TW387821B - Cleaning process for harmful gas - Google Patents

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A7 B7 Ά 曰 經濟部中央標率局只Η消费合作社印製 ^0·— ^ 五、發明説明（ t| ) 1 1 例 包 活 — 種 清 潔 劑 t 其中含有氧化鋅作為主要组份 (待 1 1 I 肝5-237324 )及- -種淸潔劑 » 包 含 氫 氣 化 鋸 作 為 主 要 成 份 1 1 (特開平9-9921)可將來 白 半 導 體 製 造 過 程 之 廢 氣 經 由 使 該 請 先 1 1 m 氣 m 欲 被 使 用 作 為 預 處 理 劑 並 經 填 充 入 淸 潔 柱 等 中 之 閲 讀 1 I 清潔酬接觸而予以有效清潔 • 及 其 後 • 在不低於200 t：之 之 1 1 U 度 下 更 進 一 步 使 經 預 處 理 之 體 舆 包 含 氣 化 亞 錫 作 注 % 1 1 為 有 效 組 份 之 清 潔 劑 接 觸 〇 項 再 1 在 另 — 方 而 > 在 使 廢 氣 與 用 於 預 處 理 之 — 種 淸 潔 剤 接 填 寫 本 1 嫌 之 情 況 下 1 舉 例 而 言 f 此 清 潔 劑 包 含 前 述 之 氣 化 鋅 作 1 1 1 為 一 種 主 要 組 份 且 它 能 在 通 常 溫 度 下 » 清 潔 含 有 —L·* 氣 化 1 | m f 氟 等 之 以 氣 為 基 的 氣 體 9 然 後 » 看 情 形 9 在 當 移 除 1 1 以 氣 為 基 之 氣 體 時 > 氣 氣 經 由 清 潔 反 應 而 形 成 〇 當 使 所 1 訂 1 1 産 生 之 氣 與 包 含 氣 化 亞 錫 作 為 一 種 有 效 組 份 之 淸 潔 剤 接 觸 時 » 造 成 如 此 麻 煩 之 事 例 如 • 清 m 能 力 之 退 化 及 副 産 I 1 生 氮 之 氣 化 物 〇 1 | 然 而 参 可 能 經 由 增 加 包 含 氣 化 亞 錫 作 為 有 效 姐 份 之 清 1 r r 潔 劑 中 氟 化 鈣 的 含 量 及 經 由 昇 高 廢 氣 與 清 潔 劑 接 m 時 之 溫 度 而 防 出清潔能力之退化及副邊至氮之氣化物甚至當清 1 1 潔 劑 與 氣 接 觸 時 〇 1 1 I m 於 前 述 • 其 較 佳 者 為 = 設 定 清 潔 中 1 氣 化 亞 錫 : 氣 1 1 化 鈣 的 以 重 量 計 fcb 率 在 1 ： 至少0 .05而同時， 設定在廢 1 1 氣與清潔劑接觭時之溫度在至少250t：。 1 1 根 據 本 發 明 之 清 潔 方 法 t 成 為 可 能 的 是 * 在 柑 當 低 溫 1 1 度 下 » 以 高 效 率 移 除 經 包 含 在 氣 體 中 1 氮 之 氟 化 物 例 如 1 I -1 3- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家榡车（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公釐） 經漓部中央標準局員Η消費合作社印家 A7 B7 五、發明説明（，） 發明夕莆蕾 1 .本發明之範園 本發明俗醑於清潔有害氣體之方法。較詳言之，本發 明係關於清潔含有氟化氪，尤其三氟化氮之有害氣體 的方法，此有害氣體僳自半導體製造過程中所排放。 2 .相關技g之敘述 隨著半導體工業之繼鑲發展，近年來，在氣化氮的使 用數量方面有稼定上昇，尤其是三氟化氮，使用它來乾 蝕刻矽，矽化合物，鎢化合物等，亦使用作為用於清潔 CVD設備的室之清潔氣體。 據稱三氩化氮甚難可溶於水，在室溫下相當穩定，幾 乎不與酸或齡起反應但是極具毒性，因此，具有1〇ΡΡΠ的 時間加權平均值（TLV-TWA)之最低限度數值。因此，在 將三氣化氮排放入大氣中之情況下，它對於人體和環境 施加有害的影響。因此之故，在將它排放入大氣中前， 在使用含有三氟化氮之氣體於半導體製造過程中後，立 即必須將三《化氮淸潔。 雖然三氟化氮在通常溫度下偽穩定，但是由於在蝕刻 或淸潔的步驟期間，加熱，放電等，它形成四氣化二氪 ，二氣化二氮，六氟化二氮，氟等。另外，在使三籌化 氮與矽，_，矽化合物，鎢化合物等接梅之條件下進行 蝕刻之情況中，該三氟化氮導致形成四氟化矽和六氟化 鎢。前述之各種氣化氮，氟，四氟化矽和六氣化鎢毎一 者均較三氣化氮更具毒性而固此，必須將它移除如同使 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS)A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部中决標芈局負工消费合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明（π ) 實.—例一7_ 在附以攪拌下，將90g水中之25g氣化鉀溶液·（由關連 化畢准限公司所造，KF,試劑，保證级）添加至750g數 最之氣化亞錫和250g之氣化15中（CaF2 ,由Hakutatsu 化犖奮驗室所製造）。將如此獲得之餅狀物使用一擠β 機通過噴絲板中之2.Omm直徑噴喊擠壓及将所擠出之産 物切成具有大約3至5mm長度之壓K。將所産生之鼷Η 經由在氛之大氣中，在1201C下加熱歴大約12小時予以 乾燥而製備成600g之清潔劑。 随後，用於處理含氣體的預處理柱經由填充38.8ral 的包含氣化鋅（86%氧化鋅，5%氧化鉀和97。礬土）作 為有效成份之请潔劑入不銹鋼所造成之淸潔柱（具有15.7mm 内官掙及300bib長度）中直至20〇Bm之填充長度予以構成。 將上文中所製備之清潔劑（包含氣化亞錫作為有效組份） «充入與實例1中者相同之清潔柱中以便在32〇υ下使 用作用後處理柱。 因此，清潔設備經由使用管条連接預處理柱和後處理 柱而構成。然後，使含有lOOOppm三氣化氮，lOOOppm四 氟化矽和lOOOppni氣之氮氣通經經保持在常溫下之預處 理柱及經保持在320C下之後處理柱來進行清潔實驗。 另外，以與實例中之相同方式，在自開始實驗120分鐘 後，進行分析預處理柱的出口之氣體及後處理柱的出口 之氣體。結果示於表7與表8中。後處理柱中，開於三 氣化氛之清潔能力示於表9中。 