TW316954B - - Google Patents

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316954 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明（ 1 ) 1 1 I [本發明之領¥ ] 1 1 I 本 發 明 關 於 一 種 顯 影 劑 製 備 裝 置 及 一 種 顯 影 劑 製 備 方 法。 1 1 1 [本發明之背景] 請 1 1 光 蝕 刻 術 被 用 於 形 成 在 LCD (液 晶 顧 示 器 )和 LS I (大型體 ΚΙ 讀 背 ί I 積 電 路 )之製造上所需之精细結構 ，且光阻劑被用於此光 之 注 1 蝕 刻 術 中 Ο 就 光 阻 劑 而 -¾.. 分 成 正 性 工 作 型 光 阻 m 和 負 性 意 事 1 項 1 工 作 型 光 阻 劑 〇 因 為 正 性 工 作 型 光 阻 劑 在 尺 寸 精 確 度 和 解 再 填 1 析 能 力 方 面 特 別 優 異 故 正 性 工 作 型 光 阻 劑 被 廣 泛 使 用 〇 寫 本 頁 裝 1 一 種 無 襪 鹼 或 有 機 m 之 水 溶 液 被 用 來 作 為 正 性 工 作 型 光 1 1 阻 m 之 顗 影 劑 但 為 了 防 止 m 金 靨 污 染 的 發 生 一 種 四 甲 1 1 数 氫 氧 化 物 的 水 溶 液 適 於 被 使 用 而 其 使 用 濃 度 則 為 低 至 1 訂 大 約 2 . 4重量％ 〇 然 而 被 製 造 用 做 一 種 未 稀 釋 之 顬 影 劑 溶 1 I 液 的 四 甲 殺 氫 氧 化 物 的 水 溶 液 漘 度 通 常 在 大 約 5 - -40重悬J! 1 J 之 間 因 此 必 須 在 使 用 時 純 水 m 釋 未 稀 釋 之 顧 影 繭 溶 液。 1 1 現 今 為 了 正 確 地 形 成 精 细 结 構 Μ 優 良 的 精 確 度 使 已 1 線 曝 光 之 抗 蝕 劑 顯 m 為 一 件 重 要 的 事 9 而 且 為 此 百 的 而 將 所 1 使 用 之 顯 影 劑 成 份 嚴 格 地 控 制 在 一 定 的 含 量 亦 為 必 須 者 〇 1 1 I 迄 今 顯 影 劑 之 含 虽 和 成 份 乃 由 顯 影 製 造 者 所 正 確 地 1 控 制 並 且 由 顯 影 麵 製 造 者 製 備 及 供 給 予 使 用 者 如 1 r LS I製造者和LCD製 造 者 Ο 考 應 到 作 為 顧 影 劑 主 要 成 份 之 m 1 \ 的 含 量 如 刖 所 述 約 為 2 . 4重量S： 但 是 當 未 稀 釋 之 顔 影 劑 溶 1 I 液 是 Μ 一 種 顧 影 成 份 含 畺 約 為 5〜40重量ϋ：之 水 溶 液 而 獲 致 1 1 | 的 情 形 下 則 出 現 一 個 問 題 即 當 顯 影 劑 製 造 者 供 給 已 1 1 稀 釋 之 顯 影 劑 溶 液 至 使 用 者 時 容器 及 將 顯 影 劑 由 顧 影 劑 1 1 本紙張尺度適川中國國家標準（CNS ) Λ4現格（210X 297公疫） -4 - 316954 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、 發明説明（2 ) 1 1 製 造 者 運 送 至 使 用 者 之 費 用 會 增 加 Ο 為 克 服 這 項 問 題 顧 1 1 | 影 劑 製 造 者 供 給 未 稀 釋 之 顧 影 劑 溶 液 予 使 用 者 而 使 用 者 I 1 可 稀 釋 此 未 稀 釋 之 顯 影 劑 溶 液 〇 然 而 必 須 使 稀 釋 後 之 顧 /·-s. 