4 2 5558-' 47 J A 7 __B7 五、發明説明（i ) 本發明係有關於具有連接用於儲存記憶體格之充電 的源極側注入型式的非依電性浮動閘記憶體格之記憶體 陣列》更明確地說，本發明係有關於此一陣列具有如位元 組之小單元，其可被規劃及抹除。 配置成數列與行之非依電性記憶體格記憶體陣列在 本技藝中是相當習知的。非依電性記憶髖格記憶體陣列之 一例為一源極側注入記憶體格•例如，參見美國專利第 5,572,0 54號所揭示之記憶體格，其被納於此處做為參考。 ^^照第1圖，其顯示如美國專利第5, 572, 054號所揭 示之非依電性浮動閘記憶體格的橫截面圖。記憶體格10在 一基體12具有一第一區16, 一相隔的第二區14。一電晶 體18在第一區16與第二區14間將之分隔。一浮動閘22 被配置於波道區18上方並與其一部分絕緣且與第二區14 之一部分絕緣。一電氣傅導控制閘29具有一第一段30被 配置在第一區16上方且與之絕緣，及被配置鄰接該浮動閘 22旦與之絕緣，及一第二段28被配置於浮動閘22上方且 與之絕緣· 經濟部中央標準局負工消费合作杜印裝 記憶體格10典型上被配置成數列與行》例如參見美國 專利第5, 2 89, 411號•其被納於此處做為參考。 參照第2圖，其顯示如美國專利第5, 289, 41 1記憶體 陣列的示意圖，其使用第1圖顯示之記憶體格10*記憶體 陣列40具有數條行線路2 6 (a-m) ·每一行線路26被連接 於配置在此行之記憶體格10。記憶體陣列40亦包含數條 句線路，例如36al與36a3，以每一條句線路被連接於位 本紙張尺度適用中國國家揉準（CMS )A4规格（210X297公釐) 42555 8 at • Β7 五、發明説明θ ) 在該列之記憶體格1 0的控制閘2 9。進而言之，在每一列中 有一共同線路，例如為36a2,其連接於記憶體陣列40內之 記憶體格10的第二區14。在此一陣列40中之記憶體格10 的配置典型上被稱為閃記憶體陣列，因為抹除之作業藉由 抹除在同一列之所有記憶體格10而發生。在該抹除作業之 際，如美國專利第5, 572, 0 54號所揭示者，每一記憶體格 10之第二區14被連接於接地電位。如+15伏特之正的高電
I 位被由所選擇之句線路供應之電壓被供應至每一受影響之 記憶體格1 0的控制閘接頭29。最後 > 該第一區1 6被允許 為浮動的》在記憶體陣列40之作業中，此意即就記億體格 之受影響的例（例如為36χ)而言，其對應之句線路（36x1與 3 6x3)被連接至如Η5伏特之高電位的源極。該對應的源極 線路36ax2被連接於接地電位。然後在列36χ之所有記憶 體格10同時地被抹除*雖然閃記憶體裝置之有用之處在於 抹除作業就大數目之格可迅速地發生，但在某些應用時並 不欲於抹除整列的記憶體格。在某些應用中，其係欲於僅 抹除一特定列內之特定格或一組格及規劃這些被抹除之 格》 經濟部中央揉準局負工消費合作杜印裝 本發明設計二個實施例以達成前述之目標*在本發明 中，一陣列非依電性浮動閘記憶體格被配置成數列與行= 每一記憶體格為具有一第一區，一相隔的第二區及一波道 區在其間之型式。一浮動閘被配置於其上且與該波道區及 該第二區之一部位絕緣。一電氣傳導閘具有一第一段被配 置於該第一區上且與之絕緣及被配置於鄰接該浮動閘且與 本紙張尺度適用中國國家棵準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ^ 425558 A7 B7 經濟部中央樣準局®：工消費合作杜印製 五、發明説明（3 ) 之絕緣以及具有一第二段被配置於該浮動閘上且與之絕 緣=該格包含數條行線路以每一行線路被連接於配置在一 行之記憶體格的第一區•該格進一步包含數條句線路以每 一句線路用於連接至在一列之記憶體格的控制閘《此外| 該記憶體陣列包含數條共同線路，以每一共同線路用於連 接至在該陣列之一列的記憶體格之第二區》 在一第一實施例中，數個第一電晶體設施在每一列被 插入用於將配置成每一列之記憶體格的第二區連接至該共 同線路》每一該等第一電晶體設施被配以每一列中之記憶 體格的一部份=亦包括的是一設施用於致動該等數個電晶 體設施之一以規劃該所配部份之記憶體格。 