JP5528555B2 - バルク超高純度ヘリウムの供給及び使用のための方法及びシステム - Google Patents
バルク超高純度ヘリウムの供給及び使用のための方法及びシステムInfo
- Publication number
- JP5528555B2 JP5528555B2 JP2012522885A JP2012522885A JP5528555B2 JP 5528555 B2 JP5528555 B2 JP 5528555B2 JP 2012522885 A JP2012522885 A JP 2012522885A JP 2012522885 A JP2012522885 A JP 2012522885A JP 5528555 B2 JP5528555 B2 JP 5528555B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high purity
- purity helium
- ultra
- container
- ultra high
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C9/00—Methods or apparatus for discharging liquefied or solidified gases from vessels not under pressure
- F17C9/02—Methods or apparatus for discharging liquefied or solidified gases from vessels not under pressure with change of state, e.g. vaporisation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C5/00—Methods or apparatus for filling containers with liquefied, solidified, or compressed gases under pressures
- F17C5/06—Methods or apparatus for filling containers with liquefied, solidified, or compressed gases under pressures for filling with compressed gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
- F17C2201/01—Shape
- F17C2201/0104—Shape cylindrical
- F17C2201/0109—Shape cylindrical with exteriorly curved end-piece
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
- F17C2201/03—Orientation
- F17C2201/035—Orientation with substantially horizontal main axis
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
- F17C2201/05—Size
- F17C2201/054—Size medium (>1 m3)
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2203/00—Vessel construction, in particular walls or details thereof
- F17C2203/03—Thermal insulations
- F17C2203/0304—Thermal insulations by solid means
- F17C2203/0308—Radiation shield
- F17C2203/0312—Radiation shield cooled by external means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2203/00—Vessel construction, in particular walls or details thereof
- F17C2203/03—Thermal insulations
- F17C2203/0304—Thermal insulations by solid means
- F17C2203/0308—Radiation shield
- F17C2203/0316—Radiation shield cooled by vaporised gas from the interior
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2203/00—Vessel construction, in particular walls or details thereof
- F17C2203/03—Thermal insulations
- F17C2203/0391—Thermal insulations by vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2203/00—Vessel construction, in particular walls or details thereof
- F17C2203/06—Materials for walls or layers thereof; Properties or structures of walls or their materials
- F17C2203/0602—Wall structures; Special features thereof
- F17C2203/0612—Wall structures
- F17C2203/0626—Multiple walls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/01—Mounting arrangements
- F17C2205/0123—Mounting arrangements characterised by number of vessels
- F17C2205/013—Two or more vessels
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/01—Mounting arrangements
- F17C2205/0153—Details of mounting arrangements
- F17C2205/018—Supporting feet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0323—Valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0323—Valves
- F17C2205/0332—Safety valves or pressure relief valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0338—Pressure regulators
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0341—Filters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
- F17C2221/01—Pure fluids
- F17C2221/016—Noble gases (Ar, Kr, Xe)
- F17C2221/017—Helium
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
- F17C2221/05—Ultrapure fluid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/01—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the phase
- F17C2223/0107—Single phase
- F17C2223/0115—Single phase dense or supercritical, i.e. at high pressure and high density
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/01—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the phase
- F17C2223/0146—Two-phase
- F17C2223/0153—Liquefied gas, e.g. LPG, GPL
- F17C2223/0161—Liquefied gas, e.g. LPG, GPL cryogenic, e.g. LNG, GNL, PLNG
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/03—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the pressure level
