TW420942B - Compact low-noise active pixel sensor with progressive row reset - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 420942 at __ B7___ 五、發明説明（丨） 發明背景 本發明係有關於一種電子影像儀器，特別是，本發明 係爲每個像素中具有數量最少之類比式元件之互補式金氧 半導體(以下簡稱CMOS)顯像器。 相關先前技藝之描述 .............目前有許多用·來產生視訊或是靜態影像之電荷耦合儀 器(以下簡稱CCD)感測器的替代方案。各種不同的設計可 以分爲兩個基本的種類，分類的標準是依據是否信號放大 的功能是在每個像素網點上執行的，抑或是於像素陣列外 之支援電路上執行的。被動式像素感應器會於像素陣列之 外執行放大功能。被動像素感應器顯現出像素簡單性以及 最大化之光學塡滿係數。主動式像素感應器則包括位於每 個像素網點的一個放大器。主動式像素感應器會將信號轉 換以及感光度最佳化。 最簡單之被動像素是包含一個光電二極管以及一個存 取電晶體。光激勵電荷由每個像素被動地轉換至下游電路 D但是，積體電荷必須要有效率地以低雜訊與非一致性轉 換。因爲每一列的像素通常會共享一個公用列或是公用匯 流排來讀取信號’所以雜訊與非一致性之消除通常會於服 務每個匯流排之"行”緩衝區中進行會有更有幫肋° 一個被 動式像素之實施例顯示於圖一中。其使用一個緩衝區，此 緩衝區是由一個具有電容回饋之轉移阻抗放大器所組成’ 以產生適當之感光度其考慮到大量的匯流排谷直。运樣的 (請先《讀背面之注$項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中®困家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420942 A7 B7_ 五、發明説明（> ) 電荷-放大於較早之金氧半導體(以下簡稱MOS)影像感測器 中，對於晶片上之實施通常並不實用。因此，便應用與N 型MOS(以下簡稱NMOS)技術相容之替代設計方案。顯示 於圖二之基本設計爲由日立公司大量生產凸輪時之設計》 對於圖一設計之改變包括抗暴發控制以及用於減少固定形 態雜訊之電子電路。雖然這些影像器的品質比起於當時可 二‘得之電荷耦合儀器(Charge Coupled Device，CCD)影像器爲 差，但是相似之MOS影像器於今日仍然於市場上銷售。 於改進被動式像素影像器效能之後續努力亦著重於行 緩衝區之增強。此行緩衝區藉由使用一個增強型/消耗型反 向換流器放大器來提升效能，藉此提供於少量之區域中適 當大的放大效用。其40勒克斯之感光度仍然是較互相競爭 之CCD類之感測器於強度上將近低了一個等級的大小。其 他的則嘗試增加感光度，並且藉由於行緩衝區之電荷放大 便利自動增強之控制。直至最近，圖一中之電容回饋轉移 阻抗放大器（Capacitance Trans-Impedance Amplifier，CTIA ) 的槪念已經成爲進一步發展的基礎，例如美國專利第 5,043,820號以及第5,345,266號可作爲範例。若能夠充分地 處理暫時性的雜訊激勵以及固定形式之雜訊，則CTIA對 於被動式像素解讀近乎爲理想。 雖然於發展被動式像素影像器上已經有長足的進步， 但其暫時性的S/N(Signal to Noise Ratio訊雜比)表現仍然爲 其略遜於相競爭之CCD影像器最根本的因素。其匯流排電 容會轉移以讀取大約100電子伏特之雜訊。另一方面， ___ ____4__ 尺度適用中國國家標準（cns)a4規^Γ( 2ΐαχ29：?公釐） -----------r.------訂 {請先M讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局R工消费合作社印製 420942 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（巧） CCD通常僅會於視訊框之速率上讀到20至40電子伏特之 雜訊《以傳統之MOS製造技術，而非深奧之CCD製造過 程(其通常需要許多注入步驟以及複雜的介面電路)所產生 影像之魅力，鼓勵了主動式像素感測器之發展。爲了減少 伴隨著匯流排電容產生之雜訊，放大的作用係經由光電晶 體增加於像素上。