TW202309432A - 用於高壓氣體輸送的減壓系統、設備和方法 - Google Patents

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Abstract

一種用於對一對蓄積器減壓以提供高壓氣體的設備，包括：一槽，其係與該對蓄積器中的每一個流體連通，用於接收來自該對蓄積器的蒸汽，以儲存並將該蒸汽分配到該對蓄積器及外部大氣以外的一遠程位置；一第一流體連接，其係包含：一第一閥組件，其係將該槽與該對蓄積器中的一第一蓄積器互連；一第二流體連接，其係包含：一第二閥組件，其係將該槽與該對蓄積器中的一第二蓄積器互連；其中具有該第一閥組件的該第一流體連接以及具有該第二閥組件的該第二流體連接各自被構造和佈置成在交替的間隔期間內將該蒸汽從該第一蓄積器和該第二蓄積器中的對應之一者輸送到該槽。還提供了一種相關的方法和系統。

Description

用於高壓氣體輸送的減壓系統、設備和方法
本實施例係關於用於從稱為蓄積器的二個或更多個容器提供高壓CO 2的設備和方法，並且具體地，係關於在電子產業例如半導體產業中使用的這種設備和方法。
電子產業中使用的蓄積器是一種設備，它包括一個槽或容器，該槽或容器被構造成在高於大氣壓或環境壓力的壓力下儲存流體，並且對於許多應用來說，係在顯著增加的壓力下運作。在電子產業中，儲存在蓄積器中的此類流體可以包括液態二氧化碳(carbon dioxide, CO 2)和液態氮(nitrogen, N 2)，它們最終可相變為氣相，以用於諸如電子設備及光學設備清潔及其鄰近的惰性氣體等應用中。
規模經濟鼓勵電子產業在需要高壓氣態CO 2的應用中使用一對蓄積器。這是因為為了重新填充一對蓄積器中已耗盡CO 2產品的一者，必須在重新填充之前對蓄積器減壓，同時該對蓄積器中的另一者則繼續運作。由於沒有其他設備用於這種減壓，這會導致一部分的CO 2在減壓期間排放到大氣中，這是一種導致溫室氣體(greenhouse gas, GHG)排放，且導致氣態CO 2產品的損失和浪費的不良活動。
習知的重新填充減壓蓄積器的程序透過一製冷系統冷卻氣體，以重新液化和回收CO 2排放氣體，藉此避免不必要的CO 2排放，且能夠回收和再利用原本將會丟失的氣態CO 2。不幸的是，這種習知的回收程序和相關的製冷系統在處理設施中需要大的佔地面積或墊板，並且消耗大量的能量和電力來重新液化和回收CO 2排放氣體，且消耗大量的相關成本來在分配給蓄積器減壓的特定時間內重新液化CO 2氣體。減壓的蓄積器的重新填充必須及時完成，使得在該對蓄積器中的一個蓄積器的CO 2產品耗盡時，另一個蓄積器能夠接續運作，因此，此一時間限制是關鍵的，且因此是繁重的。
圖1示出了半導體產業中用於捕獲、再液化和加壓CO 2氣體的習知系統和方法。
習知系統10包括一對蓄積器12、14，每個蓄積器包含液態CO 2，該液態CO 2透過管道18由液態CO 2源16提供，管道18被各別地分成與蓄積器12流體連接的單獨分支20或管道，以及與蓄積器14流體連接的單獨分支22或管道。
習知系統10被構造成維持高壓氣態CO 2的連續供應，其中系統的操作循環補充蓄積器12、14中的一者，而另一個蓄積器則分配用於工業和/或商業用途CO 2產品。習知系統10的操作週期和相應“模式”的示例如下列表1所示。
仍然結合表1參考圖1，習知的高壓氣體輸送系統總體上以10示出。如圖1所示，第一蓄積器12被構造和佈置成透過流體連接28、32、95或管道輸送高壓氣態CO 2，而第二蓄積器14被構造和佈置成透過流體連接30、32、95或管道輸送高壓氣態CO 2。當第一蓄積器12透過流體連接28、32、95或管道輸送高壓氣態CO 2時，第二蓄積器14從輸送服務中離線(off-line)，且取而代之自含有液態CO 2的批量供應儲槽16或容器重新填充CO 2。然而，在重新填充蓄積器14之前，蓄積器14必須首先減壓。蓄積器14的減壓流程係如下所述。