- F17C2223/033—Small pressure, e.g. for liquefied gas
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/04—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by other properties of handled fluid before transfer
- F17C2223/042—Localisation of the removal point
- F17C2223/046—Localisation of the removal point in the liquid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2225/00—Handled fluid after transfer, i.e. state of fluid after transfer from the vessel
- F17C2225/01—Handled fluid after transfer, i.e. state of fluid after transfer from the vessel characterised by the phase
- F17C2225/0107—Single phase
- F17C2225/0123—Single phase gaseous, e.g. CNG, GNC
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2225/00—Handled fluid after transfer, i.e. state of fluid after transfer from the vessel
- F17C2225/03—Handled fluid after transfer, i.e. state of fluid after transfer from the vessel characterised by the pressure level
- F17C2225/035—High pressure, i.e. between 10 and 80 bars
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2225/00—Handled fluid after transfer, i.e. state of fluid after transfer from the vessel
- F17C2225/04—Handled fluid after transfer, i.e. state of fluid after transfer from the vessel characterised by other properties of handled fluid after transfer
- F17C2225/042—Localisation of the filling point
- F17C2225/043—Localisation of the filling point in the gas
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0302—Heat exchange with the fluid by heating
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
- F17C2227/03—Heat exchange with the fluid
- F17C2227/0367—Localisation of heat exchange
- F17C2227/0388—Localisation of heat exchange separate
- F17C2227/0393—Localisation of heat exchange separate using a vaporiser
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/03—Control means
- F17C2250/032—Control means using computers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/03—Control means
- F17C2250/034—Control means using wireless transmissions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/03—Control means
- F17C2250/036—Control means using alarms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0404—Parameters indicated or measured
- F17C2250/0408—Level of content in the vessel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0404—Parameters indicated or measured
- F17C2250/043—Pressure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0404—Parameters indicated or measured
- F17C2250/0478—Position or presence
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/04—Indicating or measuring of parameters as input values
- F17C2250/0486—Indicating or measuring characterised by the location
- F17C2250/0491—Parameters measured at or inside the vessel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
- F17C2250/07—Actions triggered by measured parameters
- F17C2250/072—Action when predefined value is reached
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2265/00—Effects achieved by gas storage or gas handling
- F17C2265/06—Fluid distribution
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2270/00—Applications
- F17C2270/01—Applications for fluid transport or storage
- F17C2270/0165—Applications for fluid transport or storage on the road
- F17C2270/0168—Applications for fluid transport or storage on the road by vehicles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2270/00—Applications
- F17C2270/05—Applications for industrial use
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2270/00—Applications
- F17C2270/05—Applications for industrial use
- F17C2270/0518—Semiconductors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
前記方法が低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器を提供するステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記一次容器が、一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記方法がさらに、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器を提供するステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記二次容器が、二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を前記一次容器の内部容器区室に分配することができ、前記二次容器が、前記一次容器と超高純度ヘリウム気体に関して流体連絡し、前記二次容器が、二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記方法がさらに、前記一次容器及び/又は前記二次容器から少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場に超高純度ヘリウム気体を任意選択で配送するステップを含み、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、そこを通る前記使用現場への超高純度ヘリウム気体の流量を制御するための背圧弁を備え、
