TW202142505A - 用於線內處理期間修整玻璃基板邊緣的方法及裝置 - Google Patents
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Abstract
一種從玻璃基板分離邊緣部分的方法,包括:將劃痕設備的劃痕工具施加至玻璃基板上,以使劃痕工具在玻璃基板相對於劃痕設備移動時沿著劃痕線而刻劃玻璃基板,以及,將斷裂設備的斷裂棒施加至玻璃基板上,以當玻璃基板相對於斷裂棒移動時沿著劃痕線將邊緣部分與玻璃基板分離。
Description
本申請依據專利法請求於2020年1月27日提出申請的美國臨時申請案第62/966,288號的優先權,基於該申請的內容並透過引用而整體併入本案。
本案涉及用於線內處理期間修整玻璃基板邊緣的方法及裝置。本發明還涉及線內邊緣修整程序中的玻璃基板的輸送。
玻璃製成的基板可以由連續的帶形成,這些帶被分成單獨的面板以進行後續處理。可以將基板交付給客戶,該客戶又可以製造各種最終產品,例如合併了基板的平板顯示器或光伏裝置。然而,現有的製程可能較無效率或昂貴,因為在玻璃製造商的玻璃帶形成與玻璃基板組裝成最終產品之間,需要經過數個單獨的中間處理步驟來運送基板。
邊緣修整就是這種中間程序的一個例子。在邊緣修整程序中,可以將玻璃基板的邊緣部分與基板分離,以產生具有將玻璃基板結合到最終產品中所需的最終尺寸的基板。因此,需要改進的邊緣修整程序,以減少將玻璃基板修整成具有合併最終產品所需尺寸的基板所需的時間、處理數量、及/或成本。
本案提供了用於以在一線內配置修整基板邊緣的方法及設備,其允許連續處理基板。方法及設備可以包括輸送設備及相關方法,其允許基板使用最小的佔地面積來改變輸送方向,並且允許在現有或傳統方法上更快的循環時間。
在一個態樣中,本案提供了一種用於從玻璃基板分離邊緣部分的方法。根據一些實施例,這樣的方法包括步驟:將劃痕設備的劃痕工具施加至玻璃基板上,以使劃痕工具在玻璃基板相對於劃痕設備移動時沿著劃痕線刻劃玻璃基板,以及將斷裂設備的斷裂棒施加至玻璃基板上,以當玻璃基板相對於斷裂棒移動時以沿著劃痕線將邊緣部分與玻璃基板分離。
在另一態樣中,本案提供一種用於將邊緣部分與玻璃基板分離的設備。根據一些實施例,這樣的分離設備包括劃痕設備,該劃痕設備包括:一劃痕工具,其配置為沿著劃痕線刻劃玻璃基板;以及一劃痕輸送帶,其配置為支撐玻璃基板並且當玻璃基板相對於劃痕設備移動時,劃痕工具刻劃玻璃基板。分離設備還可以包括斷裂設備,該斷裂設備包括一斷裂棒,其配置為沿著劃痕線從玻璃基板分離邊緣部分,及一斷裂輸送帶,其配置為支撐玻璃基板,並且當斷裂棒將邊緣部分與玻璃基板分離時,相對於斷裂設備移動玻璃基板。
在另一態樣中,本案提供一種用於在邊緣修整程序中改變基板的輸送方向的方法。根據一些實施例,這樣的方法包括步驟:使用第一輸送帶沿第一輸送方向將玻璃基板移動到運送區中,以及將玻璃基板從第一輸送帶上的第一運送位置輸送到第二輸送帶上的第二運送位置,其中第一運送位置與第二運送位置處於不同的垂直高度。該方法還可以包括在第二輸送方向上使玻璃基板遠離運送區移動,其中第一輸送方向與第二輸送方向不同。
在另一態樣中,本案提供了一種用於在邊緣修整程序中改變基板的方向的運送設備。根據一些實施例,這種運送設備包括第一輸送帶,其用於使玻璃基板在第一輸送方向上移動。第一輸送帶可包括位於運送區中的第一下游端。運送設備還可以包括第二輸送帶,用於在第二輸送方向上移動玻璃基板。第二輸送帶可包括位於運送區中的第二上游端,該第二上游端與第一輸送帶的第一下游端重疊。運送設備還可包括位於運送區中的升降單元,其包括提升降致動器及升降器。升降致動器可連接至升降器,以使升降器接觸玻璃基板並將玻璃基板從第一輸送帶的第一下游端上的第一運送位置移動至第二輸送帶的第二上游端上的第二運送位置。
附圖用於結合示例性實施例的說明,這些附圖被認為是整個說明書描述的一部分。在說明書中,也使用諸如「下部」、「上部」、「水平」、「垂直」、「上方」、「下部」、「上部」、「下部」、「頂部」、及「底部」的相對用語,以及其衍生詞(例如,「水平」、「向下」、「向上」等)應解釋為是指所描述的方向或所討論的附圖中所示的方向。這些相對用語是為了方便描述,並且不需要以特定的方向構造或操作該設備。關於附件、聯接等的用語,諸如「連接」與「互連」是指一種關係,除非另有明確說明,其中結構透過中間結構直接或間接地彼此固定或附接,以及可移動的或剛性的附件或關係。
為了以下描述的目的,應當理解的是,以下描述的實施例可以採取替代的變型和實施例。還應理解的是,本案所述的具體物品、組合物、及/或方法是示例性的,不應視為限制性的。
在本案中,單數形式「一個」、「一種」、及「該」包括複數的參照,並且除非上下文另有明確說明,否則對特定數值的引用至少包括該特定值。當透過使用先行詞「約」將數值表示為近似值時,將理解的是,特定值形成另一實施例。如本案所述,「約X」(其中X是數值)較佳是指所列舉的值的±10%,包括端點。例如,用語「約8」較佳地是指7.2至8.8(包括端點)的值。在存在的情況下,所有範圍都是包容性的及可組合的。例如,當述及範圍「1至5」時,所述的範圍應解釋為包括範圍「1至4」、「1至3」、「1至2」、「1至2及4至5」、「1至3及5」、「2至5」等類似者。另外,當肯定地提供替代列表時,這種列表可以解釋為意味著可以例如通過請求項中的否定限制來排除任何替代。例如,當述及「1至5」的範圍時,所述的範圍可被解釋為包括其中1、2、3、4、或5中的任何一者被否定排除的情況。因此,記載「1至5」可以解釋為「1及3至5,但不包括2」,或者簡單地解釋為「其中不包括2」。其意圖是,在本案中明確敘述的任何部件、元素、屬性、或步驟都可以在請求項中明確排除,無論這些部件、元素、屬性、或步驟是作為替代列出還是將其單獨列出。
本案提供了用於從基板修整邊緣部分的方法及設備,該基板可以是諸如玻璃面板的透明基板,該透明基板被配置為用於製造如顯示器或光伏元件的裝置。可以將基板從中間尺寸修整為最終尺寸,這對於進一步的製造過程可能是必需的,例如組裝到顯示器或光伏元件中。本案的方法及設備允許在線內修整基板。為了本案的目的,在線內是指修整程序和伴隨的輸送程序可以在順序過程中進行,而無需將基板堆積在緩衝區中或從一條生產線移除基板並將基板饋送到單獨的修整程序中。以此方式,本案的方法及設備與現有的修整程序相比,允許以更少的處理而更快地處理基板。本案的方法及設備相對於現有的修整和輸送程序具有其他優點,如將在本案中進一步描述的。
在一些實施例中,基板是光學透明的並且可以由玻璃製成。基板的示例包括但不限於玻璃面板。除非另有明確說明,否則本案所用的用語「玻璃基板」或「玻璃」應理解為涵蓋全部或部分由玻璃製成的任何物體。玻璃物品包括單塊基板、或玻璃和玻璃的層、玻璃和非玻璃材料、玻璃和結晶材料、以及玻璃和玻璃陶瓷(其包括非晶相和結晶相)。
範例玻璃可包括,但不限於:鋁矽酸鹽、鹼金屬鋁矽酸鹽、硼矽酸鹽、鹼金屬硼矽酸鹽、鋁硼矽酸鹽、鹼金屬鋁硼矽酸鹽和其他合適的玻璃。玻璃的非限制性實例包括,例如,IRISTM
、及康寧公司(Corning Incorporated)的GORILLA®
玻璃。可以任選地增強玻璃基板。在一些實施例中,可藉由利用製品各部分之間的熱膨脹係數不匹配,以產生壓縮應力區域和表現拉伸應力之中央區域,來機械地強化玻璃基板。在一些實施例中,可藉由將玻璃加熱至玻璃轉變點(glass transition point)以上之溫度然後快速淬火來熱強化玻璃基板。在一些其他實施例中,可藉由離子交換來化學強化玻璃製品。
參考圖1,示出了邊緣修整程序100的平面圖。邊緣修整程序100可以包括第一處理區102、第一運送區104、置中區106、劃痕區108、斷裂區110、第二運送區112、及第二處理區114。可以使用一個或多個輸送帶將上述區聯接在一起,該輸送帶可以將基板從一個區移動到相鄰區。例如,第一輸送帶可以將基板從第一處理區102移動到運送區104。在將基板從第一處理區102運送至運送區104的過程中,基板可沿第一輸送方向A移動,如圖所示。在基板從運送區到置中區106的運送期間,或者在基板從置中區106到劃痕區108的運送期間,或者在基板從劃痕區到斷裂區110的運送期間,或者在基板從斷裂區110到第二運送區112的運送期間,基板可以在第二輸送方向B上移動。在基板從第二運送區112運送到第二處理區114的運送期間,基板可以在第三輸送方向C上移動。