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標丰局员工消费合作社印聚 A7 --〜___iZ__ 五'發明説明（> ) 用Ξ氟化《的情況那樣。 作為用於移除經包含在氣醱中之氟化«的各種方法， 截至目前為止，已建謙有各種方法包括：（1) 一種方法 ，其中，使含有氣化氮之氣體，在不低於ιοου之as度 下與金_矽接觸〔待開昭63 12322/ 1988〕 ；（2>—種方 法，其中使含有氟化氮之氣醱在不低於20〇t：之粗度下 ，與金鵬鈦接觴（待公昭63 48571/1988);及（3)—種 方法，其中在200t：至800t：範圃内之粗度下，使含有縝 化氣之氣體與矽，硼，鎢，箱，釩，硒，礮，緒及其非 氣化物之基化合物接«〔待公昭63 48570/ 1988〕。 亦經建嫌（4) 一種方法，其中使含有《化氰之氣鱧舆 能與三覦化氮進行鹵素交換之金靨鹵化物接觸〔待公昭 63 48569/ 1 988〕 ；（5>—種方法，其中在不低於250*0 之粗度下，使含有氟化氮之氣醱與一種遇渡金鼷，例如 雄，β和姻之氣化物接觸〔待開平3 181316/1991〕； 及（6 )—種方法，其中在3 0 0至6 0 0 t：範圍内之溫度下· 使含有氟化氮之氣體與活性硪接觸〔待閭昭62 23792/ 1987] 〇 而且，業己建議（7)—種方法，其中在不低於200t!之 溫度下，使含有氟化氮之氣體與含有一種通渡金属之催 化劑接觸，此過渡金靨例如錁，雄和鈷或輿含有—種貴 金屬例如鉑，銬和耙之催化劑接觸*将此等金»支載在 包含繆土或矽石作為主要組份之載體上〔特晒昭62 273839/ 1987〕 ； （8)—種方法，其中在 1〇〇 至 8001 範 -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（cns ) a4規格（2丨0x297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 B7

五、發明説明（W 清潔柱以外，重複實例1中之程序而進行清潔賁驗。结 果示於表10中。 表10 奮例 清潔劑之種類 溫度 穿透時間 清潔能力 编號 rc ) (分） (Jl / JI清潔劑） 8 SnO + KF + CaF 2 300 1411 42 9 SnO+KF 300 1198 36 fct_ 教 在附以攪拌下，將65g水中之50g氣化鉀溶液（傜由關 東化學有限公司所造，KF,試劑，保證级）添加至1 000g 數量的氧化錫中（俱由關東化學公司所造， ,保證级）。以與實例1中之相同方式，將所産生之餅 狀物形成為清潔劑。 經漪部中央標準局負工消费合作社印聚 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經由使用此清潔劑，以與實例1中之相同方式，對於 含有三氣化氤有害氣體進行清潔實驗。另外，以與實例 1中之相同方式，在自開始實驗120分鐘後，進行分析 清潔柱的出口，氣體中有害組份之濃度。在實驗階段期 間，可能移除三氣化氮但是副産生大量的氮之氣化物其 磨度超過TLV-TMA,因此，中止清潔實驗。結果示於表11 中。 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經漪部中央標準局貝工消費合作社印聚 A7 _______B7 五、發明说明（> ) _内之租度下，使含有《化氮之氣體與雔或以路為基之 合金接《〔特開平6 2 381 28/1994〕：及相似之方法。 然而，上述各種方法遭受各種缺黏或麻煩之事邸：在 前述方法（1)， （2)和（3)等中，在清潔期間新形成揮發 性氣化物作為副産品；在方法（4)中形成鹵素氣齷.例 如氱氣作為副産品：而在方法（5 >中，經形成作為副産 品之氣化氮，迫切需要處理其本身，ϋ以不僅使方法複 雜化，而且增加處理成本。 另外，方法（6)涉及該項問題即：在昇高之粗度進行 琪理不僅伴醣激烈反醮而且有燦炸的危險，此外，形 成四氟化硪作為副産品，其相當穩定且雕以移除。 而且，方法（7)涉及該項問題即：雖然處理並未伴隨 副産生有害氣醱，但是為了保證充分淸潔能力之目的， 必須将《理在高溫下進行，舉例而言，為了獲得實用之 淸潔能力，使用嫌作為過渡金颶時需要加熱至400*C或 更高，因為在2 00 TD下，鐡的分解活性並不十分高。該 方法另外涉及下列問題：随著反應的進展所形成之某些 氣化物蓋覆淸潔Μ的表面，藉以粗止反進行至淸潔劑 之内部而導致不能«得有效率之澝潔能力。 另外，方法（8),由於在髙溫下連同氮(通常使用氰作為 三氣化氮之稀惲氣齷）之檄烈放熱反匾而具有造成不可 控制之快速粗度上昇的危險。 如上文中所述，到目前為止•尚未發現出一種令人《 意方法用以移除經包含在本龌中之氣化氛。在此種璨境 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS )八4規格（2丨0 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} *1Τ 經漓部中次榡準局消費合作社印聚 m A7 ^ ^---^五、發明説明（4) 在附以攢拌下，將65g水中之50g氟化鉀（KF)溶液添加 至lOOOg數鼉之二氣化錳中（傜由開連化學有限公司所造 ,Μπ07.,試劑，保證级）。以與實例1中之相同方式， 將所産生之餅狀物形成為淸潔劑。 經由使用此清潔劑，以與實例1中之相同方式，對於 含有三氣化氮之有害氣體進行清潔實驗。另外，以與實 例1中之相同方式，在自開始實驗120分鐘後，進行分 析清潔杵的出口，氣體中有害組份之濃度。在實驗階段 期間，可能移除三氟化氮但是副産生大量的氮之氧化物 其猜度超過TLV-TMA。因此，中止清潔實驗。結果示於 表1 1中。 經由使用壓片模製機器，將氧化銅（CuO,試劑，保證 级，傜由關連化學有限公司所造）模壓成具有5mm直徑和 5mB長度之壓M。將所産生之壓Η造成具有3至5bb的粒 子直徑之經壓碎産物。經由使用此經壓碎之産物作為清 潔劑，以與實例1中之相同方式，對於含有三氟化氮之 有害氣體進行清潔實驗。另外，以與實例1中之相同方 式，在自開始實驗120分鐘後，進行分析清潔柱之出口 ，氣體中有害組伢之濃度。在實驗階段期間，可能移除 三氣化氮但是副産生大量的氮之氧化物其濃度超過TL V -TMA,因此，中止清潔實驗结果示於表11中。 本文中所使用之清潔劑是市場上可供應之Hopkalite -25-

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -I _ 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4g ( 210X297公釐） 經漓部中央標率局員Η消費合作社印絮 A7 B7 五、發明説明（4 ) 中，渴望箱要發展清潔氬化氮之方法，其在低溫下具有 离處理能力不會副産有害氣醴或（具有）擔心琛境污染之 氣髓。 發明槪沭 由於本發明發明人所累積之廣泛研究和發展的結果， 為了解決先前技蘚中所涉及之上述間題，現已發現；經 由使含有氣化氮之氣體與包含氣化亞錫作為有效成份之 清潔W接觴，可將氟化氮在相當低溫度下，以極高效率 而移除；又，該清潔方法不會産生副産品，其在淸潔之 時，對於環境施加不利影罄。本發明經由前述之發現和 資訊予以完成。 換言之，本發明偽關於用以淸潔有害氣體乏方法，此 方法包括至少在2 0 0 t：之溫度下，使含有由各種氰化氪 ，氣化鎢，氟化矽，氟化氩和氟所組成之該群中所遘出 之至少一成員作為有害組份之有害氣體舆包含氣化亞錫 作為有效成份之清潔薄接梅。 尤其，本發明俗鬭於用以清潔有害氣體之方法，此方 法包括至少在200Τ之溫度下，使含有三氟化氮作為有 害組份之有害氣體與包含氣化亞錫作為有效成份之清潔 劑接觸。 而且，本發明另外係蘭於用以清潔有害氣體之方法， 此方法包括在通常溫度下，使含有氟化氮作為有害組份 之有害氣鳢連同由氟化箱，想化矽，氣化氩和氣所組成 之該群中所選出之至少一成員與能在通常溫度下移除以 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注f項再填寫本頁}

A7 B7 387821 五、發明説明（> ) (由日立Girdler催化劑有限公司所造）。其形式為擠出 楫塑之臛片，此壓片具有1.5mn直徑，3至5bb長度而其 化學組成以重量計包含50%二氧化錳（Μη02 ), 22%氧 化鏑（(：11〇),：12.5%氣化鎂（《^0),12.5%氧化鋁（六12〇3) 及3%的其他者。經由使用此清潔劑，以與實例1中之 相同方式，對於含有三氟化氮之有害氣體進行清潔實驗。 另外，以與實例1中之相同方式，在自開始實驗120分鐘 後，進行分析清潔柱之出口，氣體中有害組份之濃度。 在實驗階段期間，可能移除三氟化氮但是副産生大量的 氮之氣化物其濃度超過TLV-TMA,因此，中止清潔實驗。 結果示於表11中。 表 11 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經浠部中决標羋局貝Η消贽合作社印52 编 較例 號 清潔劑之種類 在清潔柱之出口」 的濃度 NO HO a 1 S η 0 2 >200 η . d . 2 ΗηΟ 2 >200 η . d , 3 C u 0 >200 η . d . 4 Μ η 0 2 * C u 0 MgO * A 1 2 〇 a >200 η .d * 26-

NF 本紙張尺度適用中國國家榇羋（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐） A7 B7 五、發明説明（t ) 氯為基之化合物的淸潔劑接觸，其後，在最低200 1C之 粗度下，更進一步使經如此初步處理之有害氣醱舆包含 氣化亞錫作為有效成份之清潔劑接觸。 於佯里艚窨掄例夕紡沭 將根據本發明之清潔方法應用於清潔有害氣體，其中 含有氣化m,氣化錄，氣化矽，氟化氫和氣（尤其三氣 化氮）作為有害組份。亦将上文所述及之方法應用於清 潔自半導體製造裝置所排放之有害氣體，此裝置中使用 三氟化氡或類似者。 有害氣體，（其是根據本發明欲予清潔之目榡）其實例 主要包活氤，氬，氣等每一者中含有三氟化氮（hf3)作 為有害之組份。當在半導體製造過程中使用三氟化氮於 蝕刻或清潔時，由於加熱或放電，nf3形成四籌化二氮 (H2F4),二氟化二氮（H2F2>,六氟化二氮（h2f6) 經濟部中央標皁局月工消費合作社印聚 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,«(f2)等，舆矽或一種矽化合物起反應而産生四氟化 矽（SiF4 >且亦與鎢或一種鎢化合物起反應所痛形成六 氟化錫（NFe)。因此，來自半導體製造遇程之廢氣（此 遇程中採用三氟化氮）含有三氣化氮，且在許多情況下 ，含有上文中所述及之各種氟化氮，氣，各種篇化矽， 氣化鎢和氟化氫。根據本發明之方法能清潔前述之各種 氣體以及三氟化氮。 如上文中所述，根據本發明之淸潔方法不僅可應用於 三氟化氮而且可採用於各種《化氮，各種《化矽，各種 氟化鎢，氣化氫，氣及其混合物。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印掣 A7 B7 五、發明説明（fc ) 當在本發明方法中，使一種《化氟與淸潔W接《時， ，將氣原子固定成為金鼸氟化物而氟原子則成為氮氣被 排放出。當該方法中，使氟化矽和氟化鎢與淸潔劑接觸 時，將氟原子固定成為金颸氟化物，並將矽和鎢每一者 固定成為固體化合物。因此，根據本發明之淸潔方法能 清潔三氣化氮且另外，能清潔來自半導體製造過程之廢 氣（此過程中採用三氟化氮）而不會形成有害之副産品。 使用氣化亞錫（SnO)作為本發明中清潔劑的有效組份 。獮常可使用氣化亞錫（其在市場上，以具有至少98% 純度，呈粉末或類似者形式可供應）作為清潔劑之原料 。模製氧化亞錫，經由模製成颸片或經由模製成不規則 形式，接箸將它壓碎成為適當大小之産物而供使用作為 清潔爾。 作為模製方法，迄至目前為止眾所周知之可供利用者 有溼方法和乾方法，舉例而言包括：經由壓Η模製氣化 亞錫之方法，一種方法其中，將氣化亞錫與水混合而形 成漿醱或塊，將它擠壓成一種壓製件及將此壓製件切成 適當大小之産物，接著乾燥；及一種方法，其中在此方 法中，將漿體或塊成粒並乾燥。 為了加強成型性和模塑強度，在模塑之時，在緊急時 可使用一種模塑肋劑。宜使用金颶氟化物作為模塑助_ ，其經由下列氟化物而例示：氟化鋰，《化押，«化納 ，氣化鎂，氟化鈣，氟化錫，鎘化鉛，氟化鋅和氟化銅 。