TW202333858A - 噴頭裝置 - Google Patents

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Abstract

一種噴頭裝置，包含一噴頭，及一進液管。該噴頭界定一腔室、一連通於該腔室頂端的進氣孔、至少一連通於該腔室底端的第一噴出孔，及至少一連通於該腔室底端且與該第一噴出孔相間隔的第二噴出孔。該進液管設置於該噴頭且部分位於該腔室內，該進液管界定至少一連通於該腔室且對應於該第一噴出孔上方的第一噴液孔，及至少一連通於該腔室且對應於該第二噴出孔上方的第二噴液孔。噴頭裝置整體結構簡單、體積小、重量輕，且製造成本低，能應用在空間小的清洗場合。此外，機械手臂移載噴頭裝置的過程平穩不易產生晃動，能提升清洗基板的清洗效果。

Description

噴頭裝置
本發明是有關於一種噴頭裝置，特別是指一種用以清洗基板的噴頭裝置。
例如在半導體製程中，晶圓會經過多道不同的製程進行加工處理，晶圓經過每道製程加工後，晶圓表面會殘留有如化學藥劑之殘留物，因此，在清洗製程中需對晶圓噴灑清洗液，以去除晶圓上的殘留物。
現有清洗製程中的噴頭裝置是透過一連接結構將兩個噴頭連接在一起，使該等噴頭能分別對晶圓噴灑清洗液。然而，透過該連接結構連接該等噴頭的方式，使得該噴頭裝置的整體結構複雜、體積大且重量重，從而導致製造成本高。此外，由於該噴頭裝置的體積大且重量重，因此，機械手臂移載該噴頭裝置相對於晶圓移動的過程中很容易產生劇烈晃動的情形。
因此，本發明之其中一目的，即在提供一種能夠克服先前技術的至少一個缺點的噴頭裝置。
於是，本發明噴頭裝置，包含一噴頭，及一進液管。
該噴頭界定一腔室、一連通於該腔室頂端的進氣孔、至少一連通於該腔室底端的第一噴出孔，及至少一連通於該腔室底端且與該第一噴出孔相間隔的第二噴出孔。該進液管設置於該噴頭且部分位於該腔室內，該進液管界定至少一連通於該腔室且對應於該第一噴出孔上方的第一噴液孔，及至少一連通於該腔室且對應於該第二噴出孔上方的第二噴液孔。
在一些實施態樣中，該第一噴出孔中心位於一呈傾斜的第一軸線上，該第二噴出孔中心位於一呈傾斜的第二軸線上，該第一軸線與該第二軸線相交且夾一銳角，使該第一噴出孔及該第二噴出孔呈向外張開狀。
在一些實施態樣中，該進液管包括一設置該腔室內的分流管段，該分流管段中心沿一縱向對齊於該進氣孔中心，該分流管段具有一頂抵於該噴頭的頂抵底端，該分流管段形成有分別位於該頂抵底端相反側的該第一噴液孔及該第二噴液孔，該分流管段將該腔室分隔成一第一導引流道及一第二導引流道，該第一導引流道頂部及該第二導引流道頂部相互連通且連通於該進氣孔，該第一導引流道底部與該第二導引流道底部不相互連通，該第一導引流道連通於該第一噴液孔與該第一噴出孔之間，該第二導引流道連通於該第二噴液孔與該第二噴出孔之間。
在一些實施態樣中，該分流管段具有一對齊於該進氣孔中心的分流尖頂部。
在一些實施態樣中，該進液管界定一進液孔，該進液管包括一設置於該腔室內且環繞該進液孔的管壁，該管壁厚度不均一並具有一位於該進液孔底端且頂抵於該噴頭的最大厚度部，該管壁形成有連通於該進液孔且分別位於該最大厚度部相反側的該第一噴液孔及該第二噴液孔。
在一些實施態樣中，該最大厚度部具有一頂抵於該噴頭的頂抵底端，該管壁還具有一傾斜地連接於該頂抵底端的第一導流斜面，及一傾斜地連接於該頂抵底端的第二導流斜面，該第一導流斜面與該第二導流斜面夾一銳角，該第一噴液孔具有一形成於該第一導流斜面的第一噴液口，該第二噴液孔具有一形成於該第二導流斜面的第二噴液口。
在一些實施態樣中，該第一導流斜面具有一介於該第一噴液口與該頂抵底端之間的第一阻擋面部，該第二導流斜面具有一介於該第二噴液口與該頂抵底端之間的第二阻擋面部。