如圖所示,在此示例中,邊緣修整程序100可以包括兩個運送區,基板在該兩個運送區中改變輸送方向。在此示例中,輸送方向A垂直於輸送方向B。在此示例中,輸送方向B垂直於輸送方向C。在其他示例中,輸送方向可設置成相對於另一方向為其他相對角度。在其他示例中,輸送方向可以彼此成銳角設置。在又一示例中,輸送方向可以彼此成鈍角設置。在其他示例中,邊緣修整程序100可以包括一個運送區,其改變一次基板的輸送方向。
由於工廠佔地面積的侷限或限制,或者由於需要將基板從預定的開始位置移動到預定的停止位置,圖1中所示的邊緣修整程序100及個別的區可以所示方式設置。可以理解的是,邊緣修整程序100的佈局可以具有可能需要或所需的其他佈局,以適合其他程序或其他製造環境的侷限。
如圖所示,第一處理區102、第一運送區104、置中區106、劃痕區108、斷裂區110、第二運送區112、及第二處理區114可以彼此依序地定位。藉由這種相對定位,基板可以連續地(及,不停止地)移動通過邊緣修整程序100。可以將基板在線內修整到一最終尺寸,而無需將基板移動到離線或單獨的修整程序中。因此,相較於使用現有或傳統製造程序所能完成的,可更快、更有效地將基板修整到最終尺寸。
在現有的或傳統的製造程序中,可以使用玻璃生產程序來製造基板,例如玻璃基板,其中玻璃帶及/或玻璃板可以使用已知的玻璃生產方法由合適的批料來生產,例如熔融拉製方法、浮法玻璃方法等。可以將玻璃帶及/或玻璃板分離成玻璃面板或玻璃基板以進行進一步處理。在現有的及/或傳統的玻璃製造過程中,玻璃面板或玻璃基板可以以一中等尺寸運送到客戶。具有一中等尺寸的玻璃基板不會因客戶用來生產包含玻璃基板的最終產品(例如,顯示、筆記型電腦、平板電腦等)而被修整到玻璃基板的最終尺寸。例如,由於玻璃製造過程中的限制及/或由於玻璃製造商將需要生產許多不同的玻璃,玻璃製造商可能無法有效地及有成本效益地將玻璃基板從一單一類型玻璃板修整成一最終尺寸。鑑於這些限制,在許多情況下,玻璃製造商可能會以一中等尺寸交付玻璃基板給其客戶。然後,客戶可以將玻璃基板從中間尺寸修整到所需的最終尺寸。
這些現有的和傳統的玻璃製造程序具有幾個缺點。一個缺點是,在玻璃製造商將玻璃基板交付給客戶之後,客戶必須修整具有中等尺寸的玻璃基板。將玻璃基板從中間尺寸修整到最終尺寸會增加最終產品的成本。另外,可能會執行的附加處理會導致品質問題及/或導致破損增加及對客戶的損失。此外,當在客戶處修整玻璃基板時,從玻璃基板修整下的玻璃,不能被玻璃製造商回收或以其他方式回收。修整後的廢玻璃通常使用傳統的回收方法進行處理,而不是由玻璃製造商在玻璃生產過程中快速有效地回收利用。
本案的方法及設備,例如邊緣修整程序100,可以解決以上所述的缺點。例如,由於可以在玻璃製造商處將邊緣修整程序100併入成為玻璃生產程序的一部分,因此可以在將玻璃基板交付給客戶之前,將玻璃基板修整到最終尺寸。因此,客戶不需要在需使用現有或傳統方法的客戶製造設施處,進行處理和修整。另外,例如,使用邊緣修整程序100從玻璃基板所修整的玻璃,可以由玻璃製造商收集,並且重新引入玻璃形成程序中。這些改進可以提高透過現有及/或傳統方法生產玻璃基板的效率、成本、及速度。
參考回圖1,第一處理區102可以是邊緣修整處理100上的位置,該位置可用於執行在基板移入後續處理區之前的可能需要或所需的任何處理步驟。第一處理區102可以是例如品質控製程序、稱重程序、或檢查步驟。例如,離開玻璃形成程序的基板,可以被引入到邊緣修整程序100中,並且可以移動通過第一處理區102。
基板可以從第一處理區102移動到第一運送區104中。基板可以在第一運送區104處從第一輸送方向A改變為第二輸送方向B。如將進一步描述的,基板可以在第一運送區104中改變方向,同時保持通過運送區104的所需的輸送速度。
基板可以接著在第二輸送方向B上從運送區104到置中區106。置中區106可以包括處理步驟,其中將基板移動到置中位置,以確保在邊緣修整程序100完成之後基板將具有所需的最終尺寸。基板可以接著在第二輸送方向B上從置中區106到劃痕區108。可以使用劃痕區108中的劃痕設備對基板刻劃。可以沿著與基板的所需的最終尺寸相對應的一或多個劃痕線刻劃基板。
基板可以接著在第二輸送方向B上從劃痕區108到斷裂區110。可以透過斷裂區110中的斷裂設備,將基板的邊緣部分與基板分離。可以沿著在劃痕區108中刻在基板上的一或多條劃痕線,將基板的邊緣部分與基板分離。可以捕集及/或收集與基板分離的邊緣部分,以將其重新引入及/或回收到玻璃形成程序中(未示出)。
基板可以在第二輸送方向上從斷裂區110繼續進入第二運送區112。基板可以在運送區112中從第二輸送方向B改變為第三輸送方向C。基板可以接著在第三輸送方向C上從運送區112到第二處理區114。第二處理區114可以是任何合適的處理步驟,例如品質控制、測量、包裝、檢查、或清潔步驟。
如圖1進一步所示,邊緣修整程序100還可以包括邊緣修整控制器120。邊緣修整控制器120可以與第一處理區102、第一運送區104、置中區106、劃痕區108、斷裂區110、第二運送區112、及第二處理區114中的每一者中的設備及/或輸送帶聯接。以這種方式,邊緣修整控制器120可以操作以透過邊緣修整程序100而進行本地的或遠程的監視、控制、及/或調整基板的處理速度。可以理解的是,第一處理區102、第一運送區104、置中區106、劃痕區108、斷裂區110、第二運送區112、及第二處理區114中的每一者可經同步,以允許基板在邊緣修整程序100中連續不斷地移動。
邊緣修整控制器120可以是任何合適的控制器,例如電腦、伺服器、邏輯控制器、PLC等。邊緣修整控制器120可以使用合適的有線或無線連接方式,聯接至第一處理區102、第一運送區104、置中區106、劃痕區108、斷裂區110、第二運送區112、及第二處理區114。邊緣修整控制器120還可用於控制及/或調整邊緣修整程序100的其他操作參數。
邊緣修整程序100是一線內邊緣修整程序,因為該過程可以在玻璃製造工廠的玻璃形成及/或玻璃生產過程上或與之結合來進行。透過邊緣修整程序100移動的基板,可以連續地移動通過所述的區域,以便在將基板交付給客戶之前以有成本效益、有效且可靠地將基板修整至最終尺寸。
現在參考圖2,示出了輸送系統200。輸送系統200可以與先前描述的邊緣修整程序100結合使用。輸送系統200示出了可用於透過邊緣修整程序100移動基板230的各種輸送帶的示例。在所示的示例中,輸送系統200可以使基板230沿第一輸送方向A,然後沿第二輸送方向B,然後沿第三輸送方向C移動。
在圖2A中示出了示例性基板230。基板230可以是任何合適的形狀,並且可以是如前所述的玻璃基板。在所示示例中,基板230可以是矩形形狀,並且可以具有厚度T、寬度W、及長度L。在一較佳示例中,基板是玻璃基板,其厚度T在約0.9mm至約2.3mm的範圍內。在其他示例中,厚度T可以具有其他尺寸,例如在約0.5mm至約6.0mm的範圍內。在其他示例中,可以使用其他厚度。
在一較佳的示例中,基板230可以具有在約200mm至約350mm的範圍內的寬度。在其他示例中,寬度W可以在約220mm至約280mm的範圍內。在其他示例中,可以使用其他寬度W。
在一較佳的示例中,基板230可以具有在約500mm至約700mm的範圍內的長度L。在其他示例中,長度L可以在約560mm至約750mm的範圍內。在其他示例中,可以使用其他長度L。
基板230還可以根據其長度L與寬度W之比來表徵。在一些示例中,長度L與寬度W之比約為2。在另一個示例中,長度L與寬度W之比等於或大於約2。在又一個示例中,長度L與寬度W之比等於或大於約3。在其他示例中,基板230的長度L和寬度W可具有其他相對尺寸。
邊緣修整程序100可操作以從基板230修整一或多個邊緣部分236、238。在圖2A所示的例子中,基板230包括第一劃痕線232,其位於距第一邊緣246的距離E1處。基板230的另一側包括一劃痕線234,劃痕線234位於距第二邊緣248的距離E2處。邊緣修整程序100可用於沿第一劃痕線232與第二劃痕線234將第一邊緣部分236與第二邊緣部分238與基板230分離。當第一邊緣部分236與第二邊緣部分238與基板230分離時,基板230的主體部分240將保留。劃痕線232、234可相對於第一邊緣246與第二邊緣248定位在所需的位置,使得主體部分240具有所需的最終尺寸。
第一劃痕線232與第二劃痕線234可以分別定位在距第一邊緣246與第二邊緣248任何合適的距離E1、E2處。在一示例中,距離E1和E2可以在約10mm至約30mm的範圍內。在另一個示例中,距離E1和E2可以是至少10mm。在又一個示例中,距離E1和E2可以小於或等於約30mm。在其他示例中,邊緣部分236和238可具有其他合適的尺寸。
