CN116651640A - 喷头装置 - Google Patents
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Abstract
一种喷头装置，包含喷头及进液管。所述喷头界定腔室、连通于所述腔室顶端的进气孔、至少一连通于所述腔室底端的第一喷出孔，及至少一连通于所述腔室底端且与所述第一喷出孔相间隔的第二喷出孔。所述进液管设置于所述喷头且部分位于所述腔室内，所述进液管界定至少一连通于所述腔室且对应于所述第一喷出孔上方的第一喷液孔，及至少一连通于所述腔室且对应于所述第二喷出孔上方的第二喷液孔。喷头装置整体结构简单、体积小、重量轻，且制造成本低，能应用在空间小的清洗场合。此外，机械手臂移载喷头装置的过程平稳不易产生晃动，能提升清洗基板的清洗效果。
Description
技术领域
本发明涉及一种喷头装置，特别是涉及一种用以清洗基板的喷头装置。
背景技术
例如在半导体制程中，晶圆会经过多道不同的制程进行加工处理，晶圆经过每道制程加工后，晶圆表面会残留有如化学药剂之残留物，因此，在清洗制程中需对晶圆喷洒清洗液，以去除晶圆上的残留物。
现有清洗制程中的喷头装置是通过一连接结构将两个喷头连接在一起，使所述喷头能分别对晶圆喷洒清洗液。然而，通过所述连接结构连接所述喷头的方式，使得所述喷头装置的整体结构复杂、体积大且重量重，从而导致制造成本高。此外，由于所述喷头装置的体积大且重量重，因此，机械手臂移载所述喷头装置相对于晶圆移动的过程中很容易产生剧烈晃动的情形。
发明内容
因此，本发明的其中一目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的喷头装置。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的喷头装置，包含喷头及进液管，所述喷头界定腔室、连通于所述腔室顶端的进气孔、至少一连通于所述腔室底端的第一喷出孔，及至少一连通于所述腔室底端且与所述第一喷出孔相间隔的第二喷出孔，所述进液管设置于所述喷头且部分位于所述腔室内，所述进液管界定至少一连通于所述腔室且对应于所述第一喷出孔上方的第一喷液孔，及至少一连通于所述腔室且对应于所述第二喷出孔上方的第二喷液孔。
本发明的喷头装置，所述第一喷出孔中心位于呈倾斜的第一轴线，所述第二喷出孔中心位于呈倾斜的第二轴线，所述第一轴线与所述第二轴线相交且夹锐角，使所述第一喷出孔及所述第二喷出孔呈向外张开状。
本发明的喷头装置，所述进液管包括设置所述腔室内的分流管段，所述分流管段中心沿纵向对齐于所述进气孔中心，所述分流管段具有顶抵于所述喷头的顶抵底端，所述分流管段形成有分别位于所述顶抵底端相反侧的所述第一喷液孔及所述第二喷液孔，所述分流管段将所述腔室分隔成第一导引流道及第二导引流道，所述第一导引流道顶部及所述第二导引流道顶部相互连通且连通于所述进气孔，所述第一导引流道底部与所述第二导引流道底部不相互连通，所述第一导引流道连通于所述第一喷液孔与所述第一喷出孔之间，所述第二导引流道连通于所述第二喷液孔与所述第二喷出孔之间。
本发明的喷头装置，所述分流管段具有对齐于所述进气孔中心的分流尖顶部。
本发明的喷头装置，所述进液管界定进液孔，所述进液管包括设置于所述腔室内且环绕所述进液孔的管壁，所述管壁厚度不均一并具有位于所述进液孔底端且顶抵于所述喷头的最大厚度部，所述管壁形成有连通于所述进液孔且分别位于所述最大厚度部相反侧的所述第一喷液孔及所述第二喷液孔。
