TW202419842A - 用於自動光學檢測的載台壓框裝置及包含其的自動光學檢測系統 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種用於自動光學檢測的載台壓框裝置,包括一框架定位機構以及一轉接框。框架定位機構設置於一載台上,框架定位機構包括至少一樞轉機構。轉接框配置為與一待測物的尺寸相符,並用於壓制待測物。轉接框可拆卸地設置於框架定位機構的至少一樞轉機構上,使轉接框透過至少一樞轉機構來相對載台啟閉。
Description
本發明係有關於一種用於自動光學檢測的載台壓框裝置及包含其的自動光學檢測系統,尤指一種具有可替換轉接框的載台壓框裝置及包含其的自動光學檢測系統。
在自動光學檢測(Automatic Optical Inspection, AOI)的過程中,料片基於自重、溫度等因素,有可能會出現一定程度的翹曲,翹曲的問題經常會造成檢測失真,甚至有可能造成待測物的部分區域脫離攝像機景深範圍的問題。
一般解決上述的問題,通常會使用兩種方法,一者通過演算法進行修正,例如通過雷射發射器偵測待測物翹曲位置的偏移量進行影像校準、或是直接通過影像處理的方式對偏移量進行影像校準,藉此對板翹曲的部分進行補償,修正實際影像。另一種方式則是通過物理方式修正翹曲,最常規的方式係通過真空吸附的方式吸附待測物表面,使待測物整平於真空吸附平台上。考量檢測的效率及精確度,通過物理方式整平翹曲的方式顯然相較於演算法校準的方式具有更好的表現。
然而,依據待測物的特性不同,真空吸附的方式時常無法有效的吸附待測物,例如部分的料片可能翹曲度過大使得真空吸附力無法有效作用、或是厚度、硬度較大使得真空吸附力不足以整平料片,造成單靠真空吸附載台的吸附力經常面臨無法使料片平坦吸附於載台上的情況。
此外,某些設備會直接在待測物上使用玻璃板壓制,但這個做法也有其受限之處,例如料片有限定不可接觸區域時則不可使用玻璃板壓制,此外以玻璃板壓制的方式也會對自動光學檢測系統的光學環境造成影響。
本發明的主要目的,在於提供一種用於自動光學檢測的載台壓框裝置,包括一框架定位機構以及一轉接框。框架定位機構設置於一載台上,並包括至少一樞轉機構。轉接框配置為與一待測物的尺寸相符,並用於壓制待測物。轉接框可拆卸地設置於框架定位機構的至少一樞轉機構上,使轉接框透過至少一樞轉機構來相對載台啟閉。
本發明的另一目的,在於提供一種自動光學檢測系統,包括至少一如上所述的載台壓框裝置、一影像擷取裝置以及一影像檢測裝置。載台壓框裝置用於壓制並整平載台上的待測物。影像擷取裝置對載台上的待測物進行拍攝,以獲取待測物的一待測物影像。影像檢測裝置連接至影像擷取裝置,經由影像擷取裝置獲得待測物影像,並基於待測物影像輸出一影像檢測結果。
本發明相較於習知技術,能夠有效的整平待測物,增加待測物於載台上的平坦度,此外,轉接框可依照實際檢測的待測物不同,快速更換為不同的尺寸,有效的提升裝置的通用性、以及有效減少更換不同尺寸待測物時檢測設備的前置時間。
有關本發明之詳細說明及技術內容,現就配合圖式說明如下。
本發明中所揭示的載台壓框裝置可以用於任意的自動光學檢測平台上,例如真空吸附載台、線性移動載台、移載裝置、治具等、或是其他類此任意的裝置,該等不同情境實施例的變化,非屬本發明所欲限制的範圍。
本發明中所述的待測物例如可以是印刷電路板(Printed Circuit Board, PCB)、電路軟板(Flexible Printed Circuit, FPC)、陶瓷基板(Ceramic Substrate)、晶圓(Wafer)、面板(Panel)或其他類此的裝置,於本發明中不予以限制。