可以通過邊緣修整程序100在輸送方向A、B、或C上移動基板230。如圖所示,當在輸送方向B上移動基板230時,基板可以具有前邊緣242與後邊緣244。如前所述,邊緣修整程序100可操作以有效且具有成本效益的速率移動基板230。對基板230在邊緣修整程序中的移動速率的一種量度是循環時間。邊緣修整程序100的循環時間是指每個基板230移動通過邊緣修整程序100的任何一個區所需的時間。在一些示例中,邊緣修整程序100可以具有約1.8秒至約8.2秒的循環時間。在其他示例中,邊緣修整程序100的循環時間小於約2秒。在另一個示例中,邊緣修整程序的循環時間小於約3秒。在又一個示例中,邊緣修整程序的循環時間小於約4秒。這些循環時間是對現有及/或傳統方法的重大改進。
參考回圖2,輸送系統200可以包括第一運送輸送帶202。第一運送輸送帶202可將基板230從第一處理區204(例如,稱重站)移向第一運送區208。可以看出,當在第一輸送帶202上時,基板230可以在第一輸送方向A上移動。沿第一輸送方向A,基板可以移動以使得基板橫向地定位在第一輸送帶202上。在橫向方向上,基板230在垂直定向於第一輸送方向A的基板的較長側(即,具有長度L的一側)的方向上移動。
在運送區208中,基板230可以從第一輸送方向A改變為第二輸送方向B。當基板在第二輸送方向B上移出或離開運送區208時,基板230可以由第二輸送帶206支撐或保持。在第二輸送方向B上,基板230可以縱向定位於第二輸送方向B。在縱向方向上,基板230在平行於第二輸送方向B定向的基板230的較長側(即,具有長度L的一側)的方向上移動。
基板230可以繼續在第二輸送方向B上移動,並且可以從第二輸送帶206運送到置中區212中的置中輸送帶210。基板230可以繼續在第二輸送方向B上移動,並且可以從置中輸送帶210運送到在劃痕區214的劃痕輸送帶216。基板可以繼續從劃痕區214移動到斷裂區220,並從劃痕輸送帶216運送到斷裂輸送帶218。斷裂輸送帶218可以將基板從斷裂區220移動到第二運送區224中。基板可以在第二運送區224中從斷裂輸送帶運送到第三輸送帶222,並且可以將輸送方向從B方向改變為第三輸送方向C。在第三輸送方向C上,基板230可以如先前關於第一輸送方向A所描述的橫向定向。第三輸送帶222可以將基板從運送區224移動到第四輸送帶228。第四輸送帶228可以將基板移動到第二處理區226。
現在參考圖3,示出了第一輸送帶202的示例。第一輸送帶202可以位於輸送系統200中,以將基板230從第一處理區204移動到第一運送區208。第一輸送帶202可以使基板230在第一輸送方向A上移動。
在所示的示例中,第一輸送帶202是雙帶輸送帶。第一輸送帶可包括第一帶306與第二帶308。第一帶306與第二帶308可以連接到支撐結構304,以將第一帶306與第二帶308支撐在所需的高度。在所示的示例中,支撐結構304包括四個支腳與複數個橫梁,其可以牢固地支撐第一帶306與第二帶308。在其他示例中,支撐結構304可以具有其他構造。
第一輸送帶202可包括馬達310。馬達310可以聯接至第一帶306與第二帶308,以使第一帶306與第二帶308以所需移動基板230的速率移動。馬達310可以是任何合適的馬達,並且在一個示例中,是可以由邊緣修整控制器120電性控制的馬達。第一輸送帶202還可包括編碼器312。編碼器312可以是可用於測量及/或監視第一帶306及/或第二帶308的速度的任何合適的編碼器或其他感應器。編碼器312也可以聯接至邊緣修整控制器120,例如,以監視第一輸送帶202的操作參數。
第一輸送帶202可包括下游端316和上游端318。下游端316可定位在第一運送區208處或之中。上游端318可以位於與下游端316相對的一端,並且可以位於第一處理區204處或附近。第一輸送帶202還可包括感應器314。感應器314可以是諸如接近感應器之類的任何合適的感應器,其可以用於檢測何時基板230已經移動到第一輸送帶202的下游端316附近的第一運送區208中。
現在參考圖4A,示出了第一升降單元400。第一升降單元400可以位於第一運送區208中,並且可以位於第一輸送帶202的第一帶306與第二帶308之間。第一升降單元400是將基板230從第一位置移動到第二位置的裝置,其在第一位置處由第一輸送帶202支撐基板,在第二位置處由第二輸送帶206支撐(或保持)基板230。
第一升降單元400可包括附接結構402、升降器406、及升降致動器404。附接結構402可以是可用於將第一升降單元400附接到第一輸送帶202的L形支架或其他支撐元件。附接結構402例如可以連接至第一輸送帶202的支撐結構304的橫梁。在其他示例中,附接結構402可具有其他構造以將第一升降單元400支撐在第一運送區208中。
升降器406可以連接到致動器404。致動器404可以是合適的氣動或電動缸或其他線性致動器,其可以操作以在垂直方向上移動升降器406。升降器406可以是支撐一或多個間隔件408與緩衝器410的板。在所示的示例中,升降器406包括位於每個拐角處的四個間隔件408。緩衝器410可以連接在每個間隔件408的末端。間隔件408可以是細長的圓柱形構件,其可以將緩衝器410定位在偏向器414的最上部上方的垂直高度處。以此方式,在偏向器414可以接觸基板230之前,緩衝器410可以接觸基板230。緩衝器410可以由任何合適的材料製成,以防止損壞基板230。在一些示例中,緩衝器410可以由合適的塑料、聚合物、或天然或合成橡膠製成。在其他示例中,可以使用其他合適的材料。
如圖進一步所示,第一升降單元400可包括偏向器414。如果基板在第一運送區208中破裂、斷裂、或以其他方式分離成多片,則偏向器414可操作以使基板230的各片偏向。儘管緩衝器410及由致動器404引起的升降器406的運動,旨在防止此類故障的發生,但是缺陷或未意料的移動可能導致基板230在定位於第一運送區208中時過早地破裂。偏向器414可以成一定角度以使基板230偏向而不會被捕集在第一升降單元400上。偏向器414可以使基板230的各片被引導朝向地板或其他容器,使得基板230的各片分可以被回收或以其他方式回收。
第一升降單元400還可包括感應器418。感應器418可以是任何合適的感應器,例如一接近感應器,其可感應基板230的位置及/或升降器406的位置。感應器418可以用於例如確定何時基板230位於第一運送區208中並且準備好從與第一輸送帶202接觸的第一位置移動到與第二輸送帶206接觸的第二位置。
如圖4B所示,當基板230B移動到第一運送區208中時,第一升降單元400可以位於基板230B下方。在第一運送區208中,基板230B可被支撐在第一輸送帶202的第一帶306與第二帶308上。在該第一位置,基板230B也位於第二輸送帶206的帶502下方。第一輸送帶202的頂表面可與第二輸送帶206的帶502的底表面垂直地間隔開一高度H。當基板230B在第一運送區208中處於第一位置時,第一升降單元400可以使基板230B向上移動到接觸第二輸送帶206的帶502的第二位置。
當基板230B接觸第二輸送帶的帶502時,基板230B可以被保持在第二輸送帶的帶502。第二輸送帶206的帶502可以例如是包括一系列孔的一真空帶。可以透過帶502的孔施加負壓,以將基板230B保持在第二輸送帶206的帶502的下側。第二輸送帶206的帶502可以如圖4B所示在第二輸送方向B上移動。以此方式,基板230可以在運送區208中從第一輸送方向A改變為第二輸送方向B。基板230可在第一輸送帶202上沿第一輸送方向A(如圖4B所示的頁面外)移入第一運送區208,並在第二輸送帶206上沿第二輸送方向B(如圖4B所示的頁面向右)離開該運送區208。
改變基板230的輸送方向的方法是對現有及/或傳統運送程序的改進。與傳統方法相比,第一輸送帶202與第二輸送帶206的佈置,允許基板更快地循環通過運送區208。在傳統方法中,兩個依序的基板只能在傳輸區208中一次處理一個。在所描述和示出的配置中,兩個依序的基板可以彼此重疊而不互相干擾,因為兩個依序的基板可以位於運送區208中的不同垂直位置。如圖所示,第一基板230A顯示為保持在帶502上,並被第二輸送帶206移出運送區208。第二基板230B也位於第一運送區208中。第一基板230A的一部分與第二基板230B的一部分彼此重疊。然而,因為第一基板230A與第二基板230B在垂直方向上間隔開,所以第一基板230A與第二基板230B不會彼此干擾。