其中一個上述的方法稱之爲一個基底儲 存影像感測器(Base-Stored Image Sensor ’以下簡稱BASIS) 之方法，其使用一個處於射極偶隨器組態中之雙極電晶體 ，連同一個下游相關雙重樣本，以抑制隨機與暫時性的雜 訊。藉由將光學激勵信號儲存於光電晶體之基底以提供電 荷放大，最小的場景明亮度於一個線性感測器陣列中，已 經降低到mooo勒克斯。但是，於一個具有310,000個像 素之二維之中，BASIS影像器中之最小的場景明亮度仍然 偏高（1/100勒克斯），這是因爲本反應非一致性相當的高 (<=2%)。這些M0S影像器具有足夠的感光度，但其像素之 間距太大了，大約爲13 um。此情形產生了一個問題，即 縮小像素間距的同時，也會降低光反應之非一致性。 因爲加入雙極光電晶體並非嚴格地與主流CMOS處理 程序相容，所以有些方法已經將光偵測與信號放大分離。 舉例說明，美國專利第5,2%，696號與第5,083,016號描述 了主要由一個三電晶體像素與光二集體組成之主動式像素 感測器。這些實施例的效能仍然有些缺陷。例如，第 5,296,696號專利於第5,083,016號專利之基本源極耦隨器組 態上增加了一個行緩衝區，其消除了固定形式雜訊，但卻 ________5______ 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 420942 A7 B7 五、發明説明（今） 增加了一個第四個電晶體，其創造了一個對於用於電荷-傾 注與相伴之電荷重新分配之隨機偏移量之產生容易受影響 的浮動節點。第5,083,016號專利提供了一個用於降低偏移 量錯誤之方法，但並不具足夠之正確性與解析度可以與 CCD競爭。此外’這些與其他相似的方法需要於像素中除 了光二極體之外’另外具有3到4個電晶體(至少其中一個 -電晶體相當地大，以減少Uf .雜訊)。這些實施例亦需要於 晶片外(off-chip)信號處理以提供最佳的S/N性能，因爲其 並沒有針對暫時性的雜訊的主要來源。爲了要消除，或是 大大地降低因重置偵測器電容而產生之重置雜訊(kTC)，不 論是於晶片上(on-chip)或於晶片外(off-chip)的處理，通常需 要一個專用的記憶體元件用來儲存重置電壓以施加關聯雙 重取樣，並且於光激勵之電壓被讀取時，一致地去除關聯 性重置雜訊。 經濟部智蒽財產局員工消費合作社印製 ^^1* an— n^i n Γ— : i^p If )*J (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此基本的缺陷於美國專利第5,471，515號中有所著墨， 其發展一個使用內部像素(intra-pixel)電荷轉換器之主動式 像素感測器(Active Pixel Sensor，APS)以將重置電何儲存於 每個影像訊框起始點之每個像素處。浮動閘極APS藉由增 加一些電晶體以及依賴一個用於信號偵測之光閘極以高效 率讓相千之雙重取樣更爲容易。但隨之而來的缺點卻是難 以操作的，因爲其增加了影像器之成本。前者於每個像素 上增加了一些電晶體，並於每個影像器上增加數百萬計的 電晶體，藉此減少產品之生產。後者與標準的CM〇S閑極 製程並不相容，所以必須發展一個非標準程序。這些缺陷 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） 420942 A7 B7 五、發明説明（<) (諳先聞讀背面之注項再填寫本頁) 於Ackland等人之美國專利第5,576,763號與第5,541，402號 中，以及Chi等人之美國專利第5,587,596號與第5,608,243 號中，已經著手處理。Ackland提出了與內部像素電荷轉換 器方式相關之影像延遲的議題。但是此方案仍需要一個非 標準CMOS程序。而Chi則藉由使用僅由一個光電晶體與 重置金氧半導體場效電晶體(以下簡稱M0SFET)所構成之最 •簡單可能的.主勸式像素來降低像素複雜性。Chi之實施例 ，因爲光二極體處於一個η-井中，仍然會受到重置雜訊的 影響並且於較長波長損害到光譜反應。 發明目的與槪要 本發明的一個目的爲提供一個主動式低雜訊影像系統，用 於CMOS之實施中，或是其他半導體製程技術中。 本發明的另一個目的爲提供一個使用於一個影像系統之低 雜訊放大器，其有效率的降低重置雜訊。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 本發明的另一個目的爲提供一個使用於一個影像系統之整 合型低雜訊放大器，當顯示出低暫時性與固定形式雜訊時，其 具有低成本與低功率消耗量。 本發明這些目的與優點是藉著由一個光偵測器與三個電晶 體組成之每個像素上的電路系統達成的。