所述的「可接觸區」係指待測物上的非線路分布區、非檢區、或是任意可受力區域,具體而言,例如可以是電路板的加工分割區域、製程中為方便輸送的預留區域、或是線路佈局未及之區域等,於本發明中不予以限制。
以下針對本發明的載台壓框裝置舉二不同實施例進行說明,請先參閱「圖1」至「圖3」,係為本發明第一實施例的外觀示意圖、分解示意圖、以及剖面示意圖。
請先一併參閱「圖1」及「圖2」,本實施例的載台壓框裝置100係配合一載台30設置,於本實施例中的載台30係為真空吸附載台,所述的真空吸附載台例如可以包括設置於表面上的複數個吸附孔、連通於複數個吸附孔的腔室、以及對腔室進行抽真空的抽真空設備。由於載台30本身的功能非屬本發明所欲限制的內容,針對其具體工作方式於本發明中不予以贅述。需特別敘明的是,本實施例的載台壓框裝置100亦並不僅以配置於真空吸附載台為限,在此先行敘明。
本實施例的載台壓框裝置100主要包括一框架定位機構10、以及配合框架定位機構10設置的一轉接框20。框架定位機構10設置於載台30上,並包括至少一樞轉機構11以及複數個卡合機構12。轉接框20配置為與待測物PB的尺寸相符,並包括一或複數個壓制單元21、複數個軸孔22、複數個定位件23以及一張角限制機構24。轉接框20可拆卸地設置於框架定位機構10的至少一樞轉機構11上,使轉接框20透過至少一樞轉機構11來相對載台30啟閉。
壓制單元21用於壓制一待測物PB的可接觸區,且可以配合待測物PB的可接觸區而設計成對應的造型。於一實施例中,壓制單元21係可以如本發明圖1實施例所示的田字形;於其他實施例中,壓制單元21亦可以設計成其他的形狀,於本發明中不予以限制;又於一實施例中,壓制單元21亦可以設計成僅壓制在待測物PB的外周緣位置上,於本發明中不予以限制。於一實施例中,壓制單元21係可以選用硬度較低、且具有彈性的材料所製成,或是於其表面上設置有硬度較低、且具有彈性的材料,以避免壓制單元21在壓制待測物PB時造成待測物PB的損壞,於本發明中不予以限制。
於本實施例中,框架定位機構10包括二樞轉機構11,間隔地鎖固於載台30的一側。樞轉機構11分別包括一旋轉軸111,而轉接框20包括二軸孔22,設置於轉接框20的相對二側。樞轉機構11的旋轉軸111分別可拆卸地嵌入於轉接框20的軸孔22。所述「可拆卸」,係指旋轉軸111是可以通過特定的手段與軸孔22相互組裝或分離,例如可以通過在軸孔22周側預留連接至軸孔22的導引溝,將旋轉軸111由軸孔22通過導引溝移除,或是將旋轉軸111設計成伸縮式軸桿,通過調整伸縮式軸桿的長度嵌入或移出軸孔22,以達成可拆卸的功能,該等實施例的變化非屬本發明所欲限制的範圍。
於本實施例中,定位件23設置於轉接框20的周側,並對應於卡合機構12的位置設置,用以讓轉接框20固定設置於載台30上的待測物PB。通過框架定位機構10的卡合機構12對應鎖定定位件23,進而使轉接框20壓制於載台30上的待測物PB,避免待測物PB由載台30上脫離。
於本實施例中,卡合機構12分別設置於載台30的相對二側,每一卡合機構12包括複數個線性滑軌121、複數個定位滑塊122、一驅動螺桿123以及一驅動模組124。定位滑塊122分別設置於線性滑軌121上。螺桿123設置於框架定位機構10的一側,並結合於定位滑塊122上。驅動模組124設置於框架定位機構10的一側,並驅動螺桿123旋轉。於本實施例中,驅動模組124例如可以是但不限定於馬達,於本發明中不予以限制。螺桿123與定位滑塊122之間的相對配置、以及螺桿123與驅動模組124之間的相對配置不以本實施例為限制,於其他實施例中,可依設計需求而變更。
