經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 V- d 3 Λ 7 ϋ Α7 _Β7__ 五、發明說明（/ ) [發明之背景] 本發明為有關一種流體控制装置用之接頭構件及其製 造方法，於半導體裝置等所使用的流體控制裝置中，有 關連通形成在流體控制裝置的彼此流路間的接頭構件。 於本説明書上下、左右，係稱第1圖之上下、左右者 ，而該上下、左右乃方便上所用，亦可使上下相反、以 横、倒來使用。 近年來於半導體製造裝置上的流體控制裝置，為了減 少裝置的佔有空間已被要求集聚化，本發明者們Μ因應 於此要求者，提案有例如，特願平9-278495號中，如第 3圖所示之流體控制裝置。 此流體控制裝置Π01),係用於半導體製造裝置等，是 由質量流動控制器（2)、設在質量流動控制器（2)左方的 入口側隔斷、開放部（3 )、和設在質量流動控制器（2 )右 方的出口側隔斷、開放部（3)所構成。 在質量流動控制器（2)下部左邊，設有在下面具開口的 人口通路（5a)之長方體狀向左方突出之塊體（第1流體控 制構件）（5),在同右面，設具有往下面開口的出口通路 (6a)之長方體狀向右方突出之塊體（第2流體控制構件） (6)。而突出的塊體（5)(6)是從旁邊用螺絲固定在質量流 動控制器（2 )的本體。 人口隔斷、開放郜（3),由配置在上段的4只流體控制 構件（7)、（8)、（9)、Π0),和配置在下段的5只長方體 狀接顔 Π 1)、Π 2 )、（1 3 )、（ 1 4 )、（ 5 1 )構成。 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） --I I ------1!..裝- ------訂------線 〈請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 34470 A7 _B7_ 五、發明說明（> ) 配置在入口側隔斷、開放部（3 )的左端之第3流體控制 構件（7)，由具有向下方的入口通道（16a)及出口通道（16 b)之塊狀本體（16)，設成一體，且此等彼此通路（16a)、 (1 6 b )間的建通予以隔斷、開放的第一開閉閥（1 7 )構成。 從配置在入口側隔斷、開放部（3 )的左邊算起第2値之 第4流體控制構件（8),由具有向下方的入口通路（18a) 及出口通路（18b)且上面左部形成傾斜面的大致長方體塊 狀本體（18);設在本體（18)傾斜面而配置在入口通路（18a) 與出口通路（18b)間的連通部，用來調整壓力的壓力調整 器（19);及設在主體（18)右上面之平坦部且藉通於出口 通路（1 8 b )的通路，用以測定流體壓力之壓力感測器（2 0 ) 構成。在主體（18)的入口通路（18a)，設有過濾器（21)。 從配置在入口側隔斷、開放部（3 )的左端至第3値之第5 流體控制構件（9)，與1長方體塊狀本體（22)—釀配置的 第2及第3開閉閥（23)、 （24)構成。在本體（22)，設在 左端部的向下方之第1人口通路（22a);經由第2開閉 閥（23)與第1入口通路（22a)連通的向右方之出口通道（ 22b);及經由第3由閉閥（24)連通出口通道（22b)的向下 方之第2入口通路（22c)。 從配置在入口側隔斷、開放部（3 )的左端算至第4艏 之第6流體控制構件（10)，由1長方體的通路塊體構成 。在第6流體控制構件（10)，設有一端通到第5流體 控制構件本體（9)的出口通路（22b)，另一端設向下方之 連通路（1 G a )。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------'裝--------訂·-------.線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 34470 a? _B7_ 五、發明說明（4 ) 配置在從入口倒隔斷、開放部（3 )的左端的第1接頭（ η )，設置通到第3流體控制構件本體（1 s)之入口通路（ 1 6 a )且向左方開口 L字狀上游側連通路（1 1 a );以及通到 第3流體控制構件本體（1 6 )的出口通路（1 6 b )且向右方開 口之L字狀下游側連通路（1 1 b )。