前記方法がさらに、前記二次容器から前記一次容器に超高純度ヘリウム流体を入れるステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム気体を含み、前記超高純度ヘリウム気体が、前記一次容器から超高純度ヘリウム液体を放出するのに十分な圧力で前記一次容器内に入れられ、
前記方法がさらに、前記超高純度ヘリウム液体を前記一次容器から少なくとも1つの気化装置に搬送するステップを含み、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して超高純度ヘリウム液体を気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して超高純度ヘリウム気体を気化装置から分配することができ、
前記方法がさらに、前記気化装置内で前記超高純度ヘリウム液体の相転移を行って、超高純度ヘリウム気体を生成するステップを含み、
前記方法がさらに、前記超高純度ヘリウム気体を前記気化装置から前記使用現場に配送するステップを含む
ことを特徴とする方法に関する。
前記システムが、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器を備え、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記一次容器が、一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記システムがさらに、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器を備え、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記二次容器が、二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を前記一次容器の内部容器区室に分配することができ、前記二次容器が、前記一次容器と超高純度ヘリウム気体に関して流体連絡し、前記二次容器が、二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記システムがさらに、二次容器の上部又は上部付近にある少なくとも1つの出口開口から、一次容器の上部又は上部付近にある少なくとも1つの入口開口に外から延びる超高純度ヘリウム気体供給ラインを備え、入口開口を通して超高純度ヘリウム気体を前記一次容器の内部容器区室に分配することができ、超高純度ヘリウム気体供給ラインが、そこを通る超高純度ヘリウム気体の流量を制御するために少なくとも1つの超高純度ヘリウム気体流量制御弁を中に含み、システムがさらに、少なくとも1つのエコノマイザ装置を備え、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、そこを通る前記使用現場への超高純度ヘリウム気体の流量を制御するための背圧弁を備え、
前記システムがさらに、少なくとも1つの気化装置を備え、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して超高純度ヘリウム液体を気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して超高純度ヘリウム気体を気化装置から分配することができ、
前記システムがさらに、一次容器の底部よりも上方にある少なくとも1つの出口開口から、気化装置の少なくとも1つの入口開口に外から延びる超高純度ヘリウム液体放出ラインを備え、入口開口を通して超高純度ヘリウム液体を気化装置に分配することができ、超高純度ヘリウム液体供給ラインが、そこを通る超高純度ヘリウム液体の流量を制御するために少なくとも1つの超高純度ヘリウム液体流量制御弁を中に含み、
前記システムがさらに、気化装置の少なくとも1つの出口開口から前記使用現場に外から延びる超高純度ヘリウム気体放出ラインを備え、超高純度ヘリウム気体放出ラインが、そこを通る超高純度ヘリウム気体の流量を制御するために少なくとも1つの超高純度ヘリウム気体流量制御弁を中に含む
ことを特徴とするシステムに関する。
前記方法が、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器を提供するステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記一次容器が、一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記方法がさらに、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器を提供するステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記二次容器が、二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を前記一次容器の内部容器区室に分配することができ、前記二次容器が、前記一次容器と超高純度ヘリウム気体に関して流体連絡し、前記二次容器が、二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記方法がさらに、前記一次容器及び/又は前記二次容器から少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場に超高純度ヘリウム気体を任意選択で配送するステップを含み、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、そこを通る前記使用現場への超高純度ヘリウム気体の流量を制御するための背圧弁を備え、
前記方法がさらに、前記二次容器から前記一次容器に超高純度ヘリウム流体を入れるステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム気体を含み、前記超高純度ヘリウム気体が、前記一次容器から超高純度ヘリウム液体を放出するのに十分な圧力で前記一次容器内に入れられ、
前記方法がさらに、前記超高純度ヘリウム液体を前記一次容器から少なくとも1つの気化装置に搬送するステップを含み、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して超高純度ヘリウム液体を気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して超高純度ヘリウム気体を気化装置から分配することができ、
前記方法がさらに、前記気化装置内で前記超高純度ヘリウム液体の相転移を行って、超高純度ヘリウム気体を生成するステップを含み、
前記方法がさらに、前記超高純度ヘリウム気体を前記気化装置から前記使用現場に配送するステップを含み、
前記方法がさらに、二次容器から前記一次容器の内部容器区室内に供給される前記超高純度ヘリウム気体、前記1つ又は複数の熱遮蔽層、及び/又は少なくとも1つのエコノマイザ装置を利用して、前記使用現場への前記超高純度ヘリウム気体の配送を制御するステップを含む
ことを特徴とする方法に関する。
前記方法が、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器を提供するステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記一次容器が、一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記方法がさらに、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器を提供するステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記二次容器が、二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を前記一次容器の内部容器区室に分配することができ、前記二次容器が、前記一次容器と超高純度ヘリウム気体に関して流体連絡し、前記二次容器が、二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記方法がさらに、前記一次容器及び/又は前記二次容器から(例えば、前記一次容器及び/又は前記二次容器の蒸気空間及び/又は熱遮蔽層から)少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場に超高純度ヘリウム気体を配送するステップを任意選択で含み、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、そこを通る前記使用現場への超高純度ヘリウム気体の流量を制御するための背圧弁を備え、
