さらにシリンダ室１４
内に流入された空気を吐出口２１より吐出することが可
能となる。吐出口２１から吐出される空気は、油溜室１
２内に排出され、さらに該油溜室１２から大気−・開放
させるようにしている。この際、吐出口２１に配設され
る弁体２３は、油溜室１２内の油がシリンダ室１４内に
浸入するのと防止するようにしている。

このようにして、油回転真空ポンプ１０は、ロータ１６
の連続回転により、吸入口２０より順次空気を吸入可能
としている。この結果、該吸入口２０に連通される空気
取入口２２に例えば真空チャンバに接続されるポンプホ
ースを連結することで、該真空チャンバ内を真空とする
ことが可能となる。

ロータ軸１５の一端部側は、第１図に示すようにロータ
軸１５の軸承部２４とされ、該軸承部２４とロータ軸１
５との間にはベアリング２５が配設される。シリンダ室
１４内に対する軸承部２４の外方には、油供給ポンプ２
６が配設され。

該油供給ポンプ２６はポンプハウジング２７の内部に配
設される。すなわち、ポンプハウジング２７は、カバー
２７Ａとにより、その内部に第２図に示すような断面略
円形状の油供給用のシリンダ室２８が形成される。この
シリンダ室２８は、軸承部２４におけるロータ軸１５の
支持孔２９と連結され、該シリンダ室２８内にはロータ
軸１５に接続される連結軸３０が配設される。さらに支
持孔２９には、ベアリング２５側と油供給用のシリンダ
室２８との間を区画するシール材３０Ａが配設される。

連結軸３０は、ロータ軸１５の回転に伴ない矢示Ａ方向
に回転可能とされ、該連結軸３０には第２図に示すよう
に断面円形状のロータ３１が支持されてなる。ロータ３
１は、連結軸３０の回転に伴ない、シリンダ室２８内を
矢示入方向に回転駆動可能とされる。シリンダ室２８内
の連結軸３０は、断面円形状のシリンダ室２８内におい
て偏心状態で配設され、これにより、該連結軸３０に支
持されるロータ３１も該シリンダ室２８内において、シ
リンダ室２８内にｔ−１いて、シリンダ室２８の内壁に
接する状態で偏心配置されることとなる。

連結軸３０およびロータ３１の軸線方向に直交する方向
〔Ｂ方向〕には、第２図に示すように挿通孔３２が穿設
され、該挿通孔３２内には、シリンダ室２８の直径と略
等しい長さを有する１枚のベーン３４が配設され、ベー
ン３４の両端部はシリンダ室２８の内壁に当接される。

ベーン３４が当接されるシリンダ室２８の内壁には、そ
れぞれ油吸入口３５および油吐出口３６が形成され、該
油吸入口３５および油吐出口３６は、断面円形状のシリ
ンダ室２８内における略対向位置にそれぞれ配設される
。油吸入ｔ＋　３５は、カバー２７Ａに形成された吸入
路３７を介して油溜室１２と連通される。一方、油吐出
口３６は、ポンプハウジング２７および軸承部２４に形
成される油供給路３８を介してシリンダ室１４と連通さ
れる。ざらにポンプハウジング２７に形成される油供給
路３８は、リリーフ孔３９を介して油溜室１２と連通さ
れる。軸、承部２４に形成される油供給路３８には、開
閉弁４０が介在され、該開閉弁４０は油回転真空ポンプ
１０の停止Ｆ時に生じるシリンダ室１４内の負圧に対し
て閉じるようにしている。すなわち、開閉弁４０は、ポ
ンプ１０の停止Ｆ時におけるシリンダ室１４内で生じる
負圧に抗して、開閉弁４０が閉じられるように、予め該
開閉弁４０を構成する圧縮スプリング４１のスプリング
力を設定している。

なお図中、１３　Ａ　ｌｉロータハウジング１３と軸承
部２４との合せ面に設けられたシール材、２４Ａは軸承
部２４とポンプハウジング２７との合七面に設けられた
シール材、２７Ｂは油溜室１ｚと支持孔２９とを連通す
るためにポンプハウジング２７に設けられた逃し孔を各
々示す。

油供給ポンプ２６は、真空ポンプ１０の作動に伴ない作
動され、ロータ軸＋５の回転に伴ない駆動されることと
なる。すなわち、ロータ軸１５が回転されるとこれに連
結する連結軸３０が回転され、この結果、油供給用のシ
リンダ室２８内においてロータ３１が矢示Ａ方向に回転
されることとなる。ロータ３１が回転されるとシリンダ
室２８の内壁に当接されるベーン３４が矢示Ａ方向に連
続回転されることとなる。これにより、油吸入口３５よ
り油溜室１２の油をシリンダ室２８内に流入することが
可能となる。さらにシリンダ室２８内に流入される油は
、吐出口３６から吐出され、油供給路３８に供給可能と
なる。なお、シリンダ室２８内において、ロータ３１と
ポンプハウジング２７との間の微小な間隙を通って支持
孔２９に吐出される油は、逃げ孔２７Ｂから油溜室１２
へと戻され、必要以上の圧力がシール材３０Ａにかから
ないようにされる。さて、油供給路３８に供給される油
は矢示Ｃ方向に圧送され、この油の圧送力を介して、第
３図（Ａ）に示すように開閉弁４０が開くこととなる。

