TW304233B - - Google Patents

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A7 304233 ______B7 五、發明説明（1 ) 圭發明夕皆蜃 1 . $發明之範圍 本發明係關於光纖互連。更特別者，本發明係關於精 確成形裝置和技術以便製造供光繊用之塑膠連接器》 2 .相關夕抟魅的敘沭 自矽製造多路光學封裝之目前各種方法時常耗時且昂 貴。即使關於需要多模（態）光繊之各種應用，使用V-槽矽晶片在光纖互連方面。然而，某些矽晶片昂貴且由於 其脆性性質而在拋光期間難以處理。因此之故，正在尋找 指向多路光纖互連之低成本，大量生產設備之另外工業技 術。 該項技藝方面熟悉使用成形技術來製造由塑膠所造成 之光織連接器。然而，通常所成形之塑膠連接器在成形過 程期間歷經收縮，因此，爲了補償此項成形所誘生之收縮 ，傳統之技術使用略大於所需要之塑膠連接器的大小且均 勻之塑模。 現在述及圖1，顯示兩部分之光纖塑膠連接器組合體 的一個組件1 0。塑膠組件1 0具有一個V槽支持構件或 副架（通常以數字1 4所示）及用以與第二部份對準之設 備1 6圖中未示。將支持構件1 4和對準設備1 6兩者分 開形成並可操作地附著至組件10或與它予以整體形成。 於實際使用時，將組件1 0與一個相似之互補組件相對準 並聯合以便將所產生之塑膠連接組合體施加至許多光繅的 本^張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 經濟部中央橾隼局員工消費合作社印製 304233 A7 經濟部中央梂準局員工消费合作社印製 B7五、發明説明（2 ) 任一側上。 典型，欲經由塑膠連接組合體予以支持之光繊是傳統 式玻璃，多模纖維具有在大概5 0至6 5微米範圍內之芯 子及大概1 2 5微米的總直徑。然而，彼等可能是單模纖 維具有在大概8至1 〇微米範圍內之芯子和大概1 2 5微 米的總直徑或經塗覆以一薄層的聚醯亞胺之傳統式玻璃纖 維而使彼等具有1 4 5微米的總直徑。又，某些商業上玻 璃纖維具有在安裝纖維入V槽中前欲移除之一個另外之丙 烯酸酯塗層（〜12 5微米）。 對準設備1 6在圖1中，予以顯示成一個銷狀錐形特 徵在一面上及具有相對應之形狀和大小之一個空穴或沉陷 處在另一面上。然而，對準設備1 6亦可能是其他適當構 型例如能保證各個V槽與個別之光繊相匹配而對準之一個 Vi 對準設備》 圖2示意舉例說明根據較早技藝用以製造光繊塑膠連 接器部件之較早技藝成形技術2 0。在此技術中，第一步 /驟2 4.包括製造一個或多個特徵例如V形槽在被稱爲主晶 片中，它是欲予成形之所需要之塑膠連接器的複數品。主 晶片係由一種單晶物料例如矽予以構成而V形槽係使用傳 統式光學石版印刷之掩蔽和蝕刻等技術予以形成在其中。 將各V形槽造成均勻且略大於最後光學支持構件中所 意欲之V形槽作爲補償（通常如以數字2 6所示）在隨後 之成形過程期間塑膠的成形所感生之收縮。本文中將成形 所感生之收縮界定爲矽主晶片或其他造型上之一特徵尺寸 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂

U 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標隼局負工消费合作社印製 A7 ______B7 五、發明説明（3 ) 與所成形之塑膠連接器本身上之相對應特徵尺寸間之絕對 差。亦，關於各特徵例如v槽和u槽，成形所感生之收縮 包括在其中間之間距中的絕對差。此範圍中具有重要性之 各特徵包括（但並不受限爲）V槽，U槽，各對準設備等 0 舉例而言，關於具有相當低收縮率之該項技藝方面所 熟悉之適當塑膠材料例如聚苯硫（PPS)，聚醚醯亞胺 和各種液晶聚合物附以適當之填料，咸信P P S具有低於 原始矽主晶片中各V槽的尺寸大概0.4%的V槽收縮率 。因此之故，使用較早技藝技術，均勻收縮補償2 6包括 構造矽主晶片中之所有V槽的R寸大概〇.4%大於連接 器V槽的最後所需要尺寸。 