在第1接頭（1 1 )的左面 ，設有連通上游侧連通道（11a)的第一入口管連接部（25)。 配置在從入口側隔斷、開放部（3 )的左邊第2位之第2 接頭（12)，設有連通第1接頭（U)的下游側連通路（Ub) 和第4流體控制構件本體（18)之入口通路（18a)的L字狀 上游側連通路（12a),及一端連通第4流體控制構件本 體（18)的出口通遒（18b)，及且另一端向左方開口的L字 狀下游側連通路（1 2 b )。 從入口側隔斷、開放部（3 )的左端第3锢所配置之第3 接頭（13),設有連逋第2接頭（12)的下游惻連通道（12b) 和第5流體控制構件本體（22)的第1入口通路（22a)之L 字狀連通路（13a)。 配置在從入口側隔斷、開放部（3 )的左端第4値所配 置之第4接頭（14)，設有一端通到第5流體控制構本體 (22)的第2入口通路（22c),另一端向後方開口之連通路 (1 4 a ),在第4接頭U 4 )的後面，設有通於連通路（1 4 a ) 之第2人口管連接部（未圖示 配置在從入口側控制部（3 )的左端第5個之第5接頭 (51)由第1及第2長方髏狀接頭構成構件所成具ϋ字狀 連通路之接頭，在第1接頭構成構件（52)，設有一端通 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) -------------裝--------訂---------線I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A7 B7_ 五、發明說明（4* ) 到第6流體控制構件本體（10)的連通路（lfla)出口，另一 端向右方開口之L字狀上游側連通路（52a),在第2接頭 構成構件（53),設有一端通到第1接頭構成構件（52)的 上游側連通路（52a),另一端通到質量流動控制器（2)的 左方突出塊體（5)的入口通路Ua)之L字狀下游惻連通 路（53a)。 而第1及第2接頭構成構件（52)、 （53),以藉由密 封部（33)疊合連通上游側連通路（52a)和下游側連通銘 (53a),在第5接頭（51)形成連通第6流醴控制構件本 體（1β)之逋通路（l〇a)和質量流動控制器（2)左方突出塊 體（5)入口通路（5a)的U字狀連通路（51a)e 出口侧隔斷、開放部（4),由配置在上段的第7流體控 制構件（26),和配置在下段的第6及第7長方體狀接頭 ( 5 4 ) ( 2 8 )構成。第7流體控制構件（26)，由具有向下方 入口通路（29a)及出口通路（29b)之塊狀本體（2 9)—體設 置，且由隔斷、開放此等之通路（23a)、 （29b)被此間的 連通之第4控制閥（30)構成。配置於出口側隔斷、開放 部（4)左方之第6接頭（54),由第1及第2長方體狀接 頭構成構件（55)、 （56)所構成的具U字狀連通路之接頭 »在第1接頭構成構件（55)，設有一端通到質量流動控 制器（2)的右方突出塊體（6)出口通路（6a), S —端設向 右方開口之L字狀上游側連通路（55a)。在同第2接頭 構成構件（56)，設有一端通到第1接頭構成構件（56)的 上游側通路（55a)，另一端通到第7流體控制構件本體 -6 - 本紙張尺度遶用中國國家標準（CNS)A4規格（2】〇x 297公釐） -------------裝--------訂----I---•線— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Α7 4 3447 Ο ______Β7__— __ 五、發明說明（Γ ) (29)的入口通路（29a)的L字狀下游側連通路（56a)。而 第1及第2接頭構成構件（55)、 （56)間，以連通藉由 密封部（3 3 )重昼合上游側連通路（5 5 a )和下游侧連通路 (56a),在第6接頭U4),形成使質量流動控制器（2) 往右方突出塊體U)的出口通路（6a)連通第7流體控制！ 構件本體（29)的入口通路（29a)之U字狀連通路（54a)。 配置在出口側隔斷、開放部（〇的右方之第7接頭（2 8 ), 設有一端通到第7流髏控制構件本體（29)的出口 '通路 (29b),另一端向後方開口之連通路（283)。在第7接 頭（28)的後面，設有連通路（28a)連通的出部 (未圖示）。 