本发明的喷头装置，所述最大厚度部具有顶抵于所述喷头的顶抵底端，所述管壁还具有倾斜地连接于所述顶抵底端的第一导流斜面，及倾斜地连接于所述顶抵底端的第二导流斜面，所述第一导流斜面与所述第二导流斜面夹锐角，所述第一喷液孔具有形成于所述第一导流斜面的第一喷液口，所述第二喷液孔具有形成于所述第二导流斜面的第二喷液口。
本发明的喷头装置，所述第一导流斜面具有介于所述第一喷液口与所述顶抵底端之间的第一阻挡面部，所述第二导流斜面具有介于所述第二喷液口与所述顶抵底端之间的第二阻挡面部。
本发明的喷头装置，所述管壁还具有分流尖顶部，所述分流尖顶部沿纵向对齐于所述进气孔中心。
本发明的喷头装置，所述喷头包括本体，及两个设置于所述本体的盖板，所述本体形成有所述进气孔、所述第一喷出孔及所述第二喷出孔，所述盖板与所述本体共同界定出所述腔室，所述盖板分别固定地连接所述管壁相反端。
本发明的喷头装置，所述进液管包括位于所述腔室内的顶抵底端、第一导流斜面，及第二导流斜面，所述顶抵底端顶抵于所述喷头，所述第一导流斜面与所述第二导流斜面倾斜地连接于所述顶抵底端且夹锐角，所述第一喷液孔及所述第二喷液孔分别形成于所述第一导流斜面及所述第二导流斜面且分别位于所述顶抵底端相反侧。
本发明的喷头装置，所述第一喷液孔具有形成于所述第一导流斜面的第一喷液口，所述第二喷液孔具有形成于所述第二导流斜面的第二喷液口，所述第一导流斜面具有介于所述第一喷液口与所述顶抵底端之间的第一阻挡面部，所述第二导流斜面具有一介于所述第二喷液口与所述顶抵底端之间的第二阻挡面部。
本发明的喷头装置，所述第一喷出孔大于所述第一喷液孔，所述第二喷出孔大于所述第二喷液孔。
本发明的喷头装置，所述喷头包括第一底面及第二底面，所述第一底面与所述第二底面各自呈矩形，所述第一喷出孔具有第一喷出口，所述第二喷出孔具有第二喷出口，所述第一喷出口呈长形且倾斜地形成于所述第一底面，所述第二喷出口呈长形且倾斜地形成于所述第二底面。
本发明的喷头装置，所述喷头界定多个第一喷出孔及多个第二喷出孔，所述第一喷出孔沿第一水平方向相间隔排列，所述第二喷出孔沿所述第一水平方向相间隔排列，每一个所述第一喷出孔与对应的所述第二喷出孔沿垂直于所述第一水平方向的第二水平方向相间隔，所述进液管界定多个第一喷液孔及多个第二喷液孔，所述第一喷液孔沿所述第一水平方向相间隔排列，所述第二喷液孔沿所述第一水平方向相间隔排列，每一个所述第一喷液孔与对应的所述第二喷液孔沿所述第二水平方向相间隔。
本发明的喷头装置，每一个所述第一喷出孔大于对应的所述第一喷液孔，每一个所述第二喷出孔大于对应的所述第二喷液孔。
本发明的喷头装置，所述喷头包括第一底面及第二底面，每一个所述第一喷出孔具有形成于所述第一底面的第一喷出口，每一个所述第二喷出孔具有形成于所述第二底面的第二喷出口，所述第一喷出口及所述第二喷出口各自呈长形。
本发明的喷头装置，所述第一底面与所述第二底面各自呈矩形，所述第一底面的长度延伸方向及所述第二底面的长度延伸方向平行于所述第一水平方向，所述第一喷出孔的所述第一喷出口倾斜地形成于所述第一底面且倾斜方向相同，所述第二喷出孔的所述第二喷出口倾斜地形成于所述第二底面且倾斜方向相同。
本发明的喷头装置，每两个相邻的所述第一喷出孔的所述第一喷出口在所述第二水平方向上的投影部分重叠，每两个相邻的所述第二喷出孔的所述第二喷出口在所述第二水平方向上的投影部分重叠。
本发明的有益效果在于：喷头装置整体结构简单、体积小、重量轻，且制造成本低，能应用在空间小的清洗场合。此外，机械手臂移载喷头装置的过程平稳不易产生晃动，能提升清洗基板的清洗效果。
附图说明
图1是本发明喷头装置的一实施例的一立体图；
图2是所述实施例的一侧视图；
图3是所述实施例的一前视图；
图4是沿图2中的IV－IV线所截取的一剖视图；
图5是沿图3中的V－V线所截取的一剖视图；