通過將第一輸送帶202與第二輸送帶206佈置在第一運送區208中,可以進一步實現該佈置。參考回圖2,第二輸送帶206的上游端可以在第一運送區208中與第一輸送帶202的下游端重疊。在該示例中,第二輸送帶206的上游端在第一輸送帶202的下游端上方垂直地間隔開。因此,基板230可以移動到第一運送區208中,通過第一升降單元400從第一輸送帶202提升到第二輸送帶206,並且儘管先前已提升的基板仍位於第一運送區208中,後續的基板230也可以開始移動到運送區208中。以這種方式,可以通過現有的及/或傳統的轉移方法,來增加通過第一運送區208運送基板的循環時間。
現在參考圖5,示出了示例性第二輸送帶206。第二輸送帶206可以包括帶502,其可以由馬達520以所需的輸送速度驅動。可以使用第一支架538與第二支架540將第二輸送帶206固定在輸送系統200中的所需位置。第二輸送帶206可以是真空帶式輸送帶,其中帶502包括一系列開口526。第二輸送帶206還可以包括一系列空氣附件530A至530F。該些空氣附件可以允許空氣導管附接到第二輸送帶206,以允許透過帶502上的開口526向基板施加負壓或正壓。以這種方式,基板230可以被吸住並保持在帶502上。基板230也可以從輸送帶502上吹開並釋放。如圖所示,帶502可以在第二輸送方向B上移動。
帶502可以由馬達520以任何合適的速率移動,以使基板230以所需的速度移動。第二輸送帶206還可包括位於帶502的頂表面522處或附近的一編碼器532。編碼器532可以測量及/或監視帶502的速度。馬達520、編碼器532、及第二輸送帶206的其他元件可以聯接至邊緣修整控制器120,以同步及/或控制第二輸送帶206的操作。
如先前關於基板通過第一運送區208的移動所描述的,基板230可以被保持在帶502的底表面524。可以在第二輸送帶206的上游端542處或附近,提升基板230以使其接觸帶502的底表面524。基板230可以在第二輸送方向B上朝向第二輸送帶206的下游端544移動。在第二輸送帶的下游端544處或附近,基板可以從帶502的底表面524上釋放並落在置中輸送帶210上(圖6)。
在圖6中示出了示例性置中輸送帶210。如圖所示,置中輸送帶210可以是雙帶輸送帶。置中輸送帶210可包括第一帶604與第二帶606。置中輸送帶210還可以包括馬達602及編碼器608。置中輸送帶210在許多態樣中可以與先前描述的第一輸送帶202相似。馬達602與編碼器608可以聯接至邊緣修整控制器120(圖1),以允許第一帶604與第二帶606的輸送速度的監測、控制、及/或與輸送系統200的其他輸送帶同步。置中輸送帶210可被支撐在支撐結構610上。
置中輸送帶210可以使基板移動通過置中設備700(圖7)。置中設備700可以使基板在置中輸送帶210上置中。可以理解的是,在基板被第一升降單元400提升,由第二輸送帶206運載並被釋放到置中輸送帶210上之後,基板230可能沒有被定位在所需的位置或方向上。置中設備700可以將基板230移動到置中輸送帶210上的所需位置和方向。
在所示的示例中,置中設備700可以包括主體部分702、第一側704、及第二側708。主體部分702可以位於置中輸送帶210的第一帶604與第二帶606下方,以使基板230在第一側704與第二側708之間通過。第一側704可以包括第一置中桿730、第一置中棒732、及一對置中輪734。第一側調節器706可用於沿大致垂直於第二輸送方向B的方向移動置中棒732。類似地,第二側708可包括第二置中桿720、第二置中棒722、及一對置中輪724。第二側調節器710可用於沿大致垂直於第二輸送方向B的方向移動第二置中棒722。因此,第一置中棒732與第二置中棒722可向內移動朝向設置在其中的置中輸送帶210(在圖7中未示出)。
第一置中棒732與第二置中棒722可以相對於置中輸送帶210而定位,以使在第一置中棒732與第二置中棒722之間通過的基板230置中於置中輸送帶210上。可以理解的是,如果基板230偏斜或在置中輸送帶210上以其他方式偏離了中心,則基板230的邊緣會接觸第一對輪734及/或第二對輪子724,其將推動基板置中。在其他示例中,置中設備700可以具有與所示的其他配置或變化,例如包括更多的輪724、734或多組置中棒722、732。
在置中於置中輸送帶210上之後,基板230可以從置中輸送帶210移動到劃痕輸送帶216。在圖8中示出了示例的劃痕輸送帶216。在該示例中,劃痕輸送帶216是真空輸送帶,其包括具有一系列開口808的帶802。當基板定位在帶802的頂表面812上時,可包括一個或多個空氣附件816A至816D,以透過開口808向基板230施加一負壓。以這種方式,基板230可經由劃痕區214被保持在劃痕輸送帶216的帶802上。劃痕輸送帶216可包括馬達806,例如伺服馬達,其可聯接至邊緣修整控制器120以允許劃痕輸送帶216的輸送速度的監控、控制、及與輸送系統200的其他輸送帶同步。
劃痕輸送帶216可以使基板230移動通過劃痕區214,劃痕區214可以包括劃痕設備900。當基板230相對於劃痕輸送帶216上的劃痕設備900移動時,劃痕設備900可用於刻劃基板230。劃痕設備900可包括第一側902與第二側904,它們各自可用於在基板230上形成第一劃痕線232與第二劃痕線234(圖2A)。劃痕設備900的第一側902與第二側904可以相對於劃痕輸送帶216而固定在劃痕框架908上。劃痕框架908可以是可以用螺栓固定或以其他方式固定到可用於將劃痕輸送帶216支撐在適當位置的支撐結構的一剛性結構。
劃痕設備900的第一側902與第二側904彼此基本相似,並且每一側係位於基板230的縱向側。劃痕設備900的第一側902可包括第一側致動器910,第一側劃痕工具912、第一支撐輥單元914、第一側真空附件920、第一側感應器922、及第一側調節器924。類似地,劃痕設備900的第二側904可包括第二側致動器946、第二側劃痕工具932、第二支撐輥單元934,第二側真空附件940、第二側感應器942、及第二側調節器944。
第一側調節器924與第二側調節器944可以使劃痕設備900的第一側902與第二側904在朝向和遠離基板230的縱向側的方向(即,朝向和遠離劃痕輸送帶216的中心的方向)上移動。以這種方式,劃痕線232、234的位置可以相對於第一邊緣246與第二邊緣248(圖2A)移動。這樣的調整可以允許邊緣部分236、238的尺寸(將與基板230分離)依據基板230的所需的最終尺寸而變化。第一側調節器924與第二側調節器944可聯接至蝸桿、蝸桿傳動、螺桿、連桿、或其他合適的結構,以當第一側調節器924及/或第二側調節器944旋轉時,使第一側902及/或第二側904相對於劃痕輸送帶216橫向移動。在其他示例中,可以使用其他合適的調節機構。
第一側感應器922與第二側感應器942可以是任何合適的感應器,例如接近感應器。當基板230朝向劃痕輸送帶216上的劃痕設備900移動時,第一側感應器與第二側感應器942可操作以檢測基板230的前邊緣242(圖2A)。一旦第一側感應器922與第二側感應器942檢測到及/或確定基板230的前邊緣242已經通過第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932,第一側致動器910與第二側致動器946可以使第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932朝著基板230向下移動。第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932可以接觸基板並且將劃痕線232、234施加至基板230上。在所示的示例中,基板230相對於第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932移動。第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932是靜止的,而基板930移動。這種類型的移動使基板230能夠與輸送系統200的其他區協同地連續並同步地在線內移動通過劃痕區214。
