TW302556B - - Google Patents

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302556 .- 經濟部中央橾準局工消費合作社印製 五、發明説明 ( f ) 1 1 枝 術 m 糖 1 1 本 發 明 係 Μ 於 在 電 氣 絕 緣 性 透 明 基 材 上 形 成 透 明 導 電 1 | 膜 之 透 明 導 電 叠 暦 « 和 製 法 t Μ 及 此 透 明 導 電 叠 曆 髖 製 請 1 I 造 之 際 所 用 噴 鍍 標 靶 堪 有 利 用 > Λ,. 刖 述 透 明 導 電 叠 層 體 之 先 閲 ft 1 4 觸 摸 板 〇 背 面 1 之 .1 背 晉 枝 術 注 意 I 在 電 氣 絕 緣 性 的 透 明 基 材 上 形 成 透 明 導 電 膜 的 透 明 導 事 項 1 I 再 1 1 電 叠 層 體 » 廣 用 於 液 晶 顯 示 元 件 或 電 氣 發 光 元 件 等 顧 示 填. 寫 乙 元 件 之 驅 動 電 極 9 太 陽 電 池 等 光 電 變 換 元 件 之 窗 電 極 » 本 頁- 1 或 觸 摸 板 等 座 標 輸 入 裝 置 中 的 透 明 電 極 膜 t 要 求 透 明 性 1 1 的 電 極 或 形 成 配 線 用 之 材 料 〇 1 I 此 透 明 導 電 叠 層 體 之 製 法 » 已 知 有 利 用 濕 法 在 透 明 基 1 訂 材 上 形 成 m 明 導 電 膜 之 方 法 9 利 用 真 空 蒸 著 法 離 子 鍍 1 著 法 噴 鍍 法 等 物 理 性 氣 相 蒸 著 法 (PVD 法） 在透 明 基 材 1 I 上 形 成 透 明 導 電 膜 之 方 法 9 以 及 利 用 化 學 性 氣 相 蒸 著 法 1 1 1 (CVD 法） 在 透 明 基 材 上 形 成 透 明 導 電 瞑 之 方 法 等 〇 在 此 1 1 等 方 法 中 » 利 用 離 子 鍍 著 法 或 噴 鍍 法 形 成 透 明 導 電 膜 之 鴒 I 方 法 9 由 於 即 使 透 明 樹 脂 基 材 般 耐 熱 性 較 低 的 透 明 基 材 * 1 1 上 9 亦 可 形 成 所 需 透 明 導 電 膜 參 故 適 合 利 用 為 透 明 導 電 1 β 層 體 之 製 造 手 段 〇 I 可 是 » 對 構 成 透 明 導 電 叠 曆 體 的 透 明 導 電 膜 所 要 求 的 1 1 電 氣 特 性 9 視 其 用 途 而 異 〇 例 如 電 阻 膜 方 式 的 觸 摸 板 1 I ( 包 含 觸 棋 網 9 下 同 ) 尤 指 類 比 型 觸 摸 板 中 做 為 透 明 1 I 極 膜 使 用 時 1 要 求 比 其 他 用 途 的 透 明 導 電 膜 有 更 高 的 1 1 -3 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ > ) 1 1 電 阻 f 随 著 近 年 來 要 求 提 高 輪 入 精 度 9 0 前 表 面 電 阻 以 1 1 達成800 Ω /口 以 上 為 佳 〇 1 | 觸 摸 板 為 對 個 人 電 腦 9 文 字 處 理 機 電 子 筆 記 本 等 電 請 1 1 腦 本 體 ( 主 記 憶 裝 置 ) 進 行 _ 入 資 料 的 輪 入 裝 置 之 » 先 閱 1 r 讀 i 在 輸 入 只 要 用 手 指 或 筆 等 稍 用 力 即 可 輸 入 資 料 近 年 來 背 面 1 l 之 1 多 用 於 輪 入 裝 置 〇 此觸摸板雖然有各種原理構成者，惟随 注 意 I I 著 要 求 _ 入 位 置 的 檢 知 感 度 提 高 最 近 逐 漸 採 用 類 比 型。 事 項 1 I 再 1 1 類 比 型 觸 摸 板 為 具 有 透 明 基 材 以 及 在 此 透 明 基 材 上 形 填 § 本 成 平 膜 狀 的 透 明 電 極 膜 ( 電 阻 膜 ) 之透明電極板二牧 9 頁 N__» 1 令 前 述 透 明 電 極 膜 彼 此 對 向 利 用 隔 體 等 保 持 預 定 間 隔 而 1 1 配 置 二 板 透 明 電 極 基 板 當 中 之 一 即 位 於 輸 ΓΛ!) 入 面 側 〇 故 1 I 從位於輸入面側的透明電極基板外部, 對 該 透 明 電 極 基 板 1 1 訂 施 力 時 透 明 電 極 m 彼 此 間 即 告 導 通 此 等 透 明 電 極 膜 1 各 藉 設 在 該 透 明 電 極 膜 預 定 位 置 的 電 極 接 端 或 引 線 ( 取 1 1 出 電 極 ) 接電至預定的驅動電路 〇 另 外 透 明 電 捶 膜 1 1 亦 分 別 接 電 於 使 用 比 較 電 路 撤 處 理 機 類 比 / 數 位 變 1 -.1 換 器 等 之 座 標 檢 測 懺 構 .〇 線 在 此 類 比 型 觸 摸 板 中 從 位 於 輸 入 面 側 的 透 明 電 極 基 1 1 板 外 部 施 力 使 透 明 電 極 膜 彼 此 之 間 導 通 時 即 組 成 電 1 路 使 電 流 從 其 中 一 透 明 電 極 膜 預 定 端 部 經 過 發 生 前 I 述 導 通 之 處 流 至 另 一 透 明 電 極 膜 預 定 端 部 〇 因 此 在 1 1 此 電 路 中 的 霉 阻 值 » 會視發生前述導通之處 ， 即 前 述 m 1 1 力 處 的 位 置 座 標 而 異 9 而 根 據 此 電 阻 值 的整化 9 前 述 施 1 1 力 處 的 位 置 座 檷 即 可 利 用 座 檷 檢 測 機 構 檢 知 〇 故 Μ 使 用 1 1 -4 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ現格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局貞工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 1 類 比 型 觸 摸 板 的 透 明 電 極 膜 而 即 要 求 電 阻 較 使 用 數 1 1 位 型 觭 摸 板 的 透 明 電 極 膜 為 高 9 且 表 面 霄 阻 的 均 勻 性 要 1 I 優 良 〇 ^—V 請 1 I 做 為 透 明 導 電 板 按 習 知 由 物 理 性 氣 相 蒸 著 法 形 成 的 tL 閲 讀 1 ITO 膜 • 可 應 用 於 各 種 用 途 Ο ITO 膜 係 可 藉 改 變 製 膜 條 背 面 1 之 件 而 變 化 電 阻 係 數 的 透 明 導 電 膜 * 惟 兼 具 透 明 性 和 附 久 注 意 I 性 時 的 電阻係10- *Ω • cm 〇 因 而 » 使 用 此 ITO 膜 做 為 事 項 1 I 再 1 1 透 明 電 極 膜 9 欲 得 提 高 输 入 精確度的類 比 型 觭 摸 板 時 9 必 寫 本 足 須 令 ITO 膜 的 膜 厚 極 薄 到 10 η η 左 右 Ο 可 是 » 如 此 極 薄 的 頁- 1 I 薄 膜 未 能 脫 離 島 狀 構 造 領 域 ( 參 見 厂 薄 膜 的 基 本 技 術 J 1 1 ( 東 京 大 學 出 版 社 ) 第 90 -91 頁 ) 故 不 附 用 〇 因 此 $ 1 1 特 別 是 有 鼷 使 用 類 比 型 觸 摸 板 的 透 明 電 極 基 板 材 料 亟 1 訂 需 開 發 —* 種 透 明 導 電 叠 層 體 t 具 有 取 代 ITO 膜 的 新 穎 高 1 電 之 透 明 導 電 膜 0 1 I 較 ITO 膜 (兼備透明性和附久性者） 更 高 電 阻 的 膜 9 已 1 I 知 有 由 含 la 1 ， 2 1 -Q i至少- -成份1 至20莫 ·, 1 1 耳 % 的 S η 0 ί所形成高電阻導電性膜 (參照特開昭57- ..旅 1 109206號 公 報 ) 或 在 透 明 導 電 性 的 金 鼷 氧 化 物 薄 膜 中 1 1 9 添 加 選 白 包 含石丄0·: 1 ， I XQ -2 A-.L-2 ~0 : 3 ZxJ 2 % -0 1 1 至 少 一 種 金 覼 氧 化 物 原 子 組 成 比 為 Θ, _5 Μ 的 m I (參見特開平6 -349338號公報） 〇 1 1 可 是 上 述 特 開 昭 57 -1 0 9 2 0 6號公報所揭示高電阻導電 1 1 性 膜 9 其 表 面 電 阻 非 常 高 到 10 6 Ω /□以上， 不能實用 1 I 在 觸 摸 板 用 爾 極 瞑 Ο 又 由 於 此 高 電 阻 導 霄 性 膜 係 按 濕 法 1 1 -5 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） 〇02556 ΑΊ Β7 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印裝 五、發明説明 ( 4- ) 1 1 製 膜 9 故 在 乾 煉 步 驟 中 t 基 材 必 須 加 熱 到 400 1C Μ 上， 1 1 以 致 基 材 的 材 質 明 顗 受 到 限 制 9 為 其 困 難 所 在 〇 1 I 另 方 面 9 在 上 述 特 開 平 6- 349338號 公 報 實 施 例 中 揭 示 請 1 1 的 膜 在 17 η η 膜 厚 » 具 有 500〜700 Q / □高的表面電阻， 先 閲 1 J 讀 Ί I 且 附 久 性 亦 優 9 適 用 做 類 比 型 m 摸 板 的 透 明 電 極 膜 〇 可 背 面 1 之 .1 是 如 前 所 述 $ 維 著 近 年 對 類 比 型 m 摸 板 輸 入 精 度 提 高 的 注 意 I 要 求 高 漲 » 該 觸 摸 板 的 透 明 電 極 膜 表 面 電 阻 宜 達 大 概 事 項 1 I 800 Ω / □ 以 上 〇 即 近 年 來 嚴 格 要 求 類 比 型 m 摸 板 输 入 精 再 填 寫 本 1 •-J X 度 的 提 高 9 實 非 上 述 特 開 平 6- 349338號 公 報 具 體 揭 示 的 頁 I 表 面 電 胆 500〜700 Ω / 口膜所能企及 1 1 本 發 明 第 一 百 的 > 在 於 提 供 具 有 高 電 阻 的 透 明 導 電 膜 1 1 之 透 明 導 電 叠 層 體 » 及 其 製法 〇 1 1 訂 1 本 發 明 第 二 百 的 f 在 於 提 供 具 有 高 電 阻 的 透 明 導 電 膜 之 透 明 導 電 叠 曆 體 製 造 時 可 用 的 噴 鍍 橘 靶 ( 以 下 簡 稱 1 | 厂 標 靶 J ) 〇 I 1 本 發 明 第 三 巨 的 在 於 提 供 改 菩 输 入 精 度 之 觸 摸 板 〇 1 ·· I 發 明 揭 示 | 要 達 成 上 述 第 一 百 的 之 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 9 可 分 1 1 成 下 述 (a ) 和 (b) 二 種 〇 1 I (a) 具 有 電 氣 絕 緣 性 的 透 明 基 材 > Μ 及 在 此 透 明 基 材 I 上 所 形 成 透 明 導 電 膜 • 該 透 明 導 電 膜 係 >Χ 絪 (I η) 鋅 1 1 (Ζ η ) 鈦 (Τ i) 和 氧 (0) 為 構 成 元 素 9 絪 (I η ) 佔 有 絪 (I η ) 1 | 和 鋅 (Ζ η ) 合 量 的 原 子 比 In / ( In + Z η ) 為 20 90原 子 % • 钛 1 I (Ti ) 的 原 子 比 T i / ( In + Z η + Ti )為 2. 2 20原 子 % 之 氧 化 物 1 1 _ £ 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4%格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( Γ ) 1 1 膜 所 組 成 » 而 該 透 明 導 罨 膜膜厚及電 阻 係 数 是 在 以 附 匾 中 ! 1 第 1 圖 所 示 A β » C $ D 為 頂 點 之 四 角 形 範 圃 内 9 以 1 I 此 為 特 徵 的 透 明 導 電 叠 暦 體 ( 此 透 明 導 電 叠 層 體 以 下 稱 r-V 請 1 I 為 厂 透 明 導 電 叠 層 體 I J ) 〇 先 閲 1 1 讀 -1 | (b) 具 有 電 氣 絕 緣 性 的 透 明 基 材 以 及 在 此 透 明 基 材 背 面 1 之 :1 上 所 形 成 透 明 導 電 膜 » 該 透 明 導 電 膜 係 以 絪 (I η ) 鋅 注 意 I (Z η ) 鈦 (T η 鎵 (G a ) 和 氧 (0) 為 構 成 元 素 9 絪 (I η) 佔 事 項 1 I 再 1 | 絪 (I η ) 和 鋅 (Ζ η ) 合 量 的 原 子 比 In /'·( In + Z η ) 為 20 •^w 90原 子X 填* 寫 —V * t » 而 钛 (T i) 和 鎵 (G a ) 含 量 的 原 子 比 (T i + G a ) / ( In + Z η + T i 本 頁- 1 1 + G a ) 為 1 20原 子 % 之 氧 化 膜 所 組 成 1 以 此 為 特 徵 之 透 1 1 明 導 電 叠 曆 體 ( 此 透 明 導 電 II 層 體 >λ 下 稱 為 Γ 透 明 導 電 1 I 叠 層 體 I J ) 〇 1 1 訂 1 又 達 成 上 述 第 一 巨 的 之 本 發 明 透 明 導 電 叠 暦 體 製 法 t 分 成 下 述 (c ) 和 (d) 二 種 〇 1 I (c ) 在 電 氣 絕 緣 性 的 透 明 基 材 上 » 利 用 物 理 性 氣 栢 蒸 1 1 著 法 » 形 成 Μ 絪 (I η ) > 鋅 (Ζ η) Λ 钛 (Ti) 和 氧 (0) 為 構 成 1 1 元 素 9 絪 (I η ) 佔 絪 (I η ) 和 鋅 (Ζ η) 合 量 的 原 子 比 In / ( In + 媒 \ Ζ η ) 為 20 90原 子 ϋί 9 而 钛 (Ti ) 的 原 子 比 Ti / ( In + Z η + T i ) 1 1 為 2 , 2〜20原子X 之氧化物膜所組成， 膜厚和電姐係數 1 在 附 圖 中 第 1 圖 所 示 A Β Λ C \ D 為 頂 點 之 四 角 形 範 I 圍 内 之 透 明 導 爾 膜 t >λ 此 為 特 激 的 透 明 専 電 叠 暦 體 之 製 1 1 法 ( 此 法 Μ 下 稱 厂 叠 層 體 製 法 I J ) 0 1 | (d) 在 霉 氣 絕 緣 性 的 透 明 基 材 上 » 利 用 '物 理 性 氣 相 蒸 1 著 法 t 形 成 以 絪 (I η ) > 鋅 (Ζ η ) 钛 (Ti ) > 錠 (G a ) 和 氣 (0) 1 1 -7 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局系工消費合作社印氧 五、發明説明 ( t ) 1 1 為 構 成 元 素 • 絪 (I η)佔絪 (I η ) 和鋅 (Z η ) 合 量 的 原 子 比 In 1 1 / ( In + Z η ) 為 20 90原 子X 钛 (Ti ) 和 鎵 (G a) 合 ft 的 原 子 1 I 比 (T i + Ga )/(1 η + Ζη + Τ i +Ga )為1 〜20原子X 之氧化物膜 請 1 | 所 組 成 透 明 導 電 膜 » 以此 為 特 戡的 透 明 導 霄 叠 曆 體 之 製 先 閲 1 1 讀 1 法 ( 此 法 Μ 下 稱 厂 II 層體 製 法 I j ) 〇 背 1 J 之 .1 另 方 面 達 成 上 述 第二 百 的 之本 發 明 檷 靶 分 成 下 述 注 意 I 1 (e ) 和 (f ) 二 種 0 事 項 1 I 再 1 (e ) 由 絪 (I η) 鋅 (Ζ η ) 钛 (Ti ) 和 氧 (0) 為 構 成 元 素 寫 本 J Λ 的 氧北 物i结Ji 所 構 成， 含 通 式I η 2 0 C (Ζη 0) m (戲 =2 至 頁 I 7) 所 —晶 麗農iL合—物 9 絪 (In) 佔 絪 (I η ) 和 鋅 (Ζ η ) 合 1 1 量 的 原 子 比 In / ( In + Z η )為 20 90原 子 % ， 钛 (T η 的 原 子 1 I 比 Ti (I η + Ζη + T i) 為 2 . 2〜20原子S!, 體積電阻係數在 1 1 訂 1 10 -2 Ω m c m 以 下 以 此為 特 激 之標 靶 ( 此 m 靶 κ下稱 厂 檷 靶 I j )0 1 I (f) 由 絪 (I η ) 鋅 (Ζ η ) 呔 (Ti ) Λ 鎵 (G a ) 和 m (0) 為 1 1 構 成 元 素 的 氧 化 物 燒 结體 所 構 成， 含 通 式 In 2 〇 = 3 (Ζ η 0 ) m 1 • I (B = 2 至 7) 所 示 六 方 晶 層狀 .化.1.合·物， 絪 (I η) 佔 絪 (I η) 和 鋅 i (Z η) 合 量 的 原 子 比 In / ( In + Z η ) 為20 90原 子 % 1 钛 (Τ i ) I 1 和 鎵 (G a ) 合 量 的 原 子 比（T i + G a )/(1 η + Ζη + Τ i + Ga )為1 20 , 1 I 原 子 % » 此 為 特 微 之標 靶 (此標靶K下稱為 「標靶ϋ」） 1 而 達 成 上 述 第 三 巨 的之 本 發 明觭 摸 板 9 可 分 成 下 述 (g) 1 1 | 和 (h) 二 種 〇 1 I (g ) 一 種 觸 摸 板 ， 具備 二 枚 透明 霣 極 基 板 有 形 成 預 定 1 1 -8 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） ^02556 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印簟 五、發明説明 ( r ) 1 1 圓 案 的 m 明 電 極 膜 » 該 二 枚 透 明 霣 極 基 板 是 將 該 透 明 電 1 1 極 膜 以 預 定 間 隔 配 置 成 彼 此 對 立 9 該 透 明 電 極 基 板 中 之 1 I 一 ， 從 外 部 對 該 透 明 電 極 基 板 施 力 時 9 可 使 該 m 明 電 極 請 1 I 膜 彼 此 導 通 其 特 徴 為 $ 該 二 枚 透 明 電 極 基 板 分 別 形 成 閱 1 1 讀 1 的 透 明 電 極 膜 當 中 至 少 其 一 9 是 由 絪 (I η) 鋅 (Z η ) > 钛 背 1 之 (T 〇 和 氧 (0) 為 構 成 元 素 9 絪 (I η) 佔 絪 (I η ) 和 鋅 (Ζ η) 合 注 意 I 量 之 原 子 比 In/( I η + Ζη )為20〜90原子X 9 钛（Ti )原子比 事 項 1 1 再 1 1 T i / ( In + Z η + Ti )為2 .2 20原 子 % 之 氧 化 物 膜 所 構 成 9 該 填 寫 本 —-V· X 透 明 電 極 膜 之 膜 厚 和 電 阻 係數係车附 圖 中 的 第 1 圖 所 示 A 頁- 1 B Λ C D 為 頂 點 之 四 角 形 範 圍 内 者 ( 此 觸 摸 板 以 下 1 1 稱 為 厂 觸 摸 板 I ) J 〇 1 I (h) — 種 觸 摸 板 9 具 備 二 枚 透 明 電 極 基 板 > 有 形 成 預 1 訂 1 定 圖 案 的 透 明 電 極 膜 » 該 二 枚 透 明 霣 極 基 板 是 將 該 透 明 電 極 瞑 以 預 定 間 隔 配 置 成 彼 此 對 立 9 該 透 明 電 極 基 板 中 1 I 之 一 f 從 外 部 對 該 透 明 電 極 基 板 施 力 時 • 可 使 該 透 明 電 1 1 極 膜 彼 此 導 通 > 其 特 戡 為 該 二 枚 透 明 電 極 基 板 分 別 形 * 1 I 成 的 透 明 電 棰 膜 當 中 至 少 其 一 » 是 由 絪 (I η) % 鋅 (Ζ η ) 娘 I 钛 (T η Λ 鎵 (G a ) 和 氧 (0) 為 構 成 元 素 > 絪 (I η) 佔 絪 (I η ) 1 和 鋅 (Ζ η ) 合 量 的 原 子 比 In / ( In + Z η ) 為 20 90原 子 % f 該 1 1 钛 (T i) 和 鎵 (G a ) 合 量 的 原 子 比 (TI + G a )/ (I η + Ζη + T i + G a ) I 為 1 20 原 子 % 之 氧 化 物 膜 黍 以 此 為 特 徵 之 觸 摸 板 ( 此 1 1 觸 摸 板 以 下 稱 為 厂 觸 摸 板 I J ) 〇 1 I 圖 JBL 單 Μ. M. 1 | 第 1 圔 為 構 成 本 發 明 透 明 導 當 叠 層 體 之 透 明 導 霣 膜 或 1 1 -S - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 B7 五、發明説明U ) 構成本發明觸摸板之透明電極膜的膜厚與轚阻係數闞係 曲線圄， 第2圖為實施例44至實施例46中由（2)製成類比型觸摸 板大略斜視圖。 竇撫琎昍的醅住亘餚例 玆詳细說明本發明實施具體例如下。 先說明本發明透明導電叠層體I,此透明導電叠層體 I之特激，如前所述，在於構成該透明導電叠層體的透 明導電膜，係由特定組成份的氧化物膜所構成，由此氧 化物膜構成的透明導電膜膜厚和電阻係數，在附圖中的 第1圖所示A 、B 、C 、0為頂點的四角形範圍内（包 含境界線上，K下稱「第1圖所示領域内」），故首先 就該特定氧化物膜構成的透明導電膜加以說明。而第1 圖中AB線表示表面電阻為丄_乙CL的氧化物膜膜厚與電 阻係數之闥係，CD線表示表面電阻為&0 0H□的氧化物 膜膜厚與電阻係數之闞係。