すなわち、開閉弁４０を構成する圧縮スプリング４１は
、油供給ポンプ２６の油圧送力とシリンダ室１４内の負
圧力を加えた圧力よりも小さいスプリング力に設定され
るようにしている。開閉弁４０が第３図（Ａ）に示すよ
うに開くと、油溜室１２内の油が油供給路３８を介して
シリンダ室１４内に連続状態で供給されることとなる。

この結果、シリンダ室１４内において回転するロータ１
６の潤滑およびベーン１９とシリンダ室１４の内壁との
気密が該供給される油により確保されることとなる。油
供給路３８に供給される油は、リリーフ孔３９を介して
その一部が油溜室１２に循環されることとなる。

リリーフ孔３９の出口部には、様々なノズル径りを有す
るノズル４２が取着可能とされ、各ノズル４２を選択的
に取着することでリリーフ孔３８を介して油溜室１２に
排出する油量を可変に調整可能としている。この結果、
油供給路３８を介し開閉弁４０側に圧送される油の圧送
力および流量を該ノズル４２の選択により可変に調整す
ることが可能となる。

油回転真空ポンプ１０の作動が停止され、ロータ軸１５
の回転が停止されると、ロータ軸１５に接続される連結
軸３０の回転が停止される。これにより、油供給ポンプ
２６の作動が停止され、油供給路３８を介し矢示Ｃ方向
に圧送される油の供給も停止されることとなる。これに
伴ない、第３図（Ｂ）に示すように、シリンダ室１４内
の負圧以上のスプリング力を持つスプリング４−１によ
って押された開閉弁４０がシリンダ室１４内の負圧に抗
して油供給路３８を閉じることとなり、シリンダ室１４
内への油の供給が完全に遮断されることとなる。停止さ
れていた油回転真空ポンプ１０が再始動されると再び油
供給ポンプ２６が油供給路３８に油を圧送することとな
り、開閉弁４０が開くこととなる。開閉弁４０が開くと
該弁４０により供給が遮断されていた油が直ちにシリン
ダ室１４内に供給されることとなる。よって、再始動時
においてもシリンダ室１４内に直ちに油の安定供給を行
なうことを可能にしている・ 次に、上記実施例に係る油回転真空ポンプの供給装置の
作用を説明する。

上記実施例によれば、油回転真空ポンプ１０の運転時に
、ロータ軸１５に連動して確実に駆動される油供給ポン
プ２６により、シリンダ室１４内への油の供給の、確実
化を図ることが可能となる。これにより、始動時および
連続運転時にかかわらず、ポンプ１０の運転中における
潤滑性、気密性の安定化を図ることが可能となる。

また、様々なノズル径りを有するノズル４２を選択的に
取着することにて、作動中の油回転真空ポンプ１０に対
し常に適量の油を供給することができる。

［発明の効果］ 以上のように、本発明は、ロータ軸に固定されるロータ
をシリンダ室内で回転させる状態下で、油溜室内の油を
シリンダ室内に供給可能とする油回転真空ポンプの給油
装置において、ロータ軸に連結され、油溜室内の油を油
供給路を介してシリンダ室内に圧送可能とする油供給ポ
ンプと、油供給路に介在され、真空ポンプ停止時のシリ
ンダ室内負圧に対しては閉じる開閉弁と、を有すること
としたため、油回転真空ポンプのシリンダ室内に油を安
定供給し、該ポンプの運転中における潤滑性、気密性の
安定化を図ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る油回転真空ポンプの給
捕装置を示す断面図、第２図は第１図のＩＩ　−ＩＩ線
に沿う矢視図、第３図（Ａ）、ＣＢ）はそれぞれ開閉弁
の作動状態に係り、第３図（Ａ）は開閉弁の開状態を示
す断面図、第３図ＣＢ）は開閉弁の閉状態を示す断面図
、第４図は第１図のＴＶ−ＩＴ線に沿う断面図である。 １０・・・油回転真空ポンプ、１２・・・油溜室、１４
・・・シリンダ室内１５・・・ロータ軸、１６・・・ロ
ータ、２６・・・油供給ポンプ、３８・・・油供給路、
４０・・・開閉弁。 代理人　弁理士　塩　川　修　治 第　１　図 ―ヤ 第３図（Ａ） 第３図　（巳）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ロータ軸に固定されるロータをシリンダ室内で回
   転させる状態下で、油溜室内の油をシリンダ室内に供給
   可能とする油回転真空ポンプの給油装置において、ロー
   タ軸に連結され、油溜室内の油を油供給路を介してシリ
   ンダ室内に圧送可能とする油供給ポンプと、油供給路に
   介在され、真空ポンプ停止時のシリンダ室内負圧に対し
   ては閉じる開閉弁と、を有してなる油回転真空ポンプの
   給油装置。