所有流體控制構件（5 )、 （ 6 )、 （ 7 )、（ 8 )、 （ 9 )、 （ 1 Μ、 (26)的下面形成在同一面上，同時各接頭U1)、 （12)' (13)、<14)、 （51)、 （54)、 （28)的上面彼此也形成在同 一面上。接頭（11)、 （12)、 （13)、 （14)、 （51)、 （54)、 (2 8)固定在基板（31)上，各流體控制構件（5)、 （6)、 U) 、（8)、 （9)、（10)、 （26),係從上方以螺絲（32)固定在 接頭（11)、 （12)、 （13)、 （14)、 （51)、 （54)、 （28)上。 如此構成從第1接頭（H)和第1入口管連接部（25)及 第4接頭（1 4 )和第2入口管連接部分別引進不同的流體 ，而此等流體經由適當地切換，經質量流動控制器（2)， 從第7接頭（28)的出口管連接新排出的流體控制裝置（ 1)。 依該流體控制裝置U )，質量流動控制器（2 ),係可左右 突出塊體（5)、 （6) —起往上方取出。又第3〜第7的流 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --it---------，裝— !訂---II--I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 4 34 4 7 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明u ) 體控制構件（7)、 （8)、 （3)、 （10)、 （26),偽以流體控制 構件（7)、 （8)、 （9)、 （1〇)、 （26)單位可往上方取出。在 流體控制構件（5 )、 （ 6 )、 （ 7 )、 （ 8 )、 （ 9 )、 （ 1 0 )、 （ 2 6 )彼 此之間的連通部、接頭（1 1 )、 （ 1 2 )、 （ 1 3 )、 （ 1 4 )、 （ 1 5 ) 彼此間的連通部及流體控制構件（5 )、 （ 6 )、 （ 7 )、 （ 8 ) 、（9)、 （10)、 （26}與接頭（11)、 （12)、 （13)、 （14)、 (5 1)、 （ 5 4 )、 （ 2 8 )間的連通部，分別設密封部（3 3 )。 在上述流體控制裝置（1)，第5接頭（51)及第6接頭 (54)為了要在整體上獲得ϋ字狀之通路，所以分別以具 有L字狀通路（52a)、 （53a)及（55a)、（56a)的2個構成 構件（52)、 （53)、 （55)、 （56)緒由密封部（33)被緊挨著 者。因此，不僅是有構件數增多組合麻煩，而由於密封 部的增加具有流髏拽漏之危險性或由此增加維護上待解 決之課題。 [發明概要] 本發明乃有鑑於上逑事情，其目的在於提供一種在特願 平9-278495掲示的流體控制之優點，而且，可減少在流 體控制裝置的構件件數及密封部的接頭構件及其製造方 法。 依本發明的流髏控制裝置用接頭構件，在塊鹾狀本體 形成由互相平行的左右一對朝上開口通略及連通兩朝上 開口通道的下端部彼此間的連通路所構成之U宇狀通路 ，及從左右任一方之朝上開口通路的下端部往連通路延 長方向之成形用輔助通路，形成成形用輔助通路被封閉者。 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ 297公釐） I--!!' 裝.--- -- 訂---------線- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明說明（7 Α7 Β7 具可 個 . 各頭 由接 藉的 可著 ，挨 件緊 構部 頭封 接密 用件 置構 装成 制構 控個 體 2 流的 的路 明通 發狀 本字 依 L 有 頭 接。 該 Ρ 成封 換密 此 因 少少 減減 可時 也同 時 ， 同單 , 簡 數裝 件組 構之 成置 構裝 少制 減控 可體 而流 因使 由 係 ο * 護法 維方 之造 致製 導之 其件 由構 或頭 性接 險用 危置 之裝 漏制 洩控 體 體 流流 δ 0. 