在一些實施態樣中，該管壁還具有一分流尖頂部，該分流尖頂部沿一縱向對齊於該進氣孔中心。
在一些實施態樣中，該噴頭包括一本體，及兩個設置於該本體的蓋板，該本體形成有該進氣孔、該第一噴出孔及該第二噴出孔，該等蓋板與該本體共同界定出該腔室，該等蓋板分別固定地連接該管壁相反端。
在一些實施態樣中，該進液管包括位於該腔室內的一頂抵底端、一第一導流斜面，及一第二導流斜面，該頂抵底端頂抵於該噴頭，該第一導流斜面與該第二導流斜面傾斜地連接於該頂抵底端且夾一銳角，該第一噴液孔及該第二噴液孔分別形成於該第一導流斜面及該第二導流斜面且分別位於該頂抵底端相反側。
在一些實施態樣中，該第一噴液孔具有一形成於該第一導流斜面的第一噴液口，該第二噴液孔具有一形成於該第二導流斜面的第二噴液口，該第一導流斜面具有一介於該第一噴液口與該頂抵底端之間的第一阻擋面部，該第二導流斜面具有一介於該第二噴液口與該頂抵底端之間的第二阻擋面部。
在一些實施態樣中，該第一噴出孔大於該第一噴液孔，該第二噴出孔大於該第二噴液孔。
在一些實施態樣中，該噴頭包括一第一底面及一第二底面，該第一底面與該第二底面各自呈矩形，該第一噴出孔具有一第一噴出口，該第二噴出孔具有一第二噴出口，該第一噴出口呈長形且傾斜地形成於該第一底面，該第二噴出口呈長形且傾斜地形成於該第二底面。
在一些實施態樣中，該噴頭界定多個第一噴出孔及多個第二噴出孔，該等第一噴出孔沿一第一水平方向相間隔排列，該等第二噴出孔沿該第一水平方向相間隔排列，每一個該第一噴出孔與對應的該第二噴出孔沿一垂直於該第一水平方向的第二水平方向相間隔，該進液管界定多個第一噴液孔及多個第二噴液孔，該等第一噴液孔沿該第一水平方向相間隔排列，該等第二噴液孔沿該第一水平方向相間隔排列，每一個該第一噴液孔與對應的該第二噴液孔沿該第二水平方向相間隔。
在一些實施態樣中，每一個該第一噴出孔大於對應的該第一噴液孔，每一個該第二噴出孔大於對應的該第二噴液孔。
在一些實施態樣中，該噴頭包括一第一底面及一第二底面，每一個該第一噴出孔具有一形成於該第一底面的第一噴出口，每一個該第二噴出孔具有一形成於該第二底面的第二噴出口，該第一噴出口及該第二噴出口各自呈長形。
在一些實施態樣中，該第一底面與該第二底面各自呈矩形，該第一底面的長度延伸方向及該第二底面的長度延伸方向平行於該第一水平方向，該等第一噴出孔的該第一噴出口傾斜地形成於該第一底面且傾斜方向相同，該等第二噴出孔的該第二噴出口傾斜地形成於該第二底面且傾斜方向相同。
在一些實施態樣中，每兩個相鄰的該等第一噴出孔的該第一噴出口在該第二水平方向上的投影部分重疊，每兩個相鄰的該等第二噴出孔的該第二噴出口在該第二水平方向上的投影部分重疊。
本發明至少具有以下功效：噴頭裝置整體結構簡單、體積小、重量輕，且製造成本低，能應用在空間小的清洗場合。此外，機械手臂移載噴頭裝置的過程平穩不易產生晃動，能提升清洗基板的清洗效果。
在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。
參閱圖1，本發明噴頭裝置200的一實施例，例如應用於半導體製程中用以清洗一如晶圓的基板1(如圖9所示)。該噴頭裝置200包含一噴頭2，及一設置於該噴頭2的進液管3。
為了便於後續說明，定義該噴頭裝置200的一第一水平方向X、一垂直於該第一水平方向X的第二水平方向Y，及一垂直於該第一水平方向X與該第二水平方向Y的縱向Z。該第一水平方向X以前後方向為例，圖1箭頭所指方向為前，反向為後。該第二水平方向Y以左右方向為例，圖1箭頭所指方向為左，反向為右。該縱向Z為上下方向，圖1箭頭所指方向為上，反向為下。
