TW385465B - Micromechanical electrostatic relay and a method for its production - Google Patents

Description

A7 B7 囊 經濟部中央標準局負Η消费合作社印裝 五、發明説明（ f ) 1 1 本 發 明 傜 有 關 一 種 微 機 械 式 靜 電 繼 電 器 9 其 中 含 有 ； 1 1 - Λ 有 基 底 電 極 和 至 少 一 値 穩 定 接 點 的 基 底 基 片 j 1 I —« ίΐΛΐΙ 1:端 連 結 承 載 層 以 連 接 在 基 底 基 Η 的 電 樞 簧 舌 且 '、 1 I 讀 1 上 有 一 個 電 樞 電 極 與 基 底 電 極 相 對 9 於 靜 止 狀 態 下 先 閱 1 I 是 有 TOO 性 地 彎 離 基 底 基 Η 而 形 成 楔 形 空 氣 縫 隙 > 而 讀 背 Kj 面 I 至 少 有 一 個 和 穩 定 接 點 相 對 的 移 動 接 點 是 套 在 其 白 之 注 I 由 j.ui 端 上 〇 另 外 9 本 發 明 傷 有 關 一 種 製 造 這 種 繼 電 器 意 事 1 項 的 方 法 〇 # 1 ) ^ 關 抟 術 說 明 寫 本 頁 1 這 種 微 挪 m 械 式 電 繼 電 器 以 及 適 當 的 製 造 方 法 其 原 理 已 '—- 1 掲 示 於 第 DE 4 2 0 5 0 2 9 C1號專利文件中。 此例中的基本 1 1 特 性 為 白 基 片 露 出 的 電 樞 3〇〇 W 簧 舌 9 其 彎 曲 方 式 是 電 樞 電 1 1 極 與 相 對 的 基 底 電 極 形 成 了 楔 形 空 氣 縫 隙 9 而 在 兩 個 電 1 訂 1 極 之 間 加 有 電 壓 時 ·»-〇- 洹 個 空 氣 縫 隙 在 所 謂 移 動 - 楔 板 原 理 的 基 礎 下 産 生 快 速 的 相 吸 蓮 動 〇 這 個 原 理 的 精 鍊 已 掲 1 I 示 於 第 DE 4 4 3 7 2 5 9 C 1號及第D E 44 3 7 2 6 1 C 1號專利 1 文 件 中 〇 1 | 1 於 所 有 這 具 微 機 械 式 結 構 的 習 知 繼 電 器 的 情 況 中 > 由 於 兩 値 基 片 亦 即 一 方 面 是 具 有 基 底 電 極 和 穩 定 接 點 的 1 1 基 底 基 片 而 另 一 方 面 是 具 有 電 樞 * 簧 舌 的 電 樞 電 極 必 須 1 分 開 製 造 而 後 連 接 在 一 起 9 故 牽 涉 有 相 當 高 的 製 程 難 度 1 〇 除 了 這 兩 锢 基 Η 的 主 要 功 能 組 件 之 外 9 也 牽 涉 了 例 如 1 | 用 於 絶 緣 層 鉛 線 之 類 的 澱 積 和 蝕 刻 程 序 〇 所 以 這 兩 個 1 1 基 片 中 的 每 一 個 都 必 須 在 它 們 的 主 要 功 能 層 可 以 作 互 相 I 面 對 連 接 之 前 E3C3 単 獨 接 受 所 有 的 複 雜 程 m Ο 由 於 也 有 意 保 1 1 護 切 換 組 件 使 不 受 環 境 的 影 響 > 雖 然 不 需 要 對 此 作 更 詳 1 I -3 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（（:NS ) Λ4規格（210X297公釐） 蠼 A7 B7 經滴部中央標隼局員工消费合作社印裝 五、發明説明 ( > ) 1: i 盡 的 說 明 9 但 是 規 則 下 會 需 要 有 額 外 的 覆 蓋 零 件 當 作 封 1 1 閉 組 件 〇 l 為 了 化 製 程 » 會 希 望 能 從 一 侧 形 成 繼 電 器 的 所 有 功 請 I 能 組 件 此 例 中 原 理 上 是 易 於 將 穩 定 接 點 和 具 有 移 動 先 閱 1 I 讀 1 接 點 的 w 簧 舌 形 成 於 某 一 相 同 的 基 片 9 其 中 例 如 可 以 將 背 1 I 之 .-λ] 穩 定 接 點 及 移 動 接 點 依 重 叠 於 另 一 锢 之 上 的 方 式 産 生 » 注 意 1 I 且 接 觸 縫 隙 可 以 藉 著 蝕 刻 掉 所 謂 犧 牲 層 而 形 成 〇 這 種 配 事 項 I 再 1 \ 置 的 原 理 是 掲 示 於 美 國 專 利 第 US -4 5 7 0 1 39 號 文 件 中 〇 4 I 裝 本 不 過 9 其 中 徹 微 械 式 切 換 器 的 情 況 是 在 電 植 彈 簧 舌 底 下 頁 1 1 製 作 了 未 經 準 確 定 義 的 空 腔 > 且 這 锢 空 腔 並 不 適 於 形 成 1 1 靜 電 驅 動 〇 其 中 切 換 器 的 情 況 ， 因 此 同 時 為 各 例 中 的 電 I 樞 彈 簧 舌 和 穩 定 接 點 準 m 將 要 提 供 的 磁 性 層 9 以 及 將 要 訂 透 過 外 加 磁 場 而 作 的 切 換 器 〇 卽 使 在 能 利 用 犧 牲 層 技 術 1 在 移 動 接 點 與 钢 性 的 穩 定 接 點 之 間 達 成 相 當 短 之 接 觸 縫 1 I 隙 的 情 形 下 » 也 能 以 這 樣 的 磁 場 産 生 必 要 的 接 觸 力 〇 不 1 1 過 9 為 了 垣 麼 做 必 需 以 額 外 的 元 件 例 如 線 圈 産 生 磁 場 9 1 | 這 在 某 m 用 中 所 佔 據 的 空 間 顯 箸 地 超 過 徹 機 械 式 繼 Φι 1 電 器 中 所 能 提 供 的 空 間 〇 1 I 發 明 總 沭 1 本 發 明 的 一 値 的 是 發 展 一 種 具 有 初 始 所 述 型 式 之 徹 ! 1 機 械 繼 電 器 的 設 計 使 得 即 使 在 靜 電 驅 動 下 也 能 産 生 較 大 的 接 觸 力 9 但 是 此 繼 電 器 的 功 能 組 件 可 以 利 用 來 白 某 一 1 側 的 作 用 而 産 生 於 基 底 基 Η 上 〇 1 I 根 據 本 發 明 » 達 成 這 -4 個 目 的 的 方 式 是 依 至 少 有 m 穩 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 五、發明説明（々 A7 B7 上層電 之載於 舌承成 簧到形 彈結是 6 ί 6 接端接 定一動 穩於移 的式個 對方一 相的有 舌樣少 簧這至 彈像且 樞依， 電是 Η 與下基 置態底 配狀基 是止—離 點靜性 接在彈 定，有 於 叠 重 並 舌 簧 彈 樞 電 該 越 超 起 突 其 使 端 由 自 〇 的上 舌點 簧接 彈定 樞穩 器基 電底 繼基 式於 械置 機配 徹地 的性 出銷 提再 前不 先點 與接 中定 況穩 情其 的是 明 ， 發反 本相 於器 此換 因切 及 允舌 故簧 0拜 ,¾ 上樞 舌電 簧於 彈落 的座 曲是 彎點 在接 落動 座移 般 〇 一 動 占靈 接換 動切 移的 像外 是額 而成 上達 片計 曲通 知自 習間 的期 舌換 簧切 彈於 的便 對以 相 ， 為行 互蓮 個度 兩過 。的 壘當 重適 點作 接許 定允 穩而 與此 且因 上度