按照本案發明人等之研究，膜厚和電阻係數在第1圖 所示領域内的透明導電膜，亦可由廣Li In )和組Un )之一 ，以及選自鈦（Ti)、矽（Si)、鎳（Ni)、銥（Ir)、铑（Rh) 、鈽（Ce)、皓（Zr)、鉅（Ta)、鉈（T1)、姶（Hf)、鎂（Mg) 、鈷（Ca)、鉛（Pb)、鉻（Cr)和鎵（Ga)等金羼元素組群至 少一種金靨元素，與氧（0)為構成元素，該金靨元素縴 最的原子比（由金靨元素组群選出的全部金臑元素）/ [(In或Sr〇 + (金鼷元素組群選出的全部金靨元素）]為H -10- 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----.——----飞------1T------^ - I % (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 〜4立原子X之氧化物膜形成。 同樣情形，即使以服XJ η )和、媪(S η )之一，K及選自钛 (Ti)、矽（Si)、鎳（Ni>、銥（Ir)、铑（Rh)、鈽（Ce)、锆 (Zr)、钽（Ti)、鉈（T1)、給（Hf)、鎂（Mg)、鈷（Ca)、鉛 (Pb)、鉻（Cr)和鎵（Ga)等金臛元素組群之至少一種金 靨元素，與JLJZn)和氧Χΰ)為構成元素，該金靨元素縴 量的原子比（金靨元素組群選出的全部金靨元素）/ [(In 或5^) + (金靨元素組群選出的全部名鼷元素）+2〇]為2.2 〜40原子S：,該鋅（Zn)的原子比Zn/[(In或Sn) + (金靨元 素組群選出的全部金靨元素）+Zn]為2.2〜30原子5K (惟 2.2原子X除外）之氧化物膜，亦可形成膜厚和電阻係 數在第1圖所示領域内之透明導電膜。 可是，為得提高服無安% I姓和鬣阻經賭_安定J4 ,且膜 厚和電阻係數在第1圖所示領域内之透明導電膜，則宜 由姐U η )、HZ η )、__杜一(T i )和，Κ0)為構成元素之氧化 物膜形成透明導電膜。 於此，由絪（In)、鋅Un)、钛（Ti)和氧（0)為構成元 素的上述氧化物膜，以鋅（Zn)和钛（Ti)合量的原子比 (2。1'丨）/(1〇 + 2^1'丨）為2.2〜50原子！1!,或絪（111)佔絪 (In)和鋅（Zn)合量的原子比Ι“（Ιη + Ζη)為20〜90原子！ϋ ，钛（Ti)的原子比Ti/(In + Zn + Ti)為2.2〜20原子！C為佳。 Μ本發明透明導電叠曆體I而言，即使膜厚和電阻係 數在第1圖所示領域内的氣化物膜中，亦Κ絪（In)、鋅 (Zn)、钛（Ti)和氧（0)為構成元素，絪（In)佔铟（In)和 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨Ο X 25>7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央樣準局貝工消費合作社印装 A7 B7 五、發明説明（μ ) 鋅（Zn)合量的原子比In/(In + Zn)為20〜90原子X ,钛（Ti) 的原子比1'丨/(111 + 2〇 + 1<丨）為2.2〜20原子％之氧化物膜形 成透明導電膜。 構成本發明透明導電叠曆體I的透明導電膜中之上述 絪（In)原子比In/(In + Zn),從良好精度容易形成具有所 需表面電阻值的透明導電膜觀點而言，K50〜90原子S： (惟50原子S：除外）為佳。而上述鈦（Τί)原子比Ti/(In +

Zn + Ti)則W10原子S! Μ下為佳。 具有上述組成份的氧化物膜，若要形成膜厚和電阻係 數在第1圖所示領域内之透明導電膜，可為 ⑴非晶質， ②氧化絪、氧化鋅、和氧化钛之混合物（化合物以外 的結晶質）， ⑶氧化絪、氧化鋅、和氧化钛中至少二種以上化合物， ⑷上述（3)項化合物，與氧化絪、氧化鋅、和氧化钛中 至少一種之混合物。 上述⑴至⑷之任一氧化物膜，由於200nm厚的可梘光 透射率大約在85S! Μ上，利用膜厚降到200nm K下，即 可適用於透明導電膜。此氧化物膜的膜厚超過20〇niB時 ，可視域的光吸收加大。另方面，氧化物膜膜厚在12nm Μ下時，難K形成可供實用的透明導電膜。 因此，透明専電叠層體I如第1圖所示，令上述氧化 物膜所組成透明導霄膜之膜厚為12〜200η β。使用透明 導電叠層體I製造提高輪入精度之類比型觸摸板時，氧 _ 1 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ί 訂 A7 B7 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 五、發明説明 ( " ) 1 1 化 物 膜 (透明導電膜） 膜 厚 9 Μ 12 100η 為佳， 而Μ 1 5 1 1 50 η m尤佳° 1 | 另 外 * 上 述 氧 化 物 膜 (透明導電膜） 的 表 面 電 阻 f 可 藉 —N 請 1 I 改 變 其 組 成 份和 膜 厚 適 當 調 整 > 惟 在 透 明 導 電 叠 暦 體 I 先 閲 讀 J 中 由 氧 化 物 膜 的 膜 厚 和 表 面 電 阻 相 乘 即 可 求 出 該 氧 化 背 1 之 物 膜 的 電 阻 係 數 在 第 1 nan 圖 所 示 範 圍 内 之 值 0 電 阻 係 數 值 注 意 I 在 第 1 圖 所 示 範 圍 Μ 外 時 9 難 獲 得 適 於 製 造 提 高 输 入 事 項 1 I 再 1 1 精 度 的 類 比 型 觸 摸 板 之 透 明 導 電 « 層 體 0 而 使 用 透 明 導 寫 本 t 電 II 層 體 I 製 造 提 高 輸 入 精 度 的 類 比 型 觸 摸 板 時 9 氧 化 頁 I 物 膜 (透明導電膜） 的 表 面 電 阻 1000 5000 Ω /〇為 1 1 佳 〇 1 1 由 上 述 氧 化 物 膜 所 構 成 的 透 明 導 電 膜 形 狀 9 可 K 一 枚 1 1 訂 1 為 平 膜 狀 9 亦 可 視 所 欲 透 明 導.電 叠 層 體 I 的 用 途 等 決 定 形 狀 〇 例 如 t 使 用 透 明 導 電 膜 做 為 數 位 型 觭 摸 板 的 透 明 1 I 電 極 膜 時 » 該 透 明 導 電 膜 可 視 製 模 時 使 用 預 定 遮 蔽 或 製 1 1 膜 後 進 行 預 定 的 造 型 t Μ 形 成 所 需 平 行 線 條 圖 案 〇 另 外 1 I 9 用 做 類 比 型 觸 摸 板 的 透 明 電 極 膜 時 9 該 透 明 導 電 膜 可 I 視 製 膜 時 的 需 要 使 用 預 定 遮 蔽 » 或 製 膜 後 視 需 要 進 行 預 定 的 造 型 » 形 成 一 枚 平 膜 〇 1 1 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 I 中 » 上 述 透 明 導 電 膜 可 形 成 I 於 電 氣 絕 緣 性 的 透 明 基 材 上 〇 1 1 上 述 透 明 基 材 具 有 電 氣 絕 緣 性 » 以 可 梘 光 的 透 射 率 在 1 | 大 約 70% Μ 上 之 基 材 即 可 » 其 具 體 例 有 聚 碳 酸 鹿 樹 脂 9 1 I 聚 芳 m 樹 脂 Λ 聚 對 苯 二 甲 酸 乙 二 酯 等 聚 酯 樹 脂 Λ 聚 醚 m 1 1 -1 3- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ( ，>) 1 1 樹 脂 » 非 晶 形 聚 烯 烴 樹 脂 » 聚 苯 乙 烯 樹 脂 t 丙 烯 酸 樹 脂 1 1 等 透 明 高 分 子 材 料 » 或 鹼 石 灰 玻 璃 » 鉛 玻 璃 $ 硼 矽 酸 玻 1 I 璃 • 無 驗 玻 璃 等 玻 璃 製 成 的 膜 狀 物 片 狀 物 和 板 狀 物 〇 請 1 I 欲 得 觸 摸 板 的 構 件 或 其 材 料 之 透 明 導 電 叠 層 體 I 時 » 上 先 閲 J 述 透 明 基 材 中 可 撓 性 和 成 本 觀 點 而 言 9 Μ 聚 碳 酸 酯 樹 背 1 之 脂 » 聚 芳 m 樹 脂 或 聚 對 苯 二 甲 酸 乙 二 酯 為 佳 〇 注 意 1 另 外 • 在 透 明 基 材 的 單 面 或 雙 面 » 可 視 需 要 設 有 阻 氣 事 項 1 I 再 1 層 f 嫂 塗 層 $ 反 射 防 止 層 等 〇 阻 氣 層 的 具 體 例 有 乙 烯 — 填 寫 本 二丨 乙 烯 酸 共 聚 物 聚 乙 烯 酸 聚 丙 烯 腈 聚 偏 二 氯 乙 烯 頁 I 聚 偏 二 氟 乙 烯 等 0 7Tfff t® 塗 層 的 具 體 例 有 钛 系 或 氧 化 矽 系 7ΠΚ 硬 1 1 塗 劑 9 或 聚 異 丁 烯 酸 甲 酯 > 聚 磷 腈 等 高 分 子 材 料 等 〇 反 1 I 射 防 止 層 的 具 體 例 有 氟 化 丙 烯 酸 聚 合 物 等 低 折 射 率 聚 合 1 1 訂 物 » Mg F 2 或 CaF 2 等 無 機 氟 化 物 9 T i 〇 2 . S i 0 2 » Zn 0 , 1 B i 2 0 3 ’ A 1 i 0 3 等 無 機 氧 化 物 9 及 其 叠 層 體 等 0 1 1 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 I 具 有 由 表 面 電 阻 高 達 800 I 1 Ω /□ - -1 Ok Ω /□的前述氧化物膜製成的透明導電膜， 1 ： 1 故 利 用 該 透 明 導 電 膜 做 為 觸 摸 板 的 透 明 電 極 膜 或 其 材 料 、良 尤 其 是 類 比 型 觸 摸 板 的 透 明 電 極 膜 或 其 材 料 時 > 即 可 得 提 高 輸 入 精 度 的 觸 摸 板 〇 即 本 發 明 透 明 導 電 II 層 體 I 1 1 t 適 合 做 觸 摸 板 » 尤 其 是 類 比 型 觸 摸 板 的 構 件 或 其 材 料 I 〇 另 外 » 亦 適 合 電 子 照 相 複 印 基 體 等 〇 1 1 因 此 » 在 構 成 透 明 導 電 II 唐 體 I 的 透 明 導 電 膜 中 絪 1 I (I η) 佔 絪 (I η) 和 鋅 (Z η ) 的 原 子 比 In / ( I η + Ζ η ) 為 50 90原 1 I 子 % (惟50原子X 除外） 之 透 明 導 電 膜 t Μ 良 好 精 度 容 易 1 1 - -14- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（ι〇 形成具有前述標的之表面電阻值物品，故本發明透明専 電叠層體I中具有該組成份之透明導電膜者，逋於做為 容易獲得標的输入精度之觸摸板的構件或其材料。 具有上述特性之本發明透明導電叠層體I,可利用嗔 鍍法、離子鍍著法、電漿CVD法、噴霧熱解法、溶膠凝 膠法等方法，在所需通明基材上形成上述氧化物膜構成 的透明導電膜，惟Μ後述本發明叠層體製法I製造為佳。 其次，說明本發明透明導電叠曆體I如下。 本發明透明導電叠層體Π之特徵，如前所述，在於構 成該透明導電叠層體Ε之透明導電膜，係由特定組成份 的氧化物膜所構成，玆光就該特定氧化物膜構成的透明 導電膜加Κ說明。 此透明導電膜如前所述，是由絪（In)、鋅（Ζη)、钛（TU 、鎵（Ga)和氧（0)為構成元素的氧化物膜所構成。該氧 化物膜除製程中不可避免的混入物外，只有前述構成元 素° 在上述氧化物膜中，絪（In)佔絪（In)和鋅（Ζη)合量的 原子比Ι“（Ιη + Ζη>為20〜90原子》；,鈦（Ti)和鎵（Ga)合 量的原子比（Ti+Ga)/(In + Zn + Ti+Ga)為1〜20原子X 。 在透明導電叠層體E中，前述絪（In))的原子比In/ (In + Zn)M及钛（Ti)和鎵（Ga)合量的原子比（Ti+Ga)/(In + Zn + Ti+Ga),限定在上述範圍的理由是，在1原子S! Μ下 時，氧化物膜的電阻太低，超過20原子X時，氧化物膜 的電胆又太高。 -15- 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -----------1;*衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 S〇2556 A7 B7 五、發明説明（K ) 從Μ良好精度容易形成具有所需表面電阻之透明導電 膜觀點言,上述絪（In)的原子比In/Un + Zn)宜在50〜90原 子！I；。而上述钛（Ti)和鎵（Ga>合量的原子比（Ti+Ga)/ (I n + Z n + T i + G a ) , K 5 〜1 8 原子！ϋ 為佳。 鎵（Ga)為分別改善氧化物膜的透明性和耐熱安定性之 有用成份，該鎵（Ga)的原子比Ga/(In + Zn + Ti+Ga)K8〜 15原子S：為佳。 上述氧化物膜可為下列任一情況： ⑴非晶質， ⑵氧化銦、氣化鋅、和氧化钛、氧化鎵之混合物（化 合物以外的结晶質）， (3) 氧化絪、氧化鋅、氧化钛和氧化鎵當中至少二種Μ 上的化合物， (4) 上述（3)之化合物，與氧化絪、氧化鋅、氧化钛和氧 化鎵中至少一種的混合物。 上述⑴至（4)的任一氧化物膜，300nm厚的可視光透射 率大約85S： Μ上，厚度超過300nm時，可視光域的光吸 收變大。膜厚在12ηιαΜ下時，難以形成可供實用的透明 導電膜。因此，在透明導電叠層體Π中，構成該透明導 電叠層體Π的透明導電膜（氧化物膜）膜厚，Μ12〜300 no為佳。使用透明導電叠層體ϋ製造提高輸入精度的類 比型觸摸板時，該氧化物膜（透明導電膜）膜厚，Κ 12〜 100nm為佳，而Μ15〜50nm尤佳。 另外，上述氧化物膜（透明導電膜 >的表面電阻，可藉 -1 6 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -----------^^------訂------^ • 一. ·： _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明（α ) 1 1 改 變其 組成和 膜厚 而 通 當 調 整 〇 此 表 面 電 阻 使 用 透明 導 1 1 電 叠層 體I[製 造提 高 輸 入 精 度 的 類 比 型 觸 摸 板 時 ,以 1 I 1 000 〜 5000 Ω /□為佳c /»—N 請 1 I Μ透 明導電 叠層 體 I 而 » 構 成 該 透 明 導 電 II 層體 I 先 閲 的 透明 導電膜 ，係 由 具 有 上 述 組 成 份 的 氧 化 物 膜 所組 成 背 ώ 之 9 該氧 化物膜 (透明導電膜）的形狀 » 和 該 氧 化 物 膜（透 注 意 I 明導電膜）以外的構件， 與前述本發明透明導電叠層體 事 項 1 I 再 1 I I 相同 。因此 .有 關 氧 化 物 瞋 (透、·明導電膜）形狀 ,K 及 填、 寫 本 〜、1 裝 該 氧化 物膜（透明導電膜）以外的構件 > 即 略 而 不 述0 頁· '—-- 1 I 就提高透明導電膜的透明性和耐熱安定性觀點而言 f 1 1 上 述本 發明透 明導 電 叠 層 體 I Μ 比 前 述 透 明 導 電 叠層 體 1 I I 更加 透明導 電性 材 料 為 佳 〇 因 此 構 成 透 明 導 電叠 層 1 1 訂 體 Ε的 透明導 電膜 > 在 膜 厚 12 300η m時， 表面電阻容 1 易在800Ω / 口 〜10k Ω /□ 〇 故 與 Λ t. 刖 述 透 明 導 電 叠 曆體 I 1 I 同 樣， 適於做 觸摸 板 » 尤 其 是 類 比 型 觭 摸 板 的 構 件或 其 1 1 材 料。 % 1 1 構成 透明導 電叠 層 體 Π 的 透 明 導 電 膜 中 絪 (I η)佔絪 '線 | (I η)和 鋅（Ζ η )合量 的 原 子 比 In / ( In + Z η )為 50 90原子S： * 1 1 之 透明 導電膜 .容 易 Μ 良 好 精 度 形 成 具 有 前 述 標 的之 表 1 1 面 電阻 值，故 本發 明 透 明 導 電 II 層 體 I 當 中 具 備 該組 成 k I I 份 之透明導電膜者 » 適 於 做 為 容 易 獲 得 標 的 輸 入 精度 之 1 1 觸 摸板 的構件 或其 材 料 0 1 | 具有 上述特 性的 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 I f 如 前述 • 1 1 其 特激 為在電 氣絕 緣 性 的 透 明 基 材 上 f 利 用 物 理 性氣 相 1 1 -17- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） A7 B7 經濟部中央揉準局負工消费合作社印製 五、發明説明（4) 1 1 蒸 著 法 9 形 成 透 明 導 電 膜 ,係 由 絪 (I η) 鋅 (Z η ) > 鈦 1 1 (T i )和 氧 (0) 為 構 成 元 素 ,絪 (I η)佔 絪 (I η)和 鋅 (Z η )合 1 | 量 的 原 子 比 In / ( In + Z η )為2 0〜 90原子X 9 钛 (Τί )的原子 —V 請 1 I 比 T i / ( I η + Z η + Ti)為 2 .2 20原子 % 之 氧 化 物 膜 所 姐 成 9 先 閲 1 J ik 1 I 其 膜 厚 和 電 阻 係 數 在 第 1 圖所 示 領 域 内 者 0 背 1 之 •1 上 述 電 氣 絕 緣 性 透 明 基 材， 如 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 注 意 1 1 I 說 明 中 所 述 9 具 有 電 氣 絕緣 性 參 可 視 光 透 射 率 在 大 致 事 項 1 I 再 1 I 70% Μ 上 参 其 具 體 例 已 如本發明透明導電叠層體 I 所 述0 寫 本 X 又 9 透 明 基 材 上 所 形 成 透明 導 電 膜 f 係 具 冇 上 述 組 成 頁 1 份 和 電 氣 特 性 的 氧 化 物 膜 所構 成 〇 在 該 透 明 導 電 膜 中 9 1 1 亦 如 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體I 所 述 t Μ 絪 (I η )佔 絪 (I η) 1 I 和 鋅 (Ζ η )合 量 的 原 子 比 In / ( In + Z η)為 50 9〇原子χ 之 氧 1 1 化 物 膜 為 佳 > 而 钛 (Ti )的原子 比 T i / ( In + Z η + T i )則 Μ 1 0 I 原 子 % 下 為 佳 〇 1 I 為 形 成 上 述 氧 化 物 膜 組 成的 透 明 導 電 膜 » 在 本 發 明 叠 1 1 層 體 製 法 I 所 採 用 的 物 理 性氣 相 蒸 著 法 具 體 例 $ 有 噴 鍍 1 I 法 Λ 離 子 鍍 著 法 等 〇 Κ 製 得均 勻 性 或 與 透 明 基 材 的 密 著 1 性 優 良 之 透 明 導 電 膜 而 —k— ,適 用 一 元 或 多 元 噴 鍍 法 ( 包 含 反 應 性 噴 鍍 法 ) 更 佳 0 i 物 理 性 氣 相 蒸 著 法 適 用 噴鍍 法 時 噴 鍍 方 式 可 適 用 RF I 噴 鍍 ·> DC嗔鍍等各種方式 ,從 獾 得 生 產 性 的 氧 化 物 膜 之 1 1 膜 特 性 観 點 9 在 工 業 上 一般以DC噴鍍為佳 > DC噴鍍的 1 1 條 件 可 舉 例 如 下 〇 1 即 噴 鍍 氛 圍 氣 SS (製膜時的氛圍氣》)為 He 1 Ne A r ， 1 1 -18- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 五、發明説明 (，7 ) 1 1 Kr 9 Xe 1 R η 等 惰 性 氣 體 9 或 惰 性 氣 體 與 氧之 混 合 氣 體 時 1 1 t 噴 鍍 氛 圍 在 (噴鍍壓力） 在 1 X 10·2 P a 〜5 P a 左 右 9 標 靶 1 | 胞 加 電 壓 (放電電壓） 在 1 000 V Μ 下 〇 有 闞所 得 透 明 導 電 ^—S 請 1 I 膜 的 電 阻 值 » 重 視 經 時 安 定 性 時 » 噴 鍍 氛圍 氣 體 中 的 氧 先 閱 1 濃 度 宜 低 (例如5 X ίο-3 Pa Μ 下 ) >噴鍍時的氛 圍 氟 壓 背 面 之 (噴鍍壓） 在 1 X 1 0·2 以下時， 電漿安定性不良， 超過5Pa 注 意 時 » 對 透 明 導 電 膜 基 材 的 密 接 性 會 惡 化 〇而 標 靶 施 加 電 事 項 1 I 再 ! 