請 先 1 1 影 劑 含 悬 被 蔽 格 地 調 整 至 - 定 的 含 量 K 及 使 顯 影 劑 被 保 閱 讀 背 【 1 存 並 控 制 在 此 含 ft 此 外 從 工 業 上 實 現 的 觀 點 來 看 有 ιδ 之 注 必 要 快 速 地 且 節 省 勞 力 地 實 行 Μ 上 之 程 序 〇 意 事 項 1 1 甚 至 在 此 類 情 形 之 下 · 種 顯 影 m 製 備 裝 置 及 顧 影 劑 製 再 4 1 % ά 1 備 方 法 其 可 皤 格 地 調 整 顧 影 劑 含 量 在 —* 定 值 並 保 持 及 本 頁 控 制 顯 影 劑 的 含 量 亦 可 快 速 且 節 省 勞 力 地 實 行 此 程 序 9 、w〆 1 1 卻 並 未 被 知 悉 〇 1 | [本發明之概述] 1 訂 在 Μ 上 所 述 的 情 形 下 本 發 明 之 0 的 為 提 供 —. 種 顯 影 m 1 製 備 裝 置 及 顧 影 劑 製 備 方 法 其 可 嚴 格 地 調 整 顯 影 m 含 量 1 J 在 一 定 值 並 保 持 及 控 制 顯 蘭 的 含 蛋 亦 可 快 速 且 節 省 1 1 勞 力 地 實 行 此 程 序 〇 1 線 為 獲 致 上 述 巨 的 本 發 明 人 巳 進 行 各 種 研 究 ， 現 已 發 頊 此 1 一 百 的 可 藉 由 下 述 之 本 發 明 達 成 〇 1 1 I 依 照 本 發 明 之 一 具 體 例 於 此 提 供 — 種 顧 影 m 製 備 裝 置 1 ， 藉 由 將 未 稀 釋 之 顯 影 爾 溶 液 與 純 水 混 合 獲 得 —. 含 有 1 一 定 含 量 顯 影 成 份 之 顯 影 劑 其 中 該 未 稀 釋 之 顥 影 劑 溶 液 1 1 含 有 5 - 40重里 χ之四甲銨氫氧化物（ΤΜΑΗ) Μ及該純水含 1 1 I 有 不 超 過 0 . 1 ρ P b之金 臑 離 子 以 m 碳 量 (TC)計不超過 1 Ρ Ρ B 1 1 之 有 機 物 質 Μ 及 不 超 過 1 00 粒 / m ft之 直 徑 為 0 . 2 u m 或 Μ 上 1 1 之 细 粒 該 麁 置 包 含 有 一 混 合 tfl 配 置 有 . 用 來 容 納 及 1 1 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29h>潑〉 -5 -

A

7 B 3 /|\明 説明發 音 超 度流制 密及控 波·*M 份用 成 ， 一 影號 及顯信 之出 置内輸 裝劑之 之影計 水顯度 純於密 及含波 液包音 溶中超 劑槽自 影合 來 顔混藉 之量 ， 釋測置 稀 Μ 装 未用制 合，控 混計速 或 速量 流含 姶定 供 的 水具 純中 丨槽 合 及混 液存 溶貯 劑並 影納 顧收 釋 Μ 稀用 未， 之槽 中存 槽貯 合 一 混及 入以 進 ； 劑 影 顯 種 1 供 提 例 體 具 0 一 劑另 影之 的發 份本 成照 影依 顯 1 備有 有 製具 法 方 含 5 定有 一 含 液 溶 傲萷 製影 Μ 顧 « 之 水釋 鈍稀 和未 液該 溶中 劑其 影 ， 顯劑 之影 釋顯 稀的 未份 合成 混影 由顯 藉量 - - I. == I h Lr n^i I- - - - - - n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 40重量S；之四甲銨氫氧化物（ΤΜΑΗ)，M及該純水含有不超 過O.lppb之金鼷離子，Μ總碳量（TC)計不超過lppm之有櫬 物質，K及不超過100粒/ nil之直徑為0.2/zm或Μ上之细粒 :該裝置包含：使用上述之顧影劑製備裝置；收納並混合 未稀釋之顯影劑溶液及純水於混合槽中；藉超音波密度計 測量混合槽中包含於顧影劑之顧影劑成份的含量；賴將來 自超音波密度計之輸出信號送入流速控制裝置中，控制進 入混合檐中之未稀釋顯影劑溶液及（或）鈍水的供給流速’ Μ提供混合槽中具有一定含最顯影成份的顯影劑；Μ及將 顯影劑進給至貯存槽中並貯存於其中。 [圖式之簡單說明] 圖1為實施例1所用之顯影劑製備裝置之示意圖：Κ及 圖2為實施例β所用之顯影劑製備裝置之示意圖。 [元件煸號之說明] 圖1 (表施例1)中： 本紙張尺度適用中围阀家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0 X 297公雄） _ β - 五、發明説明（4 ) 1… …混 合 槽 2… …攢 拌 器 3… …管 路 混 合 器 4… ...