透過開啟閥59、47，蓄積器14透過流體連接39、44、45減壓進入接收器26。來自蓄積器14的CO 2蒸氣透過通過冷凝器24中的熱交換器冷凝成液體，冷凝器還與製冷單元流體連通，之後液化的CO 2透過流體連接45或管道輸送至接收器26並儲存於接收器26。CO 2蒸氣的冷凝是透過外部製冷單元(未示出，但在圖1中提及)實現的。一旦蓄積器14完全減壓至所需或選擇的壓力設定點，暫時儲存在接收器26中的液態CO 2透過流體連接46或管道輸送回蓄積器14，透過開啟流體連接42中的閥57進入流體連接42或管道。蓄積器14也從液態CO 2供應16重新填充到期望或選擇的液位設定點，其中來自CO 2儲存容器16的流體連接18或管道透過流體連接22或管道將CO 2進料流輸送到蓄積器14。蓄積器14被加熱(例如：透過電加熱器50)，以蒸發液態CO 2並將蓄積器14加壓至由系統10產生並透過管道30輸送的氣態CO 2流的輸送壓力。該輸送壓力在系統10的出口95處的壓力在600 psig至1000 psig的範圍內。
冷凝器24必須在分配用於減壓的特定時間量期間將來自蓄積器14的CO 2蒸氣冷凝成液體。換言之，當蓄積器12的CO 2供應接近枯竭並且需要離線以便減壓和重新填充時，工廠操作員不希望在等待蓄積器14被重新填裝的操作中出現停頓。因此，冷凝器24包括需要滿足這種時間敏感和增加的冷卻需求的大型熱交換器和製冷單元。即，減壓時間被設置為在蓄積器12耗盡其液態CO 2供應之前，剛好有足夠的時間來填充和加壓蓄積器14。蓄積器12，14與相應的管道和閥門之間的這種編排是必要的，以便從出口95輸送連續且可靠的氣態CO 2供應以用於隨後的工廠應用。然而，如上所述，圖1的習知系統10需要大量電力和能量來適應蓄積器12，14之間的共同運作，從而在系統出口95處提供氣態CO 2的可靠來源。
當第一蓄積器12從輸送服務中離線，並且取而代之自含有液態CO 2的批量供應儲槽16或容器的重新填充液態CO 2時，提供了一個交互程序。
習知系統10中關於蓄積器12、14的模式如下表1所示並與圖1相關。
表1
模式 編號 說明：
    蓄積器12 蓄積器14
離線 0 所有閥門關閉，加熱器48、50關閉，製冷單元關閉。 所有閥門關閉，加熱器48、50關閉，製冷單元關閉。
減壓 1 在用低壓液體重新填充之前對蓄積器12減壓。減壓閥51和47開啟。供給閥49、填充閥55、產品閥63和接收器閥53關閉。製冷單元啟動。 在用低壓液體重新填充之前對蓄積器14減壓。減壓閥59和47開啟。供給閥49、填充閥61、產品閥67和接收器閥57關閉。製冷單元啟動。
填充 2 用來自接收器26和液態源16的低壓液體填充蓄積器12。接收器閥53、供給閥49和填充閥55開啟。產品閥63關閉。製冷單元啟動。 用來自接收器26和液態源16的低壓液體填充蓄積器14。接收器閥57、供給閥49和填充閥61開啟。產品閥67關閉。製冷單元啟動。
加壓 3 將蓄積器12加壓至設定點(即，使用浸入式電加熱器48)。減壓閥51、47、接收器閥53、供給閥49、填充閥55和產品閥63關閉。 製冷單元關閉。 將蓄積器14加壓至設定點(即，使用浸入式電加熱器50)。減壓閥59、47、接收器閥57、供給閥49、填充閥61和產品閥67關閉。 製冷單元關閉。
準備 4 系統保持壓力等待分配高壓氣體28。減壓閥51、47、接收器閥53、供給閥49、填充閥55和產品閥63關閉。 系統保持壓力等待分配高壓氣體30。減壓閥59、47、接收器閥57、供給閥49、填充閥61和產品閥67關閉。
上線 5 系統供應高壓氣體95。產品閥63開啟。減壓閥51和填充閥55關閉。 系統供應高壓氣體95。產品閥67開啟。減壓閥59和填充閥61關閉。