图6是所述实施例的一仰视图；
图7是沿图3中的箭头A方向观看的一不完整局部放大图；
图8是沿图3中的箭头B方向观看的一不完整局部放大图；
图9是所述实施例与一基板的一示意图；及
图10是所述实施例与所述基板的一示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
在本发明被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的组件是以相同的编号来表示。
参阅图1，本发明喷头装置200的一实施例，例如应用于半导体制程中用以清洗一如晶圆的基板1(如图9所示)。所述喷头装置200包含一喷头2，及一设置于所述喷头2的进液管3。
为了便于后续说明，定义所述喷头装置200的一第一水平方向X、一垂直于所述第一水平方向X的第二水平方向Y，及一垂直于所述第一水平方向X与所述第二水平方向Y的纵向Z。所述第一水平方向X以前后方向为例，图1箭头所指方向为前，反向为后。所述第二水平方向Y以左右方向为例，图1箭头所指方向为左，反向为右。所述纵向Z为上下方向，图1箭头所指方向为上，反向为下。
参阅图2、图3、图4及图5，所述喷头2包括一本体21，及两个设置于所述本体21的盖板22。所述本体21具有一外壳23、一设置于所述外壳23顶端的顶管24，及一设置于所述外壳23底端的喷嘴25。所述盖板22沿所述第一水平方向X盖合于所述外壳23相反端，每一个所述盖板22通过如螺丝锁固方式固定地连接于所述外壳23。所述外壳23、所述喷嘴25及所述盖板22共同界定出一供所述进液管3穿设的腔室26。每一个所述盖板22形成有一供所述进液管3穿设的穿孔221。所述外壳23与所述顶管24共同界定出一连通于所述腔室26顶端的进气孔27。所述顶管24用以与一气体供应源(图未示)连接，所述气体供应源能通过所述进气孔27供应气体至所述腔室26内，所述气体是以干燥压缩空气(Clean Dry Air,CDA)为例，但不以此为限。
参阅图4、图5及图6，所述喷嘴25具有一连接于所述外壳23的连接块250、一由所述连接块250底端朝下并朝左倾斜延伸的第一喷嘴臂251，及一由所述连接块250底端朝下并朝右倾斜延伸的第二喷嘴臂252。所述第一喷嘴臂251与所述第二喷嘴臂252呈向外张开的分叉状且沿所述第二水平方向Y相间隔。所述第一喷嘴臂251与所述连接块250共同界定出多个连通于所述腔室26底端且沿所述第一水平方向X相间隔排列的第一喷出孔253。所述第二喷嘴臂252与所述连接块250共同界定出多个连通于所述腔室26底端且沿所述第一水平方向X相间隔排列的第二喷出孔254。每一个所述第一喷出孔253中心位于一呈倾斜的第一轴线L1上。每一个所述第二喷出孔254中心位于一呈倾斜的第二轴线L2上。所述第一轴线L1与所述第二轴线L2相交且夹一锐角A1。在本实施例中，所述锐角A1可以是介于6.5度至8.5度中的任一角度，较佳是所述锐角A1为7.5度，但不以此为限。
参阅图2、图3、图4及图5，所述进液管3沿所述第一水平方向X延伸并穿设于所述本体21的所述外壳23及所述盖板22。所述进液管3包括一设置于所述腔室26内的分流管段31、一形成于所述分流管段31前端的进液管段33，及一形成于所述分流管段31后端的末管段34。所述分流管段31、所述进液管段33及所述末管段34共同界定出一进液孔35。所述进液管段33及所述末管段34分别穿设于所述盖板22的所述穿孔221，且所述进液管段33及所述末管段34分别凸伸出所述盖板22。所述进液管段33用以与一液体供应源(图未示)连接，所述液体供应源能供应用以清洁的液体4(如图9所示)至所述进液孔35内。