TWI569879B - nozzle - Google Patents

Description

噴嘴

本發明是有關於一種噴嘴，特別是指一種利用超音波振動使液體產生霧化以噴塗出霧化液滴的噴嘴。

塗佈光阻劑於晶圓上的方式大致可區分為旋轉式塗佈(Spin coating)及噴霧式塗佈(Spray coating)。旋轉式塗佈主要應用在表面平整或表面只有極小微結構的矽晶圓上。噴霧式塗佈主要應用在表面結構複雜且具有溝槽的基材、晶圓或者是3D微結構上，透過超音波噴嘴對表面噴塗出的霧化液滴，能在基材、晶圓或者是3D微結構的表面上形成一厚度均勻的塗層。

雖然超音波噴嘴能噴塗出輕柔且低流速的霧化液滴，然而噴霧形狀若未經過塑形，超音波噴嘴所產生的噴霧便無法適用於例如需要特定噴塗區域範圍的應用場合。

因此，本發明之主要目的，即在提供一種噴嘴，其透過塑形組件的排氣口所噴出的氣體對噴霧塑形，以控制噴霧的流動方向及噴幅，使噴霧能噴塗在特定的區域 範圍內。

於是本發明的噴嘴，包含一噴嘴組件及一塑形組件。

噴嘴組件包括一外殼，及一設置於該外殼內且凸伸出該外殼底端的噴嘴本體，該噴嘴本體包含一位於底端的霧化面，該噴嘴本體形成有一用以輸送液體的液體流道，該液體流道具有一位於該霧化面的噴口，該噴嘴本體可透過超音波所產生的振動能量使液體由該噴口流出時在該霧化面產生霧化以形成噴霧；塑形組件包括一設置於該外殼底端的殼體，該殼體形成一穿孔、一第一氣體流道，及一第二氣體流道，該穿孔供該噴嘴本體穿設使該霧化面及該噴口經該穿孔露出該殼體，該第一氣體流道及該第二氣體流道分別用以輸送氣體，該第一氣體流道具有一第一排氣口，該第二氣體流道具有一第二排氣口，該第一排氣口及該第二排氣口間隔位於該穿孔相反側，該第一排氣口用以將氣體排出以形成一第一氣幕，該第二排氣口用以將氣體排出以形成一第二氣幕，該第一、第二氣幕用以對噴霧塑形以控制其流動方向及噴幅。

該第一排氣口呈長形且其長度延伸方向沿一水平方向延伸，該第二排氣口呈長形且其長度延伸方向沿該水平方向延伸，該第一排氣口其中一長側及該第二排氣口其中一長側相向且分別朝向該穿孔。

該噴口呈圓形並具有一圓心，該圓心對齊於該第一排氣口長側的中心位置及該第二排氣口長側的中心位 置。

該霧化面呈圓形並具有一外徑，該第一排氣口具有一大於該外徑的第一長度，該第二排氣口具有一大於該外徑的第二長度。

該第一氣體流道具有一第一進氣室，及一與該第一進氣室相連通的第一排氣流道部，該第一排氣流道部呈傾斜狀並具有該第一排氣口，該第二氣體流道具有一第二進氣室，及一與該第二進氣室相連通的第二排氣流道部，該第二排氣流道部具有該第二排氣口，由該第一排氣口所排出的該第一氣幕呈傾斜狀地向下延伸至該第二排氣口下方並與該第二氣幕相交。

該殼體包含一底面，該第一進氣室間隔位於該底面上方且間隔位於該液體流道外側，該第一排氣流道部是由該第一進氣室朝下並朝內傾斜延伸至該底面，該第二進氣室間隔位於該底面上方且間隔位於該液體流道外側，該第二排氣流道部具有一由該第二進氣室朝內水平延伸的水平段，及一由該水平段內側端朝下延伸至該底面的直立段。

沿一垂直於該水平方向的直立方向所取的該第一排氣流道部的截面面積小於沿該直立方向所取的該第一進氣室的截面面積，使該第一排氣流道部的氣體流量小於該第一進氣室的氣體流量，沿該直立方向所取的該水平段的截面面積小於沿該直立方向所取的該第二進氣室的截面面積，使該第二排氣流道的氣體流量小於該第二進氣室的 氣體流量。

該殼體包含一可拆卸地接合於該外殼的殼蓋，及一可拆卸地接合於該殼蓋內的導流件，該殼蓋具有該底面，該導流件界定出該穿孔，該導流件與該殼蓋共同界定出該第一氣體流道與該第二氣體流道。