參閱圖2、圖3、圖4及圖5，該噴頭2包括一本體21，及兩個設置於該本體21的蓋板22。該本體21具有一外殼23、一設置於該外殼23頂端的頂管24，及一設置於該外殼23底端的噴嘴25。該等蓋板22沿該第一水平方向X蓋合於該外殼23相反端，每一個該蓋板22透過如螺絲鎖固方式固定地連接於該外殼23。該外殼23、該噴嘴25及該等蓋板22共同界定出一供該進液管3穿設的腔室26。每一個該蓋板22形成有一供該進液管3穿設的穿孔221。該外殼23與該頂管24共同界定出一連通於該腔室26頂端的進氣孔27。該頂管24用以與一氣體供應源(圖未示)連接，該氣體供應源能透過該進氣孔27供應氣體至該腔室26內，該氣體是以乾燥壓縮空氣(Clean Dry Air, CDA )為例，但不以此為限。
參閱圖4、圖5及圖6，該噴嘴25具有一連接於該外殼23的連接塊250、一由該連接塊250底端朝下並朝左傾斜延伸的第一噴嘴臂251，及一由該連接塊250底端朝下並朝右傾斜延伸的第二噴嘴臂252。該第一噴嘴臂251與該第二噴嘴臂252呈向外張開的分叉狀且沿該第二水平方向Y相間隔。該第一噴嘴臂251與該連接塊250共同界定出多個連通於該腔室26底端且沿該第一水平方向X相間隔排列的第一噴出孔253。該第二噴嘴臂252與該連接塊250共同界定出多個連通於該腔室26底端且沿該第一水平方向X相間隔排列的第二噴出孔254。每一個該第一噴出孔253中心位於一呈傾斜的第一軸線L1上。每一個該第二噴出孔254中心位於一呈傾斜的第二軸線L2上。該第一軸線L1與該第二軸線L2相交且夾一銳角A1。在本實施例中，該銳角A1可以是介於6.5度至8.5度中的任一角度，較佳是該銳角A1為7.5度，但不以此為限。
參閱圖2、圖3、圖4及圖5，該進液管3沿該第一水平方向X延伸並穿設於該本體21的該外殼23及該等蓋板22。該進液管3包括一設置於該腔室26內的分流管段31、一形成於該分流管段31前端的進液管段33，及一形成於該分流管段31後端的末管段34。該分流管段31、該進液管段33及該末管段34共同界定出一進液孔35。該進液管段33及該末管段34分別穿設於該等蓋板22的該穿孔221，且該進液管段33及該末管段34分別凸伸出該等蓋板22。該進液管段33用以與一液體供應源(圖未示)連接，該液體供應源能供應用以清潔的液體4(如圖9所示)至該進液孔35內。該液體4是以去離子水(Deionzied Water, DIW)為例，但不以此為限。該分流管段31具有一環繞該進液孔35的管壁310，該管壁310形成有多個連通於該進液孔35底端與該腔室26之間且沿該第一水平方向X相間隔排列的第一噴液孔311，及多個連通於該進液孔35底端與該腔室26之間且沿該第一水平方向X相間隔排列的第二噴液孔312(圖4只顯示其中一個)。該等第一噴液孔311分別對應於該等第一噴出孔253上方。該等第二噴液孔312分別對應於該等第二噴出孔254上方。
該分流管段31中心沿該縱向Z對齊於該進氣孔27中心並將該腔室26分隔成一第一導引流道261及一第二導引流道262。該第一導引流道261頂部及該第二導引流道262頂部相互連通且連通於該進氣孔27。該第一導引流道261底部連通於該等第一噴液孔311及該等第一噴出孔253。該第二導引流道262底部連通於該等第二噴液孔312及該等第二噴出孔254。
每一個該第一噴液孔311能將該進液孔35所輸入的該液體4噴流至該第一導引流道261內。該第一導引流道261則能將該進氣孔27所輸入的該氣體導引至該等第一噴液孔311與該等第一噴出孔253之間，使該氣體與該等第一噴液孔311所噴出的該液體4匯流。每一個該第二噴液孔312能將該進液孔35所輸入的該液體4噴流至該第二導引流道262內。該第二導引流道262則能將該進氣孔27所輸入的該氣體導引至該等第二噴液孔312與該等第二噴出孔254之間，使該氣體與該等第二噴液孔312所噴出的該液體4匯流。