所述液体4是以去离子水(Deionz i ed Water,DIW)为例，但不以此为限。所述分流管段31具有一环绕所述进液孔35的管壁310，所述管壁310形成有多个连通于所述进液孔35底端与所述腔室26之间且沿所述第一水平方向X相间隔排列的第一喷液孔311，及多个连通于所述进液孔35底端与所述腔室26之间且沿所述第一水平方向X相间隔排列的第二喷液孔312(图4只显示其中一个)。所述第一喷液孔311分别对应于所述第一喷出孔253上方。所述第二喷液孔312分别对应于所述第二喷出孔254上方。
所述分流管段31中心沿所述纵向Z对齐于所述进气孔27中心并将所述腔室26分隔成一第一导引流道261及一第二导引流道262。所述第一导引流道261顶部及所述第二导引流道262顶部相互连通且连通于所述进气孔27。所述第一导引流道261底部连通于所述第一喷液孔311及所述第一喷出孔253。所述第二导引流道262底部连通于所述第二喷液孔312及所述第二喷出孔254。
每一个所述第一喷液孔311能将所述进液孔35所输入的所述液体4喷流至所述第一导引流道261内。所述第一导引流道261则能将所述进气孔27所输入的所述气体导引至所述第一喷液孔311与所述第一喷出孔253之间，使所述气体与所述第一喷液孔311所喷出的所述液体4汇流。每一个所述第二喷液孔312能将所述进液孔35所输入的所述液体4喷流至所述第二导引流道262内。所述第二导引流道262则能将所述进气孔27所输入的所述气体导引至所述第二喷液孔312与所述第二喷出孔254之间，使所述气体与所述第二喷液孔312所喷出的所述液体4汇流。
所述分流管段31的所述管壁310具有一顶抵于所述喷嘴25的所述连接块250顶端的顶抵底端313，使得所述第一导引流道261底部与所述第二导引流道262底部不相互连通。借此，能避免所述第一导引流道261所导引的所述气体及所述第二导引流道262所导引的所述气体在所述管壁310下方汇流在一起进而产生扰流的情形。此外，每一个所述第一喷液孔311与对应的所述第二喷液孔312沿所述第二水平方向Y分别位于所述顶抵底端313相反侧且在所述纵向Z上的高度高于所述顶抵底端313高度，借此，使得在所述第一导引流道261内流动的所述气体能先与所述第一喷液孔311所喷出的所述液体4汇流后再带动所述液体4撞击所述管壁310而产生气雾5(如图9所示)，以及在所述第二导引流道262内流动的所述气体能先与所述第二喷液孔312所喷出的所述液体4汇流后再带动所述液体4撞击所述管壁310而产生所述气雾5。
在本实施例中，所述分流管段31的所述管壁310厚度不均一，所述管壁310具有一位于所述进液孔35底端的最大厚度部314，所述最大厚度部314具有所述顶抵底端313，所述顶抵底端313沿所述纵向Z间隔位于所述进液孔35下方。所述最大厚度部314具有一沿所述纵向Z所取且介于所述顶抵底端313与所述进液孔35之间的厚度T，所述厚度T即为所述管壁310的最大厚度。每一个所述第一喷液孔311与对应的所述第二喷液孔312沿所述第二水平方向Y分别位于所述最大厚度部314相反侧。借此，使得每一个所述第一喷液孔311及对应的所述第二喷液孔312与所述顶抵底端313在所述纵向Z上能保持一定的距离，从而能确保所述气体能先与所述第一喷液孔311或所述第二喷液孔312所喷出的所述液体4汇流后再带动所述液体4撞击所述管壁310。