該殼蓋包含一第一端壁、一相反於該第一端壁的第二端壁、兩連接於該第一、第二端壁相反側的側壁、一連接於該兩側壁之間並與該第一端壁連接的第一擋塊，及一連接於該兩側壁之間並與該第二端壁連接的第二擋塊，該第一擋塊、該第二擋塊及該兩側壁共同界定一安裝槽，該導流件包含一接合於該兩側壁頂端的頂板，及一凸設於該頂板底面且穿設於該安裝槽內的凸塊，該頂板間隔位於該第一、第二擋塊上方，該頂板與該凸塊共同界定出該穿孔，該第一端壁、該兩側壁、該第一擋塊及該頂板共同界定出該第一進氣室，該第一擋塊、該頂板及該凸塊共同界定該第一排氣流道部，該第二端壁、該兩側壁、該第二擋塊及該頂板共同界定出該第二進氣室，該兩側壁、該第二擋塊、該頂板及該凸塊共同界定該第二排氣流道部。

該第一擋塊包括一第一斜面，該凸塊包括一與該第一斜面相間隔的第二斜面，及兩凸設於該第二斜面並抵接於該第一斜面的凸肋，該第一斜面、該第二斜面、該兩凸肋與該頂板共同界定該第一排氣流道部，該第二斜面界定出該第一排氣口其中一長側，該第二擋塊包括一頂面、一連接於該頂面內側端的第一長弧面，及兩個分別連接 於該第一長弧面相反端的短弧面，各該短弧面與對應的該側壁連接，該凸塊包括一與該第一長弧面相間隔的第二長弧面，該兩側壁、該頂面及該頂板共同界定出該水平段，該第一長弧面、該兩短弧面及該第二長弧面共同界定出該直立段，該第二長弧面界定出的該第二排氣口其中一長側。

該第一端壁形成一與該第一進氣室相連通的第一插接孔，該第一擋塊更包括一面向該第一插接孔並與其相間隔的第一阻擋面，該第二端壁形成一與該第二進氣室相連通的第二插接孔，該第二擋塊更包括一面向該第二插接孔並與其相間隔的第二阻擋面，該塑形組件更包括兩個轉接件，該兩轉接件分別插接於該第一插接孔及該第二插接孔。

本發明之功效在於：藉由塑形組件的第一氣體流道的第一排氣口所噴出的第一氣幕及第二氣體流道的第二排氣口所噴出的第二氣幕對噴嘴本體所產生的噴霧進行塑形，藉此，能控制噴霧的流動方向及噴幅，以使噴霧能噴塗在特定的區域範圍內。