與上文討論的習知系統相比，本發明的實施例使冷凝器和製冷單元具有較小的結構，在工廠或設施處具有較小的佔地面積。結果，在本實施例中的蓄積器減壓期間排放的所有CO 2被收集和回收以供蓄積器後續使用，從而降低與本系統的製冷部件相關的投資和操作成本。
因此，本文提供了一種用於從一對蓄積器產生諸如CO 2氣體的高壓氣體的減壓系統，該系統包括由用於該對蓄積器的氣體緩衝槽組成的氣體緩衝槽組件。該氣體緩衝槽組件還包括用於每個蓄積器的一對減壓閥，使得從二個蓄積器到氣體緩衝槽的減壓以及從氣體緩衝槽到冷凝器的減壓有助於整個系統的減壓。本實施例使氣體緩衝槽和相應的蓄積器壓力相等，從而在允許該氣體被冷凝和再液化以重新引入同一蓄積器之前暫時將來自每個蓄積器的一部分中間氣體保持在氣體緩衝槽中。
在本文的某些實施例中，提供了一種用於對一對蓄積器減壓以提供高壓氣體的設備，該設備包括：一槽，其係與該對蓄積器中的每一個流體連通，用於接收來自該對蓄積器的蒸汽，以儲存並將該蒸汽分配到該對蓄積器及外部大氣以外的一遠程位置；一第一流體連接，其係包含：一第一閥組件，其係將該槽與該對蓄積器中的一第一蓄積器互連；一第二流體連接，其係包含：一第二閥組件，其係將該槽與該對蓄積器中的一第二蓄積器互連；其中具有該第一閥組件的該第一流體連接以及具有該第二閥組件的該第二流體連接各自被構造和佈置成在交替的間隔期間內將蒸汽從該第一蓄積器和該第二蓄積器中的對應之一者輸送到該槽。
在該設備的某些實施例中，該遠程位置包括：一冷凝器，以將該蒸氣冷凝成一液體。
在某些實施例中，該設備進一步包括：一接收器槽，其係與該冷凝器流體連接，用於接收和儲存該液體，直到該第一蓄積器和該第二蓄積器需要為止。
在該設備的某些其他實施例中，該蒸氣係來自選自由液態CO 2和液態氮所組成之群組的一液體。
在本文的某些實施例中，提供了一種用於對一對蓄積器減壓以提供高壓氣體的方法，該方法包括：(a) 將一部分蒸汽從該對蓄積器的一第一蓄積器中抽出到一槽中；(b) 平衡該第一蓄積器和該槽中的壓力，以暫時將來自該第一蓄積器的蒸汽的部分作為一中間氣體保持在該槽中；(c) 將該中間氣體提供給該對蓄積器和大氣以外的一遠程位置；(d) 在該遠程位置將該中間氣體冷凝成一液體；以及(e) 將該液體送回至該第一蓄積器。
在某些實施例中，該方法包括：在步驟(a)～(e)期間從該對蓄積器中的第二蓄積器提供高壓氣體。
在某些其他實施例中，該方法進一步包括：在將該液體送回至該第一蓄積器之前將該液體儲存在該遠程位置。
在某些其他實施例中，該方法包括其中該蒸氣係來自選自由液態CO 2和液態氮所組成之群組的一液體。
在詳細解釋本發明的實施例之前，應當理解本發明不限於其應用到圖式中所示的部件的構造和佈置的細節(如果有的話)，因為本發明能夠具有其他實施例並且可以各種方式實踐或執行。此外，應當理解，這裡使用的措辭或術語是為了描述而不是限制的目的。
在以下描述中，諸如水平、直立、垂直、上、下、下方等的術語僅用於清楚地說明本發明的目的，並且不應被視為限制詞。圖式(如果有的話)是為了說明本發明的目的，且未必是按比例繪製的。
本文提及的“流體連接”可以被理解為是指提供流體的輸送或流體連通的導管、管道、通道等，並且還包括多個這樣的元件。
參考圖2~3，本文的發明實施例包括減壓系統100，其中除其他元件外，減壓系統100具有氣體緩衝槽組件102 (下文也稱為“緩衝槽組件102”)。緩衝槽組件102可以改裝到習知系統10中或具有原始結構，以與蓄積器12、14共同作用。緩衝槽組件102從相應的一個蓄積器12、14收集減壓期間產生的CO 2氣體的一部分(如果不是全部)，以平衡其之間的壓力，從而臨時儲存CO 2蒸氣並將減壓階段分成二個獨立的階段。緩衝槽組件102包括如圖2~3所示的氣體緩衝槽104。也就是說，關於蓄積器12，緩衝槽組件102包括氣體緩衝槽104、流體連接106或管道和閥108；並且關於蓄積器14，緩衝槽組件102包括氣體緩衝槽104、流體連接206或管道和閥208。