更具体地，所述分流管段31的所述管壁310还具有一倾斜地连接于所述顶抵底端313的第一导流斜面315，及一倾斜地连接于所述顶抵底端313的第二导流斜面316。所述第一导流斜面315与所述第二导流斜面316沿所述第二水平方向Y相间隔并夹一锐角A2。每一个所述第一喷液孔311具有一形成于所述第一导流斜面315的第一喷液口317。每一个所述第二喷液孔312具有一形成于所述第二导流斜面316的第二喷液口318。所述第一导流斜面315具有一介于所述第一喷液孔311的所述第一喷液口317与所述顶抵底端313之间的第一阻挡面部319，所述第二导流斜面316具有一介于所述第二喷液孔312的所述第二喷液口318与所述顶抵底端313之间的第二阻挡面部320，所述第一阻挡面部319及所述第二阻挡面部320用以阻挡所述气体及其所带动的所述液体4。所述锐角A2的大小是以越小为佳，借此，使得每一个所述第一喷液孔311的长度及每一个所述第二喷液孔312的长度能设计得较长，从而能增加所述液体4于所述第一喷液孔311内及所述第二喷液孔312内流动的速度。此外，还能使所述第一导流斜面315的面积及所述第二导流斜面316的面积能设计得较大，借此，使得所述第一导流斜面315的所述第一阻挡面部319及所述第二导流斜面316的所述第二阻挡面部320具有足够大的阻挡面积阻挡并供所述气体及所述气体所带动的所述液体4撞击。
所述分流管段31的所述管壁310还具有一对齐于所述进气孔27中心的分流尖顶部321。所述分流尖顶部321具有一分流尖端322、一连接于所述分流尖端322左侧的第一分流斜面323，及一连接于所述分流尖端322右侧的第二分流斜面324。所述进气孔27所输送的所述气体流入所述腔室26后会被所述分流尖端322阻隔而分流，使得所述气体其中一半部被所述第一分流斜面323导引而顺畅地流入所述第一导引流道261内，以及所述气体另一半部被所述第二分流斜面324导引而顺畅地流入所述第二导引流道262内，从而能提升分流的流动顺畅性。
所述盖板22沿所述第一水平方向X分别夹持于所述分流管段31相反端，且每一个所述盖板22通过如螺丝锁固方式固定地连接于所述分流管段31的所述管壁310。借此，能防止所述分流管段31相对于所述喷头2转动，使得每一个所述第一喷液孔311的所述第一喷液口317能保持并定位在对齐于对应的所述第一喷出孔253中心的位置、每一个所述第二喷液孔312的所述第二喷液口318能保持并定位在对齐于对应的所述第二喷出孔254中心的位置、所述分流尖端322能稳固地保持并定位在对齐所述进气孔27中心的位置，以及所述顶抵底端313能稳固地保持并定位在顶抵于所述连接块250顶端的位置。
参阅图4、图6、图7及图8，所述第一喷嘴臂251具有一朝下的第一底面255，所述第一底面255呈矩形且长度延伸方向平行于所述第一水平方向X。所述第二喷嘴臂252具有一朝下的第二底面256，所述第二底面256呈矩形且长度延伸方向平行于所述第一水平方向X。每一个所述第一喷出孔253具有一形成于所述第一底面255的第一喷出口257，每一个所述第二喷出孔254具有一形成于所述第二底面256的第二喷出口258。所述第一喷出孔253及所述第一喷出口257大于对应的所述第一喷液口317，所述第二喷出孔254及所述第二喷出口258大于对应的所述第二喷液口318，借此，使得所述第一喷出孔253及所述第二喷出孔254能提供更多流量的所述气雾5流动，以及所述第一喷出口257及所述第二喷出口258能喷出更多流量的所述气雾5。在本实施例中，所述第一喷口257及所述第二喷口258各自呈长形，所述长形是以椭圆形为例但不以此为限，所述长形也可以是矩形。借此，使得所述第一喷出口257及所述第二喷出口258所喷出的所述气雾5的喷幅大。