Be 0 質 力成 觸形 接上 的片 期基 預底 生基 産於 能術 都技 上層 置牲 位犧 後用 最利 的在 樞是 電使 到即 始應 點效 接種 電這 空相 由上 自樞 的電 小時 常引 非吸 出極 造電 創反 下相 底受 榴生 電發 於為 能因 只能 且也 時下 舌況 簧情 彈的 樞間 會 越 超 行 RE S 度 過 的 定 特 而 小 很 。 成成 造逹 會而 只點 間優 空之 由置 自位 的伸 小延 當.其 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消费合作社印製 簧刻 彈蝕 點的 接同 定相 穩種 和一 舌某 簧以 彈此 樞因 電能 成並 形 ， 層利 載有 承別 的特 同會 相程 以製 能對 若則 舌 造 製 序 程 的 對 相 端 由 白 其 般只表 1 不的 齒以舌 牙可簧 像點彈 依接， 以動«' 可移到 舌的接 簧出連 彈突上 各致端 以一 ,於 起少 一 至 在且 合上 式端 方方 利後 有其 的於 接 式 橋 或 點 接 S 通 生 産 想 否 是 於 決 取 是 計 設 的 定 持 C ο 面點 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 五、發明説明（4 A7 B7 簧的 彈求 於要 用別 中値 況有 情具 該為 於成 ，而 料上 材其 佳·合 較接 的是 H或 基積 底澱 基是 於層 用載 是承 矽的 舌 ，更 地矽 代比 替料 可材 〇些 層這 質 ； 矽的 的成 上構 其瓷 置陶 配是 錯或 交璃 層玻 緣由 絶能 有可 及片 層基 能底 功基 便載 以承 理的 處舌 面簧 表彈 的成 外形 額。 要面 需表 會滑 瓷平 陶的 ，求 過要 不所 C構 益結 效器 - 電 本繼 成得 具獲 霉 構 〇 砂層 晶質 多矽 是雜 或攙 矽的 晶出 多露 積而 澱上 的圓 象晶 現矽 晶於 結合 再接 有能 具可 由者 是或 如 ， 例的 層成 〇鎳 成 ， 而鎳 造像 製用 序使 程以 散可 擴還 的外 内之 圓構 晶結 矽質 是矽 ,1½ —1 或種 晶這 磊 了 由除 以 ， 可地 層代 1 替 這可 構徵 屬特 金性 性彈 彈的 的好 類良 之有 鎳具 的料 物材 加其 添是 他素 其因 有的 具要 是重 或 、 層 金積 合澱 鐵的 - 成 驟 步 列 下 有 具 法 方 利 有 的 器 電 〇繼 性造 碎製 破而 的明 小發 很本 受據 遭根 且 加 施 層 ， 載上 承 Η 屬基 金底 的基 間的 空極 間電 中底 及基 層為 緣作 絶層 有屬 置金 配有 錯供 交提 將到 (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經？"部中央標準局員工消费合作社印製 為 互 端 由 白 其 且 結 連 上 端I 在 個 一 兩 於 成，少 形舌至 内簧舌 層彈簧 載的彈 承對此—. 於相這 面 表 部 頂 的 nnj f 它 在 會 内 方 地 些 定 穩 個1 有 供 提 少 至 上 端 由 ， 自 層舌 力簧 應彈 I 的 張短 抗較 有好 供最 提於 接 定 穩 住 蓋及 覆以 個 ， 一 層 有牲 提犧 少的 至置 上配 舌錯 簧交 彈及 的點 長接 較動 ，好移 點最的 接於點 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐〉 A7 B7 五、發明説明（r ) -會自基片向上離開的彈簧舌曲度是藉著蝕刻彈簧舌 使之互相釋放且自基片釋放出來。 這種製造方法的精鍊是掲示於申請專利範圍第14-16項 中。 三、圖式簡述 以下將在解釋用實施例的基礎下參照所附圖示對本發 明作更詳盡的說明。圖式簡單說明如下： 第1画、顯示的是根據本發明之徹機械式繼電器中基 本功能層線路圖的區段展示》 第2圖、顯示的是第1画中徹機械式繼電器在靜止位 置上最後狀態（没有外罩下）。 第3圔、顯示的是第2圖中繼電器在操作位置上的情 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的 器 電 繼 之 點 接 I ipr 通 成 形 中 圖 3 第 是 的 示 顯 ' 圖 4 第 的 用 使 但 示 圖 的 度 角 同 相 圖 4 第 和 是 的 示 顯 o f 示圖 圖 5 面第 平 型 變 的 例 施 實 之 置 配 點 接 式 。橋 例有 施具 實是 的的 點示 接顯 式 、 橋 _ 成 6 形第 是 經濟部中央標卑局貝工消费合作社印？木 樞 ipsr 在 是 但 圖 0 示層 展力 的應 圖 I 1 張 第抗 到有 應具 對方 是上 的段 示區 顯分 、部 圖的 7 舌 第簧 彈 Βηκ· 51 之 度 曲 同 不 有、 具 中 圖 2 第 到 應 對 是 的 〇 示 示 顯圖 、的 圖段 8 區 第舌 簧 上載 ，承 構的 結舌 膜簧 層彈 的於 得用 而而 正成 修構 圔.矽 1 日ΒΒ 第多 從由 是到 的上 示向 顯片 、基 圖底 9 基 第自 有 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） A7 B7 , 五、發明説明（P ) 層。 第10圖、顯示的是從第9圖修正而得的層膜結構，上 有由金Ϊ8構成而用於彈簧舌的承載層。 第11圖、顯示的是從第9圖和第10圖修正而得的層膜 結構，上有接合於基〜底基片上以成彈簧舌用的承載層。 