前記方法がさらに、前記二次容器から(例えば、前記二次容器の蒸気空間及び/又は熱遮蔽層から)前記一次容器に超高純度ヘリウム流体を入れるステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム気体を含み、前記超高純度ヘリウム気体が、前記一次容器から超高純度ヘリウム液体を放出するのに十分な圧力で前記一次容器内に入れられ、
前記方法がさらに、前記超高純度ヘリウム液体を前記一次容器から少なくとも1つの気化装置に搬送するステップを含み、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して超高純度ヘリウム液体を気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して超高純度ヘリウム気体を気化装置から分配することができ、
前記方法がさらに、前記気化装置内で前記超高純度ヘリウム液体の相転移を行って、超高純度ヘリウム気体を生成するステップを含み、
前記方法がさらに、前記超高純度ヘリウム気体を前記気化装置から前記使用現場に配送するステップを含む
ことを特徴とする方法に関する。
前記方法が、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器を提供するステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記一次容器が、一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記方法がさらに、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器を提供するステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記二次容器が、二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を前記一次容器の内部容器区室に分配することができ、前記二次容器が、前記一次容器と超高純度ヘリウム気体に関して流体連絡し、前記二次容器が、二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記方法がさらに、前記一次容器及び/又は前記二次容器から(例えば、前記一次容器及び/又は前記二次容器の蒸気空間及び/又は熱遮蔽層から)少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場に超高純度ヘリウム気体を配送するステップを任意選択で含み、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、そこを通る前記使用現場への超高純度ヘリウム気体の流量を制御するための背圧弁を備え、
前記方法がさらに、前記二次容器から(例えば、前記二次容器の蒸気空間及び/又は熱遮蔽層から)前記一次容器に超高純度ヘリウム流体を入れるステップを含み、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム気体を含み、前記超高純度ヘリウム気体が、前記一次容器から超高純度ヘリウム液体を放出するのに十分な圧力で前記一次容器内に入れられ、
前記方法がさらに、前記超高純度ヘリウム液体を前記一次容器から少なくとも1つの気化装置に搬送するステップを含み、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して超高純度ヘリウム液体を気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して超高純度ヘリウム気体を気化装置から分配することができ、
前記方法がさらに、前記気化装置内で前記超高純度ヘリウム液体の相転移を行って、超高純度ヘリウム気体を生成するステップを含み、
前記方法がさらに、前記超高純度ヘリウム気体を前記気化装置から前記使用現場に配送するステップを含み、
前記方法がさらに、二次容器から前記一次容器の内部容器区室内に供給される前記超高純度ヘリウム気体、前記1つ又は複数の熱遮蔽層、及び/又は少なくとも1つのエコノマイザ装置を利用して、前記使用現場への前記超高純度ヘリウム気体の配送を制御するステップを含む
ことを特徴とする方法に関する。
前記システムが、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器を備え、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記一次容器が、一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記システムがさらに、低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器を備え、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液体及び気体を含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液体及び気体を保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を備え、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層と、1つ又は複数の熱遮蔽層とを有し、真空断熱層と熱遮蔽層が、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して位置合わせされ、前記二次容器が、二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、超高純度ヘリウム気体を前記一次容器の内部容器区室に分配することができ、前記二次容器が、前記一次容器と超高純度ヘリウム気体に関して流体連絡し、前記二次容器が、二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、その出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液体を内部容器区室から分配することができ、
前記システムがさらに、二次容器の上部又は上部付近にある少なくとも1つの出口開口から、一次容器の上部又は上部付近にある少なくとも1つの入口開口に外から延びる超高純度ヘリウム気体供給ラインを備え、入口開口を通して超高純度ヘリウム気体を前記一次容器の内部容器区室に分配することができ、超高純度ヘリウム気体供給ラインが、そこを通る超高純度ヘリウム気体の流量を制御するために少なくとも1つの超高純度ヘリウム気体流量制御弁を中に含み、システムがさらに、少なくとも1つのエコノマイザ装置を備え、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、そこを通る前記使用現場への超高純度ヘリウム気体の流量を制御するための背圧弁を備え、
前記システムがさらに、少なくとも1つの気化装置を備え、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、入口開口を通して超高純度ヘリウム液体を気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、出口開口を通して超高純度ヘリウム気体を気化装置から分配することができ、
前記システムがさらに、一次容器の底部よりも上方にある少なくとも1つの出口開口から、気化装置の少なくとも1つの入口開口に外から延びる超高純度ヘリウム液体放出ラインを備え、入口開口を通して超高純度ヘリウム液体を気化装置に分配することができ、超高純度ヘリウム液体供給ラインが、そこを通る超高純度ヘリウム液体の流量を制御するために少なくとも1つの超高純度ヘリウム液体流量制御弁を中に含み、
前記システムがさらに、気化装置の少なくとも1つの出口開口から前記使用現場に外から延びる超高純度ヘリウム気体放出ラインを備え、超高純度ヘリウム気体放出ラインが、そこを通る超高純度ヘリウム気体の流量を制御するために少なくとも1つの超高純度ヘリウム気体流量制御弁を中に含む
ことを特徴とするシステムに関する。
Claims (20)
- 超高純度ヘリウムガスを使用現場に配送するための方法において、
極低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器を提供するステップであって、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液及びガスを含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液及びガスを保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を有し、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層、および1つ又は複数の熱遮蔽層を有し、前記真空断熱層及び前記熱遮蔽層は、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して並べられ、前記一次容器が、前記一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、前記入口開口を通して、超高純度ヘリウムガスを前記内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、前記一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液を前記内部容器区室から分配することができるステップと、