进一步地，所述第一喷出孔253的所述第一喷出口257倾斜地形成于所述第一底面255且倾斜方向相同，借此，能降低所述第一喷出孔253的所述第一喷出口257在所述第一底面255的长度延伸方向上所占据的长度，使得所述第一底面255的长度能设计得较短。所述第二喷出孔254的所述第二喷出口258倾斜地形成于所述第二底面256且倾斜方向相同，借此，能降低所述第二喷出孔254的所述第二喷出口258在所述第二底面256的长度延伸方向上所占据的长度，使得所述第二底面256的长度能设计得较短。
更具体地，每两个相邻的所述第一喷出孔253的所述第一喷出口257在所述第二水平方向Y上的投影部分重叠，借此，除了能更进一步地降低所述第一喷出孔253的所述第一喷出口257在所述第一底面255的长度延伸方向上所占据的长度之外，还能使每两个相邻的所述第一喷出孔253的所述第一喷出口257所喷出的所述气雾5的喷幅至少有一部分能重叠在一起。每两个相邻的所述第二喷出孔254的所述第二喷出口258在所述第二水平方向Y上的投影部分重叠，借此，除了能更进一步地降低所述第二喷出孔254的所述第二喷出口258在所述第二底面256的长度延伸方向上所占据的长度之外，还能使每两个相邻的所述第二喷出孔254的所述第二喷出口258所喷出的所述气雾5的喷幅至少有一部分能重叠在一起。
以下针对所述喷头装置200清洗所述基板1的方式进行详细说明:
参阅图4、图9及图10，图9及图10是本实施例的所述喷头装置200清洗所述基板1的示意图。所述基板1具有一上表面11，所述上表面11凹陷形成多个沟槽12。机械手臂(图未示)会移载所述喷头装置200使其相对于所述基板1移动以清洗所述基板1。
所述进液管3的所述进液孔35沿所述第一水平方向X所输入的所述液体4会流入所述第一喷液孔311内及所述第二喷液孔312内。由于每一个所述第一喷液孔311的孔径及每一个所述第二喷液孔312的孔径皆小于所述进液孔35的孔径，因此，所述液体4流入每一个所述第一喷液孔311及每一个所述第二喷液孔312后流速会增加。此外，借由每一个所述第一喷液孔311及每一个所述第二喷液孔312与所述最大厚度部314、所述第一导流斜面315、所述第二导流斜面316以及所述锐角A2等结构特征之间的关系，使得每一个所述第一喷液孔311及每一个所述第二喷液孔312具有一定的长度。借此，所述液体4于所述第一喷液孔311内及所述第二喷液孔312内流动的过程中能逐渐加速到一定的流速，从而使得每一个所述第一喷液口317及每一个所述第二喷液口318所喷出的所述液体4具有一定的流速与压力。
另一方面，所述进气孔27沿所述纵向Z所输入的所述气体流入所述腔室26后，所述气体会被所述分流尖顶部321的所述分流尖端322阻隔而分流，使得所述气体其中一半部沿着所述第一分流斜面323顺畅地流入所述第一导引流道261内，以及所述气体另一半部沿着所述第二分流斜面324顺畅地流入所述第二导引流道262内。
经由所述第一喷液孔311的所述第一喷液口317所喷出的所述液体4会被流动至所述第一导引流道261底部的所述气体带动而撞击所述第一导流斜面315的所述第一阻挡面部319，使得所述气体与所述液体4共同构成所述气雾5进而流入所述第一喷出孔253内。此外，经由所述第二喷液孔312的所述第二喷液口318所喷出的所述液体4会被流动至所述第二导引流道262底部的所述气体带动而撞击所述第二导流斜面316的所述第二阻挡面部320，使得所述气体与所述液体4共同构成所述气雾5进而流入所述第二喷出孔254内。
由于每一个所述第一喷出孔253及每一个所述第二喷出孔254皆具有一定的长度，因此，所述气雾5于所述第一喷出孔253内及所述第二喷出孔254内流动的过程中能逐渐加速到一定的流速，从而使得每一个所述第一喷出口257及每一个所述第二喷出口258所喷出的所述气雾5具有一定的流速与压力。
由于所述第一轴线L1及所述第二轴线L2相交并夹所述锐角A1且与所述基板1的所述上表面11倾斜，因此，所述第一喷嘴臂251的所述第一喷出口257及所述第二喷嘴臂252的所述第二喷出口258所喷出的所述气雾5的喷洒角度不同，从而能有效地增加所述气雾5的喷洒面积以形成无死角的清洗效果。借此，能有效地清除所述沟槽12内所残留的如化学药剂之残留物。
本实施例的所述喷头装置200通过所述喷头2界定出所述第一喷出孔253及所述第二喷出孔254，以及所述进液管3界定出所述第一喷液孔311及所述第二喷液孔312，使得所述喷头装置200能达成如先前技术中的两个喷头的双输出的喷洒清洗效果。由于本实施例的所述喷头装置200不需通过连接结构将两个喷头连接在一起，因此，与先前技术的喷头装置相较下整体结构简单、体积小且重量轻，从而能降低制造成本，使得所述喷头装置200能应用在空间小的清洗场合。此外，所述机械手臂移载所述喷头装置200的过程平稳不易产生晃动，能提升清洗所述基板1的清洗效果。
需说明的是，在本实施例的另一实施态样中，所述第一喷出孔253数量、所述第二喷出孔254数量、所述第一喷液孔311数量以及所述第二喷液孔312数量也可视需求各自设计为一个，不以本实施例所揭露的多个为限。
归纳上述，本实施例的所述喷头装置200的整体结构简单、体积小、重量轻，且制造成本低，能应用在空间小的清洗场合。此外，所述机械手臂移载所述喷头装置200的过程平稳不易产生晃动，能提升清洗所述基板1的清洗效果，确实能达到本发明所诉求的目的。
Claims (18)
1.一种喷头装置；其特征在于：
所述喷头装置包含喷头及进液管，所述喷头界定腔室、连通于所述腔室顶端的进气孔、至少一连通于所述腔室底端的第一喷出孔，及至少一连通于所述腔室底端且与所述第一喷出孔相间隔的第二喷出孔，所述进液管设置于所述喷头且部分位于所述腔室内，所述进液管界定至少一连通于所述腔室且对应于所述第一喷出孔上方的第一喷液孔，及至少一连通于所述腔室且对应于所述第二喷出孔上方的第二喷液孔。
2.根据权利要求1所述的喷头装置，其特征在于：所述第一喷出孔中心位于呈倾斜的第一轴线，所述第二喷出孔中心位于呈倾斜的第二轴线，所述第一轴线与所述第二轴线相交且夹锐角，使所述第一喷出孔及所述第二喷出孔呈向外张开状。
3.根据权利要求1所述的喷头装置，其特征在于：所述进液管包括设置所述腔室内的分流管段，所述分流管段中心沿纵向对齐于所述进气孔中心，所述分流管段具有顶抵于所述喷头的顶抵底端，所述分流管段形成有分别位于所述顶抵底端相反侧的所述第一喷液孔及所述第二喷液孔，所述分流管段将所述腔室分隔成第一导引流道及第二导引流道，所述第一导引流道顶部及所述第二导引流道顶部相互连通且连通于所述进气孔，所述第一导引流道底部与所述第二导引流道底部不相互连通，所述第一导引流道连通于所述第一喷液孔与所述第一喷出孔之间，所述第二导引流道连通于所述第二喷液孔与所述第二喷出孔之间。
4.根据权利要求3所述的喷头装置，其特征在于：所述分流管段具有对齐于所述进气孔中心的分流尖顶部。
5.根据权利要求1所述的喷头装置，其特征在于：所述进液管界定进液孔，所述进液管包括设置于所述腔室内且环绕所述进液孔的管壁，所述管壁厚度不均一并具有位于所述进液孔底端且顶抵于所述喷头的最大厚度部，所述管壁形成有连通于所述进液孔且分别位于所述最大厚度部相反侧的所述第一喷液孔及所述第二喷液孔。
6.根据权利要求5所述的喷头装置，其特征在于：所述最大厚度部具有顶抵于所述喷头的顶抵底端，所述管壁还具有倾斜地连接于所述顶抵底端的第一导流斜面，及倾斜地连接于所述顶抵底端的第二导流斜面，所述第一导流斜面与所述第二导流斜面夹锐角，所述第一喷液孔具有形成于所述第一导流斜面的第一喷液口，所述第二喷液孔具有形成于所述第二导流斜面的第二喷液口。