第12圖、顯示的是以SOI晶圓的半成品修正而得的層膜 結構》 四、發明的詳細說明 首先，應提及所有的層膜展示都只是簡略地顯示了層 膜順序而不是各層的厚度比例。 龄佯甯瓶例的說明 經濟部中央標準局員工消費合作社印取 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1圖到第3圖顯示的是根據本發明以矽為基礎之徹 機槭式繼電器的功能性層膜結構。此例中，基底基H1 是由矽構成的。這個基底基Η同時用作基底電極；可替 代地，若必要時可以藉箸適當的攙雜而形成對應的電極 層。例如由氮化矽構成的絶緣層2是形成於基底基片之 上。稍後會蝕刻掉的第一犧牲層3則落在此絶緣層2上 。此第一犧牲層3例如是由二氧化矽構成的且其厚度最 好是小於〇.5yUBI。承載層4是落在犧牲層3之上以便形 成彈簧舌。此承載層呈電氣傳導且是由例如厚度為5-10 A a的多晶矽構成的。稍後會從這個承載層4蝕刻出電樞 彈簧舌41及穩定接點彈簧舌42。於層膜結構中，它們相 互之間最初是由第二犧牲層5分隔開。絶緣的抗張-應 力靥6是配置於兩個彈簧舌41及42上，一旦將彈簧舌蝕 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） € A7 B7 經濟部中央標隼局員工消费合作社印？木 五、發明説明 ( 7 ) 1 I 刻 而 脱 開 則 在 其 抗 張 - 應 力 的 優 點 下 令 各 彈 簧 舌 産 生 彎 1 1 離 基 底 基 Η 的 曲 度 〇 這 個 狀 態 顯 示 於 第 2 圖 中 〇 1 I 穩 定 點 7 是 利 用 適 當 的 澱 積 方 法 澱 積 於 穩 定 接 點 W '«V 請 1 I 簧 舌 42上 > 而 移 動 接 點 8 是 依 與 穩 定 接 點 7 重 叠 的 方 式 先 閲 1 | 1 形 成 於 電 樞 彈 簧 舌 4 1 白 由 端 上 > 其 間 交 錯 配 置 有 犧 牲 層 背 1 | 之 5 〇 必 要 時 可 以 改 變 切 換 接 點 的 厚 度 且 通 常 是 在 2- 1 0 μ m 意 1 I 之 間 變 化 〇 取 決 於 需 求 9 切 換 接 點 的 厚 度 和 組 成 材 料 也 事 項 1 | 再 1 1 S可 以 是 非 對 稱 的 〇 如 第 4 圖 所 示 > 兩 値 彈 簧 舌 41及 4 2 是 寫 本 装 像 牙 齒 般 地 相 互 接 合 9 使 得 彈 簧 舌 42上 的 中 央 突 起 44 頁 1 I 由 彈 簧 舌 4 1上 兩 個 橫 向 突 起 43依 鉗 子 方 式 圍 繞 住 〇 以 這 1 1 種 方 式 » 移 動 接 點 8 上 會 有 三 個 倒 邊 區 段 安 置 於 電 樞 彈 1 1 簧 舌 上 0 依 %-Χ. m 種 構 造 9 曰 形 成 具 有 穩 定 接 點 7 的 早 一 通 1 訂 電 接 點 〇 因 此 也 可 以 看 出 9 移 動 接 點 8 具 有 S- 形 或 是 Z- 1 型 的 截 面 以 確 保 與 穩 定 接 點 7 重 叠 〇 通 常 交 錯 配 置 之 1 I 犧 牲 層 2 的 厚 度 d 2是小於〇 .5 Μ 讯〇 1 1 其 他 的 必 要 層 是 由 已 知 方 式 形 成 的 » 例 如 接 到 穩 定 接 1 | 點 7 的 鉛 線 7 1 、 拉 到 移 動 接 Μ 8 的 鈴 線 8 1 及 另 一 絶 緣 層 8 以 利 電 樞 彈 簧 舌 頂 部 表 面 的 鈍 化 作 用 〇 1 1 第 2 圖 顯 示 的 是 藉 著 蝕 刻 掉 兩 個 犧 牲 層 3 和 5 而 露 出 1 W 簧 舌 的 fefs* 兀 整 配 置 > 其 中 在 電 樞 3〇〇 簧 舌 4 1底 下 有 一 個 白 I 由 空 間 3 1 Ο 如 上 所 述 » 兩 個 3ΒΒ W 簧 舌 4 1 及 4 2 會 因 為 抗 張 - 1 1 應 力 層 而 向 上 彎 曲 9 以 致 産 生 如 第 2 圖 所 示 具 有 開 放 接 1 | 點 的 配 置 〇 電 樞 彈 簧 舌 會 因 為 預 加 應 力 以 便 在 彈 簧 端 點 1 I 形 成 Μ 障 礙 的 開 Π X 1而彎曲。 -9- 依相同的方式， 穩定接點 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0X297公釐） A7 B7 _____________—-- _* 經滴部中央標準局員工消費合作社印^ 、發明説明（f ) 彈簧舌42在透過無障礙的開口 χ2的暴光之後會向上彎曲 。因此無障礙的接觸缝隙會變成 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) χκ = Xi -X2 +d2 且其趨近值為 χ κ = x1 -x2 必要時可以將這徧無障礙的接觸缝隙依電樞彈簧舌和 穩定接黏彈簧舌的幾何形狀、以及因層膜6在彈簧内造 成的抗張應力而加以設定。 第3圖顯示的是繼電器在關閉切換狀態下的情形》此 例中，電揠彈簧舌41是直接靜置於相對的電極上，&就 是說此彈簧舌恰好碰觸到相對電極或基底基Μ的絶緣層 2 «»故電樞彈簧舌會因第一犧牲層3的厚度亦即dl而向 下彎折。這會導致過度蓮行量 XU = X2 -d2 +dl 也就是說其趨近值為χνί+·=χ 這痼過度蓮行量與接點高度製造容忍度無關》 如上所述，第4圖顯示的是根據第1-3_中彈簧舌41及 42的平面圖示。可由此例中看出接點的形狀和配置，亦 卽彈簧舌42上突起44的穩定接點？以及逋接於彈簧舌41 上突起43三値钿面上的移動接點8。另外，用來蝕刻穿 過第一犧牲層3的孔洞柵1〇是依標示方式顯示出。 第5圖顯示的是由第4圖修正而得具有橋式接點的實 施例。此例中，彈簧舌42具有兩値分開的穩定接點7其 中在兩個外部突起46上具有對應之交互接〖點，彈簧舌41 會形成中央突起47而移動接點8則靜置其上。穩定接點 彈簧舌42中的狹缝42 a確保了高位準的扭轉彈性以便在等 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐）

W 經湞部中央標孪局員工消費合作社印製 A 7 、 B7 五、發明説明（9 )