減壓系統實施例100是高壓氣體輸送系統，且其與圖1的習知系統10的不同之處在於添加了氣體緩衝槽104以及其對應的至每一蓄積器12、14及自每一蓄積器12、14的管道和閥門(閥門組件)。系統100被構造和佈置成維持高壓氣態CO 2的連續供應，其中緩衝槽組件102的操作循環被設置為補充第一蓄積器12、14，同時第二蓄積器正在分配CO 2氣態產品。在這種構造和操作方式中，在依需供應CO 2期間沒有滯後、停頓或停機時間，且用於對蓄積器12、14減壓的冷凝器和製冷單元所需要的占地面積或墊板遠小於習知系統10的需求。操作週期和相應“模式”的示例如下表2所示。
高壓氣體輸送系統總體顯示為100。第一蓄積器12透過流體連接28、32或管道將高壓氣態CO 2輸送到出口95以用於氣體應用，同時第二蓄積器14自批量供應液態CO 216重新填充。在第一蓄積器12耗盡其CO 2之前，必須重新填充第二蓄積器14並準備好進行操作。首先蓄積器14必須減壓，然後才能重新填充液態CO 2。蓄積器14的減壓分二個階段進行：第一階段-蓄積器14最初被減壓到緩衝槽組件102的氣體緩衝槽104中，直到蓄積器14和氣體緩衝槽104中各自的壓力達到均衡，以將一部分CO 2蒸氣暫時儲存在氣體緩衝槽104中；第二階段-隨後將蓄積器14完全減壓到接收器26中，透過流體連接39、44進入冷凝器24，然後CO 2蒸氣被冷凝成液體。這種冷凝是透過外部製冷單元(未示出)實現的，並且冷凝的液體透過從冷凝器24到接收器的流體連接45提供給接收器26。一旦蓄積器14完全減壓到所需的壓力設定點，暫時儲存在接收器26中的液態CO 2透過開啟閥57透過流體連接46、42被輸送回蓄積器14。蓄積器14也被重新填充或加滿用來自液態CO 2供應16的額外液體達到所需的液位設定點，其中包含液態CO 2的進料流18透過流體連接22被引入蓄積器14中。蓄積器14被加熱(例如：透過電加熱器50)以蒸發儲存在蓄積器中的液態CO 2並將其加壓至由系統100產生的氣態CO 2流的輸送壓力，並透過流體連接30、32輸送到出口95以供應用使用。出口95處的輸送壓力在600 psig到1000 psig的範圍內。
當蓄積器14被重新填充和加壓時，氣體緩衝槽104透過流體連接206、39、44、45減壓進入接收器26，其中CO 2蒸汽透過冷凝器24中的熱交換器冷凝成液體。這種冷凝是透過與冷凝器24的熱交換器連通的外部製冷單元(未示出，但提及)實現的。液態CO 2也暫時保存在接收器26中，直到下一個循環，其中液態CO 2將在蓄積器經歷其減壓階段之後，透過流體連接46、40或管道輸送到蓄積器12。
透過在對蓄積器14完全減壓之前首先平衡蓄積器14和氣體緩衝槽104之間的壓力，在這個階段要在冷凝器24中冷凝的CO 2蒸汽的量顯著少於習知系統10所發生的量。透過在氣體緩衝槽104中暫時保留部分CO 2蒸氣，可將CO 2蒸氣的冷凝過程延長較長時間，從而降低冷凝器24的冷卻需求；而不是如習知系統10中所需要的那樣被限制在為使蓄積器14減壓所分配的嚴格時間量。對氣體緩衝槽104減壓並冷凝相應的CO 2蒸氣是在蓄積器14的填充和加壓步驟期間進行。這反過來也允許製冷單元連續或幾乎連續運行以避免頻繁循環。
系統實施例100中關於蓄積器12、14的模式在下表2中示出並且與圖2~3相關。
表2
模式 編號 說明：
    蓄積器12 蓄積器14
離線 0 所有閥門關閉，加熱器48、50關閉，製冷單元關閉。 所有閥門關閉，加熱器48、50關閉，製冷單元關閉。
平衡 1 最初將蓄積器12減壓到氣體緩衝槽104中以平衡壓力。減壓閥108和110開啟。減壓閥51和47、供應閥49、填充閥55、產品閥63和接收器閥53關閉。 最初將蓄積器14減壓到氣體緩衝槽104中以平衡壓力。減壓閥208和210開啟。減壓閥59和47、供應閥49、填充閥61、產品閥67和接收器閥57關閉。