可單獨使用此等氣化物之任何一者或如上所述，成為 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐） (讀先閱讀背面之注項再填寫本頁) 訂 A7 B7 五、發明説明（？） 合物的一種組份。 化物外之棋塑肋劑的情況下，舉例 氣化物，有時可造成麻煩之事因為 物氣化氮。 添加之模塑肋劑的數量，基於模塑 強度等而變更而不可明確指定。當 不能保證其添加之效果，當其數量 降低清潔能力。因此，基於氣化亞 劑的以重量計，組成比率通常在 宜偽0.005至0.50,更宜傜0.01 經漓部中央標準局貝工消費合作社印繁 至少兩種氣化物之混 於使用除去金臑氟 而言，使用一種金屬 .在清潔期間，副産 於製備清潔薄I時欲 條件，所需要之模塑 其數量太小時，導致 傜不合理的大時，酣 鑤，清潔_中模塑助 0.001至0.6的範圍内 至 0.4 5。 阚於欲被使用作為 潔劑的成型性和模塑 使用氟化鉀造成清潔 氣化亞錫含量之比例 ，因為難以添加其必 在另一方面，當與其 於加強成型性之效果 添加至其中之氟化鈣 錫之清潔能力。 而且，氟化鉀與氟 示：加強成型性和模 低清潔能力β因此，更 為包含氣化亞錫作為 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 模塑肋劑之金鼷氟化物，於加強清 強度方面，氟化鉀傜有效。然而， 能力之退化超過伴随其添加，滅少 。因此之故，氟化鉀造成麻煩之事 須之數量而保證充分之模塑強度。 他氟化物相比較時，雖然氟化0對 較低，但是其待街[為：随箸增加經 的數量，它加強單位重量的氣化亞 化鈣的聯合使用作為模塑助爾可潁 塑強度兩者的優良操作效果而不降 好是採用聯合之氟化押和氟化鈣作 一種有效組份之清潔劑的模塑肋剤。 -9 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐） 經浠部中决標碑局K工消费合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（I?) 欲予聯合添加作為淸潔薄I之棋塑助劑之氟化鉀和氟化 鈣的基於瓤化亞錫之比率，視棋塑方法，所痛要之模塑 強度等而變更而因此，不能明確指定。闋於清潔劑的組 成比率，氣化亞錫：氟化鉀：氟化鈣的以重量計比率通 常大致是1: (0.001至0.15): (0.01至0.60),大致宜是 1: (0.005 至 0.12) :0.03 至 0.45),大致更宜是 1: (0.01 至0.10): (0.05至0.35)。當氟化鉀的數董小於該範圍 時，刖導致不能自其加成而獲得效果，而當其數量像超 過該範圍時，則導致清潔能力之退化。當氟化鈣的數量 傜小於該範圍時，則導致不能獲得防止經由添加氟化押 予以減低之清潔能力的效果，而當其數量係超過該範圍 時，刖導致清潔能力之退化，伴隨箸氣化亞錫含量之降 低。無論如何，各氟化物的數量超出前述範圍會産生不 利之結果。 在其製備的過程中，進行熱乾燥欲使用於本發明中之 清瘰_的情況下，該項乾燥宜在氮之大氣中實施，因為 氣化亞錫，當在熱乾燥清潔_期間使它與氧氣接觸時被 部份氣化成為氟化錫，而經包含在清潔剤中之所産生的 氣化錫在清潔之時，不利形成一種氧化氮作為副産品。 另外，氟化亞錫在空氣中可被氣化甚至在室溫下，而因 此，宜將它保存在氮之大氣中。 呈模塑形式之清潔繭的形狀並未予以待別限制，但經 由球形，柱形和圓简形而代表。在球形形式的情況下， 其大小是在2至12«·直徑的範圍内而在柱狀形式的情況 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 B7 五、發明説明（9 ) 下.其直徑是在在2至12·β之範園内，其高度大致在2 至12»«之範面内。通常，據説：當填充供使用於清潔柱 中時，清潔剤必須具有小於大約十分之一該柱直徑的粒 子育徑。在所述範圍内之粒子直徑能有效清潔不會造成 溝流等。當將它《充入清潔柱中時，淸潔劑的堆砌密度 通常是在大致0.8至2.5g/Bl的範圍内。 本發明中，可能使用清潔劑在移動床流化床以及固定 床中。通常將清潔劑缜充在清潔柱中，於此情況下，使 含有氟化氪之有害氣體通經其中而使有害氣讎與清潔剤 接觸，因此，移除傺為有害組份之氟化氮而因此，清潔 了有害氣體。 使有害氣體舆清潔劑接觭時之溫度是至少2001C,宜 2 0 0 t至8 0 0 1D ,更宜2 2 0 Τ：至8 0 0 *0。當在接觸時，溫度 低於200t：時，有時導致清潔能力之退化；而當在接觸 時，溫度高於800t：時，則造成麻煩之事即：不可能使 用不銹網在清潔柱中，藉以痛要結携上更酎熱之材料。 因此，最好維持溫度在上文所規定之範圍内。 經漪部中央標準局員-τ消費合作社印製 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 雖然在進行有害氣體淸潔時之®力通常是大氣壓，但 是清潔可在減壓時或在壓力下予以實施。 應用本發明的清潔方法至其上之有害氣髓的流速並未 待別限制，但是其較佳者為：該流速随箸增加經包含在 欲予清潔之氣體中的氟化氡濃度予以降低。 有害氣體與清潔劑間之接觸時間是至少0.5秒，宜至少 2秒，且闢於有害氣體中氟化氮的濃度等予以適當決定。 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經漓部中央標率局負工消费合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（、° ) 淸潔柱傜根據有害組份之濃度，有害氣醱之流速等予 以設計，其較佳者為：自清潔能力和伴随清潔反應之熱 産生等觀點而設計以便氣體的表面線速度（LV)範圍自0.5 至5〇C*/ sec(就有害紐份的相當低濃度低於0.1%而論） ;範園自0.05至20c«/ sec(就有害組份的濃度傜0.1至 2%而論）。及變成至多10cB/ sec (就有害組份的相當高 濃度高於1%而論）。在具有高濃度的有害組份之有害氣 體的情況下，例如自半導體製造過程所不斷排放之有害 氣體，氣體的表面線速度（LV)的通常準則是至多10 c b / s e c 〇 半導體製造裝置中，使用三氟化氮用於清潔後所形成 之裔氣通常含有氟化鎢例如，六氟化鎢，氟化矽例如，四 氟化矽，氟化氫和氟逋同三氣化氮。