於本實施例中,每一定位滑塊122上係設置有限位溝槽C1,限位溝槽C1的開口對準於相對應的定位件23。具體而言,螺桿123係經由驅動模組124驅動旋轉,於旋轉時,定位滑塊122僅得在螺桿123的軸向方向(線性滑軌121的軌道方向)上移動;螺桿123沿順時針或逆時針旋轉用於控制定位滑塊122沿軌道的正向或逆向兩種方向上切換,藉此通過控制驅動模組124的轉動方向切換定位滑塊122的移動方向及位置。於本實施例中,限位溝槽C1由開口朝內側方向逐漸向下傾斜,通過限位溝槽C1形狀上的設計,可以通過定位滑塊122移動的位置,進而控制定位滑塊122提供待測物PB的壓制力。
於本實施例中,請一併參閱「圖3」,張角限制機構24設置於轉接框20的一側,用以限制轉接框20的張開角度。於本實施例中,張角限制機構24包括一固定於轉接框20一側的第一板件241、以及一由第一板件241延伸的第二板件242。第二板件242與第一板件241之間具有轉折角θ,以令第二板件242朝向載台30的側面方向延伸,並通過第二板件242與載台30側壁干涉以限制轉接框20的張開角度。由於第一板件241固定於轉接框20上,而第二板件242在轉接框20轉動至預定角度時將會與載台30的側壁產生干涉(即碰撞側壁),通過側壁限制轉接框20繼續樞轉,使得轉接框20只能張開至張角限制機構24所決定的張開角度。於一實施例中,轉折角θ介於90度至135度之間,於本發明中不予以限制。於一實施例中,轉折角θ例如可以是但不限定於90度至95度、95度至100度、100度至105度、105度至110度、110度至115度、115度至120度、120度至125度、125度至130度、或130度至135度,於本發明中不予以限制。於本實施例中,張角限制機構24進一步包括一設置於第二板件242上的磁性件243,載台30的側壁上,對應於磁性件243的位置上係可以設置一導磁件31。通過磁性件243吸附導磁件31,使轉接框20張開時可以固定在張開位置上;此外,在更換不同尺寸的待測物PB時,也可快速自框架定位機構10拆裝轉接框20,藉此提升操作便利性。於本實施例中,磁性件243為一磁鐵,於其他實施例中,磁性件243可實施為其他具磁性物質,於本發明中不允以限制。
於本實施例中,載台30的表面還可以進一步設置一或複數個防呆機構32,通過防呆機構32標示待測物PB(例如板件)應設置的位置,以便待測物PB能夠快速定位至載台30上對應的設置位置,以省去待測物PB與轉接框20對準時所需的勞力及工時。於一實施例中,防呆機構32可以是立體的結構並略為凸出於載台30的表面,以供待測物PB的側邊緣抵靠,增加對準的效率,於本發明中不予以限制。
於本實施例中,載台30的外周側可以設置有定位部SS,所述的定位部SS上設置有複數個設置孔S1(例如可以是螺孔),供框架定位機構10、卡合機構12、或防呆機構32設置,於本發明中不予以限制。於一實施例中,所述的設置孔S1係以等距陣列形式環設於載台30的外周側,藉以依據待測物PB的尺寸安排機構設置的位置,於本發明中不予以限制。
以下針對載台壓框裝置100的壓制功能進行說明,請一併參閱「圖4」及「圖5」,係為本發明中第一實施例的使用狀態示意圖(一)、以及使用狀態示意圖(二)。