在本發明之另一實施例中，數個電晶體設施在每一列 被插入用於將所配的句線路連接至配置成毎一列之記憶體 格的控制閘•每一該等數個電晶體設施在每一列具有記憶 體格之所配的部分《該浮動閘亦包含設施用於致動該等數 個電晶體設施之一以規劃或抹除該所配部分之記憶體格。 第1圖為如美國專利第5, 5 72, 054號所揭示之習知技 藝的一記憶體格的橫截面側面圖|以用於本發明之記憶體 格。 第2圖為習知技藝之電路的示意方塊階層圖，包含第1 圖之記憶體格的使用，被配置成一陣列以在「閃」模態作 業|其中配置於每一列的所有之格同時被抹除》 第3圚為本發明之一第一實施例的示意電路圖用於第 2圖顯示之記憶體陣列中，其中僅有被配置於相同列的記 請先聞讀背面之ii.-意事¾.再填？ -裝 頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4规格（210X297公釐） j c, 6 5 5 8 * A7 __；_____ B7 五、發明説明（4 ) 憶體格部分可被同時抹除或規劃。 第4圖為本發明之一第二實施例的示意電路圖用於第 2圖顯示之記憶體陣列中，其中僅有被配置於相同列的記憶 體格部分可被同時抹除或規劃。 第5圖為本發明之一第三實施例的示意電路圖用於第 2圖顯示之記憶體陣列中•其中僅有被配置於相罔列的記憶 體格部分可被同時抹除或規劃。 I 第6圖為本發明之一第四實施例的示意電路圖用於第 2圄顯示之記憶體陣列中，其中僅有被配置於相同列的記憶 體格部分可被同時抹除或規劃。 請 先 聞 面 之 注- I- 裝 頁 圈 第7a圖為第6圖之第四實施例的第一配置之拓撲平面 訂 第7b圖為第6圖之第四實施例的第二配置之拓撲平面 圖 參照第3圖，其顯示一第一實施例之電路7Q適用於第 2圖顯示之記憶體陣列40。類似於第2圖顯示之陣列40， 電路70包含數條行線路26(a-p)與數條列線路如36al至 3 6a3»每一行線路26被連接成特定行之記憶體格1G的第 —區16。每一該等數條句線路，例如36al與3 6a2係用於 連接至配置於該列之記憶體格10的控制閘29»最後，一共 同線路36a2連接至配置於該列之記憶體格10的第二區 14»就如於第3圖中很明顯的是，二列記憶體格10共用同 一條共同線路36a2。數個第一電晶體72a與72b在每一列 插入用於將配置於每一列之記憶體格10的第二區14連接 本紙乐尺度適用中國國家搮準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 線 經濟部中央橾率局負工消费合作社印製 4255 5 8 A7 經濟部中夬橾準局負工消f合作社印製 B7五、發明説明（5 ) 至共同線路36a2 ·每一電晶體72a與72b被配以每一列中 之記憶體格10的一部分《因此，例如在第3圇顯示者，第 —電晶體72a被配以八個記憶體格lQaal· · MOahl，被 連接至句線路36al，與八個記憶體格10aa2 . . 10ah2， 被連接至句線路36a3。類似地，第一電晶體72b被配以八 個記憶體格10aiL· ‘ · lQapl，與八個記憶體格·-10ap2，被連接至句線路3,6a3。 每一該等第一電晶體72a與72b可為KI0S電晶體具有 二源極/排極區》由於記憶體格10之第二區14為由基體12 之擴散線路所做成，記憶體格10之第二區14與第一電晶 體7 2a之第一源極/排極間之連接將會成擴散。一金屜1經 由接點連接金屬2線路，其連接至共同線路36a2之電壓 源，至連接第一電晶體72a與7 2b之擴散區。 每一該等第一電晶體72a與72b具有一閘接頭選 擇行線路80a與8 Qb分別連接第一電晶體72a與7 2b之閘9 沿著選擇行線路8Qa或8Qb之信號的致動將「接通」所配 的第一電晶體72a或72b » 在陣列4Q與電路70之操作中，施加於各種成份元件 的電壓如下： 在抹除之際*所有的行線路26(a-p)被保持為浮動。 被供應至特定列之共同線路36a2的電壓為大約+7. 5伏 特•就將被抹除之在列36a中記憶體格10的被選擇部分而 言，所配的選擇行線路8Ga被保持為接地或浮動。就列36a 中所有未被選擇之記憶體格10而言，所配之電晶體的選擇 請 先 η 1¾ 之 注-