1 壓 (放電電壓） 在 1 000V Μ 上 時 » m 明 導 電膜 會 因 電 漿 受 4 - 寫 本 1 裝 損 » 得 不 到 具 有 標 的 電 氣 特 性 的 透 明 導 電膜 » 容 易 發 生 頁. 1 I 標 靶 裂 開 等 問 題 0 標 靶 施 加 電 壓 (放電電壓） 以 800VM 下 1 1 為 佳 » 而 5 0 0 V W 下 更 好 〇 欲 得 高 品 質 透明 導 電 膜 * 標 1 I 靶 施 加 電 壓 (放電電壓） 宜 盡 量 低 1 但 極 端低 時 t 會 發 生 1 最 訂 生 產 性 的 問 題 〇 因 此 > 標 靶 施 加 電 壓 (放電電壓） 的 適 1 值 * 宜 綜 合 考 慮 所 要 求 透 明 導 電 膜 的 品 質和 生 產 性 適 當 1 I 選 擇 〇 又 » 製 膜 時 的 基 板 溫 度 (透明基材的溫度） » 可 視 1 1 1 透 明 基 材 的 耐 熱 性 > 適 當 選 擇 溫 度 範 圍 ,不 致 因 該 透 明 1 1 基 材 引 起 變 形 或 變 質 0 '碟 | 標 靶 (噴鍍標靶） 只 要 可 製 標 的 之 透 明 導電 膜 * 可 為 金 * 1 1 鼷 標 靶 > 亦 可 為 氧 化 物 標 靶 * 惟 以 使 用 氧化 物 標 靶 為 佳 1 1 〇 使 用 氧 化 物 標 靶時， 該 氧 化 物 標 靶 的 組 成份 $ 可 視 噴 鍍 I 率 和 標 的 之 透 明 導 電 膜 組 成 9 而 適 宜 選 擇。 惟 氧 化 物 標 1 1 靶 Μ 相 對 密 度 在 80¾ 以 上 為 佳 t ΡΛ 90¾ Μ上 更 佳 9 而 Μ 1 1 95X Μ 上 尤 佳 〇 氧 化 物 標 靶 相 對 密 度 在 8 0% 以 下 時 f 製 1 I 膜 速 度 會 慢 • 而 標 靶 本 身 及 所 得 膜 容 易 黑化 〇 欲 得 氧 化 1 1 -1 9- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（2ΙΟΧ297公釐） A7 B7

經濟部中央標準局貝工消费合作社印iL 五、發明説明（ ι8 ) 1 1 物 所 構 成 相 對 密 度 高 的 標 靶 時 f 宜在C IP (冷f 乍靜水壓） 1 1 等 成 型 後 9 可利用Η I P (熱作靜水壓）燒结 ，或 使 用 燒 结 1 I 助 劑 0 此 相 對 密 度 > 是 Μ 馆 结 艘 實 際密度 相對 於 氧 化 物 -Ν 請 1 I 組 成 份 所 求 出 理 論 密 度 的 面 分 率 表 示（下同）。 先 閲 1 讀 1 利 用 上 述 物 理 性 氣 相 蒸 著 法 ， 於前述透明基材上形成 背 ιέ 1 之 規 定 氧 化 物 膜 組 成 之 透 明 導 電 膜 t 即可得 檷的 之 透 明 導 意 t 電 叠 層 體 0 此 時 的 透 明 導 電 膜 形 狀 ，已如本發明透明導 事 項 1 1 電 叠 層 體 I 說 明 中 所 述 可 為 . 枚 平膜狀 ,亦 可 為 視 透 丹· 填 —1 寫 本 装 明 導 電 叠 層 體 用 途 而 定 之 形 狀 0 頁. 1 1 於 是 » 欲 得 具 有 更 高 透 明 性 的 透 明導霄 膜之 透 明 導 電 1 1 叠 層 體 » 亦 可 在 上 述 透 明 導 電 膜 形 成後， 進行 回 火 9 Μ 1 1 進 一 步 提 高 該 透 明 導 電 膜 之 透 明 性 〇 1 1 上 述 回 火 * 可 將 透 明 導 電 膜 在 氧 分壓 10hP a 以 上 的 ΊΤ 1 氛 園 氣 體 下 9 於 60 "0 至 透 明 基 材 的 軟化點 Μ下 之 溫 度 加 1 I 熱 為 之 〇 回 火 時 的 氛 圍 氣 體 總 壓 9 可適當選擇大約10hPa 1 1 lOOOOhPa範園 内 0 而 回 火 時 的 氛 圃氣體 ,在 氧 外 可 - | 含 N 2 * Η e , A Γ*等惰性氣體成份< 因此，該回火亦可在 I 大 氣 (氧分壓約2 0 3 h P a ) 中 進 行 ， 在 大氣中 進行 最 為 簡 便0 1 回 火 時溫度在6 0 1C Μ 上 時 t 可 顯 示提高 透明 性 的 效 果 1 I 0 可 是 在 > d. 刖 述 透 明 基 材 軟 化 點 溫 度 Μ下的 溫度 範 圍 時 9 | 回 火 溫 度 愈 高 » 愈 早 呈 現 透 明 性 提 高的效 果。 因 此 透 1 1 明 基 材 由 有 機 高 分 子 材 料 構 成 時 9 視該透 明基 材 之 材 質 1 I 而 異 * Μ 在 大 約 80 20 0 ¾回火1 -5小時左右為佳C 1 透 明 基 材 由 玻 璃 構 成 時 大 約 150 〜300t：回 火 15分鐘 1 1 -20- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） ^02556 經濟部中央棣準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ t?) 1 1 至 1 小 時 左 右 為 佳 0 1 1 其 次 9 說 明 本 發 明 叠 層 體 製 法 I 〇 1 | 本 發 明 叠 層 體 製 法 I 如 前 述 9 其 特 激 為 在 電 氣 絕 緣 性 請 1 I 的 透 明 基 材 上 » 利 用 物 理 性 氣 相 蒸 著 法 » 形 成 絪 (I η ) > 先 閱 讀 1 鋅 (Ζ η ) Λ 鈦 Π i) 鎵 (G a ) 和 氧 (0) 為 構 成 元 素 1 絪 (I η ) 背 面 1 之 佔 絪 (I η ) 和 鋅 (Z η ) 合 量 的 原 子 比 In/ ( I η + Ζη) 為 20 90原 注 意 I 子 % 9 钛 (Ti ) 和 鎵 (G a ) 合 量 的 原 子 比 (Τ i + G a )/ (I η + Ζη + 事 項 1 1 再 1 I Τ ί +Ga) 為 1 20原 子 % 之 氧 化 物 膜 構 成 的 透 明 導 電 膜 〇 填 窝 本 裝 於 此 上 述 電 氣 絕 緣 性 的 透 明 基 材 S 如 本 發 明 透 明 導 頁 '—^ 1 電 叠 層 體 H 說 明 中 所 述 » 與 本 發 明 透 明 導 電 叠 曆 體 I 的 1 1 透 明 基 材 相 同 9 即 具 有 電 氣 絕 緣 性 9 可 視 光 的 透 射 率 大 1 I 約 70¾ Μ 上 9 其 具 體 例 已 知 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 I 說 1 1 訂 明 中 所 述 〇 1 另 外 9 在 透 明 基 材 上 形 成 透 明 導 電 膜 > 係 由 具 有 上 述 1 1 組 成 份 的 氧 化 物 膜 所 構 成 0 此 透 明 導 電 膜 亦 含 氧 (0) 可 t 1 藉 在 上 述 範 圃 内 缠 宜 調 整 其 組 成 份 • 而 得 透 明 性 和 耐 熱 1 ** | 安 定 性 較 刖 述 透 明 導 電 叠 層 體 I 中 透 明 導 電 膜 更 優 良 的 .飞 I 透 明 導 霣 膜 0 | • J 該 透 明 導 電 膜 中 亦 如 本 發 明 透 明 導 電 叠 曆 體 I 說 明 中 1 1 所 述 t Κ 銦 (I η ) 佔 絪 (I η) 和 鋅 (Z η ) 合 量 的 原 子 比 In / ( In | + Ζ η ) 為 50 90原 子 % 的 氧 化 物 膜 構 成 為 佳 9 而 钛 (Τί ) 和 1 1 鎵 (G a ) 合 量 的 原 子 比 (T i + Ga )/ (I η + Ζ η + Τ ί + Ga )Μ 5 〜13 1 | 原 子 % 為 佳 〇 另 » 鎵 (G a ) 的 原 子 比 Ga / ( In + Z η + T i + G a ) K 1 8 15 原 子 % 為 佳 0 1 1 -2 1 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨Ο X 29*7公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ 叫 1 1 為 形 成 上 述 氧 化 物 膜 構 成 的 透 明 導 電 膜 9 本 發 明 叠 靥 1 1 體 製 法 I 所 採 用 物 理 性 氣 相 蒸 著 法 具 體 例 ， 與 本 發 明 叠 1 | 層 體 製 法 I 說 明 中 所 列 相 同 9 基 於 叠 層 賭 製 法 I 中 同 樣 請 1 | 理 由 9 Μ 適 用 元 或 多 元 嗔 m 法 (包含反應性噴鍍法） 更 先 閲 讀 1 佳 〇 背 © 1 之 於 是 • 物 理 性 氣 相 蒸 著 法 適 用 噴 鍍 法 時 * 噴 鍍 法 的 方 I 式 有 RF噴 鍍 法 > DC噴 鍍 法 等 1 雖 各 種 方 式 都 可 缠 用 9 但 事 項 1 I 再 1 I 從 生 產 性 或 所 得 氧 化 物 膜 的 膜 特 性 観 點 而 古 1 工 業 上 —* 填 寫 本 裝 般 Μ DC嗔 鍍 法 為 佳 0 DC嗔 鍍 法 的 噴 鍍 條 件 之 -* 例 f 即 與 頁 本 發 明 叠 層 體 製 法 I 說 明 中 所 列 相 同 0 1 1 檷 靶 (噴鍍標靶） 只 要 能 製 造 檷 的 之 透 明 導 霣 膜 » 可 用 1 I 金 靨 標 靶 ， 亦 可 用 氧 化 物 標 靶 惟 Μ 使 用 氧 化 物 標 靶 為 1 1 訂 1 佳 0 使 用 氧 化 物 標 靶 時 9 該 氧 化 物 標 靶 之 組 成 份 » 可 視 噴 鍍 率 和 摞 的 透 明 導 電 膜 的 組 成 份 而 逋 當 選 擇 〇 惟 基 於 1 I 如 本 發 明 叠 層 體 製 法 I 說 明 中 所 述 同 樣 理 由 9 氧 化 物 標 1 1 靶 的 相 對 密 度 Μ 80¾ Μ 上 為 佳 9 90¾ Μ 上 更 佳 t 而 Μ 95¾ 1 -· | Μ 上 尤 佳 〇 '飞 I 為 防 止 製 膜 使 用 時 引 起 異 常 放 電 或 標 靶 發 出 裂 開 t 而 ·' 1 • J 得 電 阻 實 質 上 均 匀 的 透 明 導 電 膜 ， 使 用 後 述 本 發 明 標 1 I 靶 Τ 5 .為佳。 1 利 用 上 述 物 理 性 氣 相 蒸 著 法 % 在 前 述 透 明 基 材 上 形 成 1 1 預 定 氧 化 物 膜 櫞 成 的 透 明 導 電 膜 0 即 可 得 標 的 透 明 導 箪 1 | 叠 曆 體 » 此 時 的 透 明 導 電 膜 形 狀 f 已 知 本 發 明 透 明 導 霄 1 1 叠 層 體 I 說 明 中 所 述 9 與 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 通 I 形 狀 1 1 -22- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2I0X 297公釐） 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明（Μ) 相同，即可為一枚平膜狀，亦可視標的透明導電叠層體 之用途等定其形狀。 於是，為得具有透明性更高的透明導電膜之透明導電 叠層體，在形成上述透明導電瞑後，宜進行回火，進一 步改善該透明導電膜之透明性。此回火可按本發明*層 體製法I說明中所述同樣進行。 其次，說明本發明標靶Ti 。 本發明標靶Ti如前述，其特徵係由絪（In)、鋅（Zn) 、钛（Τί)和氧（0)為櫞成元素的氧化物堍结體所構成， 含通式I η 2 0 3 (Ζ η 0 ) m ( β = 2〜7 )所示六方晶層狀化合物 。絪（In)佔絪（In)和鋅（Zn)的原子比In/Un + Zn)為20〜 90原子！1!,鈦（1'丨）的原子比1'丨/(1^2〇 + 1'丨）為2.2~20原 子X ,體積電阻在1〇·2Ω •cmM下 此處本發明標靶1'1所稱「六方晶層狀化合物j指按 X射線射測定，顯示鼷於六方晶層狀化合物之X射線 蹰案的物質。 本發明標耙Ti ,包含前述六方晶層狀化合物内包氧 化钛狀態之化合物（Μ下稱「化合物A」）構成的氧化物 燒结體，前述六方晶曆吠化合物和氧化钛分別狀態存在 之組成物（M下稱「組成物A」）構成的氧化物堍结體， 前述化合物A之外還含有In2〇3或ΖηΟ之組成物構成的 氧化物燒结體，Μ及前述組成物Α再加Ιη2〇3和ΖηΟ組 成之組成物構成的氧化物熵结饉。 檷靶Τι含上述六方晶層狀化合物4重量％ Μ上，Μ I--i,— J----装------訂 I . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐} 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（》) 8重虽Si Μ上為佳，而以16重量！《以上更佳。 具有上述組成份的TtW前所述，-Μ「體積電阻係 數ΙΟ-2 Ω · cm Μ下」為要件。標靶Ti具有此要件時， 對於防止製膜使用時的異常放電Μ及檷粑裂開，可發揮 顯著效果。標靶T i ®積電阻係數以7 X 1 0_3 Ω · c mM下 為佳，而以5Χ10_3 Ω · cbM下尤佳。 、 另外，檷靶Ti的相對密度K80!K Μ上為佳，90¾ K 上更好，而以95J；以上最好。標靶Ti的相對密度在80S! 以下時，製膜速度慢，且標靶本身及所得膜會黑化。為 得氧化物燒结體所構成的高密度摞靶，可在CIP (冷作 靜水壓）等成型後，利用HIP (熱作靜水壓）等燒结，或 使用燒结助劑。 在檷靶^中，由於鋅（Zn)佔絪（In)和鋅（Zn)合量的 原子比InMln + Zn)為20〜90原子％ ，钛（Ti)的原子比Ti /(1〇 + 2〇 + 1'丨）為2.2〜20原子！8,在該摞靶1'1噴鍍時， 較易形成Μ絪（In)、鋅（Zn)、钛（Ti)和氧（0)為構成元 素，絪（In)佔銦（In)和鋅（Zn>的原子比In/(In + Zn)為20 〜90原子％,鈦（1'1)的原子比1'丨/(1"2^1'丨）為2.2〜20 原子《的氧化物膜所構成，且膜厚和電阻係數在第1圖 所示範圍內之透明導電膜。 因此，透明基材採用透明高分子材料構成之.基材（塑 膠基板等）時，受到前述基材脫逸氣體的影響，在噴镀 氛圍中的氣濃度變動無法避免，惟使用標靶1'1時，可 抑制前述嗔鍍氛圍氣體中氧濃度的影響，不但由無櫬材 ^ . 裝 訂-------t--· - - --(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X297公釐） A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ ) 1 1 料 構 成 具 有 標 的 電 阻 係 數 之 透 明 導 電 膜 的 基 材 上， 連 透 1 明 高 分 子 材 料 構 成 的 基 材 上 9 亦 有 良 好 再 現 性 ，而 且 容 1 1 易 形 成 〇 /—*s 請 1 先 如 本 發 明 叠 層 體 製 法 I 中 所 述 1 藉 使 用 標 靶 T i的噴 閲 ik 鍍 法 9 在 透 明 基 材 上 形 成 的 透 明 導 電 膜 S 卽 使 是由 上 逑 背 之 氣 化 物 膜 所 組 成 1 其 中 因 絪 (I η) 佔 絪 (I η) 和 鋅 (Zn) 合 量 注 意 的 原 子 比 I π /( I n + Ζ η) 為 5 0 90原 子 % (惟5 〇原子χ除外） 举 項 1 I 再 1 | 故 標 靶 T L中絪（ I Ώ )的原子比I η/ (I η + Ζη)以 5 〇〜9〇原子χ 填 寫 本 裴 為 佳 〇 另 外 I 藉 使 用 標 靶 T i的噴鍍法在透明基材上形 頁 | 成 的 透 明 導 電 膜 中 鈦 (Ti)的 原 子 比 Ti/ (In + Z η + Ti)， 如 1 1 本 發 明 叠 層 體 製 法 I 中 所 述 9 以 10原 子 X 以 下 為佳 9 故 1 I 標 靶 T i中鈦（T i )的原子比τ H (I η + Z n + Τ U以 10原子 % 以 1 訂 下 為 佳 〇 1 一 般 而 -At- 1 使 用 氣 化 物 燒 結 醱 構 成 的 標 靶 9 藉噴 鍍 法 1 I 形 成 氣 化 物 膜 所 構 成 透 明 導 電 膜 時 » 該 標 靶 在 標的 組 成 1 1 份 所 構 成 透 明 導 電 膜 之 元 素 當 中 S 就 氣 (0 ) 以 外的 各 元 1 --I 素 > 可 用 其 氣 化 物 或 燒 成 氣 化 物 形 成 之 化 合 物 (氱 化 物 、 氫 氣 化 物 X 硝 酸 鹽 乙 酸 鹽 金 屬 醇 化 物 等 )為 原 料 • 按 規 定 量 混 合 9 此 混 合 物 可 視 需 要 暫 燒 後 粉 碎， 然 後 1 I » 將 前 述 混 合 物 或 該 混 合 物 暫 燒 後 粉 碎 所 得 粉 末， 成 型 I 為 所 需 形 狀 燒 結 而 得 〇 此 時 可 價 廉 播 得 所 要 檫 靶， 故 1 1 原 料 以 使 用 氣 化 物 為 佳 〇 1 I 故 體 積 電 阻 傜 數 在 10 2 Ω • c η 以 下 的 本 發 明 物標 靶 T 1 I I 9 亦 可 利 用 上 述 方 法 製 得 〇 惟 根 據 標 靶 T 1 的組成份， 1 1 -2 5- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4) 上述方法或無法使體積電阻係數降到1〇2 Ω · cm以下， 在此情況下，在上述燒結後，在燒結爐、熱壓機還原爐 等壚中，於真空下或還原氛圍氣下進行回火，藉回火可 得體積電阻係數在1〇2 Ω · cm以下的所要檫靶Ti 進行上逑回火之際的還原氛圍氣體，有H2、甲烷、 CD等還原性氣體構成的氛圍氣，或Ar、N2等惰性氣體 構成的氛圍氣體。回火溫度以200〜1000 °C為佳，300〜 1000 °C更佳，而以400〜1000 °C尤佳。200 °C以下時無法 充分邇原，超過l〇〇〇°C時不合經濟《回火時間以1〜50 小時為佳，2〜3 0小時更好，而以3〜2 0小時尤佳。1 小時以下時，未能充分還原，超過5 0小時則不經濟。 在真空中進行上述回火時的回火溫度，以200〜1000 -C 為佳，200〜700 °C更佳，200〜50fl°C尤佳。200 °C以下 未能充分還原，超過l〇Q〇°C,則繞結體中的ZnO或In2 0 發生蒸發，産生組成份參差β在真空中進行回火時，所 需時間和上述同樣，以1〜50小時為佳，2〜30時更好 ,3〜2 0小時最好。 原料採用氣化物製得本發明檫靶1：1時，原料的氧化 絪、氣化鋅和氣化鈦的純度，以99!«以上為佳，99.9Χ 以上更好，99.99J：以上尤佳〇 993；以下時，即使燒結亦 得不到緻密的燒結體，而且發生所得標靶的體積電阻僳 數高等等問題。 