需將第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932保持在基板230上方的一升高位置,直到前邊緣242已經通過第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932。這防止了第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932接觸基板230的前邊緣242。如果第一側劃痕工具912及/或第二側劃痕工具932接觸基板230的前邊緣242,則會將碎片、缺陷、裂紋、破裂、或其他不希望的缺陷引入基板230中。然而,所需的是,第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932在基板230的表面上的儘可能靠近前邊緣242的位置處接觸基板。在一些示例中,第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932以距前邊緣242約1mm或更小的縱向距離接觸基板230。在其他示例中,第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932以距前邊緣242約2mm或更小的縱向距離接觸基板230。尚在其他示例中,第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932在距前邊緣242的其他縱向距離處接觸基板230,這適於防止在當斷裂設備(例如,圖13)將邊緣部分沿著劃痕線232、234與基板230分離時,產生碎片或其他缺陷。
如圖9進一步所示,劃痕設備900的第一側902可以包括第一側支撐輥單元914,並且劃痕設備900的第二側904可以包括第二側支撐輥單元934。除了在基板230的相對側上與第二側支撐輥單元934對稱地相對設置之外,第一側支撐輥單元914可以與第二側支撐輥單元934基本相似。為了簡潔起見,以下描述第一側支撐輥單元914,但是應當理解,具有第二側支撐輪936的第二側支撐輥單元934可以具有相似的結構和功能。
第一側支撐輥單元914可位於第一劃痕工具912的下方。第一側支撐輥單元914可包括第一側支撐輪916。第一側支撐輪916可位於第一側劃痕工具912下方。當基板230移動通過劃痕設備900時,第一側支撐輪916可以接觸基板230的面向下的表面。當第一側劃痕工具912向下移動並接觸基板230的面向上的表面時,第一側支撐輪916可以在第一側劃痕工具912下方支撐基板230的面向下的側。因此,基板230可以在第一側劃痕工具912與第一側支撐輪916之間通過。在該支撐下,當第一側劃痕工具912刻劃基板230時,基板230不會受到不希望的彎曲力或其他應力。
現在參考圖10,示出了劃痕設備900的一部分的第二側904。可以看出,第二側904可以包括致動器946、劃痕工具932、第二側真空附件940、及第二側塗油單元938。致動器946可以透過第一連桿960與第二連桿962連接到第二側的主體。第一連桿960與第二連桿962可以允許致動器946使劃痕工具932朝向基板230移動(即,如圖10中所示的向下)。致動器946可以是任何合適的致動器,例如線性致動器、氣缸、螺線管等。第二側劃痕工具932可以是任何合適的劃痕工具,例如劃痕輪等。
第二側塗油單元938可以連接至第二側劃痕工具932。第二側塗油單元938可以與第二側劃痕工具932和基板230相聯通,或容納一定量的油或其他與其材料兼容的潤滑劑。第二側塗油單元938可以在劃痕期間,在第二側劃痕工具932接觸基板230的位置處或附近,將油或其他潤滑劑輸送到第二側劃痕工具932。以這種方式,第二側塗油單元938可以最小化及/或防止由於第二側劃痕工具932接觸並刻劃基板230而可能導致的不希望的摩擦、熱量、或其他負面特性。
第二側真空附件940可位於第二側劃痕工具932上方。在其他示例中,第二側真空附件940可以位於其他位置。第二側真空附件940可以允許真空源流體地連接到劃痕設備900的第二側904。例如,真空源可以連接在第二側真空附件940的上圓柱形部分處。一延伸軟管或其他合適的延伸件,可以連接至第二側真空附件940的相對側。該延伸軟管或其他合適的延伸件,可朝第二側劃痕工具932處或附近的位置延伸。當第二側劃痕工具932接觸基板230時,會產生顆粒、碎片、或其他碎屑。可從第二側真空附件940延伸的延伸軟管(未示出),可以從基板230的表面收集顆粒、碎片、或其他碎屑。在其他示例中,可以使用其他合適的真空源、鼓風機、或其他設備來收集、清潔、或清除基板230上的碎屑。
現在參考圖9與圖11,劃痕設備900還可包括推輥單元950。推輥單元950可以安裝到劃痕設備900的中心區域。推輥單元950例如可以通過推輥臂952安裝到劃痕框架908。在其他示例中,可以使用其他合適的支撐結構將推輥臂952定位在劃痕設備900上。推輥單元950用於向基板230施加穩定力,以當基板230移動通過劃痕設備900時,防止及/或最小化基板230的振動或其他不需要的運動。如圖所示,推輥單元950包括位於劃痕輸送帶216的表面處或附近的一個推輥桿954,以使得當基板230移動通過劃痕設備900時,該推輥桿(或其元件)可以接觸基板230以施加穩定力。在其他示例中,推輥單元950可以包括兩個或更多個推輥桿954或其他合適的結構,以向基板230施加穩定力。
在所示的示例中,推輥桿954可以包括一系列推輥輪970,每個推輥輪970可以透過指狀延伸件972連接到推輥桿954。每個指狀延伸件972可具有一樞轉點,該樞轉點允許指狀延伸件972旋轉附接到指狀延伸件972的推輥輪970以朝向和遠離基板230而移動(即,在圖11中向上和向下移動)。每個指狀延伸件972可以使用諸如螺旋彈簧、板簧,可壓縮緩衝器等的偏置構件(未示出)朝著基板230而偏置(即,在圖11中向下)。可以選擇諸如材料、彈簧常數等的偏置構件的特性,以使得當基板230移動通過劃痕設備900時,將所需的穩定力透過推輥輪970施加至基板230上。在所示示例中,推輥單元950包括六個推輥輪970。在其他示例中,可以使用其他數量的推輥輪970或其他推動構件(例如推腳、彎曲的板簧等)向基板230施加穩定力。
在通過劃痕設備900之後,劃痕輸送帶216可以將基板230沿第二輸送方向B移出劃痕區214並朝向斷裂區220。基板230可以從劃痕輸送帶216移動到斷裂區220中的斷裂輸送帶218。如圖12的一個例子所示,斷裂設備1200可安裝在相對於斷裂輸送帶218的一所需的位置。斷裂設備1200可包括第一斷裂組件1220及第二斷裂組件1230。第一斷裂組件1220可以位於基板230的一側與斷裂輸送帶218的一側。第二斷裂組件1230可以位於斷裂輸送帶218的相對側。
斷裂輸送帶218可以是任何合適的輸送帶,並且在所示的示例中是雙帶輸送帶。在該示例中,斷裂輸送帶218可以包括第一帶1208及第二帶1210。第一帶1208與第二帶1210可以聯接至馬達1206。斷裂輸送帶218還可包括編碼器(未示出),該編碼器可監測及/或測量第一帶1208及/或第二帶1210的輸送速度。馬達1206及/或編碼器(以及斷裂設備及/或斷裂輸送帶218的其他元件)可以聯接至邊緣修整控制器120,以便測量、監視、及/或控制斷裂輸送帶218及/或斷裂設備1200的操作,以使其操作同步於輸送系統200的其他元件。
在所示示例中,斷裂輸送帶218還可包括第一輸送帶調節器1202及第二輸送帶調節器1204。第一輸送帶調節器1202與第二輸送帶調節器1204可以分別移動第一帶1208與第二帶1210。第一輸送帶調節器1202與第二輸送帶調節器1204可以使用任何合適的連桿或調節機構,分別聯接至第一帶1208與第二帶1210。在一些示例中,第一輸送帶調節器1202與第二輸送帶調節器1204可以聯接至蝸輪、螺桿、齒條、及小齒輪機構或其他合適的裝置,其可以在當第一輸送帶調節器1202及/或第二輸送帶調節器1204旋轉時,使第一帶1208與第二帶1210朝向彼此移動,或朝向彼此分離。在其他示例中,第一帶1208與第二帶1210的間距可以使用伺服馬達、電動馬達、致動器等進行電性控制和調節。
當基板移動通過斷裂設備1200時,可能需要調整第一帶1208與第二帶1210的間距,以使第一帶1208與第二帶1210位於基板230的劃痕線232、234處或附近(圖2A)。當基板230的邊緣部分被分離時,第一帶1208與第二帶1210可以在劃痕線232、234處或附近支撐基板230。
現在參考圖13,示出了示例第一斷裂組件1220。可理解的是,第二斷裂組件1230可以大致上類似於第一斷裂組件1220。第二斷裂組件1230可以與第一斷裂組件1220對稱地相對地定位和配置。為了簡潔起見,以下描述第一斷裂組件1220,但是應當理解,第二斷裂組件1230可以包括相似的元件和相似的構造。
如該示例中所示,第一斷裂組件1220可包括斷裂調節器1304、第一支架致動器1306、第一支架桿1308、第二支架致動器1310、第二支架桿1312、斷裂致動器1314、及斷裂棒1316。斷裂調節器1304可以是可用於在橫向方向(即,在垂直於第二輸送方向B的方向)上調節支架桿1308、1312的位置及/或斷裂棒1316的位置。斷裂調節器1304可以例如用於將支架桿1308、1312定位在劃痕線232的內側上,以及將斷裂棒1316定位在劃痕線232的外側上。如圖進一步所示,可以使用第一支架附件1330進一步調節第一支架桿1308,並且可以使用第二支架附件1332進一步調節第二支架桿1332,第一支架附件1330與第二支架附件1332可以使支架桿1308、1312相對於斷裂框架1302移動。
當如前所述將第一斷裂組件1220調整到適當位置時,第一支架桿1308與第二支架桿1312可沿朝向與遠離基板230的方向(即,如圖13所示沿向上和向下的方向)移動。可以分別使用第一支架致動器1306與第二支架致動器1310來移動第一支架桿1308與第二支架桿1312。第一支架致動器1306與第二支架致動器1310可以是任何合適的致動器,例如線性致動器、氣缸、螺線管等。
當基板230在第二輸送方向B上通過斷裂設備1200移動時,第一支架桿1308與第二支架桿1312可各自接觸基板230。第一支架桿1308及/或第二支架桿1312可以接觸基板以向基板230施加穩定力。施加穩定力以減小或最小化斷裂設備1200中基板230的不需要的振動或其他運動。
在所示的示例中,第一斷裂組件1220使用兩個支架桿(即,第一支架桿1308與第二支架桿1312)在斷裂區220中接觸基板230。在其他示例中,第一斷裂組件1220可使用多於或少於兩個的支架桿。然而,可依需求包括至少兩個支架桿,以便可以更容易地及/或更精確地調節各個支架桿,以確保在支架桿的整個長度上對基板230施加一致的穩定力。
在施加穩定力之後或與之同時,可以透過斷裂致動器1314來移動斷裂棒1316。斷裂致動器1314可以是與前述的支架致動器1306、1310相似的致動器。在其他示例中,斷裂致動器1314可以是與支架致動器1306、1310不同的氣缸、線性致動器、螺線管、或其他致動器。當基板通過斷裂設備1200時(即,如圖13所示之向下),斷裂致動器1314可以使斷裂棒1316在朝向基板230的方向上移動。斷裂致動器1314可以在劃痕線232處或附近將斷裂棒1316推向基板的上表面,以使邊緣部分236從基板的主體部分240分離或脫離(圖2A)。由於基板230被劃痕設備900沿著劃痕線232刻劃,因此基板230將以可重複且有效的方式沿著劃痕線232斷裂。
斷裂棒1316的長度可以至少與基板230的長度L一樣長。通過該相對尺寸,斷裂棒1316可沿基板230的整個長度L施加斷裂力。斷裂棒1316還可具有一或多個沿斷裂棒1316的下邊緣設置的斷裂輪1322。當施加斷裂力至基板時,斷裂輪1322可以接觸基板230的表面。儘管斷裂器的斷裂動作可以是快速運動,但是斷裂輪1322可以限制或最小化斷裂棒1316與基板230之間可能存在的摩擦力。繼而,這在分離了邊緣部分之後,能改善斷裂的品質及基板230的邊緣條件。
圖14示出了示例性支架桿1312。支架桿1312可以類似於先前描述的推輥桿954。支架桿1312可包括一系列支架輪1402,每個支架輪可藉由支架指狀物1404連接至支架框架1406。支架指狀物1404可以相對於支架框架1406樞轉,並且在朝著基板230的方向上偏向。因此,當將斷裂棒1316施加至基板230上時,支架輪1402可以朝基板偏向以向基板施加穩定力。
在一些示例中,支架桿1312及/或斷裂棒1316可以相對於基板230的頂表面成一角度。如圖15所示,支架桿1312(或斷裂棒1316)的下游端,可以在比支架桿1312(或斷裂棒1316)的上游端更高的一垂直位置處。支架桿1312(或斷裂棒1316)可以相對於基板230的頂表面以角度θ定位。該導入角θ可以小於5度。導入角θ可以減小斷裂設備1200中基板230的振動、移動,以減少或限制缺陷、碎片、顆粒形成、破裂、或其他不良影響。
當基板移動通過斷裂設備1200時,隨著基板在第二輸送方向B上移動,斷裂棒1316可以移動以接觸基板230的邊緣部分236、238。因此,基板可以在整個輸送系統200中連續地移動。如前所述,在現有的與傳統的邊緣修整程序中,邊緣部分236、238通常在與形成基板230的位置不同的設備中分離。在邊緣修整程序100中,可以在形成基板的相同設備中分離邊緣部分236、238。由於是這種情況,邊緣部分236、238可以大致上無污染,並且可以容易地回收及/或再生,以進一步用於製造另外的基板。如此,邊緣部分236、238可被收集在斷裂區220中。雖然未示出,但是斷裂區220可以包括容器或其他收集器,邊緣部分236、238在與基板230分離之後可以落入其中。這些經收集的邊緣部分236、238可以被回收及/或再生以用來熔化並形成新的基板230。
在邊緣部分236、238與基板230分離之後,基板230可以在第二輸送方向上遠離斷裂設備1200,並且朝斷裂輸送帶218上的下游端1212移動。斷裂輸送帶218的下游端1212可以位於第二運送區224中。可以在第二運送區224中移動基板230以將方向從第二輸送方向B改變為第三輸送方向C。可以使用與有關於第一運送區208所討論的結構和過程相似的方法來完成在第二運送區224中改變基板230的輸送方向的該程序。
例如,第二升降單元1600可以位於斷裂輸送帶218的第一帶1208與第二帶1210之間。除了第二升降單元1600具有更窄的輪廓之外,第二升降單元1600可以在許多態樣中類似於第一升降單元400,因為當基板以縱向方向定位在斷裂輸送帶218上(即,基板230的較長側係指向平行於輸送方向B)時,第二升降單元1600可以從第一帶1208與第二帶1210之間提升基板230。。
第二升降單元1600可包括升降安裝板1606,其可用於將第二升降單元1600連接到斷裂輸送帶218。第二升降單元1600還可包括第二升降致動器1604,其可沿朝向基板230的方向移動第二升降豎管1602。緩衝器1616可以在間隔件1614的遠端處連接。緩衝器1616可接觸基板230,以將基板230從第一位置移動到第二位置,在第一位置處基板230接觸斷裂輸送帶218,在第二位置處基板230被第三輸送帶222保持(圖17)。
如圖17所示,第三輸送帶222可以是類似於第二輸送帶206的真空帶式輸送帶。第三輸送帶222可包括例如具有一系列開口1712的帶1702。第三輸送帶222還可以包括一系列空氣附件1714A至1714D,藉由這些附件可以施加空氣源以透過開口1712施加負壓,以將基板230保持在帶1702上。以這種方式,基板230可以被保持在帶1702的底表面。因此,基板230可以被第二升降單元1600從斷裂輸送帶218提升到帶1702的底表面。基板230可以保持在帶1702的底表面,並且可以在第三輸送方向C上移出第二運送區224。
為了允許這樣的運送,可以使用第一托架1706與第二托架1708在第二運送區224中定位第三輸送帶222的上游端1720,使得第三輸送帶222的上游端1720可以與斷裂輸送帶218的下游端1212重疊。第三輸送帶222可包括馬達1704及編碼器1718。馬達1704與編碼器1718可以耦合至邊緣修整控制器120,以便測量、監視、及/或控制第三輸送帶222及/或第二升降單元1600的操作,以使其與輸送系統200的其他元件同步操作。
基板230可以在第三輸送方向C上移出第二運送區224,並下落到第四輸送帶228上。第四輸送帶228可以是雙帶輸送帶或其他合適的輸送帶,其可以進一步將基板230移入及/或穿過第二處理區226。
邊緣修整程序100及/或輸送系統200的前述設備和處理細節,可以以一種或多種方法來實現。在圖18所示的一個示例方法中,示出了從一基板分離一邊緣部分的方法。示例性方法1800開始於步驟1802。在步驟1802,劃痕設備可以確定基板的前邊緣何時通過劃痕工具。在一個示例中,劃痕設備900可以使用第一側感應器922或第二側感應器942確定何時基板230的前邊緣242已經通過劃痕工具912或932。在其他示例中,可以使用其他合適的感應器或其他光學裝置。
在步驟1804,可以在基板相對於劃痕工具移動時,將劃痕工具施加至基板上。在上面討論的示例中,劃痕設備900可以使第一側致動器910及/或第二側致動器946移動第一側劃痕工具912與第二側劃痕工具932成與基板230接觸,以沿著劃痕線232、234刻劃基板。在劃痕工具912、932刻劃基板930的同時,劃痕輸送帶216可相對於劃痕設備900移動基板230。