該分流管段31的該管壁310具有一頂抵於該噴嘴25的該連接塊250頂端的頂抵底端313，使得該第一導引流道261底部與該第二導引流道262底部不相互連通。藉此，能避免該第一導引流道261所導引的該氣體及該第二導引流道262所導引的該氣體在該管壁310下方匯流在一起進而產生擾流的情形。此外，每一個該第一噴液孔311與對應的該第二噴液孔312沿該第二水平方向Y分別位於該頂抵底端313相反側且在該縱向Z上的高度高於該頂抵底端313高度，藉此，使得在該第一導引流道261內流動的該氣體能先與該等第一噴液孔311所噴出的該液體4匯流後再帶動該液體4撞擊該管壁310而產生氣霧5(如圖9所示)，以及在該第二導引流道262內流動的該氣體能先與該等第二噴液孔312所噴出的該液體4匯流後再帶動該液體4撞擊該管壁310而產生該氣霧5。
在本實施例中，該分流管段31的該管壁310厚度不均一，該管壁310具有一位於該進液孔35底端的最大厚度部314，該最大厚度部314具有該頂抵底端313，該頂抵底端313沿該縱向Z間隔位於該進液孔35下方。該最大厚度部314具有一沿該縱向Z所取且介於該頂抵底端313與該進液孔35之間的厚度T，該厚度T即為該管壁310的最大厚度。每一個該第一噴液孔311與對應的該第二噴液孔312沿該第二水平方向Y分別位於該最大厚度部314相反側。藉此，使得每一個該第一噴液孔311及對應的該第二噴液孔312與該頂抵底端313在該縱向Z上能保持一定的距離，從而能確保該氣體能先與該等第一噴液孔311或該等第二噴液孔312所噴出的該液體4匯流後再帶動該液體4撞擊該管壁310。
更具體地，該分流管段31的該管壁310還具有一傾斜地連接於該頂抵底端313的第一導流斜面315，及一傾斜地連接於該頂抵底端313的第二導流斜面316。該第一導流斜面315與該第二導流斜面316沿該第二水平方向Y相間隔並夾一銳角A2。每一個該第一噴液孔311具有一形成於該第一導流斜面315的第一噴液口317。每一個該第二噴液孔312具有一形成於該第二導流斜面316的第二噴液口318。該第一導流斜面315具有一介於該等第一噴液孔311的該第一噴液口317與該頂抵底端313之間的第一阻擋面部319，該第二導流斜面316具有一介於該等第二噴液孔312的該第二噴液口318與該頂抵底端313之間的第二阻擋面部320，該第一阻擋面部319及該第二阻擋面部320用以阻擋該氣體及其所帶動的該液體4。該銳角A2的大小是以越小為佳，藉此，使得每一個該第一噴液孔311的長度及每一個該第二噴液孔312的長度能設計得較長，從而能增加該液體4於該第一噴液孔311內及該第二噴液孔312內流動的速度。此外，還能使該第一導流斜面315的面積及該第二導流斜面316的面積能設計得較大，藉此，使得該第一導流斜面315的該第一阻擋面部319及該第二導流斜面316的該第二阻擋面部320具有足夠大的阻擋面積阻擋並供該氣體及該氣體所帶動的該液體4撞擊。
該分流管段31的該管壁310還具有一對齊於該進氣孔27中心的分流尖頂部321。該分流尖頂部321具有一分流尖端322、一連接於該分流尖端322左側的第一分流斜面323，及一連接於該分流尖端322右側的第二分流斜面324。該進氣孔27所輸送的該氣體流入該腔室26後會被該分流尖端322阻隔而分流，使得該氣體其中一半部被該第一分流斜面323導引而順暢地流入該第一導引流道261內，以及該氣體另一半部被該第二分流斜面324導引而順暢地流入該第二導引流道262內，從而能提升分流的流動順暢性。
