JP6567333B2 - 流体を供給する装置および方法 - Google Patents
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Description
本発明は、極低温温度で貯蔵された液体のタンクの流体を圧力下で供給する装置(液体又はガス)に関する。加圧ガスを得るために、ポンプ送りされた液体は、気化器において気化できる。
液体の形態のガスをポンプ送りすることは、一般に、ガスの形態でそれを圧縮するよりもエネルギー効率の観点でより有利である。
しかし、液体水素をポンプ送りすることは、比較的扱いにくいことである。それが低濃度で高い揮発性のため、ポンプまでずっと液体の形態でそれを維持することは比較的難しい。これはキャビテーションの現象をもたらす可能性があり、ガスがポンプ中で発生する可能性があり、これはタンクへ戻される必要がある。液体水素の極低温圧縮は、将来の水素を動力とする応用についてのこの頃のある程度の関心を作り出している。市場のこの出現段階は、他の応用および市場のハードウェアおよび製品の使用をもたらしており、その仕様および性能は、計画されたデモンストレーションといくぶん相いれない。例えば、ポンプが冷たく維持されている時間は、1回の動作あたり2時間に制限される必要があり、かなりの量のガスを発生させる加熱/冷却サイクルを必要としている。
ポンプには、吸込管を介してタンクから液体が供給され、動作中に低い温度で維持される。生産されたガスは、ポンプのガス抜き用の出口を介してタンクへ戻される。この生産されたガスの量は、設備およびポンプの熱的性能と動作サイクルとに依存している。
ポンプがスイッチオフされるとき(周囲温度)、ポンプを与える回路のポンプと関連した管は、熱い(周囲温度)。タンクは、熱の進入のため真空下で液体を気化させ、タンク中の圧力を上昇させる。
この設備が使用される前には、回路およびポンプは、冷却される必要がある。これは、ポンプのガス抜き用の出口を介してタンクへ戻される液体をポンプ送りすることにより実行される。これは、タンク中の圧力の増加に大変寄与する。
この熱サイホンタイプの構成は、水素などの軽い流体に関して、困難だけをもって動作する。特にタンクがほとんど空であるときに、水素を用いたポンプにおいて熱サイホンタイプの自然循環を形成することは実際的に不可能である。
この目的を達成するために、本発明による装置は、上記前文に与えられたその包括的定義による他の態様において、極低温バッファ貯蔵ボリュームと、バッファ貯蔵ボリュームの下部をタンクに接続する第1のパイプと、タンクの上部をバッファ貯蔵ボリュームに接続する第2のパイプとを備えると共に、バッファ貯蔵ボリューム中のガスを液化する液化部材を備えることを本質的な特徴とする。
− 第1のパイプは、吸込管とは異なる。
− バッファ貯蔵ボリュームは、貯蔵ボリュームの上部および下部にそれぞれ配置された2つのヒータを備える。
− 吸込管、戻りパイプ、第1のパイプ、第2のパイプの少なくとも1つは、少なくとも1つの弁、特に、少なくとも1つの制御された弁を備える。
− 装置は、少なくとも1つの弁に接続されていると共に液化部材に接続されているデータを取得し、記憶し、処理する部材を備える。
− データを取得し、記憶し、処理する部材は、(1つ又は複数の)ヒータにも接続されており、装置において気化されたガスの少なくとも一部をバッファ貯蔵ボリュームにおいて液化するために、データを取得し、記憶し、処理する部材は、液化部材と、少なくとも1つのヒータと、少なくとも1つの弁とを制御するように構成されている。
− データを取得し、記憶し、処理する部材は、所定の閾値圧力未満にタンク中の圧力を維持するために、液化部材と、少なくとも1つのヒータと、少なくとも1つの弁とを制御するように構成されている。
− 装置は、タンク中の圧力を感知する圧力センサ、タンク中の温度を感知する温度センサ、バッファ貯蔵ボリューム中の圧力を感知する圧力センサ、バッファ貯蔵ボリューム中の温度を感知する温度センサのうちの少なくとも1つを備え、少なくとも1つのセンサは、データを取得し、記憶し、処理する部材に接続されている。
− ポンプは、所定の吸込水頭損失(NPSH)を有し、ポンプの吸込水頭損失(NPSH)だけ増加させられる、およびことによっては、タンクをポンプに接続する吸込管の配管により引き起こされる水頭損失の値だけやはり増加させられる極低温流体の飽和圧に少なくとも等しくタンク中又は吸込管中の圧力を維持するために、データを取得し、記憶し、処理する部材は、液化部材と、少なくとも1つのヒータと、少なくとも1つの弁とを制御するように構成されている。
− 戻りパイプの端部は、マルチジェット分配ノズルを備える。
− 液化部材は、クライオクーラを備える。
− バッファ貯蔵ボリューム中の液体レベルが設定限界レベルに到達するときに、液体がバッファ貯蔵ボリュームからタンクへ移送される。