在步驟1806,可以在將劃痕工具施加至基板的同時將推輥單元施加至基板。在上述示例中,當基板230相對於劃痕設備900在劃痕輸送帶216上移動時,在推輥輪970接觸基板230的同時,劃痕設備900可以將推輥單元950保持在適當的位置,並向基板230施加穩定力。
在步驟1808,可以將斷裂棒施加至基板上,以在基板相對於斷裂棒移動時沿著劃痕線將邊緣部分與基板分離。在上述示例中,斷裂設備1200可以在劃痕線232、234處或附近移動斷裂棒1316以接觸基板230,以使邊緣部分236、238在劃痕線232、234處與基板分離。發生這種情況時,基板230在斷裂輸送帶218上相對於斷裂設備1200移動。
在步驟1810,可以將支架單元施加至基板上,以在基板相對於斷裂棒移動時向基板施加穩定力。在上述示例中,當基板230相對於斷裂設備1200在斷裂輸送帶218上移動時,斷裂設備1200可以移動第一支架桿1308及/或第二支架桿132以接觸基板230,以向基板230施加穩定力。
可理解的是,方法1800的步驟可以包括其他步驟,或者可以同時應用於基板230的多個側面。當多個基板230連續地在線內移動通過輸送系統200時,方法1800的步驟可以重複地應用於後續的基板230。
在另一示例方法中,示出了改變基板的輸送方向的方法1900。方法1900開始於步驟1902。在步驟1902,可以使用第一輸送帶將基板沿第一輸送方向移動到運送區中。在上面示出的示例中,方法1900可以應用於例如第一運送區208中。方法1900也可以應用在第二運送區224中。為了簡潔起見,在第一運送區208的上下文中描述了方法1900。在步驟1902,例如,第一輸送帶202可以沿第一輸送方向A將基板230移動到運送區208中。
在步驟1904,可以將基板從第一輸送帶上的第一運送位置運送到第二輸送帶上的第二運送位置。第一運送位置與第二運送位置可以處於不同的垂直高度。在上述示例性第一運送區208中,第一升降單元400可以將基板230從第一輸送帶202上的第一位置移動到第二輸送帶206的底表面上的第二位置。第一輸送帶202上的基板230的位置與第二輸送帶206上的基板230的位置的垂直高度不同。在該示例中,將基板從第一位置提升到在第一位置上方的第二位置。在其他示例中,該配置可以顛倒並且基板230可以從第一位置移動到第二位置,其中第二位置可以低於第一位置。在這樣的替代示例中,基板可以從第一位置下降到第二位置。第一輸送帶202與第二輸送帶206可以例如以這種替代配置進行切換。
在步驟1906,將基板沿第二輸送方向移動遠離運送區。第二輸送方向可以不同於第一輸送方向。在上述示例性第一運送區208中,第二輸送帶206可使基板230沿第二輸送方向B移動遠離第一運送區208。在所示的示例中,第一輸送方向A與第二輸送方向B係設置為彼此垂直。在其他示例中,可以將輸送方向設置在其他相對方向上。
如上所述,本案的設備與方法提供了相對於現有及/或傳統邊緣修整程序及輸送程序的顯著改進。本案的方法與設備允許基板通過邊緣修整程序有效且連續地移動,而循環時間是之前使用傳統方法所不允許的。
本案描述的方法及程序可以至少部分地以電腦應用的程序,及用於那些程序的設備的形式來實現。所揭示的方法還可以至少部分地以用電腦程式代碼編碼的有形的、非瞬態的機器可讀儲存媒體的形式來實現。媒體可以包括,例如,RAM、ROM、CD-ROM、DVD-ROM、BD-ROM、硬碟驅動器、快閃記憶體或任何其他非瞬態機器可讀儲存媒體、或這些媒體的任意組合,其中,當將電腦程式代碼加載到電腦中並由該電腦執行時,該電腦即成為用於實施該方法的設備。所述方法也可以至少部分地以電腦的形式實現,在該電腦中加載及/或執行電腦程式代碼,使得電腦成為用於實施所述方法的設備。當在通用目的處理器上實現時,電腦程式代碼段將處理器配置為創建特定的邏輯電路。該方法可替代地至少部分地實現在由用於執行該方法的專用積體電路形成的數位訊號處理器中。
儘管已經根據示例性實施例描述了本發明標的,但是並不限於此。反而,所附申請專利範圍應該被寬泛地解釋,以包括本領域技術人員可以完成的其他變化型和實施例。
100:邊緣修整程序
102:第一處理區
104:第一運送區
106:置中區
108:劃痕區
110:斷裂區
112:第二運送區
114:第二處理區
120:邊緣修整控制器
200:輸送系統
202:第一輸送帶
204:第一處理區
206:第二輸送帶
208:第一運送區
210:置中輸送帶
212:置中區
214:劃痕區
216:劃痕輸送帶
218:斷裂輸送帶
220:斷裂區
222:第三輸送帶
224:第二運送區
226:第二處理區
228:第四輸送帶
230:基板
230A:第一基板
230B:第二基板
232:第一劃痕線
234:第二劃痕線
236:第一邊緣部分
238:第二邊緣部分
240:主體部分
242:前邊緣
244:後邊緣
246:第一邊緣
248:第二邊緣
304:支撐結構
306:第一帶
308:第二帶
310:馬達
312:編碼器
314:感應器
316:下游端
318:上游端
400:第一升降單元
402:附接結構
404:升降致動器
406:升降器
408:間隔件
410:緩衝器
414:偏向器
418:感應器
502:帶
520:馬達
522:頂表面
524:底表面
526:開口
530A:空氣附件
530B:空氣附件
530C:空氣附件
530D:空氣附件
530E:空氣附件
530F:空氣附件
532:編碼器
538:第一支架
540:第二支架
542:上游端
544:下游端
602:馬達
604:第一帶
606:第二帶
608:編碼器
610:支撐結構
700:置中設備
702:主體部分
704:第一側
706:第一側調節器
708:第二側
710:第二側調節器
720:第二置中桿
722:第二置中棒
724:置中輪
730:第一置中桿
732:第一置中棒
734:置中輪
802:帶
806:馬達
808:開口
812:頂表面
816A:空氣附件
816B:空氣附件
816C:空氣附件
816D:空氣附件
900:劃痕設備
902:第一側
904:第二側
908:劃痕框架
910:第一側致動器
912:第一側劃痕工具
914:第一支撐輥單元
916:第一側支撐輪
920:第一側真空附件
922:第一側感應器
924:第一側調節器
930:基板
932:第二側劃痕工具
934:第二支撐輥單元
936:第二側支撐輪
938:第二側塗油單元
940:第二側真空附件
942:第二側感應器
944:第二側調節器
946:第二側致動器
950:推輥單元
952:推輥臂
954:推輥桿
960:第一連桿
962:第二連桿
970:推輥輪
972:指狀延伸件
1200:斷裂設備
1202:第一輸送帶調節器
1204:第二輸送帶調節器
1206:馬達
1208:第一帶
1210:第二帶
1212:下游端
1220:第一斷裂組件
1230:第二斷裂組件
1302:斷裂框架
1304:斷裂調節器
1306:第一支架致動器
1308:第一支架桿
1310:第二支架致動器
1312:第二支架桿
1314:斷裂致動器
1316:斷裂棒
1322:斷裂輪
1330:第一支架附件
1332:第二支架附件
1402:支架輪
1404:支架指狀物
1406:支架框架
1600:第二升降單元
1602:第二升降豎管
1604:第二升降致動器
1606:升降安裝板
1614:間隔件
1616:緩衝器
1702:帶
1704:馬達
1706:第一托架
1708:第二托架
1712:開口
1714A:空氣附件
1714B:空氣附件
1714C:空氣附件
1714D:空氣附件
1718:編碼器
1720:上游端
1800:方法
1802:步驟
1804:步驟
1806:步驟
1808:步驟
1810:步驟
1900:方法
1902:步驟
1904:步驟
1906:步驟
當結合附圖閱讀時,根據以下詳細描述可以較佳地理解本案。要強調的是,根據慣例,附圖的各種特徵不一定按比例繪製。相反地,為了清楚起見,各種特徵的尺寸可任意放大或縮小。在整個說明書和附圖中,相同的附圖標記表示相同的特徵。
圖1圖示出根據一些實施例的示例性邊緣修整程序的方塊圖。
圖2圖示出可以與本案的邊緣修整程序結合使用的示例性輸送系統的立體圖。
圖2A圖示出可以使用根據一些實施例的圖2的示例性輸送系統移動的示例性基板的等角視圖。
圖3圖示出根據一些實施例的示例性輸送帶的等角視圖,其可用於將基板移動到運送區中。
圖4A圖示出根據一些實施例的示例性升降單元的等角視圖,該示例性升降單元可用於在運送區中移動基板。
圖4B圖示出根據一些實施例的位於運送區中的圖4A的升降單元的端視圖,其用於將基板從第一輸送帶移動到第二輸送帶。