如上文中所述及者 ，上述各種有害組份經由根據本發明之淸潔方法可同時 移除。附帶說明，氟化鎢，氟化矽和氟經由使用除去氣 化亞錫以外之清潔莆可能比較容易移除甚至在通常溫度 下。因此，成為可能的是：減輕包含氣化亞錫之清潔劑 的載荷而在同時，經由在通常溫度下，使前述之有害組 份輿除去氣化亞親以外之清潔劑接觸而預先移除此等組 份及其後，在不低於200 T：之溫度下，更進一步使經預 處理之氣體與包含氣化亞錫作為有效組份之清潔劑接觸 而移除唯·一之各種氟化氮（其難以使用除去氣化亞錫以外 之清潔劑來移除）而延長清潔劑的使用期限。 在通常溫度下，能清潔含氣之氣髏的可使用清潔劑實 本紙張尺度通用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T A7 B7 Ά 曰 經濟部中央標率局只Η消费合作社印製 ^0·— ^ 五、發明説明（ t| ) 1 1 例 包 活 — 種 清 潔 劑 t 其中含有氧化鋅作為主要组份 (待 1 1 I 肝5-237324 )及- -種淸潔劑 » 包 含 氫 氣 化 鋸 作 為 主 要 成 份 1 1 (特開平9-9921)可將來 白 半 導 體 製 造 過 程 之 廢 氣 經 由 使 該 請 先 1 1 m 氣 m 欲 被 使 用 作 為 預 處 理 劑 並 經 填 充 入 淸 潔 柱 等 中 之 閲 讀 1 I 清潔酬接觸而予以有效清潔 • 及 其 後 • 在不低於200 t：之 之 1 1 U 度 下 更 進 一 步 使 經 預 處 理 之 體 舆 包 含 氣 化 亞 錫 作 注 % 1 1 為 有 效 組 份 之 清 潔 劑 接 觸 〇 項 再 1 在 另 — 方 而 > 在 使 廢 氣 與 用 於 預 處 理 之 — 種 淸 潔 剤 接 填 寫 本 1 嫌 之 情 況 下 1 舉 例 而 言 f 此 清 潔 劑 包 含 前 述 之 氣 化 鋅 作 1 1 1 為 一 種 主 要 組 份 且 它 能 在 通 常 溫 度 下 » 清 潔 含 有 —L·* 氣 化 1 | m f 氟 等 之 以 氣 為 基 的 氣 體 9 然 後 » 看 情 形 9 在 當 移 除 1 1 以 氣 為 基 之 氣 體 時 > 氣 氣 經 由 清 潔 反 應 而 形 成 〇 當 使 所 1 訂 1 1 産 生 之 氣 與 包 含 氣 化 亞 錫 作 為 一 種 有 效 組 份 之 淸 潔 剤 接 觸 時 » 造 成 如 此 麻 煩 之 事 例 如 • 清 m 能 力 之 退 化 及 副 産 I 1 生 氮 之 氣 化 物 〇 1 | 然 而 参 可 能 經 由 增 加 包 含 氣 化 亞 錫 作 為 有 效 姐 份 之 清 1 r r 潔 劑 中 氟 化 鈣 的 含 量 及 經 由 昇 高 廢 氣 與 清 潔 劑 接 m 時 之 溫 度 而 防 出清潔能力之退化及副邊至氮之氣化物甚至當清 1 1 潔 劑 與 氣 接 觸 時 〇 1 1 I m 於 前 述 • 其 較 佳 者 為 = 設 定 清 潔 中 1 氣 化 亞 錫 : 氣 1 1 化 鈣 的 以 重 量 計 fcb 率 在 1 ： 至少0 .05而同時， 設定在廢 1 1 氣與清潔劑接觭時之溫度在至少250t：。 1 1 根 據 本 發 明 之 清 潔 方 法 t 成 為 可 能 的 是 * 在 柑 當 低 溫 1 1 度 下 » 以 高 效 率 移 除 經 包 含 在 氣 體 中 1 氮 之 氟 化 物 例 如 1 I -1 3- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家榡车（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公釐） A7 B7 五、發明説明（^ ) ，三氣化氮。而且，成為可能的是，ϋ以移除各種氮氟 化物，各矽之氣化物，氟化氫各種氣化箱等連同 三氣化氮，彼等俱被包含在來自半導體製造過程之廢氣 中，其中使用三截化氮等。 另外，成為可能的是，經由下列方法有效清潔含有以 氣為基之有害組份之廢氣，在此方法中，使廢氣預先與 能在通常溫度下，移除各種氟化鎢，各氟化矽，氟化氳 ，氣等之預處理之清潔劑接鼸，及其後，在200¾或 更高之湄度下，使該經預處理之氣醱更進一步與包含氣 化亞錫作為有效組份之清潔劑接觸而移除三氟化氮，其 不可能在通常溫度下移除β 本發明将參照比較例和實例予以更詳細敘述，然而， 此等實例將不限制本發明為此。 實JI」 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 (請先閱.讀背面之注意事項再填寫本頁) 在附以懺拌下，將65克的水添加至數量為1000克之 氣化亞錫中（由和光純蘂公司所造）。將如此獲得之餅狀 物使用一擠壓機，通過噴絲板中之1 . 6 直徑噴嘴擠壓 及將所擠出之産物切成具有大約3至5»m長度之壓Η。 將所産生之壓Η經由在氮之大氣中，在120*0下加熱歴 大約12小時予以乾燥而製備成600g之清潔劑。 随後，将所産生之清潔劑《充入一支不锈鋼造成之清 潔柱中（此柱具有15.7··的内直徑，200nm長度及至多19.4 ml之體積充長度：100··)及使用一只馬弗（nuffle) «，維持在230t：之加熱下，同時将氬氣通經該清潔柱 -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4说格（2丨0X29?公釐〉 經满部中央標率局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（•大） 。其後，在大氣K力下，以580.8«丨/1丨1»之流速（5(：11/ sec之表而線速度LV),使含有IOOOppb三氰化氪之氪氣 通經該清潔柱，同時，轅市場上可供應之三氟化氮之檢 潮器（傜由Bionics儀器製造有限公司所造，註册名稱 "TG-4100TA)進行測置在清潔柱之出口的氣體中，三氟 化氮濃度。因此，三氟化氮之穿透時間經由關於當氣體 中三氣化氮的濃度到逹10PP!«作為穿透黏時的時間點予以 潲定。 自上述測量的結果，獲得清潔能力（以每1 Λ之淸潔 劑，以升（义）計，所處理之三氣化氮氣體容稹計）。結 果示於表1中。 另外，_具有導熱率型檢測器（關於氮和氧，檢測下 限為ΙΟρρ*)之氣相色譜法，自開始清潔實驗120分鐘後 ，谁行測量在清潔柱出口之氣體中氮和氧的濃度。同時 ，藉用以分離和測定氮之氣化物的檢測器（傜由Gas Tec 有限公司所造，蘭於H0,檢測下限為Ippb而蘭於N〇2 , 檢潮下限為〇.5ppb),進行測量在清潔柱的出口之氣體 中，一氣化氤（N0)和二氟化氮（H02)之濃度。結果示於 表2中，其中，未檢潮出氣，也未測出氮之氣化物。 在完成清潔實驗後，進行觀察清潔柱中之清潔劑。其 結果是，並未看出經分裂之或粉狀之清潔劑。 實 12_ 在附以樓拌下.將65g水中之50g氟化鉀溶液（偽由關速 化學有限公司所造，KK試劑，保證级）添加至1000g數量 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁)

