TW303309B - - Google Patents

Description

A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（1 ) 本發明係關於一種在容器中的基底做濕式處理之方法 。其中，至少有一種液嫌會被引進來，並經由一個溢流裝 置來將它排走。此外，本發明亦關於一種在容器中的基底 做濕式處理之裝置。它至少設有一個液體的注入口，以及 上面具有一個開口’用來將這種液體排走的溢流裝置。 這類的方法和裝置，比如說己經公開於us 4 722 752 A和EP 0 385 536 A中。而在一份出自於同一個專利申請人 、且未曾公開過的德國申請案4 413 077和1 95 00 239.3中 ’也曾經有提過》在這個裝有液體和基底的容器上方，設 有一些溢流裝置，而液體則是由下方注入，其將通過基底 而向上流去’並經由一個設於容器上方的溢流開口或是溢 流緣’而從裡面流出來《在經過一個濕式處理程序之後， 比如說經過一個沖洗程序之後，這個基底就得以利用一個 複雜或是簡單的機械，來將它和一個基底托盤一起自液體 或是容器中取出，或是直接將它取出《其中，溢流的功用 是要讓粒子和其他的雜質，能夠從液髏表面一起被溢流帶 到外面’而流到溢流裝置中，並且在基底自液體中取出時 ’讓它們根本不會附著在基底的表面上。 要讓基底自液體或是容器中安全而又順暢地被取出的 機械裝置，是既昂貴而又複雜的。此外，在容器中的昇降 機械，本身要佔去許多位置，因為它必須要從基底的托盤 下方’或是基底的下方來將它們夾住，而且必須要將它們 舉起。如此一來，則除了容器的尺寸必須要特別的大之外 ’當液體需要汰換或更新時，它連帶的也會使液體的消耗 (請先閱讀背面之注意事項再填两本頁) t -*

T 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS > A4規格（210X297公釐） -4 - A7 五、發明説明（2 ) 量變得相當大。 當晶片要自容器中取出的時候，它也有如下一個特別 的缺點：在昇降機械上的晶片，以及為晶片而設置在容器 上方的罩子，它們必須要形成一個非常精確的動作，以便 在晶片自容器中取出的時候，能夠安全而又可靠地讓它保 持在一個預定的路線上。因為需要很精確的加工，這種動 作所需的加工成本很高。此外，在傳統的裝置中，基底自 容器中取出時的損傷或是破裂情形，也只有额外花費很高 的校準費用時，才能加以避免。 本發明的任務為提出、或是創造出前述這種形式之方 法和裝置，而基本上，它或它們在方法上，以及在結構的 複雜性上，都比較簡單，但卻又能保證它能夠安全且又可 靠地處理其基底。 根據本發明所述這一項任務的解決方式，是讓溢流裝 置浮在液雅上，而且讓它和液體的表面一起下降及/或上 昇。 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 與傳統的方法不同的，是其基底並非由液體中舉起， 而是讓液體下降，而無須去更動基底在容器中的位置。由 於本發明的溢流裝置是浮在液體上，而且它會隨著液體的 表面下降，所以懸浮在液體表面上的粒子和雜質，在液體 表面下降時，也就會隨著液流被帶到溢流裝置裡，而不會 附在基底上。若無本發明這種浮在液體上的溢流裝置，則 當液雅表面下降時，粒予和雜質會附著在基底的表面，而 讓基底在原本的處理或沖洗程序之後，再度的受到污染。