圖5圖示出根據一些實施例的示例性輸送帶的等角視圖,其可用於將基板移離運送區。
圖6圖示出根據一些實施例的示例性輸送帶的等角視圖,其可用於使基板移動通過置中區。
圖7圖示出根據一些實施例的可以在置中區中使用的示例性置中設備的立體圖。
圖8圖示出根據一些實施例的可以在劃痕區中使用的示例性輸送帶的等角視圖。
圖9圖示出根據一些實施例的可以在劃痕區中使用的示例性劃痕設備的等角視圖。
圖10圖示出根據一些實施例的圖9的一部分的劃痕裝置的等角視圖。
圖11圖示出示例性推輥單元的等角視圖,其可以是根據一些實施例的圖9的部分的劃痕設備。
圖12圖示出根據一些實施例的示例性斷裂設備和示例性輸送帶的等角視圖,其可以在斷裂區中使用。
圖13圖示出根據一些實施例的圖12的一部分的示例性斷裂設備的等角視圖。
圖14圖示出根據一些實施例的圖12的斷裂設備的示例性斷裂棒的等角視圖。
圖15圖示出根據一些實施例的圖14的斷裂棒的側視圖,其在斷裂區中接觸基板。
圖16是根據一些實施例的可以在運送區中使用的另一示例性升降設備的等角視圖。
圖17是根據一些實施例的示例性輸送帶的等角視圖,其可用於將基板移出運送區。
圖18圖示出根據一些實施例的從基板分離邊緣部分的示例性方法的流程圖。
圖19圖示出根據一些實施例的改變基板的輸送方向的示例性方法的流程圖。
國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記)
無
國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記)
無
200:輸送系統
202:第一輸送帶
204:第一處理區
206:第二輸送帶
208:第一運送區
210:置中輸送帶
212:置中區
214:劃痕區
216:劃痕輸送帶
218:斷裂輸送帶
220:斷裂區
222:第三輸送帶
224:第二運送區
226:第二處理區
228:第四輸送帶
230:基板
Claims (30)
- 一種從一玻璃基板分離一邊緣部分的方法,包括下列步驟: 當該玻璃基板相對於一劃痕設備移動時,將該劃痕設備的一劃痕工具施加至該玻璃基板上,以使該劃痕工具沿著一劃痕線劃痕該玻璃基板;以及 當該玻璃基板相對於一斷裂棒移動以沿著該劃痕線將該邊緣部分與該玻璃基板分離時,將一斷裂設備的該斷裂棒施加至該玻璃基板上。
- 如請求項1所述的方法,還包括步驟:在一邊緣感應器檢測到該玻璃基板的一前邊緣已經通過該劃痕工具之後,使該玻璃基板與該劃痕工具接觸。
- 如請求項1所述的方法,還包括步驟:利用一推輥單元向該玻璃基板施加一劃痕穩定力。
- 如請求項1所述的方法,還包括步驟:利用一劃痕輸送帶使該玻璃基板相對於該劃痕設備移動。
- 如請求項1所述的方法,其中將該劃痕工具施加至該玻璃基板上的步驟,包括步驟:在一邊緣感應器檢測到該玻璃基板的一前邊緣已經通過一第一劃痕工具及一第二劃痕工具後,將該第一劃痕工具施加至該玻璃基板的一第一邊緣部分,並且將該第二劃痕工具施加至該玻璃基板的一第二邊緣部分,該第一邊緣部分與該第二邊緣部分對向設置在該玻璃基板上。
- 如請求項1所述的方法,其中該斷裂棒包括與該玻璃基板的該邊緣部分接觸的複數斷裂輪。
- 如請求項1所述的方法,還包括利用複數支架輪向該玻璃基板施加一斷裂穩定力。
- 如請求項1所述的方法,其中該將該斷裂棒施加至該玻璃基板上的步驟,包括步驟:在該玻璃基板相對於該斷裂棒移動的同時,移動該斷裂棒朝向該玻璃基板的該邊緣部分。
- 如請求項8所述的方法,其中該斷裂棒沿一斷裂方向移動,該斷裂方向不同於該玻璃基板相對於該斷裂棒的移動。
- 如請求項1所述的方法,還包括步驟:利用一斷裂輸送帶使該玻璃基板相對於該斷裂棒移動。
- 如請求項10所述的方法,其中該斷裂輸送帶支撐相鄰於該劃痕線的該玻璃基板,並且可操作以在朝向及遠離該劃痕線的一方向上進行調節。
- 如請求項1所述的方法,還包括步驟:在一運送區中,將該玻璃基板的一輸送方向從一第一輸送方向改變為一第二輸送方向,其中: 該玻璃基板在該第一輸送方向上移動時係由一第一輸送帶支撐,在該第二輸送方向上移動時係由一第二輸送帶支撐;以及 當該玻璃基板由該第一輸送帶與該第二輸送帶支撐在該運送區中時,該玻璃基板係設置在不同的垂直位置。
- 一種邊緣分離設備,包括: 一劃痕設備,包括一劃痕工具,該劃痕工具配置以沿著一劃痕線劃痕一玻璃基板; 一劃痕輸送帶,配置成當該劃痕工具劃痕該玻璃基板時,使該玻璃基板相對於該劃痕設備移動; 一斷裂設備,包括一斷裂棒,該斷裂棒配置以沿著該劃痕線將一邊緣部分與該玻璃基板分離;以及 一斷裂輸送帶,配置以當該斷裂棒將該邊緣部分與該玻璃基板分離時,使該玻璃基板相對於該斷裂設備移動。
- 如請求項13所述的邊緣分離設備,其中該劃痕設備還包括一邊緣感應器及一劃痕致動器,該邊緣感應器配置以當該玻璃基板朝向該劃痕設備移動時檢測該玻璃基板的一前邊緣,且該劃痕致動器係連接到該劃痕工具,並且可操作以在該邊緣感應器檢測到該玻璃基板的該前邊緣已經移動經過該劃痕工具之後,移動該劃痕工具以與該玻璃基板接觸。
- 如請求項13所述的邊緣分離設備,其中該劃痕設備還包括一推輥單元,該推輥單元包括複數個推輥,配置以向該玻璃基板施加一劃痕穩定力。
- 如請求項13所述的邊緣分離設備,其中該斷裂棒包括複數個斷裂輪,配置以接觸該玻璃基板的該邊緣部分。
- 如請求項13所述的邊緣分離設備,其中該斷裂設備還包括一支架單元,該支架單元包括複數個支架輪,配置以向該玻璃基板施加一斷裂穩定力。
- 如請求項13所述的邊緣分離設備,其中該斷裂設備還包括連接至該斷裂棒的一斷裂致動器,該斷裂致動器配置以在一斷裂方向上移動該斷裂棒,該斷裂方向不同於該斷裂輸送帶的一輸送方向。
- 如請求項13所述的邊緣分離設備,還包括一運送輸送帶,位於該斷裂輸送帶的下游,且在一運送區中與一部分的該斷裂輸送帶重疊,其中: 該運送輸送帶係配置以在一第二輸送方向上移動該玻璃基板,該第二輸送方向不同於該斷裂輸送帶的一第一輸送方向;以及 該運送輸送帶在與該斷裂輸送帶的一不同垂直位置處將該玻璃基板支撐於該運送區中。
- 一種將一玻璃基板從一第一輸送方向輸送到一第二輸送方向的方法,包括以下步驟: 使用一第一輸送帶將一玻璃基板沿該第一輸送方向移動到一運送區中; 將該玻璃基板從該第一輸送帶上的一第一運送位置輸送到一第二輸送帶上的一第二運送位置,其中該第一運送位置與該第二運送位置係位於不同的垂直高度;以及 將該玻璃基板沿該第二輸送方向移動遠離該運送區,其中該第一輸送方向與該第二輸送方向不同。
- 如請求項20所述的方法,其中該第二運送位置係在該第一運送位置的上方。
- 如請求項20所述的方法,其中該將該玻璃基板從該第一運送位置輸送到該第二運送位置的步驟,包括步驟:將該玻璃基板從該第一輸送帶提升到該第二輸送帶。
- 如請求項20所述的方法,其中該將該玻璃基板沿該第二輸送方向移動的步驟,包括步驟:將該玻璃基板保持在該第二輸送帶的一底表面上。
- 如請求項20所述的方法,其中,該玻璃基板包括一第一表面及與該第一表面相對的一第二表面,該第一輸送帶將該玻璃基板支撐在該第一表面上,並且該第二輸送帶將該玻璃基板支撐在該第二表面上。
- 如請求項20所述的方法,其更包括步驟: 在將一第一玻璃基板移出該運送區的同時,將一第二玻璃基板移入該運送區,使得至少一部分的該第一玻璃基板垂直地重疊至少一部分的該第二玻璃基板。
- 一種用於將一玻璃基板從一第一輸送方向輸送到一第二輸送方向的輸送設備,包括: 一第一輸送帶,其配置以在該第一輸送方向上移動該玻璃基板,該第一輸送帶包括一第一下游端,該第一下游端位於一運送區中; 一第二輸送帶,其配置以在該第二輸送方向上移動該玻璃基板,該第二輸送帶包括一第二上游端,該第二上游端位於與該第一輸送帶的該第一下游端重疊的該運送區中;以及 一升降單元,位於該運送區中,包括一升降致動器及一升降器,該升降致動器連接至該升降器,以使該升降器接觸該玻璃基板,並將該玻璃基板從在該第一輸送帶的該第一下游端上的一第一運送位置移動至該第二輸送帶的該第二上游端上的一第二運送位置。
- 如請求項26所述的設備,其中該第一輸送方向不同於該第二輸送方向。
- 如請求項26所述的設備,其中該第二輸送帶的該第二下游端係位於該第一輸送帶的該第一下游端上方。
- 如請求項26所述的設備,其中該第一輸送帶包括一輸送帶,以支撐該玻璃基板的一面向下的表面。
- 如請求項26所述的設備,其中該第二輸送帶包括一真空帶,以支撐該玻璃基板的一面向上的表面。
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