I r 裝 訂 線 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） ^ 4 255 5 8 A7 _B7_ 五、發明説明（6 ) (請先閱讀背面之注^^項再填寫本頁) 行線路，例如8Q(b-x)被保持大約7.5伏特+Vth。其結果 為，在列36a之選擇部分中施用於記憶體格10的電壓如 下： 第一區16 :浮動 控制閘29 : +15伏特 第二區U :接地 就這些未被選擇的記憶體格1Q而言，就如美國專利第 5, 572, 0 54號所揭示者，第二區14與控制閛29間的電壓差 足以造成由浮動閘至控制閘29之電子的Fowler-Nordheim 隧道。就在同一列但未被選擇的記憶體格10而言，施加至 記憶體格10之各種部位的電壓如下： 第一區16 :浮動 控制閘29 : +15伏特 第二區14 : 7. 5伏特。 就這些未被選擇之記憶體格10而言，第二區14與控 制閘29間之電壓差不足以造成由浮動閘22至控制閘29上 之電子的Fowler-Norheim隧道《其結果為，浮動閘22未 被抹除》 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在規劃之際，供應至未被選擇之記憶體格的行線路26 之電壓被保持為浮動·就被選擇但未被規劃（或維持於抹除 狀態）之部分內的特定記憶體格1Q而言，所配的行線路亦 被保持為浮動。將被規劃之所有其餘的行線路被保持為接 地。該句線路被連接至+2伏特•就將被規劃的記憶體格10 之部分的選擇行線路8 0a被連接至+11伏特+Vth。配以非 本紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -4-255 5 8 a7 ___B7_ 五、發明説明（7) 選擇格1Q之所有選擇行線路80(b-x)被保持於接地或浮 動。其結果為，施加於記憶體格10之各種接頭的電壓如 下： 就未被選擇的記憶體格而言： 第一區16 :接地或浮動 控制閘29 : +2伏特 第二區14 :接地或浮動 就將被規劃之被選擇分內的每一位元而言： 第一區16 : 0伏特 控制閘29 : +2伏特 第二區14 : +11伏特 就將被規劃但將被維持於被抹除將態的被選擇部分內 之記憶體格1Q而言： 第一區16 :浮動 控制閘29 : +2伏特 第二區U : +11伏特 在讀取之際，所有被連接於所選擇部分之記憶體格10 的行線路被保持於+2伏特。所有未被選擇之行線路被保 持於浮動。共同線路36a2被連接於接地•句線路36a 1被 連接於+5伏特。選擇行線路8 0a被連接於記憶體格10之 部分，其將被讀取者被連接於+5 +Vth ·被連接於所有未 選擇記憶體格之電晶體的選擇行8 0b被保持於接地。其結 果為，在選擇部分中之記憶體格10的各種接頭的電壓為 如下： 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4255 5 8 A7 _B7_ 五、發明説明（8 ) 第一區16 :接地 控制閘29 : +5伏特 第二區14 : +2伏特 在同一列之未選擇部分中之記憶體格10的接頭之電 壓為如下： 第一區16 :浮動 控制閘29 : +5伏特 第二區14 :浮動 秦照第4圖，其顯示一電路17Q之第二實施例用於第2 圖之記憶體陣列·該第二寘施例17Q除了增加電晶體 74(a-b)與76(a-b)以連接一列內之每一部分的記憶體格之 控制閘29至各別的句線路36al或36a3外類似於第一實施 例7 0。