100‧‧‧噴嘴

1‧‧‧噴嘴組件

11‧‧‧外殼

111‧‧‧螺孔

12‧‧‧噴嘴本體

121‧‧‧連接部

122‧‧‧霧化面

123‧‧‧液體流道

124‧‧‧噴口

125‧‧‧電連接器

13‧‧‧轉接頭

131‧‧‧進液孔

2‧‧‧塑形組件

20‧‧‧殼體

21‧‧‧轉接件

211‧‧‧進氣孔

22‧‧‧殼蓋

2210‧‧‧底面

220‧‧‧安裝槽

221‧‧‧蓋體

222‧‧‧圍繞壁

2221‧‧‧貫孔

223‧‧‧第一端壁

224‧‧‧第二端壁

225‧‧‧側壁

226‧‧‧第一擋塊

227‧‧‧第二擋塊

228‧‧‧第一插接孔

229‧‧‧第二插接孔

230‧‧‧螺孔

231‧‧‧第一塊體

232‧‧‧第一連接壁

233‧‧‧第一阻擋面

234‧‧‧第一斜面

235‧‧‧第二塊體

236‧‧‧第二連接壁

237‧‧‧頂面

238‧‧‧第二阻擋面

239‧‧‧第一長弧面

240‧‧‧短弧面

24‧‧‧導流件

241‧‧‧頂板

242‧‧‧凸塊

243‧‧‧通孔

244‧‧‧底面

245‧‧‧第二斜面

246‧‧‧第二長弧面

247‧‧‧凸肋

248‧‧‧側面

249‧‧‧穿孔

251‧‧‧第一螺絲

252‧‧‧第二螺絲

26‧‧‧第一氣體流道

261‧‧‧第一進氣室

262‧‧‧第一排氣流道部

263‧‧‧第一排氣口

27‧‧‧第二氣體流道

271‧‧‧第二進氣室

272‧‧‧第二排氣流道部

273‧‧‧水平段

274‧‧‧直立段

275‧‧‧第二排氣口

3‧‧‧液體

31‧‧‧霧化液滴

32‧‧‧光阻塗層

4‧‧‧氣體

41‧‧‧第一氣幕

411‧‧‧迎風側

42‧‧‧第二氣幕

5‧‧‧晶圓

51‧‧‧上表面

52‧‧‧溝槽

521‧‧‧底面

522‧‧‧側面

D‧‧‧外徑

O‧‧‧圓心

L1‧‧‧第一長度

L2‧‧‧第二長度

I‧‧‧移動方向

H‧‧‧水平方向

V‧‧‧直立方向

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是本發明噴嘴的一實施例的立體圖；圖2是本發明噴嘴的一實施例的立體分解圖，說明噴嘴組件與塑形組件之間的組裝關係； 圖3是本發明噴嘴的一實施例由另一視角觀看的立體分解圖，說明噴嘴組件與塑形組件之間的組裝關係；圖4是本發明噴嘴的一實施例由另一視角觀看的立體分解圖，說明噴嘴組件與塑形組件之間的組裝關係；圖5是沿圖1中的5-5線所截取的剖視圖，說明第一氣體流道與第二氣體流道的細部結構；圖6是本發明噴嘴的一實施例的仰視圖，說明第一排氣口及第二排氣口的形狀，以及第一排氣口、第二排氣口、霧化面及噴口的配置關係；圖7是類似於圖5的剖視圖，說明噴嘴本體的霧化面形成霧化液滴所構成的噴霧，第一排氣口所噴出的第一氣幕及第二排氣口所噴出的第二氣幕對噴霧塑形以控制噴霧的流動方向；圖8是類似於圖5的剖視圖，說明噴嘴對晶圓塗佈霧化液滴；及圖9是圖8的局部放大圖，說明霧化液滴均勻地沉積在晶圓的上表面以及溝槽的底面與側面，以形成厚度均勻的光阻塗層。

在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖1，是本發明噴嘴的一實施例，該噴嘴100為一利用超音波振動使液體產生霧化以噴塗出霧化液滴的超音波噴嘴。噴嘴100包含一噴嘴組件1，及一塑形組 件2。

參閱圖2、圖3、圖4及圖5，噴嘴組件1包括一外殼11、一噴嘴本體12，及一轉接頭13。噴嘴本體12設置於外殼11內且凸伸出外殼11底端，噴嘴本體12包含一位於頂端的連接部121，及一位於底端的霧化面122。噴嘴本體12形成有一由連接部121延伸至霧化面122的液體流道123，液體流道123具有一位於霧化面122中心的噴口124。轉接頭13可透過例如套接或螺接方式接合於連接部121，轉接頭13形成一連通於液體流道123頂端的進液孔131，進液孔131用以供一液體輸送管(圖未示)一端插置，液體輸送管另一端連接於一液體供應源(圖未示)，藉此，液體輸送管所輸送的液體3(如圖7所示)能經由轉接頭13的進液孔131流入液體流道123內。本實施例的液體3是以光阻劑為例作說明。

噴嘴本體12透過一電連接器125與一超音波產生器(圖未示)電性連接，噴嘴本體12接收來自超音波產生器所產生的高頻電能並將其轉換為機械能，使噴嘴本體12產生振動。在液體流道123內流動的液體3會吸收振動能量，當液體3經由噴口124流出時會在霧化面122產生霧化，並形成一由複數霧化液滴31(如圖7所示)所構成的噴霧。需說明的是，由於噴嘴100透過超音波產生霧化的工作原理及過程是熟習本領域的人員所週知的技術，因此，在此僅簡單敘述霧化的過程而不對詳細細節多加贅述。