7.根据权利要求6所述的喷头装置，其特征在于：所述第一导流斜面具有介于所述第一喷液口与所述顶抵底端之间的第一阻挡面部，所述第二导流斜面具有介于所述第二喷液口与所述顶抵底端之间的第二阻挡面部。
8.根据权利要求5所述的喷头装置，其特征在于：所述管壁还具有分流尖顶部，所述分流尖顶部沿纵向对齐于所述进气孔中心。
9.根据权利要求5所述的喷头装置，其特征在于：所述喷头包括本体，及两个设置于所述本体的盖板，所述本体形成有所述进气孔、所述第一喷出孔及所述第二喷出孔，所述盖板与所述本体共同界定出所述腔室，所述盖板分别固定地连接所述管壁相反端。
10.根据权利要求1所述的喷头装置，其特征在于：所述进液管包括位于所述腔室内的顶抵底端、第一导流斜面，及第二导流斜面，所述顶抵底端顶抵于所述喷头，所述第一导流斜面与所述第二导流斜面倾斜地连接于所述顶抵底端且夹锐角，所述第一喷液孔及所述第二喷液孔分别形成于所述第一导流斜面及所述第二导流斜面且分别位于所述顶抵底端相反侧。
11.根据权利要求10所述的喷头装置，其特征在于：所述第一喷液孔具有形成于所述第一导流斜面的第一喷液口，所述第二喷液孔具有形成于所述第二导流斜面的第二喷液口，所述第一导流斜面具有介于所述第一喷液口与所述顶抵底端之间的第一阻挡面部，所述第二导流斜面具有一介于所述第二喷液口与所述顶抵底端之间的第二阻挡面部。
12.根据权利要求1所述的喷头装置，其特征在于：所述第一喷出孔大于所述第一喷液孔，所述第二喷出孔大于所述第二喷液孔。
13.根据权利要求12所述的喷头装置，其特征在于：所述喷头包括第一底面及第二底面，所述第一底面与所述第二底面各自呈矩形，所述第一喷出孔具有第一喷出口，所述第二喷出孔具有第二喷出口，所述第一喷出口呈长形且倾斜地形成于所述第一底面，所述第二喷出口呈长形且倾斜地形成于所述第二底面。
14.根据权利要求1至11其中任一权利要求所述的喷头装置，其特征在于：所述喷头界定多个第一喷出孔及多个第二喷出孔，所述第一喷出孔沿第一水平方向相间隔排列，所述第二喷出孔沿所述第一水平方向相间隔排列，每一个所述第一喷出孔与对应的所述第二喷出孔沿垂直于所述第一水平方向的第二水平方向相间隔，所述进液管界定多个第一喷液孔及多个第二喷液孔，所述第一喷液孔沿所述第一水平方向相间隔排列，所述第二喷液孔沿所述第一水平方向相间隔排列，每一个所述第一喷液孔与对应的所述第二喷液孔沿所述第二水平方向相间隔。
15.根据权利要求14所述的喷头装置，其特征在于：每一个所述第一喷出孔大于对应的所述第一喷液孔，每一个所述第二喷出孔大于对应的所述第二喷液孔。
16.根据权利要求15所述的喷头装置，其特征在于：所述喷头包括第一底面及第二底面，每一个所述第一喷出孔具有形成于所述第一底面的第一喷出口，每一个所述第二喷出孔具有形成于所述第二底面的第二喷出口，所述第一喷出口及所述第二喷出口各自呈长形。
17.根据权利要求16所述的喷头装置，其特征在于：所述第一底面与所述第二底面各自呈矩形，所述第一底面的长度延伸方向及所述第二底面的长度延伸方向平行于所述第一水平方向，所述第一喷出孔的所述第一喷出口倾斜地形成于所述第一底面且倾斜方向相同，所述第二喷出孔的所述第二喷出口倾斜地形成于所述第二底面且倾斜方向相同。
18.根据权利要求17所述的喷头装置，其特征在于：每两个相邻的所述第一喷出孔的所述第一喷出口在所述第二水平方向上的投影部分重叠，每两个相邻的所述第二喷出孔的所述第二喷出口在所述第二水平方向上的投影部分重叠。
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