部發 封本 密依 在 及 2 路第 通的 連件 ，構 路閉 通封 口入 開插 上路 朗通 方肋 一 輔 任在 右 ； 左驟 於步 穿 1 開第 HflH AHM 本路 狀通 塊肋 在輔 塊並 在 * 及成 ; 所 驟驟 步步 3 4 第第 的的 路路 通通 肋口 CHH 輔開 於上 接朝 焊之 件方 構一 閉另 封穿 將開 ; 體 驟本 步狀 形 路 通 P 薄 上 朝 的 方1 另 入 em 插 件 構 閉 封。 將徵 ，特 驟為 步分 2 部 第用 於成 體置 流裝 留的 滯度 會淨 不清 並高 路極 通求 肋要 輔置 在裝 ，造 件製 構體 頭導 接半 的如 到在 得用 此使 如以 依所 會 不 4 也 單 簡 之 式 圖 失 缺 之 降 下 度 純 等 攢 As 氣 業 作 1 ί § S3 珙 ,£說 置 裝 制 控 體 流 的 件 構 頭 接 用 探 明 發 本 係 示 。 表例 圖施 1 實 第 1 之 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之 置 裝 。 制 法控 方體 造流 製的 件件 構構 頭頭 接接 的之 明前 發先 本用 依採 示示 表表 圖圖。 2 3 例 第第施 實 明 說 细 詳 之 例 體 具 佳 最 說 之 下Μ 於 。 並後 。 為 態側 形背 施面 實紙 之 、 -*-ϋ 發為 本側 明表 說面 面紙 圖之 照圖 參 1 下第 Μ , 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Α7 4 34 4 7 Ο _Β7_ 五、發明說明（，） 第1圖表示具備本發明接頭構件的流體控制裝置之一 實施例。此流體控制裝置（1>是用在半導體製造裝置等， 由質量流動控制器（2)、設在質量流動控制器（2)左方的 入口側隔斷、開放部（3)、及設在質量流動控制器（2)右 方的出口側隔斷、開放部（4)構成。 在質量流動控制器（2)下部左面，設有往下面開口的入 口通路（5a)之長方體狀朝左方突出塊體（第1流體控制構 件）（5),在同右面，設有往下面開口的出口通路（6a)之 長方體狀之名方突出塊體（第2流體控制構件）（6)。兩突 出塊體（5)、（6)從側方的螺絲固定在質量流動控制器（ 2)的本體。 入口側隔斷、開放部（3),由配置在上段的4只流體 控制構件（7)、（8>、（9)、（10),配置在下段的4只長 方體狀接頭（1〗）、（12)、（14)、（51)構成。 配置在入口側隔斷、開放部（3)左端的第3流體控制 構件（7),係由與具有朝下方的入口通道（16a)及出口通 道（16b)之塊狀本體（16), —體設置且使此等通路（16a) 、（16b)彼此間的連通，由以隔斷、開放的第1開閉閥 (17)構成。 配置在從入口側隔斷、開放部（3)左端第2個的第4流 體控制構件（8)，具有朝下的入口通路（18a)及出口通 路（18b),且在上面左部形成傾斜面的大致長方體塊狀 本體U8);設在塊狀本體（18)傾斜面，且配置在人口通 路（18a)和出口通路（18b)間的連通部用來調整壓力的壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------装·----ΙΪΙ 訂--I----—線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 l D. ,，4 · 7 〇 — 一 A7 _B7_ 五、發明說明（9 ) 力調整器（13);及，設在本體（18)右上面的平坦部且藉 由連通出口通路（18b)的通路，來測定流體壓力之壓力感 測器（2 0 )構成。在塊狀本體（1 8 )的入口通路（1 8 a )設有過 濾器（2 1 )。 配置在從人口側隔斷、開放部（3 )左端起第3個的第5 流體控制構件（9),由與1長方體塊狀本髏（22)—體設置的 第2及第3開閉閥（23)、 （24)構成。在本體（22),設在左 端的朝下之第1入口通路（22a);藉由第2開閉閥（23)連 通於第1入口通路（22a)的朝右之出口通路（22b);及藉 由第3開閉閥（24)連通出口通路（22b)的朝下之第2入口 通路（22c)。 配置在從入口側隔斷、開放部（3 )左邊起第4個的第6 流體控制構件（10),由1長方體通路塊體構成。