一旦造成主晶片，下一個步驟3 2包括形成一個金靥 層例如一個N i層在主晶片各V槽上，例如經由傳統式電 成形方法而爲之。其後，移去主晶片，然後使用其餘之金 屬層作爲一個插入物在所構成之塑模中來界定支持構件或 整個連接組合體組件之其餘構型（如步驟3 4所示）。即 ，各支持構件係經由使用具有金靥層插入物在界定予以造 成之支持構件的各V槽之該部份的塑模中之一只塑模而以 傳統式成形技術予以造成。 使用步驟3 2中所形成之插入物作爲部分的步驟3 4 中所構成之塑模，塑膠支持構件係使用一種在其他狀態傳 統式成形方法予以製造（如步驟3 6所示）。如所討論者 ，將製造較早技藝技術的（步驟3 6中之）部件所使用之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）_ 6 _ ~ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ,π 」 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 ____B7 五、發明説明（4 ) 塑模插入物略爲較大且均勻地訂定尺寸來補償在該方法的 實際成形部份期間塑膠的收縮。 關於對準容限略爲寬鬆例如數微米之各種應用，如上 所述之技術操作良好，然而，當對準容限是1微米或更小 時，則需要具有可供利用之改良技術以便製造光織連接器 ，其中對於成形所感生之收縮的補償更精確。 本發明之概略 根據其主要觀點並廣義予以說明，本發明是用以製造 由塑膠所造成之光纖連接器之一種改良式成形方法及此方 法中所使用之塑模嵌入裝置。尤其，它是一種成形方法， 此方法關於成形所感生之收縮係微差式補償而非均勻式補 償。本發明以實驗測定各種特徵的收縮例如所成形之塑膝 連接器中之各V形槽並不均勻且基於連接器尺寸和連接器 之特殊部份。基於此，本發明測定欲予成形爲光纖連接器 之特殊大小和型式的塑膠上特殊位置之收縮量》自此項測 定，構成補償微差收縮之一個主插入物並使用於隨後成形 方法中以便大置生產能更精確適應欲予連接之光纖之光纖 連接器。 圖式之簡單敘述 圖1是經由一種所熟悉之成形方法所產生之塑膠連接 組合體組件的透視圖並顯示V槽支持構件作爲其一部份； 圇2是示意流程圖舉例說明根據較早技藝之光繊塑膠 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（2!0X 297公釐） !----Ί-----(裝------訂------(M (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 SC4233 A1 ________B7_ 五、發明説明（5 ) 連接器之成形過程； 圖3是示意流程圖舉例說明根據本發明之一個具體實 施例之光繊塑膠連接器之成形過程； 圖4是資料的一個綜合表包括各種成形狀況及所產生 之表面形態學的定性敘述； 圖5是根據本發明之光纖塑膠連接器的代表性V形槽 部份的截面示意圖附以伴隨之資料一般顯示成形所感生之 收縮的邊緣效應； 圖6是一幅圖表一般顯示沿著光纖連接器的V形槽表 面之成形所感生之收縮的邊緣效應部份；及 圖7是根據本發明之一部份的主晶片和相對應之主插 入物的截面示意圖》 詳細敘沭 與本發明相關聯及下文中更詳細所敘述之實驗已顯示 關於不同之連接器尺寸和塑膠連接器的不同區域，'各特徵 的成形所感生之收縮是不均勻。舉例而言，就大體而論， 側向收縮（即，例如垂直於許多V形槽之方向的收縮）在 G接近連接器的邊緣之區域中較大。又，就大體而論，就較 一. - 大之連接器尺寸而論，成形所感生之收縮較大。因此，成 形所感生之收縮的邊緣效應及尺寸效應兩部份必須列入考 慮並適當地予以補償》 本文中所述之本發明對於經成形之連接器組件的經公 認之不均勻收縮係微差式補償。圖3示意舉例說明根據本 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,π ι^Μ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 發明之一個具體實施例之成形技術4 0。