塑形組件2包括一設置於噴嘴組件1的外殼11 底端的殼體20，及兩個設置於殼體20的轉接件21。殼體20包含一可拆卸地接合於外殼11的殼蓋22，及一可拆卸地接合於殼蓋22內的導流件24。殼蓋22包括一呈圓盤狀的蓋體221，及一凸設於蓋體221頂端的圍繞壁222，圍繞壁222形成有兩個位於相反側的貫孔2221。蓋體221用以蓋合於噴嘴組件1的外殼11底端，圍繞壁222用以套設於外殼11上，透過各第一螺絲251穿設於對應的貫孔2221並螺鎖於外殼11對應的一螺孔111內，藉此，便能將殼蓋22鎖固於外殼11。當然，殼蓋22的圍繞壁222與外殼11之間也可透過例如內、外螺紋相互螺接，或者是卡鉤與卡槽相配合的卡接方式接合在一起。

蓋體221包含一第一端壁223、一相反於第一端壁223的第二端壁224、兩個連接於第一、第二端壁223、224相反側的側壁225、一連接於兩側壁225之間並與第一端壁223連接的第一擋塊226，及一連接於兩側壁225之間並與第二端壁224連接的第二擋塊227。第一端壁223形成有一第一插接孔228，第二端壁224形成有一第二插接孔229，第一插接孔228及第二插接孔229分別供兩轉接件21插接。各轉接件21形成有一進氣孔211，進氣孔211用以供一氣體輸送管(圖未示)一端插置，氣體輸送管另一端連接於一氣體供應源(圖未示)，藉此，氣體輸送管所輸送的氣體4(如圖7所示)能流入轉接件21的進氣孔211內。本實施例的氣體4是以乾燥壓縮空氣(Clean Dry Air,CDA)為例。各側壁225頂端形成兩個相間隔的螺孔230，各螺孔230用以 供一第二螺絲252螺鎖。

第一擋塊226包括一第一塊體231，及一第一連接壁232。第一塊體231連接於兩側壁225之間並且間隔位於第一端壁223內側。第一連接壁232連接於第一端壁223與第一塊體231之間且間隔位於第一插接孔228下方。第一塊體231具有一面向第一插接孔228的第一阻擋面233，及一相反於第一阻擋面233的第一斜面234，第一斜面234是由第一阻擋面233頂端朝下並朝內傾斜延伸。

第二擋塊227包括一第二塊體235，及一第二連接壁236。第二塊體235連接於兩側壁225之間並且間隔位於第二端壁224內側，第二塊體235與第一塊體231相間隔。第二連接壁236連接於第二端壁224與第二塊體235之間且間隔位於第二插接孔229下方。第二塊體235具有一頂面237、一連接於頂面237外側端與第二連接壁236之間且面向第二插接孔229的第二阻擋面238、一連接於頂面237內側端的第一長弧面239，及兩個分別連接於第一長弧面239相反端的短弧面240，各短弧面240與對應的側壁225連接。第一擋塊226的第一斜面234、第二擋塊227的第一長弧面239與兩短弧面240，以及兩側壁225共同界定一安裝槽220。

導流件24包括一頂板241，及一凸設於頂板241底面的凸塊242。頂板241形成有複數個通孔243，各通孔243用以供對應的第二螺絲252穿設。凸塊242包含一間隔位於頂板241下方的底面244、一連接於頂板241與底面 244之間的第二斜面245、一連接於頂板241與底面244之間且相反於第二斜面245的第二長弧面246、兩分別凸設於第二斜面245且相間隔的凸肋247，及兩分別連接於第二長弧面246相反端的側面248，各側面248連接於對應的凸肋247與第二長弧面246之間。導流件24形成有一由頂板241延伸至底面244的穿孔249，穿孔249用以供噴嘴本體12底部穿設。

欲將殼體20組裝於噴嘴組件1時，先將導流件24組裝於殼蓋22的蓋體221，再將殼蓋22組裝於噴嘴組件1。首先，把導流件24的凸塊242穿設於安裝槽220內，使兩凸肋247分別抵接於第一斜面234，以及兩側面248分別抵接於兩側壁225。隨後將頂板241抵接在兩側壁225頂端，使各通孔243與對應的螺孔230相連通。將各第二螺絲252穿設於對應的通孔243並螺鎖於對應的螺孔230，導流件24即鎖固於殼蓋22的蓋體221上。接著，將兩轉接件21分別插接於第一插接孔228及第二插接孔229內。之後，將噴嘴本體12底部穿設於導流件24的穿孔249內，並將殼蓋22的圍繞壁222套設於噴嘴組件1的外殼11，使噴嘴本體12的霧化面122及噴口124經穿孔249露出殼體20，以及圍繞壁222的貫孔2221與外殼11的螺孔111相連通。最後，將各第一螺絲251穿設於對應的貫孔2221並螺鎖於對應的螺孔111，殼蓋22即鎖固於外殼11。