各原料的平均粒徑以0.01〜10# m為佳，0.05〜5# m 更好，0.1〜5/in尤佳0在0.01#«1以下時容易凝集，超 -2 6 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. -5¾ 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS > A4規格（210Χ297公釐） A7 302556 B7 五、發明説明（) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 過1 0 u ra時，原料間的混合性不佳，即使燒结也得不到 堍结體，而原科平均粒徑超過10wm時，可使用球磨機 ,粉磨櫬、噴磨櫬等，調節平均粒徑到上述範圃内使用。 使用上述氧化物所構成原料製造標靶1'1 ,可例如按 下述進行。 首先將各原料裝入球磨機、噴磨機、粉磨機等混合器 内，由此混合而得混合物，混合時間Μ 1〜1 0 0小時為佳 ,5〜5 0小時更好，而Μ 1 0〜2 0小時尤佳。1小時以下 時，未能充分混恰，超過10 0小時則不經濟。混合溫度 無特別限制，以室溫為佳。 混合所得混合物，可以暫燒處理，Μ促進六方晶層狀 化合物之生成。暫燒溫度W800〜1500Τ：為佳，900〜 1 400 t：更佳，1 00 0〜1 300 t：尤佳。在8 0 0 t Μ下時，不 能生成六方晶層狀化合物，超過1 5 0 0 時，會發生氧化 絪或氧化鋅蒸發。暫燒時間以1〜100小時為佳，2〜50 小時更佳，而Μ 3〜3 0小時尤佳。1小時Μ内，未能充 分生成六方晶層狀化合物，超過1 0 0小時，則不經濟。 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 暫燒物粒徑在上述0 . 0 1〜1 0 u m範圍，宜加Μ粉碎（暫 燒後粉碎所得粉末稱為「暫燒粉末」）。粉碎可與混合 同樣方法進行。為促進六方晶層狀化合物之生成，可重 複暫燒和粉碎。 原科彼此混合所得混合物或暫燒粉末，為改善成型時 的流動性或充垓性，可經造粒處理（以下經造粒處理所 得者稱為「造粒物」）。造粒係Μ噴乾法等常法進行。 -27- 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） A7 A7 經濟部中央樣準局負工消費合作社印裝 B7 五、發明説明（A ) 以噴乾法進行時，採用粉末的水溶液或酵溶液等進行， 溶液混用的黏合劑，可用聚乙烯酵等，造粒條件視溶液 濃度，黏合劑添加量而異，調節造粒物的平均粒徑為1 〜lOOum,以5〜lOOwm為佳，而M10〜lOOwm尤佳0 造粒物平均粒徑超過l〇〇um時，成型流動性或充填性惡 化，無造粒效果。 其次，原料彼此混合所得混合物、暫燒粉末或造粒物 ,可利用金靨横型成型、鐮造成型或射出成型等法成型 。欲得燒结密度高的堍结體，MCIP (冷作靜水壓）等成 型為佳，成型髄的形吠可為適合標靶的各種形吠。成型 助劑可用聚乙烯酵、甲基纖維素、聚蟠、油酸等。成型 歷力 Ml〇kg/cn2 〜100t/cm2 為佳，而 M100kg/cm2 〜 lOOt/cm2更佳。成型時間W10分鐘至10小時為佳。成 型壓力在10kg/cm2 Μ下，或成型時間在10分鐘Μ下時， 燒结後所得燒结S3密度無法提高。 其次，將上述成型所得成型物燒结。成型物之燒结方 法無特別限制，可在常壓燒結、亦可氣壓燒结、HIP (熱作靜水壓）燒结、熱壓櫬燒结等加壓燒結。 燒结溫度W1200〜1600Ϊ；為佳，1250〜1550 =更隹， 而Μ 1 3 0 0〜1 5 0 0 t：尤佳。在1 2 0 0 W下時，不會生成六方 晶層狀化合物In2〇3 (Zn0)m (ib = 2〜7),超過1600t：時 ，氧化絪或氧化物鋅昇華，產生組成份參差。 燒结時間視燒结溫度而定，惟以1〜5 0小時為佳，2〜 30小時更好，而K3〜20小時尤佳。1小時Μ内時，六 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） I-Ί.---叫裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

'ST A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（>7 ) 1 1 方 晶 層 狀 化 合 物 未 能 充分生 成 和燒 结，超 過50小時 則不 1 1 經 濟 〇 焴 结 時 氛 画 氣 骽為氧 化 氛圍 氣體或 堪原氛圍 氣體 1 I 0 氧 化 堪 原 氛 圃 氣 傾 有空氣 或 氧氣 構成的 氛圍氣體 0而 '—V 請 1 | 堪 原 氛 圍 氣 fii 有 Η 2 、甲烷 、（:0等堪原性氣體，Ar N 2 先 閲 讀 1 | 等 惰 性 氣 體 構 成 的 氛 圍氣體 0 背 .面 1 之 按 上 述 進 行 到 燒 结 為止， 而 燒结 後可視 需要進行 前述 注 意 1 I 回 火 9 即 得 所 要 標 靶 Τ ί 。 事 項 1 I 再 1 I 使 用 本 發 明 禰 靶 ^時，由於其體積電阻係數在10·2 寫 本 Ί A Ω • C田 以 下 » 可 抑 制 製膜使 用 時引 發異常 放電或摞 靶發 頁 '«_✓ I 生 裂 開 〇 又 9 使 用 本 發明標 靶 丁1時，可抑制噴鍍氛圃 1 1 氣 體 中 氧 濃 度 之 影 響 0 1 I 其 次 » 說 明 本 發 明 橘靶Τ : 1 1 訂 1 本 發 明 標 靶 T : ί如前所述， 其特激為「Μ絪（In)、 鋅 (Z η ) Λ 钛 (T i ) > 鎵 (G a )和氧 (0)為 構成元 素的氧化 物燒 1 I 结 體 所 構 成 » 包 含 通 式I η 2 0 3 (Ζ η 0 ) m ( Π1 =2〜7)所 示六 1 1 方 晶 層 狀 化 合 物 9 絪 (I η )佔 絪 (In) 和鋅（乙 η)合量的 原子 1 1 比 In / ( In + Z η ) 為 20 90原子 % ,鈦 (T i )和 鎵（Ga)合 董的 原 子 比 (T i + Ga )/ (I η + Zn + T i + Ga )為1 〜2 0原子％比。 1 於 此 9 本 發 明 標 靶 T 2所稱i _六方晶層狀化合物」 意 1 I 指 刖 述 本 發 明 標 靶 Τ 1 所稱 六方晶層狀化合物」同樣 ί I 物 質 〇 1 1 本 發 明 標 靶 T 2 係方; >包含前述本發明標靶Ti所稱 厂包含六 1 | 方 晶 層 狀 化 合 物 與 氧 化钛之 氧 化物 燒结體 」組成的 氧化 1 物 燒 结 賭 9 再 加 氧 化 鎵組成 的 氧化 物燒结 體。 1 1 -29- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央橾準局負工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（w) 標靶T 2含上述六方晶層狀化合物4重量S： Μ上，以 8重量！《 Μ上為佳，而Μ16重量：《以上更好。 具有上述組成份的標靶Τ2之體積電阻係數ΜΙ Ο·2 Ω •〇111以下為佳，7父10-32*〇111以下更佳，而以5><10-3 Ω ·ί：ιηΚ下尤佳。 而標靶Τ2的相對密度，基於前述本發明標靶Ti的同 樣理由，JW80% Μ上為佳，90S： Μ上更佳，而M95S! K 上尤佳。為得氧化物燒结體所構成之高密度標靶，宜於 CIP (冷作靜水壓）等成型後，利用HIP (熱作靜水壓）等 燒结，或使用燒结助劑。 在摞靶T2中，由於絪（In)佔絪（In)和鋅（Zn)合董之 原子比In/(In+Zn)為20〜90原子J：，钛（Ti)和鎵（Ga)合 量的原子比（Ti+Ga)/(In + Zn + Ti+Ga)為1〜20原子S：, 則該標靶T2利用噴鍍，較易形成以絪（In)、鋅（Zn)、 钛（Τί)和氧（0)為構成元素，絪（In)佔絪（In)和鋅（Zn) 合董的原子比Ir^(In + Zn)為20〜90原子3：,鈦（Ti)和鎵 (Ga>合量的原子比（Ti+Ga)/(In + Zn + Ti+Ga)為 1 〜20 原 子S!的氧化物膜所構成透明導電膜。 如本發明叠層體製法E中所述，使用標靶T2，藉噴 鍍法在透明基材上形成的透明導電膜，即使在上述氧化 物膜製成品中，Μ絪（In)佔铟（In)和鋅（Ζη)合量之原子 比Ιη/(Ιη + Ζπ)為50〜90原子X為佳，標靶Τ2中絪（In) 的原子比In/(In+ZrO為50〜90原子3：為佳。 又，藉使用檷靶T2的嗔鍍法在透明基材上形成之透 -30- (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) .装. 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210X297公釐） 302556 A7 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 B7五、發明説明（>9 ) 明導電膜中，鈦（Ti)和鎵（Ga)合量的原子比（Ti+Ga)/ I (Ιη + Ζη + Τί+Ga),如本發明叠層體製法I中所述，M5〜 18原子X為佳，標靶T2中，钛（Ti)和鎵（Ga)合量的原 子比（Ti+Ga)/(In + Zn + Ti+Ga)M5 〜18 原子 3!為佳。 是故，藉使用摞靶T2的噴鍍法在透明基材上形成之 透明導電賸，其钛（TU和鎵（Ga)合量的原子比（Ti+Ga) Wln+Zn + Ti+Ga),如本發明II層體製法I中所述，M5 〜18原子ίϋ為佳，故標靶T2中钛（Ti)和鎵（Ga)合量的 原子比（Ti+Ga)/(In + Zn+Ti+Ga)M5 〜18 原子 ％ 為佳。 本發明標靶T2 ,除前述本發明搮靶Ti製造之際使用 的原料，再加使用氧化鎵或煅燒形成氧化鎵的化合物Μ 外，可與前述本發明標靶 Τι 同樣製造。此時，該檷 靶Τ2的體積電阻係數，如前所述，ΜΙ Ο·2 Ω · c m以下 為佳，摞靶T2的體積電阻係數在10·2 Ω «cmM下時， 可抑制製膜使用時引發的異常放電或標靶發生破裂。 其次，就本發明觸摸板I加Μ說明。 本發明觸摸板I如前所述，具備二枚透明電極基板， 具有在預定圖案上形成的透明電極膜，該二枚透明電極 基板係將該透明電極膜彼此配置成預定間隔，在該透明 電極基板中之一，從外部對該透明電極基板施力時，可 使該透明電極膜彼此導通，其特皺為前述二枚透明電極 基板分別形成的透明電極膜至少其一，係由絪（In)、鋅 (Zn)、钛（Ti)和氧（0)為構成元素，絪（In)佔絪（In)和 鋅（Zn)合虽之原子比In/(In+Zn)為20〜90原子S!,鈦 -3 1 - 11^ Μ 裝 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央樣準局員工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明（W ) (1^)之原子比1：1/(111 + 211 + 1〇為2.2〜20原子％的氣化物 膜所構成，該透明電極膜之膜厚和電阻係數在第1圖所 示領域内者<» 即本發明觸摸板I之持戡，俗在其構成元件的上述二 透明電極基板至少其一，由前述本發明導電叠層體I (按規定形狀的透明導電膜所形成，下同 > 所形成。 構成透明電極基板的透明導電疊層醱I中透明導電膜 (透明電搔膜）之膜厚，若本發明觸摸板I為類比型觸摸 板時，以12〜ΙΟΟηΒ為佳，而以15〜50nm尤佳。另外， 形成透明電極基板的前述透明導電叠層醱I中，透明導 電膜（透明電極膜）的表面電阻，雖可藉改變其組成份和 膜厚而適當調整，惟本發明觸摸板I為轉比型觴摸板時 ，是以1000〜5000Ω /□為佳。 因此，為容易製得檫的输入精度之觸摸板，形成透明 電極基板之前述透明導電叠層體I,己如本發明透明導 電叠層體I說明中所述，其構成元件之透明導電膜（透 明電極膜）中，絪（In)的原子比In/(In + Zn)以50〜90原 子X (惟50原子！ϋ除外）為佳β此時，前述透明導電膜 (透明電極膜）中，鈦（Ti)的原子（：bTi/(In + Zn + Ti)以10 原子X以下為佳。 上述二枚透明電極基板中之一，係由前述本發明透明 導電叠層體I以外的透明導電叠層體所形成等，構成該 「本發明透明導電疊層膿I以外的透明導電叠層體」之 透明導電膜（透明電極膜），最好使用IT0膜或氣化錫膜 -3 2 - ----.-----.¾衣------ΐτ------^. · 、 . ..* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局負工消費合作社印製 五、發明説明（ 方1 ) 1 1 等 透 明 性 和 電 阻 經 時 安 定 性 優 良 者 0 故 欲 得 輸 入 精 度 高 1 1 的 類 比 型 m 摸 板 » 可 將 二 枚 透 明 電 極 基 板 由 前 述 本 發 明 1 | 透 明 導 霉 叠 層 體 I 形 成 為 佳 〇 請 1 | 觭 摸 板 I 除 櫞 成 該 觸 摸 板 I 的 二 枚 透 明 電 極 基 板 至 少 先 閱 1 讀 1 I 其 一 > 係 由 前 述 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 I 形 成 之 外 餘 背 Λ | 之 與 習 知 觭 摸 板 同 漾 構 成 〇 此 時 > 二 枚 透 明 電 極 基 板 係 利 注 意 1 1 用 隔 體 等 使 透 明 電 極 膜 彼 此 對 立 配 置 保 持 預 定 間 隔 f 此 事 項 1 I 再 1 等 透 明 電 極 基 板 之 • 位 於 输 入 側 0 因 此 » 各 透 明 電 極 膜 填 寫 本 藉 經 該 透 明 電 極 膜 規 定 位 置 所 設 電 極 接 端 或 引 線 ( 取 出 頁 電 極 ) 接 電 至 預 定 驅 動 電 路 Μ 便 從 位 於 输 入 側 的 透 1 1 明 電 極 基 板 外 部 對 該 透 明 電 極 基 板 施 力 時 可 使 透 明 1 I 電 極 膜 彼 此 導 通 0 而 各 透 明 電 極 膜 亦 與 使 用 比 較 電 路 I 1 訂 1 微 處 理 機 、 類 比 / 數 位 變 換 器 等 座 摞 檢 測 櫬 檐 接 電 〇 上 述 構 成 之 觸 摸 板 Μ 電 阻 模 式 的 觸 摸 板 為 佳 而 Μ 1 I 類 比 型 觸 摸 板 尤 佳 〇 1 1 本 發 明 觸 摸 板 I 中 資 料 輸 入 位 置 之 檢 測 原 理 雖 與 習 1 ： 1 用 相 同 9 惟 構 成 該 觸 摸 板 I 的 二 枚 透 明 電 極 基 板 至 少 其 一 1 係 由 前 述 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 I 形 成 即 由 表 面 L 霉 阻 高 達 800 2 / □ 10k Ω / □ 之 氧 化 物 膜 形 成 透 明 電 極 1 1 膜 Ο 因 此 f 本 發 明 觸 摸 板 I 不 易 誤 認 座 標 檢 測 時 的 資 料 1 | 9 可 安 定 進 行 確 實 的 資 料 輪 入 〇 1 1 其 次 說 明 本 發 明 m 棋 板 I 〇 1 1 本 發 明 觸 摸 板 ί 如 前 所 述 * 具 備 二 枚 透 明 電 極 基 板 9 1 具 有 在 預 定 圖 案 上 形 成 的 透 明 電 極 膜 • 該 二 枚 透 明 電 極 1 1 -33- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 經濟部中央棣準局貝工消費合作社印策 A7 B7 五、發明説明（P ) 基板以預定間隔配置，使該透明電極膜彼此對立，該透 明電極基板之一從外部對該透明電極基板施力時，該透 明電極彼此導通，其特戡為，前述二枚透明電極基板分 別形成的透明電極膜中至少其一，係由絪（In)、鋅（Zn) 、鈦（Ti)、鎵（Ga)和氧（0)為構成元素，絪（In)佔絪 (In)和鋅（Zn)合量之原子比In/(In + Zn)為20〜90原子X ，該鈦（Ti)和鎵（Ga)合量的原子比（Ti+Ga)/(In + Zn + Ti + Ga)為1〜20原子的氧化物膜所構成。 即本發明觸摸板I[之特激為，其構成元件的上述二枚 透明電極基板至少其一，係由前述本發明透明導電叠層 «Ε(預定形狀的透明導電膜所形成，下同）所形成。 形成透明電極基板的透明導電叠層體I中，透明導電 膜（透明電極膜）的膜厚，若本發明觸摸板I係類比型觸 摸板，Μ 1 2〜1 0 0 η 1為佳，而W 1 5〜5 0 η π尤佳。而形成 透明電極基板的前述透明導電叠層體Ε中，透明導電膜 (透明電極膜）的表面電阻，可藉改變組成份和膜厚適當 調整，惟本發明觸摸板ϋ為類比型觸摸板時，Μ1000〜 5000 Ω /□為佳。 因此，欲容易得標的輸入精度之觸摸板，形成透明電 極基板的前述透明導電疊層體H,已如本發明透明導電 叠層體Ε説明中所述，其構成元件的透明導電膜（透明電極 膜）中，絪（In)的原子比Ιη/(Ιη + Ζη)為50〜90原子％ ， 鈦（T i)和鎵（Ga)合量的原子比（Ti+Ga)/(In + Zn + Ti+Ga)K 5〜18原子！ϋ為佳。此時，前述透明導電膜（透明電極 -34- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ---:-IΊΚ----7 裝------訂------芩 ·-· · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央棣準局員工消费合作社印製 五、發明説明（ hS ) 1 1 膜 ) 中 > 鎵 (G a ) 的 原 子 比 Ga (I η + Z r i + G a )Μ 8 〜1 5原子綠 1 1 佳 0 1 | 上 述 二 枚 透 明 電 極 基 板 之 一 ， 由 前 述 本 發 明 透 明 専 電 請 1 | 叠 層 糖 I 以 外 的 透 明 導 電 叠 層 體 形 成 時 9 該 厂 本 發 明 透 先 閲 1 讀 1 | 明 導 電 叠 層 體 1 Μ 外 的 透 明 導 電 叠 層 體 J » Μ 使 用 本 發 背 ir I 之 明 透 明 導 電 叠 曆 體 I 尤 佳 9 亦 可 使 用 ΙΤ0 膜 或 氧 化 錫 膜 注 意 1 I 等 9 透 明 性 和 電 阻 經 時 安 定 性 優 良 的 透 明 導 電 膜 9 形 成 事 項 1 I 再 1 透 明 電 極 膜 的 透 明 導 電 叠 層 體 0 欲 得 輸 入 精 度 高 的 類 比 寫 本 裝 型 觸 摸 板 時 » 宜 將 二 枚 透 明 電 極 基 板 由 前 述 本 發 明 透 頁 '—' I 明 導 電 叠 層 趙 I 形 成 f 或 其 一 由 前 述 本 發 明 透 明 導 電 叠 1 1 層 體 I 形 成 > 另 __. 由 前 述 本 發 明 透 明 導 電 # 層 體 I 形 成0 1 I 觸 摸 板 I 除 了 構 成 元 件 的 二 枚 透 明 電 極 基 板 至 少 其 —* 1 1 訂 1 » 係 由 本 發 明 透 明 導 電 叠 層 體 I 形 成 外 9 與 前 述 本 發 明 觸 摸 板 I 同 樣 » 按 習 知 m 摸 板 同 樣 構 成 0 此 am Μ 摸 板 I 1 I 以 電 阻 膜 方 式 的 觸 摸 板 為 佳 9 而 以 類 比 型 觸 摸 板 尤 佳 〇 1 1 本 發 明 觸 摸 板 I 中 資 料 輸 入 位 置 的 檢 測 原 理 9 雖 與 習 1 i 知 相 同 > 惟 構 成 該 觸 摸 板 3 的 二 枚 透 明 電 極 基 板 至 少 其 飞 • I 一 > 係 由 本 發 明 透 明 導 電 叠 曆 體 I 形 成 釁 即 由 容 易 提 高 .1 ] 表 面 電 阻 達 800 Ω / □ 10k Ω / □ 的 氧 化 物 膜 形 成 透 明 電 1 I 極 膜 0 因 此 • 本 發 明 觸 摸 板 I 不 易 誤 認 座 標 檢 測 時 的 資 1 I 料 ) 易 得 可 安 定 進 行 確 實 資 料 輸 入 〇 1 1 茲 Μ 實 施 例 進 一 步 詳 述 本 發 明 如 下 〇 1 I 莆 m 例 1 1 (1) 標 靶 1 製 捎 1 1 -3 5 _ 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 經濟部中央橾準局貞工消费合作社印製 B7五、發明説明（从） 使用純度99.99!1!