極低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器を提供するステップであって、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液及びガスを含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液及びガスを保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を有し、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層、及び1つ又は複数の熱遮蔽層を有し、前記真空断熱層及び前記熱遮蔽層は、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して並べられ、前記二次容器が、前記二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、超高純度ヘリウムガスを前記一次容器の前記内部容器区室に分配することができ、前記二次容器は、前記一次容器と超高純度ヘリウムガスの流れが連絡し、前記二次容器が、前記二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液を前記内部容器区室から分配することができるステップと、
任意選択で、前記一次容器及び/又は前記二次容器から少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場に超高純度ヘリウムガスを配送するステップであって、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの流量を制御するための背圧弁を有しているステップと、
前記二次容器から前記一次容器に超高純度ヘリウム流体を入れるステップであって、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウムガスを含み、前記超高純度ヘリウムガスが、前記一次容器から超高純度ヘリウム液を放出するのに十分な圧力で前記一次容器内に入れられるステップと、
前記超高純度ヘリウム液を前記一次容器から少なくとも1つの気化装置に搬送するステップであって、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、前記入口開口を通して超高純度ヘリウム液を前記気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して超高純度ヘリウムガスを前記気化装置から分配することができるステップと、
前記気化装置内で前記超高純度ヘリウム液の相転移を行って、超高純度ヘリウムガスを生成するステップと、
前記超高純度ヘリウムガスを前記気化装置から前記使用現場に配送するステップと
を含む方法。 - (i)前記二次容器から前記一次容器の前記内部容器区室内に供給される前記超高純度ヘリウムガス、(ii)前記1つ又は複数の熱遮蔽層、及び/又は(iii)少なくとも1つのエコノマイザ装置を利用して、前記使用現場への前記超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御するステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- (i)前記二次容器から前記一次容器の前記内部容器区室内に供給される前記超高純度ヘリウムガスが、前記少なくとも1つの一次容器から前記少なくとも1つの気化装置への前記超高純度ヘリウム液の配送速度、前記少なくとも1つの気化装置から前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの配送速度、及び前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器から前記少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御し、(ii)前記1つ又は複数の熱遮蔽層が、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器内の前記超高純度ヘリウム液の正味蒸発速度を制御し、前記正味蒸発速度が、前記少なくとも1つの一次容器から前記少なくとも1つの気化装置への前記超高純度ヘリウム液の配送速度、及び前記少なくとも1つの気化装置から前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御し、且つ前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器から前記少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場への前記超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御し、(iii)前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器内の超高純度ヘリウム液を維持しながら、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器から前記使用現場への前記超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御する請求項1に記載の方法。
- 前記1つ又は複数の熱遮蔽層が、熱遮蔽流体を保持するために内部区室を有し、前記熱遮蔽流体が液体又はガスを含む請求項1に記載の方法。
- 前記1つ又は複数の熱遮蔽層が、液体窒素(LN2)熱遮蔽層及びヘリウムガス熱遮蔽層を有する請求項1に記載の方法。
- (i)前記一次容器及び/又は前記二次容器の蒸気空間及び/又は熱遮蔽層から、少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場に超高純度ヘリウムガスを配送するステップと、(ii)前記二次容器の蒸気空間及び/又は熱遮蔽層から、前記一次容器に超高純度ヘリウムガスを入れるステップであって、前記超高純度ヘリウムガスが、前記一次容器から超高純度ヘリウム液を放出するのに十分な圧力で前記一次容器内に入れられるステップとの少なくとも一方を含む請求項1に記載の方法。
- 前記熱遮蔽層が、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器内への熱の漏れを減少し、それによって前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器内の前記超高純度ヘリウム液の正味蒸発速度を減少させる請求項1に記載の方法。
- 前記熱遮蔽層が、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器内への熱の漏れを減少し、それによって前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器内の前記超高純度ヘリウム液の正味蒸発速度を減少させ、またそれによって前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器から引き抜く必要がある超高純度ヘリウムガスの量を減少させて、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器の最大許容作業圧力を維持する請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの一次容器及び/又は前記少なくとも1つの二次容器内の超高純度ヘリウム液を維持しながら、前記少なくとも1つの一次容器及び/又は前記少なくとも1つの二次容器から超高純度ヘリウムガスを引き出して前記使用現場に配送するように前記少なくとも1つのエコノマイザ装置を制御するステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器がISOコンテナを有する請求項1に記載の方法。
- 前記超高純度ヘリウムガスが、前記使用現場で少なくとも約10Nm3/時の使用速度で使用される請求項1に記載の方法。
- 前記使用現場が半導体製造現場である請求項1に記載の方法。
- (i)前記超高純度ヘリウムガスが、堆積チャンバ内に前駆体を導入するためのキャリア・ガスとして使用され、(ii)前記超高純度ヘリウムガスが、LCDプロセスでのドライ・エッチングのために使用され、(iii)前記超高純度ヘリウムガスが、シリコン層のエッチング・プロセスの速度及び均一性を制御するために背面冷却で使用され、又は(iv)前記超高純度ヘリウムガスが、漏れ及びライン・パージの検査のために使用される請求項1に記載の方法。
- 引き抜かれる前記超高純度ヘリウム液中の少なくとも1つの不純物の濃度が所定の限度値になる温度以下の温度で、前記一次容器から超高純度ヘリウム液を引き抜くステップをさらに含み、前記少なくとも1つの不純物が、水、二酸化炭素、酸素、アルゴン、及び窒素から選択される請求項1に記載の方法。
- 前記超高純度ヘリウムガスを前記使用現場に配送する前に、前記超高純度ヘリウムガスを低温圧力保護(LTPP)ユニット及び濾過装置に通すステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 超高純度ヘリウムガスを使用現場に配送するためのシステムにおいて、