雖然下列敘述中 所討論之唯一特徵是V形槽，但是如先前所述，應了解者 ’本發明係關於可被形成在連接器中或可操作地連接至連 接器之所有可成形之特徵。 本發明技術4 0中之起始步驟4 4是構造一條或多條 V形槽在至少一個主晶片中。此等V形槽係基於通常如 4 6數字所示之微差收縮補償予以構成。起始，爲了微差 式補償成形所感生之收縮，首先必須敘述微差收縮之特性 ’即，首先必須創造一組的微差收縮數值。爲了此項敘述 中討論的目的，術語 ' 收縮值^代表關於指定一組的製造 參數，來表示發生在一塑膠連接器上之特殊收縮的特性所 必須之資料。 因此，爲了確定微差收縮值，一種實驗之成形方法使 用傳統式工藝參數及相似於予以使用在實際成形過程中者 之成形狀況予以實施。此等參數包括特殊處理期間興谭度 以及於製造主晶片和連接器時所使用之特殊型式的材料。 . _.....·... · 爲確定該組的微差收縮值所使用之實驗的成形方法複 製本發明之實際成形方法達某一程度。然而，爲了解釋的 目的，將起始討論該實驗之方法並作爲一個分開方法。 第一步驟4 4包括製造一條或多條V槽在由矽或其他 單晶材料所造成之一個本體中。形成各V形槽，此等V形 槽係使用傳統式掩蔽和蝕刻技術予以構成以便視需要將彼 等均勻地訂定尺寸且接鄰V形槽間之間隔是等距離。 下一個步驟4 8是以精於該項技藝之人士眾所周知之 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印袈 A7 _B7_ 五、發明説明（7 ) 一種方法形成一個金靥層例如N i層在各V形槽上例如經 由使用電成形之技術。一旦形成了該金靥層’步驟4 8即 告完成，並將V形槽之單晶本體自金屬層上移去，因此留 下一個實驗之塑模插入物具有一個表面其上具有來自單晶 本體之均勻相間隔且訂定尺寸之V形槽的倒轉複製品。 下一個步驟5 2是構造供使用於製造具有重要性之光 纖塑膠連接器之塑模。即，構造該塑模而界定除去其V形 槽部份以外，所Μ要之塑膠連接器的構型’它係由一個插 入物予以界定。在本發明的此實驗之部份中，將實驗之插 入物定位在塑模內並使用作爲塑模部份· 此項順序中之下一步驟5 4是資施成形實驗即經由使 用實驗之插入物作爲塑模部份而製造實驗之塑膠連接器。 如先前所述及並如下文中將更詳細討論者，製造實驗之塑 μ 膠連接器來協助測定一組的微差收縮值供使用於補償實際 塑膠連接器的微差成形所感生之收縮。舉例而言，實驗之 插入物的V形槽與所產生之實驗之塑膠連接器間之尺寸和 間隔等差示出關於賁驗連接器的成形所感生之收縮的一個 指示。 然而，除去實際所測置之收縮值外，實施該等成形實 驗來評估各種因數例如收縮值對於成形狀況之依賴性，收 縮值與所產生之表面形態學的相互關係及各個重要特徵的 再現性例如在一次操作期間及亦在不同時間上在相同狀況 下所成形之連接器中之V形槽。此等因數通常在數字5 6 處予以顯示。因爲實驗之結果與此等因數有關所以實驗之 本紙浪尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐）_ 1〇 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 痕 A7 B7 五、發明説明（8 ) 結果將在下文中予以更詳細討論。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖4顯示通常在上文討論中所述及之實驗數據的代表 性部份。更特別者，一個代表性系列的實驗操作的結果概 略特舉出於圇4中連同各種成形狀況和所產生之表面形態 學的定性敘述。表面形態學是表面不規則性的程度它大部 份係由於在特別化合物之成形期間經由不完全樹脂填充通 常環繞填料粒子所造成之小空隙和突出物。 圇4中，筒管溫度，循環時間和注射§間等標題均代 表精於射出成形的技藝方面之人士所熟悉之所有代表性成 形工藝參數。