於實際使用上,待測物PB設置於載台30的設置平面上時,通過防呆機構32將待測物PB對準至正確位置;進一步地,將轉接框20覆蓋於待測物PB上,以構成初步定位(如圖4所示),此時,定位滑塊122係位於放鬆位置A1上;接續,驅動模組124由第一方向(例如順時針)旋轉驅動螺桿123,使定位滑塊122移動,以令定位件23由限位溝槽C1的開口進入壓制位置A2;如「圖5」所示,由於限位溝槽C1係為由開口朝內側方向逐漸向下傾斜,將使得定位件23隨著越深入限位溝槽C1,同時通過限位溝槽C1對定位件23提供向下力,以使得轉接框20對待測物PB進行壓制,以實現壓制的功能。基此,可以通過定位滑塊122移動的位置決定轉接框20向下的壓制力;於解除鎖定時,驅動模組124由第二方向(例如逆時針)旋轉驅動螺桿123,驅動定位滑塊122移動至放鬆位置A1上,使定位件23脫離定位滑塊122的限位溝槽C1。
以下針對本發明的另一實施例進行說明,請參閱「圖6」及「圖7」,係為本發明第二實施例的外觀示意圖、以及局部放大示意圖。
本實施例的載台壓框裝置200係配合一載台60設置,於本實施例中的載台60係為線性移動載台,所述的線性移動載台例如可以包括載台本體、設置於載台本體上的線性軌道、設置於線性軌道上用以支撐平台的滑塊、穿過滑塊以驅動滑塊移動進一步帶動平台移動的螺桿及馬達等,本實施例中的載台60可以在底側簍空使得待測物的底側露出,於自動光學檢測時同時進行正、反雙面取像不須翻面。同第一實施例,由於載台60本身的功能非屬本發明所欲限制的內容,針對其具體工作方式於本發明中不予以贅述。需特別敘明的是,本實施例的載台壓框裝置200同樣並不僅以配置於線性移動載台為限,在此先行敘明。
本實施例的載台壓框裝置200主要包括一框架定位機構40、以及一配合框架定位機構40設置的轉接框50。所述的框架定位機構40設置於載台60上,並包括至少一樞轉機構41以及至少一彈性復歸件42。所述的轉接框50配置為與待測物PB的尺寸相符,並包括一或複數個壓制單元51以及複數個軸孔52。壓制單元51用於壓制待測物PB的可接觸區,且轉接框50可拆卸地設置於框架定位機構40的至少一樞轉機構41上,使轉接框50可以相對框架定位機構40樞轉,藉以相對載台60啟閉。
於本實施例中,框架定位機構40包括四組樞轉機構41,對稱設置於載台60相對二側並鎖固於載台60上(一側上設置兩組、另一側上設置兩組)。轉接框50上則於相對二側各分別設置有二軸孔52,與樞轉機構41的位置對應。樞轉機構41分別包括一舉臂411、以及一設置於載台60上的樞轉底座412。舉臂411的一端樞設於樞轉底座412上,另一端上設置有一旋轉軸413,旋轉軸413可拆卸地嵌入於轉接框50對應的軸孔52。通過旋轉舉臂411以令轉接框50抬起或覆蓋於載台60上。四組舉臂411上的旋轉軸413分別於二側對稱位置上嵌入於對應的軸孔52內,且各該舉臂411的長度相等,使舉臂411於轉接框50由抬起至覆蓋的路徑上彼此之間不會產生干涉。所述「可拆卸」,係指旋轉軸413是可以通過特定的手段與軸孔52相互組裝或分離,例如可以通過在軸孔52周側預留連接至軸孔52的導引溝,將旋轉軸413由軸孔52通過導引溝移除,或是將旋轉軸413設計成伸縮式軸桿,通過調整伸縮式軸桿的長度嵌入或移出軸孔52,以達成可拆卸的功能,該等實施例的變化非屬本發明所欲限制的範圍。
至少一彈性復歸件42用以對待測物PB提供適當的壓制力,至少一彈性復歸件42的一端固定於相對應舉臂411靠近旋轉軸413的一端,舉臂411經由彈性復歸件42的復歸力收闔於載台60上,以令轉接框50固定於載台60上,並壓制待測物PB。於本實施例中,舉臂411於靠近旋轉軸413的一端、相對旋轉軸413另一側面的位置上設置有一延伸段414,因此彈性復歸件42用於固定舉臂411的一端可以固定於延伸段414上。於另一實施例中,彈性復歸件42用於固定舉臂411的一端亦可以直接固定於旋轉軸413上,於本發明中不予以限制。於本實施例中,彈性復歸件42僅包括兩組並分別設置於載台60的前側位置,以分別對轉接框50前側的兩組舉臂411提供彈性復歸力;於其他可行的實施例中,所述的彈性復歸件42亦可以設計為一組、三組、甚或四組,且不限定彈性復歸件42對應哪些位置上的固定舉臂411,該等實施例的變化非屬本發明所欲限制的範圍。
同第一實施例,壓制單元51可以配合待測物PB的可接觸區而設計成對應的造型,於一實施例中,壓制單元51係可以如本發明圖6實施例所示的田字形。於其他實施例中,壓制單元51亦可以設計成其他的形狀,於本發明中不予以限制。又於一實施例中,壓制單元51可以設計成僅壓制在待測物PB的外周緣位置上,於本發明中不予以限制。於一實施例中,壓制單元51係可以選用硬度較低、且具有彈性的材料所製成,或是於其表面上設置有硬度較低、且具有彈性的材料,以避免壓制單元51造成待測物PB的損壞,於本發明中不予以限制。
以下針對載台壓框裝置200的壓制功能進行說明,請一併參閱「圖8」及「圖9」,係為本發明中第二實施例的使用狀態示意圖(一)、以及使用狀態示意圖(二)。
於實際使用上,首先先抬起轉接框50,隨轉接框50抬起,舉臂411將隨之轉動,以使轉接框50相對載台60敞開,藉以讓載台60內的設置平台露出(如圖8所示)。接續,將待測物PB設置於載台60上的設置平台後,鬆開轉接框50使轉接框50覆蓋於待測物PB上,通過彈性復歸件42的彈性復歸力對待測物PB進行壓制,以整平待測物PB。
上述實施例的載台壓框裝置200可以用於自動光學檢測系統上,用於將待測物PB 整平後進行自動光學檢測。以下請參閱「圖10」,係為本發明中自動光學檢測系統300的方塊示意圖。
本實施例的自動光學檢測系統300包括載台壓框裝置100 (200)、一影像擷取裝置70以及一影像檢測裝置80。所述的載台壓框裝置100(200)如前面二實施例所述,包括框架定位機構10(40)以及轉接框20(50),用於壓制並整平載台30(60)上的待測物PB,且轉接框20(50)可以依據待測物PB的尺寸進行替換。
所述的影像擷取裝置70對載台30(60)上的待測物PB進行拍攝,以獲取待測物PB的待測物影像。於一實施例中,所述的影像擷取裝置70例如可以是面掃描攝影機(Area Scan Camera)或線掃描攝影機(Line Scan Camera),於本發明中不予以限制。於一具體實施例中,影像擷取裝置70可以包括光學鏡頭(圖式未標示),以及與光學鏡頭耦合之感光元件(圖式未標示),通過光學鏡頭擷取待測物PB的反射光並於感光元件上成像;光學鏡頭例如可以是但不限定於魚眼鏡頭、廣角鏡頭或標準鏡頭等其中之一種裝置;感光元件例如可以是但不限定於光電耦合元件(CCD)或互補金屬氧化物半導體(CMOS)等其中之一種裝置。
所述的影像檢測裝置80連接至影像擷取裝置70,經由影像擷取裝置70獲得待測物影像,並基於待測物影像輸出一影像檢測結果。具體而言,影像檢測裝置80可以進行影像前處理程序(例如影像強化、去除雜訊、加強對比、加強邊緣、擷取特徵、影像壓縮、影像轉換等),並將影像前處理程序後的影像進行分割、或邊界擷取,以劃分感興趣區域(Region of Interest, ROI)。感興趣區域擷取的方式例如可以為二值化處理(Binarization)、或是透過機器學習系統(Machine Learning)、深度學習系統(Deep Learning)等類神經網絡由系統訓練後並將第一區域影像特徵以及第二區域影像特徵由影像中分割出來,於本發明中不予以限制。