極低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器であって、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液及びガスを含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液及びガスを保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を有し、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層、及び1つ又は複数の熱遮蔽層を有し、前記真空断熱層及び前記熱遮蔽層は、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して並べられ、前記一次容器が、前記一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、前記入口開口を通して、超高純度ヘリウムガスを前記内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、前記一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液を前記内部容器区室から分配することができる一次容器と、
極低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器であって、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液及びガスを含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液及びガスを保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を有し、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層、及び1つ又は複数の熱遮蔽層を有し、前記真空断熱層及び前記熱遮蔽層は、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して並べられ、前記二次容器が、前記二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、超高純度ヘリウムガスを前記一次容器の前記内部容器区室に分配することができ、前記二次容器は、前記一次容器と超高純度ヘリウムガスの流れが連絡し、前記二次容器が、前記二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液を前記内部容器区室から分配することができる二次容器と、
前記二次容器の上部又は上部付近にある少なくとも1つの出口開口から、前記一次容器の上部又は上部付近にある前記少なくとも1つの入口開口に外から延びる超高純度ヘリウムガス供給ラインであって、前記入口開口を通して超高純度ヘリウムガスを前記一次容器の前記内部容器区室に分配することができ、前記超高純度ヘリウムガス供給ラインが、前記超高純度ヘリウムガスの流量を制御するための少なくとも1つの超高純度ヘリウムガス流量制御弁、及び少なくとも1つのエコノマイザ装置を有し、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの流量を制御するための背圧弁を有している超高純度ヘリウムガス供給ラインと、
少なくとも1つの気化装置であって、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、前記入口開口を通して超高純度ヘリウム液を前記気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して超高純度ヘリウムガスを前記気化装置から分配することができる気化装置と、
前記一次容器の底部よりも上方にある少なくとも1つの出口開口から、前記気化装置の前記少なくとも1つの入口開口まで外部に延びる超高純度ヘリウム液放出ラインであって、前記入口開口を通して超高純度ヘリウム液を前記気化装置に分配することができ、前記超高純度ヘリウム液供給ラインが、前記超高純度ヘリウム液の流量を制御するために少なくとも1つの超高純度ヘリウム液流量制御弁を内部に含む超高純度ヘリウム液放出ラインと、
前記気化装置の少なくとも1つの出口開口から前記使用現場まで外部に延びる超高純度ヘリウムガス放出ラインであって、前記超高純度ヘリウムガス放出ラインが、前記超高純度ヘリウムガスの流量を制御するために少なくとも1つの超高純度ヘリウムガス流量制御弁を内部に含む超高純度ヘリウムガス放出ラインと
を有するシステム。 - 前記超高純度ヘリウムガス放出ラインが、低温圧力保護(LTPP)ユニット及び濾過装置を含む請求項16に記載のシステム。
- 使用現場への超高純度ヘリウムガスの配送を制御するための方法において、
極低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの一次容器を提供するステップであって、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液及びガスを含み、前記一次容器が、前記超高純度ヘリウム液及びガスを保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を有し、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層、及び1つ又は複数の熱遮蔽層を有し、前記真空断熱層及び前記熱遮蔽層は、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して並べられ、前記一次容器が、前記一次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの入口開口を有し、前記入口開口を通して、超高純度ヘリウムガスを前記内部容器区室に供給することができ、前記一次容器が、前記一次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液を前記内部容器区室から分配することができるステップと、
極低温超高純度ヘリウム流体を含む少なくとも1つの二次容器を提供するステップであって、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウム液及びガスを含み、前記二次容器が、前記超高純度ヘリウム液及びガスを保持するために内部容器区室を形成するように構成された1つ又は複数の壁部材を有し、前記内部容器区室が、1つ又は複数の真空断熱層、及び1つ又は複数の熱遮蔽層を有し、前記真空断熱層及び前記熱遮蔽層は、前記1つ又は複数の壁部材に隣接する前記内部容器区室の周縁部で互いに隣接して並べられ、前記二次容器が、前記二次容器の上部又は上部付近に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、超高純度ヘリウムガスを前記一次容器の前記内部容器区室に分配することができ、前記二次容器は、前記一次容器と超高純度ヘリウムガスの流れが連絡し、前記二次容器が、前記二次容器の底部よりも上方に少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して、前記超高純度ヘリウム液を前記内部容器区室から分配することができるステップと、
任意選択で、前記一次容器及び/又は前記二次容器から少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場に超高純度ヘリウムガスを配送するステップであって、前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの流量を制御するための背圧弁を有しているステップと、
前記二次容器から前記一次容器に超高純度ヘリウム流体を入れるステップであって、前記超高純度ヘリウム流体が、超高純度ヘリウムガスを含み、前記超高純度ヘリウムガスが、前記一次容器から超高純度ヘリウム液を放出するのに十分な圧力で前記一次容器内に入れられるステップと、
前記超高純度ヘリウム液を前記一次容器から少なくとも1つの気化装置に搬送するステップであって、前記気化装置が、少なくとも1つの入口開口を有し、前記入口開口を通して超高純度ヘリウム液を前記気化装置に供給することができ、前記気化装置が、少なくとも1つの出口開口を有し、前記出口開口を通して超高純度ヘリウムガスを前記気化装置から分配することができるステップと、
前記気化装置内で前記超高純度ヘリウム液の相転移を行って、超高純度ヘリウムガスを生成するステップと、
前記超高純度ヘリウムガスを前記気化装置から前記使用現場に配送するステップと、
前記二次容器から前記一次容器の前記内部容器区室内に供給される前記超高純度ヘリウムガス、前記1つ又は複数の熱遮蔽層、及び/又は少なくとも1つのエコノマイザ装置を利用して、前記使用現場への前記超高純度ヘリウムガスの配送を制御するステップと