其中第一個電晶體之 作用爲於信號讀取時當作一個源極耦隨器之驅動器，以及於信 號重置期間作爲一個轉移阻抗放大器之驅動器，於不需要實施 不論是採用於晶片上或是於晶片外記憶體之相干性雙重取樣時 仍然可以抑制重置雜訊。上述第二個電晶體是一個存取 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规格（2! 0 X 297公釐） A7 B7 “20942 五、發明説明（k) MOSFET，其使用於由每個像素讀取信號，並且將由一個像素 陣列輸出之信號多工。第三個電晶體爲一個MOSFET，其於整 合信號已經謓取之後，並且藉由轉移阻抗放大器使得偵測器感 應節點已經有效率地"釘住"之後，重置偵測器。 圖示簡單說明 在參等以下詳細的描述後，當配合附圖一起考慮將可 以很快的了解到本發明其他目的以及許多隨之產生的優點 ，於附圖中相同的參考數値標明於所有附圖相同的部份， 於其中： 圖1爲一個描述使用於一個習知技藝之被動式像素 MOS光電二極體陣列之放大系統之示意電子電路圖； 圖2爲一個描述使用於一個習知技藝之被動式像素影 像感測器之放大系統之示意電子電路圖； 圖3爲一個描述使用於一個習知技藝之主動式像素影 像感測器之放大系統之示意電子電路圖； 圖4爲一個描述本發明一個低雜訊主動式像素較佳實 施例之示意電子電路圖； 圖5爲一個描述本發明較佳低雜訊主動式像素實施例 於信號重置期間的操作情形之示意電子電路圖； 圖6爲一個描述本發明於信號讀取期間的操作情形之 示意電子電路圖； 圖7爲一個描述較佳之行基礎源極供應電路實施例之 示意電子電路圖； {請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4規格（210Χ297公釐） 420942 A7 B7 五、發明説明（1) 圖8爲一個描述較佳之列基礎存取供應電路實施例之 示意電子電路圖； (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 圇9爲一個描述本發明使用於主動式像素感測器之小 信號等效電路之示意電子電路圖： 圖10爲一個顯示逐漸減少的-重置波形之代表時序之 信號圖； ..............圖·41爲一個顯示對於雜訊本發明之效能之二維圖； 圖12爲一個顯示對於雜訊本發明之效能之三度空間圖 〇 較佳實施例之詳細說明 經濟部智慧財產局貞工消費合作社印製 採用CMOS之可視影像系統對於大幅降低成本以及於 減少一些元件，例如影像感測器、驅動電子電機，以及信 號調整電子電機之電力需求等，.極具潛力。舉例說明，一 個視訊攝影機可以被想像爲僅由一個振盪器與一顆電池支 援之單一CMOS整合電路》這樣的一個CMOS攝像系統需 要低的電壓，並且較一個以CCD爲基礎發展之系統損溢較 少的功率。這些改良成就了較小的攝影機尺寸、較長的電 池壽命，並且適用於許多新的產品。 因爲CMOS可視設像器所提供的種種優點，因此已經 有許多的努力致力於發展主動式像素感測器（Active-Pixel Sensor，APS)儀器。主動式像素感測器可以提供足以與技 術等級之CCD系統競爭，或是更優良之低讀取雜訊。但是 ，一個APS中每一個像素上的主動電路應用了細胞”不動 本紙張尺度適用中國面家標率（CNS > A4规格（210X297公釐） 42094242094Z 47 A7 __ B7 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 五、發明説明（多） 產”(cell “real estate”)的技術，此技術可以操作應用於使得 具有相容於標準透鏡之光學格式的影像器，並且/或是將感 測器光學塡滿參數最大化以使用於高敏感度的應用中β主 動式像素電路相較於其他被動式像素之方法，亦可能會增 加功率損溢’增大固定樣式雜訊(可能需要額外的電子電路 來抑制雜訊），並且限制了可賣性。 本發明之低雜訊放大系統是由位於每個像素中之聚集 電路’以及協助行或列像素之波形產生電路所形成的。來 自於主動像素之信號是由一個由主動像素、波形產生器， 以及一個標準的行緩衝器構成的低雜訊信號放大系統所讀 取出來的。除了用於抑制偵測器重置雜訊之裝置外，於下 游電子電機中之行緩衝器通常會執行相干性雙重取樣、取 樣並固定、選擇性之視訊流水線操作，以及行放大器偏移 量消除等功能，以降低行緩衝器可能會產生之暫時性與空 間性雜訊。 本發明之低雜訊系統提供了以下的功能：（1)不需要提 供用於類比式記憶體之情況下抑制重置雜訊的程度，以及 使用於每個像素以便利執行相干性雙重取樣之信號篩檢；_ (2)經源極耦隨器放大之高靈敏度；（3)足夠的放大器頻寬以 避免因爲放大器時間常數與迴路電容之改變而產生的固定 樣式雜訊；（4)足夠的電力供應抵制，可使得不需要精心製 作之支援電子電機之晶片上攝影機(cameras-on-a-chip)能夠 發展；以及(5)相容於具有像素間隔不大於5 microns之影像 陣列之應用。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、·=*