收網（後和前）標題代表在此實驗期間塑膠 -.......—--· 模製之連接器的前和後各區域中自一邊緣至另外邊緣之V 形槽尺、寸的平^1.進.辦。前區域通常是最後可能定位經拋光 之纖維終端之處而背或後區域是光纖可進入V形槽之處》 %» 經濟部中央棣準局員工消费合作社印製 各樣品的表面品質係由光學顯微術和掃描電子顯微鏡 (S EM)予以研究。將表面形態學的定性觀察分類成不 同程度的光滑度和粗糙而光滑度係所需要的。以此等觀察 計，作爲一部份的本發明所實施之實驗顯示，就大體而論 ，增加表面光滑度相當於增加成形所感生之收縮的值。然 . —- - .. ... —— ·-— Γ 而，發現此項收縮是根據本發明之技術可較爲精確地予以 補償之收縮。 此外，具有良好表面形態學之連接器可以使用各種之 狀況如圖4中所列出者予以成形。就大體而論，大致爲 0 . 6或更大之收縮值產生具有所需要之特徵精確度和表 面光滑度之連接器。又，如圖4中所示，保持表面形態學 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（2丨Ο X 297公釐）_ 11 _ 304233 A7 __B7_ 五、發明説明（9 ) 與相對應之收縮間之此項一般關係即使在一個連接器的V 形槽段內，於此情況連接器的一個終端上之光滑表面改變 成爲在相對終端上之相當粗糙表面。減少此項縱向微差收 縮的一個方式是保持V形槽的長度相當短，例如2mm而非 傳統之6咖I。 圖5至6舉例說明某些最後代表性實驗顯示以其邊際 效應部份計，在側方向之成形所感生之收縮的微差性質。 圖5顯示沿著使用具有大概251.8gm的均勻V槽間 隔之一個插入物予以成形之一典型塑膠連接器之不同V槽 間隔。將此等間隔訂定尺寸爲大概0.7%大於適合經成 形之塑膠連接器之2 5 0 的最後所需要之間隔尺寸。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如自此資料可見，外部V形槽的所產生間隔與內部Ϋ 形槽間隔相比較，通常在連接器的兩側上較窄。就大體而 論，此項邊緣效應圖解式顯示於圖6中。然而，應特別述 及者，即使此處所顯示之邊緣效應是不均勻，最內部之V 槽仍經歷不同程度的收縮。因此，必須實施微差補償橫越 整個連接器》即，簡單地經由測定V形槽的最外邊緣間之 總長度並除以V形槽的數目可能不足以補償收縮。 再度述及圖3 ，基於成形實驗5 4並關於各因數5 6 ，測定微差收縮補償4 6其形式爲收縮值並復應用此收縮 值來建造實驗V槽主晶片（步驟44)。 因此，再回至步驟44，一個主晶片62 (見圖7) 自一個單晶本體例如矽予以構成。然而，與實驗製造V形 槽在一單晶本體中不同，在實際構造主晶片6 2時，基於 本紙張尺度適用中•國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 12 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 B7__ 五、發明説明（1〇 ) 一、' 經建立作爲部分的微差收縮補償4 6之該組的微差收縮值> ，將6 @在其中之各V形槽6 4訂定尺寸並微差式疲此褚 t 7 .....-......... .... ....... /〆 予以間隔。即，使各V形槽的尺寸和間隔微差式較大來補 償隨後之不均勻收縮。 一旦在步驟4 4中形成主晶片6 2，根據步驟4 8， 將一金屬層形成在主晶片6 2上藉以形成一個主插入物 6 6 »雖然電成形業經敘述爲用以澱稹金靥層，唯可使用 其他澱積方法代替，例如蒸汽澱稹。 步驟4 8繼績以自主插入物6 6上移去主晶片6 2。 因爲主晶片6 2典型是一個矽的本體，其移除可能相對於 破壊它，例如將它在HF，ΗΝ03和水的混合物中蝕刻 ，Η20中之ΚΟΗ之溶液中蝕刻或在其他所熟悉之矽的 蝕刻劑中蝕刻。所得之主插入物6 6具有一個表面6 8其 上具有原來經形成在主晶片6 2中之微差尺寸和間隔之V 形槽的倒轉複製品。 