量腐蝕的事件中令兩個接點能可靠地關閉。此實例的情 況下，這是用作橋式接點其方式是使之在兩側覆蓋住穩 定點7 L 也可以利用第6圖中的結構達成相同的效應。其中電 樞彈簧舌141上提供有中央突起147而兩側突出的移動接 點14 8則靜置其上〇這個移動接點14 8會和兩個穩定接點 1 44 , 1 4 5發生交互作用，這兩個穩定接點是座落在兩個分 開穩定接點彈簧舌142 ,143上。這些穩定接點彈簧舌142 ，143對電樞彈簧舌141而言是作橫向放置，也就是說它們 的箝入導線142a,143 a是與電樞彈簧舌141的箝入導線141a 呈直角。 為了使切換特徴最佳化，方便地在某些地方使電樞彈 簧舌彎曲如同第DE 44 37 260 C1號及第DE 4 4 37 26 C1 號專利文件中所掲示的。第7圖和第8圖中簡略地顯示 了製造期間及完成狀態下的構造，其中電樞彈簧舌是設 計成只呈部分地彎曲。與第1圖和第‘2圖作比較，主要 的差異是第7圖和第8圔中抗張-應力層61只在部分的 電樞彈簧舌141之上延伸，以致電樞彈簧舌的彎曲區6 2受 限於箝入點區域，而分區63的走向則是沿箸筆直線段或 是以相當小的曲度指向彈簧端點。於第7圖和第8圖的 展示中，不具内建應力的是絶緣層64展示在矽質的承載 層4上，且這個64會與具有來自彈簧舌之瀚線81的負載 電路形成直流（DC)隔離。而上述的抗張-蘸力層61是位 於這値絶綠層之上。 -1 1 - 本紙張尺度適W中國國家標隼（CNS ) Λ4规格（210X297公釐） ----I,-- ---------裝II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁.) 訂 A7 Β7 五、發明説明（π ) 可以使用習知的各種方法以製造上述所說明及展示的 層膜配置。例如，第9圖顯示的是以所謂添加技術將基

I 礎的層膜配置産生於基底基片1上。於此方法的情況中 ，各移動接點彈簧舌及它們的承載層是由只在製造期間 澱積於基片上的材料製造出來的。於第9圔的展示實例 中是以其組成為攙P型-矽的晶圓當作基Η。首先以η 型-擴散法（例如具有磷）將控制用的基底電極産生於這 個基片上；在於電極的η型-矽與基底基片的Ρ型-矽 之間形成空乏層12。施加絶緣層2及其上的犧牲層3並 於電極之上進行重組。承載層4是澱積於這層之上而其 厚_是例如5-10# ία。這個承載層4的組成是多晶矽或是 具有再結晶的多晶矽。彈簧舌的結構是利用習知覆罩製 造出來的。其餘的結構是製造成如第1圖所示。各種功 能層亦即落在負載電路與移動式驅動霄極之間的絶緣層 ,可能是額外的抗張-應力層並因此澱積出必要負載電 路的各交互接點。另外，上述接點是交錯配置第二犧牲 層以及用於交互接點之任何必要的鈍化絶緣層而製造出 的。 -决標準局員工消費告作社印製 (誚先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如同介言中的説明，也可使用其他的材料。例如，第1 〇 圖偽簡略地顯示其基片組成為玻璃的層膜結構。可替代地 ，其組成可以是具有絶緣層的矽基片或是作過適當表面處 理的陶瓷。呈金屬層形式的基底電極11是製造於此基片之 上。絶緣層2則位於這個金屬層上且這層之上是犧牲層3 。此實例中依電化學方式施加的金屬層是用作承載層，這 値金屬層的組合是鎳或鎳-合金（例如鎳-鐵合金）、或者 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29.7公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説印 ( (1 ) 1 1 是 其 他 的 金 屬 合 金 〇 重 要 的 因 素 是 這 金 屬 具 有 彈 性 特 徽 1 1 而 其 碎 裂 性 搔 小 〇 可 以 在 電 化 學 處 理 期 間 藉 箸 適 當 的 電 1 I 流 通 道 k 造 出 非 均 勻 的 鎳 質 層 ， 而 這 程 序 會 使 重 組 的 讀 1 1 彈 簧 舌 産 生 後 壤 的 曲 度 〇 其 餘 的 構 造 則 依 類 比 於 第 9 圖 先 閱 1 I 讀 1 及 第 1 圖 的 方 式 而 進 行 〇 背 1 1 用 以 製 造 繼 電 器 的 功 能 層 的 是 所 謂 遣 失 - 晶 m 技 術 〇 意 1 以 下 參 照 第 11 圔 簡 要 地 說 明 這 種 技 術 〇 此 例 中 > 使 用 兩 孝 項 1 I 再 1 1 、個 中 原 ， 始 首 的 先 基 將 片 由 雖 V- 然它們會從一値接受層膜處理。此實 型溝槽中凹下處蝕刻出的基底電極1 例 1加 寫 本 頁 装 1 到 基 底 基 Η 1 上 > 而 此 基 Η 的 組 成 是 矽 或 是 玻 璃 〇 絶 緣 1 1 層 2 是 位 於 洹 個 基 底 電 極 11之 上 〇 在 此 之 後 * 由 贏 晶 法 1 I 施 加 其 上 或 以 擴 散 法 製 造 出 具 有 攙 η - 矽 質 層 2 1的 第 二 晶 1 1 圓 2 0 是 依 電 鍍 方 式 接 合 到 已 經 重 組 的 基 底 基 Η 1 上 〇 之 1T 1 後 利 用 電 化 學 蝕 刻 阻 抗 從 頂 部 表 面 對 晶 圓 2 0 進 行 逆 蝕 刻 1 I 使 得 只 留 下 晶 晶 層 2 1 ， 而 將 這 m 裔 晶 層 當 作 用 於 移 動 彈 1 1 簧 舌 的 承 載 層 〇 將 遣 失 - 晶 圖 連 結 到 基 底 基 Η 的 步 驟 也 1 ! i可 以 在 没 有 犧 牲 層 3 (參見第1 圖）的 情 況 下 進 行 » 只 要 φ | 白 由 空 間 3 1可 以 在 沒 有 絶 緣 層 2 的 情 況 下 形 成 並 穩 固 地 1 1 接 合 在 攙 η - 矽 質 層 2 1 上 〇 1 最 後 也 是 在 此 實 例 的 情 況 上 » 對 負 載 電 路 組 件 的 組 織 I 是 依 類 bb 於 添 加 技 術 的 方 式 而 進 行 的 9 就 如 已 參 照 第 1 1 1 画 和 第 6 圖 的 説 明 一 般 0 因 此 9 例 如 用 以 '使 負 載 電 路 與 1 I 由 彈 簧 舌 4 1形 成 的 驅 動 電 極 之 間 形 成 ψ 緣 的 絶 緣 區 64在 I 1 必 要 的 延 伸 下 9 會 施 加 額 外 的 抗 張 - 應 力 層 6 1 X 負 載 電 1 1 -1 3- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標嘩（CNS ) Λ4規格（2丨0X 297公釐） 五、發明説明（ 織 組 行 1'進 8’序 71依 點並 接 8 互點 交接 的動 路移 A7 B7 點 接 定 穩 層 牲 犧二 第 及 以 需 必 用 作 緣 絶 的 化 鈍 因 若 識 知 的 上 驗 經 人 的 術 技 用 習 悉 熟 據 根 會 這 層 Ho 額成 各完 有而 另 的 構 結層 此質 出矽 造的 製上 明層 發緣 本絶 據1( 根so 的 圓 晶 謂 所 用 使 是 法 方 3 項2B 二 檬 這 以 是 的 示 顯 是 的 代 取 而 上 Η 基 於 積 澱 地 溯 追 不 偽 層 各 別 锢 中 例 S 實 的本 第 據 根 與 這 0 品 成 半 成 當 圓 晶 是 異 差 的 構 結 之 圖 其 構 結 膜 層 的 前 造 製、 - 2 有i I層 成絶 作匕sm2 國 01為 曰i成 so組 的其 樣如 這例 以中 氧二 為 成 組 其 如 例 其 而 成 構 層 晶 磊 的 矽 晶 結 由 及 以 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 電 钱 -Π9 負 0 上 1 Η 基 矽 於 置 配 是 4 層 、钱 3 i 承 層 生的 牲 m 犧 =一 一10 第5-的為 矽度 化厚 的| 術張 技抗 加的 添外 述額 上 、 於64 比區 類緣 依絶 上將 品下 成況 半情 傾此 這於 在 ， 是的 則行 織進 組而 的式 路方 6 層 層牲 力犧 應二 點 接 互 交 的 路 電 钱 •m- 可 負{ 點層 接緣 定絶 穩的 、 化 81鈍 1’的 ?點 接 互 交 作 當 也 能 壓 S 制 控 0 的 成 造 精 。結 層逑 能上 功由 個接 成直 織是 且 脍 00 功 點的 接器 動電 移繼 及 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 器用 電 Η 繼基 作此 操將 便時 以同 上上 極 1 電 Η 各基 在在 ΠΗ D 加加 而是 件画 組 2 接第 連據 的根 當說 適是 由就 經也 是，

極 電 底 基極 S 第- 據 根 是 者 或 的 離 隔 氣 電 呈 片 基 底 基 與 底作 基用 在時 加同 是在 例伽 施A 實以 的 ， _ 上 的： 芽 點 〇 接引 在吸 序的 程極 s SU I^sr QfST 充底 電基 靜到 。受 1 1 4 4 舌舌 簧簧 wp unp 樞樞 電電 的成 極造 霄會 樞果 電結 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 五、發明説明（Η A7 B7 結環之 的受互 示致相 展不位 所點單 中接換 圖各切 是護多 的保許 楚以的 清内示 很殼展 會外所 也於是 人裝的 的安及 術式提 技方該 用的應 習當 C 悉適# 熟依影 對是的 構境 個 I 於 置 配 以 可 且 0 上器 Η 電 基繼 的的 同重 相多 一 成 某形 於便 置以 配内 排殼 並外 以的 可用 間共 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾¾•部中央標準局員工消費合作社印？本 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A7 B7 #- 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（4 ) 參考符號說明 I .....基底基Μ 2,641.....絶緣層 3 .....第一犧牲層 4 .....承載層 5 .....第二犧牲層 6,61.....可伸張之應力層 7 , 1 4 4,1 4 5 .....穩定接點 8, 148.....移動接點 10.....孔洞檷 II .....基底電極 12.....空乏層 20 .....第二矽晶圓 21 .....η-摻雜之矽質層 3 1.....自由空間 41，141.....電揠彈簧舌 4 2,1 4 2,1 4 3 .....穩定接點彈簧舌 42a.....狹縫 4 3,4 4 , 4 6 .....突起 4 7,1 4 7 .....中央突起 6 2.....彎曲匾 7 1,81.....鉛線 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. %丄务4愚、補見丨 A8 B8 C8 D8 7-11-24 本年*曰補充 申請專利範圍 (87年11月修正） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 一種徹機械式靜電繼電器，其含有： -一個具有基底電極（1，11)和至少一個穩定接點（7)的 基底基Η ( 1), -一個電樞彈簧舌（41),其一端連結承載層（4)以連接 在基底基片，電樞彈簧舌（41)具有一個電樞電極（41) ，電擓電極（41)是與基底電極（1,11)相對，電樞彈簧 舌（4 1 )於靜止.狀態下是有彈性地彎離基底基Η (1)而 形成楔形空.氣缝隙，且至少有一個和穩定接點（7 )相 對的移動接點（8)是套在電樞彈簧舌（41)之自由端上， 其待徵是：至少有一値穩定接點（7)是配置於電樞 彈簧舌（41)相對的穩定接點彈簧舌（42)上，穩定接 點彈簧舌（4 2)在靜止狀態下是以電樞彈簧舌（41)的 方式於一端連結到承載層（4)且有彈性地彎離基底基 Η ( 1 ),以及 至少有一個移動接點（8)是形成於電樞彈簧舌（41) 的自由端使其突起超越該電樞彈簧舌（41)並重叠於 穩定接點（Ή上。 •如申請專利範圍第1項之繼電器，其中電樞彈簧舌（41) 和穩定接點彈簧舌（42)是從相同的承載層（4)形成的。 .如申請專利範圍第1或第2項之繼電器，其中至少有 一個移動接點（8)具有大概呈Ζ-形的横截面，其中有 一個端點異構邊緣是靜置於電樞彈簧舌（41)上且有一 個端點異構邊緣是大概平行於第一値重疊之：穩定接點 (7) 〇 17 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 、11 %丄务4愚、補見丨 A8 B8 C8 D8 7-11-24 本年*曰補充 申請專利範圍 (87年11月修正） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 一種徹機械式靜電繼電器，其含有： -一個具有基底電極（1，11)和至少一個穩定接點（7)的 基底基Η ( 1), -一個電樞彈簧舌（41),其一端連結承載層（4)以連接 在基底基片，電樞彈簧舌（41)具有一個電樞電極（41) ，電擓電極（41)是與基底電極（1,11)相對，電樞彈簧 舌（4 1 )於靜止.