需注意的是,在此所述的待測物影像不一定是單獨的一個影像,也有可能是二或二個以上的影像。所述的影像檢測結果例如可以是待測物PB的線路資訊或瑕疵資訊,該等線路資訊或瑕疵資訊可以通過所述的影像前處理程序、影像分割與定位、像素量測換算、缺陷偵測(梯度化、區域成長、成長補償等)、機器學習系統(Machine Learning)、深度學習系統(Deep Learning)、或其他類此的方式獲得,於本發明中不予以限制。
通過對待測物PB進行壓制整平,影像檢測裝置80可以精準的對待測物PB進行自動光學檢測,以獲得精準的檢測結果。
綜上所述,本發明相較於習知技術,能夠有效的整平待測物,增加待測物於載台上的平坦度,此外,轉接框可依照實際檢測的待測物不同,快速更換為不同的尺寸,有效的提升裝置的通用性、以及有效減少更換不同尺寸待測物時檢測設備的前置時間。
以上已將本發明做一詳細說明,惟以上所述者,僅為本發明之一較佳實施例而已,當不能以此限定本發明實施之範圍,即凡依本發明申請專利範圍所作之均等變化與修飾,皆應仍屬本發明之專利涵蓋範圍內。
100:載台壓框裝置
10:框架定位機構
11:樞轉機構
111:旋轉軸
12:卡合機構
121:線性滑軌
122:定位滑塊
123:螺桿
124:驅動模組
20:轉接框
21:壓制單元
22:軸孔
23:定位件
24:張角限制機構
241:第一板件
242:第二板件
243:磁性件
30:載台
31:導磁件
32:防呆機構
C1:限位溝槽
PB:待測物
θ:轉折角
SS:定位部
S1:設置孔
A1:放鬆位置
A2:壓制位置
200:載台壓框裝置
40:框架定位機構
41:樞轉機構
411:舉臂
412:樞轉底座
413:旋轉軸
414:延伸段
42:彈性復歸件
50:轉接框
51:壓制單元
52:軸孔
60:載台
300:自動光學檢測系統
70:影像擷取裝置
80:影像檢測裝置
圖1,係為本發明中第一實施例的外觀示意圖。
圖2,係為本發明中第一實施例的分解示意圖。
圖3,係為本發明中第一實施例的剖面示意圖。
圖4,係為本發明中第一實施例的使用狀態示意圖(一)。
圖5,係為本發明中第一實施例的使用狀態示意圖(二)。
圖6,係為本發明中第二實施例的外觀示意圖。
圖7,係為本發明中第二實施例的局部放大示意圖。
圖8,係為本發明中第二實施例的使用狀態示意圖(一)。
圖9,係為本發明中第二實施例的使用狀態示意圖(二)。
圖10,係為本發明中自動光學檢測系統的方塊示意圖。
100:載台壓框裝置
10:框架定位機構
11:樞轉機構
111:旋轉軸
12:卡合機構
121:線性滑軌
122:定位滑塊
123:螺桿
124:驅動模組
20:轉接框
21:壓制單元
23:定位件
24:張角限制機構
241:第一板件
30:載台
32:防呆機構
C1:限位溝槽
PB:待測物
SS:定位部
S1:設置孔
Claims (13)
- 一種用於自動光學檢測的載台壓框裝置,包括: 一框架定位機構,設置於一載台上,該框架定位機構包括至少一樞轉機構;以及 一轉接框,配置為與一待測物的尺寸相符,並用於壓制該待測物,該轉接框可拆卸地設置於該框架定位機構的該至少一樞轉機構上,使該轉接框透過該至少一樞轉機構來相對該載台啟閉。
- 如請求項1所述的載台壓框裝置,其中該框架定位機構包括二該樞轉機構,間隔地鎖固於該載台的一側,該些樞轉機構分別包括一旋轉軸,該轉接框具有二軸孔,分別設置於該轉接框的相對二側,該些旋轉軸分別可拆卸地嵌入於該些軸孔。