根據步驟5 2，使用主插入物6 6作爲一個成形部份 供現有或新構造之塑模用。用以製造供連接組合體製造用 之適當塑模之技術爲該項技藝方面之工作者所熟知。又， 使用一個模插入物而界定一個經成形部份的某些部份是眾 所周知。 最後，如圖3中經由步驟5 8所示，如上文所討論， 使用主插入物6 6在傳統式成形技術中產生適合光纖連接 組合體之塑膠組件，其中塑膠組件係經由主插入物6 6予 以微差式補償。所產生之V形槽彼此間及與最後所需之尺 Ί. 5 n 裝 I n 111 ^ n 11 n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 13 - A7 B7 五、發明説明（11 ) 寸相比較更相容，因此有助於經定位在所產生之連接組合 體中之光纖的對準精確。 應了解者，本文中所敘述之新穎製造技術可連同該項 技藝方面所熟悉之任何精確成形技術而使用以便製造光織 塑膠互連組合體。此等成形技術包括轉換模製和塑料注射 成型等方法。 另外，本發明的特殊應用包括，但決不受限爲大量生 產讓渡人之用以製造連接器化光學互連電路（C Ο I C s )之組合體方法中所使用之分股複型纖維光學連接器（ MOC s )及大量生產與商業上MOC s可相容之光學互 連封裝以便纖維間和連接器間相對準。 1---------r^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS)A4规格（ 210X 297公釐）-μ -

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 304233 六、申請專利範圍 1 種供使用於製造經模塑之光嫌連接器之裝置， 每一個連接器具有經形成在其中之一個或多個特徵，該裝 置包括： —個本體具有倒轉式相對應於連接器之一個表面；及 經形成在該本體表面上之一個或多個倒轉特徵，將此 等倒轉特徵訂定尺寸來補償在成形期間各連接器之微差收 縮。 2 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中將各倒轉特 徵微差式訂定尺寸大於相對應之連接器特徵。 3 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中接鄰之倒轉 特徵間之間隔是微差式大於各相對應之連接器特徵間之間 隔〇 ΙΤΠ 4 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中各倒轉特徵 係基於在成形期間光纖連接器的收縮之經預定一組的收縮 數值特性予以訂定尺寸。 5 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中該本體具有 經由一個邊緣所界定之一個表面，其中倒轉特徽包括經形 成接近該邊緣之第一組的倒轉特徵及第二組，且其中第一 組的倒轉特徵予以訂定尺寸大於第二組的倒轉特徵。 6 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中該本體具有 經由一個邊緣所界定之一個表面，其中倒轉特徵包括經形 成接近該邊緣之第一組的倒轉特徵乃第二組，且其中第一 組的倒轉特徵中之各接鄰倒轉特徵間之間隔大於第二組的 倒轉特徵中各接鄰倒轉特徴間之間隔。 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS ) A4规格（210X297公釐） ---；-------^:— (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -丨線_ 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 -15 - 六、申請專利範圍 7 ..如申請專利範圍第1項之裝置，其中該本體包括 —個金覉層。 8 .如申請專利範圍第1項之裝置，其中該本體係由 包含N i之一種材料所造成。 9 .