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX 297公釐） 420942 A7 B7 經濟部智葸財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（f) 本發明具有與標準的矽化物超微CMOS完全相容的優 點。此將助益產能最大化，並且將需要之成本最小化，這 是因爲電路複雜度是分散於主動是像素與週邊電路中，並 且利用CMOS本身之信號處理能力所致。本發明光譜反應 之範圍由近紫外線（near-ultraviolet，400 nm)到近紅外線 (near-IR，>800 nm)之間。 因爲本發明之低雜訊系統於每個像素上僅有·四個 M0SFET ’故本發明於7 um的像素間隔上，利用CMOS之 0.5 um設計規則，提供了大於25%之光學塡滿係數。而實 際上的光學係數會因爲橫向聚集以及商用CMOS處理程序 中大的擴散長度而顯得較大些。最後的一個優點爲佈置數 位式邏輯與信號處理電路之彈性，以提供對於電磁干擾之 高抵抗性。 當完全地以一個晶片上攝影撵之架構實施時，則低雜 訊APS可以提供低至15電子伏特之暫時性讀取雜訊(於讀 取速率相容於經電子裝置取得知視訊影像或是靜態攝影）， 且固定樣式雜訊大大地降低到最大信號之〇·1%(於一個可與 CCD攝像器相競爭之標準上），小於0.5%之非線性性，3.3 伏特電源供應時，大於或等於1伏特之信號振盪，大量的 電荷傳遞電容，以及使用經數位界面至一個主微處理機以 訊框接訊框之基礎更新之簡單串列界面可變性之靈敏度等 〇 低雜訊APS發明之一個原型實施例形成了一個由 1032(行）乘776(列）之可視性光偵測器（光電偵測器）陣列所 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家樣準€ CNS ) A4規格（2 10X297公釐） 420942 Α7 Β7 五、發明説明)' 構成之可視性攝像器。行與列上之像素’中心對中心的距 離爲7 microns，其使用標準的〇·5 um設計規則。接著使用 0,25 um設計規則之配置圖顯示出於一個高度需求之5 um 間隙處，本發明提供了較小之塡滿係數β偵測器之四個行 與列於高感度區域的邊緣是以金屬覆蓋著’並且被應用以 建立離晶片外信號處理之黑暗程度。除此之外’每—列上 的偵測器是以色彩濾波器覆蓋住以產生彩色影像。舉例說 明，奇數列可能由左邊開始是紅色、綠色’之後是藍色爐 波器，而偶數列則可能從左邊開始是藍色、紅色’之後爲 綠色濾波器，以這樣的樣式佈滿所有的列° 一個依據本發明發展之低雜訊主動式像素感測器10描 述於圖4。每個位於感測器陣列(爲顯示於圖上)的像素10 ，是由一個光電偵測器12，例如一個光電二極體’連接至 —個雙驅動器MOSFET Η之閘痺，以及一個重置M0SFET 16的一支接腳所構成的。一個列選擇M0SFET 18有一支接 腳連接至M0SFET 14。行匯流排20藉由上述列選擇 M0SFET 18以將光電偵測器陣列之行上的所有像素連接至 一個源極供應器30。列匯流排22則將一個列上之像素重 置連接至一個存取供應器40上。逐漸減少的重置供應50 供應一個最佳化之主動式像素重置波形(圖10)給M0SFET 16之閘極。光電二極體π，舉例說明，可能包含一個矽化 物已經淸理過的基底二極體。於此實施例，必須要淸潔矽 化物的原因，是因爲其對於可見光是不透明的。像素10被 設計地盡量地簡單以獲得最大可得之光偵測區域，同時提 ( CNS ) Α4ίΙ^~( 210X297^^ ) — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 420942 Α7 Β7 五、發明説明Ui ) 供寬廣的光譜反應，對於信號整合時間與觸發之控制，以 及對CMOS產製過程之相容性。 