、1T 經漓部中央摞準局負工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（《4 ) 的氣化亞錫中，將如此獲得之餅狀物使用一擠壓機，通 過噴絲板中之1.6··直徑噴嘴擠壓及將所擠出之産物切 成具有大約3至5··長度之壓Η。將所産生之壓Η經由 在饌之大氣中，在120t：下加熱歴大約12小時予以乾燥 而製備成600g之清潔劑。 随後，除去將清潔柱之溫度設定在350t：以外，重複 謇例〗中之程序而進行清潔實驗，即：經由使含有三氣 化氣之有害氣體通經清潔柱。結果示於表1中。 而目，以與實例1中相同方式，在自開始實驗120分 鐘後，進行分析清潔柱的出口之經處理過的氣體。結果 與實例2中者相同。 表 1 實例 清潔劑之 溫度 穿透時間 淸潔能力 编號 種類 (V ) (分） (义/ JI清潔劑） 1 SnO 230 1537 46 2 SnO+KF 350 1935 58 -16- 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

Μ漓部中央標隼局負工消費合作社印" A7 B7 五、發明説明（G ) 表 2 所測董之組份的種類 在清潔柱之出口，氣體中組份 的澳度（P P B ) Η 2 550 〇 2 n . d .(未偵測出） NO η * d . NO 2 η · d · 將在下列條件下所産生之廢氣（在此條件中，等離子 體清潔經由使用三氟化氮在（V)裝置中予以進行，其經 由使用矽烷（SiH4 )而形成矽薄膜）使用氮氣稀釋以便經 餵供至CVD裝置中之三氣化氡的濃度相當於IOOOpp·。因 此，藉《化氮之檢測器管（傜由Gas Tec有限公司所造， 檢測F2之下限：2.5ppb,檢拥HF之下限：0.25ppb), 進行測鼉經稀釋之廢氣中，有害组份的濃度。另外，使 用氣相色譜法（檢澜下限：IOppb),進行分析三氟化氮 的濃度。結果示於表3中。 使該經稀釋之廢氣，在與實例1中相同條件下，通經 淸潔柱進行清潔。因此，三氟化氮之穿透時間經由關於 當在清潔柱之出口的氣醱中，三氟化氮的潘度（使用檢 澜器所測得者）逹到ΙΟρρβ,作為穿透點時之該時間點予 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標率局負工消費合作社印« A7 B7 五、發明説明（4 ) 以測定。又，氟化合物或氟之穿透時間經由鼷於當在淸 潔柱之出口的氣體中«化合物或覦的濃度（使用氣化氫 之檢測管所潮得者）達到2.5ppb作為穿透點時之該時間 黏予以測定。自穿透時間之結果，獲得清潔能力，其以 經餵供至CVD裝置之三氟化氮的體積而概述。結果示於 表4中。 表 3 有害組份 濃度（p p m ) NF a 128 F ? ,HF或 SiF4 >100 [備註〕除去氟化氬和藏以外，氰化氫之檢制管對於四 氟化矽亦具有檢測敏感性。 表 4 實例 清潔劑之 溫度 穿透時間 清潔能力 编號 輔類 CC ) (分） (A / A淸潔阐） 3 SnO 230 1871 56 實』L4. 在附以楫拌下，将75g的水中之25g氟化鉀溶液（由鼷 -18" 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Ti-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *11 經漓部中央標率局負工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（17 ) 連化學有限公司所製造，KF,試劑，保證级。）添加 至數量為855 g氣化亞錫及145 g之氟化鈣中（CaF2，像 由Hakutatsu化學實驗室所選）。将經如此獲得之餅狀物 使用一擠壓機，通過噴絲板2.0m·直徑噴嘴擠壓及將所擠 出之産物切成具有大約3至5bB長度之壓Η。将所産生之 壓Η經由在氮之大氣中，在120C下加熱歷大約12小時 予以乾燥而製備成600g之清潔商I。 隅後，除去將清潔柱之溫度設定在270 υ以外，重複 實例1中之程序而進行清潔實驗即：使含l〇〇〇PPm三氟 化氮之氮氣通經清潔柱。結果示於表5中。 實.._例.五. 除去使用實例4中所製備之清潔劑，設定淸潔柱之溫 度在270t：及使含有IOOOppb三氟化氪和IOOOpp·六氟化 鎢之氮氣通經清潔柱外，重複實例1中之程序而進行淸 潔*驗。結果示於表5中。因為在穿透點前，將三氣化 氮和六氣化鎢兩者均移除，而一分子中，六氟化鎢所包 含之氟原子兩倍一分子的三氟化氮中者，所以清潔能力 經由加倍六氟化鎢的所移除數董，以三氬化氮的所移除 數量計而表示。 實―例』 除去使用如實例4中所製備之清潔劑，将淸潔柱之 溫度設定在320t：及使含有ΙΟΟΟρρη三氟化氮和IOOOppb 氣之餌氣體通經清潔柱外，重複實例1中之程序而進行 清潔實驗。結果示於表5中。另外，以與實例1中之相 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） .i%. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經漓部中央標準局κ Η消費合作社印黧 A7 B7 五、發明説明（d ) 同方式，在自開始實驗120分鐘後，進行分析淸潔柱的 出口之氣艚。 