TW381365B - Control method of exciting a pulse laser and power supply unit for exciting a pulse laser - Google Patents

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TW381365B TW087112090A TW87112090A TW381365B TW 381365 B TW381365 B TW 381365B TW 087112090 A TW087112090 A TW 087112090A TW 87112090 A TW87112090 A TW 87112090A TW 381365 B TW381365 B TW 381365B
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Yoshihide Kinbara
Shinji Sato
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Mitsubishi Electric Corp
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Description

A7 B7 五、發明説明( 1 ) 發 明 7 枝 術 範 阐 本 發 明 為 > 有 闞 於 脈 衝雷 射 激 勵 控 制 方 法 -t 及脈衝雷射 激 勵 用 電 源 裝 置 , 尤 其 有 關於 利 用 放 電 電 灯 、雷射二極 體 等 之 激 勵 裝 置 9 激 勵 雷 射媒 體 振 盪 雷 射 光 之雷射裝置 之 脈 衝 雷 射 激 勵 控 制 方 法 及脈 衝 雷 射 激 勵 用 電 源裝置者。 件 技 術 第 16圖 為 » 表 示 Μ 往 之雷 射 激 勵 用 電 源 裝 置之雷射二 極 體 激 勵 固 體 雷 射 裝 置 〇 雷射 激 勵 用 電 源 裝 置 100為,經 由 電 流 設 定 器 102所設定之電流值之電流, 同步於基準發 信 器 104所輸出之基準脈衝信號( 雷 射 電 源 輸 出 信號)而向 激 勵 裝 置 之 雷 射 二 極 體 1 0 6輪出。 雷 射 二 極 體 106為經由通電流输出激勵光線而激勵YAG 桿 等 之 固 腊 雷 射 媒 體 108 , 固體雷射媒體108 由 後方配置之 全 反 射 鏡 112與前方( 輸 出 側)配置之半反射顏1 1 4組成之光 共 振 器 116K脈衝輸出雷射。 第 17 回 圃 (a )〜( C)為 表 示, 第 16 圖 所 示 之 歩之電源裝 置 之 電 源 輸 出 波 形 與 雷 射 輸出 波 形 〇 第 17圖 (a )為表TfC電 流 設 定 器 102之電流設定值PI低之情況之電源輸出波形, 第 17圖 (b)為表示電流設定器1 02之 電 流 設 定 值 P I高之情況 之 電 源 輸 出 波 形 * 第 17 固 圖 (c)之符號1^為\表示電流設定值 pm 之 情 況 之 雷 射 輸 出 波 形, 符 號 Lb為 表 示 電 流設定值P I 高 情 況 之 雷 射 輸 出 波 形 〇 在 Μ 往 之 雷 射 激 勵 用 電源 裝 置 * 電 源 輸 出 波形為,如 第 17圖 (a)、 (b) 所 示 t 不 論電 流 設 定 值 P I 之 大 小成為單純 閱 面 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 本紙張尺度诚州中國國家標率(CNS ) Λ4規格(210X 297公漦) 399 1 1
I 經濟部中央標率局g(工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明(2 ) 之一個矩形波形,亦即Ml個脈衝電流設定值PI為一定之 波形。 發明待解決少甜頴 K往之雷射激勵用電源裝置為,由具有單純之一個矩 形波形(由一個脈衝電流設定值PI為一定)使電流脈衝輸出 ,因此電流設定值PI低時.雷射輸出為,在第17圖(C)中 由符號La所表示,對於增源麵、取(雷射輸出信號)之雷射輸 , 出之上昇之延遲Da很大,大約需〃要50〜70tfs。 此種擊遲崎,經由提高電流設定值,可以對應於其設 定值而減小,但是即使將電流設定於相當高值(2〜3倍), 雷射輸出如第17圖(c)中Μ符號Lb所示,延遲Db無法縮短 至20〜30/usK下。 再者,不論為如何之電流設定值,f射輸迷達到穩定 狀態為止#昇之時間Ta、Tb為,如第17圖(c)所示,以一 次延遲性增加,仍無法避免需要100〜200ms程度之時間 。 做為雷射加工用,使用脈衝雷射輸出之情況下,做 為典型之加工條件,分別選擇脈衝頻率為1kHz,任務( duty)為10〆時,脈寬成為100WS,該脈寬則相當於第17 圖(c)之時間t。該加工條件為,在電流設定值PI低之情況 為,幾乎無法獲得雷射輸出La,在電流_定值PI高之情況 下,仍無法獲得穗定狀態之雷射輸出Lb,輸出波形則成為 三角波之波形。由於此,在K往之電源裝置,提高脈衝頻 率,假如任務設定於低值時,使用於截斷加工時其加工特 性惡化。 本紙張尺度適用中國國家標埤((’NS ) Λ4規格(210X 297公釐) 2 399 1 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局|工消t合作社印製 A7 B7 - J - 1 五、發明説明(3 ) 如 刖 所 述 P 在 於 往 之 雷 射 激 助 用 電 源 裝 置 為,具有 Aw m 法 獲 得 雷 射 輸 出 之 高 速 響 應 * 在 梪 脈 衝 加 工 之 情況無法. 具 有 正 確 之 脈 衝 雷 射 輸 T7T* 出 之 問 題 〇 本 發 明 為 f 為 解 決 前 所 述 問 題 而 創 作 者 其 目的在於 提 供 » 對於雷射電源_出信號無雷 时 輸 出 上 昇 之 延遲,可 Μ 快 速 到 達 常 態 輸 出 » 改 善 脈 衝 輸 之 響 懕 性 之 脈衝雷射 激 勵 控 制 方 法 及 脈 衝 雷 射 激 勵 用 電 原 裝 置 者 〇 解 決 問 嗣 方 法 為 達 成 A.八 月II 述 巨 的 本 發 明 之 脈 雷 射 激 勵 控 制方法為 $ 在 於 利 用 放 電 或 電 灯 或 雷 射 蛋 體 等 激 勵 裝 置激勵雷 射 媒 體 Μ 振 通 雷 射 光 之 雷 射 裝 置 之 睡 衝 雷 射 激 勵 控制方法 中 , 由 雷 射 輸 出 信號成為0N之瞬至 雷射輸出信號成為0N為 止 之 期 間 對 於 前 述 激 勵 裝 置 施 行 第 1激勵強度之激勵,由 雷 射 輸 出信號成為0Ν之瞬後 至 雷 射 输 出信號成為JFFK前 之 預 定 時 間 點 為 止 之 期 間 對 於 月U 述 敷 勵 裝 置 由第2激鼬強 度 施 行 激 勵 9 由 第2激勵強度之通電 流之終了時間點至雷 射輸患信號成為OFF為止之期間對於 前述激勵裝置_行第 3激勵強度之激勵者。 次 一 發 明 之 脈 衝 雷 射 激 勵 控 制方 法 為 9 刖 述 1激勵強 度 為 與 雷 射 輸 出 信 號 同 時 上 昇 之 雷射 輸 串 所 需 要 之能量之 量 者 〇 次 — 發 明 之 脈 衝 雷 射 激 勵 控 制方 法 為 前述第+激勵 " i請先閱#.#面之注意事項再填寫本頁) 強度為比較前述第2激勵強度為高之激勵強度,前述第2激 勵強度所引起之雷射輸出為,成為前述第3激勵強度所引 本纸張尺度適用中國國家標準(('NS ) Λ4規格(210X297公釐) 3 399 1 1 ---— —訂 A7 A7 經濟部中夾標準局吳工消费合作社印製 4 399 1 B7 _ 五、發明説明(4 ) 起之雷射輸出之穩定值之同一值為止之期間内輸出者。 次一發明之脈衝雷射激勵控制方法為,前述第1激勵 強度為略低於開始雷射振盪之強度之值者。 再者,為逹成前述目的,本發明之脈衝雷射激勵用電 源裝置為,在於利用放電或電灯、或雷射二極體等激勵裝 置激勵雷射媒體K振盪雷射光之雷射裝置之脈衝雷射激勵 用電源裝置中,具有輸出第1激勵強度之寶1寧源裝置,以 及輸出第2激勵強度之第1露源裝置,K及輸出第3激勵強 度之第3電源裝置等,前述第1電源裝置為自基準發信器輸 出之基準脈衝信號之上昇至對於基準脈衝信號具有時間延 遲之第1時間延遲信號之上昇為止之期間動作,前述箏2電 源裝置為自前述第1時間延遲信號之上昇至對於該第1時間 延遲信號具有時間延遲之第2時間延遲信號之上昇為止之 期間動作,前述第3電源裝置為自前述第2時間延遲信號之 上昇至前述第1時間延遲信號之下降為止之期間動作,並 且將前述第1電源裝置與前述第2電源裝置與前述第3電源 裝置之合成輸出向前述激勵裝置供給f。 次一發明之脈衝雷射激勵裝置為,前述第1電源裝置 與前述第2電源裝置與前述第?電源裝置分別對於各電流設 定器之設定值並聯接線於直流電源,前述第1電源裝置與 前述第2電源装置與前述第3電源裝置為,具有含有接線於 直流電源之正極側之定電流供給用之開關動作元件與二極 體之串聯趙,由此將對於接線於該開關動作元件與該二極 體之接線點之電抗器之電流控制於一定值之定電流供給部 ^紙張尺度適用中國國家標埤(('NS ) Λ4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 A7 經濟部中史標準局员工消费合作社印製 B7 五、發明説明(5 ) ,Μ及含有接線於直流電源之正極側之二極體與輸出啟斷 控軸用之開闞動作元件之串聯體,而對於該開關動作元件 與該二極體之接線點接線前述電抗器之輸出啟斷部等,由 前述輸出啟斷部對做為激勵裝置之雷射二極體供給激勵能 童者。 為達成前述目的,本發明之脈衝雷射激勵用電源裝置 為,在於利用放電或電灯、或雷射二極體等之激勵裝置雷 射媒體Μ振盪雷射光之雷射裝置之脈衝雷射激勵用電源裝 置中,具有一個電源裝置,以及設定第i激勵強,度之第i電 流設定器,K及設定第2激勵強度之第2電流設定器,Μ及 設定第3激勵強度之第3電流設定器等,具有選擇前述第1 〜第3電流設定器中之一個接線於前述電源裝置之開關, 經由前述開關之切換動作,前述第1電流設定器為自基準 發信器輸出之基準脈衝信號之上昇至對於基準脈衝信號具 有時間延遲之第1時間延遲信號之上昇為止之期間接線於 前述電源裝置,前述第2電流設定器為自前述第1時間延遲 信號之上昇至對於該第1時間延遲信號具有時間延遲之第2 時間延遲信號之上昇為止之期間接線於前述電源裝置,前 述第3電流設定器為自前述第2時間延遲信號之上昇至前述 第1時間延遲信號之下降為止之期間接線、於前述電源裝置 者。 再者,為達成前述目的,本發明之脈衝雷射激勵用電 源裝置為,在於利用放電或電灯、或雷射二極體等激勵裝 置激勵電射媒體以振盪雷射光之雷射裝置之脈衝雷射激勵 本紙張尺度適州中國國家標卒((’NS ) Λ4規格(210 X 297公釐) ς 〇QQ1 ι (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 ____B7_ 五、發明説明(6 ) 用電源裝置中,具有輸出第1激勵強度之第1電源裝置,以 及輸出第3激勵強度之第3電源裝置等,前述第1電源裝置 時 準 1 基第 之 之 出遲 輸延 器間 信.時 發有 準具 基號 自信 為衝 脈 準 基 於 對 至 昇 上 之 號 信 0 脈 遲 延 間 時 有 具 更 號 信 遲 延 間 號時,_ 信 15: 遲I 延ί ^ 0 β 自 下 時 2 為之 第置號 之裝信 為信 昇遲 上延 之間 作 肋 間 期 源遲 電MM 3 Smg 述 1 源 前第電 ,述II:U » Μ ^ ί月 間昇 Ϊ ί ^ 將 W ±且 之之 έ 止號t 者 給 供 置 裝 勵 激 述 前 向 出 輸 成 合 之 置 裝 源 電 / 3 者 第再 述 前 的 巨 述 前 成 達 為 電 用 勵 fr-Λ 薄 射 雷 5 脈 之 明 發 本 裝勵 勵激 激射 等雷 體衝 棰脈 二 之 射置 雷裝 或射 , 雷 灯之 電光 或射 8 雪 放盪 用振 利 Μ 於體 在媒 , 射 為雷 置勵 裝激 源置 置 裝第 源出 電輸 用及 中 激 3 電第 1 述 0 ίlm酣 度 ’ 等 強Ϊ 勵置 tl裝 第電 有之 具 強 勵 置 裝 源 置 裝 源 電 置開 設述 與前 件於 元對 作 , 動體 關聯 S.TTtt 11°: 之之 側體 極 極 正 二 之之 源側 電 極 流正 直之 在源 置電 設流 有直 具述 » 前 為在 作準 β 基 ττ\ι 闞於 開對 , 至 器昇 抗上 電之 線號 接信 點衝 線脈 接準 之基 體之 極出 二輸 述器 前信 與發 件準 元基 作由 動件 關元 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標率局負工消费合作社印製 時 之 遲 延 間 時第 有述 具前 號 , 信ΟΗ 衝,為 脈成 8 3 間 期 之 止 為 昇 上 之 號 信 遲 延 至 昇 上 之 號 信 遲 延 間 時 述 前 由 置 裝 源 作 勖 間 期 之 止 為 降 下 之 號 信 遲 延 間 時第 該述 S 3 前 與 器 抗 電 述 前 者 給 供 置 裝 勵 激 述 前 向 出 輸 成 合 之 出 輸 之 置 裝 源 激 1 第 述 前 量 bfc 育 之 要 需 , 所 為' 昇 置上 裝時 源同 電號 用信 勵出 激輸 射 射 雷雷 衝與 脈出 之輸 明射 發雷 1 為 度 強 勵 本纸張尺度適州中國國家標率((:NS ) Λ4規格(210X297公釐) 6 39 9 1 1 A7 B7 五、發明説明(7 之量者。 次一發明之脈衝雷射激勵用電源裝置為,前述
勵強度為比較前述第3激勵強度為高之激勵強度,前述第 2激勵強度之雷射輸出為一直到成為前述第3激勵強度之雷 射輸出之穩定值之同一值為止之期間輸出者。 次一發明之脈衝雷射激勵用電源裝置為,前述第1激 勵強度為略低於開始雷射振盪之強度之值者。 發明之啻施例 K下,參照附圖詳细說明本發明之脈衝雷射激勵控制 方法及脈衝雷射激勵用電源裝置之實施例。並且,K下所 說明之本發明之實施例中同於前述之以往例之構成部分, 附加前逑之Μ注例之符號之相同符號而省略其說明。 實淪例1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 訂 經滴部中央標準局員工消費合作社印製 第1圖為,表示本發明之雷射激勵用電源裝置之實施 例1。該雷射激勵用電源裝置為,具有第1電源裝置1與第 2電源裝置3與第3電源裝置5,各電源裝置1、3、5所輸出 之電流之並聯合成電流(1)向雷射二極體106供給。 在於第1電源裝置1、第2電源裝置3、第3電源裝置5分 別接線電流設定器7、9、11,並且第1電源裝置1、第2電 源裝置3、第3電源裝置5分別由電流設定$器7、9、11涸別 設定峯值電流值。 第1電源裝置1為由電流設定器7設定峯值電流值Μ輸 出第1激勵強度Ιι,第2電源裝置3為由電流設定器9設定峯 值電流值K輸出第2激勵強度12,第3電源裝置5為由電流 本紙張尺度適用中國國家標準(rNS ) Λ4規格(210 X 297公釐) 39 9 1 1 經濟部中央標隼局貞工消f At作社印製 A7 B7 五、發明説明(8 ) 設定器11設定峯值電流值以輸出第3激勵強度13。 基準發信器104為,與K往裝置同等者,基準發信器 104所輸(出之預定頻率,預定任務(duty)之基準脈衝信號 為,向第1延時元件13,第2延時元件15,反相器元件( . inverter ) 17、19,第 1 〜第 3AND 閛極元件 21、23、25 等所 構成之埵輯電路27輸入,然後由埵輯電路27向各電源裝置 1、3、5供給。 第1AND閘極元件21為,輸出第1電源裝置所需要之電 源輸出信號者,將基準發信器104之輸出信號(基準脈衝信 號)a與通過第1延時元件13後之第1時間延遲信號b之反轉 信號c之邏輯積信號d做為電源輸出信號向第1電源裝置1輸 出。第1時間延遲信號b為對於基準脈衝信號a具有第1延時 元件13所決定之時間延遲之信號。 第2AND閘極元件23為,將第2電源装置3所需要之電源 輸出信號向電源裝置1輸出者,由此將通過第1延時元件13 後之第1時間延遲信號b與通過第2延時元件15後之第2時間 延遲信號e之反轉信號f之邏輯積信號g做為電源輸出信號 向第2電源裝置3輸出。第2時間延遲信號e為對於第1時間 延遲信號b更具有由第2延時元件15所決定之時間延遲之信 號。 ,, 第3AND閘極元件25為,第3電源裝置5所需要之電源 輸出信號向電源裝置1輸出者,由此將通過第1延時元件 13後之第1時間延遲信號b與通過第2延時元件15後之第2時 間延遲信號e之邏輯積信號h做為電源輸出信號向第3電源 本紙張尺度適用中國國家標卒((:NS ) Μ規格(210X 297公釐) 8 39 9 1 1 --j -- ^- 1.---衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ d 經濟部中央標率局貝工消费合作社印?水 A7 B7 五、發明説明(9 ) 裝置5輸出。 其次,參照第2圓(a)〜(f)所示時序圖說明上述例之 雷射激勵用電源裝置之動作。並且,第2圖中,(a)為表示 基準發信器104之輸出信號a, (b)為表示通過第1延時元件 13後之第1時間延遲信號b, (c)為表示第1時間延遲信號b 之反轉信號c, (d)為表示第1電源裝置1所需之電源輸出信 號d,(e)為表示通過第2延時元件15後之第2時間延遲信號e ,(f)為表示第2時間延遲信號e之反轉信號f, (s)為表示 第2電源裝置3所需之電源輸出信號g, (h)為表示第3電源 裝置5所需之電源輸出信號h, (i)為表示由第1〜第3電源 裝置1、3、5施加於雷射二極體106之合成電流i, (j)為表 示雷射輸出波形。 第1電源裝置1之電源輸出信號d為,由基準發信器104 之輸出信號a之上昇至第1時間延遲信號b之上昇為止之期 間成為高位準(hUh level)信號,該信號之第1電源裝置 1之動作時間Τι為由第1延時元件13所決定之延遲時間〇1決 定。 第2電源裝置3之電源輸出信號g為,由時間延遲信號d 之上昇至另一第2時間延遲信號e之上昇為止之期間成為高 位準之信號,該信號之第2電源裝置3之動作時間T2為由第 2延時元件15所決定之延遲時間D2決定。 第3電源裝置5之電源輸出信號h為,由第2時間延遲信 號e之上昇至時間延遲信號b之下降為止之期間成為高位準 之信號,該信號之第3電源裝置5之動作時間T3為由電源輸 本紙張尺度適州中國國家標率(('NS ) Λ4規格(210 X 297公釐) g 399 1 1 i -φί_ ~士^^ tn^i u /-、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局男工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明(ι〇) 出信號d之ON時間與第1延時元件13及第2延時元件15所決 定之延遲時間D!、D2所決定。 設如將第1〜第3電源裝置1、3、5各自之電流設定器 7、9、11所設定之激勵強度(電流量)合成時,向雷射二極 體106供給之電流成為i,第1時間延遲信號b成為脈衝信號 之基準時,亦即,第1時間延遲信號b做為雷射輸出信號處 理時,雷射輸出之上昇延遲為,經由調整第1電源裝置1之 動作時間!^與第1激勵強度It,亦即調整第1電源裝置1之 激勵能量而可K成為零。Μ動作而言,昇高第1激勵強度 Ιι時,延遲有減少之趨向。 雷射輸出最初之急峻上昇h為愈提高第1激勵強度Ii 時有愈昇高之趨向。由於此,為提高最初之急峻上昇Li, 須設法提高第1激勵強度Ιι,第1電源裝置1之動作時間Ti 則隨之而縮短設定,由此在第1時間延遲信號b之上昇之同 時可Μ獲得高雷射輸出之上昇。 第1激勵強度Ιι之高度與動作時間Ti (延遲時間Di)為, 存在互相相反之關係,設如昇高第1激勵強度Ιι時,延遲 時間Di縮短。最初之急峻上昇Li為,大約與第1激勵強度 Ιι之高度成正比,視雷射振盪器之構成有所不同,但大約 可Κ獲得第1激勵強度Ιι之雷射輸出之穩、定值之1/3程度之 輸出。 在最初之急峻上昇後,由第2電源裝置3Κ第2激勵強 度12激勵而獲得媛慢之雷射輪出之上昇L2,在到達第3激 勵強度13之穩定輸出值L3之時間點,由激勵強度12切換 本纸張尺度適用中國國家標率(CNS ) Λ4規格(2】0X 297公釐) j 〇 3 9 9 1 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ;裝. 訂 經消部中央標隼局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明(11) 為第3激勵強度13,換言之,由第3電源裝置5M第3激勵強 度13激勵,由此即可以由第2圖(j)所示之波形獲得雷射輸 出。亦即,最為快速到達第3激勵強度13之穩定輸出L3, 使其可Μ成為接近於矩形輸出之波形。雷射輸出之緩慢上 昇L2為可Κ經由提高第2激勵強度12而使其加快。 其次,參照第3圖(a)〜(c)施行雷射輸出之評價。並 且,(a)為表示通過第1延時元件13後之第1時間延遅信號 b, (b)為表示由第1〜第3電源裝置1、3、5向雷射二極體 106供給之合成電流i, (c)為表示雷射輸出波形。 Μ往之雷射激勵用電源為,雷射輸出為第3圖(c)中由 虛線表示之輸出波形,但是依據本發明之雷射激勵用電源 時,可Μ改善為第3圖(c)中實線表示之輸出波形。尤其, 設如將第1激勵強度h、第2激勵強度12對於第3激勵強度 I3K2〜3倍高值設定時,成為最初之急峻上昇Li提高,媛 慢之雷射輸出之上昇L2之上昇速度快速,亦即到達穩定輸 出值之時間T比較Μ往裝置之Ta非常縮短,因此在雷射加 工時即使由高的頻率,低的任務加工時雷射輸出不致於降 低,由此可Μ獲得加工性能很高之雷射輸出波形。 第4圖為,本發明之雷射激勵用電源之雷射輸出波形 與Κ往之雷射激勵用電源裝置之雷射輸$波形加Κ比較者 。第3激勵強度13低時之輸出波形由La改善為Li,第3激勵 強度13高而任務低時之輸出波形由Lb改善為Lh。任一波形 為,即使向雷射二極體供給之平均電力相同,由高值輸出 、低值任務之情況其雷射輸出波形之改善度非常高。 ^紙張尺度適用中國國家標率(('NS ) Λ4規格(210 X 297公釐) ι 1 399 1 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
f IJ 一 —^ϋ nn ml ^^^^1 ΙΥ-·> IV 、-°ζΊί 經濟部中央標率局員工消贽合作社印製 A7 B7 五、發明説明(12 ) 第5圖(a)〜(c)為表示注重於此種雷射輸出之上昇波 形之改善時之控制特性。並且,即使在第5圖中,(a)為表 示通過第1延時元件13後之第1時間延遲信號b, (b)為表示 由第1〜第3電源裝置1、3、5向雷射二極體106供給之合成 電流i, (c)為表示雷射輸出波形。 在第5圖(a)〜(c)所示控制特性,由於由最初之上昇 L3成為激勵強度13之穩定輸出值之大約相奪值之方式設定 第1激勵強度Ιι(第3激勵強度13之3倍程度)者,因此上昇 可Μ大約成為完全之矩形形狀,即使在高頻率之低任務下 ,亦可Μ供給很高加工能力之雷射輸出。此種情況下,第 2激勵強度12成為零或非常短時間者。 第6圖(a)〜(c)為表示注重於雷射輸出波形之上昇波 形之改善時之控制特性。第6圖(a)〜(c)所示之控制特性 為,可Μ輸出高於第3激勵強度13之穩定輸出值L3之雷射 輸出Lp之方式,使第2激勵強度I提高,第2激勵強度12之 通電流時間T2延長者,由此可Μ使波形上昇時之峯值由高 值設定。此種波形之雷射輸出為,對於高反射材料之雷射 加工有其效用,结果可Κ提供加工性能甚高之雷射輸出波 形。 第7圖(a)〜(c)為表示其他控制特性(。本例為使第1激 勵強度Ii設定於略低於臨限(threshold)(開始雷射振盪之 激勵強度)強度之值。此種情況下,第1激勵強度Ιι之通電 流時間^之期間為並無雷射輸出,亦無時間之限制,由臨 限位準激勵所需之穩定時間為200ws程度以上時,並不必 本紙張尺度適川中國國家標埤(CNS ) Λ4規格(2丨0 X 297公釐) j 2 3 9 9 1 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------訂------ €_ 經濟部中央標準局员Η消贽合作社印製 A7 B7 五、發明説明(13) 特別之限制下可K使第2激勵強度12之上昇之大約同時使 雷射輸出提昇。此種控制為,由於控制元件少,電路簡化 ,可K璘為廉價為其特徵。 管倫例2 第8圖為,表示本發明之脈衝雷射激勵用電源裝置之 實施例2。並且,在第8圖中,第1圖中所示之同等或同一 之構成元件為,附加第1圖所附加之符號之相同符號,省 略其說明。 第1〜第3電源裝置1、3、5為,分別具有定電流供給 部31 , K及接線於定電流供給部31之輸出側之輸出啟斷部 51等。 定電流供給部31為,具有電抗器33, K及電流設定器 7、9或11所設定之電流值與電流檢測器35所檢測之電抗器 電流值施行比較之比較器37,Μ及經由接線於直流電源39 之正極側而由比較器37之輸出信號施行ON-OFF動作之定電 流供給用之開關動作元件41,Μ及串聯接線於開闞動作元 件41之二極體43等,並且由接線於開闞動作元件41與二極 體42之接線點之電抗器33之電流成為電流設定器7、9或11 所設定之電流值之方式控制。 輸出啟斷部51為,具有接線於直線f源39之正極側之 二極體53, Μ及串聯接線於二極體53,經由反相器( inverter)55供給理輯電路27之第1AND閘極元件21,第2 AND閘極23或第3AN閘極元件25送來之理輯積信號d, g或h 施行ON-OFF動作之輸出啟斷控制用之開關動作元件57,經 本纸張尺度適用中國國家標準((、NS ) Μ規格(210X 297公釐) ι 3 3 99 1 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -1^^^ ^^^^1 ^^^^1 ^^^^1 a^i^i *^^^1―V I ^—^1— 0¾ τ° 經漪部中次摞隼局貝工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明(14) 由開關動作元件57之OH-OFF控制對於雷射二極體106流通 電流。 在本實施例中,對於第1〜第3電源裝置1、3、5之各 輸出啟斷部51,供給實施例1中之情況同樣之邏輯積信號 d、g、h ,由此與實施例1之情況同樣,可Μ依序產生第1 激勵強度Ιι,第2激勵強度12,第3激勵強度13所引起之電 流,該電流經由二極體61、63、65合成而向雷射二極體 1 0 6供給。 , 由於此,在該實施例,可以獲得實施例1之情況之同 樣之效果。 管倫例3 第9圖為,表示本發明之脈衝雷射激勵用電源裝置之 實施例3。並且,第9圖中,第1圖所示之同等或同一構成 元件,附加第1圖所附加之相同符號,而省略其說明。 在本實施例,設置高速響應型之一個電源裝置71,接 線於電源裝置71之電流設定器由開闞73、75、77切換。 電源裝置71為,經由開關73之閉合,輸出由電流設定 器(第1電流設定器)7所設定之電流值(第1激勵強度1〇之 電流,經由開關75之閉合,輸出電流設定器(第2電流設定 器)9所設定之電流值(第2激勵強度12)之&電流,經由開關 77之閉合,輸出電流設定器(第3電流設定器)11所設定之 電流值(第3激勵強度13)之電流。 在本實施例,經由開闞73、75、77由實施例1之情況 之同樣之理輯積信號d、g、h啟閉動作,由此與實施例1之 本紙張尺度適扣中國國家標埤(CNS ) Λ4規格(210 X 297公釐) ι 4 399 1 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經滴部中决標準局员工消費合作·,4印ϊ木 A7 B7 五、發明説明(15 ) 情況同樣,可Μ依序產生第1激勵強度Ii、第2激勵強度 12、第3激勵強度13之電流,將其向雷射二極體106供給。 由於此,即使在本實施例,可Κ獲得實施例1時之同 樣之效果,而且電源電源裝置可Μ僅使用1台,電路簡單, 價格低廉。 管淪例4 第10圖為,表示本發明之脈衝雷射激勵用電源裝置之 實施例4。並且,在第10圖中,對於第1圖所示之同等或同 一構成元件,附加第1圖所附加之相同符號而省略其說明 〇 在本實施例中,設置相當於實施例1中之第1電源裝置 1 , Μ及第3電源裝置5之二個電源裝置,在實施例1中由第 2電源裝置3Κ持續期間Τ2供給第2激勵強度12之電流者, 但在本實施例則Κ第1電源裝置與第3電源裝置5之重覆動 作由第1激勵強度Ιι+第3激勵強度13獲得第2激勵強度12。 由可Μ獲得前述動作之方式,邏輯電路27為,具備第 1延時元件13、第2延時元件15、反相器元件19、Κ及AND 閘極元件29等,AND閘極元件29之基準發信器104之輸出信 號a與通過第2延時元件15後之第2時間延遲信號e之反轉信 號f之邏輯積信號j做為電源輸出信號向電源裝置1輸出 ,通過第1延時元件13後之第1時間延遲信號b做為電源輸 出信號向第3電源裝置5輸出。 其次,參照第11圖(a)〜(j)所示時序圖,說明前述構 成之雷射激勵用電源裝置之動作。並且,第1圖中,(a)為 本纸張尺度適用中國國家標净(('NS )八4規格(210 X 297公釐) 1 5 399 1 1 - 1 -i, --- ί--- ί-ι.! ί - — - - -^1^-- 11 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,1Τ d. A7 B7 五、發明説明(16 ) (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 表示基準發信器104之輸出信號a, (b)為表示通過第1延時 元件13後之時間延遲信號(第3電源裝置5之電源輸出信號) b, (c)為表示通過第2延時元件15後之第2時間延遲信號e, (d)為表示第2時間延遲信號e之反轉信號f, (e)為表示第 1電源裝置1之電源輸出信號j, (f)為表示由第1,第3電源 裝置1,5向雷射二極體106供給之合成電流i, (g)為表示雷 射輸出波形。 第1電源裝置1之電源輸信號j為,自基準發信器104之 輸出信號a之上昇,至第2時間延遲信號e之上昇為出止之 期間成為高位準之信號,該信號之第1電源裝置1之動作時 間為T 1 + T 2。 第3電源裝置5之電源輸出信號b為,自第1時間延遲信 號b之上昇至第1時間延遲信號b之下降為止之期間成為高 位準之信號,經由此信號使第3電源裝置5之動作時間成為 T2 + T3。由於此,在動作時間T2使第1電源裝置與第3電源 裝置7重覆動作,與實施例1之情況同樣,第2激勵強度12 在第1激勵強度Ιι與第3激勵強度13之間獲得。 由於此,在本實施例,亦可Μ獲得實施例1時之同樣 之效果,而且電源裝置可Μ使用2台,電路簡單,價格低 廉。 、 第12圖為,表示實施例4之脈衝雷射激勵裝置之具體 電路構成。並且,第12圖中,第8圖、第11圖所示之同等 或同一構成元件附加第8圖、第11圖所附加之相同符號而 省略其說明。 i紙張尺度適州中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210 X 297公釐) 16 3 9 9 1 1 經濟-部中央標率局工消贽合作社印製 A7 B7五、發明説明(1?) 管_例5 第13圖為,表示本發明之脈衝雷射激勵用電源裝置之 實施例5。並且,第13圖中,第12所示之同等或同一構成 元件,附加第12圖所附加之相同符號而省略其說明。 本實施例中,設置第1電源裝置1與第3電源裝置5之二 個電源裝置。第1電源裝置1為,具有接線於直流電源81之 正極側之開關動作元件83與接線於直流電源85之正極側之 二極體87之串聯體,K及接線於開關動作元件83與二極體 87之接線點之電抗器89等,經由開關動作元件83之ON動作 ,由直流電源81之電壓將電抗器89之電流向雷射二極體 89之電流向雷射二極體106供給。 第3電源裝置5為,第12圖所示者之同等者,開闞動作 元件83之OFF動作引起之二極體87之0N動作K及開關動作 元件57之0N動作,將第1電源裝置1之電抗器89之電流與直 流電源39所輸出之電流與直流電源39所輸出之電流向雷射 二極體106供給。 邏輯電路27為,具備第1延時元件13,反相器元件17, AND閘極元件28等,將AND閘極元件28所輸出之基準發信器 104之輸出信號a與通過第1延時元件13後之第1時間延遲信 號b之反轉信號之邏輯積信號K做為電源輸出信號向第1電 源裝置1輸出,通過第1延時元件13後之第1時間延遲信號 b做為電源輸出信號向第3電源裝置5輸出。 其次,參照第14圖(a)〜(f)所示時序圖,說明前述構 成之雷射激勵用電源裝置之動作。並且,在第14圖中,( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
Bi I Λ Μ.裝· 訂 - 本紙張尺度適州中國國家標率(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) 17 3 9 9 1 1 經滴部中央標準局Μ工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明(18 ) a)為表示基準發信器104之輸出信號a, (b)為通過第1延時 元件13後之時間延遲信號(第3電源裝置5之電源輸出信號) b, (c)為表示第1時間延遲信號b之反轉信號c, (d)為表示 第1電源裝置1之電源輸出信號K, (e)為表示由第1,第3電 源裝置1,5向雷射二極體106供給之合成電流i, (f)為表示 雷射輸出波形。 由電源輸出信號K使開關動作元件83成為0N,直流電 源81之電壓由電抗器89至雷射二極體106之電路之電流iK 符號la所示增加,在期間!^後第1時間延遲信號b上昇而使 開關動作元件83成為OFF。 第1時間延遲信號b上昇時,由該信號使第3電源裝置 7成為0N,第1電源裝置1之電抗器89之電流,與第3電源裝 置7所輸出之電流之合計值lb之電流lb向雷射二極體106供 給。由於此,對於雷射二極體106流通高值之峯值電流。 第1電源裝置之電抗器89為,具有比較小之電感量( inductance),由直流電源81增加之_電流la之第1激勵強度 以第1時間延遲信號b上昇之同時可以獲得最初之雷射輸出 之上昇之方式,選擇電抗器89之電感值與期間ΤΊ Μ及直流 電源8 1之電壓。 當第1時間延遲信號b上昇時,由於開關動作元件83成 為OFF,二極體87成為0H,由直流電源85與電抗器37之電 感量所決定之電流lb成為零之期間相當於第2激勵強度之 期間Τ2,其後則相當於第3激勵強度13。變化電流lb之梯 度,亦即欲改變期間T2,可將直流電源85之電壓,或電抗 本紙張尺度適用中國國家標率(CNS ) Λ4規格(210 X 297公釐) j 8 3 9 911 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) :裝- ,17 • «f—ϊ. A7 B7 五、發明説明(19) 器89之電感值選擇於期間Ti之所求值。 .第3電源裝置5為,與第1時間延遲信號之同時ON,雖 然電流丨b之峯值為高值電流,由於時間短促而由一定之梯 度減少,因此對於雷射二極體106之電流負擔度小,不成 為過度之負擔。、 本實施例由於如前所述,僅為第1電源裝置L之電流施 行1度之0N-0FF動作之簡單構成,因此電路簡單,價格低 廉為其特徵。 第15圖為表示對於流通於雷射二極體之電流之雷射輸 出特性。由於雷射二極體為半導體,流通連縯之電流之情 況為,35A程度為其極限,該時之雷射輸出為11 6W。 對於輸入於雷射二極體之電力之雷射輸出為,雷射二 極體之0Ν電壓為2V, 16個串聯之情況電流效率為10.4涔。 另一方面,Μ脈衝狀流通電流時,平均電流定為一定值時 .即使流通幾倍之電流時雷射二極體不致於破壞。流通 2.5倍之88&之電流時,雷射輸出成為4541«/,效率為16.1〆 ,其效率違高於由連續電流激勵之情況。 經濟部中决標率局男工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 而且,電流雖然為2.5倍,雷射輸出則成為3.9倍,經 由高值峯值脈衝施行雷射振盪,其電流效率高,由同一雷 射二極體獲得高的輸出,脈衝雷射輸出_予雷射加工性能 之改善度非常高。尤其,由於脈衝之加工性能之提昇為, 愈成為低任務愈顯著,以電力效率,二極體之使用率,加 工性能全部改菩之效果非常大。 並且,實施例中說明將第1、2、3之激勵強度等3個強 本紙張尺度適州中國國家標準((、NS ) Λ4規格(210 X 297公釐) g 3 9 9 1 1 A7 B7 五、發明説明(20) 度分別輸出之電源之輸出施行合成之形態,但如果由記憶 器等記憶此等強度模式(pattern),由電腦等之程式指令 輸出波形,由此使至少1個之電源動作時,仍可K獲得同 樣之效果。 再者,本發明之脈衝雷射激勵控制方法及脈衝激勵用 電源裝置為,除了雷射二極體激勵之固體雷射Μ外,亦可 適用於其他方式之雷射,例如放電激勵方式之氣體雷射( gas laser)之C〇2雷射、電灯激勵方式之固體雷射等均可 獲得同等之效果。 發明夕钕里 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 勵信 激出 射輸 雷射 衝雷 脈至 之前 明瞬 發之 本ON 據為 依成 , 號 解信 理出 M輸 可射 ΘΒ 說自 述, 所時 前法 由方 制 控 第 行 施 置 裝 勵 激 於 對 間 期 之 止 為 N ο 為 成 號 為 成 號 信 出 輸 射 雷 自 勵 激OF 之為 度 成 強號 勵信 W 出 I輸 射 雷 至 後 瞬 之 訂 S 激 為 2 點第 間自 時 , 定勵 預激 之之 前度 Μ 強 第 行 施 置 裝 勘 激 於 對 間 期 之 止 酤 替 時 了 終 之 流 電 通 之 度 強 勵 激至 2 經漓部中央標準局员-T-消費合作社印製 勵零 激為 3成 第Μ 行可 11¾冑 置延 勵之 激分 二 ί 昇 對上J * 輸 止1®& Ξ F 雷 F OF此 為因 成 , 號勵 信激 出之 輸度 射強 好為 良 成 性工 應加 響之 之務 出任 輸低 Us? 0 r 脈率 , 頻 出高 輸之 態 能 常可 達不 到所 速源 快電 , 之 值往 少M 常果 。 非结能 或 ,可 1 之 第要 於需 由所 , 出 時輸 法射 方雷 制之 控昇 勵上 激時 射同 雷號 衝 信 脈出 之輸 明射 發雷 一 與 次為 據度 依強 勵 激 之 分 部 昇 上 之 出 輸 射 雷 使W 可 此 因 量 之 量 能 本紙張尺度適州中國國家標卒(rNS ) Λ4規格(210X 297公釐) 20 39 9 1 1 經濟部中夾福率局負工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明(21) ,结果Μ往之電源所不可能之高頻率、低任務之加工成為 可能。 依據次一發明之脈衝雷射激勵控制方法時,由於第2 激勵強度為高於第3激勵強度之激勵強度,第2激勵強度之 雷射輸出為成為第3激勵強度之雷射輸出之同一值為止之 期間輸出.,因此可Κ快速到達常態輸出,脈衝輸出之響應 性良好,結果Μ往之電源所不可能之高頻率、低任務之加 工成為可能。 依據次一發明之脈衝雷射激勵控制方法時,由於第1 激勵強度為略低於開始雷射振盪之強度之值,因此不受時 間之限制,無爾特加控制而可提昇第2激勵強度之幾乎同 時可Κ使雷射輸出上昇,结果Κ往之電源所不可能之高頻 率、低任務之加工成為可能。 依據次一發明之脈衝雷射激勵用電源裝置時,自第1 電源裝置由基準脈衝信號之上昇至對於基準脈衝信號具有 時間延遲之第1時間延遲信號之上昇為止之期間動作,第 2電源裝置自第1時間延遲信號之上昇至對於第1時間延遲 信號具有時間延遲之第2時間延遲信號之上昇為止之期間 動作,第3電源裝置自第2時間延遲信號之上昇至第1時間 延遲信號之下降為止之期間動作,並且將第1電源裝置與 第2電源裝置與第3電源裝置之合成輸出向激勵裝置供給, 因此可Μ使雷射輸出之上昇部分之延遲成為零或非常少值 ,快速到達常態輸出,脈衝輸出之響應性良好,结果Κ往 之電源所不可能之高頻率、低任務之加工成為可能。 紙張尺度適川中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210 X 297公釐) 2 1 399 1 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ.. ^^^1 - III ...... -
、1T • ^lr\. /-* A7 B7 五、發明説明(22 ) 依據次一發明之脈衝雷射激勵用電源裝置時,由於分 電由 3 經 第, 述流 前 電 與之 置定 裝設 源所 電器 i2定 述詡 前溁 0 ^ ? 各 置 I 通· 裝 流 1¾抗 第電 述各 前之: 於置 對裝 別源 有 第具 , 號 制信 控衝 之脈 部準 斷基 啟於 出對 輸至 之昇 置上 裝之 源號 電信 各衝 基 自 置 裝 源 電 第 之 遲 延 間 時 作 au9 間 期第 之於 止對 為至 昇昇 上上 之之 號號 信 0 遲遲 延延 間間 電 2 第 時 1 遲 第延 自間 置時 裝有 源具 號 信 遲 延 間 時 之之 號號 信 0 遲遲 延延, 間間 勖 時時 2 2 間 第第期 之自之 第 將 且 並 置止 S 電 裝為 π 源降第 電下與 m3之置 號裝 & 遲電 動 £1 20^0 Β 期 # 與 時 之 1 置 止第裝 為至源 昇昇電 上上ί 出出 俞 俞 射態 雷常 使達 M到 可速 此快 因 , , 值 給少 供 常 置非 裝或 励零 激為 向成 出遲 輸延 成之 合分 之部 置昇 裝上 源之 高 之 能 可 不 所 源 電 之 往 Μ 男 ο 结能 , 可 好為 良成 性工 應加 響之 之務 出任 輸低 擢 、 脈率 , 頻 脈 之第 明 , 發作 1 肋 I mn 次換 據切 依之 關 SEC on 時 置 裝 源 電 用 勵 激 射 雷 野 0 由 由 昇 上 之 號 信 6 8 脈 基 自 器 定 設 流 電 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 植 經濟部中央標隼局—工消贽合作社印?水 - 間 之 時 號 1 信第 遲自 延器 間定 時設 II流 第電 之2s 遲第 延 , 間置 時裝 有源 具電 號線 信接 衝間 脈期 準之 基止 於為 對昇 至上 延置遲 間裝延 時源間 有電時 Λ R ^ 至 罾罾昇 遲間II ¾¾上- 3 - 之 rat 號 信 時昇.a 1±延 第-J間0^0 昇M自^ E ^ 上-間{疋 之 畠時設 號2 延遲第 置為 裝成 源號 電信 於出 線輸 接.射 間 雷 期至 之前 止瞬第 為之行 降ON施 下為置 之成裝 號號勵 信信激 勵 激 之 度 強 勵 激 本紙張尺度適用中國國家標埤(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) 出於 輸對 射間 雷期 在之 此止 因為 為 成 號 信 出 輸 射 雷 自 22 399 1 1 A7 B7 經滴部中决樣率局貝工消贽合作社印製 五、發明説明( 23 ) 1 I ON 之 瞬 後 至 雷 射 輸 出 信 號 成 為 0FFM前之預定時間 點為止 1 1 之 期 間 對 於 激 勵 裝 置 施 行 第 2激勵強度之激勵, 白 第2激 勵 1 1 強 度 所 引 起 通 電 流 之 终 了 時 間 點至 雷 射輸 出 成 為OFF為止 I I 請 1 | 之 期 間 對 於 激 勵 裝 置 施 行 第 3激勵強度之激勵, 因 此可K 先 閲 L i 讀 L 使 雷 射 輸 出 之 上 昇 部 分 之 延 遲 成為 零 或非 常 少 值, 快速 到 背 1¾ ! 之 1 達 常 態 輸 出 脈 衝 輸 出 之 響 應 性良 好 ,結 果 Μ 往之電源 所 注 意 1 不 可 能 之 高 頻 率 % 低 任 務 之 加 工成 為 可能 〇 項 / 填( J 依 據 次 - 發 明 之 脈 衝 雷 射 激勵 用 電源 裝 置 時, 由於 第 寫 本 裝 I 1電源裝置自基準脈衝信號之上昇至對於基準脈衝 信號具 頁 ^ 1 1 有 時 間 延 遲 之 第 1時間延遲信號更具有時間延遲之 第2時 間 1 1 延 遲 信 號 之 上 昇 為 止 之 期 間 動 作, 第 3電源裝置自 第1時 間 1 1 延 遲 信 號 之 上 昇 至 第 1時間延遲信號之下降為止之 期間動 訂 I 作 > 將 第 1電源裝置與第3 電 源 裝置 之 合成 輸 出 向激勵裝 置 1 I 供 給 f 因 此 白 雷 射 輸 出 信 號 成 為0H 之 瞬前 至 雷 射輸出信 號 1 I I 成 為 ON為 止 之 期 間 對 於 激 勵 裝 置施 行 第1激勵強度 之激勵 1 I" pil 9 由 雷 射 輸 出 信 號 成 為 ON 之 瞬 後至 雷 射輸 出 信 號成為OFF 1: >λ 刖 之 預 定 時 間 點 為 止 之 期 間 對於 激 勵裝 置 施 行第2激勵 1 1 強 度 之 激 勵 > 南 第 2激勵強度之通電流之終了時間 點至雷 1 1 射 輸 出 信 號 成 為 OFF為止之期間對於激勵裝置施行 第3激 勵 1 | 強 度 之 激 勵 » 由 此 可 Μ 使 雷 射 輸出 之 上畀 部 分 之延遲成 為 1 I 零 或 非 常 少 值 快 速 到 達 常 態 輸出 > 脈衝 輸 出 之響應性 良 1 1 I 好 结 果 Μ 往 之 電 源 所 不 可 能 之高 頻 率、 低 任 務之加工 成 1 1 I 為 可 能 C* 1 1 依 據 次 一 發 明 之 脈 衝 雷 射 激勵 用 電源 裝 置 時, 第1電 1 1 本紙張尺度適川中國國家標率(OVS ) Λ4規格(2ΪΟΧ297公釐) 2 3 399 1 1 經滴部中央標準局员工消費告作社印製 A7 B7 五、發明説明(24 ) 源裝置之開關動作元件自基準脈衝信號之上昇至對於基準 脈衝信號具有時間延遲之時間延遲信號之上昇為止之期間 成為Ofh第3電源裝置自時間延遲信號之上昇至時間延遲 信號之下降為止之期間動作,電抗器與第3電源裝置之輸 出之合成輸出向激勵裝置供給,因此由雷射輸出信號成為 0 N之瞬前至雷射輸出信號成為ON為止之期間對於激勵裝置 施行第1激勵強度之激勵,自雷射輸出信號成為ON之瞬後 至雷射輸出信號成為0FFM前之預定時間點為止之期間對 於激勵裝置施行第3激勵強度之激勵,自第2激勵強度之通 電流之終了時間點至雷射輸出信號成為OFF為止之期間對 於激勵裝置施行第2激勵強度之激勵,因此可Μ使雷射輸 出之上昇部分之延遲成為零或非常少值。快速到達常態輸 出,脈衝輸出之響應性良好,结果Κ往之電源所不可能之 高頻率、低任務之加工成為可能。 依據次一發明之脈衝雷射激勵用電源裝置時,由於第 1激勵強度為與雷射輸出信號同時上昇之雷射輸出所需要 之能量之量,因此可Μ使雷射輸出之上昇部分之延遲成為 零,结果Μ往之電源所不可能之高頻率、低任務之加工成 為可能。 依據次一發明之脈衝雷射激勵用電p裝置時,由於第 2激勵強度為高於第3激勵強度之激勵強度,第2激勵強度 之雷射輸出為一直到成為第3激勵強度之雷射輸出之穩定 值之同一值為止之期間輸出,因此可Μ快速到達常態輸出 ,脈衝輸出之響應性良好,结果Μ往之電源所不可能之高 本紙張尺度適州中國國家標準((’NS ) Λ4規格(210 X 297公釐) 〇 4 39 9 1 1 --11H.---^一衣-- (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Μ Β7 經濟部中央標準局S(工消费合作社印製 五、發明説明(25 ) \ 1 頻 率 > 低任務 之加工成為 可 能 〇 1 1 依 據次一 發明之脈衝 雷 射 激 勵 用 電 源 裝 置 時 , 由 於第 1 1 1激勵強!度為略低於 開 始雷射振盪之強度之值, 因此時時 ^—V 1 1 請 1 1 上 不 受 限制, 不必經由特 別 之 控 制 可 在 上 昇 第 2激勵強 先 閲 1 I 讀 度 之 幾 乎同時 使雷射輸出 上 昇 9 結 果 以 往 之 電 源 所 不 可能 背 1 之 1 之 高 頻 率、低 任務之加工 成 為 可 能 〇 注 責 I 1 ΓΒΓ I8R 面 簡蜇說 明 項 再, 第 1圖表示本發 明 之脈衝雷射激勵^電源裝置之實施 填' 寫 ...\ 裝 頁 1 例 1之方塊線圖。 、〆 1 第 2圖表示實施 例 1之 脈 衝 雷 射 激 勵 用 電 源 裝 置 之 動作 1 1 之 時 序 画 m 〇 1 1 第 3圖表示實施 例 1之 脈 衝 雷 射 激 勵 用 電 源 裝 置 之 控制 訂 | 特 性 之 時序圖 〇 1 I 第 4圖表示實施 例 1之 脈 衝 雷 射 激 勵 用 電 源 裝 置 之 另一 1 1 I 控 制 特 性之時 序圖。 1 1 第 5圖表示實施 例 1之 脈 衝 雷 射 激 勵 用 電 源 裝 置 之 另一 丨' 控 制 特 性之時 序圖。 1 1 第 6圖表示實施 例 1之 脈 衝 雷 射 激 勵 用 電 源 裝 置 之 另一 1 1 控 制 特 性之時 序圖。 1 I 第 7圖表示實施 例 1之 脈 衝 雷 射 激 勵 電 源 裝 置 之 另一 1 I 控 制 特 性之時 序圖。 1 1 I 第 8圖表不本發 明 之脈 衝雷 射激 勵用電源裝置之實施 1 1 例 2之電路圖。 1 1 第 9圖表示本發 明 之脈 衝雷 射激 勵用電源裝置之實施 1 1 本紙張尺度通用中國國家標卒(('NS ) Λ4規格(210X 297公釐) 25 3 9 9 1 1 A7 B7 五、發明説明(26) 例3之方塊線圖 施 實 之 置 裝 源 電 用 勘 激 射 雷 衝 脈 之 明 發 本 示 表 圖 ο 1X 第 0 線 塊¾ 之 4 例 圖 序 時 之 性 特 制 控 τηη 之 置 裝 源 電 用 勵 S 溱 射 雷 0 脈 之 4 例 施 實 示 表 〇 圖圖 11序 第時 之 作 施 實 之 置 裝 源 電 用 勵 致 漯 射 雷 ff 摄 脈 之 明 發 本 示 表 圖 2 1* 第 圖 路 電 之 4 例 施 實 之 置 裝 源 電 用 勵 激 射 雷 ff 循 脈 之 明 發 本 示 表 圖 3 ii 第 圖 線 塊 方 之 5 例 ΤΠΒΠ 之 置 裝 源 電- 用 勵 滂 射 雷 衝 脈 之 5 例 施 實 示 表 。 圖圖 14序 第時 之 作 0 瑰 圖方 之之 係例 關往 之M 出之 輸置 射裝 雷源 與電 流用 電勵 體激 極射 二 雷 射衝 雷脈 示示 表表 圖 圖 5 6 1X 1X 第第 atj^ n^. VEH i.r— a I、-·-1^^^^1 ^^1 ,./L (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 画 線 之 作 動 之 置 裝 源 電 用 勵 激 射 雷 ff 福 脈 之 往 Μ 示 表 圖 7 1 0 第圖 序 時 4、 經濟部中央標隼局貞工消资合作社印製 明 說 之0 符 3 5 第第第 置 源 置 裝 源 電 2 置 裝 源 電 3 器 定 設 流 電路 電 11輯 SB 、.連 9 、,Z 7 2 部 給 供 流 電 定 本紙張尺度適用中國國家標準((’NS ) Λ4規格(210X 297公釐) 26 399 1 1 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明(27 ) 33 顰 抗 笋 37 比 較 器 39 直 流 電 源 41 聞 關 動 作 元 件 43 二 極 體 51 輸 出 啟 斷 部 53 二 極 體 57 開 關 動 作 元 件 71 電 源 裝 置 73, 75 77 開 關 81 直 流 電 源 83 開 關 動 作 元 件 85 直 流 電 源 87 二 極 體 liXL 89 電 V·· 抗 器 104 基 準 發 信 器 106 雷 射 二 極 體 108 固 定 雷 射 媒 體 ---;--C-—T!---7'-^夢-- ί (請先閩讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 2 7 399 1 1

Claims (1)

  1. 六、申請專利範圍 1. 一糧脈衝雷射激勵控制方法,在於利用放電或電灯、 或雷射二極體等激勵裝置激勵雷射媒體由此振盪雷射 光之電射裝置之脈衝激勵控制方法中, 在於自雷射輸出信號成為ON之瞬前至雷射輸出信 號成為0H為止之期間,對於前述激勵裝置施行第1激勵 強度之激勵,自雷射輸出信號成為ON之瞬後至雷射輸 出信號成為0FFM前之預定時間點為止之期間,對於前 述激勵裝置施行第2激勵強度之激勵,自第2激勵強度 之通電流之終了時間點至輸出信號成為OFF為止之期間 ,對於前述激勵裝置施行第3激勵強度之激勵為特徵者 Ο 2. 如申請專利範菌第1項所記載之脈衝雷射激勵控制方法 ,前述第1激勵強度為,與雷射輸出信號同時上昇之雷 射輸出所需要之能量之量為特徵者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (.請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 3. 如申請專利範圍第1項所記載之脈衝雷射激勵控制方 法,前述第2激勵強度為,比較前述第3激勵強度為高 之激勵強度,在前述第2激勵強度所引起之雷射輸出為 一直到成為前述第3激勵強度所引起之雷射輸出之穩定 值之同一值為止之期間輸出為特徵者。 4. 如申請專利範圍第1項所記載之脈衝雷射激勵控制方 法,前述第1激勵強度為,比較開始雷射振盪之強度略 低值為特徵者。 5. —種脈衝雷射激勵用電源裝置,在於利用放電或電灯 、或雷射二極體等激勵裝置激勵雷射媒體Μ振盪雷射 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 28 39 9 1 1 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 光之雷射裝置之脈衝雷射激勵用電源裝置中,具有: 第輸 出及 輸Μ 勵 第 置 ; 裝 置源 裝電 源 2 ϋ之 第度 之強 度勵 強激 2 第 出 輸第 及述 M前 激 3 置 裝 源 電 3 0 脈 準 基 之 出 輸 器 信 發 第準 之基 度 自 強為 勵置 裝 源 電 時置 1裝 第Ϊ I 霄 遲 2 延第 間述 時前 有 ., 具作 號動 信間 衝期 脈之 準止 基為 於昇 對上 至之 昇號 上 信 之遲 號延 信間 延 間 時 1A 第 該 於 對 至 昇 上 之 號 信 遲 延 間 時 1X 第 述 前 自 為 之 止 為 昇 上 之 號 信 遲 延 間 時 2 第 之 遲 延 間 時 有 具 號 信 遲 信 遲 延 間 時 2 第 述 前 自 為 置 裝 源 電 3 第 述 前 作 non 間 期 man 間 期 之 止 為 降 下 之 號 信 遲 延 間 時 1X 第 述 前 至 昇 上 之 號 作 前 與 置 裝 源 電 2 第 述 前 與 置 裝 源 電 1X 第 述 前 將 且 並 電 3 第 圍 範 利 專 請 第 〇 申 述者如 6 徵 特 為 給 供 置 裝 勵 蓀 述 前 向 出 輸 成 合 之 置 裝 源 源 電 用 激 射 雷 CU 0 脈 之 钱 記 所 項 5 電 2 第 逑 前 與 置 裝 源 電 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 S 3 於述 第線前 述接與 前聯置 與並裝 置值源 裝定電 源設 之 器 定 設 流 電 於 對第 分 前 述 , , 前為源 , 置 電 置裝流 裝源直 2 第 前 與 置 裝 源 電 為 置 裝 源 電 3 第 極極 正 二 之與 源件 電元 流 Μ 直in 於ch 線it 接s'w 有ί 含 有 具 別 分 橿 極 二 該 與 件 元 作 關 作開 動該 關於 開對 之制 用控 給而 供 , 流體 電聯 定串 之之 側體 給輸 供與 流體 電極 定 二 之之 值 側 定極 一 正 於之 流源 之流 器直 抗於 電線 之接 線有 接含 點及 線 Μ 接 , 之 部 本紙浪尺度逋用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 29 3 99 I I 六、申請專利範圍 出啟斷控制用之i關動作元件之串聯體,在該開關動 作元件與該二極體之接線點接線前述電抗器之輸出啟 雷Π射 之 電雷 置 或盪: 裝 電振有 勵放K具 激 用體 , 為 利媒中 做 於射置 向。在雷裝 部者 ,勵源 斷徵 置激電 啟特裝置用 出為 源裝勵 輸量電勵激 述能用激衝 ., 0 ^,脈置 由一 之裝 且置源 並供雷二 裝電 , 體衝射射個 等極脈雷雷 一 部二 種或之 斷射一 、光 第第 之之 度度 άκ »1. 強強 滂 澆 1 2 第第 定定 設設 及及MM 器 定 設 流 電 1 器 定 設 流 電 2 電 3 第 之 度 強 勵第 激 ~ 器 定 設 ; 個 器一 定選 設任 流中 器 定 , 設等 流關 開 之 線 接 第第置 定述裝 設前源 及及電 MM逑 前 向 3 3 基 之 自 止 為i 為 器 昇^ ^ ± 1Ι5Λ 第昇信 述上 遲 1朋之ii 號延 ,顯間 時 動衝 1 換脈第 切準之 之基遲 關之延 開出間 述輸時 前所有 由器具 經信號 發信 準衝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 自 信 , 遲 為适 定間 定時 設 1 流第 電該 12於 第 ί 穿 -昇 上 置之 裝號 源信 電 遲 述 〕月 Ϊ Κ間 線 1 接第 間述 期 前 間第 Με 之前 止自 為為 昇器 上定 之設 號流 信電 遲3 延 間 時 2 ·, 第置 之裝 遲源 延電 間述 時前 有於 具線 號接 第 述 前 降 下 之 號 信 〇 遲者 延徵 間特 時為ml* 述 前 至 昇 上 之 號 信 遲 延 間 線 接 間 期 之 止 持 2 為 裝 源 電 述 前 灯射 sa »9 ΙξΏΓ 母日 或盪 電振 放而 用體 利媒 於射 在雷 ,勵 置激 裝置 源裝 電勵 用激 勵等 激體 射極 雷二 衝射 脈雷 種或一 r 8 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS )八4規格(210X297公釐) 30 3 9 9 1 1 々、申請專利範圍 光之雷射裝置之脈衝雷射激勵用電源裝置中,具有: 輸出第1激勵強度之第1電源裝置; (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ及輸出第3激勵強度之第3電源裝置; 前述第1電源裝置為自基準發信器所輸出之基準脈 衝信號之上昇至對於對基準脈衝信號具有時間延遲之 第1時間延遲信號更具有時間延遲之第2時間延遲信號 之上昇為止之期間動作;前述第3電源裝置為自前述第 1時間延遲信號之上昇至前述第1時間延遲信號之下降 為止之期間動作, 前述第1電源裝置與前述3電源裝置之合成輸出向 前述激勵裝置供給為特徵者。 9. 一種脈衝雷射激勵用電源裝置,在於利用放電或電灯 、或雷射二極體等激勵裝置激勵雷射媒體以振邇雷射 光之雷射裝置之脈衝雷射激勵用電源裝置中,具> : 輸出第1激勵強度之第1電源裝置; Κ及輸出第3激勵強度之第3電源裝置, 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 前述第1電源裝置為,具有設置在直流電源之正極 側之開關動作元件與前述直流電源之正極側之二極體 之串聯體,對於前述開關動作元件與前逑二極體之接 線點接線電抗器,開關動作元件為自基準發信器所輸 出之基準脈衝信號之上昇至對於基準脈衝信號具有時 間延遲之時間延遲信號之上昇為止之期間施行ON,前 述第3電源裝置為自前述時間延遲信號之上昇至該時間 延遲信號之下降為止之期間動作,並且前述電抗器與 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ~ "777^ A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 前述第3電源裝置之輸出之合成輸出向前述激勵裝置供 給為特徵者。 10. 如申請專利範圍第5項至第9項内任何一項所記載之脈 衝雷射激勵用電源裝置,前述第1激勵為,與雷射輸出 信號同時上昇之雷射輸出所需要之能量之量為特徵者 〇 11. 如申請專利範圍第5項至第7項中任何一項所記載之脈 衝雷射激勵用電源裝置,前述第2激勵強度為,比較前 述第3激勵強度為高之激勵強度,並且在前述第2激勵 強度所引起之雷射輸出成為前述第3激勵強度所引起之 雷射輸出之穩定值之同一值之期間輸出為特徵者。 12. 如申請專利範圍第5項至第9項中任一項所記載之脈衝 雷射激勵用電源裝置,前述第1激勵強度為,略低於開 始雷射振盪之強度為特徵者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 、1Τ·_ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 32 3 9 9 1 1
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