的氧化絪粉末（平均粒徑1/^|11)254克 ，純度99.99%的氧化鋅粉末（平均粒徑l«m)39克，和純 度99.993：的氧化鈦粉末（平均粒徑l/zm)7克，做為原料 ，連同乙醇、氧化鋁球體，放入聚釀亞胺製鍋内，K遊 星球磨櫬混合2小時。所得混合粉末放入金靥模具内， 以金靨模型加壓成型機在100kg/cm2壓力進行預成型。 再利用冷作靜水壓加壓成型機，在4t/Cm2壓力壓實後， 於焴结爐的空氣氛圃氣體中，在1300C熵结4小時。所 得燒结體使用真空燒结逋，在真空中500Ό再熱處理2 小時回火，得標的氧化物焴结體標靶（本發明標靶I之 - 一 ) Ο 此氧化物燒结體標靶的结晶構造，利用X射線折射 (使用理學公司製X射線折射测定裝置）測定，確認生成 .α,η 2 0 3 (ΖηΟ)工六方晶層狀化合物和In 2 〇 3 。 另外利用ICP分析（感應耦合電漿發光分光分析：使 用機種為精工電子工業公司製品SPS-1500VR)，進行組 成分析，求出原子組成比（氧除外，Μ下簡稱「組成j ) ，结果，分別求出絪（In)佔絪（In)和鋅（Ζη)的原子比In /(In + Zn), Μ 及钛（Ti)的原子比 TV(In + Zn + Ti)。再求 出氧化物燒结體摞靶（相對密度）。结果如表1所示。 ⑵權细！特忡 由上述氧化物燒结體檷靶切成40mmX 5iam的試 樣.利用四端子法測定其體積電阻係數。其结果如表2 所示。 -36- ----Ί—.—----,β------訂------飞---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） A7 B7 五、發明説明（κ) 另外與上述⑴同樣，製成直徑4吋，厚5inm的圓板狀 氧化物燒结體摞靶，使用此氧化物堍结體摞靶，對直流 磁控管噴鍍（DC磁控管嗔鍍 >,在輸出5W/cm2條件下進 行連鑛100小時的壽命試驗，其間觀察有無引發異常放 電和有無標靶破裂。 此時，標靶的墊板採用铜製，黏结材料採用絪金羼。 有無引發異常放電可由室的視口利用目視觀察。 奮施例2〜5 ⑴檷靶I的製造 除變更各原料的使用置外，餘與實施例1中的⑴同樣 ,各實施例均得具有表1所示組成和相對密度之氧化物 燒结趙標靶（均為本發明標靶I之一）。 ⑵播靶的特件 上述各氧化物燒结體標靶的體積電阻係數，按實施例 1中的⑵同樣測定。结果如表2所示。 另外與上述⑴同樣，各實施例製作直徑4吋，厚5mm 的圓板狀之氧化物燒结體標靶，對此等氧化物燒结體標 靶.和實施例1中⑵同樣進行壽命試驗。结果如表2 。 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 奮瓶例6 Ο)檷勒！ I夕郸诰 除改變原料使用量，且在燒结後不進行回火Μ外，餘 和實施例1中的⑴同漾，製得具有表1所示組成和相對 密度之氧化物燒结體摞靶。 ⑵標靶特性 -37- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 6 A7 B7 五、發明説明（4 ) 上述氧化物燒结體標靶的體積電阻係數，按實施例1 中⑵同樣测定。结果如表2所示。 另與上述⑴同樣，製作直徑4吋，厚5mm的圓板吠之 氧化物堍结賭摞靶，對此等氧化物燒结體標靶，和實施 例1中⑵同樣進行壽命試驗。结果如表2 。 表1 氧化物燒结趙標靶 组成（Iti:Zn:Ti) In/ (In + Zn) Ti/(In+Zn+Ti) 相對密度 實施例1 76.8:19.2:4 80 at% at!K 95¾ 實施例2 27:69:4 28.lat% 4·Oat% 94¾ 實施例3 56:34:10 62.2at« lO.OatX 9« 實施例4 76.3:20.6:3.1 78.7aU 3 . lat% 95% 實施例5 84：11：5 88.4aU 5 · 0aU 96% 實施例6 84:11:5 88.4aU 5.0a tiK 96¾ 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（π ) 表2 體積電阻係數 (Ω c m ) 壽命試 驗结果 異常放電 標靶破裂 實施例1 0.3X10-2 無 無 實施例2 0.9X10-2 無 無 實施例3 0 . 4 X 1 〇-2 無 無 實施例4 0 . 3 X ΙΟ'2 無 無 實施例5 0.3X10-2 無 無 實施例6 0.3X1 0-2 Anr 纖 無 ----^--------▲ II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丁 -•β •Η 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 如表2所示，實施例1〜6所製成各氧化物燒结體標 靶（均為本發明摞靶I之一），由於體積電阻係數低至0.3 X 1 0_2〜0 . 9 X 1 (Γ2 Ω · c m ,故在實際用於製膜時.，難Μ 引發異常放電，且不易發生摞靶破裂。 g槲例7 W權靶T夕纸（诰 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印褽 A7 B7 五、發明説明（W ) 使用純度99.99»：的1^〇3粉末（平均粒徑1//111)254 克，純度99.99»的氣化鋅粉末（平均粒徑lwm)40克，和 純度99.99¾的氧化钛粉末（平均粒徑lwm)6克，做為原 料，餘和實施例1中的⑴同樣，製得欏的氧化物燒结體 標靶（本發明標靶I之一）。 此氧化物燒结體標靶的结晶構造，與實施例1中之W 同樣，利用X射線折線測定，確認Ιη2〇3 (ΖϋΟ)3的六 方晶層狀化合物和Ιη203之生成。再與實施例1中之 ⑴同樣，利用I C P分析，進行組成分析，絪（I η )佔絪 (In)和鋅（Ζη)合量的原子比In/Un+Zn)為79原子。故 相對密度96¾ ，體積電阻係數為0.22X1 Ο·2 Ω · cm。 (2) g昍傜齡夕蒯宙 使用上述氧化物燒结賭標靶，令製膜時嗔鍍氛圍氣體 中的氧濃度（氧分壓）在2.0〜5.0容量S:範圍内變化，利 用下述條件的直流磁控管嗔鍍，在聚酯膜（東麗公司製 )上，製成膜厚8 0〜1 0 0 η m的透明電極膜。 嗔鍍裝置：HSM-552(島津製作所公司製品） 標靶大小：直徑4吋，厚5 b 放電形式：直流磁控管 放電電流：0 . 3A 放電電壓：45 0 V 背景壓力：5 X 1 Ο·4 P a 導入氣體（氛圍氣體）：Ar+02混合氣體 預噴鍍壓力：1.4xl(TlPa -40- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---：^-----裝------訂------飞 • - J . .., (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（β ) 預噴鍍時間：5分鐘 噴鍍壓力：1.4X104 Pa 基板轉速：6rpm 基板溫度：室溫 上述條件所得透明電極板的電極係數如表3所示。 表3 氧湄度 (ν ο 1 % ) 透明電極膜之電阻係數 (Ω cm) 2.0 20 . 5 X 1 0·4 3.0 20 . 7 X 10*4 4.0 2 1 . 0 X 1 〇-4 5.0 2 1 . 2 X 10-4 經濟部中央樣準局負工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由表3可知，使用實施例7製成的氧化物燒结體檷靶 (本發明標靶I之一），所得透明電極膜的電阻係數，若 製膜時噴鍍氛園氣體中氧濃度在2.0〜5容量！K範圍時， 為2、.5X1 〇-4〜21.2X1 Ο"4 Ω .cm,随氧濃度的變動而 變化很小。 g施例8〜13 (檷靶ϋ之製造） _ 4 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 B7五、發明説明（p ) 除使用純度99.99¾的In 2 〇3粉末（平均粒徑lum), 純度99.99%的氧化鋅粉末（平均粒徑lw m),純度99.99¾ 的氧化鈦粉末（平均粒徑lw m>和纯度99 .99¾的氧化鎵粉 末（平均粒徑lwm),做為原料，且適當變更各原料之使 用量外，與實施例1中的⑴同樣，各實施例得具有表4 所示組成，相對密度和體積電阻係數之氧化物燒结體標 靶（均為本發明標靶I之一）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -42- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） s〇255e A7 B7 五、發明説明心 ) «iw^^Q cb。 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 Μ 晡 飇 m 繭 蹣 m m m m 薪 m m 滢 滢 淫 ro — CO oo 2 οι >—* N> a> 闺 ο ς〇 e〇 ro <〇 CO ΙΌ —o CO 热 ·—s CD cn o cn H-* ro 〇〇 H—1 — oo CJl oo OO cn 00 — o • t—t I>3 3 *—3 t—* ro cn H-k o 03 貴 t—( 〇〇 C〇 oo σ> 00 0¾ — (p 、 cr σ> ro a> CO 09 〇〇 0) 09 + 二 rt* ga 豸 —· 茲 — \ *s cn 09 PO 03 g5 =3 + ·»«· + 雄 ft* rf- d* a b 滿 〇 Q) 趲 a <〇 Oi c〇 a> CO 〇> CO oo >« ς〇 於 CO CJl 狄 a$ m 麻 o o o « o Ο o Μ* pH X X X X X X s o % O fb ο ίύ » , ； II ^ ~ 裝 """·訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） A7 B7 五、發明説明（〇 ) 當施例14〜...丄6_ (透明導電叠層體I之製造） 透明基材使用厚度180u m的聚對苯二甲酸乙二酯膜 (M下簡稱「PET膜」或玻璃板（康寧公司製《7059;尺 寸為1 6 c m X 1 6 c n、厚1 . 1 π m ,下同），噴鍍標靶使用表5 所示原子組成比（氧除外，Μ下簡搏「組成」），利用下 述條件之嗔鍍法，在該PET膜上或玻璃板上形成表5所 示原子組成比（氧除外，Μ下簡稱「組成」）的氧化物膜 (透明導電膜），各實施例均得透明導電叠層體I 。氧化 物膜的組成，利用感應電漿發光分光分析（ICP)求出。 噴鍍裝置：HSM-552(島津製作所公司製品） 檷靶尺寸：直徑4吋，厚 放電形式：直流磁控管 放電電流：0 . 2 A 放電電JK : 400 V 背景壓力：5 X 10_4 Pa 導入氣® (氛圍氣體>:97容量：KAr + 3容量χ〇2之混 合氣體 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 預噴鍍壓力：1.4X10 ―1 Pa 預唄鍍時間：5分鐘 噴鍍壓力：1.4x1ο·1 Pa 噴鍍時間‘· 4分鐘 基板轉速：6rpm 基板溫度：室溫 分別就所得透明専電叠層髖I,求出構成該透明導電 -44- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央樣準局貞工消費合作社印裝 五、發明説明（ο) 1 1 叠 層 體 I 的 氧 化 物 膜 (透明導電膜> 之 膜 厚 t 表 面 電 阻 1 1 表 面 電 阻 的 標 準 差 及 電 阻 係 數 0 Alt 就 各 透 明 導 電 叠 層 體 I 1 | 9 求 出 波 長 55 0 η m 的 光 透 射 率 〇 结 果 如 表 6 所 示 〇 /—V 請 1 I 膜 厚 之 測 定 » 是 使 用 測 定 專 用 的 玻 璃 載 片 9 在 上 述 條 先 閱 1 讀 1 | 件 另 行 製 膜 1 採 用 斯 11 公 司 製 DEKTAK3030 货 >λ 觭 針 法 背 1¾ 1 | 之 测 定 〇 表 面 電 阻 是 藉 使 用 三 菱 油 化 公 司 製 羅雷斯得FP的 四 意 I 端 子 法 测 定 9 表 面 電 胆 的 標 準 偏 Ffm 差 在 每 實 施 例 均 按 上 述 事 項 1 I 再 1 | 條 件 進 行 製 膜 5 次 » 由 此 等 膜 的 表 面 電 阻 求 出 0 電 阻 係 填 寫 本 装 數 是 氧 化 物 膜 平 面 中 央 部 測 得 表 面 電 阻 9 乘 以 前 述 玻 璃 頁 | 載 片 上 製 膜 的 氧 化 物 膜 之 膜 厚 求 出 ( 參 見 Γ 薄 膜 材 料 之 1 1 測 定 評 價 Jt ( 技 術 情 報 協 會 第 114 〜1 15頁 ) 而 有 關 1 I 透 明 導 電 叠 層 體 I 之 光 透 射 率 係 採 用 島 津 製 作 所 製 品 1 1 訂 1 II V -3 100來測定 又 > 各 實 腌 例 所 得 透 明 導 電 II 曆 體 I 9 在 空 氣 中 於 1 I 1 2 0 〇條件放置3 0 0小 時 後 9 按 上 述 同 樣 測 定 構 成 該 透 明 1 1 電 極 基 板 的 氧 化 物 膜 (透明導電膜） 表 面 電 阻 R > 求 出 對 1 .•1 製 膜 後 的 表 面 電 阻 R c (表 5 表 面 電 阻 檷 所 示 )之比R / R 0 % I 〇 结 果 如 表 6 〇 J 再 者 9 各 實 施 例 所 得 透 明 導 電 叠 層 體 I » 是 否 適 合 類 1 I 比 型 觸 摸 板 的 構 件 或 其 材 料 1 即 構 成 透 明 導 電 叠 層 體 I | 的 氧 化 物 膜 9 是 否 適 於 類 比 型 觸 摸 板 的 透 明 電 極 膜 » 可 1 Ί 由 表 6 所 示 氧 化 物 膜 的 特 性 評 估 〇 结 果 併 列 表 6 〇 .. 1 | th 較 例 1 1 在 氧 化 物 膜 製 膜 時 r 除 嗔 鍍 標 靶 採 用、 ΜΛΙη ) Β-ίΖ,η ) 1 1 -45- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） B7 五、發明説明（4 ) 和氧（0)構成的氧化物燒结體標祀(參見表5 ),餘和實 施例14〜16同樣，如表5所示，在PET膜上形成具有本 發明限定範圍K外組成的氧化物膜（透明導電瞑），而得 透明導電叠層體。 鼹於構成此透明導電叠層體的氧化物膜（透明導電膜） ，凡實施例14〜16所求同樣項目，均可由此實施例同樣 求得。另外，透明導電叠層體中的光透射率，可按實施 例14〜16同樣求出。再者，鼷於透明導電叠層體是否適 合類比型觸摸板的構件，可按實施例14〜16同樣評估。 其结果如表6所示。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局負工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 JUL· ' 發明説明（π ) 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印裝 I 1 05 1 cn i 1 s 3 m 1 3 m 3 Μ i i i s t—k Lo l〇 23 O ώ cn to in s o ik bi CJl 23 Ο i〇 οι tn 麗 ^―·s ψ t ! 沒 b3 丨1 s S4 8 b5 CO k1 k1 CO k1 \ sg c^l H-* hn 8S 〇 〇 o ο β ο 〇〇 ο ο Η-* Η-* Ο ο i 3 I 1 i Sm** s 8§ k1 8§ k1 | οο k 紲01 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） 五、發明説明（） A7 B7 經濟部中央揉準局員工消費合作杜印製 *1: Μ^5$π550ηΒ 凍雎瞄涅蝈釀_銪3 燄a«谢711。 *2:紲却鄉tbtals班茹_;热»茸龙皤卟»职3絮19髂湘。 〇：»Λ*λ2ι»,皤苏娌逾翘圧塍躇班茹^雜爷妈埘过龙。 Δ:涞》啉霧入逋鲰，却细筇涯璇遡tblss班銪^糠莽铒批鸢龙。 比較例1 實施例16 實施例15 實施例14 CT1 〇1 膜厚1 (η») 1 89.5 N5 88.8 〇〇 CO co 光透過率*1 α) _ί 350 1240 1300 1250 表面電阻 (Ω/Π) S 1 表面電阻 標準傾差 r 0.52 1.86 1_ 1.59 〇0 電胆係數 (X 10^ Qcm) _1 CO h-A Hi H-* OJ H-k 7K3 〇 [> 〇 〇 〇 評價結果*2 谢6 — Ί. I —Ml I I y 裝 I 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（47 ) 由表6可知，在S施例14〜16製膜之各氧化物膜，表 面電阻高達1240〜1300Ω/□，同時由表面電阻的標準 偏差值可知再現性良好。又由表6所示R/R〇值可知耐 熱性優良，尤其是實施例14和16製膜之各氧化物膜，耐 熱性高。因此，各實施例所得透明導電叠層體如表6所 示，可知具有適合製造類比型觸摸板，尤指改菩輸人精 度的類比型觸摸板之構件或其材料的特性。 另方面，比較例1製膜所得氧化物膜的表面電阻不過 350 Ω /□,該比較例1所得透明専電叠曆體，即使可用 做未改菩輸入精度之類比型觸摸板的構件或其材料，但 不適合做要改菩輸入精度之類比型觸摸板的構件或其材 料。 g施例17〜22 (透明導電叠層體I之製造） 如表7所示，除氧化物燒结體檷靶使用實施例2〜6任 一同樣製成品外，與實施例 14〜16同樣，在PET膜 上或玻璃板上，形成表7所示組成之氧化物膜（透明導 電膜），各實施例由此製得透明導電叠層體I 。 構成各透明導電叠層體之氧化物膜（透明導電膜），就 實施例14〜16求得的同樣項目，可由此實施例同樣求得 。另外，各透明導電叠層體是否適合類比型觸摸板之構 件，可按實施例14〜16同樣評估。此等结果如表8所示。 -49- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） --------------7装—-----訂-----;|1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（^ ) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 實施例22 實施例21 實胞例20 實施例19 實拖例18 實施例17 PET膜 玻璃板 玻璃板 玻璃板 玻璃板 玻璃板 基材種類 ! _] 與實施例6所得相同 與實施例6所得相同 I 與實施例5所得相同 與實施例4所得相同 與實施例3所得相同 與實施例2所得相同 _1 氧化物燒結體禰靶種類 83:11:6 83:11:6 83:11:6 1 74:22:4 55:35:10 25:70:5 組成（Ιη:Ζη:ΤΠ 氧化物膜（透明導電膜） 88.3at3： 88.3aU 77.1aU 61.1aU ^-aU 1 Ιη/(Ιη+Ζη) 6.0aU 6.081¾ 6.0atX 1 4.Oat% z> k U1 Π/Un+Zn+Ti) 浙7 I ;— ； ""裝 訂 ί . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐〉 302556 A7 B7 五、發明説明（ 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 *一, *2: »谢6saliall。 實施例22 實施例21 實施例20 實施例19 實施例18 實施例17 5； g 膜厚 (η·) _1 1 丨 87.8 1 89.4 1_ 89.4 89.3 1 88.2 1 85.2 _i 光透紂率 OK) 1300 [ ! 1300 1 [_ 1200 2000 4200 5333 表面電胆 (Ω/口） _i ϋί CO Ο <D 00 表面電阻 標準餚差 2.03 1- 1.95 1—* 〇〇 CO σϊ 〇〇 c〇 05 電阻係數 (X 10*·3 Ω cm) »—* 1—k CO H-* ro t—A to — ro PO 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 評價结果*2 51 ^ ^ "装 訂 ί . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（Ρ ) 由表8可知，在實施例17〜22製膜所得各氧化膜，表 面電阻高達1200〜5333Ω/□，由表面電阻的標準偏差 值可知再現性良好。又由表8所示R/R0值可知，耐熱 性亦優。因此，各實腌例所得透明導電叠層體，如表8 所示，可知具有適合製得類比型觸摸板，尤指改善输入 精度的類比型觸摸板之構件或其材料的優良特性。 g施例23〜29 (透明導電II層體I之製造） 如表9所示，氧化物燒结體標靶可用實施例2〜6任一 同樣製成者，亦可同樣使用實施例14所用，藉改變導入 製膜時氛圍氣體（噴鍍氛圍氣體）中氧濃度的氣體種類或組 成，而加K變化，且製膜後除進行規定條件的回火以外， 和實施例14〜16同樣，在PET膜上或玻璃板上形成氧化 物膜（透明導電膜），各實施例由此製得透明導電叠層體 I 〇 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 構成各透明導電叠層體之氧化物膜（透明導電膜），分 別就實施例 14〜16所求同樣項目，由此實施例同樣 求出。而各透明導電叠層體中的光透射率，按實施例14 〜16同樣求得。再者，有關各透明導電叠層體是否逋合 類比型觸摸板的構件，可按實施例14〜16同樣評估。结 果如表10所示。又，各氧化物膜（透明導電膜）的組成， 係與使用同一組成的氧化物燒结體之實施例17〜22和實 胞例14任一製膜的氧化物膜（透明導電膜）相同。 -52- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（w ) A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 ¾:眾筘π>濟一 饲_3; SAr 教liAa·灌裔3,斯λ濟S3回X。 芑：萊筘卟»[40^_% SAT»掘 AiDisssa-. m>fa商回A。 實施例29 實胞例28 實施例27 實施例26 實施例25 1 實施例24 1 實施例23 玻璃板 PET膜 玻璃板 玻璃板 玻璃板 1 玻璃板 玻璃板 j 基材種類 與實施例14所得相同 與實施例6所得相同 與實施例6所得相同 與實施例5所得相同 與實施例4所得相同 與實施例3所得相同 與實施例2所得相同 氧化物燒结願靶種類 1 _! Ar氣(0.2Pa) Ar氣(0.2Pa) 1 Ar氣(0.2Pa) i Ar 氣+0 2 氣 *1 Ar 氣((K2Pa) Ar氣(0.2Pa) Ar氣(0.2Pa) _1 腼賺 i 1 § i 大氣(203hPa) Γ 大氣(203hPa) 大氣(203hPa) Ar+O 2 (400hPa)=?2 Ar+02 (10hPa)*2 大氣(203hPa) Ί 大氣(203hPa) 氛圍氣體(氧分壓) 回 濂 120t： 120TC 1 1 150¾ 120¾ 120¾ 1 18010 12010 _1 處理溫度 2小時 2小時 I 1小時 2小時 2小時 30雜 10小時 處理時間 »9 —---7·-----裝------訂------泉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標隼（CNS > A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（β) *1, *2: B*6 3 班aEalu。 A7 B7 經濟部中夬揉準局貝工消费合作社印製 贓 n Μ m M M 聃 m m m 寄 m m a m m m m. m ΓΟ <〇 运 N5 cn PO PO 00 cn »—* g 膜厚 (nm) ο 1—» tn 88.0 90.0 89.7 〇〇 CO CO 89.0 86.2 僙 H-* 1600 h—» tn ΓΟ o〇 cn »—* g £ » ^ a s 〇 o o 〇 □喊 -@ 薇谢 PO CO ίο S s 容 〇l ro « a 義[减 ®薛 ro I\5 ro CO o α ρΕφ ^ @ s ro CJl N5 σ> CJi o ? * m ''W> o 1—* H-* H-* t—k t—» o (—* ►— H-* o 適 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 ffi? \hr> 7β N? —54^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨Ο X 297公釐） i.l---r---叫装------訂------Μ-^ΙΊ ί · -(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 302556 A7 B7 五、發明説明（以） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 由表10可知，實施例23〜29所得各氧化物膜，表面電 阻高達1500〜51002/口，同時實胞回火處理，故光透 射率提高到86.2〜90.0¾。又由表面電阻的標準鏽差值 可知再現性良好，再由表10所示R/R〇值，可知耐熱性 良好。因此，各實施例所得透明導電叠層體如表10所示 ,可知具有適合製造類比型觸棋板，尤指提高输入精度 的類比型觸摸板之構件或其材料的優良特性。 奮嘸例30〜3fi(诱明導電叠層體E之製造） 如表11所示，氧化物燒结體檷靶除使用實施例8〜13 任一同樣製成品外，可按霣施例14〜16同樣，在PET膜 上或玻璃上形成表11所示組成的氧化物膜（透明導電膜） ，各實施例由此製得透明導電叠層體I。 構成各透明導電叠層體之氧化物膜（透明導電膜），分 別就實施例14〜16求得的同樣項目，由此等實施例同樣 求得。另外各透明導電叠層體中的光透射率，可按實施 例14〜16同樣求得。再者，有關各透明導電叠層體是否 適於類比型觭琪板的構件，可按實施例14〜16同樣評價 。其结果如表12所示。 經濟部中央棣準局員工消費合作社印製 -55- 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS〉Μ規格（210X297公釐〉 五、發明説明（付） A7 B7 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製

56 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） I n n I n n I n I n I I I n I T I n n I I! I- Ax < , i ,··τ I · . ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（π ) A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 *1,芯：赶姍63癱淇»画。 實施例36 實施例35 實施例34 實施例33 實胞例32 實施例31 實施例30 cn cn ui b-^ § 5l 膜厚 (nm) 87.9 1 1 90.0 90.2 1 89.9 89.5 〇0 0¾ CD 1 87.5 光透射率*1 (%) _1 2100 1 ! 2200 1_ 2000 1130 1020 5500 3600 表面電阻 (Ω/D) ro 05 N5 私 ro ro <〇 N3 cn 表面電胆 標準偏差 CO H-k cn CO W 00 o 1.70 1.53 oo 00 ΟΊ 電阻係數 (ΧΙΟ*3 Ωοη) 1 — to 1—A 1—* H-k 1—* ΓΟ — ro H-k I—* j—k ρσ Ο 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 評價结果*2 谢12 --：---;----— 裝------訂------T：泉 ί .-· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印装 A7 _B7 _ 五、發明説明（A ) 由表12可知實施例30〜36製膜的各氧化物膜，表面電 阻高達900〜5500Ω / □，由表面電阻的標準差可知再規 性良好。另由表12所示R/R〇值可知耐熱性優良。因此， 各實施例所得透明導電叠層體如表12所示，可知具有適 合製得類比型觸摸板，尤指改菩輸入精度的類比型觸摸 板之構件或其材料的優良特性。 g施例37〜43 (透明導電叠層體Π之製造） 如表13所示，氧化物燒结體標靶可用實施例8〜13 任一同樣製成品，製膜時氛圍氣體（嗔鍍氛圍氣體）中的 氧濃度，可藉改變導入氣趙的種類或組成而加以變化， 且製膜後除進行規定條件的回火外，和實施例30〜36同 樣，在PET膜上或玻璃板上形成氧化物膜（透明導電膜） ,各實施例因此製得透明導電叠層體I。 構成各透明導電叠層體之氧化物膜（透明専電膜），分 別就實施例14〜16所求同樣項目，由此等實施例同樣求 得。又各透明導電叠層體中光透射率，按實施例14〜16 同樣求得。再者，闞於各透明導電叠層體是否適合類比 型觸摸板之構件，可按簧施例14〜16同樣評估。其结果 如表14所示。又，各氧化物膜（透明導電膜）的組成，與 使用同一組成的氧化物燒結體標靶之實施例30〜36任一 相同。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） —^---Μ-----装------訂------^良 一 * ·, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局員工消费合作社印裝 S02556 A7 B7 五、發明説明（) ,3:»αγ^00 2»3 筘卟»8§闺铒，ΑΓΜδφ阚0.2pa, 〇2 濟3^M2xl0 3a *2:添筘昤«1财_% 3ΑΓ»椭 λΛΟ黎苺 s, m±it® 回乂。 *3:眾雜昤«40 骑 _s!sAri>-a·黎® 3,財)4濟商回><·。 實施例43 實胞例42 實施例41 實施例40 實施例39 實施例38 實_例37 玻璃板 PET膜 玻璃板 玻璃板 玻麵 玻璃板 玻璃板 基材種類 1 與實施例13所得相同 與實施例13所得相同 與實施例12所得相同 與實施例11所得相同 1 與實施例10所得相同 與實施例9所得相同 與實胞例8所得相同 氧化物燒結體標靶種類 Ar氣(0.2Pa) Ar氣(0.2Pa) Ar氣(0.2Pa) Ar 氣+0 2 氣 *1 Ar氣(0.2Pa) Ar 氣(0.2Pa) Ar 氣(0.2Pa) 1 Mk » m I I SB SXT ii Αγ+〇2 (400hPa)i--3 Αγ+02 (400hPa)：i3 I Ar+〇2 (400hPa)*3 Ar+〇2 (400hPa)*3 Αγ+02 (10hPa)$2 1 大氣(203hPa) 大氣(203hPa) 氛圍氣體(氧分壓） 回 察 120TC 120V 15〇r 1_ 1201： 120TC ! 180^ 120^ ______ 處理溫度 2小時 2小時 ! 1小時 2小時 2小時 2小時 2小時 處理時間 紲13 !. n 裝 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（2丨Ο X W7公釐） ^02556 五、發明説明（w A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 4S-1, *2: S 浙6 3 靡 liffisi。 實_例43 實施例42 實施例41 實施例40 實施例39 實施例38 實施例37 >-* g 膜厚 (net) _i 〇0 〇〇 〇〇 1 90.4 i g 05 90.2 90.0 87.3 〇〇 〇〇 o 光透射率 (%) 1 1250 1 1200 1100 1200 1120 5800 1 3600 _1 表面電阻 (Ω/m 〇〇 VI CO a> CO S N5 表面電阻 標準锔差 _1 to o〇 t-^ 一 00 1-k CO CO cn 電阻係數 (X 1〇-3 Ω cm) to ― ro t-k H-k H-A h-k H-k o H-* o 30 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 評價结果*2 60 丨丨：一— I---N裝—-----訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（θ ) 由表14可知實施例37〜43所得各氧化物膜，由於表面 電阻高達1100〜5800Ω/□，且簧施規定的回火處理， 故光透射率提高到87.3〜90.6%。又由表面電阻的檷準 偏差值可知再現性良好。再者，由表14所示R/R0值可 知耐熱性優良。因此各實施例所得透明導電II層體，如 表14所示，可知具有適合製造類比型》摸板，尤指改善 輸入精度的類比型觸摸板之構件或其材料的優良特性。 g施例44〜46 (觸摸板I之製造） ⑴透明電極基板之製作 透明基材採用雙袖延伸的聚對苯二甲酸乙二酯膜長條 (尺寸：3 0 0 X 1 0 m，厚 1 2 5 « m .以下稱「P E T 卷 j ), 唄鍍標靶用表15所示原子組成比（氧除外，以下簡稱「 組成」）之氧化物燒结體檷靶（尺寸：5吋X15吋X5nm 厚），按下述要領製造表15所示原子組成比（氧除外， Μ下簡稱「組成_!)之氧化物膜。又*氧化物膜之原子組 成比可利用感應電漿發光分光分析（ICP)求得。 首先，將PET卷裝設在連鑛行進式DC磁控管噴鍍装置 ，在真空槽内減壓到5X1 0·3Ρ3Κ下為止。其次，將氩 氣（純度99.99¾)引進真空槽内至壓力2X 10·1 Pa,預噴 鍍輸出1.6W/cra2 (標靶施加電壓400V),將基板溫度分 別設定於20 t：,進行噴鍍。噴鍍後，嗔鍍输出和基板溫 度保持前述数值，將氬氣和氧氣的混合氣體（氩氣與氧 氣的體潰比97:3)導人真空槽内壓壓力SxiO^Pa, Μ lOOcm/min行進速度，在PET卷單面製成氧化物膜（透 -6 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ扣7公釐） ---^---^----^装------訂------Ί,ι. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 ^02556 B7 五、發明説明（P ) 明電極膜）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 從帶有上述所製得氧化物膜（透明電極膜）的PET卷 ，切成平面大小為16X 16cra之帶氧化物膜的PET膜，而 得本發明透明導電叠層體I構成的透明電極基板。 就所得透明電極基板，求出構成該透明電極基板之氧 化物膜（透明電極膜）的膜厚、表面電胆、表面電阻的標 準偏差及其電阻係數。又關於各透明電極基材，求出波 長550 nm的光之透射率。结果如表16所示。 又闞於氧化物膜（透明電極膜）的膜厚、表面電阻、表 面電阻標準偏差和電阻係数，以及透明電極基板之光透 射率，分別按簧施例14〜16同樣求出。 此外，各實施例所得透明電極基板在空氣中，於120C 條件放置300小時後，按上述同樣測定構成該透明電極 基板之氧化物膜（透明電極膜）表面電阻R ,求出對製膜 後表面電阻Ro (表16表面電胆禰所示）之比R/R〇 。结果 併列於表1 6。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 如表16所示，於實施例44〜46製成的各氧化物膜，表 面電阻高達1250〜4600Ώ/□，由表面電阻的標準偏差 值可知再現性優良。又由R/R〇值可知耐熱性優良，尤 其是實腌例44製成的氧化物膜耐熱性高。因此，可知各 實施例所得透明電極基板，具有適合觸摸板，尤指類比 型觴摸板的透明電極基板之優良特性。 ⑵觸摸板之製作 從帶有上述⑴所得氧化物膜（透明電極瞑）之PET卷 -62- 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央梂準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明U') ,切成平面大小16X 16cm而帶有氧化物膜的各二枚PET 膜，使用此二枚透明電極基板，各實施例按下述製成第 2圖簡示的類比型觸摸板（均為本發明觸模板I之 一）。 首先，在構成其一透明電極基板1之氧化物膜（透明 電搔膜）2中彼此對立的一組邊緣部上，分別利用銀脅 (藤倉化成公司製品D-550) »設置圼寬3mm帶狀的電極接端 3a* 3b·另外在構成另一透明電極基板5的氧化物膜 (透明電極膜）6中彼此對立的一組邊緣部上，同樣分 別設置圼寬3mm帶狀的電極接端7a , 7b。 其次，將透明電極基板1和透明電極基板5貼合，以 氧化物膜（透明電極膜）2 , 6彼此對立，使電極接端3a ,3b連结方向與電極接端7a, 7b連结方向的平面正交。 此時，使用S ί 0 2構成的粒徑1 5 a m之球狀隔體（圖上未 示），使氧化物膜（透明電極膜）2 , 6間距離為15ub。 然後，氧化物膜（透明電極瞑）2所設電極接端3a, 3b ，與15V的直流電源Vi,藉引媒10a, 10b連接。此時， 在引線l〇a中途介置開闞Si，引線10b中途介置開闞 S2 。另氧化物膜（透明電極膜）6所設電極接端7a, 7b, 與15V的直流電源V2,藉引線11a, lib連接。此時， 引線11a中途介置開瞄S3 ,引線lib中途介置開闞S4 。 如此一來，電極接端3a, 3b與直流電源h , Μ及電 極接端7a, 7b與直流電滬V2 ,利用霣氣連接，而得觸 摸板15。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210X297公釐} .I! - I - I — I u - -I - - n ml 1* I, , V—* ' . 洚 、ν'β ^ · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（—） (3)觸摸板的性能評價 從上述⑵製作觸摸板15的引線10b中途接出地線，設 置電壓計12(參見第2圖）W測定引線10b和引線10a之 電位差後，開闞Si, S2, S3闞閉，開關S4打開。在 此狀態下，如第2圖中箭頭A所示，沿電極接端3a縦向 中心與電極接端3b縱向中心之連结線，將透明電極基板 1的外側表面，從電極接端3b側朝電槿接端3a,在1.5mm 分100點，利用输入端曲率半徑為Ιβπι的輸入筆13 (參 見第2匾）依次施壓，此時檢測誤差可由下式求出： 100 檢測誤差=Σ (|Vn-Vn〇|/|Vn+1-Vn|)/l〇0 11=1 其中，Vn :在第η個施壓點的實測電壓 Vne :在第η個施壓點的理論電壓 在上式中，|Vn -Vn<>|表示實測電壓與理論電壓的差 異，此值愈小*所得觸摸板對施壓位置的誤認愈少。而 式中|Vn+1-Vn|表示相鄰二施壓點的測定電壓相差，此 值愈大，Μ施壓位置差異做為電位差K良好精度檢測愈 容易。 就各實施例所得觸摸板，按上式求出檢測誤差，如表 16所示，在任何觭棋板中，其值均在0.1 Μ下。因此， 可Μ確認各觸摸板的輪入精度高。 g施例47 (觸摸板I之製造> ⑴透明電極基板之製作 除透明基材採用玻璃板（康寧公司製品#7059;尺寸 -64- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I ^~ —^1 n -II n 訂 t · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ ) 1 1 16cm X 16 c π , 厚 1 . 