− (一方向又は両方向に)バッファ貯蔵ボリュームとタンクの間の流体の少なくとも1つの移送は、バッファ貯蔵ボリューム内の圧力とタンク内の圧力との間の圧力差を確立することによると共に、((1つ又は複数の)弁の開放により)これらの後者を流体連通におくことにより実行される。
− この方法は、ポンプの第2の出口とポンプの入口と吸込パイプとを介してバッファ貯蔵ボリュームからタンクへ液体を移送することによりポンプを冷却するステップを備える。
− この方法は、ポンプをスイッチオンし、吸込パイプとポンプの入口とポンプの出口とを介してタンクからバッファ貯蔵ボリュームへ液体を移送することによりポンプを冷却するステップを備え、バッファ貯蔵ボリュームにおいて気化されたガスの少なくとも一部は、液化部材により液化される。
− この方法は、バッファ貯蔵ボリューム中の圧力がタンク中の圧力未満であるとき、液体が入口を介してタンクからポンプ送りされ、ポンプの第2の出口は、バッファ貯蔵ボリュームに流体的に接続されるポンプ送りするステップを備える。
− この方法は、タンクから液体をポンプ送りするステップを備え、このポンプ送りするステップ中、ポンプにおいて気化された流体の少なくとも一部がポンプの高圧の第2の出口からバッファ貯蔵ボリュームへ移送され、液化部材により液化される。
他の特徴および利点は、本発明の一実施形態による流体を供給する装置の構造および動作を示す概略図および部分図を示す単一の図を参照して以下の説明を読むことにより明らかになろう。
この装置は、吸込管5を介してタンクの下部2に接続された吸込口4を装備したクライオポンプ3を備える。
ポンプ3は、使用者に加圧流体(液体)を供給するための高圧の第1の出口6と、ガス抜き用の第2の出口7とを備える。ガス抜き用の出口7は、戻りパイプ9を介してタンクの上部2に接続されている。例えば、戻りパイプ9の端部は、タンクの上部2にマルチジェット分配ノズル17を備える。
好ましくは、バッファ貯蔵ボリューム8は、内部の圧力を増大させるつもりで、少なくとも1つのヒータを備え、さらにより好ましくはバッファ貯蔵ボリューム8内に収容された流体を選択的に加熱する2つのヒータ13、14を備える。2つのヒータは、例えばそれぞれ、バッファ貯蔵ボリューム8の上部および下部に配置される。
データを取得し、記憶し、処理する部材130は、(1つ又は複数の)ヒータ13、14に接続することもできる。
データを取得し、記憶し、処理する部材130は、液化部材12と、少なくとも1つのヒータ13、14と、弁15、19、110、111、211とを制御するように構成(プログラム)されるのに適したマイクロプロセッサ、コンピュータ、又は任意の他の装置を備えることもできる。
特に、装置は、装置において気化されたガスの少なくとも一部(すなわち、タンク又はポンプ又は回路で生産されたガス)についてバッファ貯蔵ボリューム8において液化を制御するように構成することができる。
有利には、装置は、タンク2中の圧力を感知する圧力センサ22、タンク2中の温度を感知する温度センサ、バッファ貯蔵ボリューム8中の圧力を感知する圧力センサ18、バッファ貯蔵ボリューム8中の温度を感知する温度センサとのうちの少なくとも1つを備えることができ、好ましくは、少なくとも1つのセンサ18、22は、データを取得し、記憶し、処理する部材130に接続されている。
この構成は、タンク2のレベルにかかわらずにキャビテーションのリスクを避ける又は制限するのに十分である圧力レベル(NPSH)で、ポンプの最適な動作、および特に冷却および液体供給も可能にする。
有利な特徴によれば、熱サイホン現象は、(重力および温度の影響よりむしろ)回路中の圧力を管理することにより得ることができる。
次に、様々な動作モードの例が以下に説明される。
装置が非作動状態にある(オフ、完全に停止している)ときに、ポンプ3は非作動状態にあり、全部の弁が閉鎖されることが好ましい。タンク2内の圧力は、熱が入るにつれて増加する。戻りパイプおよび第2のパイプ11における弁19、111が開かれた後、バッファ貯蔵ボリューム8は、タンク2の気相に接続される。液化部材12は、バッファ貯蔵ボリューム8中のガスを液化するつもりで、タンク2からガスを汲み出すことができる。したがって、バッファ貯蔵ボリューム8は、液体を溜め、その量は、レベルセンサおよび/又は圧力センサ18により測定することができる。
これは、タンク2の圧力を減少させることを可能にする。バッファ貯蔵ボリューム8が満杯であるとき、第2のパイプ11中の弁111は、閉鎖することができ、バッファ貯蔵ボリューム8のヒータ13、14は、必要があれば、バッファ貯蔵ボリューム8中の圧力をタンク2の圧力より高い圧力へ増加させるために作動させることができる。このようにして、液体は、第1のパイプ10中の弁110を開くことによりタンク2へ戻ることができる。代替として又は組み合わせて、液体は、関連した弁111、19を開くことにより、第2のパイプ11と戻りパイプ9とを介してタンク2の頂部へ戻ることができる。
ポンプ動作前に、好ましくは、バッファ貯蔵ボリューム8は、満杯で、タンク2の圧力より高い圧力であり、全ての弁は閉鎖されている。
第2のパイプと吸込管5との弁111、211、15を開くことにより、冷たい液体は、ポンプ3を冷却するために、ポンプ3を介してタンクへ戻され、通過させることができる。液体は、液体部へ戻り、そこでガスが再液化される。したがって、圧力の増加は比較的小さい。ポンプ3が十分に冷却されたとき(これは、例えば、1つ又は複数の温度センサにより測定される)、ポンプ3は、使用する準備ができている。
ポンプ3が逆方向の流れを受け入れるように設計されていない例では、液体の流れは、一方では、タンク2からポンプ3を介してバッファ貯蔵ボリューム8へ汲み出すことができる。この温められた流体は、バッファ貯蔵ボリューム8内で再び液化することができる。この動作モードの場合、タンク2の圧力は、バッファ貯蔵ボリューム8中の圧力より高い必要がある。それは、(例えばヒータによって)タンク2の圧力を増加させることにより、および/又は(液化部材12を用いて)バッファ貯蔵ボリューム8中の圧力を減少させることにより実現することができる。
ポンプ3の性能がよくない場合、液化部材12およびバッファ貯蔵ボリューム8は、全ての生産されたガスを液化するのに十分に特性をもたせることができない。その場合には、後で再液化されるつもりで(上記参照)その圧力を増加させることにより、ガスは、タンク2へ戻され得る。
ポンプ3を冷却するためにポンプ3が3kgの水素を気化させる極端な場合には、400リットルのバッファ貯蔵ボリュームと、20℃で100ワットの電力を有するクライオクーラとは、ポンプ3の冷却中に生産された全てのガスを液化するのに十分であり得る。
ポンプ3が正しい温度にあるとき、ポンプ3は、液体をポンプ送りすることができる。ポンプ3は、過剰にポンプ送りされた液体を、(第2のパイプ11を介して)バッファ貯蔵ボリュームに向けることにより、正しい温度で維持することができる。
液化部材12の冷却力がポンプ3の熱損失を超えるので、ポンプ送り中に気化されたガスは、バッファ貯蔵ボリューム8において完全に液化され得る。
それは、ポンプ3が休止しているが冷たい例にも当てはまる。
(1つ又は複数の)圧力センサおよび温度センサにより供給される信号は、適切な場合、ポンプ3のガス抜き用の出口における弁211の開放度を制御することを可能にする。バッファ貯蔵ボリューム8が満杯であるとき、バッファ貯蔵ボリューム8は、上記のプロセスを用いてタンク2の中に空にすることができる。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
[1] 液体ガス混合物の形態で極低温温度でガス燃料を貯蔵するソースタンク(2)と、吸込管(5)を介して前記タンク(2)の下部に接続された吸込口(4)を備えるクライオポンプ(3)と、高圧流体を使用者に供給するための高圧の第1の出口(6)と、戻りパイプ(9)を介して前記タンク(2)の上部に接続されたガス抜き用の第2の出口(7)とを備えた流体を供給する装置(1)であって、該装置は、
極低温バッファ貯蔵ボリューム(8)と、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)の下部を前記タンク(2)に接続する前記吸込管とは異なる第1のパイプ(10)と、前記タンク(2)の前記上部を前記バッファ貯蔵ボリューム(8)に接続する第2のパイプ(11)とを備えると共に、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中のガスを液化する液化部材(12)を備えることを特徴とする装置(1)。
[2] 前記第2のパイプ(11)は、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)の上部に接続された第1の端部と、前記戻りパイプ(9)に接続された第2の端部とを有し、つまり、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)は、前記タンク(2)に接続されていると共に、前記戻りパイプ(9)を介して前記ポンプ(3)の前記第2の出口(7)に接続されていることを特徴とする、[1]に記載の装置。
[3] 前記バッファ貯蔵ボリューム(8)は、内部の圧力を増加させるつもりで前記バッファ貯蔵ボリューム(8)内に収容された流体を選択的に加熱する少なくとも1つのヒータ(13、14)を備えることを特徴とする、[1]又は[2]に記載の装置。
[4] 前記バッファ貯蔵ボリューム(8)は、前記貯蔵ボリュームの前記上部および前記下部にそれぞれ配置された2つのヒータ(13、14)を備えることを特徴とする、[3]に記載の装置。
[5] 前記吸込管(5)、前記戻りパイプ(9)、前記第1のパイプ(10)、前記第2のパイプ(11)の少なくとも1つは、少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)、特に、少なくとも1つの制御された弁を備えることを特徴とする、[1]から[4]のいずれか一項に記載の装置。
[6] 前記少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)に接続されていると共に前記液化部材(12)に接続されているデータを取得し、記憶し、処理する部材(130)を備えることを特徴とする、[5]に記載の装置。
[7] 前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)は、1つ又は複数の前記ヒータ(13、14)にも接続されており、前記装置において気化された前記ガスの少なくとも一部を前記バッファ貯蔵ボリューム(8)において液化するために、前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)は、前記液化部材(12)と、前記少なくとも1つのヒータ(13、14)と、前記少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)とを制御するように構成されていることを特徴とする、[3]又は[4]に従属する[6]に記載の装置。
[8] 前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)は、所定の閾値圧力未満に前記タンク(2)中の圧力を維持するために、前記液化部材(12)と、前記少なくとも1つのヒータ(13、14)と、前記少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)とを制御するように構成されていることを特徴とする、[7]に記載の装置。
[9] 前記タンク(2)中の圧力を感知する圧力センサ(22)、前記タンク(2)中の温度を感知する温度センサ、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中の圧力を感知する圧力センサ(18)、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中の温度を感知する温度センサのうちの少なくとも1つを備え、前記少なくとも1つのセンサ(18、22)は、前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)に接続されていることを特徴とする、[6]から[8]のいずれか一項に記載の装置。
[10] 前記ポンプ(3)は、所定の吸込水頭損失(NPSH)を有し、前記ポンプ(3)の前記吸込水頭損失(NPSH)だけ増加させられる、およびことによっては、前記タンク(1)を前記ポンプ(3)に接続する前記吸込管(5)の配管により引き起こされる前記水頭損失の値だけやはり増加させられる前記極低温流体の飽和圧に少なくとも等しく前記タンク(2)中又は前記吸込管(5)中の圧力を維持するために、前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)は、前記液化部材(12)と、前記少なくとも1つのヒータ(13、14)と、前記少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)とを制御するように構成されていることを特徴とする、[7]から[9]のいずれか一項に記載の装置。
[11] [1]から[10]のいずれか一項に記載の流体供給装置を用いて流体を供給する方法において、前記ポンプ(3)がスイッチオフされる期間中、かつ前記タンク(2)中の圧力が所定の閾値に到達するとき、前記タンク(2)から前記バッファ貯蔵ボリューム(8)へ気化したガスを移送するステップと、移送されたガスが前記液化部材(12)により前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中で液化される液化ステップとを備えることを特徴とする方法。
[12] 前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中の前記液体レベルが設定限界レベルに到達するときに、液体が前記バッファ貯蔵ボリューム(8)から前記タンク(2)へ移送されることを特徴とする、[11]に記載の方法。
[13] (一方向又は両方向に)前記バッファ貯蔵ボリューム(8)と前記タンク(2)の間の流体の少なくとも1つの移送は、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)内の圧力と前記タンク(2)内の圧力との間の圧力差を確立することによると共に、((1つ又は複数の)弁の開放により)これらの後者を流体連通におくことにより実行されることを特徴とする、[12]に記載の方法。
[14] 前記ポンプの前記第2の出口(7)と前記ポンプ(3)の前記入口(4)と前記吸込パイプ(5)とを介して前記バッファ貯蔵ボリューム(8)から前記タンク(2)へ液体を移送することにより前記ポンプ(3)を冷却するステップを備えることを特徴とする、[11]から[13]のいずれか一項に記載の方法。
[15] 前記ポンプ(3)をスイッチオンし、前記吸込パイプ(5)と前記ポンプの前記入口(4)と前記ポンプ(3)の出口(7)とを介して前記タンク(2)から前記バッファ貯蔵ボリューム(8)へ液体を移送することにより前記ポンプ(3)を冷却するステップを備え、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)において気化されたガスの少なくとも一部は、前記液化部材(12)により液化されることを特徴とする、[11]から[14]のいずれか一項に記載の方法。
Claims (15)
- 液体ガス混合物の形態で極低温温度でガス燃料を貯蔵するソースタンク(2)と、吸込管(5)を介して前記ソースタンク(2)の下部に接続された吸込口(4)、高圧流体を使用者に供給するための高圧の第1の出口(6)、及び戻りパイプ(9)を介して前記ソースタンク(2)の上部に接続されたガス抜き用の第2の出口(7)を備えるクライオポンプ(3)と、を備えた流体を供給する装置(1)であって、該装置(1)は、
極低温バッファ貯蔵ボリューム(8)と、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)の下部を前記ソースタンク(2)に接続する前記吸込管とは異なる第1のパイプ(10)と、前記ソースタンク(2)の前記上部を前記バッファ貯蔵ボリューム(8)に接続する第2のパイプ(11)とを備えると共に、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中のガスを液化する液化部材(12)を備えることを特徴とする装置(1)。 - 前記第2のパイプ(11)は、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)の上部に接続された第1の端部と、前記戻りパイプ(9)に接続された第2の端部とを有し、つまり、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)は、前記戻りパイプ(9)を介して前記ソースタンク(2)に接続されているとともに、前記クライオポンプ(3)の前記第2の出口(7)に接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記バッファ貯蔵ボリューム(8)は、内部の圧力を増加させるつもりで前記バッファ貯蔵ボリューム(8)内に収容された流体を選択的に加熱する少なくとも1つのヒータ(13、14)を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記バッファ貯蔵ボリューム(8)は、前記バッファ貯蔵ボリュームの前記上部および前記下部にそれぞれ配置された2つのヒータ(13、14)を備えることを特徴とする、請求項3に記載の装置。
- 前記吸込管(5)、前記戻りパイプ(9)、前記第1のパイプ(10)、前記第2のパイプ(11)の少なくとも1つは、少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)、特に、少なくとも1つの制御された弁を備えることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)に接続されていると共に前記液化部材(12)に接続されているデータを取得し、記憶し、処理する部材(130)を備えることを特徴とする、請求項5に記載の装置。
- 前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)は、1つ又は複数の前記ヒータ(13、14)にも接続されており、前記装置において気化された前記ガスの少なくとも一部を前記バッファ貯蔵ボリューム(8)において液化するために、前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)は、前記液化部材(12)と、前記少なくとも1つのヒータ(13、14)と、前記少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)とを制御するように構成されていることを特徴とする、請求項3又は4に従属する請求項6に記載の装置。
- 前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)は、所定の閾値圧力未満に前記ソースタンク(2)中の圧力を維持するために、前記液化部材(12)と、前記少なくとも1つのヒータ(13、14)と、前記少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)とを制御するように構成されていることを特徴とする、請求項7に記載の装置。
- 前記ソースタンク(2)中の圧力を感知する圧力センサ(22)、前記ソースタンク(2)中の温度を感知する温度センサ、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中の圧力を感知する圧力センサ(18)、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中の温度を感知する温度センサのうちの少なくとも1つを備え、前記少なくとも1つのセンサ(18、22)は、前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)に接続されていることを特徴とする、請求項6から8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記クライオポンプ(3)は、所定の吸込水頭損失(NPSH)を有し、前記クライオポンプ(3)の前記吸込水頭損失(NPSH)だけ増加させられる、およびことによっては、前記ソースタンク(2)を前記クライオポンプ(3)に接続する前記吸込管(5)の配管により引き起こされる前記吸込水頭損失の値だけやはり増加させられる極低温流体の飽和圧に少なくとも等しく前記ソースタンク(2)中又は前記吸込管(5)中の圧力を維持するために、前記データを取得し、記憶し、処理する部材(130)は、前記液化部材(12)と、前記少なくとも1つのヒータ(13、14)と、前記少なくとも1つの弁(15、19、110、111、211)とを制御するように構成されていることを特徴とする、請求項7から9のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1から10のいずれか一項に記載の流体を供給する装置を用いて流体を供給する方法において、前記クライオポンプ(3)がスイッチオフされる期間中、かつ前記ソースタンク(2)中の圧力が所定の閾値に到達するとき、前記ソースタンク(2)から前記バッファ貯蔵ボリューム(8)へ気化したガスを移送するステップと、移送されたガスが前記液化部材(12)により前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中で液化される液化ステップとを備えることを特徴とする方法。
- 前記バッファ貯蔵ボリューム(8)中の液体レベルが設定限界レベルに到達するときに、液体が前記バッファ貯蔵ボリューム(8)から前記ソースタンク(2)へ移送されることを特徴とする、請求項11に記載の方法。
- 一方向又は両方向への、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)と前記ソースタンク(2)の間の流体の少なくとも1つの移送は、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)内の圧力と前記ソースタンク(2)内の圧力との間の圧力差を確立することによると共に、1つ又は複数の弁の開放により、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)と前記ソースタンク(2)とを流体連通におくことにより実行されることを特徴とする、請求項12に記載の方法。
- 前記クライオポンプの前記第2の出口(7)と前記クライオポンプ(3)の前記吸込口(4)と前記吸込管(5)とを介して前記バッファ貯蔵ボリューム(8)から前記ソースタンク(2)へ液体を移送することにより前記クライオポンプ(3)を冷却するステップを備えることを特徴とする、請求項11から13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記クライオポンプ(3)をスイッチオンし、前記吸込管(5)と前記クライオポンプの前記入口(4)と前記クライオポンプ(3)の出口(7)とを介して前記ソースタンク(2)から前記バッファ貯蔵ボリューム(8)へ液体を移送することにより前記クライオポンプ(3)を冷却するステップを備え、前記バッファ貯蔵ボリューム(8)において気化されたガスの少なくとも一部は、前記液化部材(12)により液化されることを特徴とする、請求項11から14のいずれか一項に記載の方法。
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