在第6 流體控制構件（1 〇 ),設有一端通到第5流體控制構件本 體（22)的出口通路（22b),另一端朝下方開口連通路（10 a ) 〇 在入口倒隔斷、開放部（3)左端之第1接頭（1),設有 通到第3流體控制構件本體（16)的入口通路（16a)且往 左方開口的L字狀連通路（11a);將第3流體控制構件 本體（16)之出口通路（161))和第4流體控制構件本體（18) 之人口通路（18a)連通的U字狀連通路（11b)。在第1接 頭（11)的左面，設有連通連通道（11a)的第1入口管連 接部（25)。 配置從入口側隔斷、開放部（3 )左端起第2個的第2接 -1 1 - 本紙張尺度遶用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------I------ 裝---I ----訂----11---線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Α7 4 344 7 Ο Β7_ 五、發明說明（θ ) 頭（12)設連通第4流體控制構件本體（18)之出口通路（ 18b)和第5流體控制構件本體（22)第1入口通路（22a) 之U字狀連通路（12a)。 配置在從入口側隔斷、開放部（3 )左端起第3個的第3 接頭（14)中，一端通到第5流體控制構件本體（22)之第 2入口通路（22c),另一端設相後方開口之連通路（14a) 。在第4接頭（1 4 )的後面，設有連通於連通路（1 4 a )的 第2入口管連接部（未圖示）。 配置在從入口側隔斷、開放部（3 )左端起第4個的第4 接頭（51)，設連通第6流體控制構件（1Q)之連通路（l〇a) ，和質量流動控制器（2)左方突出塊體（5)之入口通路（5 a)之U字狀連通路（51a)e 出口側隔斷、開放部（4 )，由配置在上段的第7流體 控制構件（26)，配置在下段的第5及第6長方體狀接頭 (54)、（28)構成。第7流體控制構件（26)，與由具有朝 下入口通路（29a)及出口通路（29b)之塊狀本體（2叫一體 設置，且此等之通路（29a)、 （2Sb)彼此間的連通作隔斷 、開放的第4開閉閥（3 Q )構成。配置在出口側隔斷、開 放部（4)左方之第5接頭（54),設連通質量流動控制器（2) 之右方突出塊體（6)之出口通路（6a)和第7流體控制構件 本體（29)之入口通路（29a)之U字狀連通路（54a)e配置在 出口惻隔斷、開放部（4 )的右方之第6接頭（2 8 ), —端 通到第7流體控制構件本體（2S)之出口通路（29b),另 一端設朝後方開口之連通路（2 8 a U在第6接頭（2 8 )的後 -1 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ! I ---------— -表-------1 訂------I--線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（) 面設連通連通路（28a)之出口管連接部（未圖示）° 所有流體控制構件（5)、（6)、（？）、（8)、（9>、（10) 、（26)的下面部成在同一面上，同時各接頡（11)、（12) 、Π4+丨、（51)、（54)、（28)的上面也形成在同一面上。 接頡（11)、 （12)、 （14)、 （51)、 （54)、 （28)固定在基板 (31),各流體控制構件（5)、<6)、（7)、（8)、（9)、（1〇) 、（26)從上方Μ螺絲（32)螺定在接頭（1〗）、（12)、（14) 、（51) 、 （54) 、 （28)。 如此梅成從第1接頭（11)的第1人口管連接部（25)及 第3接頭（14)第2入口管連接部分別引進不同的流體， 此等流髓被適當地切換，經由質量流動控制器（2),從 第6接頭（28)的出口管連接部排出的流體控制裝置（1)。 依本潦體控制裝置（1),質量流動控制器（2),可和左 右突出塊體（5)、（6) —起取出於上方。又，第3〜第7的 流體控制構件（7)、（8)、（9)、（10)、（26), Μ流通控 制構作（7 )、（ 8 )、（ 9 )、（ 1 0 )、（ 2 6 )單位取出於上方。 在流體控制構件（9 )、（ 1 0 )、（ 26 )彼此間的連通部及此 等與接頭（11)、（12)、（14)、（51)、（54)、（28)間的各 連通部，分別設密封部（33)。 然後，依本發明的流體控制裝置（1)和第3圖所示的 先前之流體控制装置（101)加Κ比較，上段的流體控制構 件（7)、（8)、（9)、（10)、（26),係具有相同構成同樣 功能，構成下段接頭構件之數量在先前係（11)、（12>、 (13)、 （14)、 （52)、 （53)、 （55>、 （56)、 （28)的9 個， -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----：---------装·！---II 訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3447 Ο A7 B7 五、發明說明（w) 可是在本發明者，減少到U 1)、 U 2 )、 （ 1 4 )、 （ 5 1)、（ 54)、 （28)6個，又先前配置在下段接頭構件（11)、 U2)、( 1 3 )、 （ 5 2 )、 （ 5 3 )、 （ 5 5)、 （ 5 6 )彼此間連通部之4個密 封部（33)，在本發明者不需要p 接著，將具有U字狀通路（1 2 a )、 （ 5 1 a )、（ 5 4 a )的接 頭構件（1 2 )、（ 5 1 )、（ 5 4 )的理想製造方法，以第3接頭 (5 1 )為例說明如下。 如第2圖（a)及（b)所示，在第1步驟，従塊狀本體（ 52)的上面側，開穿連通左方之朝上開口通路（52a)，同 時從該主體（52)的右側面開穿成連通輔助通路（52c)及· 連通路（52b)朝上開口通路（52a)下端部。在本體（52)的 右钿面為了容易進行下一步驟開穿大徑開口部（53)。 在此際，對於開穿向上開口通路（52a)和輔肋通路（52c) 及連通路（52b)的順序，任何方先來都可。在第2步驟 將薄圓板狀的封閉構件（54)插入輔助通路（52c)。在此， 封閉構件（54)插入形成右方向上方開口時能被削掉作為向 上方開口通路（52d)之形成用部分。在第3步驟之將封 閉構件（54)焊接於輔助通路（52c)e該焊接，如第2圖（ C)所示，當封閉構件（54)被削掉時，使流體不致於流入 輔助通路（52c),除大徑之蘭口部（53)外實施完金封閉輔 助通路（52c)。然後，在第4步驟如同圖（d)所示，在塊 狀本體（52)開穿右方向上方開口通道（52d)«由此，封 閉構件（54)及焊接部（w)的一部分被削掉。而形成輔助 通路（52c)被焊接部（w)之剩餘部U1)所封閉之接頭構件 -1 4 - 本紙張尺度洎用中國國家標準（CNS)A4規格（2]0 X 297公釐） !*—!!1- — ·!!1— β· —-------- I ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3dΟ A7 _^_B7_ 五、發明說明（Θ ) (5〗）如此，在該接頭構件（51),形成互相平行的左右一 對之直線狀向上開口通路（52a)(52b)及兩面上開口通路 (523)(523)之下端部彼此間連通的直線狀建通路（52b) 所成U字狀通路（52c)。依此製成的接頭構件（51)在輔 肋通路（52c)不會滯留流體，因而使用在半導體製造裝 置Μ要求極高清淨度的裝置也不會引起作業氣體等的純 度降下之缺失。 尚，在圖中雖省略掉，但於第2圖，將塊狀本體（52) 注左方延長，於此，由於更形成直線狀向上開口通路及 由連於此下端部的直線狀横向開口通路所成L字狀通道 (11a)再予形成，可獲得第1接頭（11)。 符號之說明 1 1 , 22 , 5 1 , 5 4 ....接頭構件 11a............L字狀通路 1 1 b , 1 2a , 51a,54a . U 字狀通路 52.............塊體狀本體 52a............左方之朝上開口通路 52b............連通路 52c............輔助通路 52d............右方之朝上開口通路 54.............封閉構件 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） ----------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)