狀態下是有彈性地彎離基底基Η (1)而 形成楔形空.氣缝隙，且至少有一個和穩定接點（7 )相 對的移動接點（8)是套在電樞彈簧舌（41)之自由端上， 其待徵是：至少有一値穩定接點（7)是配置於電樞 彈簧舌（41)相對的穩定接點彈簧舌（42)上，穩定接 點彈簧舌（4 2)在靜止狀態下是以電樞彈簧舌（41)的 方式於一端連結到承載層（4)且有彈性地彎離基底基 Η ( 1 ),以及 至少有一個移動接點（8)是形成於電樞彈簧舌（41) 的自由端使其突起超越該電樞彈簧舌（41)並重叠於 穩定接點（Ή上。 •如申請專利範圍第1項之繼電器，其中電樞彈簧舌（41) 和穩定接點彈簧舌（42)是從相同的承載層（4)形成的。 .如申請專利範圍第1或第2項之繼電器，其中至少有 一個移動接點（8)具有大概呈Ζ-形的横截面，其中有 一個端點異構邊緣是靜置於電樞彈簧舌（41)上且有一 個端點異構邊緣是大概平行於第一値重疊之：穩定接點 (7) 〇 17 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 、11

   櫃牙 電以 4 中相 2 其互(4 ，端舌 器由簧 電自彈 繼的一 之2)某 項丨中 2舌況 第簧情 或彈各 1 點於 第接 ， 圍定起 範穩一 及在 1)合 (4接 舌狀 箸形 利 專 請 申 如 彈齒 上 有 ί 少起. 47至突 4,中的 4- \}# { 其 2 起且(4 突，舌 値合簧 一 接彈 另 在 會 舌 簧 ορ 値 接 定上 穩)J .個46 點 而 Π 凹 的 内 點點 接接 定動 穩移 於個一 置一 靜有 7)少 ί至 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (8)會延伸覆蓋住另'—個彈簧舌（41)中的凹口。 5 .如申請專科範圍第4項之繼電器，其中於延伸狀態下 依鉗子形式設計出之電樞彈簧舌（41)的端點區段（43) 會包含一於穩定接點彈簧舌（42)上設有固定接點（7)的 中央突起（44 >，且其中靜置於穩定接點（7)上的移動接 點（8 )會在兩侧自由地延伸於這個穩定接點（7 )之上。 (5.如申請專利範圍第4項之繼電器，其中於延伸狀態下 電樞彈簧舌（41)上的中央突起（47)會接合於兩個突起 (4 6 )之間，其中於穩定接點彈簧舌（4 2 )上設有穩定接 點Π)，且其中橋式移動接點（8)僳裝設於中央突起（47) 上並於兩側自由地延伸於這個穩定接點（7 )之上。 7.如申請專利範圍第4項之繼電器，其中電樞彈簧舌（141) 上的中央突起（147)設有兩側突出的橋式接點（148), 且其中兩個穩定接點彈簧舌（142, 143)各設有會與橋式 接點（1 4 8 )發生交互作用的穩定接點（丨4 4，i 4 5 ) β 8 ·如申請專利範圍第1或第2項之繼電器，其中彈簧舌 的承載層（4 )是一澱積於基底基片（丨）上而交錯配置有 部分蝕刻掉之犧牲層（3 )的層膜。 -1. 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） --------L--I 裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 #1

   櫃牙 電以 4 中相 2 其互(4 ，端舌 器由簧 電自彈 繼的一 之2)某 項丨中 2舌況 第簧情 或彈各 1 點於 第接 ， 圍定起 範穩一 及在 1)合 (4接 舌狀 箸形 利 專 請 申 如 彈齒 上 有 ί 少起. 47至突 4,中的 4- \}# { 其 2 起且(4 突，舌 値合簧 一 接彈 另 在 會 舌 簧 ορ 値 接 定上 穩)J .個46 點 而 Π 凹 的 内 點點 接接 定動 穩移 於個一 置一 靜有 7)少 ί至 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (8)會延伸覆蓋住另'—個彈簧舌（41)中的凹口。 5 .如申請專科範圍第4項之繼電器，其中於延伸狀態下 依鉗子形式設計出之電樞彈簧舌（41)的端點區段（43) 會包含一於穩定接點彈簧舌（42)上設有固定接點（7)的 中央突起（44 >，且其中靜置於穩定接點（7)上的移動接 點（8 )會在兩侧自由地延伸於這個穩定接點（7 )之上。 (5.如申請專利範圍第4項之繼電器，其中於延伸狀態下 電樞彈簧舌（41)上的中央突起（47)會接合於兩個突起 (4 6 )之間，其中於穩定接點彈簧舌（4 2 )上設有穩定接 點Π)，且其中橋式移動接點（8)僳裝設於中央突起（47) 上並於兩側自由地延伸於這個穩定接點（7 )之上。 7.如申請專利範圍第4項之繼電器，其中電樞彈簧舌（141) 上的中央突起（147)設有兩側突出的橋式接點（148), 且其中兩個穩定接點彈簧舌（142, 143)各設有會與橋式 接點（1 4 8 )發生交互作用的穩定接點（丨4 4，i 4 5 ) β 8 ·如申請專利範圍第1或第2項之繼電器，其中彈簧舌 的承載層（4 )是一澱積於基底基片（丨）上而交錯配置有 部分蝕刻掉之犧牲層（3 )的層膜。 -1. 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） --------L--I 裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 #1 請 、 六 第 圍 範利 專 請 Φ 如 層 戟 承 及 VU- 1X /IV- 片 ABCD 基 Η 底基 基底 中基 其中 ，其 器且 電.， 繼的 之成 項構 2 砂 第由 或是 是 或 矽 之 質 本 由 是 舌 簧 ofi· 樞 電 及 以 層 極 電 個 兩 的 内 的 成 構 矽 的 雜 摻 圍側 範 '其 利在 專各 請2) 4 申 ， 如41 分 部1 的 度 長 RJ ff 它 舌在 簧少 彈至 中.且 其向 ，方 器的 電 Η 繼基 之底 項基 2 開 第離 .