TW202134486A - 用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組及其電鍍方法 - Google Patents

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Abstract

本發明為一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組及其電鍍方法，包括一電鍍槽模組，該電鍍槽模組設有一第一容納腔、一第二容納腔及一第三容納腔，該第一容納腔能夠向該第二容納腔的底部泵入電鍍藥水，該第二容納腔能夠從其上部向該第三容納腔導入電鍍藥水；一抽氣槽模組，該抽氣槽模組通過一第一泵浦與該第一容納腔連通，該第一泵浦能夠將該抽氣槽模組中的電鍍藥水泵入該第一容納腔，該第三容納腔通過一第二泵浦與該抽氣槽連通，該第二泵浦將該第三容納腔內的電鍍藥水泵入該抽氣槽模組；其垂直電鍍模組生產可滿足單面生產。

Description

用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組及其電鍍方法
本發明涉及了電鍍領域，具體的是一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組及其電鍍方法。
傳統的垂直電鍍一般為：龍門式電鍍和垂直連續式電鍍(VCP)。其中龍門式電鍍是將產品夾到專用治具上，利用天車將裝有產品的治具逐個浸泡到槽體裡面，電鍍時電流輸出至治具上，再經過治具的金屬夾點傳導至產品板面，使得藥液內的銅離子附著在生產板上，形成所需要的銅。
垂直連續式電鍍(VCP)是將產品夾到專用夾爪上，拖鏈輸送，將產品連續性的進入不同的藥水槽中，將產品夾到專用治具上，利用天車將裝有產品的治具逐個浸泡到槽體裡面，電鍍時電流輸出至治具上，再經過治具的金屬夾點傳導至產品板面，使得藥液內的銅離子附著在生產板上，形成所需要的銅。
無論是龍門式電鍍還是垂直連續式電鍍都需要將整片產品都要浸泡到藥液中去，無法滿足單面生產；且需要將相應的夾具來滿足導電的需要，由於夾具也會浸入藥水中，同樣會鍍上銅，既造成藥水的浪費，又增加保養維護的麻煩。且由於目前垂直電鍍產能的限制，一旦產能需求增加，只能重新購買整條產線。
為了克服現有技術中的缺陷，本發明實施例提供了一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組及其電鍍方法，其垂直電鍍模組生產可滿足單面生產，而不需要整片產品都要被浸泡到藥液中。
為實現上述目的，本申請實施例公開了一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，包括：一電鍍槽模組，該電鍍槽模組包括一第一箱體，該第一箱體內設有一第一容納腔、一第二容納腔以及一第三容納腔，該第一容納腔內設有一電鍍陽極網，該第一容納腔與該第二容納腔連通，該第二容納腔與該第三容納腔連通，該第二容納腔的壁面上設有一開口，該開口上設有若干個翅片，該第一容納腔能夠向該第二容納腔的底部泵入電鍍藥水，該第二容納腔能夠從其上部向該第三容納腔導入電鍍藥水；一抽氣槽模組，該抽氣槽模組通過一第一泵浦與該第一容納腔連通，該第一泵浦能夠將該抽氣槽模組中的電鍍藥水泵入該第一容納腔，該電鍍藥水從該第二容納腔的頂部進入該第三容納腔，該第三容納腔通過一過濾模組之一第二泵浦與該抽氣槽模組連通，該第二泵浦將該第三容納腔內的電鍍藥水泵入該抽氣槽模組；一夾持模組，該夾持模組設置在該開口的四周，該夾持模組能夠將產品蓋合在該開口上。
在本發明一較佳實施例中，其中該翅片與馬達傳動連接，該翅片能夠在馬達的作用下擺動。
