TW202212237A

TW202212237A - 傳輸裝置

Info

Publication number: TW202212237A
Application number: TW109132952A
Authority: TW
Inventors: 林仲章; 蘇閔財; 邱文山
Original assignee: 聯毅科技股份有限公司
Priority date: 2020-09-23
Filing date: 2020-09-23
Publication date: 2022-04-01

Abstract

本發明揭露一種傳輸裝置。傳輸裝置包括一分隔件、一移動組件以及一傳動機構。分隔件將傳輸裝置分隔為一第一空間及一第二空間。移動組件設置於第一空間。移動組件包括一第一磁性件，且第一磁性件鄰近於分隔件。傳動機構設置於第二空間。傳動機構包括一導引軌道、一滑塊、一第二磁性件及一傳動單元。滑塊設置於導引軌道。第二磁性件連接於滑塊，且第二磁性件鄰近於分隔件，並與第一磁性件以磁力相吸的方式相互連接。傳動單元連接於滑塊。傳動單元帶動滑塊沿著導引軌道於第二空間內移動，且第一磁性件被第二磁性件帶動於第一空間移動。

Description

傳輸裝置

本發明是關於一種傳輸裝置，特別是關於一種用以移動或傳送物件的傳輸裝置。

不少的機械設備須具有傳輸裝置，用以傳送料件、晶圓或其他物件。常見的傳輸裝置是利用一或多組線性運動模組、機械手臂的傳動機構，以達到移動、或傳送物件的功能。一般而言，傳動機構與所欲傳送的物件是設置在相同的空間內。

在一般的操作環境下，物件與傳動機構可在相同的空間內進行傳輸。然而，若物件需要在高度清潔的環境下被輸送，物件與傳動機構設置在相同空間的設計，可能會使物件與傳動機構之間相互汙染。另外，若物件是需要在較惡劣的環境下被輸送，例如高溫、高濕、或高壓的環境下，惡劣的操作環境亦可能造成傳動機構的損壞。因此，習知的傳輸裝置，其物件與傳動機構皆設置在相同的空間，實有改良之必要。

有鑑於上述課題，本發明之主要目的係在提供一種傳輸裝置，藉由分隔件、第一磁性件及第二磁性件的新穎設計，以解決習知傳輸裝置將所欲傳輸之物件及傳動機構設置在同一空間所產生的問題。

為達成上述之目的，本發明提供一種傳輸裝置。傳輸裝置包括一分隔件、一移動組件以及一傳動機構。分隔件將傳輸裝置分隔為一第一空間及一第二空間。移動組件設置於第一空間。移動組件包括一第一磁性件，且第一磁性件鄰近於分隔件。傳動機構設置於第二空間。傳動機構包括一導引軌道、一滑塊、一第二磁性件及一傳動單元。滑塊設置於導引軌道。第二磁性件連接於滑塊，且第二磁性件鄰近於分隔件，並與第一磁性件以磁力相吸的方式相互連接。傳動單元連接於滑塊。傳動單元帶動滑塊及第二磁性件沿著導引軌道於第二空間內移動，且第一磁性件被第二磁性件帶動於第一空間移動。

根據本發明之一實施例，分隔件具有相對之一第一表面及一第二表面，第一表面朝向第一空間，第二表面朝向第二空間。第一磁性件設置於第一表面，第二磁性件設置於第二表面。

根據本發明之一實施例，分隔件包括一導引槽，其位於第一表面，第一磁性件部分容置於導引槽。

根據本發明之一實施例，導引槽的延伸方向與導引軌道的延伸方向相同。

根據本發明之一實施例，傳動單元包括一螺桿、一鏈條、或一皮帶。

根據本發明之一實施例，分隔件為一腔體。

根據本發明之一實施例，傳輸裝置更包括一殼體。分隔件設置於殼體內，分隔件所分隔的第一空間及第二空間位於殼體的內部。

根據本發明之一實施例，分隔件為一板體、或一腔體。

承上所述，依據本發明之傳輸裝置，其包括分隔件、移動組件以及傳動機構。分隔件將傳輸裝置分隔為第一空間及第二空間。移動組件設置於第一空間，而傳動機構設置於第二空間。移動組件與傳動機構之間藉由第一磁性件及第二磁性件相互連接，使得傳動機構作動時，第一磁性件可被第二磁性件帶動於第一空間移動。移動組件可應用在承載物件，其位於第一空間。提供動力來源的傳動機構則位於第二空間，與第一空間不相同，故可避免物件與傳動機構之間相互汙染。另外，若物件是需要在較惡劣的環境下被輸送，由於傳動機構獨立地設置在第二空間，更可避免傳動機構受到惡劣環境的影響而損壞。

為能讓貴審查委員能更瞭解本發明之技術內容，特舉較佳具體實施例說明如下。

圖1為本發明之一實施例之傳輸裝置的示意圖，圖2為圖1所示之傳輸裝置內部的側視示意圖，圖3為圖1所示之傳輸裝置內部的俯視示意圖，請同時參考圖1、圖2及圖3所示。在本實施例中，傳輸裝置1包括一分隔件10、一移動組件20以及一傳動機構30。其中，分隔件10將傳輸裝置1分隔為一第一空間S1及一第二空間S2（如圖2所示）。具體而言，分隔件10可以為一板體、或一腔體，本實施例之分隔件10是以腔體為例。腔體（分隔件10）外側的空間為第一空間S1，而腔體（分隔件10）內部的空間為第二空間S2。在其他實施例中，如傳輸裝置1具有殼體（可先參考圖4所示之殼體40a），則分隔件10可以為板體，同樣可將殼體內部區分為第一空間S1及第二空間S2。

在本實施例中，移動組件20設置於第一空間S1，而傳動機構30設置於第二空間S2。移動組件20包括一第一磁性件21，且第一磁性件21鄰近於分隔件10。在本實施例中，第一磁性件21設置於分隔件10位於第一空間S1該側的外表面。

又，傳動機構30包括一導引軌道31、一滑塊32、一第二磁性件33及一傳動單元34。其中，滑塊32設置於導引軌道31，使滑塊32依據導引軌道31的路徑移動。在本實施例中，傳動機構30是以線性模組為例，故導引軌道31為線性滑軌。滑塊32滑設於線性滑軌（導引軌道31），使滑塊32可依據線性滑軌產生線性的移動路徑。在其他實施例中，傳動機構30亦可以是機械手臂或其他非線性運動的機構，使滑塊32可產生非線性的移動路徑。

具體而言，傳動單元34連接於滑塊32，並透過傳動單元34帶動滑塊32沿著導引軌道31於第二空間S2內移動。其中，傳動單元34可例如但不限於一螺桿、一鏈條、或一皮帶，本實施例是以皮帶為例。又，傳動機構30更包括一動力單元35，例如馬達。動力單元35連接於傳動單元34，以驅動傳動單元34帶動滑塊32移動。

在本實施例中，第二磁性件33連接於滑塊32，且第二磁性件33鄰近於分隔件10，並與第一磁性件21以磁力相吸的方式相互連接。如圖2及圖3所示，滑塊32的其中一側設置於導引軌道31，另一側（朝向分隔件10）連接第二磁性件33，使第二磁性件33可被滑塊32帶動而於第二空間S2內移動。又，第二磁性件33靠近於分隔件10。具體而言，分隔件10具有相對之一第一表面11及一第二表面12，第一表面11朝向第一空間S1，第二表面12朝向第二空間S2。第一磁性件21設置於第一表面11，第二磁性件33設置於第二表面12。當分隔件10為腔體時，第一磁性件21與第二磁性件33位於分隔件10之其中一側板的相對二表面（即第一表面11及第二表面12）。以圖2為例，第一磁性件21與第二磁性件33分別位於分隔件10之上側板的第一表面11及第二表面12，使第一磁性件21與第二磁性件33可以磁力相吸的方式相互連接。

當傳動機構30運轉，使傳動單元34帶動滑塊32及第二磁性件33沿著導引軌道31於第二空間S2移動時，位於第一空間S1的第一磁性件21亦可被第二磁性件33帶動而於第一空間S1移動。換言之，移動組件20可藉由第一磁性件21與第二磁性件33的連接關係，而在第一空間S1內移動。較佳的，分隔件10包括一導引槽13，其位於第一表面11。第一磁性件21部分容置於導引槽13，本實施例之第一磁性件21的底部容於導引槽13，使得第一磁性件21可依據導引槽13的延伸方向而移動。在本實施例中，導引槽13的延伸方向與導引軌道31的延伸方向相同，使得第一磁性件21的移動路徑與第二磁性件33相同。

又，移動組件20可包含其他元件，例如夾具、承載盤等（於後進一步說明），用以傳輸物件。由於移動組件20與傳動機構30分別設置在第一空間S1與第二空間S2，可避免物件與傳動機構30之間相互汙染。另外，若物件是需要在較惡劣的環境下被輸送（例如物件與移動組件20所在之第一空間S1為高溫、高濕的環境），由於傳動機構30獨立的設置在第二空間S2，更可避免傳動機構30受到惡劣環境的影響而損壞。因此，本實施例之傳輸裝置1可應用在半導體傳輸基板（或稱晶圓）的系統。

圖4為本發明之另一實施例之傳輸裝置的示意圖，請參考圖4所示。須先說明的是，本實施例之傳輸裝置1a與前述實施例之傳輸裝置1的差異在於移動組件20a及傳輸裝置1a更包括一殼體40a。因分隔件10及傳動機構30與前述實施例相同，故沿用元件符號，且以下關於傳動機構30的內容，可參考圖2及圖3。

在本實施例中，傳輸裝置1a更包括一殼體40a。分隔件10設置於殼體40a內。如前述，分隔件10可以為板體、或腔體，本實施例是以腔體為例，故分隔件10所分隔的第一空間S1及第二空間S2位於殼體40a的內部。

在本實施例中，移動組件20a除了具有第一磁性件21a以外，更包括一移動件22a。其中，移動件22a連接於第一磁性件21a，使移動件22a可被第一磁性件21a帶動而於第一空間S1內移動。本實施例之移動件22a是連接於第一磁性件21a遠離分隔件10的該側表面。又，移動件22a可以連接於夾具、承載板、或其他可固定或承載物件（例如基板）的元件，或是移動件22a的本身可以為夾具、或承載板等元件。在本實施例中第一磁性件21a可帶動移動件22a於第一空間S1移動。藉由程式控制，以控制第一磁性件21a帶動移動件22a至特定位置，並控制移動件22a的移動速度，進而可大幅降低污染的情形。另須說明的是，第一磁性件21a被傳動機構30之第二磁性件33帶動而於第一空間S1內移動的作動，可參考前述實施例的說明，於此不加贅述。

另外，本實施例之傳輸裝置1a更具有殼體40a，其中，第一空間S1可以為基板傳輸的空間。本實施例之傳動機構30設置在第二空間S2，即可成為一隔絕環境，以避免使傳動機構30（例如精密的動力單元35）受損，亦可避免傳動機構30與基板之間的相互污染。

綜上所述，依據本發明之傳輸裝置，其包括分隔件、移動組件以及傳動機構。分隔件將傳輸裝置分隔為第一空間及第二空間。移動組件設置於第一空間，而傳動機構設置於第二空間。移動組件與傳動機構之間藉由第一磁性件及第二磁性件相互連接，使得傳動機構作動時，第一磁性件可被第二磁性件帶動於第一空間移動。移動組件可應用在承載物件，其位於第一空間。提供動力來源的傳動機構則位於第二空間，與第一空間不相同，故可避免物件與傳動機構之間相互汙染。另外，若物件是需要在較惡劣的環境下被輸送，由於傳動機構獨立地設置在第二空間，更可避免傳動機構受到惡劣環境的影響而損壞。

應注意的是，上述諸多實施例係為了便於說明而舉例，本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

1、1a:傳輸裝置 10:分隔件 11:第一表面 12:第二表面 13:導引槽 20、20a:移動組件 21、21a:第一磁性件 22a:移動件 30:傳動機構 31:導引軌道 32:滑塊 33:第二磁性件 34:傳動單元 35:動力單元 40a:殼體 S1:第一空間 S2:第二空間

圖1為本發明之一實施例之傳輸裝置的示意圖。圖2為圖1所示之傳輸裝置內部的側視示意圖。圖3為圖1所示之傳輸裝置內部的俯視示意圖。圖4為本發明之另一實施例之傳輸裝置的示意圖。

1:傳輸裝置

10:分隔件

11:第一表面

12:第二表面

20:移動組件

21:第一磁性件

30:傳動機構

31:導引軌道

32:滑塊

33:第二磁性件

34:傳動單元

35:動力單元

S1:第一空間

S2:第二空間

Claims

一種傳輸裝置，包括：一分隔件，將該傳輸裝置分隔為一第一空間及一第二空間；一移動組件，設置於該第一空間，該移動組件包括：一第一磁性件，鄰近於該分隔件；以及一傳動機構，設置於該第二空間，該傳動機構包括：一導引軌道；一滑塊，設置於該導引軌道；一第二磁性件，連接於該滑塊，且該第二磁性件鄰近於該分隔件，並與該第一磁性件以磁力相吸的方式相互連接；及一傳動單元，連接於該滑塊，該傳動單元帶動該滑塊及該第二磁性件沿著該導引軌道於該第二空間內移動，且該第一磁性件被該第二磁性件帶動而於該第一空間移動。
如申請專利範圍第1項所述之傳輸裝置，其中該分隔件具有相對之一第一表面及一第二表面，該第一表面朝向該第一空間，該第二表面朝向該第二空間，該第一磁性件設置於該第一表面，該第二磁性件設置於該第二表面。
如申請專利範圍第2項所述之傳輸裝置，其中該分隔件包括一導引槽，其位於該第一表面，該第一磁性件部分容置於該導引槽。
如申請專利範圍第3項所述之傳輸裝置，其中該導引槽的延伸方向與該導引軌道的延伸方向相同。
如申請專利範圍第1項所述之傳輸裝置，其中該傳動單元包括一螺桿、一鏈條、或一皮帶。
如申請專利範圍第1項所述之傳輸裝置，其中該分隔件為一腔體。
如申請專利範圍第1項所述之傳輸裝置，更包括：一殼體，該分隔件設置於該殼體內，該分隔件所分隔的該第一空間及該第二空間位於該殼體的內部。
如申請專利範圍第7項所述之傳輸裝置，其中該分隔件為一板體、或一腔體。