表5 實例 编號 有害組份 溫度 (V) 穿透時間 (分） 清潔能力 (JI/JI清潔劑） 獮類 濃度（ΡΡ·) 4 NF 3 1000 270 1098 33 5 HF a +WF e 1000(毎 1 者） 270 785 71(NF a 23.5 WF 6 23.5) 6 NF 3 +0 2 1000(毎 1 者） 320 1170 35 表 6 所測量之組份的種類 在清潔柱之出口，氣體中組份 之應度（P P B > 〇 2 980 N0 η * d . NO 2 η · d . -20- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 广 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中决標芈局負工消费合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明（π ) 實.—例一7_ 在附以攪拌下，將90g水中之25g氣化鉀溶液·（由關連 化畢准限公司所造，KF,試劑，保證级）添加至750g數 最之氣化亞錫和250g之氣化15中（CaF2 ,由Hakutatsu 化犖奮驗室所製造）。將如此獲得之餅狀物使用一擠β 機通過噴絲板中之2.Omm直徑噴喊擠壓及将所擠出之産 物切成具有大約3至5mm長度之壓K。將所産生之鼷Η 經由在氛之大氣中，在1201C下加熱歴大約12小時予以 乾燥而製備成600g之清潔劑。 随後，用於處理含氣體的預處理柱經由填充38.8ral 的包含氣化鋅（86%氧化鋅，5%氧化鉀和97。礬土）作 為有效成份之请潔劑入不銹鋼所造成之淸潔柱（具有15.7mm 内官掙及300bib長度）中直至20〇Bm之填充長度予以構成。 將上文中所製備之清潔劑（包含氣化亞錫作為有效組份） «充入與實例1中者相同之清潔柱中以便在32〇υ下使 用作用後處理柱。 因此，清潔設備經由使用管条連接預處理柱和後處理 柱而構成。然後，使含有lOOOppm三氣化氮，lOOOppm四 氟化矽和lOOOppni氣之氮氣通經經保持在常溫下之預處 理柱及經保持在320C下之後處理柱來進行清潔實驗。 另外，以與實例中之相同方式，在自開始實驗120分鐘 後，進行分析預處理柱的出口之氣體及後處理柱的出口 之氣體。結果示於表7與表8中。後處理柱中，開於三 氣化氛之清潔能力示於表9中。 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經漓部中央標率局Μ工消费合作社印絮 A7 B7 五、發明説明（) 表7 所测鼉之組份的種類 在預處理柱之出口，氣醱中組份 之灌度（P P B ) HF 3 1010 S i F 4 或 F 2 η * d . 0 2 650 NO η . d . HO 2 η . d * 表 8 所測晉之纟B份的種類 在清潔柱之出口，氣體中組份 之濃度（Ρ Ρ π ) HF 3 0 S i F 4 或 F 2 n , d . 〇 2 550 NO η . d . NO 2 η , d . -22- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 I . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） A7 B7 五、發明説明（Μ ) 表9 實例 有害組份 溫度 穿透時間 清潔能力 编號 (TC ) (分） (Α/jl清潔剤） 揮類 濃度（ΡΡϋ) 7 NF^ +S1F4 + F 2 1000 (每一種） 320 1472 44 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 除去使用如實例4中所製備之清潔劑，將ti潔柱之溫 度設定在300^0及使含有IOOOppb三氟化氮之氮氣通經淸 潔柱以外，重複實例1中之程序來進行清潔實驗。結果 示於表1 0中。 竄 在附以檐拌下，將70g水中之258氟化鉀溶液添加至 1 0 00R數量的氣化亞錫中。将如此播得之餅狀物使用一 擠壓機，通過噴絲板中之2.〇Β·直徑噴嘴擠®並將所擠 出之産物切成具有大約3至5 ΒΒ長度之壓Η。將所産生 之壓Η經由在氮之大氣中，在120t：下加熱歷大約12小時 予以乾燥而製備成600g之清潔爾。 随後，除去使用上文中所製備之清潔劑，將淸潔柱之 溫度設定在300t：及使含有IOOOppb三氟化氮之氮氣通經 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4現格（210X 297公釐） 訂 經濟部中央標率局員工消費合作社印聚 A7 B7

五、發明説明（W 清潔柱以外，重複實例1中之程序而進行清潔賁驗。结 果示於表10中。 表10 奮例 清潔劑之種類 溫度 穿透時間 清潔能力 编號 rc ) (分） (Jl / JI清潔劑） 8 SnO + KF + CaF 2 300 1411 42 9 SnO+KF 300 1198 36 fct_ 教 在附以攪拌下，將65g水中之50g氣化鉀溶液（傜由關 東化學有限公司所造，KF,試劑，保證级）添加至1 000g 數量的氧化錫中（俱由關東化學公司所造， ,保證级）。以與實例1中之相同方式，將所産生之餅 狀物形成為清潔劑。 經漪部中央標準局負工消费合作社印聚 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經由使用此清潔劑，以與實例1中之相同方式，對於 含有三氣化氤有害氣體進行清潔實驗。另外，以與實例 1中之相同方式，在自開始實驗120分鐘後，進行分析 清潔柱的出口，氣體中有害組份之濃度。在實驗階段期 間，可能移除三氣化氮但是副産生大量的氮之氣化物其 磨度超過TLV-TMA,因此，中止清潔實驗。結果示於表11 中。 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經漓部中次榡準局消費合作社印聚 m A7 ^ ^---^五、發明説明（4) 在附以攢拌下，將65g水中之50g氟化鉀（KF)溶液添加 至lOOOg數鼉之二氣化錳中（傜由開連化學有限公司所造 ,Μπ07.,試劑，保證级）。以與實例1中之相同方式， 將所産生之餅狀物形成為淸潔劑。 經由使用此清潔劑，以與實例1中之相同方式，對於 含有三氣化氮之有害氣體進行清潔實驗。另外，以與實 例1中之相同方式，在自開始實驗120分鐘後，進行分 析清潔杵的出口，氣體中有害組份之濃度。在實驗階段 期間，可能移除三氟化氮但是副産生大量的氮之氧化物 其猜度超過TLV-TMA。因此，中止清潔實驗。結果示於 表1 1中。 經由使用壓片模製機器，將氧化銅（CuO,試劑，保證 级，傜由關連化學有限公司所造）模壓成具有5mm直徑和 5mB長度之壓M。將所産生之壓Η造成具有3至5bb的粒 子直徑之經壓碎産物。經由使用此經壓碎之産物作為清 潔劑，以與實例1中之相同方式，對於含有三氟化氮之 有害氣體進行清潔實驗。另外，以與實例1中之相同方 式，在自開始實驗120分鐘後，進行分析清潔柱之出口 ，氣體中有害組伢之濃度。在實驗階段期間，可能移除 三氣化氮但是副産生大量的氮之氧化物其濃度超過TL V -TMA,因此，中止清潔實驗结果示於表11中。 本文中所使用之清潔劑是市場上可供應之Hopkalite -25-