在本發明一較佳實施例中，其中該第一箱體內設有一第一感測器，該第一感測器用於感應該第一容納腔內電鍍藥水的液位。
在本發明一較佳實施例中，其中該第二容納腔的頂部設有第二感測器，該第二感測器用於感應該第二容納腔內電鍍藥水的液位。
在本發明一較佳實施例中，其中該第三容納腔內設有第三感測器，該第三感測器用於感應該第三容納腔內的電鍍藥水的液位。
在本發明一較佳實施例中，其中該抽氣槽模組包括一第二箱體，該第二箱體內設有第四容納腔，該第二箱體的底部設有至少一第一擋板，該第一擋板的一側設有一個第二擋板，該第二擋板設置在該第二箱體的頂部。
在本發明一較佳實施例中，其中該用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組還包括一外置循環槽，該外置循環槽與該第二泵浦連接，該第二泵浦將該第三容納腔內的電鍍藥水泵入該外置循環槽，該外置循環槽通過一第三泵浦與該第四容納腔的連通；該外置循環槽的內部設有第三擋板，該第三擋板設置在該外置循環槽的底部，進入該外置循環槽的電鍍藥水會先進入該第三擋板的一側在從該第三擋板的上方進入另一側。
在本發明一較佳實施例中，其中，該第三容納腔和該外置循環槽連通的管道上設有一回流氣動閥。
在本發明一較佳實施例中，其中該夾持模組與該開口相貼的一面上設有一密封圈。
本申請實施例公開了一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組及其電鍍方法，包括以下步驟：
將需電鍍的產品搬運至該電鍍槽模組的開口處；將該夾持模組將需電鍍的產品夾持在該開口上；
啟動該第一泵浦，該第一泵浦將該抽氣槽模組內的電鍍藥水泵入該第一容納腔內，該第一容納腔通過其上方的通孔將電鍍藥水傳輸到該第二容納腔內，當該第二容納腔內的電鍍藥水沒過產品的上端時，該第二感測器感應到該第二容納腔內的電鍍藥水已達到可進行電鍍的液位，該電鍍槽模組開始對產品進行電鍍，同時該馬達帶動該翅片擺動；
該第二容納腔內液位到達一定程度，該第二容納腔內的電鍍藥水開始進入第三容納腔時，該第三感測器感應到電鍍藥水進入該第三容納腔，啟動該第二泵浦將該第三容納腔內的電鍍藥水泵入該第四容納腔；
當達到電鍍時間時，停止電鍍，停止翅片的擺動，關閉該第一泵浦和該第三泵浦，該第二泵浦繼續將電鍍槽模組內的電鍍藥水泵入該第四容納腔內；同時開啟回流氣動閥，將該第一容納腔內的電鍍藥水回流到該第四容納腔內；
當該第一感測器和該第三感測器感應到該第一容納腔和該第三容納腔內電鍍藥水排盡時，啟動該夾持模組，將完成電鍍的產品取出。
本發明的有益效果如下：
1、垂直電鍍模組生產可滿足單面生產，而不需要整片產品都要被浸泡到藥液中；
2、解除夾具的限制，無需專用夾具來完成導電的工作；傳統垂直電鍍需要將夾具浸泡到藥水中，會導致在夾具上鍍上銅，既增加夾具保養維護的難度，也造成藥水的浪費；
3、本發明提供的垂直電鍍模組由電鍍槽模組、抽氣槽模組以及夾持模組等模組組合組成，能夠模組式的生產，可針對產品的變化、產能的需求做相應的調整，能夠有效的解決現有的垂直電鍍模組在產能需求增加時，只能重新購買整條生產線的問題，同時解決了因設備占地面積過大導致的場地問題；且模組式的組合方式不會因為某一台垂直電鍍模組出了故障就全線停止，其他垂直電鍍模組還是可以正常生產，避免因異常造成的全線停滯狀況；
4、將電鍍陽極網置於第一容納腔，將需電鍍的產品置於第二容納腔，有效防止陽極產生的氣泡跑到電鍍區域內影響產品的電鍍功能；藥水通過第二容納腔的上部進入第三容納腔，利用垂直電鍍翻流設計，有效的改善電鍍回流後造成衝擊產生的氣泡，又可將氣泡排除槽體外；抽氣槽及外置循環槽擋板導流設計，更有利於氣泡的消散；
5、全自動上料模式，解除人力限制，實現全自動生產；