流 速 控 制 閥 5… …流 速 控 制 閥 6… …流 速 测 量 裝 置 7… …流 速 測 量 裝 置 8… …超 音 波 密 度 計 9… …貯 存 槽 10 .. …控 制 器 A7 B7 (請先閱讀背面之注意事項再填窍本頁) •裝. 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 圈2 (實施例2)中： 1 ......撹拌器 2 ......混合槽 3 ......測力計 4 ......量杯 5 ......量杯 6 ......控制閥 7 ......控制閥 8 ......控制， 9 ......超音波密度計 10 .....貯存槽 [本發明之詳细描述] 本發明更詳细地被描述如下。 本發明所用之顯影劑為四甲铵氪氧化物（ΤΜΛΙΠ水溶液。 ，-° 線 本紙張尺度適州中國國家標隼（CNS ) Λ4现格（2丨OX297公1 ) 7

Jfi i% r ^ λ 〇丄〜；)4 Α7 Β7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、 發明説明 (5 ) 此 外 ， 用 於 本 發 明 之 未 稀 m 顧 影 劑 溶 液 9 Μ 通 常 包 含 5 - 40重 Μ *顧影成份之水溶液形式獲致 。另； ，依照本發明 » Μ 純 水 稀 釋 未 稀 釋 之 顯 影 劑 溶 液 而 得 到 一 種 顬 影 成 份 含 量 被 路 格 地 調 整 至 大 約 2 . 4重董S；之 顯 影 m 〇 使 用 於 本 發 明 之 肫 水 較 好 為 金 羼 離 子 含 量 不 超 過 0 . IPPb » 有 機 物 質 Μ m 碳 量 (TC) 計 不 超 遇 1 p P 1 以 及 直 徑 為 0 . 2 X m 或 W 上 之 细 粒 不 超 過 100粒 / »α之純水 5 在 本 發 明 中 * 乃 使 用 一 種 裝 m 有 一 收 納 並 m 合 未 稀 釋 溶 液 及 純 水 之 裝 置 的 混 合 楢 〇 其 特 定 例 為 一 種 混 合 槽 * 其 具 有 一 未 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 之 入 D 一 鈍 水 之 入 □ Μ 及 一 攪 拌 裝 置 〇 撹 拌 方 法 之 實 施 例 為 使 用 一 裝 配 於 混 合 檐 内 側 之 攪 拌 器 及 藉 由 一 泵 抽 出 混 合 槽 中 之 一 部 份 顯 影 劑 f 再 使 其 循 瑁 進 入 混 合 榷 Μ 及 在 上 述 之 循 環 方 法 中 於 循 環 管 路 中 置 一 管 路 混 合 器 〇 再 者 在 將 未 稀 釋 之 顯 影 m 溶 液 及 鈍 水 供 給 至 混 合 槽 之 刖 其 被 混 合 於 諸 如 管 路 混 合 器 之 類 的 混 合 裝 置 中 > Ά 後 此 混 合 物 可 被 供 給 至 混 合 漕 中 〇 從 使 混 合 槽 中 之 顯 影 劑 含 量 變 為 一 致 的 觀 點 來 看 此 法 為 較 佳 者 0 本 發 明 中 * 一 種 超 音 波 密 度 計 被 用 來 測 量 混 合 槽 中 包 含 於 顧 影 劑 内 之 顯 影 成 份 含 量 〇 對 此 超 波 密 度 計 並 未 設 特 殊 之 限 制 » 任 何 可 Μ 正 確 地 測 最 顯 影 成 份 含 最 之 超 音 波 密 度 計 皆 可 使 用 0 例 如 最 好 是 ： 所 用 的 頻 率 為 數 百 萬 赫 玆 (MHz)； 液體接觸部份由SUS (不锈網） 或 諸 如 锇 弗 龍 (Tef 1 〇 η * 商品名， Ε .I • d υ P on t公司製造） 之 類 的 氟 樹 脂 本纸張尺度適用中國國家標準（C'NS ) Λ4规格（2丨0'乂 297公释） 8 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 裝