或.朝 1面覆 第邊i 膜 層 的 力 應 張 伸 可 蓋 舌 簧 OS· 中 其 器 電 0 之 項 4 第 圍 範科 專 請 申 如. 長 «Ί f 它 在 少 至1) 6 且 ， 向(6 方膜 的層 Η 的 基力 底應 基張 開伸 離可 朝蓋 面覆 邊分 側部 其一 在的 各度 αρ 34 成 形 中 其 器 電 繼 之 項 2 第 或(4 1 層 第載 圍承 範的 利2) 專4’ 請41 /IV 申 如 具 是 或 矽 晶 多 的 出 積 澱 。 由的 是成 4)構 /1% 矽 晶 多 的 象 2 見 4 5 1ΘΒΒ 4- ί 結 舌再 簧 '有 第(4 圍層 範.載 利承 專的 請2) 4 申 > 如41 舌 簧 DDL 成 形 中 其 器 電 繼 之 項 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 晶 多 的 象 現 晶 結 再 有 具 是 或 矽 晶 多 的 出 積 澱。 由的 是成 丨構 第 或(4 1 層 第載 圍承 範的 利2) 專,4 請41 /V .$簧 0P 成 形 中 其 器 f I 繼 之 項 鎳 是 別 鎳 金 合 鐵 或 是是 待 層 屬 金 之 積 澱 學 化 電 由 金 合 屬 金 鎳 他 其 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第 圍 範 利 專 請 申 器 電 繼 之 項 中 其 舌 簧 DEL 層 =*s 承 勺 白 金 合 鐵 1 鎳 \ 鎳 是 別 特 層 〇 颶的 金形 之金 積合 澱屬 學金 化鎳 電他 由其 是是 4)或 第ί 圍層 範載 利承 專的 請2) 4 ， 如41 舌 簧 »&· 成 形 中 其 器 電 繼 之 項 是 別 特 層 屬 金 之 積 澱 學 化 電 由 是 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇X297公釐） 請 、 六 第 圍 範利 專 請 Φ 如 層 戟 承 及 VU- 1X /IV- 片 ABCD 基 Η 底基 基底 中基 其中 ，其 器且 電.， 繼的 之成 項構 2 砂 第由 或是 是 或 矽 之 質 本 由 是 舌 簧 ofi· 樞 電 及 以 層 極 電 個 兩 的 内 的 成 構 矽 的 雜 摻 圍側 範 '其 利在 專各 請2) 4 申 ， 如41 分 部1 的 度 長 RJ ff 它 舌在 簧少 彈至 中.且 其向 ，方 器的 電 Η 繼基 之底 項基 2 開 第離 .或.朝 1面覆 第邊i 膜 層 的 力 應 張 伸 可 蓋 舌 簧 OS· 中 其 器 電 0 之 項 4 第 圍 範科 專 請 申 如. 長 «Ί f 它 在 少 至1) 6 且 ， 向(6 方膜 的層 Η 的 基力 底應 基張 開伸 離可 朝蓋 面覆 邊分 側部 其一 在的 各度 αρ 34 成 形 中 其 器 電 繼 之 項 2 第 或(4 1 層 第載 圍承 範的 利2) 專4’ 請41 /IV 申 如 具 是 或 矽 晶 多 的 出 積 澱 。 由的 是成 4)構 /1% 矽 晶 多 的 象 2 見 4 5 1ΘΒΒ 4- ί 結 舌再 簧 '有 第(4 圍層 範.載 利承 專的 請2) 4 申 > 如41 舌 簧 DDL 成 形 中 其 器 電 繼 之 項 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 晶 多 的 象 現 晶 結 再 有 具 是 或 矽 晶 多 的 出 積 澱。 由的 是成 丨構 第 或(4 1 層 第載 圍承 範的 利2) 專,4 請41 /V .$簧 0P 成 形 中 其 器 f I 繼 之 項 鎳 是 別 鎳 金 合 鐵 或 是是 待 層 屬 金 之 積 澱 學 化 電 由 金 合 屬 金 鎳 他 其 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第 圍 範 利 專 請 申 器 電 繼 之 項 中 其 舌 簧 DEL 層 =*s 承 勺 白 金 合 鐵 1 鎳 \ 鎳 是 別 特 層 〇 颶的 金形 之金 積合 澱屬 學金 化鎳 電他 由其 是是 4)或 第ί 圍層 範載 利承 專的 請2) 4 ， 如41 舌 簧 »&· 成 形 中 其 器 電 繼 之 項 是 別 特 層 屬 金 之 積 澱 學 化 電 由 是 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇X297公釐） I I .:補_ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 鎳、鎳-鐵合金、或是其他鎳金屬合金形的。 17. 如申請專利範圍第1或第2項之繼電器，其中基底基 片U)是由矽或玻璃構成的，且其中形成彈簧舌（41，42) 的彈性層（4 )傜由矽晶圓（2 (3 )的矽質層（2 1 )(此層是接 合在基底基片上且是露出的）形成的。 18. 如申請專利範圍第9項之繼電器，其中基底基片 (1)是由矽或玻璃構成的，且其中形成彈簧舌（41， 4 2 )的彈性層.（.4 )偽由矽晶圓（2 0 )的矽質層（2 1 )(此 層是接合在基底基Η上且是露出的）形成的。 19. 一種微機械式靜電繼電器的製造方法，此種繼電器是 根據本發明申請專利範圍第1-13項所述者，本方法之 特徴傺如下列步驟： -將交錯配置有絶緣層（2 )及中間空間（3 1)而呈導電性 的承載層（4)施加到設有金屬層作為基底電極的基底 基片（1 )上， 、-於承載層（4, 21)内形成兩個在一端上相連結且其自 由端互為相對的彈簧舌， -這些彈簧舌（4 1，4 2 )至少於一些位置中在它們的頂部 表面設有可伸張之應力層（6，6 1 )， -於最好是較短的彈簧舌（4 2 )的自由端上設有至少一 個穩定接點（7 ), -於最好是較長的彈簧舌（4 1 )上設有至少一個重®於 穩定接點Π )的移動接點（8 )及交錯配置的犧牲層（5 ) 以及 -20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   I I .:補_ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 鎳、鎳-鐵合金、或是其他鎳金屬合金形的。 17. 如申請專利範圍第1或第2項之繼電器，其中基底基 片U)是由矽或玻璃構成的，且其中形成彈簧舌（41，42) 的彈性層（4 )傜由矽晶圓（2 (3 )的矽質層（2 1 )(此層是接 合在基底基片上且是露出的）形成的。 18. 如申請專利範圍第9項之繼電器，其中基底基片 (1)是由矽或玻璃構成的，且其中形成彈簧舌（41， 4 2 )的彈性層.（.4 )偽由矽晶圓（2 0 )的矽質層（2 1 )(此 層是接合在基底基Η上且是露出的）形成的。 19. 一種微機械式靜電繼電器的製造方法，此種繼電器是 根據本發明申請專利範圍第1-13項所述者，本方法之 特徴傺如下列步驟： -將交錯配置有絶緣層（2 )及中間空間（3 1)而呈導電性 的承載層（4)施加到設有金屬層作為基底電極的基底 基片（1 )上， 、-於承載層（4, 21)内形成兩個在一端上相連結且其自 由端互為相對的彈簧舌， -這些彈簧舌（4 1，4 2 )至少於一些位置中在它們的頂部 表面設有可伸張之應力層（6，6 1 )， -於最好是較短的彈簧舌（4 2 )的自由端上設有至少一 個穩定接點（7 ), -於最好是較長的彈簧舌（4 1 )上設有至少一個重®於 穩定接點Π )的移動接點（8 )及交錯配置的犧牲層（5 ) 以及 -20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -自基片向上離開的彈簧舌（4 1，4 2 )之曲度是藉著蝕刻 彈筈舌（4 1 , 4 2 )使之互相釋放且自基片U )釋放出來。 2 0 ·如申請專利範圍第1 9項之方法，其中導電性之具有兩 個彈簧舌（4 1，4 2 )的承載層（4 )之組成是由多晶矽或具 有再結晶現象的多晶矽構成的且是澱積於基底基片（1 ) 上，其中交錯配置的第一犧牲層（3 )、各接點以及彈簧 舌相互之間是由第二犧牲層（5 )分隔開的，且一旦將接 點設定後便將兩個犧牲層（3 , 5 )蝕刻掉。 2 1 .如申請專利範圍第1 9項之方法，其中組成為鏍或鎳-合金特別是鎳-鐵合金組成的彈簧舌（4 1 , 4 2 )結構是以 電化學方式澱積於組成為玻璃、陶瓷、或是矽而交錯 配置有第一犧牲層（3)的基底基Η (1)上，其中至少具 有一個穩定接點（7 )，且在第二犧牲層（5 )加到另一個 彈簧舌（41)之後會有重疊於穩定接點（7)上的移動接點 (8 )被設定在某一個彈簧舌（4 2 )上，而最後一旦將接點 設定後便將兩個犧牲層（3 , 5 )蝕刻掉。 2 2 .如申諉專利範圍第1 9項之方法，其中： -相對電極（11)及其中的絶緣層（2)都是澱積於組成為 矽或玻璃的基底基Η (1)上， -具有摻雜的矽質層（2 1 )(特別是磊晶層或擴散層）的 矽晶圓（2 0 )是當作彈簧舌層而接合到基底基片（1 )上， -在此之後，對晶圓（2 0 )進行回（b a c k )蝕刻直到只留 下摻雜的矽質層（21)，然後從這個矽質層蝕刻出兩 個彈簧舌（41,42)結構， -21- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Μ規格（2!0X29?公釐） (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f.

   經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -自基片向上離開的彈簧舌（4 1，4 2 )之曲度是藉著蝕刻 彈筈舌（4 1 , 4 2 )使之互相釋放且自基片U )釋放出來。 2 0 ·如申請專利範圍第1 9項之方法，其中導電性之具有兩 個彈簧舌（4 1，4 2 )的承載層（4 )之組成是由多晶矽或具 有再結晶現象的多晶矽構成的且是澱積於基底基片（1 ) 上，其中交錯配置的第一犧牲層（3 )、各接點以及彈簧 舌相互之間是由第二犧牲層（5 )分隔開的，且一旦將接 點設定後便將兩個犧牲層（3 , 5 )蝕刻掉。 2 1 .如申請專利範圍第1 9項之方法，其中組成為鏍或鎳-合金特別是鎳-鐵合金組成的彈簧舌（4 1 , 4 2 )結構是以 電化學方式澱積於組成為玻璃、陶瓷、或是矽而交錯 配置有第一犧牲層（3)的基底基Η (1)上，其中至少具 有一個穩定接點（7 )，且在第二犧牲層（5 )加到另一個 彈簧舌（41)之後會有重疊於穩定接點（7)上的移動接點 (8 )被設定在某一個彈簧舌（4 2 )上，而最後一旦將接點 設定後便將兩個犧牲層（3 , 5 )蝕刻掉。 2 2 .如申諉專利範圍第1 9項之方法，其中： -相對電極（11)及其中的絶緣層（2)都是澱積於組成為 矽或玻璃的基底基Η (1)上， -具有摻雜的矽質層（2 1 )(特別是磊晶層或擴散層）的 矽晶圓（2 0 )是當作彈簧舌層而接合到基底基片（1 )上， -在此之後，對晶圓（2 0 )進行回（b a c k )蝕刻直到只留 下摻雜的矽質層（21)，然後從這個矽質層蝕刻出兩 個彈簧舌（41,42)結構， -21- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Μ規格（2!0X29?公釐） (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f.

   38SIS5 六、申請專利範圍 -然後至少將一値穩定接點（7 )設定在某一個彈簧舌 (4 2〉上， -然後至少將一値重蠱於穩定接點（7 )上的移動接點 (8)設定在具有交錯配置之犧牲層（5)的另一個彈簧 舌（41)上，以及 -最後將犧牲層（5 )蝕刻掉。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本f) -笨. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

   38SIS5 六、申請專利範圍 -然後至少將一値穩定接點（7 )設定在某一個彈簧舌 (4 2〉上， -然後至少將一値重蠱於穩定接點（7 )上的移動接點 (8)設定在具有交錯配置之犧牲層（5)的另一個彈簧 舌（41)上，以及 -最後將犧牲層（5 )蝕刻掉。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本f) -笨. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）