6、電鍍槽內翅片左右擺動利用流體力學原理，實現槽內趕氣泡及灌孔的功能，並充分攪拌電鍍槽內藥水，提高產品電鍍的均一性；
7、使用夾持模組對需電鍍產品進行固定，解除夾具的限制，更便於保養維護及提高生產效率；
8、抽氣槽模組的設計利用擋板導流，利用第一擋板進行導流，讓從第三泵浦打過來的藥水在抽氣槽模組內充分的排氣，降低第二容納腔(第二容納腔即電鍍槽)內的氣泡問題，該第一擋板的作用是引導槽內電鍍藥水的流動方向，迫使電鍍藥水從第一擋板的右側流入流動，增加液體在槽內的時間，使得氣泡從液體中排除；
9、外置循環槽的設計利用擋板導流，利用第三擋板進行導流，讓從第二泵浦打過來的藥水在外置循環槽內充分的排氣，降低第四容納腔內的氣泡問題；所述第三擋板的作用是引導槽內液體的流動方向，迫使電鍍藥水從第一擋板的右側流入流動，增加電鍍藥水在槽內的時間，使得氣泡從液體中排除；
10、利用3個泵浦來滿足不同槽體間藥液的輸送及進行藥水的過濾與置換，同時配置外置循環槽，利用第二泵浦將電鍍後含有大量氣泡的藥水送至外置循環槽內，外置循環槽亦設有擋板來做消除電鍍藥水內的氣泡問題。
為讓本發明的上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。
在本發明的描述中，需要說明的是，術語 “上”、“下”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關係為基於附圖所示的方位或位置關係，僅是為了便於描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。此外，術語“第一”、“第二”等僅用於描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者指明所指示的技術特徵的數量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特徵可以明示或隱含地包括一個或者更多個該特徵。
為達到上述目的，請參閱圖1至圖10，本發明提供一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組100，至少包括： 一電鍍槽模組1，該電鍍槽模組1包括一第一箱體11，該第一箱體11內設有一第一容納腔12、一第二容納腔13以及一第三容納腔14，該第一容納腔12內設有一電鍍陽極網121，該第一容納腔12與該第二容納腔13連通，該第二容納腔13與該第三容納腔14連通，該第二容納腔13的壁面上設有一開口131，該開口131上設有若干個翅片15，該第一容納腔12能夠向該第二容納腔13的底部泵入電鍍藥水，該第二容納腔13能夠從其上部向該第三容納腔14導入電鍍藥水；一抽氣槽模組2，該抽氣槽模組2通過一第一泵浦17與該第一容納腔12連通，該第一泵浦17能夠將該抽氣槽模組2中的電鍍藥水泵入該第一容納腔12，該電鍍藥水從該第二容納腔13的頂部進入該第三容納腔14，該第三容納腔14通過一第二泵浦41與該抽氣槽模組2連通，該第二泵浦41將該第三容納腔14內的電鍍藥水泵入該抽氣槽模組2；
夾持模組3，該夾持模組3設置在該開口131的四周，該夾持模組3能夠將產品蓋合在該開口131上。
進一步的，該翅片15與一馬達16傳動連接，該翅片15能夠在該馬達16的作用下擺動。
進一步的，該第一箱體11內設有一第一感測器111，該第一感測器111用於感應該第一容納腔12內電鍍藥水的液位。
進一步的，該第二容納腔13的頂部設有第二感測器112，該第二感測器112用於感應該第二容納腔13內電鍍藥水的液位。
進一步的，該第三容納腔14內設有第三感測器113，該第三感測器113用於感應該第三容納腔14內的電鍍藥水的液位。