爲了要與標準之超微CMOS製程有最大的相容度，光 電二極體12可於η型態MOSFET之輕微地摻雜的渠極 (LDD)注入的同時形成；此舉會於-型態基底上，創造出一 個η型於ρ型(η-οη-ρ)光電二極體之接合點。既然沒有額外 的鐵離子注入是必要的，則主動式像素電路10之處理過程 以及晶片花費將會與那些標準、高容量數位式電子產品相 同。 圖5描述圖4中之電路於像素重置時之操作情形。圖 6則描述於信號讀取時圖4中電路之操作情況。於較佳的 實施例中，光電偵測器12首先於一個陣列中，由底部至頂 部，一次重置一列。於每一列中，光電偵測器12會由左至 右重置。 . 重置的動作是由完全地使於選擇列上的像素之列選擇 MOSFET 18能夠運作開始的，藉此將一個低阻抗電壓滬(位 於源供應器30處），爲了選擇列上支所有像素連接至 MOSFET 14的一支接腳。當於攝像陣列的每一行隨後接著 被啓動以將信號多工成爲一個相似於視訊的一個鑑定線之 格式時，一個位於存取供應器40中之電流源是與MOSFET Μ之渠極接腳相連接的。上述電流源可能是由偏壓電壓， 驅動，並且由L供應電源的一個η型態MOSFET 56。拓 撲上地來說，於選擇列上之像素放大器現在被建構爲分佈 的轉移阻抗放大器，其具有於轉移阻抗放大器之電流源位 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁> 訂 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 本紙張疋度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（公釐） 420942 A7 ______ B7_____ 五、發明説明（丨，） 於行緩衝器中時，由MOSFET 14的Miller電容提供之電容 性回饋》MOSFET 14因此作爲一個轉移電導來運作，而重 置MOSFET 16則作爲一個由逐漸減弱的重置供應器50控 制之電阻。MOSFET 16藉由對MOSFET 16之閘極應用一個 減少斜率波形（圖10)逐漸地增加其串聯電阻，以提供 MOSFET 14之回饋轉移電導機會以經由反餽消除重置雜訊 (kTC)。此主動式像素實施例於一個具數十微秒之光圏中使 用標準的0.5超微CMOS技術來進行重置。 圖6顯示於讀取模式時相同之像素電路組態。來自於 光電偵測器12之信號於規定之整合時間之後陸續地由陣列 的底部至頂部，一次一列地讀取出來。讀取的動作是由啓 動於選擇列上所有光電偵測器之存取M0SFET 18之後開始 的。爲了要達到高光感度之讀取，M0SFET 14的一支接腳 現在藉由完全地啓動M0SFET 5卩支1^，經由列匯流排22 連接至低阻抗電壓源。M0SFET 14的另一支接腳亦經由 行匯流排20連接到一個週邊之電流源。因此，M0SFET 14 現在爲一個源極耦隨驅動器，所以來自於每個選擇列上光 電二極體12之放大信號便可以有效率地傳遞至行匯流排 20 〇 圖7顯示一個用於源極供應器30之較佳實施例。供應 電壓7sifc是藉由一個單倍放大器55緩衝者。爲了要便利將 主動式像素佈建爲用於低雜訊重置之轉移阻抗放大器，電 晶體46之閘極犯是由上述供應電壓送出脈衝以完全地啓 動電晶體46，並且將連接至匯流排20之輸出。而爲了 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

'1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS) A4规格（2!〇χ297公楚） 420942 A7 ______B7_ 五、發明説明（ 要便利主動式像素之讀取，閘極42脈衝到低電壓至開路電 路電晶體46。電流源48現在供應主動式像素供應電流/SfiC ’其是由一個定値電壓匕建立。 圖8顯示〜個使用於存取供應器40之較佳實施例。供 應電壓匕是藉由一個單倍放大器52緩衝著。爲了要便利將 主動式像素佈建爲用於低雜訊重置之轉移阻抗放大器，電 …晶體54之閘極50是由上述供應電壓送出脈衝以完全地關 閉電晶體54，並且讓電流源56供應主動式像素供應電流 其是由一個定値電壓^^.建立。而爲了要便利主動式 像素之讀取，閘極50脈衝低電壓以將G連接至匯流排22 之輸出。 將逐漸減少的重置波形（圖10)應用到轉移阻抗放大器 上’可以使得重置雜訊(kTC雜訊)波封包於重置開關16(圖 4)完全地開啓前衰減。本發明.亦減少了每個像素中之 MOSFET 14的固定樣式偏移量，因爲光電二極體節點會充 電到一個可消除MOSFET 14由像素至像素之變動的電壓。 