該等蓋板22沿該第一水平方向X分別夾持於該分流管段31相反端，且每一個該蓋板22透過如螺絲鎖固方式固定地連接於該分流管段31的該管壁310。藉此，能防止該分流管段31相對於該噴頭2轉動，使得每一個該第一噴液孔311的該第一噴液口317能保持並定位在對齊於對應的該第一噴出孔253中心的位置、每一個該第二噴液孔312的該第二噴液口318能保持並定位在對齊於對應的該第二噴出孔254中心的位置、該分流尖端322能穩固地保持並定位在對齊該進氣孔27中心的位置，以及該頂抵底端313能穩固地保持並定位在頂抵於該連接塊250頂端的位置。
參閱圖4、圖6、圖7及圖8，該第一噴嘴臂251具有一朝下的第一底面255，該第一底面255呈矩形且長度延伸方向平行於該第一水平方向X。該第二噴嘴臂252具有一朝下的第二底面256，該第二底面256呈矩形且長度延伸方向平行於該第一水平方向X。每一個該第一噴出孔253具有一形成於該第一底面255的第一噴出口257，每一個該第二噴出孔254具有一形成於該第二底面256的第二噴出口258。該第一噴出孔253及該第一噴出口257大於對應的該第一噴液口317，該第二噴出孔254及該第二噴出口258大於對應的該第二噴液口318，藉此，使得該第一噴出孔253及該第二噴出孔254能提供更多流量的該氣霧5流動，以及該第一噴出口257及該第二噴出口258能噴出更多流量的該氣霧5。在本實施例中，該第一噴口257及該第二噴口258各自呈長形，該長形是以橢圓形為例但不以此為限，該長形也可以是矩形。藉此，使得該第一噴出口257及該第二噴出口258所噴出的該氣霧5的噴幅大。
進一步地，該等第一噴出孔253的該第一噴出口257傾斜地形成於該第一底面255且傾斜方向相同，藉此，能降低該等第一噴出孔253的該第一噴出口257在該第一底面255的長度延伸方向上所佔據的長度，使得該第一底面255的長度能設計得較短。該等第二噴出孔254的該第二噴出口258傾斜地形成於該第二底面256且傾斜方向相同，藉此，能降低該等第二噴出孔254的該第二噴出口258在該第二底面256的長度延伸方向上所佔據的長度，使得該第二底面256的長度能設計得較短。
更具體地，每兩個相鄰的該等第一噴出孔253的該第一噴出口257在該第二水平方向Y上的投影部分重疊，藉此，除了能更進一步地降低該等第一噴出孔253的該第一噴出口257在該第一底面255的長度延伸方向上所佔據的長度之外，還能使每兩個相鄰的該等第一噴出孔253的該第一噴出口257所噴出的該氣霧5的噴幅至少有一部分能重疊在一起。每兩個相鄰的該等第二噴出孔254的該第二噴出口258在該第二水平方向Y上的投影部分重疊，藉此，除了能更進一步地降低該等第二噴出孔254的該第二噴出口258在該第二底面256的長度延伸方向上所佔據的長度之外，還能使每兩個相鄰的該等第二噴出孔254的該第二噴出口258所噴出的該氣霧5的噴幅至少有一部分能重疊在一起。
以下針對該噴頭裝置200清洗該基板1的方式進行詳細說明:
參閱圖4、圖9及圖10，圖9及圖10是本實施例的該噴頭裝置200清洗該基板1的示意圖。該基板1具有一上表面11，該上表面11凹陷形成多個溝槽12。機械手臂(圖未示)會移載該噴頭裝置200使其相對於該基板1移動以清洗該基板1。
該進液管3的該進液孔35沿該第一水平方向X所輸入的該液體4會流入該等第一噴液孔311內及該等第二噴液孔312內。由於每一個該第一噴液孔311的孔徑及每一個該第二噴液孔312的孔徑皆小於該進液孔35的孔徑，因此，該液體4流入每一個該第一噴液孔311及每一個該第二噴液孔312後流速會增加。此外，藉由每一個該第一噴液孔311及每一個該第二噴液孔312與該最大厚度部314、該第一導流斜面315、該第二導流斜面316以及該銳角A2等結構特徵之間的關係，使得每一個該第一噴液孔311及每一個該第二噴液孔312具有一定的長度。藉此，該液體4於該第一噴液孔311內及該第二噴液孔312內流動的過程中能逐漸加速到一定的流速，從而使得每一個該第一噴液口317及每一個該第二噴液口318所噴出的該液體4具有一定的流速與壓力。