A7 A7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 五、發明説明（3 ) 本發明的方法或本發明的裝置，並不像傳統的裝置一 般，需要-個昇降的裝置，所以本方法中所需要的設備， 基本上就可以簡單且便宜的方式來實現。此外，容器的尺 寸也很小，所以它所需要維持的液體容積，同樣的也很小 。這便使得這一類濕式處理裝置的運作，能夠變得特別的 節省。由於基底並不需要自容器中被取出，所以在容器的 上方一比如說在軍子裡—也就不需要設置引道 。因此，本 發明的方法便可以利用一個很簡單的裝置來加以實現。而 在這裡也只有當處理室需要被蓋住，且需要引入混合氣體 時，才需要有一個罩子◊因此，在容器本身，比如說將基 底乾燥的這種處理程序，基本上就變得比較安全，而且基 底也不會有受到損傷的危險。 在本發明一個優良的實施例中’液體係經由一個溢流 裝置的溢流開口，以及至少經由一個在這裡與其相連的管 線’從容器中流出。當液體自容器中流出之後，基底仍將 舍留在容器内，而且可以隨後以一簡單的方式，比如說讓 它和基底的托架合成一個單元，而簡單地將它們取出來， 並繼續加以處理。 根據本發明，所述之這項任務也可以利用一種裝置加 以解決。其中，它的溢流裝置是可以飄浮的，而且是設置 在液體表面上》達便使得這個溢流裝置可以隨著液體表面 下降及/或上昇。這種已經敘述過、與本發明方法有關的 本發明之優點，也會出現在本發明的裝置之中》 溢流裝置上面設有液體排放管，而它則至少連接到一 f紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) A4規格（210 X 297公着） -6 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部中央橾準局貝工消費合作杜印製 Α7 Β7 五、發明説明（4) 個容器的開口上，用來排放液體。最佳的方式是，容器的 底部至少要設置一個容器開口，以便使液體能夠流出來， 而毋須另外再使用p即筒。 由於浮在液體表面上的溢流裝置，係與液體一起下降 及/或上昇，所以它的液體排放管便要能跟隨這一個動作 。因此’這條液嫌排放管最好是一條伸縮管、一條板狀的 管及/或一條像是望遠鏡般，可以伸長或是縮短的管子β 在本發明實施例之變化中，這條液體排放管係為一隻管子 ’而它則可以沿著一個基本上係設置在容器底部的容器開 口，緊密的前後滑動。 溢流裝置最好是將基底包圍起來，以保證它能一直有 一個均句的溢流向外，以便將粒子和雜質從一個置於溢流 裝置内部的基底中去除一即使是在液體表面下降時亦然。 因此，溢流裝置最好是一個能飄浮的、將基底包固起來的 環。但是溢流裝置也可以依照它周圍的形狀來製作，讓它 基本上能符合容器内部空間的截面形狀。如果容器内部的 空間一比如說是矩形的話，則本發明在這種實施例下的溢 流裝置，便也是一個矩形的管子。這一種溢流裝置—假設 它現在的形狀是環狀的，或是按照容器内部的空間來設計 的一當它下降及/或上昇時，最好是順著容器來移動，以 確定它能落在一個預定的位置上。 為了保證液嫌的表面，能夠有一個由内而外儘可能地 均勻的液流，並且向外遠離基底而去時，最佳的情形便是 讓溢流開口能均勻地分布在溢流裝置的四周，比如說以鑽 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂_ ¥紙張尺度迷用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨Οχ 297公着） 經濟部中央揉準扃貝工消费合作社印簟 ⑽ 309 A7 ___B7 五、發明説明（5 ) 孔或是狹縫的形式，設置在環或管子上。 在本發明另一種結構方式的裝置中，係於容器上方設 置一個可以被卸下來的軍子。而它最佳的情況則是如同相 關的ΕΡ Ο 385 536 A中所述之一般，設有一個氣體導入裝 置，以便在乾燥程序中可以將氣體導引進來。這一種經由 氣體導入裝置所導入的氣體，將是以一個優良的方式，和 那些流出去的處理液體一起，經由溢流裝置上的溢流開口 被排放掉。 在下文中，本發明將採用一個實施例，並參照唯一的 示意截面圖，作進一步的說明。 在一個容器1中一誓如說在一個液體處理槽或是沖洗 槽中，設有一些座落於容器底部的基底3之托架2—比如說 晶片的托架，它們是平行地並排在一起的。而有一個溢流 裝置5，則是浮在液體的表面4上。它是一個比如說環形的 構造’且環繞在基底3的四周，以便在液體下降時，以及 浮在液體表面4上的溢流裝置5—起下降時，讓它不致於會 去碰到基底3。溢流裝置5上設有一些開口6，而液體便是 經由開口流到一個望遠鐃筒7中。它在下方是利用一個開 口8和容器1相連。以這種方式，液體便得以從容器1裡， 流到一條設有閉鎖機構9，而且可以被閂住的排放管10中 。只要沒有相等鈞液體容積從一條注入管11被導引到容器 中時，這個溢流裝置5就會和液體一起下降，直到它抵達 基底3的下方為止。當溢流裝置5下降的時候，這個望遠鏡 筒7就會疊合在一起，並因此而縮短。 本紙张尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 年 訂 A7 __B7 五、發明説明（6 ) 當溢流裝置5下降到基底3最下緣以下時，它們就會完 全的裸露出來，而讓我們可以普通的方式，從容器上方將 它們和托架2—起’或是和一個置於托架2上方的托盤一起 取出’抑或是一個一個的取出來，然後再加以處理。 由於溢流開口6係均句的分布在溢流裝置5上，所以液 體便有一個從内而外的穩定液流，也就是說向外遠離基底 3而去，而使得那些懸浮在液體表面4上的粒子和雜質，也 被帶到溢流裝置5裡’而遠離基底3。因此，即使當液禮要 從容器1中被移走時，其基底3仍然不含粒子和雜質。 在前文中，本發明係利用一個優良的實施例加以說明 。但是一個專業人員，卻可以在本發明的構想空間内，做 出無窮盡的變化和設計。舉例來說，溢流裝置5可以用一 種最不同的方式來構造’比如說做成一個管子的形狀。而 與前面條件相當的開口6之構造，大致上也可以製做在它 四周的外表面上。除了望遠鏡筒7外，我們也可以採用板 狀的管子，它在溢流裝置5下降時，也會疊合在一起。 (请先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) •裝· 訂 經濟部中央梯準局員工消费合作社印製 本紙張尺渡適用中國困家梯率（CNS > Α4规格（210Χ297公釐） A7 B7 i—- 修正I補无 五、發明説明（7) 圖式簡單說明 圖一為本發明之一實施例，其係進一步詳細描述本發明 的基底之濕式處理裝置》 圖號說明 1 液體處理槽或沖洗槽 2 托架 3 基底 4 液體表面 5 溢流裝置 6 開口 7 望遠鏡筒 8 開口 9 閉鎖機構 10 可被問住的排放管 11 注入管 :---;-------1裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、βτ -泉- '·' 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -10