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -I _ 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4g ( 210X297公釐） A7 B7 387821 五、發明説明（> ) (由日立Girdler催化劑有限公司所造）。其形式為擠出 楫塑之臛片，此壓片具有1.5mn直徑，3至5bb長度而其 化學組成以重量計包含50%二氧化錳（Μη02 ), 22%氧 化鏑（(：11〇),：12.5%氣化鎂（《^0),12.5%氧化鋁（六12〇3) 及3%的其他者。經由使用此清潔劑，以與實例1中之 相同方式，對於含有三氟化氮之有害氣體進行清潔實驗。 另外，以與實例1中之相同方式，在自開始實驗120分鐘 後，進行分析清潔柱之出口，氣體中有害組份之濃度。 在實驗階段期間，可能移除三氟化氮但是副産生大量的 氮之氣化物其濃度超過TLV-TMA,因此，中止清潔實驗。 結果示於表11中。 表 11 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經浠部中决標羋局貝Η消贽合作社印52 编 較例 號 清潔劑之種類 在清潔柱之出口」 的濃度 NO HO a 1 S η 0 2 >200 η . d . 2 ΗηΟ 2 >200 η . d , 3 C u 0 >200 η . d . 4 Μ η 0 2 * C u 0 MgO * A 1 2 〇 a >200 η .d * 26-

NF 本紙張尺度適用中國國家榇羋（CNS ) Α4規格（2丨0X297公釐）

Claims (1)

1. 第87106337號「有害氣雅之淸潔方法」専利案 (88年7月30日修正） A申請専利範圈： 1. —種用於有害氣體之淸潔方法，此方包括至少在200 之溫度下，使含有自氟化氮、氟化鎢、氟化矽，氟 化氫和氟所組成之該群中所·選出之至少一成貝的有害 氣髓與包含氧化-亞錫作爲有效成份之淸潔劑接觸· 2. 如申請専利範園第1項之方法，其中，該有害氣體含 有三黑化氮。 3. 如申請専利範園第1項之方法，此方法另外包括：使 含有三氟化氮作爲有害組份連同自氟化鎢，氟化矽， 氟化氫和氟所組成之該群中所選出之至少一成貝作爵 有害組份的有害氣髖與至少一種選自氧化錚及氫氧化 緦爲主成分之淸潔劑接觸之預處理步骤· 4. 如申請専利範園第1至第3項中任一項之方法，其中該淸 潔劑係經由在氮之大氣中，熱乾燥予以製備* 5. 如申請専利範園第1至第3項中之任一項之方法，其 中在200β至800eC範園內之-溫度下，使有害氣饈與淸 潔劑接觸· 6. 如申請専利範園第1至第3項中之任一項之方法，其 中包含氧化亞錫作爲有效成份之淸潔剤另外包括一種 金屬氟化物作爲棋塑助劑· 7. 如申請專利範圃第6項之方法，其中淸潔劑中，氧化 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (诗先W讀背面之注$項再填寫本頁) 訂- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

   第87106337號「有害氣雅之淸潔方法」専利案 (88年7月30日修正） A申請専利範圈： 1. —種用於有害氣體之淸潔方法，此方包括至少在200 之溫度下，使含有自氟化氮、氟化鎢、氟化矽，氟 化氫和氟所組成之該群中所·選出之至少一成貝的有害 氣髓與包含氧化-亞錫作爲有效成份之淸潔劑接觸· 2. 如申請専利範園第1項之方法，其中，該有害氣體含 有三黑化氮。 3. 如申請専利範園第1項之方法，此方法另外包括：使 含有三氟化氮作爲有害組份連同自氟化鎢，氟化矽， 氟化氫和氟所組成之該群中所選出之至少一成貝作爵 有害組份的有害氣髖與至少一種選自氧化錚及氫氧化 緦爲主成分之淸潔劑接觸之預處理步骤· 4. 如申請専利範園第1至第3項中任一項之方法，其中該淸 潔劑係經由在氮之大氣中，熱乾燥予以製備* 5. 如申請専利範園第1至第3項中之任一項之方法，其 中在200β至800eC範園內之-溫度下，使有害氣饈與淸 潔劑接觸· 6. 如申請専利範園第1至第3項中之任一項之方法，其 中包含氧化亞錫作爲有效成份之淸潔剤另外包括一種 金屬氟化物作爲棋塑助劑· 7. 如申請專利範圃第6項之方法，其中淸潔劑中，氧化 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (诗先W讀背面之注$項再填寫本頁) 訂- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 亞錫：楔塑助劑的以重董計比率是在1: (0.001至0.6) 之範圍內· 8.如申請専利範園第6項之方法，其中金颺氟化物是氟 化鉀或氟化鉀與氟化鈣的聯合髗· 认如申請專利範園第8項之方_法，其中該金羼氟化物是 氟化鉀和氟化鈣的組合物f且淸潔劑中之氧化亞錫： 氟化鉀：氟化鈣的以重:ft計比率是1: (0.001至0.15) :(0.01至 0.60)。 ία如申請専利範圔第8項之方法，其中淸潔劑中之氧化 亞錫：氟化鈣的以重霹計比率是1 :至少0 · 05，及至少 在2 5 0 eC之溫度下使有害氣體與該淸潔胬接播》 11·如申諝専利範園第1至第3項中之任一項之方法，其 中該有害氣體是來自半導想製造裝置之廢氣* (請先W讀背面之注$項再填寫本頁) 訂-. 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）