藉由使用一個逐漸減少的重置，一個列對於完全抑制雜訊 ，可以重置到數十微秒的範圍內，或是對於適度的雜訊降 低，可以重置到較短的時間內。 圖9顯示於重置期間使用於像素10之一般化小信號等 效電路模型。此電路允許於重置端點根據重置開關電阻， t，來計算穩態雜訊波封包。若重置電壓下降地太慢，則 會需要太多時間來重置每一列，且以視訊訊框速率操作會 變得有些問題。但是，對於數位式靜態攝影機的應用而言 (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智祛財產局員工消費合作社印製 本紙張$度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（21〇'〆297公釐） 420942 A7 B7 五、發明説明（、令） ’仍然是相當地可行的。若逐漸減少的·重置波形下降地太 快’則kTC雜訊波封包將不會衰減足夠的程度以於重置開 關完全地開啓時抑制重置雜訊。 圖9顯示當具有一個電壓與電容ς接地時之光電二 極體12之端點。放大器14輸出端點具有電壓&，輸出電 阻C。以及輸出電導G。接地。電容C。與整個重置存取匯流排 結合，其中大部分來自於所有列之MOSFET 14至MOSFET 16功能。MOSFET 14之轉移電導，可能是由MOSFET 18 所產生的，顯示出其可作爲一個控制之電流源gj。回饋 電容’ Q，爲MOSFET 14之寄生Miller電容。來自於 MOSFET 14之雜訊以電流源in來表示。而來自於MOSFET 16之雜訊(MOSFET 16操作於歐姆區域)則是由電壓源匕表 示。沒有包含於此簡化模型中的爲來自於逐漸減少的-重置 波形之電容性餽送的雜訊。 <請先閲讀背面之注意事項再填寫本I) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 備w 使用小信號等效電路之後 方程式，因爲： 假設放大器的直流放大》 重置雜訊爲： 可以導出一個簡化的雜訊. 遠大於1，則均方根(rms)

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Q kTC' 於其中弋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4说格（21〇Χ 297公釐） 420942 經濟部智站財產局8工消費合作杜印製 A7 _________B7_ 五、發明説明“ς) 逐漸減少的-時鐘波形的時間常數因此可以適當地加以 選擇’以使得不具空間性量相當地大於1。則重置 雜訊因此可以降低到由轉移電導放大器之回饋電容產生之 相當小的量。於此發明中，此回餽電容即爲MOSFET 14之 寄生Miller電容。 本發明一個較佳的實施例具有以下近似的設計値： 1000*700 格式 ’ 7 um * 7 um 像素，^ = 20 umho ; = 0.08 umho ’ 4 = 300 ; ς = 15 fp ; c。= 3.0 pF，以及 Q 二 0.3 fF 。完全與視訊訊框速率相容之所需逐漸減弱的-時鐘頻率， 25 kHz ’因此需要t = 50 gq，以及一個最佳的逐漸減少 的-時鐘時間常數25 us。此會使得對於較佳實施例而言， = 58，以及一個L8fF之等效雜訊電容。既然微不足 道之偵測器電容爲15fF，且kTC雜訊正比於相關電容之平 方根’則重置雜訊已經由55電于伏特抑制到大約僅有i4 電子伏特的大小。 L必須要精心設計到足以支持線速度上任何的變動。 線速度的增加因此需要較低的開關電阻下表以數字描述當 逐漸減少的•時鐘時間常數適當地縮短時，對於重置雜訊之 影響。於一個2,7微秒之時間常數上，重置雜訊將會降低 到55電子伏特。 行匯流排20最好是由一個標準的行緩衝區監視者’以 便當可獲得視訊信號時讀取視訊信號。行緩衝區上主要的 需求與需要掌控電壓模式信號之傳統的設計相似，並且已 經是已知的技術了。 _T7 ____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐） (祷先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財1局員X消費合作社印製