Claims (1)

1. 六 A8 BS C8 D8 月η

   _______一 補充 命请專利範園差05340號專利案申請專刺節圍修正太 經濟部中央梂準局員工消费合作社印搫 1_ 一種在容器中的基底之濕式處理方法，其中，至少有一 種液體會被導引進來，並經由—個溢流裝置將它排放 掉，其特徵為，溢流裝置係浮在液體上面，而且和液 體的表面一起下降及/或一起上昇。 2. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，液體 是經由溢流裝置上的溢流開口，以及經由至少一條和 它相連的管線，從容器流出。 3. —種在容器中的基底之濕式處理裝置，其中，它至少設 有一個液體的注入口，以及一個上面設有開口，用來 排放液體的溢流裝置，其特徵為，溢流裝置（5 )是 可以飄浮的，而且是設置在液體表面（4 )上，並且 可以和液體表面一起下降及/或一起上昇。 4. 根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，溢流 裝置（5)上’設有溢流開口（ 6)。 5. 根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，溢流 裝置（5)上，設有液體排放裝置（7)。 6. 根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，在溢 流装置（5 )和至少一個容器開口（ 8 )之間，至少 設有一個液體排放管（7 )。 7. 根據申請專利範圍第6項所述之裝置，其特徵為，容器 開口（ 8)係設置於容器（1 )的底部。 8. 根據申請專利範圍第6項所述之裝置，其特徵為，液體 本紙張尺度家標準(CNS ) A4· ( 210X們公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 策. -、11. 六 A8 B8 C8 D8

   申請專利範圍 排放管（7)是一條伸縮管。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 9· 請專利範圍第6項所述之裝置，其特徵為，液體 排放管（7)是一條板狀的管子。 10.=申清專利範圍第6項所述之裝置，其特徵為液 體棑放管（7)是—個望遠鏡筒。 η丄艮據中請專利範圍帛6項所述之裝置，其特徵為液 ^放管（7 )是-條管子，它可以緊密的順著容器 開口（ 8)來回推移。 12_根據巾請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，溢 流裝置（5 )是一個環繞在基底四周，可以浮起來的 環。 13. 根據申請專利範圍第U項所述之裝置，其特徵為，溢 流裝置（5 )周圍的形狀，基本上和容器内部空間的 截面形狀相同。 14. 根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，溢 流裝置（5 )在它下降及/或上昇時，是在容器（1 )内部運行的。 15. 根據申請專利範圍第4項所述之裝置，其特徵為，溢 流開口（ 6 )的構造，是均勻的分布在溢流裝置（5 )的四周。 16. 根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，一 個用來確定液體表面（4 )位置的感應器，而其溢流 裝置（5 )則可以根據其輸出訊號，來調節它的液面 高度。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210^9^釐） (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) 衣· 、tT 303309 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 17. 根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，一 個設置在容器（1 )上方，用來開啟和關閉用的罩子 〇 18. 根據申請專利範圍第3項所述之裝置，其特徵為，一 個氣體導入裝置。 19. 根據申請專利範圍第18項所述之裝置，其特徵為，氣 體可以經由溢流裝置（5)上的溢流開口（6)加以 排放。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（兮釐）