參閱圖2、圖4、圖5及圖6，導流件24與殼蓋22共同界定出一第一氣體流道26，及一第二氣體流道27 。第一氣體流道26具有一與第一插接孔228連通的第一進氣室261，及一與第一進氣室261相連通的第一排氣流道部262，第一排氣流道部262具有一位於底端的第一排氣口263。第一進氣室261間隔位於蓋體221的一底面2210上方且間隔位於液體流道123外側，第一排氣流道部262是由第一進氣室261朝下並朝內傾斜延伸至底面2210。具體而言，在本實施例中，蓋體221的第一端壁223、第一擋塊226的第一連接壁232與第一阻擋面233、兩側壁225，以及導流件24的頂板241共同界定出第一進氣室261。第一擋塊226的第一斜面234、頂板241，以及凸塊242的第二斜面245與兩凸肋247(如圖2所示)共同界定出第一排氣流道部262。第一斜面234、第二斜面245與兩凸肋247則共同界定出第一排氣口263，第一排氣口263形成於蓋體221的一底面2210與凸塊242的底面244之間。

參閱圖5、圖6及圖7，氣體輸送管所輸送的氣體4經由其中一轉接件21的進氣孔211流入第一氣體流道26的第一進氣室261時，氣體4會衝擊第一擋塊226的第一阻擋面233並且被第一阻擋面233阻擋，藉此，能大幅降低氣體4的流動速度，使氣體4能以較慢的流速流入第一排氣流道部262內。

在本實施例中，沿一直立方向V所取的第一排氣流道部262的截面面積小於沿直立方向V所取的第一進氣室261的截面面積，使得第一排氣流道部262的氣體流量小於第一進氣室261的氣體流量。藉此，第一進氣室261 內的氣體4流入第一排氣流道部262時會增加流動的速度，使得氣體4由第一排氣口263排出時會形成一第一氣幕41。

參閱圖2、圖3、圖5及圖6，第二氣體流道27具有一與第二插接孔229連通的第二進氣室271，及一與第二進氣室271相連通的第二排氣流道部272。第二進氣室271間隔位於底面2210上方且間隔位於液體流道123外側。第二排氣流道部272具有一由第二進氣室271朝內水平延伸的水平段273，及一由水平段273內側端朝下延伸至底面2210的直立段274，直立段274具有一位於底端的第二排氣口275。具體而言，在本實施例中，蓋體221的第二端壁224、第二擋塊227的第二連接壁236與第二阻擋面238、兩側壁225，以及導流件24的頂板241共同界定出第二進氣室271。第二擋塊227的頂面237、兩側壁225，及頂板241共同界定出第二排氣流道部272的水平段273，第二擋塊227的第一長弧面239與短弧面240，及凸塊242的第二長弧面246共同界定出第二排氣流道部272的直立段274及第二排氣口275。第二排氣口275形成於蓋體221的底面2210與凸塊242的底面244之間。

藉由殼蓋22與導流件24兩者相配合共同界定出第一氣體流道26的第一進氣室261與第一排氣流道部262，以及第二氣體流道27的第二進氣室271與第二排氣流道部272，使得殼體20在設計及製造上較為簡單且容易，能有效降低製造成本。

參閱圖5、圖6及圖7，氣體輸送管所輸送的氣體4經由另一轉接件21的進氣孔211流入第二氣體流道27的第二進氣室271時，氣體4會衝擊第二擋塊227的第二阻擋面238並且被第二阻擋面238阻擋，藉此，能大幅降低氣體4的流動速度，使氣體4能以較慢的流速流入第二排氣流道部272內。

在本實施例中，沿直立方向V所取的第二排氣流道部272的水平段273的截面面積小於沿直立方向V所取的第二進氣室271的截面面積，使得第二排氣流道部272的氣體流量小於第二進氣室271的氣體流量。藉此，第二進氣室271內的氣體4流入第二排氣流道部272的水平段273時會增加流動的速度，使得氣體4由直立段274的第二排氣口275排出時會形成一第二氣幕42。

參閱圖6及圖7，第一排氣口263及第二排氣口275間隔位於穿孔249相反側，亦即第一排氣口263及第二排氣口275間隔位於穿設在穿孔249內的霧化面122及噴口124相反側。藉此，使得分別經由第一排氣口263及第二排氣口275所噴出的第一氣幕41及第二氣幕42能確實對霧化面122所形成的噴霧進行塑形，以控制噴霧的流動方向及噴幅。