を含む方法。 - (i)前記二次容器から前記一次容器の前記内部容器区室内に供給される前記超高純度ヘリウムガスが、前記少なくとも1つの一次容器から前記少なくとも1つの気化装置への前記超高純度ヘリウム液の配送速度、前記少なくとも1つの気化装置から前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの配送速度、及び前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器から前記少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御し、(ii)前記1つ又は複数の熱遮蔽層が、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器内の前記超高純度ヘリウム液の正味蒸発速度を制御し、前記正味蒸発速度が、前記少なくとも1つの一次容器から前記少なくとも1つの気化装置への前記超高純度ヘリウム液の配送速度、及び前記少なくとも1つの気化装置から前記使用現場への超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御し、且つ前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器から前記少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場への前記超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御し、(iii)前記少なくとも1つのエコノマイザ装置が、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器内の超高純度ヘリウム液を維持しながら、前記少なくとも1つの一次容器及び前記少なくとも1つの二次容器から前記使用現場への前記超高純度ヘリウムガスの配送速度を制御する請求項18に記載の方法。
- (i)前記一次容器及び/又は前記二次容器の蒸気空間及び/又は熱遮蔽層から少なくとも1つのエコノマイザ装置を通して前記使用現場に超高純度ヘリウムガスを配送するステップと、(ii)前記二次容器の蒸気空間及び/又は熱遮蔽層から前記一次容器に超高純度ヘリウムガスを入れるステップであって、前記超高純度ヘリウムガスが、前記一次容器から超高純度ヘリウム液を放出するのに十分な圧力で前記一次容器内に入れられるステップとの少なくとも一方を含む請求項18に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/512,732 | 2009-07-30 | ||
US12/512,732 US20110023501A1 (en) | 2009-07-30 | 2009-07-30 | Methods and systems for bulk ultra-high purity helium supply and usage |
PCT/US2010/042276 WO2011014373A1 (en) | 2009-07-30 | 2010-07-16 | Methods and systems for bulk ultra-high purity helium supply and usage |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013500454A JP2013500454A (ja) | 2013-01-07 |
JP5528555B2 true JP5528555B2 (ja) | 2014-06-25 |
Family
ID=42791043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012522885A Expired - Fee Related JP5528555B2 (ja) | 2009-07-30 | 2010-07-16 | バルク超高純度ヘリウムの供給及び使用のための方法及びシステム |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110023501A1 (ja) |
EP (1) | EP2459923B1 (ja) |
JP (1) | JP5528555B2 (ja) |
KR (1) | KR20120038538A (ja) |
CN (1) | CN102575809B (ja) |
SG (1) | SG177760A1 (ja) |
TW (1) | TWI632628B (ja) |
WO (1) | WO2011014373A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012138306A1 (en) * | 2011-04-04 | 2012-10-11 | Ipragaz Anonim Sirketi | An embodiment that produces energy from lpg in liquid phase |
US9347615B2 (en) * | 2013-09-13 | 2016-05-24 | Air Products And Chemicals, Inc. | Low-loss cryogenic fluid supply system and method |
MX2018003646A (es) * | 2015-10-01 | 2018-04-30 | Air Liquide | Metodo y sistema de vaporizador de criogeno liquido. |
CN105443982B (zh) * | 2015-12-18 | 2019-03-01 | 北京超拓远大石油科技有限公司 | 具有远程监控功能的智能lng气化撬 |
CN107061988A (zh) * | 2017-01-17 | 2017-08-18 | 张家港富瑞氢能装备有限公司 | 撬装增压、加氢装置和撬装加氢站 |
US11231144B2 (en) * | 2018-04-26 | 2022-01-25 | Messer Industries Usa, Inc. | Methods for helium storage and supply |
CN110357053A (zh) * | 2019-08-08 | 2019-10-22 | 广东华特气体股份有限公司 | 一种氦气生产系统 |
WO2021242901A1 (en) * | 2020-05-26 | 2021-12-02 | VLP Law Group, LLP | Cryogenic nitrogen sourced gas-driven pneumatic devices |
CN112836338B (zh) * | 2020-12-29 | 2022-04-12 | 西南石油大学 | 一种液氦储罐经济安全运输范围计算方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3415069A (en) * | 1966-10-31 | 1968-12-10 | Nasa | High pressure helium purifier |
JPS5141607Y1 (ja) * | 1972-10-18 | 1976-10-09 | ||
JPS5098322U (ja) * | 1974-01-10 | 1975-08-15 | ||
JPS60155100A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 大型液体ヘリウム貯槽 |
JPS60167898U (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-07 | 株式会社 ほくさん | 液化ガスの自動切換供給システムにおけるガスエコノマイザ−装置 |
US5127230A (en) * | 1991-05-17 | 1992-07-07 | Minnesota Valley Engineering, Inc. | LNG delivery system for gas powered vehicles |
US5163409A (en) * | 1992-02-18 | 1992-11-17 | Minnesota Valley Engineering, Inc. | Vehicle mounted LNG delivery system |
US5386707A (en) * | 1992-12-31 | 1995-02-07 | Praxair Technology, Inc. | Withdrawal of cryogenic helium with low impurity from a vessel |
US5624582A (en) * | 1993-01-21 | 1997-04-29 | Vlsi Technology, Inc. | Optimization of dry etching through the control of helium backside pressure |
US5373700A (en) * | 1993-02-12 | 1994-12-20 | Mcintosh; Glen E. | Natural gas vehicle fuel vapor delivery system |
FR2747595B1 (fr) * | 1996-04-19 | 1998-08-21 | Air Liquide | Procede et installation de fourniture d'helium ultra-pur |
US5762119A (en) * | 1996-11-29 | 1998-06-09 | Golden Spread Energy, Inc. | Cryogenic gas transportation and delivery system |