因此，一第三電晶體74a連接記億體格lQaal-lOahl 之控制閘29至句線路36al。第四電晶體74b連接記憶體 格10aal-10ahl之控制閘29至旬線路36al。類似地，第 五電晶體76a連接句線路3 6a3至記憶體格10aa2-10ah2之 控制閘29。第六電晶體76b連接句線路36a3至記憶體格 10ai2-10ap2 之控制閘 29 » 每一電晶體74a* 74b與76a，76b係類似於電晶體72a 與7 2b且每一個可由M0S電晶體做成•連接第三與第四電 晶體74a與74b之源極/排極區係由擴散做成且經由接觸金 靥丨靥其再被連接至連接於句線路36a 1之金靥2層而連 接*類似地 > 連接電晶體76a與76b之源極/排極經由孔被 連接至金屬1層再至連接於句線路36a3之金屬2靥。 12 本紙乐尺度適用中國國家梯準（CNS .M4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 2 55 5 8 A7 _B7_ 五、發明説明（9 ) 電晶體74a與76a之閘亦被連接於第一選擇行80a其 亦被連接於第一電晶體72a之閘。電晶體74b與76b之閘 亦被連接於第二選擇行線路8Qb，其當然亦被連接於第一 電晶體72b之閘。 在操作中，於抹除之際，所有的行線路26a-p被保持 為浮動。共同線路36a2被連接於接地》所選擇之句線路， 例如36al，被連接於如+15伏特之正電位。配以將被抹除 之記憶體格10部分的選擇行80a被選擇為+15伏特+Vth。 配以在同列中之未被選擇的記憶體格10之選擇行80b被連 接於接地或被保持為浮動。因此，在選擇部分之記憶體格 的接頭上的電壓為如下： 第一區16 :浮動 控制閘29 : +15伏特 第二區U :接地 就同列中未被選擇之記憶體格1Q而莒’各種接頭之電 壓為如下z 第一區16 :浮動 控制閛29 :浮動或接地 第二區14 :浮動 在規劃作業之際，下列的電壓被施用•配以該列之記 憶體格1G的未被選擇部分之所有行線路被保持為浮動。在 選擇部分之記憶體格10的行線路’其不被規劃或維持於被 抹除狀態者亦被保持為浮動。在將被規劃之選擇部分中的 記憶體格10之行線路被連接於接地。共同線路36a2被連 -13- 本紙乐尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐] (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部中央梯率局属工消费合作社印製 b5 5 8 at _B7__ 五、發明説明（10 ) 接於+11伏特•特定的選擇句線路，例如36al被連接於+2 伏特i選擇行線路，例如80a被配以被選擇的記憶體格1〇 者被連接於+11伏特+Vth。在該列中配以未被選擇記憶體 格之選擇行線路被保持為接地或浮動狀況。其結果為，在 未被選擇部分之記憶髅格10的各種接頭上之電壓為如 下： 第一區16 :浮動 控制閘29 : +2伏特 第二區14 : +11伏特 就被選擇部分中之記憶體格Η，其將被規劃者而言， 在各種接頭上的電壓為如下： 第一區16 :接地 控制閘29 : +2伏特 第二區14 : +11伏特 在讀取作業之際，配以被選擇部分之記憶體格的所有 行線路被連接於+2伏特•配以未被選擇之記憶體格的所有 行線路被保持為浮動。共同線賂被連接於接地•該特定的 句線路被連接於+5伏特。配以所選擇部分之記憶體格10 的電晶體之選擇行線路80a為+5伏特•配以所有未被選擇 之記憶體格的電晶體之選擇行線路被保持為接地。