在本實施例中，第一排氣流道262的第一排氣口263呈長形且其長度延伸方向沿一水平方向H延伸，第二排氣流道272的第二排氣口275呈長形且其長度延伸方向沿水平方向H延伸。由於導流件24的第二斜面245及第 二長弧面246間隔位於穿孔249相反側，因此，第二斜面245所界定出的第一排氣口263其中一長側及第二長弧面246所界定出的第二排氣口275其中一長側相向且分別朝向穿孔249。藉由前述第一排氣口263及第二排氣口275的設計方式，使得分別經由第一排氣口263及第二排氣口275所噴出的第一氣幕41及第二氣幕42會被塑形為長形狀。藉此，使得第一氣幕41及第二氣幕42沿水平方向H對噴霧進行遮擋及塑形的範圍較大。具體而言，本實施例的第一排氣口263呈矩形，而第二排氣口275呈長弧形。當然，第一排氣口263及第二排氣口275的形狀並不以本實施例所揭露的形狀為限，兩者可同為矩形或同為長弧形。

更具體地，噴口124呈圓形並具有一圓心O，噴口124的圓心O對齊於第一排氣口263長側的中心位置以及第二排氣口275長側的中心位置，藉此，使得第一排氣口263及第二排氣口275對稱地位於噴口124相反側。此外，噴嘴本體12的霧化面122呈圓形並具有一外徑D，第一排氣口263具有一大於外徑D的第一長度L1，第二排氣口275具有一大於外徑D的第二長度L2，藉此，能確保第一氣幕41及第二氣幕42能對大部分由霧化面122向外擴散出的噴霧進行遮擋及塑形。

參閱圖7，噴嘴100運作的過程中，在液體流道123內流動的液體3會吸收超音波振動能量，當液體3經由噴口124流出時會在霧化面122產生霧化並形成噴霧。由於第一氣體流道26的第一排氣流道部262呈傾斜狀，而第 二氣體流道27的第二排氣流道部272的直立段274是呈直立狀，因此，經由第一排氣口263所噴出的第一氣幕41會呈傾斜狀地向下延伸至第二排氣口275下方，而經由第二排氣口275所噴出的第二氣幕42會呈直立狀地向下延伸並與第一氣幕41相交。藉此，能將霧化液滴31匯集在鄰近於第一氣幕41與第二氣幕42相交的區域，藉以對噴霧塑形並控制其流動方向及噴幅，使噴霧能噴塗在特定的區域範圍內。

參閱圖8及圖9，這兩個圖顯示本實施例的噴嘴100應用在塗佈光阻劑於一晶圓5的場合，晶圓5是以一微機電系統(MEMS)晶圓為例。晶圓5具有一上表面51，及複數個由上表面51向下凹陷的溝槽52，各溝槽52是由一底面521及複數個側面522所界定而出。

噴嘴100會以一移動方向I沿著一預設的移動路徑在晶圓5上方移動，其中，移動方向I與水平方向H(如圖6所示)垂直，亦即移動方向I與第一、第二排氣口263、275的長度延伸方向垂直，且第一插接孔228所在的一端為噴嘴100沿移動方向I移動時的頭端。噴嘴100沿移動方向I移動的過程中，由於經由第一排氣口263所噴出的第一氣幕41是呈傾斜狀地向下延伸至晶圓5，因此，第一氣幕41的一迎風側411所受到的空氣阻力較小。藉此，能降低空氣阻力對第一氣幕41所造成的破壞，使得第一氣幕41能有效地阻隔迎風側411的空氣與霧化液滴31。再者，經由第一氣幕41與第二氣幕42所塑形出的噴霧形狀近似 於梯形，且霧化液滴31會匯集在鄰近於第一氣幕41與第二氣幕42相交的區域以達到聚焦的效果，藉此，噴霧能精準地噴塗在噴嘴100沿移動路徑所經過的晶圓5的特定區域範圍內，使得霧化液滴31能精準且均勻地沉積在晶圓5的上表面51以及溝槽52的底面521與側面522，以形成一厚度均勻的光阻塗層32。