減壓 2 在重新填充低壓液體之前，完成蓄積器12的減壓。減壓閥110、51和47開啟。減壓閥108、供應閥49、填充閥55、產品閥63和接收器閥53關閉。製冷單元啟動。 在重新填充低壓液體之前，完成蓄積器14的減壓。減壓閥210、59和47開啟。減壓閥208、供應閥49、填充閥61、產品閥67和接收器閥57關閉。製冷單元啟動。
填充 3 用來自接收器26和液態源16的低壓液體填充蓄積器12。接收器閥53、供應閥49和填充閥55開啟。產品閥63關閉。製冷單元啟動。 用來自接收器26和液態源16的低壓液體填充蓄積器14。接收器閥57、供應閥49和填充閥61開啟。產品閥67關閉。製冷單元啟動。
減壓氣體緩衝器 4a 給氣體緩衝槽104減壓。減壓閥108、51和47開啟。減壓閥110和接收器閥53關閉。製冷單元啟動。 給氣體緩衝槽104減壓。減壓閥208、59和47開啟。減壓閥210和接收器閥57關閉。製冷單元啟動。
加壓 4b 將蓄積器12加壓至設定點(即，使用浸入式電加熱器48)。供應閥49、填充閥55和產品閥63關閉。製冷單元啟動。 將蓄積器14加壓至設定點(即，使用浸入式電加熱器50)。供應閥49、填充閥61和產品閥67關閉。製冷單元啟動。
準備 5 系統保持壓力等待分配高壓氣體28。減壓閥108、110、51、47、接收器閥53、供應閥49、填充閥55和產品閥63關閉。 系統保持壓力等待分配高壓氣體30。減壓閥208、210、59、47、接收器閥57、供應閥49、填充閥61和產品閥67關閉。
上線 6 系統供應高壓氣體95。產品閥63開啟。減壓閥108、110、51、填充閥55和接收器閥53關閉。 系統供應高壓氣體95。產品閥67開啟。減壓閥208、210、59、填充閥61和接收器閥57關閉。
由於製冷單元和冷凝器24的尺寸減小，系統100因此比習知系統10更經濟。
蓄積器12、14和緩衝槽組件102的氣體緩衝槽104的減壓循環階段和它們之間的共同作用可以概括為： 1. 平衡蓄積器12、14和氣體緩衝槽104的各自的壓力。 2. 將蓄積器減壓/重新液化CO 2以填充接收器26。 3. 從接收器填充蓄積器。 4. 從液態CO 2進料16填充蓄積器並開始對氣體緩衝槽104減壓/重新液化以填充接收器26。 5. 用相應的加熱器48、50對蓄積器加壓。 6. 氣體緩衝槽104的完全減壓(接收器26現在部分充滿CO 2液體)，並待機。 7. 當第二蓄積器耗盡時，切換並自第一蓄積器分配高壓CO 2。 8. 開始第二蓄積器的減壓循環。 9. 重複。
氣體緩衝槽104在蓄積器12、14的減壓過程中減少離開蓄積器12、14的CO 2氣體的量，並提供更多時間透過冷凝器24和製冷單元重新液化CO 2氣體。由於增加了來自氣體緩衝槽104的時間，冷凝器24-製冷單元的尺寸和相關佔地面積顯著減小，因此，系統100的相關投資和運行成本也降低了。本實施例提供了在減壓期間捕獲所有CO 2氣體的成本有效的解決方案，以便(i) 避免CO 2產品的損失，(ii) 避免溫室氣體(GHG)排放的增加，和(iii) 減小用於冷凝CO 2蒸氣的冷凝器/製冷單元的尺寸。
手動閥71~93 (奇數)用於關閉和部分關閉相應的流體連接或管道，以調整透過相應系統10、100輸送的蒸汽和液體的時間，且根據系統的應用，可以包括一個或多個系統10、100。
本實施例可以使用本文中相同的設備和過程應用於其他液態產品(例如：液態氮或LIN)，其中液體在蓄積器或容器內被加熱以輸送高壓氣體，且回收和以具有成本效益的方式使用原本將被排放的任何氣體或蒸汽。
即使不添加具有其熱交換器和製冷單元的冷凝器24，氣體緩衝槽104也將在減壓期間顯著減少排放氣體的量。
應當理解，這裡描述的實施例僅僅是示例性的，本發明所屬技術領域中具有通常知識者可以在不脫離本發明的精神和範圍的情況下進行變化和修改。所有這些變化和修改旨在包括在所附申請專利範圍中提供的本發明的範圍內。應當理解，上述實施例不僅是可選的，還可以被組合。