另一方面，該進氣孔27沿該縱向Z所輸入的該氣體流入該腔室26後，該氣體會被該分流尖頂部321的該分流尖端322阻隔而分流，使得該氣體其中一半部沿著該第一分流斜面323順暢地流入該第一導引流道261內，以及該氣體另一半部沿著該第二分流斜面324順暢地流入該第二導引流道262內。
經由該等第一噴液孔311的該第一噴液口317所噴出的該液體4會被流動至該第一導引流道261底部的該氣體帶動而撞擊該第一導流斜面315的該第一阻擋面部319，使得該氣體與該液體4共同構成該氣霧5進而流入該等第一噴出孔253內。此外，經由該等第二噴液孔312的該第二噴液口318所噴出的該液體4會被流動至該第二導引流道262底部的該氣體帶動而撞擊該第二導流斜面316的該第二阻擋面部320，使得該氣體與該液體4共同構成該氣霧5進而流入該等第二噴出孔254內。
由於每一個該第一噴出孔253及每一個該第二噴出孔254皆具有一定的長度，因此，該氣霧5於該第一噴出孔253內及該第二噴出孔254內流動的過程中能逐漸加速到一定的流速，從而使得每一個該第一噴出口257及每一個該第二噴出口258所噴出的該氣霧5具有一定的流速與壓力。
由於該第一軸線L1及該第二軸線L2相交並夾該銳角A1且與該基板1的該上表面11傾斜，因此，該第一噴嘴臂251的該等第一噴出口257及該第二噴嘴臂252的該等第二噴出口258所噴出的該氣霧5的噴灑角度不同，從而能有效地增加該氣霧5的噴灑面積以形成無死角的清洗效果。藉此，能有效地清除該等溝槽12內所殘留的如化學藥劑之殘留物。
本實施例的該噴頭裝置200透過該噴頭2界定出該等第一噴出孔253及該等第二噴出孔254，以及該進液管3界定出該等第一噴液孔311及該等第二噴液孔312，使得該噴頭裝置200能達成如先前技術中的兩個噴頭的雙輸出的噴灑清洗效果。由於本實施例的該噴頭裝置200不需透過連接結構將兩個噴頭連接在一起，因此，與先前技術的噴頭裝置相較下整體結構簡單、體積小且重量輕，從而能降低製造成本，使得該噴頭裝置200能應用在空間小的清洗場合。此外，該機械手臂移載該噴頭裝置200的過程平穩不易產生晃動，能提升清洗該基板1的清洗效果。
需說明的是，在本實施例的另一實施態樣中，該等第一噴出孔253數量、該等第二噴出孔254數量、該等第一噴液孔311數量以及該等第二噴液孔312數量也可視需求各自設計為一個，不以本實施例所揭露的多個為限。
綜上所述，本實施例的該噴頭裝置200的整體結構簡單、體積小、重量輕，且製造成本低，能應用在空間小的清洗場合。此外，該機械手臂移載該噴頭裝置200的過程平穩不易產生晃動，能提升清洗該基板1的清洗效果，故確實能達成本發明之目的。
惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
1:基板 11:上表面 12:溝槽 200:噴頭裝置 2:噴頭 21:本體 22:蓋板 221:穿孔 23:外殼 24:頂管 25:噴嘴 250:連接塊 251:第一噴嘴臂 252:第二噴嘴臂 253:第一噴出孔 254:第二噴出孔 255:第一底面 256:第二底面 257:第一噴出口 258:第二噴出口 26:腔室 261:第一導引流道 262:第二導引流道 27:進氣孔 3:進液管 31:分流管段 310:管壁 311:第一噴液孔 312:第二噴液孔 313:頂抵底端 314:最大厚度部 315:第一導流斜面 316:第二導流斜面 317:第一噴液口 318:第二噴液口 319:第一阻擋面部 320:第二阻擋面部 321:分流尖頂部 322:分流尖端 323:第一分流斜面 324:第二分流斜面 33:進液管段 34:末管段 35:進液孔 4:液體 5:氣霧 A1、A2:銳角 L1:第一軸線 L2:第二軸線 T:厚度 X:第一水平方向 Y:第二水平方向 Z:縱向