其結果 為，施用於未被選擇記憶體格之接頭的電壓為如下： 第一區16 :浮動 控制閘29 :浮動或接地 第二區14 :浮動 -14- (請先閱讀背面之注意事項再填穿本頁) -裝_ 訂 線 本紙張尺度適用t興國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 2 55 5 8 A7 B7 五、發明説明（11 ) 就該列之部分中的記憶體格1Q’其將被讀取者而言， 在各種接頭上電壓為如下： 第一區16 : +2伏特 控制閘29 : +5伏特 第二區14 :接地 參照第5圖，其顯示電路27Q之第三實施例，其被用 於第2圖之記憶體陣列40,»電路27G除了第一電晶體72a 與72b被去掉外與第4圚顯示之電路17fl類似。因此，共 同線路36a2直接被連接至在此同一列之所有記憶體格10 的第二區14。此外，共用共同線路36a2之二條句線路36a 1 與36a3被連接在一起。在作業中，電路270之實施如下》 在抹除之際，施加於在列36a內被選擇之記憶體格10的各 種接頭之電壓為如下： 第一區16 :浮動 控制閘2 9 : +15伏特 第二區14 :接地 由於該二條列線路36al與36a2共用同一條共同線路 3 6a2且電氣式地被連接在一起，屬於被選擇部分之記憶體 格10不僅包括記憶體格IQail-lQapl，也包括記憶體格 1 0 a i 2 -1 0 a p 2，在各種接頭上之電壓為如下： 第一區16 :浮動 控制閘29:接地或浮動 第二區14 :接地或浮動 在規劃之際，被連接於將被規劃之被選擇部分的記憶 本紙張尺度逋用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 請先開讀背面之ii·意事項.再填f i瓦 裝 線 經濟部中央標準局员工消費合作社印製 4255 5 8 A7 ____B7 _ 五、發明説明（12 ) 體格10之行線路被接地。在未要規劃且將維持於抹除狀態 之被選擇部分中的記憶體格之行線路被連接於+5伏特。第 一選擇線路80a上之電壓為+5伏特。在配以未被選擇之記 憶體格10之第二選擇行線路8Gb上之電壓為接地。共同線 路36a2被連接於+11伏特。被共同連接之句線路36al與 36a3的電壓為+2伏特。就未被選擇部分中之記憶體格而 言，在各種接頭上之電壓择如下：. 第一區16 : +5伏特 控制閘29 : +2伏特 第二區14 : +11伏特 最後，就將被規劃之選擇部分中的記憶體格1G而言， 在該等接頭上之電壓為如下： 第一區16 :接地 控制閘29 : +2伏特 第二區14 : +11伏特 經潦部中央梯準局男工消費合作社印製 在讀取之際•被選擇部分之記憶體格的行線路全部被 連接於+2伏特*施用於未被選擇之行線路的電壓被保持為 接地或浮動。施加句線路36al與36a3之電壓被維持於+5 伏特。此外，配以被選擇之記憶體格1Q的部分之第一選擇 行線路80a為+5 +Vth伏特》配以未被選擇之記億體格的 第二行線路8Qb為接地•因此，在讀取之際，施用於被選 擇部分之記憶體格1Q的接頭之電壓為如下： 第一區16 : +2伏特 控制閘29 : +5伏特 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） A7 _____B7___ 五、發明説明（13 ) 第二區14 :接地 施用於被選擇部分之記憶體格10的接頭之電壓為如 下： 第一區16:接地或浮動 控制閘29 :接地或浮動 第二區14 :接地 由前述，其可看出在以電路270下，不論是該作業為 讀取、規劃或抹除，二記憶體格10被連接於相同行線路26 並共用相同共同線路36x且被連接於該二句線路3 6x1與 3 6x3、其鄰接相同共同線路36x2者在所有時間都是同時操 作的。 經濟部中央棣準局貝工消费合作社印製 參照第6圖，其顯示一電路3 70之第四實施例的示意 圖以用於記憶體陣列40。在該電路37 0之第四實施例中， 此電路除了僅有一記憶體格10被連接於每一「列」之毎一 行外類似於第5圖之電路270，此處一「列」係由一條共 同線路3 6x所定義。