10:習知系統 12:蓄積器 14:蓄積器 16:液態CO 2源 18:管道 20:單獨分支 22:單獨分支 24:冷凝器 26:接收器 28:流體連接 30:管道 32:流體連接 39:流體連接 40:流體連接 42:流體連接 44:流體連接 45:流體連接 46:流體連接 47:減壓閥 48:浸入式電加熱器 49:供給閥 50:浸入式電加熱器 51:減壓閥 53:接收器閥 55:填充閥 57:接收器閥 59:減壓閥 61:填充閥 63:產品閥 67:產品閥 71:手動閥 73:手動閥 75:手動閥 77:手動閥 79:手動閥 81:手動閥 83:手動閥 85:手動閥 87:手動閥 89:手動閥 91:手動閥 93:手動閥 95:流體連接 100:減壓系統 102:緩衝槽組件 104:氣體緩衝槽 106:流體連接 108:減壓閥 110:減壓閥 206:流體連接 208:減壓閥 210:減壓閥
為了更完整地理解本發明，可以參考以下結合圖式考量的示例性實施例的描述，其中： 〔圖1〕顯示了用於使氣體減壓以提供高壓CO 2的習知系統的示意圖。 〔圖2〕示出了用於例如CO 2氣體的高壓氣體輸送的本發明的減壓系統以及設備和方法實施例的示意圖。 〔圖3〕顯示了在圖2所示的系統實施例中使用的本發明的氣體緩衝槽實施例。
12:蓄積器
14:蓄積器
20:單獨分支
22:單獨分支
28:流體連接
30:管道
40:流體連接
48:浸入式電加熱器
50:浸入式電加熱器
77:手動閥
85:手動閥
87:手動閥
89:手動閥
102:緩衝槽組件
104:氣體緩衝槽
106:流體連接
108:減壓閥
110:減壓閥
206:流體連接
208:減壓閥
210:減壓閥

Claims (8)

  1. 一種用於對一對蓄積器減壓以提供高壓氣體的設備，包括： 一槽，其係與該對蓄積器中的每一個流體連通，用於接收來自該對蓄積器的蒸汽，以儲存並將該蒸汽分配到該對蓄積器及外部大氣以外的一遠程位置； 一第一流體連接，其係包含：一第一閥組件，其係將該槽與該對蓄積器中的一第一蓄積器互連； 一第二流體連接，其係包含：一第二閥組件，其係將該槽與該對蓄積器中的一第二蓄積器互連； 其中具有該第一閥組件的該第一流體連接以及具有該第二閥組件的該第二流體連接各自被構造和佈置成在交替的間隔期間內將蒸汽從該第一蓄積器和該第二蓄積器中的對應之一者輸送到該槽。
  2. 如請求項1所述的設備，其中，該遠程位置包括一冷凝器以將該蒸氣冷凝成一液體。
  3. 如請求項2所述的設備，進一步包括：一接收器槽，其係與該冷凝器流體連接，用於接收和儲存該液體，直到該第一蓄積器和該第二蓄積器需要為止。
  4. 如請求項1所述的設備，其中，該蒸氣係來自選自由液態CO 2和液態氮所組成之群組的一液體。
  5. 對一對蓄積器減壓以提供高壓氣體的方法，該方法包括： (a) 將一部分蒸汽從該對蓄積器的一第一蓄積器中抽出到一槽中； (b) 平衡該第一蓄積器和該槽中的壓力，以暫時將來自該第一蓄積器的蒸汽的部分作為一中間氣體保持在該槽中； (c) 將該中間氣體提供給該對蓄積器和大氣以外的一遠程位置； (d) 在該遠程位置將該中間氣體冷凝成一液體；以及 (e) 將該液體送回至該第一蓄積器。
  6. 如請求項5所述的方法，進一步包括：在請求項5的步驟(a)~(e)期間從該對蓄積器中的第二蓄積器提供高壓氣體。
  7. 如請求項5所述的方法，進一步包括：在將該液體送回至該第一蓄積器之前將該液體儲存在該遠程位置。
  8. 如請求項5所述的方法，其中該蒸氣係來自選自由液態CO 2和液態氮所組成之群組的一液體。
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