本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中： 圖1是本發明噴頭裝置的一實施例的一立體圖； 圖2是該實施例的一側視圖； 圖3是該實施例的一前視圖； 圖4是沿圖2中的IV－IV線所截取的一剖視圖； 圖5是沿圖3中的V－V線所截取的一剖視圖； 圖6是該實施例的一仰視圖； 圖7是沿圖3中的箭頭A方向觀看的一不完整局部放大圖； 圖8是沿圖3中的箭頭B方向觀看的一不完整局部放大圖； 圖9是該實施例與一基板的一示意圖；及 圖10是該實施例與該基板的一示意圖。
200:噴頭裝置
2:噴頭
21:本體
23:外殼
24:頂管
25:噴嘴
250:連接塊
251:第一噴嘴臂
252:第二噴嘴臂
253:第一噴出孔
254:第二噴出孔
255:第一底面
256:第二底面
257:第一噴出口
258:第二噴出口
26:腔室
261:第一導引流道
262:第二導引流道
27:進氣孔
31:分流管段
310:管壁
311:第一噴液孔
312:第二噴液孔
313:頂抵底端
314:最大厚度部
315:第一導流斜面
316:第二導流斜面
317:第一噴液口
318:第二噴液口
319:第一阻擋面部
320:第二阻擋面部
321:分流尖頂部
322:分流尖端
323:第一分流斜面
324:第二分流斜面
35:進液孔
A1、A2:銳角
L1:第一軸線
L2:第二軸線
T:厚度
Y:第二水平方向
Z:縱向

Claims (18)

  1. 一種噴頭裝置，包含： 一噴頭，界定一腔室、一連通於該腔室頂端的進氣孔、至少一連通於該腔室底端的第一噴出孔，及至少一連通於該腔室底端且與該第一噴出孔相間隔的第二噴出孔；及 一進液管，設置於該噴頭且部分位於該腔室內，該進液管界定至少一連通於該腔室且對應於該第一噴出孔上方的第一噴液孔，及至少一連通於該腔室且對應於該第二噴出孔上方的第二噴液孔。
  2. 如請求項1所述的噴頭裝置，其中，該第一噴出孔中心位於一呈傾斜的第一軸線上，該第二噴出孔中心位於一呈傾斜的第二軸線上，該第一軸線與該第二軸線相交且夾一銳角，使該第一噴出孔及該第二噴出孔呈向外張開狀。
  3. 如請求項1所述的噴頭裝置，其中，該進液管包括一設置該腔室內的分流管段，該分流管段中心沿一縱向對齊於該進氣孔中心，該分流管段具有一頂抵於該噴頭的頂抵底端，該分流管段形成有分別位於該頂抵底端相反側的該第一噴液孔及該第二噴液孔，該分流管段將該腔室分隔成一第一導引流道及一第二導引流道，該第一導引流道頂部及該第二導引流道頂部相互連通且連通於該進氣孔，該第一導引流道底部與該第二導引流道底部不相互連通，該第一導引流道連通於該第一噴液孔與該第一噴出孔之間，該第二導引流道連通於該第二噴液孔與該第二噴出孔之間。
  4. 如請求項3所述的噴頭裝置，其中，該分流管段具有一對齊於該進氣孔中心的分流尖頂部。
  5. 如請求項1所述的噴頭裝置，其中，該進液管界定一進液孔，該進液管包括一設置於該腔室內且環繞該進液孔的管壁，該管壁厚度不均一並具有一位於該進液孔底端且頂抵於該噴頭的最大厚度部，該管壁形成有連通於該進液孔且分別位於該最大厚度部相反側的該第一噴液孔及該第二噴液孔。