五、發明説明（\U 爲了要便利主動式像素重置與讀取，用於重置電路10 之計時信號(圖10)，源極供應器30與存取供應器40之時 序，是使用標準CMOS數位式邏輯於晶片上產生的。此數 位式邏輯結構因此使得”取視窗丫windowing”)能夠作用，於 其中一個使用者可以以不同的格式讀取出影像，僅需要藉 由使得合適的支援邏輯會計時合適的副格式即可。以取視 .. .窗運作，原型實施例之1032*776格式可以被讀取出來成爲 一個或多個任意大小尺寸並且定位之M*N陣列，而不需要 讀取出整個陣列。舉例說明，一個使用者可能希望改變一 個與電腦相容2nVGAM格式(意即，大約爲640*480)爲共通 界面格式(Common Interface Format，CIF ;通常爲 352*240) ，或是四分之一共通界面格式（Quarter Common Interface Format ’ QCIF ;通常爲176*120)，而不需要讀取出整個陣 列上的所有像素。此功能簡化了支援電子電機以降低成本 ，並且符合特殊通訊媒介之需要。舉例說明，一個個人電 信會議連接至一個僅有QCIF解析能力之遠端使用者的鏈 路，可以被最佳化而足以提供QCIF解析度，並且因此降 低電信會議鏈路上之頻寬需求。更進一步的例子爲，一個 以共通界面格式(Common Interface Format，CIF)建構之攝像 益*虽供應視窗資訊給具有伯?虎處理與資料壓縮最大影響 度之部分影像時，可以提供全CIF影像=於電信會議時， 位於一個人的嘴（舉例說明）附近的視窗，可以較整個CIF 影像更頻繁地提供給使用者。此機制將降低整個會議鏈路 時之頻寬需求。 又度適用中國囤家標牟（CNS ) A4規格（ίΙΟχϋ公釐）' ~ — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 420942 A7 B7 五、發明説明（^) 圖11與圖12描述了本發明之雜訊表現機率。圖Η顯 示出以電子伏特表示之重置雜訊α，與重置阻抗（心J的變 動之間的關係。圖12顯示出回饋電容對雜訊之影響。 本發明雖然已經以特別的實施例加以描述，但精通於 此領域者可以在不脫離本發明原理之範疇內對本發明進行 變動與修改D因此，可以預期本發明包含了落在以下申請 k 專利範圍中之變動輿修正。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2SOX 297公釐）

Claims (1)

1. 42D942 Λ 8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 經·-部智慧財€局貨工消f合作社印製 1. 一種主動式像素感測器，包括一個輻射偵測器於將 一群主動式管狀感測器組織於一個感測器陣列之中，上述 主動式像素感測器包含： 一個電晶體放大器，其具有一個輸入與輸出端，其輸入端 連接到上述之輻射偵測器以產生一個電子信號輸出，其具有一 個爲藉由輻射偵測器產生之電荷輸入之函數的振幅； 一個連接到上述電晶體放大器之開關，用於將來自於上述 電晶體放大器之電子信號輸入至一個輸出線上；以及 一個連接於上述電晶體放大器與上述輻射偵測器之間的可 變電阻，用於重置電荷輸入至上述電晶體放大器到一個預先決 定之信號位準α 2. 如申請專利範圍第I項之主動式像素感測器，於其 中，上述可變電阻包含一個電晶體，其具有第一支與第二 支接腳，以及一個藉由其第一支與第二支接腳連接於上述 上述電晶體放大器與上述輻射偵測器之間之閘極，以及一個供 應其閘極電壓之逐漸減少的重置供應電壓源。 3. 如申請專利範圍第1項之主動式像素感測器，於其 中，上述開關包含一個電晶體，其具有第一支與第二支接 腳，以及一個藉由其第一支與第二支接腳連接於上述電晶 體放大器輸出與輸出線之間之閘極，一個位於閘極之上的列選 擇信號，其會啓動電晶體。 4. 如申請專利範圍第2項之主動式像素感測器，於其 中，供應電晶體閘極之逐漸減少的重置供應電壓包含一個 降低斜率波型，其等量地增加電晶體之串聯電阻，藉此重 · - - - - t -! -- I - I I -- n-n^i ! - (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（2!0X297公嫠） Μ.濟部智.¾財4局员工消骨合作社印製 420942 a« D& cs D8 六、申請專利範圍 置感測器中之雜訊爲零。 5. 如申請專利範圍第1項之主動式像素感測器，於其 中，上述電晶體放大器爲一個MOSFET。 6. 如申請專利範圍第5項之主動式像素感測器，於其 中，上述開關爲一個MOSFET。 7. 如申請專利範圍第6項之主動式像素感測器，於其 中，上述可變電阻爲一個MOSFET。 8. 