1 n m )外 9 和 實施例44同 樣 * 製 得 透 明 1 1 電 極 基 板 〇 此 時 所 用 熵 结 體 標 靶 的 組 成 9 和 製 膜 所 得 氧 1 | 化 物 膜 的 組 成 併 列 於 表 15 〇 ，—、 請 1 I 關 於 構 成 上 述 透 明 電 極 基 板 的 氧 化 物 膜 (透明導電膜） 先 閱 1 讀 1 1 9 就 實 施 例 44 46中 ⑴ 求 得 的 同 樣 項 巨 由 此 實 施 例 同 背 1 I 之 漾 求 得 0 另 上 述 透 明 電 極 基 板 的 光 透 射 率 9 按 實 施 例 44 意 1 46中 之 ⑴ 同 樣 求 出 〇 结 果 併 列 於 表 1 6 0 事 項 1 | 再 1 如 表 1 6所示 上 述 氧 化 物 膜 的 表 面 電 姐 高 達 1 240 Ω /□ 填 本 裝 9 由 表 面 電 阻 的 摞 準 偏 r|HI 差 值 可 知 再 現 性 良 好 Ο 又 由 R/R 〇 頁 ^ 值 可 知 耐 熱 性 優 良 0 因 此 可 知 上 述 通 明 電 極 基 板 具 有 1 1 遴 合 做 觸 摸 板 9 尤 指 類 比 型 m 摸 板 的 透 明 電 極 基 板 之 優 1 I 良 特 性 Ο 1 1 (2) 觸 摸 板 之 製 作 和 性 能 評 價 玎 1 製 作 二 枚 上 述 透 明 電 極 基 板 V 用 此 製 作 實 施 例 44 46 1 I 中 (2) 同 樣 之 類 比 型 觸 摸 板 (本發明觴摸板I之- -) « 其 性 1 1 能 按 實 施 例 44 46中 所 述 同 樣 評 價 Ο 1 • 1 结 果 如 表 16所示 9 上 述 觸 棋 板 的 檢 測 誤 差 值 0 . 03 9 输 泉 I 入 精 度 高 0 J tL 較 例 2、 -3 1 | ⑴ 透 明 電 極 基 板 之 製 作 | 在 氧 化 物 膜 製 膜 當 中 » 除 噴 鍍 標 靶 使 用 表 1 5所示組成 1 1 之 氧 化 物 燒 结 體 標 靶 Μ 外 ， 和 寶 施 例 44 46之 ⑴ 同 樣 • 1 | 在PET 膜 上 形 成 具 有 表 1 5所示本發明 限 定 範 圍 外 的 組 成 1 1 之 氧 化 物 膜 (透明電極膜）， 得 各 比 較 例 之 透 明 電 極 基 板。 1 1 -65- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（从） 構成各透明電極基板的氧化物膜（透明電極膜），就實 胞例44〜46中0)所求同樣項目，此等比較例同樣求出。 另，各透明電極基板中的光透射率，按實施例44〜46中 ⑴同樣求出。结果如表16所示。 如表16所示，在比較例2製膜之氧化物膜，表面電阻 極高達58230Q/O。另方面，在比較例3製膜之氧化物 膜、表面電阻不過4002/口，無法滿足欲得高度輸入精 度的觸摸板之透明電極膜所要求特性。 (2)觸摸板之製作及性能評價 各比較例按實施例44〜46中（2)同樣製作類比型觸摸板 ，其性能按實施例44〜46中（3)同樣評價。结果，如表16 所示，比較例2的觸摸板，其氧化物膜（透明電極膜）表 面電阻太高.利用15V的直流電源从1和^2 (參見第2 圖）無法作動，不切實用。比較例3的觸摸板檢測誤差 值1.6 ,與實施例44〜46中（2)所得觸摸板相較，輸入精 度極劣。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 -66- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（^ A7 B7 經濟部中央櫟準局員工消費合作社印製 rr r 1 響 I 1 m 1 3 藏 3 藏 1 騭 藏 s 藏 I 遡 8§ 1—» t—* H-A δ s 23 Ο ώ CJl ϋ ΟΙ o 释 o s o a o β o 芒 o S3 〇 ώ In w In I f 1 8§ ’皆 s 8 ΟΊ 2 a 8 ^—ν + ϋ Si /g k1 s fe 00 k1 Π Po 5i £ri 〇 H-* H·^ o o ο in s In $ ο CJ1 In ο ώ ο ο •箱 s $ I 麗 i m H3 sr s« 8§ k1 3i I s s1 8§ k1 S"4 έ to :£J ? R 露 1 >#>· 、 ►Η Ν-· <*W>> 谢15 I 1 | —裝 訂 ；一東—； i . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐）

JJL A7 B7 經濟部中央揉準局貞工消費合作社印製 -:姍兜550i3决雎嫵涅蹦繭瞅aM嫌耷樹。 比較例3 比較例2 實施例47 實施例46 實施例45 實施例44 tn ro 00 膜厚 (nn) 1 89.8 86.3 90.2 89.0 87.9 89.9 光透射率*1 {%) _1 400 58230 1240 2500 4600 1250 表面電阻 (Ω/m 1235 二 CO cn ro 〇〇 表面電阻 標準偏差 〇 05 87.34 1.86 ►-* ο CJl 1,87 電胆係數 (X ίο-3 Qcm) 〇〇 co Oi CJ1 — H-* Η-» Ps5 t—* 70 〇 1—» OJ 不能作動 〇 S 0.03 0.08 0.05 檢出誤差 *16 ---：---：----Γ 装—-----訂------Ί % —.1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） B7 五、發明説明（β ) g敝例48〜61 (觸摸板I之製造） 首先按照實施例15、實施例17〜22和實胞例23〜29任 一同樣，各實施例製作二枚本發明透明導電叠層體I 。 再將此二枚透明導電叠層體I分別用透明電極基板，按 實施例44〜46中⑵同漾，各實施例製作類比型觸摸板 (均為本發明觸摸板I之一），其性能（檢測誤差）按照實 施例44〜46中⑶同樣評價。 結果如表17所示。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 -69- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐> A7

7 B 五、發明説明（W ) 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 表17 透明電極基板種類 檢測誤差 實沲例48 與實施例15同樣所得透明導電叠層體I 0.08 實施例49 與實施例17同樣所得透明導電叠層體I 0.1 賁施例50 與實施例18同樣所得透明導電叠層體I 0.07 實施例51 與簧施例19同樣所得透明導電叠層體I 0.04 實豳例52 與實施例20同樣所得透明専電*層體I 0.08 實腌例53 與實施例21同樣所得透明導電叠層體I 0.03 實施例54 與實施例22同樣所得透明導電#層體I 0,03 實施例55 與實施例23同樣所得透明導電#層體I 0.09 實施例56 與實施例24同樣所得透明導電叠層體I 0.06 簧胞例57 與實施例25同樣所得透明導電叠層體I 0.04 實施例58 與實施例26同樣所得透明導電叠層體I 0.03 實施例59 與實施例27同樣所得透明導電叠層體I 0.03 實腌例60 與實施例28同樣所得透明導電叠層體I 0.03 實施例61 與實胞例29同樣所得透明導電叠層體I 0.04 --^----I-----裝------、訂------ί^ιί ί ί . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ^02556 A1 _B7_'_ 五、發明説明（Η ) 如表17所示，實施例48〜61所得各觸摸板之檢測 誤差值為0.03〜0.1,全部觸摸板均有高度輸入精度。 g _例62〜75 (觸摸板I之製造） 首先按照實施例30〜36和實施例37〜43任一同漾，各 實施例製作二枚本發明透明導電叠曆醴I 。此等二枚透 明導電叠層體Π分別用做透明電極基板，按實施例44〜46 中⑵同樣，各實施例製作類比型觸摸板（均為本發明觸 摸板I之一），其性能（檢测誤差）按照實施例44〜46中 (3)同樣評價。 结果如表18所示。 I'Ml I I 訂 I - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 一 7 1 - 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS > A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 表18 透明電極基板種類 檢測誤差 實施例62 與實施例30同樣所得透明導電叠層體I 0.05 實施例63 與實施例31同樣所得透明導電叠層體I 0.03 實施例64 與實施例32同樣所得透明導電叠層體I 0.04 r 賁施例6¾ 與實施例33同樣所得透明導電叠層體I 0.04 實腌例66 與實施例34同樣所得透明導電叠層體I 0.04 實施例67 與實施例35同樣所得透明導電叠層體I 0.05 實施例68 與實施例36同樣所得透明導電叠層髖I 0.04 簧施例69 與實施例37同樣所得透明導電叠層體I 0.03 實胞例70 與實施例38同樣所得透明導電叠層體I 0.06 實腌例71 與實施例39同樣所得透明導電叠層體I 0.04 實施例72 與霣施例40同樣所得透明導電叠層體E 0.05 實施例73 與實施例41同樣所得透明導電叠層體I 0.06 實施例74 與實施例42同樣所得透明導電叠層體E 0.06 實腌例75 與實施例43同樣所得透明導電叠層體2 0.04 十- ： ； —^-- f . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ，泉. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（η ) 如表18所示，實施例62〜75所得各觸摸板的檢測誤差 值為0.03〜0.06,全部觸摸板均有高度輸入精度。 Μ上如實施例所述，由本發明摞靶I或標靶I使用嗔 鍍法等物理性氣相蒸著法等所得本發明透明導電叠層體 I或透明導電叠層髓]I,均具有高電阻之透明導電膜， 因而採用此透明導電叠層體I或透明導電叠層體I ,即 可提供輸入精度高的本發明觸摸板I或觸摸板I 。 如前所述，按照本發明人等的研究，膜厚和電姐係数 在第1圖所示領域内之透明導電膜，係由絪（In)和錫 (Sn)之一，和選自包含鈦（Ti)、矽（Si)、鎳（Νί),銥 (Ir)、鍩（Rh)、鈽（Ce)、锆（Zr)、钽（Ta)、鉈（Τ1)、給 (Hf)、鎂（Mg)、鈷（Co)、鉛（Pb)、铬（Cr)和鎵（Ga)等金颺元素 群之至少一種金颶元素，以及《(〇>為構成元素，該金靨元素總量的厚 子比（金鼷元素群選出的全部金靨元素）/ [(In或Zn) + (金鼷元素群選出的全部金靨元素）〕為义.2〜4Q1! %之氧化 物膜所形成。 同樣，若由絪（In)和錫（Sn)之一，和選自包含钛（Ti) 、矽（Si)、鎳（Ni)、銥（Ir)、铑（Rh)、铈（Ce)、皓（Zr) 、組（Ta)、鉈（T1)、給（Hf)、鎂（Mg)、鈷（Co)、鉛（Pb) 、鉻（Cr)和鎵（Ga)等金鼷元素群之至少一種金鼴元素， Μ及鋅（Ζη)和氧（0)為構成元素，該金觴元素缌量的原 子比（金靨元素群選出的全部金鼷元素）/ [(In或Sn) + (金画元素群選出的全部金屬元素）+Zn]為』.2二土0原子% , 該鋅（Zn)的原子比Zn/(In或Sn) + (金鼷元素群選出的全 -73- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） ： _ ^-- f · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 泉 A7 B7五、發明説明（) 部金鼷元素）^11為2.2〜30原子：(！（惟2.2原子：1；除外）之 氧化物膜，亦可形成膜厚和電阻係數在第1圖所示領域 内之透明導電膜。 為供參考，此等透明導電膜利用噴鍍法製膜之際所用 檷靶之原子組成比，Μ及使用該標靶所得透明専電叠層 趙中透明導電膜之原子組成比，如表19和表20所示。另 外表19或表20所示透明導電膜之膜厚、光透射率、表面 電阻、表面電阻之標準偏差、電姐係數和R/R〇 (與上述 實施例中的R/R〇同樣求出），均如表21或表22所示。使 用具有表19或表20所示透明導電膜之透明導電叠層體， 按上述實施例同樣所得類比型觸摸板之檢測誤差，併列 於表2 1和表2 2。 此外，Μ凰（In)和-錫-（Sn)之一，K及_^(A1)和/或緒 (Ge)為構成元素，A1和Ge合量（包含其一為0的情況）的 原子比料/[(1^或5〇)4]為2.2〜40原子！《的氧化物膜構 成的透明導電膜，其膜厚和電阻係數亦可在第1圖所示 領域内，有闞此氧化物膜和上述同樣資料，併列於表19 〜表22。 各透明導電膜係依據上述實腌例14〜16製膜。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •装. 訂 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 -74- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X2()7公釐） A7 B7 五、發明説明（β ) 表1 9 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 氧 除 夕卜的 原子阻成比 (a t%) 構成元素 焼结體標靶 氧ib物膜(透明導電膜） 参考例1 Ια : Ti 95.5 :4.5 JiJL 5. 0 参考例2 Ια : Ga 95.5 :4.5 95.0 5.0 参考例3 In : Si 97.5 :2.5 97. 0 3. 0 参考例4 In : Ni 97.5 :2.5 97. 0 3. 0 参考例5 [η : Ir 97.5 :2. 5 97. 0 3. 0 参考例6 In : Rh 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例7 [fl : Ce 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例8 In : Zr 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例9 Ια : Tl 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例10 In : Hf 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例U In : Mg 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例12 In : A1 97.5 :2.5 97.0 3. 0 参考例13 In : Ta 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例14 In : Co 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例15 In : Pb 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例16 In : Ge 97.5 :2.5 97. 0 3.0 参考例17 In : Cr 97.5 :2.5 97. 0 3.0 参考例18 Sn : Ti 95.5 :4.5 95.0 5.0 参考例19 Sn : Ga 95.5 :4.5 95.0 5.0 . 参考例20 Sn : Si 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例21 Sn : Hi 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例22 Sn : [Γ 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例2 3 Sn : Rh 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例24 Sn : Ce 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例2 5 Sn : Zr 97. 5 :2.5 97.0 3.0 参考例26 Sn : Tl 97.5 :2.5. 97.0 3.0 参考例27 Sn : Hi 97..5 :2.5 97. 0 3.0 参考例28 Sn : Mg 97.5 :2.5 97. 0 3.0 参考例29 Sn : A1 97.5 :2.5 97.0 3.0 参考例30 Sn : Ta 97.5 :2.5 97. 0 3.0 参考例31 Sn : Co 97.5 :2 .5 97. 0 3.0 参考例3 2 Sn : Pb 97.5 :2.5 97. 0 3. 0 参考例3 3 Sn : Ge 97..5 :2.5 97.0 3.0 参考例34 Sn : Cr 97.5 :2.5 97.0 :JJL 参考例3 5 In : Ti 63.0 :37.0 Jl〇 ： iSJL 参考例3 δ In : Si 63.0 :37.0 62.0 38.0 参考例37 In : Hi 63. 0 :37.0 62.0 38.0 参考例3 8 In : Ir 63.0 37.0 62.0 38.0 参考例39 In : Rh 63. 0 37.0 62.0 38.0 参考例40 In : Ce 63. 0 37.0 62.0 : 38:0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 五、發明説明（S 〇 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 氣除 外的原 子姐 成比 （a t太） 構成元素 焼结賭標靶 氧化物膜(透明専電膜） 参考例41 In :Zr 63.0 : 37. 0 62.0 : 38.0 参考例4 2 In :T1 63.0 : 37.0 '62.0 : 38. 0 参考例《 In :Hf 63.0 : 37. 0 62.0 : 38.0 参考例44 Ια :Mg 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例4 5 Ια :A1 63.0 : 37. 0 62.0 : 33, 0 参考例4δ In :Ta 63.0 : 37, 0 62.0 : 38.0 参考例47 In :Co 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例4 8 In :Pb 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例49 In :Ge 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例50 In :Cr 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例51 In :Ga 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例5 2 Sn ：Ti 63.0 : 37.0 62.0 : 38. 0 参考例53 Sn :Si 63.0 : 37. 0 62.0 : 38.0 参考例5 4 Sn :Ni 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例5 5 Sn :Ir 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例5 6 Sn :Rh 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例57 Sn :Ce 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例58 Sn :Zr 63.0 : 37.0 62.0 : 38. 0 参考例5 9 Sn :Tl 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例60 Sn :Hf 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例61 Sn :Mg 63.0 : 37.0 62.0 : 38. 0 参考例62 Sn :A1 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例63 Sn :Ta 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例64 Sn :Co 63.0 : 37.0 62.0 : 38,0 参考例65 Sn :Pb 63.0 : 37.0 62.0 : 38. 