II 線 3ί βδδ4 Α7 Β7 經濟部中央標準局貝工消f合作社印製 五、 發明説明（6 ) 1 1 所 組 成 • 而 且 此 超 音 波 密 度 計 被 裝 配 有 一 m 度 測 量 部 份 及 1 1 一 超 音 波 傳 送 和 接 收 部 份 • 亦 配 備 有 一 能 夠 動 對 所 測 之 1 1 溫 度 校 正 测 量 值 t 此 乃 藉 由 利 用 一 具 有 預 知 濃 度 之 顧 影 劑 請 先 1 I 和 一 溫 度 改 變 修 正 裝 置 所 預 先 獲 得 之 校 準 曲 線 >x 達 成 〇 閱 讀 背 1 在 本 發 明 中 所 用 的 超 音 波 密 度 計 必 須 具 有 能 夠 Μ 输 出 信 面 之 注 號 傳 送 測 量 值 的 功 能 〇 此 乃 因 為 必 須 藉 由 _ 出 信 號 控 制 未 意 事 1 1 項 I 稀 釋 之 顧 影 劑 溶 液 及 (或）純水至混合槽 之 供 姶 流 速 〇 再 填 1 裝 1 超 音 波 密 度 計 之 測 量 端 可 置 於 混 合 檐 内 之 顯 影 劑 中 亦 本 頁 可 置 於 上 述 之 循 環 路 媒 中 或 者 可 置 於 一 测 量 取 樣 路 線 中 1 1 ， 用 以 在 混 合 樓 中 取 樣 少 ft 的 顯 影 劑 而 且 使 其 循 環 進 入 混 1 I 合 推 中 〇 1 1 訂 在 本 發 明 中 必 須 使 用 流 速 控 制 裝 置 藉 來 g 超 音 波 1 密 度 計 之 輪 出 信 號 用 Μ 控 制 進 入 混 合 槽 中 之 未 稀 釋 顧 影 1 V 劑 溶 液 及 (或）純水的供姶流速 〇 對 此 流 速 控 制 裝 置 並 無 特 1 1 殊 之 限 制 而 且 一 種 裝 置 可 被 使 用 其 功 能 為 依 照 得 白 超 1 線 音 波 密 度 計 之 輪 出 信 號 的 混 合 槽 内 顧 影 劑 中 之 顧 影 成 份 含 I 量 與 所 想 要 的 顯 影 成 份 含 虽 之 間 的 麻 差 而 控 制 進 入 混 1 1 合 播 中 之 未 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 及 (或）純水 的 供 給 流 速 〇 此 外 1 9 藉 由 設 置 一 測 力 計 用 Η 測 出 混 合 槽 中 顯 影 m 之 重 虽 Μ 1 1 及 基 於 所 得 之 重 虽 信 號 和 上 述 之 偏 差 藉 Μ 控 制 進 入 混 合 1 •1 1 1 槽 中 之 未 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 及 (成）纯水的供給流速 t 一 種 更 精 確 和 快 速 的 顧 影 劑 白 動 製 備 成 為 可 能 〇 1 1 再 者 t 藉 著 在 未 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 及 鈍 水 之 供 給 管 路 上 設 1 1 置 量 杯 Μ 及 使 用 來 白 安 裝 於 遘 杯 中 之 测 力 器 之 輸 出 信 號 9 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（t'NS ) Λ4規格（2丨0,<297公廣） _ 9 - 316954 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、 發明説明（ 7 ) 1 1 可 Μ 控 制 進 入 混 合 槽 中 之未稀釋顧影劑溶液及/或純水之 1 1 量 〇 1 1 在 本 發 明 中 混 合 播 中 之 m 影 爾 及 由上述方 法所 獲 /、 請 1 1 得 之 具 有 __. 定含量顔影成份（TMAH)的顧影麵，被貯 存於 貯 閲 讀 背 1 存 檐 中 而 且 如 果 爾 要 的 話 可 白 貯 存 槽取出以 供使 用° 面 之 • | 注 卜 除 此 之 外 本 發 明 之 装 置 中 與 未 稀 釋 顧 影繭溶液 、纯 水 1 項 1 I 及 顯 m 劑 接 m 的 都 份 最 好 由 下 列 材 料 所 組成：諸 如嫌 弗 再 填 1 裝 1 龍 等 等 之 類 的 氟 樹 脂 > 聚 烯 烴 系 列 樹 脂 或者包覆 Μ上 述 馬 本 頁 樹 脂 之 材 料 Μ 防 止 金 屬 進 入 顯 影 劑 中 成 為 雜質。 ^^ 1 1 本 發 明 實 際 地 藉 由 Μ 下 實 施 例 敘 述 之 〇 1 I 實 施 例 1 1 訂 使 用 圖 1所示之裝置 > 準 備 —* 個 4 有 1 m 3 體 積 及 具 有 — 攪 拌 器 (2)之混合槽（1) 〇 與 顯 影 劑 接 觸 之 混 合 槽 内 俩 部 份 及 此 部 份之攬拌 器皆 由 餓 弗 龍 製 成 〇 每 一 個 未 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 和 純水之供 給管 路 線 為 一 锇 弗 龍 管 而 且 兩 種 管 路 在 進 入 混 合 槽前彼此 合併 9 1 此 後 此 合 併 管 路 穿 過 一 管 路 混 合 器 (3)被連接至一混合懵 1 1 〇 每 一 個 進 入 混 合 槽 之 未 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 和純水之 供給 管 «1 1 路 各 配 備 有 一 流 速 控 制 閥 (4)， (5) 作為流速控制裝置用 1 Μ 控 制 流 速 藉 由 來 超 音 波 密 度 計 之 输 出信號* 每一 個 1 1 流 速 控 制 閥 可 控 制 未 稀 釋 之 顧 影 劑 溶 液 或纯水的 流速 0 1 I 再 者 流 速 測 量 裝 置 (6)及（7)被配置在各供給管路 中控 制 1 1 閥 之 後 〇 輸 出 信 號 可 得 自 此 等 裝 置 〇 超 音 波密度計 (8)被 1 1 置 於 用 K 取 出 混 合 槽 中 一 部 份 顯 影 劑 的 管 路中，而 顯影 1 1 本紙張尺度適用巾國阀家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公雄） -1 〇 - 316954 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、 發明説明（ 8 ) 1 1 在 其 含 量 被 測 量 後 被 再 循 瑁 進 入 混 合 播 中 〇 此 外 一 個 _ 1 1 出 管 路 被 裝 配 至 混 合 槽 Η 此 Μ 此 法 製 備 之 顬 影 m 可 被 送 1 1 至 貯 存 槽 (9) > ^-V 請 先 1 1 使 用 __· 種 約 1 5重 量 X之四甲銨氫氧化物水溶液作為未稀 閱 讀 背 釋 之 顧 影 劑 溶 液 〇 所 用 鈍 水 為 —* 種 所 含 金 靥 離 子 總 量 為 面 之 1 注 L 0 . 0 3 p p b 碳總量為0 .2ppm及直徑為0 .2 U Β或Μ上之细粒 意 華 1 項 1 為30粒/m fl 之 純 水 〇 在 藉 由 上 述 之 管 路 混 合 器 混 合 未 稀 釋 再 φ. 1 % Λ 1 之 顯 影 劑 溶 液 和 純 水 之 後 此 混 合 物 被 供 給 至 混 合 槽 之 中 〇 本 頁 另 外 混 合 槽 之 攪 拌 器 被 轉 動 9 而 且 供 給 至 混 合 槽 中 的 混 '—✓ 1 I 合 物 亦 充 分 地 被 攪 拌 並 混 合 於 混 合 槽 中 〇 1 I 混 合 槽 中 —r 部 份 的 顯 影 劑 被 送 至 裝 置 有 超 音 波 密 度 計 的 1 1 訂 管 路 中 其 中 顯 影 劑 内 四 甲 铵 氫 氧 化 物 (ΤΜΑΗ)之含 量 被 測 1 量 出 來 並 在 此 同 時 來 自 超 音 波 密 度 計 之 輸 出 信 號 及 來 1 1 e 流 速 測 虽 裝 置 之 鑰 出 信 號 經 由 一 控 制 器 (10) 被 送 至 未 I 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 和 純 水 之 各 供 給 管 路 的 流 速 控 制 裝 置 而 1 線 且 藉 由 自 動 地 控 制 流 速 控 制 閥 的 開 啟 程 度 控 制 未 稀 釋 顥 1 | 影 劑 溶 液 和 鈍 水 的 流 速 〇 1 由 此 之 结 果 對30分鐘的操作時間和超過0. 8祖 3 的 m 製 «1 * 1 備 量 而 言 混 合 槽 中 之 顧 影 m 含 量 被 維 持 在 2 . 381重量ϋ； ♦ 1 I 瑄 顧 示 出 顯 影 劑 可 在 0 . 04Χ之誤差内被製備成所希望之 1 I 2 . 380重量》[含 量 〇 另 外 9 已 被 證 實 在 此 過 程 中 操 作 被 1 Ί I 完 全 g 動 化 因 此 本 發 明 之 方 法 在 節 省 勞 力 方 面 為 優 異 者0 1 1 實 施 例 2 1 | 使用圖2所示之裝置 ) 1 1 1 本紙張尺度適用中阀國家標率（CNS > Λ4規格（2彳0、乂297公释〉 -11- 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 316954 ΑΊ Β7五、發明説明（9 ) 準備一個體積為lm3 Μ及具有携拌器（U及澜力計（3)之 混合槽（2)。與顯影劑接觸之混合槽内两部份此及此部份 之攪拌器皆級弗龍製成。每一個未稀釋顧影劑溶液和肫水 之供給管路為一锇弗龍管，而且兩種管路在進入涓合懵前 彼此合併。各設有20L測力計之垦杯（4)及（5)被分別配置 在合併前的管路中，Μ及控制閥（6)及（7)被配置在各涸最 杯之上游側。控制閥藉來自控制器（8)之_出信號控制流 速。超音波密度計（9)被置於用Μ取出混合槽中一部份顯 r 影劑的管路中，而顯影劑在其被拥I最後被再循環進入混合 槽中。此外，配置一來自混合槽之輪出管路，Μ致如此製 得之顯影劑被送往貯存榷（10)。 ΤΜΑΗ之約20重量S!水溶液被用做未稀釋顯影劑溶液。所 用純水為一種所含金臈離子總量為〇.〇2ppb·碳瘅畺為 0.2ppm，直徑為0.2wm或Μ上之细粒為25粒/ mil之純水。 未稀釋TMAH溶液及純水大致按照預定的混合比被供給入混 合槽中，以及旋轉混合槽之攬拌器Μ將混合物充分混合。 30分鐘後，將在混合檐中之一部份顧影劑供姶人配置有 超音波密度計之管路中，以及測量顯影劑中ΤΜΑΗ之含虽。 來自配置於混合槽之測力計之输出信虢及來自超音波密度 計之输出信號經由一控制器被送至控制閥。既然在混合槽 中之ΤΜΑΗ含量略高，控制純水之W被打開，Μ及預定量之 純水流入量杯中。將量杯中之純水供給入混合槽中後30分 鐘，混合楢中之顧影劑變得均勻，而得到ΤΗΑΗ含量為 2.380重虽3ί(其為所期望的Τ ΜΑΗ含fi)之顧影劑。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21.0X297公犛） -19- --^---；-----裝------^ --------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 316354 A7 B7 五、發明説明（10 和影省 置顧節 裝的並 備量速 製含快 劑定可 影 一 亦 顧備且 種製而 一 地 ， 供格劑 提廉影 可 Μ 顧 , 可的 明其最 發，含 本法此 照方制 依備控 , 製和 述劑持 所影保 上顬並 如種 *一 0 通 精 時 例 體 具 的 定 特 考 參 並 述 敘 。 地 作细 操詳 項被 此已 行明 執發 地本 力當 勞 改 種 各 作 可 下 疇 範 神 精 其 離 背 不 在 知 易 而 顯 大 人。 蓊改 技修 項及 此變 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. -一9 經濟部中央標準局員工消費合作社印褽 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) Λ4規格（2丨0乂 297公雄） 3 1Χ