  6. 如請求項5所述的噴頭裝置，其中，該最大厚度部具有一頂抵於該噴頭的頂抵底端，該管壁還具有一傾斜地連接於該頂抵底端的第一導流斜面，及一傾斜地連接於該頂抵底端的第二導流斜面，該第一導流斜面與該第二導流斜面夾一銳角，該第一噴液孔具有一形成於該第一導流斜面的第一噴液口，該第二噴液孔具有一形成於該第二導流斜面的第二噴液口。
  7. 如請求項6所述的噴頭裝置，其中，該第一導流斜面具有一介於該第一噴液口與該頂抵底端之間的第一阻擋面部，該第二導流斜面具有一介於該第二噴液口與該頂抵底端之間的第二阻擋面部。
  8. 如請求項5所述的噴頭裝置，其中，該管壁還具有一分流尖頂部，該分流尖頂部沿一縱向對齊於該進氣孔中心。
  9. 如請求項5所述的噴頭裝置，其中，該噴頭包括一本體，及兩個設置於該本體的蓋板，該本體形成有該進氣孔、該第一噴出孔及該第二噴出孔，該等蓋板與該本體共同界定出該腔室，該等蓋板分別固定地連接該管壁相反端。
  10. 如請求項1所述的噴頭裝置，其中，該進液管包括位於該腔室內的一頂抵底端、一第一導流斜面，及一第二導流斜面，該頂抵底端頂抵於該噴頭，該第一導流斜面與該第二導流斜面傾斜地連接於該頂抵底端且夾一銳角，該第一噴液孔及該第二噴液孔分別形成於該第一導流斜面及該第二導流斜面且分別位於該頂抵底端相反側。
  11. 如請求項10所述的噴頭裝置，其中，該第一噴液孔具有一形成於該第一導流斜面的第一噴液口，該第二噴液孔具有一形成於該第二導流斜面的第二噴液口，該第一導流斜面具有一介於該第一噴液口與該頂抵底端之間的第一阻擋面部，該第二導流斜面具有一介於該第二噴液口與該頂抵底端之間的第二阻擋面部。
  12. 如請求項1所述的噴頭裝置，其中，該第一噴出孔大於該第一噴液孔，該第二噴出孔大於該第二噴液孔。
  13. 如請求項12所述的噴頭裝置，其中，該噴頭包括一第一底面及一第二底面，該第一底面與該第二底面各自呈矩形，該第一噴出孔具有一第一噴出口，該第二噴出孔具有一第二噴出口，該第一噴出口呈長形且傾斜地形成於該第一底面，該第二噴出口呈長形且傾斜地形成於該第二底面。
  14. 如請求項1至11其中任一項所述的噴頭裝置，其中，該噴頭界定多個第一噴出孔及多個第二噴出孔，該等第一噴出孔沿一第一水平方向相間隔排列，該等第二噴出孔沿該第一水平方向相間隔排列，每一個該第一噴出孔與對應的該第二噴出孔沿一垂直於該第一水平方向的第二水平方向相間隔，該進液管界定多個第一噴液孔及多個第二噴液孔，該等第一噴液孔沿該第一水平方向相間隔排列，該等第二噴液孔沿該第一水平方向相間隔排列，每一個該第一噴液孔與對應的該第二噴液孔沿該第二水平方向相間隔。
  15. 如請求項14所述的噴頭裝置，其中，每一個該第一噴出孔大於對應的該第一噴液孔，每一個該第二噴出孔大於對應的該第二噴液孔。
  16. 如請求項15所述的噴頭裝置，其中，該噴頭包括一第一底面及一第二底面，每一個該第一噴出孔具有一形成於該第一底面的第一噴出口，每一個該第二噴出孔具有一形成於該第二底面的第二噴出口，該第一噴出口及該第二噴出口各自呈長形。
  17. 如請求項16所述的噴頭裝置，其中，該第一底面與該第二底面各自呈矩形，該第一底面的長度延伸方向及該第二底面的長度延伸方向平行於該第一水平方向，該等第一噴出孔的該第一噴出口傾斜地形成於該第一底面且傾斜方向相同，該等第二噴出孔的該第二噴出口傾斜地形成於該第二底面且傾斜方向相同。
  18. 如請求項17所述的噴頭裝置，其中，每兩個相鄰的該等第一噴出孔的該第一噴出口在該第二水平方向上的投影部分重疊，每兩個相鄰的該等第二噴出孔的該第二噴出口在該第二水平方向上的投影部分重疊。
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