0 参考例65 Sn :Ge 63. 0 ：- 37.0 62.0 : 38.0 参考例67 Sn :Cr .63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例68 Sn :Ga 63.0 : 37.0 62.0 : 38.0 参考例6 9 In :Ti 73.0 : 27.0 72.0 : 28.0 参考例70 In :Si 73.0 : 27.0 72.0 : 28.0 参考例71 In :A1 73.0 : 27.0 72.0 : 23.0 参考例72 In :Zr 73.0 : 27.0 72.0 : 28.0 参考例7 3 In :Zn 73.0 : 27.0 72.0 : 28. 0 参考例74 In :Ga 73.0 : 27.0 72.0 : 28.0 参考例7 5 In : Ga : Zn 87.0 : 3. S :9.5 85.0 : 4.0 : 11.0 参考例76 Ια : Ga : Zn 63.0 : 7. E :29.5 62. 0 : 8. 0 : 30. 0 —76— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） I-----"----装------，tT------ ··, ! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（w) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 表 2 1 膜厚 (nm) 光透射率*1 (%) 表而電阻 (Ω/口） 表面獅 檷m偏差 電阻係敝 (X 1 0-3Ω c m) R/R。 檢測誤差 参考洌1 15 89. 5 1530 35 2. 29 1. 1 0. 03 参考洌2 15 89. 8 1500 35 2. 25 1. 1 0. 03 参考冽3 15 89. 4 1280 56 1.9 2 1. 1 0. 03 参考洌4 15 88. 5 12 5 0 G 6 1.87 1. 3 0.0 5 参考洌5 15 90. 2 13 10 70 1. 96 1. 3 0. 06 转洌6 15 88. 6 1350 85 2. 02 1. 3 0. 07 参考洌7 15 89. 5 1380 74 2. 07 1. 4 O'. 0 5 参考例8 15 89. 1 1550 64 2. 32 1. 1 0. 03 参考例9 15 89. 7 1250 58 1. 87 1.2 0. 05 参考例10 15 90. 1 1600 59 2. 40 1. 3 0. 08 参考例11 15 88. 9 1350 66 2. 02 1. 3 0. 06 参考洌12 15 89. 5 14 10 55 2. 11 1. 1 0. 03 参考洌13 15 89. 5 1370 7 2 2. 05 1. 4 0. 05 拷洌14 15 89. 3 1250 88 1. 87 1. 2 0. 04 参考洌15 15 90. 0 1420 56 2. 13 1. 5 0. 06 耗例16 15 90. 5 1290 67 1. 93 1.5 0. 05 参考洌17 15 88. 8 13 10 59 1. 96 1.4 0. 07 参考例18 15 89. 5 1340 36 2. 0 1 1. 2 0. 06 参考例19 15 89. 8 1240 37 1. 86 1.2 0. 06 参考例20 15 89. 7 1250 59 1· 87 1. 2 0. 08 参考洌21 15 90. 2 1280 64 1. 9 2 1. 5 0. 07 参考釣22 15 90. 0 13丄0 7 7 1. 96 1. 6 0. 06 参考卿 15 88. 7 1360 57 2. 04 1. 5 0. 05 参考洌24 15 89. 6 1200 69 1. 8 1. 3 0. 06 参考阴25 15 89. 9 1250 85 1. 8 7 1. 4 0. 07 参考洌26 15 88. 5 1350 79 2. 02 1.2 0. 05 参考卿 15 89. 6 .1390 69 2. 08 1. 5 0. 06 参考洌28 15 90. 2 1*2 10 66 1. 8 1 1.6 0. 04 ##洌29 15 89. 9 1260 78 1. 89 1. 6 0. 07 参考洌30 15 89. 7 1250 6 1 1. 87 1. 2 0. 05 ##洌31 15 88. 9 1200 87 1. 8 1. 4 0. 07 #%郎2 15 90. 0 1340 69 2. 〇1 1. 6 0. 06 参考洌33 15 89. 4 13 10 65 1. 96 1. 9 0.08 ##洌34 15 • 89.2 1360 55 2. 04 1. 5 0. 05 #%*|35 95 85. 3 5380 39 5 1. 1 ( 1. 2 0. Οδ 参考洌3δ 95 84. 5 6520 36 6 1· 9 7 1. 2 0. 06 ##'?J37 95 85. 5 7640 35 72. 6 3 1.2 0. 07 mm 95 85. 2 6580 87 62. 5 4 1. 1 0. 09 参考洌39 95 84. 7 6600 85 6 2. 73 1. 1 0. 07 ##:7140 95 84. 9 7560 86 7 1. 87 1.2 0. 05 二1:表7K波長550nm光f丨透明電極基板的透射率 -77- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X 297公釐） I —| ^ I I —I 訂 泉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

A B 五、發明説明（) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 表 2 2 膜厚 (nm) 光透射率 (%) 表面電胆 (Ω/D) 表面電pa 摞準偏差 電阻係數 (X 1 0'3Ω c m) R/R〇 檢測誤差 参考洌41 95 85. 0 5500 9 7 5 2.25 1. 1 0. 06 参考洌42 95 84. 4 6570 . 68 6 2.44 1. 2 0. 04 95 84. 1 75 60 58 7 1 . B 7 1 . 3 0.0 5 参考洌44 95 84. 5 6600 6 7 62.73 1.2 0. 07 参考洌45 95 85. 3 78 30 8 5 74. 44 1. 1 0. 06 参考洌46 95 85. 5 6480 88 6 1.59 1.3 0. 08 拷洌47 95 85. 1 86 10 76 8 1.87 1. 2 0. 06 mm 95 84. 3 66 10 7 5 62. 82 1.6 0. 04 参考洌49 95 84. 4 76 50 68 72. 73 1. 3 0. 06 参考洌50 95 85. 5 7560 85 7 1.87 1. 2 0. 07 #%洌51 95 90. 0 4200 40 39. 9 1. 2 0. 03 参考洌52 95 85. 1 65 20 84 6 1.97 1. 1 0. 08 参考洌53 95 85. 0 7580 88 72. 06 1. 1 0. 06 参考洌54 95 85. 2 6600 90 6 2.73 1. 3 0. Οδ #%哪5 95 84. 3 76 60 95 72. 82 1.4 0. 06 参考洌56 95 84. 9 76 20 68 72. 44 1.4 0. 07 #%洌57 95 84. 1 65 60 79 62. 35 1. 2 0. 06 参考洌58 95 85. 7 76 30 8 7 72. 54 1. 5 0. 05 参考洌59 95 85. 5 6540 58 6 2.16 1. 5 0. 06 参考洌60 95 85. 3 7600 6 7 72. 25 1.4 0. 07 参考洌61 95 85. 7 7 5 80 84 72. 06 1. 1 0. 07 参考洌62 95 85. 0 75 60 8 1 7 1,87 1. 3 0. 06 ##洌33 95 84. 7 75 60 90 7 1.87 1. 4 0. 07 95 84. 4 7260 79 68. 97 1. 4 0. 06 参考洌65 95 85. 7 7340 75 69. 78 1.4 0. 04 参考洌66 95 84. 8 8990 * 72 85. 44 ΐ· 5 0. 07 参考冽67 95 85. 2 6990 69 66. 44 1. 3 0. 06 ##冽63 95 86. 1 5520 82 ，52. 44 1. 1 0. 08 ##洌69 30 86. 8 2500 40 7. 50 1. 5 0. 04 参考例70 30 87. 8 2380 45 7. 14 1. 7 0. 04 30 86. 9 26 50 50 7. 95 1. 5 0. 05 参考卵2 30 88. 8 2550 45 7. 65 1.5 0. Οδ 参考挪3 30 86. 8 840 44 2. 52 1..3 0. 04 参考洌74 15 89. 7 1250 59 1. 87 1. 2 0. 08 参考洌75 15 90. 0 1010 22 1. 53 1.4 0. 07 参考郎5 15 89. 5 1250 33 1.88 1. 2 0. 04 * 1 :表示波長550nm光對^明霉極基板的透射率 -78 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·

，1T 涑 本紙張尺度適用中國國家標孪（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印裝 302556 h D8六、申請專利範圍 γ 1. —種鸯,其特戡為，具有雷氣絕緣件的 透暴基材.w及在此透明基材上形成的ua_^_jgjg， 該，透明導電膜係由i ( I Π )、楚（ζ η )、差（Τ ί )和-氧（0 ) ,為構成元素，M (In)佔絪（I η )和鋅（Ζ η )合量之原子 比 I η / ( I η + Ζ η )為 2 0二 _9 α原子 Χ , JLJJLL )的原子比 T i / (Ιη + Ζη + Τί )為〜之氧化物膜所構成，該 透明導電膜之膜厚和電阻係數在附圖之第1圖所示A 、B 、C 、D為頂點的四角形範圃内者。 2. 如申請專利範圍第1項之透明導||叠層體，其中透明 導電膜中I UjO.的原子比In/(In + Zn)為_50〜90原子S： (惟50原子S：除外）者。 3. 如申請專利範圃第1項之透明導電叠層體，其中透明 導電膜中钛（T i )的原子比Ti/(In + Zn + Ti)在1 0原孑% 一广4. 一種透明導電叠層體，其Jgj為，具有$氣Μ逯性的 H蓋材，μ及在此透明基材上形成的imii膜， 該 係由絪（In)、鋅（Zn)、钕（Ti)、鎵（Ga) 為構成元素，M Un4佔铟（In)和鋅（Zn)的原子比In/ (I η + Ζ η )為_im〇J屋.子S! ，U T i_)和鎵（G—a )合量的原 子比（T i + G a ) / ( I n + Z n + T i + G a )為丄二r % 之氧化 物膜所構成者。 5.如申請專利範圃第4項之透明導電叠餍體，其中透明 導電膜中絪（In )的原子比In/(In+Zn)為Μ ：τϋ子iU (惟50原子Si除外）者。 -79- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 6.如申請專利範圍第4項之透明導電叠層體，其中透明 導電膜的膜厚和電阻係數，係在附圖之第1圖所示A 、B 、C 、D為頂點的四角形範圍者。 *^7.—種透明導電叠層體之製法，其特激為，在電氣絕緣 性的J JSL JLM上，利用物I性JL·租ϋ—法形成遷腹導 零_ ,係由絪（In)、鋅（Ζη>、钛（Ti)和氧（0 )為構成元 素，絪（In)佔絪（In)和鋅（Zn)合量的原子比In/(In + Ζ η )為.2 0 ail原子 S： , Jfc—CXI4 的原子比 Ti/(In + Zn + Ti) 為2. 2〜20原子1的氧化物膜所構成，其膜厚和電阻 係數在附圖的第1圖所示A 、B 、C 、D為頂點的四 角形範圍内者。 8. 如申請專利範画第7項之製法，其中所形成透明導電 膜中，丄佔絪（In)和鋅（Ζη>合量之原子比為_5 0〜 殳0原子S：(惟50原子除外）者。 9. 如申請專利範圍第7或8項之製法，其中所形成透明 導電膜中，钛（Ti )的原子比T i / ( I n + Z n + T i )在1 0原子J： 从下者。 10. 如申請專利範圍第7項之製法，其中物理性氣相蒸 著法係者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 11. 如申請專利範圍第7項之製法，其中利用物理性氣 相蒸著法形成透明導電膜後，此透明導電膜是在_氧分 JKJJUilj . Μ上的氛_氣體内，於~_601：至透明綦_材軟化 點溫度Μ Τ：的溫度條件凰太者。 一厂12· —種透明導電叠層體之製法，其特徽為，在電氣絕 -8 0 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4说格（210Χ297公釐） c、申請專利乾圍 緣性籃置_蓋_材上，利用m氣形成透明導 f ,,係 Μ 絪（I η )、鋅（Ζ η )、钛（Τ ί )、鎵（G a )和氧 (0 )為構成元素，，丄_I η )佔絪（In)和鋅（Zn)合量的原 子比I n / ( I η + Ζ η )為10〜a 〇原子3；，法_11丄1和揉—(ilaJ合 量的原子比（Ti+Ga)/(In + Zn + Ti+Ga)為}〜？0原子X 者0 13. 如申謫專利範圃第12項之製法，其中所形成透明導 電瞑，係由與_(1丑〗站絪（In)和鉾Un)合量的原子比In Η I η + Ζ η )為_5 0〜9々麗子1的氧化物膜構成者。 14. 如申請專利範匾第12或13項之製法，其中所形成透 明導霉膜，其膜厚和電阻係數在附画之第1圖所示A 、B 、C 、D為頂點之四角形範圍内者。 15. 如申讅專利範園第12項之製法，其中物理性氣相蒸 著法係遁渡」I者。 16. 如申請專利範園第12項之製法，其中利用物理性氣 相蒸著法形成透明導電膜後，此透明導電膜是在氧分 壓lOhPa Μ上的氛圃氣體内，於6 0它至透明基材软化 點溫度Μ下的溫度條件回火者。 τ 17. —種摞靶，其特激為，由絪（In)、鋅（Ζη)、鈦（Ti) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 和氧（0)為構成元素的物」兹_结_趙所構成，含通式 3i U = 2〜7)所示衣直I (In)佔絪（In)和鋅（Zn)合量之原子比Ir^Un + Zn)為_^) 〜9 0」戻子》：,鈦（1'丨）的原子比1'丨/(111 + 2〇 + 1<1)為2.2〜 M-? * ，盟mi敷在 i<r2 Ω · cblM 下者。 -81 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2517公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A8 s，^2556_§_ 六、申請專利範圍 18. 如申請專利範圍第17項之標靶，其中丄Ijl)佔絪 (In)和鋅（Zn)合霣之原子比In/(In+Zn)為0〜_ Μ原子《 者。 19. 如申請專利範圃第17項之檷靶，其中鼓_(1丄）的原子比 Ti/(In>Zn>Ti)在 10原子 ％ Μ 下者。 —_ 20. —種搮靶，其特黴為，由銦（In)、鋅（Ζη)、钛（Τί) 4 鎵（Ga)和氧（0)為構成元素的氧化物燒结體所構成， 含通式In 2 0.3. i (m = 2〜7)所示六方晶層狀化合 物，絪（In)佔絪（In)和鋅（Zn)合量之原子比Ir^(In + Zn)為jArr Jua原子S；,,紋篇(Ga_)合量的原子比 (T i + G a ) / ( I n + Z n + T i + G a )為 L . 3 _2 01 子 S；者。 21.如申諝專利範_第20項之標耙，其中M (In )佔絪 (In)和鋅（Zn)合量之原子比In/(In+Zn)為50〜90原子：K 者0 y 22. —種觸摸板，包括二枚透明®極基板，具有在規定 圈案上所形成透』im ,該二枚透明電極基板係令 該透明電極膜彼此對立配置成頊定掘JB ,該透明電極 基板之一，從外部對該透明電極基板施力時，該透明 電極膜彼此0L告導Jfi ,其特激為，該二枚透明電極基 板分別形成的虚星鬣_&_膜至少其_—，係由絪（I r〇、鋅 (Zn)、钛（Ti)和氧（0)為構成元素，( I卫）佔銦（I n ) 和鋅（Ζη)合量的原子比Ιη/(Ιη + Ζη)為20〜9 0.厘子S!, 钛（Ti)的原子比T i / ( I n + Z η + Τ ί ) 原^子％之氧 化物膜所構成，而該透明電極膜之膜厚和電阻係數是 _ 8 2 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -----.----裝------訂-----1良 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A8 302556__1_ 六、申請專利範圍 在附圖之第1圖所示A 、B 、C 、Dg頂點的四角形 範園内者。 23. 如申請專利範圃第22項之觭琪板，其中在 >人铟」.1^) 、鋅Un)、钛（Ti)和氧（0)為構成元素的透明導電膜 中，絪（In)的原子比111/(1^ + 2〇)在_5 0〜90原子% (惟 5 0原子3!除外）者。 24. 如申請專利範圍第22項之觸摸板，其中在Μ絪（In) 、鋅（Zn)、鈦（Ti)和氧（0)為構成元素的透明導電膜 中，钛（T i )的原子比Ti/(In + Zn + Ti)在LQ凰？ S： W下者。 25. 如申請專利範園第22項之觸摸板，係霣1膜式之觸 I裉者。 26. 如申請專利範圃第22項之觸摸板，係嚴比JI觸棋„板 者0 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ___ 2 7 . —種觸琪板，包括二枚透明電極基板，具有在規定 ^ ' 圖案上所形成透明電極膜，該二枚透明電極基板係令 該透明電極膜彼此對立配置成預定間隔，該透明電極 基板之一，從外部對該通明電極基板施力時，該透明 電極膜彼此即告導通，其gi為，該二枚透明電極-基 J分別形成的廬J電反膳_至少其一，係由絪（I η )、鋅 (Ζη)、鈦（Ti)、鎵（Ga)和氧（0)為構成元素，絪（4α ) 佔絪（In)和鋅（Zn)合量的原子比In/(In+Zn)為20〜 凰..U ，奠(11J直農LG』）合量的原子比（Ti+GaU(In + Z n + T i + G a )為.1 Ί〇厘U之氧化物膜所構成。 28.如申請專利範圍第27項之觴琪板，其中在汉Μ (In.) -83- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX297公釐） A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 、鋅（Zn)、钛（Ti)、鎵（Ga)和氧（0)為構成元素的透 明電極膜中，里的原子比I n / ( I η + Ζ η )在5 0二| 0原 子S：者。 29. 如申請專利範画第27項之觸摸板，其中在Μ絪（In) 、鋅（Zn)、鈦（Ti)、鎵（Ga)和氧（0)為構成元素的透 明電極膜中，其膜__厚_和重JJLUii係在附圖之第1圖所 示A 、B 、C、D為頂點的四角形範圃内者。 30. 如申請專利範園第27項之觴摸板，係電阻膜式之觸 摸板者。 31. 如申請專利範圃第27項之觸摸板，係類比型觸摸板 者。 -----.----^------ΐτ----- -,.-I * (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）