如申請專利範圍第7項之主動式像素感測器，於其 中，上述輻射偵測器爲一個MOSFET。 9. 一種主動式像素感測器，其包括一個位於一個主動 式像素感測器組織爲列與行感測器之二維陣列中之輻射偵 測器；其包含： 一個電晶體放大器，其具有一個輸入與輸出端，其輸入端 連接到上述之輻射偵測器以產生一個電子信號輸出，其具有一 個爲藉由輻射偵測器產生之電荷輸入之函數的振幅； 一個連接到上述電晶體放大器之開關，用於將來自於上述 電晶體放大器之電子信號輸入至一個行輸出線上；以及 一個連接於上述電晶體放大器與上述輻射偵測器之間的可 變電阻，用於重置上述電晶體輸出端電荷到一個預先決定之信 號位準。 10. 如申請專利範圍第9項之主動式像素感測器，於其 中，上述可變電阻包括一個電晶體，其具有第一支與第二 支接腳，以及一個藉由其第一支與第二支接腳連接於上述 上述電晶體放大器與上述輻射偵測器之間之閘極，以及一個供 _ 2_ ^纸張尺度適^中國國家椟ί ( CNS ) A4現格（210X297公釐) ---1 I ----- -- - : I - I___ - {諸先閱諸背而之注意事項再填舄本買) 4 2-0 9 4 2 'Λ- 8 8 8 ABCD Μ濟部智总財凌局si工消费合作社印製 六、申請專利範圍 應其閘極電壓之逐漸減少的重置供應電壓源。 Π.如申請專利範圍第9項之主動式像素感測器，於其 中，上述開關包括一個電晶體，其具有第一支與第二支接 腳'以及一個藉由其第一支與第二支接腳連接於上述電晶 體放大器輸出與行輸出線之間之閘極，一個位於閘極之上的列 選擇信號，其會啓動電晶體。 12. 如申請專利範圍第10項之主動式像素感測器，於 其中，供應電晶體閘極之逐漸減少的重置供應電壓包含一 個降低斜率波型，其等量地增加電晶體之串聯電阻，藉此 重置感測器中之雜訊爲零。 13. 如申請專利範圍第9項之主動式像素感測器，於其 中，上述可變電阻會於重置期間逐漸地增加阻抗値，藉此 重置感測器中之雜訊爲零。 14. 如申請專利範圍第13項之主動式像素感測器，更 包含一個連接於一個主動式像素感測器組織爲列與行感測 器之二維陣列中的一個行輸出線之源極供應器。 15. 如申請專利範圍第14項之主動式像素感測器，於 其中，上述源極供應器包含： 一個電壓源〜:.； —個電流源;以及 一個於感測器重置期間將電壓源fv:連接至上述行輸出 線的裝置，以及一個將上述電流源於感測器讀取期間連 接至上述行輸出線的裝置。 16. 如申請專利範圍第13項之主動式像素感測器，更 _ 3_______ 表紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐} (請先閱讀背面之注意事項再填寫本瓦) 420942 鉍 C8 D8 六、申請專利範圍 包含一個連接於一個主動式像素感測器組織爲列與行感測 器之二維陣列中的一個列輸出線上的一個存取供應器。 17. 如申請專利範圍第16項之主動式像素感測器，於 其中，上述源極供應器包含： —個供應電壓匕； —個供應電流L ;以及 —個於感測器重置期間將供應電壓L連接至上述列輸 出線的裝置且將上述供應電流/^.於感測器讀取期間連接至 上述列輸出線的裝置。 18. 如申請專利範圍第14項之主動式像素感測器，更 包含一個連接於一個主動式像素感測器組織爲列與行感測 器之二維陣列中的一個列輸出線上的一個源極供應器。 19. 如申請專利範圍第18項之主動式像素感測器，於 其中，上述源極供應器包含： 一個電壓源匕c ; 一個電流源Lc；;以及 於感測器重置期間將電壓源匕(:連接至上述行輸出線的 裝置，以及一個將上述電流源/m，於感測器讀取期間連接至 上述彳丁輸出線的裝置。 20. 如申請專利範圍第18項之主動式像素感測器，於 其中’上述源極供應器包含： 一個供應電壓G; 一個供應電流/_ ;以及 於感測器重置期間將供應電壓匕連接至上述列輸出線 ^^^1 - » - -. * - - ....... —^ϋ. 1- - -^- 1--1 —i- - I _ - ^^^1 一eJ • - (請先閱讀背而之：^意事項再4{'"本頁) 本紙張尺度適用中關(CNS )八4驗（21()><297公筹 420942 六、申請專利範圍 的裝置，以及一個將上述供應電流於感測器讀取期間連 接至上述列輸出線的裝置。 經濟部智慧財產忌員工消費合作社印製 -------------%--------訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用t國國家棣準（CNS M4規格（210X 297公釐）