—種供使用於製造經模塑之光嫌連接器之裝置， 每—個連接器具有經形成在其中之一條或多條槽並予以同 等地訂定尺寸且具有等距離之間隔在其中間，該裝置包括 —個本體具有倒轉式相對應於連接器之一個表面；及 經形成在該本睡表面上之一條或多條倒轉槽，將此等 倒轉槽訂定尺寸來補償在成形期間各個連接器之微差收縮 〇 1 0 .如申請專利範團第9項之裝置，其中將各倒轉 μ 槽微差式訂定尺寸大於相對應之連接器槽。 1 1 .如申請專利範圍第9項之裝置，其中接鄰之倒 轉槽間之間隔是微差式大於各相對應之連接器槽間之間隔 〇 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 (请先《讀背面之注f項存填寫本頁) 1 2 .如申請專利範園第9項之裝置，其中各倒轉槽 係基於在成形期間光纖連接器的收縮之經預定一組的收縮 數值特性予以訂定尺寸。 . 1 3 .如申請專利範圍第9項之裝置，其中該本體具 有經由一個邊緣所界定之一個表面，其中倒轉槽包括經形 成接近該邊緣之第一組的倒轉槽及第二組，且其中第一組 的倒轉槽予以訂定尺寸大於第二組之倒轉槽· 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2ί〇Χ297公釐）_ 16 _ . A8 B8 C8 D8 304233 六、申請專利範圍 1 4 .如申請專利範圍第9項之裝置，其中該本體具 ：---；-------^-- (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 有經由一個邊緣所界定之一個表面，其中倒轉槽包括經形 成接近該邊緣之第一組的倒轉槽及第二組，且其中第一組 的倒轉槽中之各接鄰倒轉槽間之間隔大於第二組的倒轉槽 中各接鄰倒轉槽間之間隔。 1 5 種製造光繊連接器之方法，該方法包括下列 tegg 步驟· 提供具有一個表面之一個主插入物，其上具有補償微 差收縮之許多特徵形成在其中之主晶片的倒轉複製品；及 使用該主插入物作爲一個塑模部份而使光纖成形。 1 6 ·如申請專利範圍第1 5項之方法，另外包括下 列步驟：經由電成形一層在主晶片上藉以形成一主插入物 之形成主插入物的步驟，然後自該主插入物上移除主晶片 〇 1 7 .如申請專利範圍第1 6項之方法，其中該成形 步驟包括電成形一金屬層在主晶片上。 1 8 .如申請專利範圍第1 5項之方法，另外包括基 經濟部中央揉準局員工消费合作社印製 於鑑定光纖連接器之一組的徵差收縮數值，將一個或多個 特徵構形在主晶片中的步驟。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項之方法，其中該構形 之步驟包括由下列各項所組成之該組的步驟之一或數個步 驟：使經形成在其中之至少一條槽的尺寸成形，使經形成 在其中之各接鄰槽間之間隔成形，微差式放大經形成在其 中之至少一條槽的尺寸及微差式放大經形成在其中之各接 本纸張尺度適用中國國家橾率（CNS> Μ洗格（iiox297公釐）_ 17 _ SC4233 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 鄰槽間之間隔。 2 0 .如申請專利範圍第1 8項之方法，另外包括下 列步驟：在構形步驟前，測定光纖連接器的一組的微差收 縮數值特性。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項之方法，另外包括下 列步驟： 使用具有經均勻定尺寸且彼此間相間隔之各條槽之— 個實驗插入物使實驗晶片成形；及 測量實驗晶片上之各經預定位置上之收縮數值。 2 2 .如申請專利範圍第1 5項之方法，其中該成形 步驟另外包括使具有全長不超過大概2 . Oram之光織連接 器成形》 Ί--；-------穿-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局Λ工消费合作社印装 本紙張尺度逋用中國國家揉率（CNS ) A4規格（210x297公釐）-18 -