KR940015711A - 현상액 제조장치 및 현상액 제조방법 - Google Patents

현상액 제조장치 및 현상액 제조방법

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쓰토무 나가세
노리카즈 나카가와
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고니시 아키오
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Abstract

본 발명은 현상원액과 순수한 물을 혼합하여 현상액 성분을 소정 농도로 함유하는 것을 현상액을 수득하기 위한 현상액 제조장치 및 당해 현상액 제조장치를 사용하여 현상액을 제조하는 방법에 관한 것이다. 당해 현상액 제조장치는 현상원액과 순수한 물을 수용하고 혼합하는 수단이 구비되어 있는 혼합조 혼합조내의 현상액에 함유된 현상액 성분을 측정하기 위한 초음파의 농도계, 초음파 농도계로부터의 출력신호에 의해 혼합조로의 현상원액 및/또는 순수한 물의 공급 유량을 조절하기 위한 유량조절수단 및 혼합조내에 소정 농도의 현상액 성분을 함유하는 현상액을 수용하고 저장하기 위한 저장 탱크를 포함한다.

Description

현상액 제조장치 및 현상액 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (6)

  1. 현상원액과 순수한 물을 수용하여 혼합하는 수단이 구비되어 있는 혼합조, 혼합조 속의 현상액에 함유되어 있는 현상액 성분을 측정하는 초음파 농도계, 현상원액 및/또는 순수한 물의 혼합조로의 공급 유량을 초음파 농도계로부터의 출력 신호에 따라 조절하는 유량 조절 수단 및 혼합조 속에서 소정 농도의 현상액 성분을 함유하는 현상액을 수용하고 저장하는 저장 탱크를 포함하는, 현상원액과 순수한 물을 혼합하여 소정 농도의 현상액 성분을 함유하는 현상액을 수득하는 현상액 제조장치.
  2. 제1항에 있어서, 혼합조 내의 현상액 중량 탐지용 로드셀(load cell)을 갖는 현상액 제조장치.
  3. 제1항에 있어서, 현상원액이 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 수용액인 현상액 제조장치.
  4. 제1항의 현상액 제조장치를 사용하고, 현상원액과 순수한 물을 혼합조에 공급하여 혼합하고, 초음파 농도계를 사용하여 혼합조 속의 현상액에 함유되어 있는 현상액 성분의 농도를 측정하고, 초음파 농도계로부터의 출력신호를 유량 조절수단에 입력시켜 혼합조 속에 소정 농도의 현상액 성분을 함유하는 현상액을 제공함으로써 현상원액 및/또는 순수한 물의 혼합조로의 공급 유량을 조절하고, 현상액을 저장 탱크로 공급하여 저장 탱크의 저장함을 특징으로 하는, 현상원액과 순수한 물을 혼합하여 소정 농도의 현상액 성분을 함유하는 현상액을 제조하는 현상액 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 초음파 농도계로부터의 출력 신호와 로드 셀로부터의 출력 신호가 유량 조절수단에 입력되는 현상액 제조방법.
  6. 제4항에 있어서, 현상원액이 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 수용액인 현상액 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930030211A 1992-12-28 1993-12-28 현상액 제조장치 및 현상액 제조방법 KR100270946B1 (ko)

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