- 如請求項1所述的載台壓框裝置,其中該轉接框具有複數個定位件,設置於該轉接框的周側,該框架定位機構包括複數個卡合機構,分別設置於該載台的相對二側,當該轉接框相對該載台閉闔時,該些卡合機構分別鎖定該些定位件。
- 如請求項3所述的載台壓框裝置,其中每一該卡合機構包括複數個線性滑軌、複數個定位滑塊、一螺桿以及一驅動模組,該些定位滑塊分別設置於該些線性滑軌上,該螺桿結合於該些定位滑塊上,該驅動模組驅動該螺桿旋轉。
- 如請求項4所述的載台壓框裝置,其中每一該定位滑塊具有一限位溝槽,該限位溝槽的開口對準於該轉接框對應的該定位件,經由移動該定位滑塊使該限位溝槽於一壓制位置以及一放鬆位置之間移動。
- 如請求項5所述的載台壓框裝置,其中該限位溝槽由該開口朝內側方向逐漸向下傾斜。
- 如請求項1所述的載台壓框裝置,其中該轉接框包括一張角限制機構,設置於該轉接框的一側,用以限制該轉接框的張開角度。
- 如請求項7所述的載台壓框裝置,其中該張角限制機構包括一第一板件、一第二板件以及一磁性件,該第一板件固定於該轉接框的一側、該第二板件由該第一板件延伸設置、該磁性件設置於該第二板件上,該第二板件與該第一板件之間具有一轉折角,以令該第二板件朝向該載台的側面方向延伸,通過該磁性件抵靠於該載台的側壁,以限制該轉接框的張開角度。
- 如請求項8所述的載台壓框裝置,其中該轉折角係介於90度至135度之間。
- 如請求項1所述的載台壓框裝置,其中該框架定位機構包括複數個該樞轉機構,對稱設置於該載台的相對二側,該些樞轉機構分別包括一樞轉底座以及一舉臂,該轉接框具有複數個軸孔,設置於該轉接框的相對二側,該樞轉底座設置於該載台上,該舉臂的一端樞設於該樞轉底座上,另一端上設置有一旋轉軸,該旋轉軸可拆卸地嵌入於對應的該軸孔中,通過旋轉該舉臂以令該轉接框抬起或覆蓋於該載台上。
- 如請求項10所述的載台壓框裝置,其中該框架定位機構還包括至少一彈性復歸件,該至少一彈性復歸件的一端固定於相對應該舉臂靠近該旋轉軸的一端,該舉臂經由該至少一彈性復歸件的復歸力收闔於該載台上,以令該轉接框固定於該載台上。
- 一種自動光學檢測系統,包括: 至少一如請求項1至11中任一項所述的載台壓框裝置,用於壓制並整平該載台上的該待測物; 一影像擷取裝置,對該載台上的該待測物進行拍攝,以獲取該待測物的一待測物影像;以及 一影像檢測裝置,連接至該影像擷取裝置,經由該影像擷取裝置獲得該待測物影像,並基於該待測物影像輸出一影像檢測結果。
- 如請求項12所述的自動光學檢測系統,其中,該影像擷取裝置係為面掃描攝影機或線掃描攝影機。
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CN202310563865.8A CN118010631A (zh) | 2022-11-09 | 2023-05-18 | 用于自动光学检测的载台压框装置及包含其的自动光学检测系统 |
CN202321208917.1U CN219891076U (zh) | 2022-11-09 | 2023-05-18 | 用于自动光学检测的载台压框装置及包含其的自动光学检测系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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TWI841042B TWI841042B (zh) | 2024-05-01 |
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