因此 > 在諏取、規劃或抹除之際僅有 一格10被髟饗。在被選擇部分中之記憶體格10包含記憶 體格 lOaal，10ab2，lOacl，10ad2 · . 10ah2。類似地， 在未被選擇部分中記憶體格10在連接至句線路36al與句 線路36a3間被交替地錯開，其當然是最終被電氣式地連接 在一起•顯示於第6圓之電路37Q之作業與顯示於第5圖 之電路2 70的作業相同，在讀取、規劃或抹除之際以相同 的電壓影響在被選擇部分以及在未被選擇部分中之記憶體 格的接頭· -17- 本紙張尺度適用中國國家標準( CNS > A4規格（210X2^7公釐) * 4 2 55 5 8 A7 ___B7_ 五、發明説明（14 ) 參照第7a圖，其顯示第6圖之電路37G的實施例之記 憶體格10的第一配置的拓樸平面圓。就如在該技藝中相當 習知者，包含有一浮動閛電晶體之每一記憶體格在絕緣 材料做成之場氧化物（標示為FOX)的橫側列方向彼此絕 緣。因此，在配以列線路36al之列中對齊之記憶體格l〇axl 就記憶體格10與場氧化物具有交替相隔之區域。然而•由 於記憶體格lOabl已被去释，有一「.空白」的區域被指出。 類似地，在配以句線路36a3之列中對齊的記憶體格1 〇具 有交替的場氧化區域或記憶體格區域•然而，由於某些記 .憶體格未被使用，其留下空白。因此，因為記憶體格l〇aa2 已被去掉，與記憶體格l〇aal相反（在行方向相反）之區域 被留為空白。就如可看出者，雖然顯示於第7a圖之記憶體 格10的配置由電路370組成，空間被留為「空白」之區域 所浪費。 參照第7b圖，其顯示依照電路370中之記憶體格10 的配置之另一實施例。此配置除了配以句線路，例如為36a3 之每一記憶體格，例如為記億體格l〇ab2·被置於與在配 以句線路l〇al之記憶體格lQaxl之列內的場氧化物區域相 反（在行方向相反）。然而，在每一列內，每一記憶體格1〇 繼續被場氧化物區域在橫側界接。在此方式下，顯示於第 7a圖中之「空白」區域已被去除，因而提高在矽基底之空 間運用· _-1S- f 本紙張尺度適尾中國國家揉準（CNS ) A4見格( 210X 297公釐广 經涛部中央標準局wa：工消費合作社印製 4255 5 8 A7 B7 五、發明説明（15 ) 元件標 號對照 表 元件編號 譯 名 元件編號 譯 名 10 記憶體格 26Ϊ 行線路 1 0 aa 1 記憶體格 2 6m 行線路 1 0 aa2 記憶體格 26p 行線路 1 0ab2 記憶體格 28 第二段 1 0 ac 1 記憶體格 29 控制閘 10ad2 記憶體格 30 第一段 lOahl 記憶體格 34a 列 10ah2 記憶體格 34b 列 1 Oai 1 記憶體格 34c 列 10ai2 記憶體格 36a 列 lOapl 記憶體格 36al 列線路，句線路 1 0ap2 記憶體格 36a2 共同線路 1 0 mn 1 記憶體格 36a3 列線路，句線路 1 0mn2 記憶體格 3 6ax2 源極線路 12 基體 40 記憶體陣列 14 第二區 70 電路 16 第一區 72a 第一電晶體 18 波道區 72b 第一電晶體 22 浮動閘 74a 電晶體 26 行線路 74b 電晶體 26a 行線路 76a 電晶體 26h 行線路 76b 電晶體 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐〉 42555 8 A7 B7 五、發明説明（16 元 件標 號對照 元件編號 譯 名 元件編號 8 0a ίΒΒ 进 擇行線 路 80b 選 擇行線 路 170 電 路 270 電 路 370 電 路 譯 名 請先 閲 & 之 注· 意 事 項. 再 頁 訂 經濟部中央橾準局员工消費合作衽印製 善 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2I0X297公釐）