TW359736B (en) * | 1997-06-20 | 1999-06-01 | Exxon Production Research Co | Systems for vehicular, land-based distribution of liquefied natural gas |
US6044647A (en) * | 1997-08-05 | 2000-04-04 | Mve, Inc. | Transfer system for cryogenic liquids |
US5894742A (en) * | 1997-09-16 | 1999-04-20 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et, L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Methods and systems for delivering an ultra-pure gas to a point of use |
GB9724168D0 (en) * | 1997-11-14 | 1998-01-14 | Air Prod & Chem | Gas control device and method of supplying gas |
FR2781868B1 (fr) * | 1998-07-29 | 2000-09-15 | Air Liquide | Installation et procede de fourniture d'helium a plusieurs lignes de production |
JP2000195806A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Nippon Sanso Corp | 半導体プロセスガス用バルク供給装置とこれを使用したガス供給方法 |
US6615861B2 (en) * | 2001-04-20 | 2003-09-09 | Chart Inc. | Liquid cylinder manifold system |
US6871792B2 (en) * | 2002-03-22 | 2005-03-29 | Chrysalis Technologies Incorporated | Apparatus and method for preparing and delivering fuel |
GB0219415D0 (en) * | 2002-08-20 | 2002-09-25 | Air Prod & Chem | Process and apparatus for cryogenic separation process |
JP4282376B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2009-06-17 | アストモスエネルギー株式会社 | 液化ガス燃料供給装置及び液化ガス燃料を供給する方法 |
US6922144B2 (en) * | 2003-10-17 | 2005-07-26 | Praxair Technology, Inc. | Monitoring system for a mobile storage tank |
-
2009
- 2009-07-30 US US12/512,732 patent/US20110023501A1/en not_active Abandoned
-
2010
- 2010-07-16 KR KR1020127005193A patent/KR20120038538A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-07-16 WO PCT/US2010/042276 patent/WO2011014373A1/en active Application Filing
- 2010-07-16 EP EP10737169.2A patent/EP2459923B1/en not_active Not-in-force
- 2010-07-16 JP JP2012522885A patent/JP5528555B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-07-16 SG SG2012005617A patent/SG177760A1/en unknown
- 2010-07-16 CN CN201080043979.0A patent/CN102575809B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-07-21 TW TW099123983A patent/TWI632628B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2459923A1 (en) | 2012-06-06 |
CN102575809A (zh) | 2012-07-11 |
TW201117311A (en) | 2011-05-16 |
JP2013500454A (ja) | 2013-01-07 |
SG177760A1 (en) | 2012-03-29 |
EP2459923B1 (en) | 2016-10-19 |
CN102575809B (zh) | 2015-03-11 |
US20110023501A1 (en) | 2011-02-03 |
WO2011014373A1 (en) | 2011-02-03 |
TWI632628B (zh) | 2018-08-11 |
KR20120038538A (ko) | 2012-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5528555B2 (ja) | バルク超高純度ヘリウムの供給及び使用のための方法及びシステム | |
US5894742A (en) | Methods and systems for delivering an ultra-pure gas to a point of use | |
JP2002048298A (ja) | バルク供給源からの液化ガスの制御された配送のための装置および方法 | |
TWI461625B (zh) | 低蒸汽壓高純度氣體輸送系統 | |
US6637212B2 (en) | Method and apparatus for the delivery of liquefied gases having constant impurity levels | |
WO2010151107A1 (en) | Device and method for the delivery of lng | |
US20090071171A1 (en) | Cryogenic liquid storage method and system | |
NO328408B1 (no) | Anordning, system og fremgangsmate for regasifisering av LNG | |
WO2015013186A1 (en) | Remote delivery of chemical reagents | |
US20070204631A1 (en) | Liquefied Chemical Gas Delivery System | |
KR20140086204A (ko) | 액화천연가스 재기화 장치 | |
KR101172827B1 (ko) | 케미칼 용액 또는 액상가스 대용량 저장탱크를 이용한 정제및 대유량 공급장치 | |
TW202309432A (zh) | 用於高壓氣體輸送的減壓系統、設備和方法 | |
KR20150109789A (ko) | Lngc 언로딩 시스템의 안전 장치 | |
JP4738766B2 (ja) | 大形極低温液化ガス貯槽 | |
KR101196372B1 (ko) | 반도체 제조설비의 가스공급장치 | |
JP6968525B2 (ja) | 液体窒素供給システム | |
Montanari et al. | Status of the LBNF cryogenic system | |
US20070163273A1 (en) | Liquid Purge for a Vaporizer | |
JP6621773B2 (ja) | 天然ガス供給システム | |
EP1756468A1 (en) | System and method for high flow delivery of nh3 for flat display panel manufacture | |
US20200119622A1 (en) | Method for controlling the ambient temperature vaporization of carbon dioxide | |
JP2006022855A (ja) | 大形極低温液化ガス貯槽装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130703 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5528555 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |