TW202146905A

TW202146905A - 具有懸臂式探針的垂直式探針卡

Info

Publication number: TW202146905A
Application number: TW109119466A
Authority: TW
Inventors: 李文聰; 魏遜泰; 謝開傑; 蘇偉誌
Original assignee: 中華精測科技股份有限公司
Priority date: 2020-06-10
Filing date: 2020-06-10
Publication date: 2021-12-16
Also published as: TWI730806B

Abstract

本發明公開一種垂直式探針卡及其懸臂式探針，所述懸臂式探針包含一主體段、分別自所述主體段的相反兩側延伸所形成的兩個側翼段、及分別自所述主體段於高度方向上的兩端延伸所形成的一針測段與一固定段。所述針測段包含呈懸空狀的一抵接部以及連接所述抵接部與所述主體段的一針測懸臂。所述針測段在垂直所述高度方向的長度方向上具有一力臂長度，並且所述抵接部在所述高度方向上與所述主體段相距有小於所述力臂長度的一間距。

Description

垂直式探針卡及其懸臂式探針

本發明涉及一種探針卡，尤其涉及一種垂直式探針卡及其懸臂式探針。

現有的懸臂式探針主要是應用在周邊型晶片的測試，但現有懸臂式探針的植針方式較為複雜（如：人工焊針），並且還需進行線路扇出設計（fan-out）。據此，現有懸臂式探針並不易於植針與維護，進而使得生產與維修成本難以降低。

於是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究並配合科學原理的運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。

本發明實施例在於提供一種垂直式探針卡及其懸臂式探針，能有效地改善現有懸臂式探針所可能產生的缺陷。

本發明實施例公開一種垂直式探針卡，其包括：多個導板，沿一高度方向彼此堆疊設置；以及多個懸臂式探針，定位於多個所述導板，並且每個所述懸臂式探針包含：一主體段，穿設於多個所述導板內；兩個側翼段，分別自所述主體段的相反兩側延伸所形成，並且兩個所述側翼段夾持於多個所述導板中的至少兩個所述導板；及一針測段與一固定段，分別自所述主體段於所述高度方向上的兩端延伸所形成；所述針測段包含呈懸空狀的一抵接部以及連接所述抵接部與所述主體段的一針測懸臂；其中，多個所述懸臂式探針的所述抵接部用來可分離地頂抵於一待測物；其中，所述針測段在垂直所述高度方向的一長度方向上具有一力臂長度，並且所述抵接部在所述高度方向上與所述主體段相距有小於所述力臂長度的一間距。

本發明實施例也公開一種垂直式探針卡的懸臂式探針，其包括：一主體段；兩個側翼段，分別自所述主體段的相反兩側延伸所形成；以及一針測段與一固定段，分別自所述主體段於一高度方向上的兩端延伸所形成；所述針測段包含呈懸空狀的一抵接部以及連接所述抵接部與所述主體段的一針測懸臂；其中，所述針測段在垂直所述高度方向的一長度方向上具有一力臂長度，並且所述抵接部在所述高度方向上與所述主體段相距有小於所述力臂長度的一間距。

綜上所述，本發明實施例所公開的垂直式探針卡，其通過所述懸臂式探針的結構設計，以使得懸臂式探針可應用於垂直式探針卡中，據以利於懸臂式探針的植針與維護更換、並降低生產與維修成本。

為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。

以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關“垂直式探針卡及其懸臂式探針”的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。

應當可以理解的是，雖然本文中可能會使用到“第一”、“第二”、“第三”等術語來描述各種元件或者信號，但這些元件或者信號不應受這些術語的限制。這些術語主要是用以區分一元件與另一元件，或者一信號與另一信號。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

[實施例一]

請參閱圖1至圖7、及圖16所示，其為本發明的實施例一。本實施例公開一種垂直式探針卡1000，包括有一探針頭100以及抵接於上述探針頭100（probe head）一側（如：圖1中的探針頭100頂側）的一轉接板200（space transformer），並且所述探針頭100的另一側（圖1中的探針頭100底側）能用來頂抵測試一待測物（device under test，DUT）（圖未繪示，如：半導體晶圓）。

需先說明的是，為了便於理解本實施例，所以圖式僅呈現所述垂直式探針卡1000的局部構造，以便於清楚地呈現所述垂直式探針卡1000的各個元件構造與連接關係，但本發明並不以圖式為限。以下將分別介紹所述探針頭100的各個元件構造及其連接關係。

所述探針頭100包含有一高度方向H彼此堆疊設置的多個導板1、及定位於多個所述導板1的多個懸臂式探針2。詳細地說，為便於說明，本實施例中的多個所述導板1分別命名為第一導板1a、第二導板1b、及第三導板1c，並且多個所述導板1沿所述高度方向H由下至上依序堆疊設置為所述第二導板1b、所述第三導板1c、及所述第一導板1a。另，為便於下述元件的構造，本實施例另定義有垂直所述高度方向H的一長度方向L、及垂直所述高度方向H與所述長度方向L的一寬度方向D。

需說明的是，所述多個導板1於本實施例中為彼此對應設置，並且所述探針頭100排除僅包含單個導板1的態樣。再者，所述懸臂式探針2於本實施例中是以搭配於上述元件（如：多個所述導板1）來說明，但於本發明未繪示的其他實施例中，所述懸臂式探針2也可以搭配其他構件或是單獨地應用（如：販賣）。

其中，所述第三導板1c夾持於所述第一導板1a與所述第二導板1b之間。所述第一導板1a形成有一第一長形孔10a，所述第一長形孔10a（的長軸方向）垂直於所述寬度方向D形成。於本實施例中，所述第一長形孔10a的形狀為大致呈矩形，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述第一導板1a上也能形成多個所述第一長形孔10a，且多個所述第一長形孔10a沿所述寬度方向D分別凹設而成。

所述第二導板1b形成有一第二長形孔10b，所述第二長形孔10b的位置沿所述高度方向H對應於所述第一長形孔10a（如：所述第二長形孔10b於本實施例中於相對應位於所述第一長形孔10a的正下方）。然而，在本發明未繪示的其他實施例中，所述第二導板1b上能形成多個所述第二長形孔10b，所述第一導板1a上也能形成多個第一長形孔10a，且多個所述第二長形孔10b位置分別對應於多個所述第一長形孔10a，但本發明不受限於此。

所述第三導板1c形成有多個第三長形孔10c，每個所述第三長形孔10c（的長軸方向）平行於所述長度方向L，且沿所述寬度方向D分別凹設而成。更進一步地說，多個所述第三長形孔10c分別沿所述高度方向H相對應位於所述第一長形孔10a與所述第二長形孔10b之間，且所述第三長形孔10c於所述長度方向L上的長度大於所述第一長形孔10a與所述第二長形孔10b在其長軸方向上的長度。於本實施例中，任一個所述第三長形孔10c的形狀為矩形，但本發明不受限於此。

其中，所述第三導板1c可依據使用者需求而調整，舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述第二導板1b可以在相鄰所述第一導板1a的一側面呈突出狀並抵接所述第一導板1a，據以取代所述第三導板1c。據此，所述探針頭100的所述第三導板1c也可以省略或是以其他構件取代，但本發明不受限於此。

多個所述懸臂式探針2的一端分別穿過於所述第一導板1a的所述第一長形孔10a，並且多個所述懸臂式探針2的另一端分別穿過所述第二導板1b的第二長形孔10b。進一步地說，每個所述懸臂式探針2的局部（如：下述主體段21）位於所述第一導板1a、所述第二導板1b、與所述第三導板1c內。其中，所述懸臂式探針2於本實施例中為可導電且一體成形的單件式構造，並且所述懸臂式探針2可以是由微機電系統（MEMS）技術所製造，但本發明不以此為限。

需額外說明的是，多個所述懸臂式探針2於本實施例的圖1中是以沿著所述探針頭100的一邊排成一列來說明，但在本實施例未繪出的部位中，多個所述懸臂式探針2可以是沿著所述探針頭100的至少兩邊排列，並且沿著所述探針頭100任一邊排列的多個所述懸臂式探針2也可以是排成至少兩列。也就是說，多個所述懸臂式探針在所述探針頭100中的排列方式可以依據設計需求而加以調整，不以本實施例為限。

由於所述探針頭100的多個所述懸臂式探針2構造於本實施例中皆大致相同，所以下述說明是以單個所述懸臂式探針2為例，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述探針頭100的多個所述懸臂式探針2也可以是具有彼此相異的構造。再者，為便於理解所述懸臂式探針2構造，下述將以所述探針頭100處於植針位置時的所述懸臂式探針2進行介紹。

所述懸臂式探針2包含有一主體段21、分別自所述主體段21的相反兩側延伸所形成兩個側翼段22、自所述主體段21的頂緣延伸所形成的一固定段23、及自所述主體段21的底緣延伸所形成的一針測段24。詳細地說，所述主體段21穿設於相對應的所述第一長形孔10a、所述第二長形孔10b、及所述第三長形孔10c，所述固定段23裸露於所述第一導板1a上表面，所述針測段24裸露於所述第二導板1b下表面，兩個所述側翼段22相對應設置於所述第三導板1c。

換個角度來看，面向所述第一導板1a的所述固定段23的一端緣（如：圖3中的所述固定段23頂緣）於本實施例中依序延伸形成有所述主體段21與兩個所述側翼段22（如：圖3中的所述主體段21左右兩側）、及所述針測段24。

進一步地說，所述主體段21穿設於多個所述導板1（如：所述第一導板1a、所述第二導板1b、及所述第三導板1c），並且兩個所述側翼段22夾持於多個所述導板1中的至少兩個所述導板1（如：夾持於所述第一導板1a與所述第二導板1b之間且固定於所述第三導板1c）。據此，多個所述導板1可以通過彼此相對應夾持兩個所述側翼段22，以穩定地固定所述懸臂式探針2，進而在所述探針頭100承受移動或是翻轉時，使所述懸臂式探針2不易掉出。

於本實施例中，在垂直於所述寬度方向D的所述主體段21形狀大致呈梯形，且垂直所述高度方向H的所述主體段21橫剖面大致呈矩形，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，在垂直於所述寬度方向D的所述主體段21形狀可以是非梯形（如：矩形）。

兩個所述側翼段22自所述主體段21沿著所述長度方向L相反兩側延伸而成，且垂直所述高度方向H的任一個所述側翼段22橫剖面大致呈矩形，而兩個所述側翼段22在所述高度方向H上是大致連接於所述主體段21（左右兩側）的中心位置。任一個所述側翼段22在所述長度方向L上的長度大致是所述主體段21在所述長度方向L的長度的1/10～1/20。兩個所述側翼段22沿所述寬度方向D的厚度大致相等於所述主體段21的厚度，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述側翼段22的厚度可以非相等於所述主體段21的厚度。

需額外說明的是，所述懸臂式探針2的兩個所述側翼段22是依據其用途而形成，據以所述懸臂式探針2相對穩定夾持於多個所述導板1之中，所以所述懸臂式探針2排除僅包含單個所述側翼段22的態樣。

所述固定段23沿所述高度方向H自所述主體段21的頂緣朝遠離所述主體段21的方向延伸所形成。其中，所述固定段23裸露出多個所述導板1（如：圖3中的所述第一導板1a）的表面上。

其中，所述固定段23包含有呈懸空狀的一連接部231以及連接所述連接部231與所述主體段21的一緩衝懸臂232。所述連接部231在垂直於所述寬度方向D的形狀大致呈梯形，並且所述連接部231在垂直所述高度方向H的橫剖面大致呈矩形，但本發明不受限於此。舉例來說，如圖16所示，所述固定段23也可以僅形成有連接部231，且所述連接部231直接成形於所述主體段21；或者，在本發明未繪示的其他實施例中，所述連接部231在垂直於所述寬度方向D的形狀可以是非梯形（如：矩形）。

於本實施例中，所述緩衝懸臂232在垂直於所述寬度方向D的形狀大致呈一字狀的構造（如：圖4所示），所述緩衝懸臂232兩端的其中一端連接所述主體段21（的頂緣），則所述緩衝懸臂232的另一端連接所述連接部231。更詳細地說，所述緩衝懸臂232能夠受力變形而續有一回彈力，所述緩衝懸臂232在垂直所述高度方向H的橫剖面大致呈矩形，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述緩衝懸臂232可以是弧狀的構造。

也就是說，所述連接部231藉由所述緩衝懸臂232而間隔地設置於所述主體段21上，據以使所述連接部231能夠設置於多個所述導板1頂側（如：圖3中的所述第一導板1a上方），並且所述連接部231的頂端用來固定於所述轉接板200。

所述針測段24沿所述高度方向H且自所述主體段21的底緣朝遠離所述主體段21的方向延伸所形成，並且所述針測段24裸露出多個所述導板1（如：圖3中的第二導板1b）的表面上。

其中，所述針測段24包含有呈懸空狀的一抵接部241以及連接所述抵接部241與所述主體段21的一針測懸臂242。所述抵接部241在垂直於所述寬度方向D的形狀大致呈梯形（如：圖4所示）或者呈凸字形（如：圖5所示），並且所述抵接部241在垂直所述高度方向H的橫剖面大致呈矩形，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述抵接部241在垂直於所述寬度方向D的形狀可以是非梯形（如：矩形）。

於本實施例中，所述針測懸臂242在垂直於所述寬度方向D的形狀大致呈一字狀的構造（如：圖4所示）或者呈階梯狀的構造（如：圖6所示），並且所述針測懸臂242兩端的其中一端連接所述主體段21（的底緣），而所述針測懸臂242的另一端連接所述抵接部241。更詳細地說，所述針測懸臂242能夠受力變形而續有一回彈力，進而提供所述懸臂式探針2運作時所需的行程。所述針測懸臂242在垂直所述高度方向H的橫剖面大致呈矩形，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述針測懸臂242可以是弧狀的構造。

此外，所述針測懸臂242也可以依據設計需求而加以調整變化；舉例來說，請參閱圖7所示，所述針測懸臂242於垂直所述寬度方向H的表面上，所述針測懸臂242可以沿所述長度方向L凹設形成有一條狹縫2421，所述狹縫2421在垂直於所述寬度方向D的形狀大致呈矩形，且所述狹縫2421貫穿於所述針測懸臂242沿所述寬度方向D的兩側。另，在本發明未繪示的其他實施例中，所述針測懸臂242也可以沿所述長度方向L凹設形成有多個所述狹縫2421，但本發明不受限於此。

再者，所述抵接部241藉由所述針測懸臂242設置於所述主體段21上，據以使所述抵接部241能夠間隔地設置於多個所述導板1底側（如：圖3中的所述第二導板1b下方），並且所述抵接部241是用來可分離地頂抵於所述待測物。

其中，所述針測段24在所述長度方向L上具有一力臂長度L24。也就是說，所述針測懸臂242在所述長度方向L上的長度大致相等於所述力臂長度L24，並且所述抵接部241在所述高度方向H上與所述主體段21（的底側）相距有小於所述力臂長度L24的一間距G。於本實施例中，所述間距G大致為所述力臂長度L24的1/5～1/10，但本發明不受限於此。

所述懸臂式探針2依序設置於所述第一導板1a、所述第三導板1c、及所述第二導板1b。所述主體段21固定於相對應的所述第一長形孔10a與所述第二長形孔10b，且兩個所述側翼段22相對應設置於所述第三長形孔10c，據以使得兩個所述側翼段22夾持於所述第一導板1a與所述第二導板1b之間。

所述固定段23穿出所述第一長形孔10a，且所述固定段23的所述連接部231裸露於所述第一導板1a表面上。所述針測段24穿出所述第二長形孔10b，且所述針測段24的所述抵接部241裸露於所述第二導板1b表面上。

於本實施例中，每個所述懸臂式探針2中的所述針測段24與所述固定段23位於所述主體段21沿所述高度方向H正投影所形成的一投影區域之內，以使每個所述懸臂式探針2沿所述高度方向H設置於多個所述導板1。

當每個所述懸臂式探針2的所述抵接部241頂抵於所述待測物時，透過所述針測懸臂242提供彈性，使得所述抵接部241確實接觸所述待測物，據以使得所述抵接部241與所述待測物的連接能夠更為穩定。

需額外說明的是，本實施例中遠離多個所述針測段24的一個所述導板1（如：所述第一導板1a），其能沿著所述高度方向H穿過多個所述懸臂式探針2並壓抵於每個所述懸臂式探針2的兩個所述側翼段22，以使所述第一長形孔10a收容部分的每個所述主體段21（的鄰近所述固定段23一側）。詳細地說，每個所述懸臂式探針2的兩個所述側翼段22藉由壓抵於所述第一導板1a，據以使得每個所述懸臂式探針2的所述主體段21固定於多個所述導板1之中。

依上所述，所述垂直式探針卡1000的所述懸臂式探針2可以通過兩個所述側翼段22來定位於所述第一導板1a與所述第二導板1b之間，而所述針測段24無需通過錯位即可提供所述懸臂式探針2偵測受力所需的行程，進而提供一種有別於以往的垂直式探針卡及其懸臂式探針。再者，由於多個所述導板1（如：所述第一導板1a、所述第二導板1b、與所述第三導板1c）無須以錯位設置來定位所述懸臂式探針2，所以所述懸臂式探針2的長度能夠被有效地縮短，據以使所述懸臂式探針2有效地提升測試效能結果，且有助於提升植針效率或便於維護更換所述懸臂式探針2。

[實施例二]

請參閱圖8所示，其為本發明的實施例二，由於本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例與上述實施例一的差異大致說明如下：

於本實施例的所述垂直式探針卡1000中，所述第一長形孔10a沿著所述度寬度方向D凹設而成，且所述第一導板1a沿著所述寬度方向D穿過多個所述懸臂式探針2，以使所述第一長形孔10a能沿著所述寬度方向D穿過多個所述懸臂式探針2，並且所述第一長形孔10a收容部分的每個所述主體段21（的鄰近所述固定段23一側），而所述第一導板1a壓抵於每個所述懸臂式探針2的兩個所述側翼段22。

詳細地說，每個所述懸臂式探針2的兩個所述側翼段22藉由所述第一導板1a壓抵，據以使得每個所述懸臂式探針2的所述主體段21固定於多個所述導板1之中。

依上所述，當所述垂直式探針卡1000的所述懸臂式探針2設置於所述第二導板1b與所述第三導板1c時，所述第一導板1a能沿著所述寬度方向D穿過多個所述懸臂式探針2。其中，所述第一導板1a設置方式可以依據設計需求而加以調整，據以使所述懸臂式探針2有助於提升植針效率或便於維護更換所述懸臂式探針2。

[實施例三]

請參閱圖9所示，其為本發明的實施例三，由於本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例與上述實施例一的差異大致說明如下：

於本實施例的所述垂直式探針卡1000中，所述懸臂式探針2的所述抵接部241與所述連接部231非皆位於所述高度方向H上。換句話說，所述針測段24的所述針測懸臂242在所述長度方向L上與所述固定段23的所述緩衝懸臂232是分別朝不同方向延伸，並且所述抵接部241與所述連接部231於所述長度方向L上間隔有大於所述間距G的一錯位距離L100，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述錯位距離L100於所述長度方向L上間隔有非大於所述間距G的，但本發明不受限於此。

依上所述，所述垂直式探針卡1000其中一個所述懸臂式探針2的所述抵接部241與所述連接部231非皆位於所述高度方向H上，據以使得所述懸臂式探針2的所述連接部231能夠配合不同的所述轉接板200，進而增加所述懸臂式探針2的適用範圍。

[實施例四]

請參閱圖10至圖13所示，其為本發明的實施例四，由於本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例與上述實施例一的差異大致說明如下：

如圖10和圖11所示，於本實施例的所述垂直式探針卡1000中，所述懸臂式探針2的所述抵接部241與所述連接部231皆位於所述高度方向H上，並且所述緩衝懸臂232的所述連接部231抵接於所述主體段21。再者，當所述抵接部241用來頂抵於所述待測物時，所述針測懸臂242彈性地彎曲，以使所述抵接部241抵接於所述主體段21兩側。

詳細地說，所述主體段21可以在其沿所述高度方向H鄰近所述抵接部241與所述連接部231的部位各凸出形成有一梯形結構211。據此，當所述懸臂式探針2以所述抵接部241頂抵於所述待測物時，所述抵接部241抵接於其所相鄰的所述梯形結構211。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述抵接部241與所述連接部231其中一個也可以是未抵接所述主體段21的所述梯形結構211，但本發明不受限於此。

此外，請參閱圖12及圖13所示，兩個所述梯形結構211的其中一個也可以形成於鄰近於所述主體段21（的底側）的所述抵接部241一側，另一個所述梯形結構211則可以形成於鄰近於所述主體段21（的頂側）的所述連接部231一側，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，兩個所述梯形結構211的其中一個可以形成於鄰近所述主體段21的所述抵接部241或所述連接部231，而另一個所述梯形結構211則是形成於所述主體段21，但本發明不受限於此。

依上所述，所述垂直式探針卡1000其中一個所述懸臂式探針2的所述抵接部241與所述連接部231分別抵接所述主體段21兩側，以使所述懸臂式探針2能夠縮短傳輸路徑，藉使所述懸臂式探針2有助於提升傳輸效果。

[實施例五]

請參閱圖14及圖15所示，其為本發明的實施例五，由於本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例與上述實施例一的差異大致說明如下：

於本實施例的所述垂直式探針卡1000中，多個所述懸臂式探針2沿所述寬度方向D的相鄰兩個所述懸臂式探針2中，其中一個所述懸臂式探針2的所述抵接部241與所述連接部231非皆位於所述高度方向H上，而其中另一個所述懸臂式探針2的所述抵接部241與所述連接部231則是皆位於所述高度方向H上。

據此，所述垂直式探針卡1000的多個所述懸臂式探針2藉由上述分佈，據以使所述連接部231能夠配合不同的所述轉接板200，進而增加所述懸臂式探針2的適用範圍。再者，所述探針頭100通過（如：圖14所示）多個所述連接部231的配置，而能有效地擴大相鄰兩個所述連接部231的間距，據以影響所述轉接板200的間距設定。舉例來說，如圖14所示所述探針頭100僅需進一步搭配電路板，以利於提升電性品質與降低製造成本。

[本發明實施例的技術效果]

又，本發明實施例所公開的垂直式探針卡，其通過在導板（如：第一導板）開孔或開槽，據以能夠沿著高度方向或寬度方向移動固定所述懸臂式探針，進而使所述懸臂式探針無須通過錯位即可提供針測段於受力時所需的行程，所以懸臂式探針的長度能夠被有效地縮短，以有效地提升測試效能。另，每個懸臂式探針能夠沿高度方向直上直下進而利於所述垂直式探針卡進行懸臂式探針的植針與維護更換、並降低生產與維修成本。

再者，本發明實施例所公開的垂直式探針卡中，所述懸臂式探針的抵接部與所述連接部可以是非皆位於所述高度方向上，據以使得懸臂式探針的連接部能夠配合不同的轉接板，進而增加懸臂式探針的適用範圍。

另，本發明實施例所公開的垂直式探針卡在進行偵測的過程中，所述懸臂式探針的抵接部與連接部可以分別抵接主體段的兩側，據以使所述懸臂式探針能夠縮短傳輸路徑，藉使懸臂式探針有助於提升傳輸效果。

此外，本發明實施例所公開的垂直式探針卡在沿所述寬度方向的相鄰兩個懸臂式探針中，其中一個所述懸臂式探針的抵接部與連接部可以非皆位於所述高度方向上，而其中另一個所述懸臂式探針的抵接部與連接部則是皆位於所述高度方向上，以使所述連接部能夠達到交叉設置效果，進而令固定段能夠配合於不同的轉接板、且兩個所述懸臂式探針的連接部之間的間隔能夠被擴大。

以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的專利範圍內。

1000:垂直式探針卡 100:探針頭 1:導板 1a:第一導板 10a:第一長形孔 1b:第二導板 10b:第二長形孔 1c:第三導板 10c:第三長形孔 2:懸臂式探針 21:主體段 211:梯形結構 22:側翼段 23:固定段 231:連接部 232:緩衝懸臂 24:針測段 241:抵接部 242:針測懸臂 2421:狹縫 200:轉接板 H:高度方向 L:長度方向 D:寬度方向 L24:力臂長度 G:間距 L100:錯位距離

圖1為本發明實施例一的垂直式探針卡的立體示意圖。

圖2為本發明實施例一的探針頭的立體分解示意圖。

圖3為本發明實施例一的垂直式探針卡的剖視示意圖。

圖4為本發明實施例一的懸臂式探針的立體示意圖。

圖5為圖4的懸臂式探針第一種態樣的平面示意圖。

圖6為圖4的懸臂式探針第二種態樣的平面示意圖。

圖7為圖4的懸臂式探針第三種態樣的平面示意圖。

圖8為本發明實施例二的探針頭的立體分解示意圖。

圖9為本發明實施例三的垂直式探針卡的剖視示意圖。

圖10為本發明實施例四的垂直式探針卡的剖視示意圖。

圖11為圖10的懸臂式探針以針側段頂抵於待側物的示意圖。

圖12為圖10的垂直式探針卡另一種態樣的剖視示意圖。

圖13為圖12的懸臂式探針以針側段頂抵於待側物的示意圖。

圖14為本發明實施例五的垂直式探針卡的立體示意圖。

圖15為圖14的垂直式探針卡的俯視示意圖。

圖16為本發明實施例一的懸臂式探針的另一態樣的立體示意圖。

2:懸臂式探針

21:主體段

22:側翼段

23:固定段

231:連接部

232:緩衝懸臂

24:針測段

241:抵接部

242:針測懸臂

H:高度方向

L:長度方向

D:寬度方向

Claims

一種垂直式探針卡，其包括：多個導板，沿一高度方向彼此堆疊設置；以及多個懸臂式探針，定位於多個所述導板，並且每個所述懸臂式探針包含：一主體段，穿設於多個所述導板內；兩個側翼段，分別自所述主體段的相反兩側延伸所形成，並且兩個所述側翼段夾持於多個所述導板中的至少兩個所述導板；及一針測段與一固定段，分別自所述主體段於所述高度方向上的兩端延伸所形成；所述針測段包含呈懸空狀的一抵接部以及連接所述抵接部與所述主體段的一針測懸臂；其中，多個所述懸臂式探針的所述抵接部用來可分離地頂抵於一待測物；其中，所述針測段在垂直所述高度方向的一長度方向上具有一力臂長度，並且所述抵接部在所述高度方向上與所述主體段相距有小於所述力臂長度的一間距。
如請求項1所述的垂直式探針卡，其中，遠離多個所述針測段的一個所述導板，其能沿著高度方向或沿著垂直所述高度方向與所述長度方向的一寬度方向穿過多個所述懸臂式探針，而壓抵於每個所述懸臂式探針的兩個所述側翼段。
如請求項1所述的垂直式探針卡，其中，於每個所述懸臂式探針中，所述固定段包含有呈懸空狀的一連接部以及連接所述連接部與所述主體段的一緩衝懸臂；其中，所述垂直式探針卡包含有一轉接板（space transformer），並且多個所述懸臂式探針的所述連接部固定於所述轉接板。
如請求項3所述的垂直式探針卡，其中，在多個所述懸臂式探針的至少一個所述懸臂式探針中，所述抵接部與所述連接部非皆位於所述高度方向上，並且所述抵接部與所述連接部於所述長度方向上間隔有大於所述間距的一錯位距離。
如請求項3所述的垂直式探針卡，其中，在多個所述懸臂式探針的至少一個所述懸臂式探針中，所述抵接部與所述連接部皆位於所述高度方向上，並且當所述連接部頂抵於所述待測物時，所述針測懸臂與所述緩衝懸臂皆彈性地彎曲，以使所述抵接部與所述連接部抵接於所述主體段。
如請求項3所述的垂直式探針卡，其中，在多個所述懸臂式探針的相鄰兩個所述懸臂式探針中，其中一個所述懸臂式探針的所述抵接部與所述連接部非皆位於所述高度方向上，而其中另一個所述懸臂式探針的所述抵接部與所述連接部則是皆位於所述高度方向上。
如請求項1所述的垂直式探針卡，其中，於每個所述懸臂式探針中，所述針測懸臂沿所述長度方向凹設形成有至少一條狹縫。
如請求項1所述的垂直式探針卡，其中，於每個所述懸臂式探針中，所述針測段與所述固定段位於所述主體段沿所述高度方向正投影所形成的一投影區域之內。
一種垂直式探針卡的懸臂式探針，其包括：一主體段；兩個側翼段，分別自所述主體段的相反兩側延伸所形成；以及一針測段與一固定段，分別自所述主體段於一高度方向上的兩端延伸所形成；所述針測段包含呈懸空狀的一抵接部以及連接所述抵接部與所述主體段的一針測懸臂；其中，所述針測段在垂直所述高度方向的一長度方向上具有一力臂長度，並且所述抵接部在所述高度方向上與所述主體段相距有小於所述力臂長度的一間距。
如請求項9所述的垂直式探針卡的懸臂式探針，其中，所述針測段與所述固定段位於所述主體段沿所述高度方向正投影所形成的一投影區域之內。