Claims (1)

1. 费在： Α8 Sgs ^ , I ll \ D8 經濟部中央梯準局貝工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 Γ Τ. — 種 顯 影 劑 製 備 裝 置 藉 由 混 合 — 未 稀 釋 之 顧 影 爾 溶 1 1 I 液 和 純 水 用 Κ 獲 得 一 含 有 一 定 含 量 顧 影 成 份 之 顧 影 m » 1 1 I 其 中 該 未 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 含 有 10 -30重量X四 甲 铵 氫 氧 化 物 請 先 1 I 閲 (ΤΜΑΗ)Κ及砘水含有不超過0. lppb之金屬離子 K 總 碳 量 背 1 1 (TC)計不超過 1 Ρ Ρ Β之有 機 物 質 Η 及 不 超 過 1 00 粒 1 m ί .之直 Λ 之 注 | 徑 為 0 . 2 t i和 或 Μ 上 之 细 粒 該 裝 置 包 含 ------ 混 合 槽 配 備 意 事 1 項 1 有 用 >λ 收 納 並 混 合 —- 未 稀 釋 顧 影 劑 溶 液 和 肫 水 的 裝 置 « » 再 填 本 頁 1 裝 1 . 超 音 波 密 度 計 用 Κ 测 量 混 合 槽 中 包 含 於 顯 影 劑 内 之 顯 影 成 份 —h 流 速 控 裝 置 藉 由 來 超 音 波 密 度 計 之 输 出 信 1 1 號 用 Μ 控 制 進 入 混 合 楢 中 之 未 稀 釋 顯 影 劑 溶 液 及 (或）肫 1 I 水 的 供 給 流 速 Μ 及 — 貯 存 槽 用 >x 收 納 並 貯 存 棍 合 槽 1 訂 中 含 有 一 定 含 量 顯 影 成 份 之 顯 影 劑 〇 1 1 2 . 如 申 請 專 利 範 圃 第 1項之顯影劑製備装置 其中該裝 1 1 置 具 有 一 測 力 計 用 >λ 测 出 混 合 檐 中 顯 影 爾 之 重 量 〇 1 1 3 . 一 種 顯 影 劑 製 備 方 法 9 藉 由 混 合 一 未 稀 樺 之 顯 影 爾 溶 1 線 液 和 純 水 用 Κ 製 備 一 含 有 一 定 含 霣 顧 影 成 份 之 顯 影 01 t 1 其 中 該 未 稀 釋 顧 影 劑 溶 液 含 有 10 -30重量X四 甲 数 氫 氧 化 物 Γ 1 1 (ΤΜΑΗ) Μ及纯水含有 不 超 過 0 . 1 P P b之金属離子 Μ 總 碳 畺 1* 1 (TC)計不超過 ί Ρ Ρ Β 之 有 櫬 物 質 以及不超過1 0 0粒/ B 11之 1 1 直 徑 為 0 . 2 < / η 或 以 上 之 细 粒 該 方 法 包 含 使 用 串 請 專 利 1 | 範 圃 第 1項之顯影_製備裝置；供給並混合- -未稀釋之顯 1 I 影 劑 溶 液 和 純 水 於 混 合 楢 中 藉 由 超 音 波 密 度 計 測 量 混 1 1 1 合 槽 中 包 含 於 顯 影 劑 内 顯 影 成 份 之 含 虽 藉 由 將 來 白 超 音 1 1 波 密 度 計 之 輸 出 信 號 送 入 流 速 控 制 裝 置 中 控 制 進 入 混 合 1 1 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（2ΙΟΧ2‘)7公.續） 1 S16954 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 槽中之未稀釋顯影劑溶液及（或）純水之供給流速，Μ在混 Γ 合槽中提供含有一定含量顯影成份的顯影劑；κ及，將顯 影劑進給至貯存槽之中並貯存於其內。 4.如申請專利範圍第3項之顧影劑製備方法，其中來自 測力計之输出信號被送入流速控制裝置中。 --I-------裝------訂------線丨Γ — 卜 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) Λ4現格（210X297公婕） 2