參閱圖5、圖6及圖7，特別說明的是，由於本實施例的第一氣體流道26及第二氣體流道27是由殼蓋22與導流件24所共同界定而出，且導流件24是可拆卸地組裝於殼蓋22，而殼蓋22是可拆卸地組裝於噴嘴組件1的外殼11，因此，欲變化第一、第二氣幕41、42的形狀及噴出角度時，可透過更換其他不同形狀的殼蓋與導流件，使該殼蓋與該導流件相配合界定出不同形狀的第一氣體流道及第二氣體流道，藉以產生出特定形狀及噴出角度的第一、第二氣幕41、42，使得噴嘴100能應用在其他不同噴塗區域範圍的應用場合，以增加應用上的彈性。

綜上所述，本實施例的噴嘴100，藉由塑形組件2的第一氣體流道26的第一排氣口263所噴出的第一氣幕41及第二氣體流道27的第二排氣口275所噴出的第二氣幕42對噴嘴本體12所產生的噴霧進行塑形，藉此，能控制噴霧的流動方向及噴幅，以使噴霧能噴塗在特定的區域範圍內，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專 利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

100‧‧‧噴嘴

1‧‧‧噴嘴組件

12‧‧‧噴嘴本體

122‧‧‧霧化面

123‧‧‧液體流道

124‧‧‧噴口

13‧‧‧轉接頭

131‧‧‧進液孔

2‧‧‧塑形組件

21‧‧‧轉接件

211‧‧‧進氣孔

22‧‧‧殼蓋

233‧‧‧第一阻擋面

24‧‧‧導流件

26‧‧‧第一氣體流道

261‧‧‧第一進氣室

262‧‧‧第一排氣流道部

263‧‧‧第一排氣口

27‧‧‧第二氣體流道

271‧‧‧第二進氣室

272‧‧‧第二排氣流道部

273‧‧‧水平段

274‧‧‧直立段

275‧‧‧第二排氣口

3‧‧‧液體

31‧‧‧霧化液滴

4‧‧‧氣體

41‧‧‧第一氣幕

42‧‧‧第二氣幕

Claims (13)

1. 一種噴嘴，包含：一噴嘴組件，包括一外殼，及一設置於該外殼內且凸伸出該外殼底端的噴嘴本體，該噴嘴本體包含一位於底端的霧化面，該噴嘴本體形成有一用以輸送液體的液體流道，該液體流道具有一位於該霧化面的噴口，該噴嘴本體可透過超音波所產生的振動能量使液體由該噴口流出時在該霧化面產生霧化以形成噴霧；及一塑形組件，包括一設置於該外殼底端的殼體，該殼體形成一穿孔、一第一氣體流道，及一第二氣體流道，該穿孔供該噴嘴本體穿設使該霧化面及該噴口經該穿孔露出該殼體，該第一氣體流道及該第二氣體流道分別用以輸送氣體，該第一氣體流道具有一第一排氣口，該第二氣體流道具有一第二排氣口，該第一排氣口及該第二排氣口間隔位於該穿孔相反側，該第一排氣口用以將氣體排出以形成一第一氣幕，該第二排氣口用以將氣體排出以形成一第二氣幕，該第一、第二氣幕用以對噴霧塑形以控制其流動方向及噴幅。
2. 如請求項1所述的噴嘴，其中，該第一排氣口呈長形且其長度延伸方向沿一水平方向延伸，該第二排氣口呈長形且其長度延伸方向沿該水平方向延伸，該第一排氣口其中一長側及該第二排氣口其中一長側相向且分別朝向該穿孔。
3. 如請求項2所述的噴嘴，其中，該噴口呈圓形並具有一 圓心，該圓心對齊於該第一排氣口長側的中心位置及該第二排氣口長側的中心位置。
4. 如請求項3所述的噴嘴，其中，該霧化面呈圓形並具有一外徑，該第一排氣口具有一大於該外徑的第一長度，該第二排氣口具有一大於該外徑的第二長度。
5. 如請求項4所述的噴嘴，其中，該第一氣體流道具有一第一進氣室，及一與該第一進氣室相連通的第一排氣流道部，該第一排氣流道部呈傾斜狀並具有該第一排氣口，該第二氣體流道具有一第二進氣室，及一與該第二進氣室相連通的第二排氣流道部，該第二排氣流道部具有該第二排氣口，由該第一排氣口所排出的該第一氣幕呈傾斜狀地向下延伸至該第二排氣口下方並與該第二氣幕相交。
6. 如請求項5所述的噴嘴，其中，該殼體包含一底面，該第一進氣室間隔位於該底面上方且間隔位於該液體流道外側，該第一排氣流道部是由該第一進氣室朝下並朝內傾斜延伸至該底面，該第二進氣室間隔位於該底面上方且間隔位於該液體流道外側，該第二排氣流道部具有一由該第二進氣室朝內水平延伸的水平段，及一由該水平段內側端朝下延伸至該底面的直立段。
7. 如請求項6所述的噴嘴，其中，沿一垂直於該水平方向的直立方向所取的該第一排氣流道部的截面面積小於沿該直立方向所取的該第一進氣室的截面面積，使該第一排氣流道部的氣體流量小於該第一進氣室的氣體流 量，沿該直立方向所取的該水平段的截面面積小於沿該直立方向所取的該第二進氣室的截面面積，使該第二排氣流道的氣體流量小於該第二進氣室的氣體流量。
8. 如請求項7所述的噴嘴，其中，該殼體包含一可拆卸地接合於該外殼的殼蓋，及一可拆卸地接合於該殼蓋內的導流件，該殼蓋具有該底面，該導流件界定出該穿孔，該導流件與該殼蓋共同界定出該第一氣體流道與該第二氣體流道。
9. 如請求項8所述的噴嘴，其中，該殼蓋包含一第一端壁、一相反於該第一端壁的第二端壁、兩連接於該第一、第二端壁相反側的側壁、一連接於該兩側壁之間並與該第一端壁連接的第一擋塊，及一連接於該兩側壁之間並與該第二端壁連接的第二擋塊，該第一擋塊、該第二擋塊及該兩側壁共同界定一安裝槽，該導流件包含一接合於該兩側壁頂端的頂板，及一凸設於該頂板底面且穿設於該安裝槽內的凸塊，該頂板間隔位於該第一、第二擋塊上方，該頂板與該凸塊共同界定出該穿孔，該第一端壁、該兩側壁、該第一擋塊及該頂板共同界定出該第一進氣室，該第一擋塊、該頂板及該凸塊共同界定該第一排氣流道部，該第二端壁、該兩側壁、該第二擋塊及該頂板共同界定出該第二進氣室，該兩側壁、該第二擋塊、該頂板及該凸塊共同界定該第二排氣流道部。
10. 如請求項9所述的噴嘴，其中，該第一擋塊包括一第一斜面，該凸塊包括一與該第一斜面相間隔的第二斜面， 及兩凸設於該第二斜面並抵接於該第一斜面的凸肋，該第一斜面、該第二斜面、該兩凸肋與該頂板共同界定該第一排氣流道部，該第二斜面界定出該第一排氣口其中一長側，該第二擋塊包括一頂面、一連接於該頂面內側端的第一長弧面，及兩個分別連接於該第一長弧面相反端的短弧面，各該短弧面與對應的該側壁連接，該凸塊包括一與該第一長弧面相間隔的第二長弧面，該兩側壁、該頂面及該頂板共同界定出該水平段，該第一長弧面、該兩短弧面及該第二長弧面共同界定出該直立段，該第二長弧面界定出的該第二排氣口其中一長側。
11. 如請求項10所述的噴嘴，其中，該第一端壁形成一與該第一進氣室相連通的第一插接孔，該第一擋塊更包括一面向該第一插接孔並與其相間隔的第一阻擋面，該第二端壁形成一與該第二進氣室相連通的第二插接孔，該第二擋塊更包括一面向該第二插接孔並與其相間隔的第二阻擋面，該塑形組件更包括兩個轉接件，該兩轉接件分別插接於該第一插接孔及該第二插接孔。
12. 如請求項1所述的噴嘴，其中，該第一氣體流道具有一第一進氣室，及一與該第一進氣室相連通的第一排氣流道部，該第一排氣流道部呈傾斜狀並具有該第一排氣口，該第二氣體流道具有一第二進氣室，及一與該第二進氣室相連通的第二排氣流道部，該第二排氣流道部具有該第二排氣口，由該第一排氣口所排出的該第一氣幕呈傾斜狀地向下延伸至該第二排氣口下方並與該第二氣 幕相交。
13. 如請求項1所述的噴嘴，其中，該殼體包含一可拆卸地接合於該外殼的殼蓋，及一可拆卸地接合於該殼蓋內的導流件，該導流件界定出該穿孔，該導流件與該殼蓋共同界定出該第一氣體流道與該第二氣體流道。