進一步的，該抽氣槽模組2包括一第二箱體20，該第二箱體20內設有一第四容納腔21，該第二箱體20的底部設有至少一第一擋板22，該第一擋板22的一側設有一個第二擋板23，該第二擋板23設置在該第二箱體20的頂部。
進一步的，該夾持模組3與該開口131相貼的一面上設有一密封圈31。
進一步的，該第三容納腔14和一外置循環槽5連通的管道上設有一回流氣動閥(圖未標示)；該第一容納腔12與該第四容納腔21之間還設有一回流氣動閥(圖未標示)。
請參閱圖10，為本發明實施例中外置循環槽的內部示意圖，進一步的，該用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組100還包括該外置循環槽5，該外置循環槽5與該第二泵浦41連接，該第二泵浦41將該第三容納腔14內的電鍍藥水泵入該外置循環槽5，該外置循環槽5通過一第三泵浦42與該第四容納腔21的連通；其中該外置循環槽5的內部設有第三擋板51，該第三擋板51設置在該外置循環槽5的底部，進入該外置循環槽5的電鍍藥水會先進入該第三擋板51的一側在從該第三擋板51的上方進入另一側，並透過該第二泵浦41之吸入口52將外置循環槽5之藥水抽取送至抽氣槽模組2中；其中該外置循環槽5進一步更設有一第五感測器53，該第五感測器53係用以感測該外置循環槽5之藥水液位，以防止該第三泵浦42空吸而造成損壞。
另請參照圖9，為本發明實施例中過濾模組的內部示意圖，其中，該第二泵浦41及該第三泵浦42皆係設置於一過濾模組4內部，且該過濾模組4進一步更設有一過濾罐43及一板式熱交換器44，其中，該第三泵浦42從該外置循環槽5吸入藥水，經過該過濾罐43及該板式熱交換器44，再吐出藥水送至該第一容納腔12，而該第二泵浦41吸入口係將該抽氣槽模組2的藥水抽取並送至該外置循環槽5中。其中，該板式熱交換器44除了進出我們生產所用的藥水以外，進一步會通入冰水，以用於控制生產中的藥水溫度，且冰水的入口處有氣動閥(圖未標示)，當生產中監控到溫度高就會自動打開氣動閥，並通入冰水，以供藥水降溫，當藥水溫度穩定後氣動閥會自動關閉，停止冰水降溫。其中，該過濾罐43前後設有一壓力錶431，檢測該過濾罐43前後的壓力差，若壓力差異較大，則說明該過濾罐43的濾芯堵塞，以提醒人員即時清理更換過濾芯；此外，該過濾罐43的頂部更有排氣口，當人員更換過濾芯後，該過濾罐43內會有氣體，再打開排氣口即可有效的排除管路及該過濾罐43內的氣泡，以控制生產的穩定。
在本實施例中，請參照圖1，本發明之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組100包括長方形支撐架，該支撐架的下部設有該抽氣槽模組2，該抽氣槽模組2的上方設有該電鍍槽模組1，該電鍍槽模組1的左側設有該夾持模組3。
進一步的，請參考圖2A、圖2B、圖3至圖5，在本實施例中，該電鍍槽模組1下部的左側設有第一容納腔12，該第一容納腔12與下方的第一泵浦17連接，該第一容納腔12的內部設有一第一感測器111；該第一容納腔12的上部設有一第二容納腔13，該第二容納腔13的上部設有一第二感測器112；該第一容納腔12和該第二容納腔13的右側設有一第三容納腔14，該第三容納腔14的與該第二容納腔13的上部連通，該第三容納腔14內設有一第三感測器113，該第三容納腔14的下部與該第二泵浦41連接。
進一步的，請參考圖4，該第二容納腔13的左側壁面上設有長方形的開口131。請參考圖3，該開口131上設有若干個翅片15，該翅片15與該馬達16傳動連接。
進一步的，再請一併參考圖2A、圖2B、圖3及圖4，該開口131的四周設有一夾持模組3，該夾持模組3與該開口131四周相貼的面上設有一密封圈，當該夾持模組3將產品固定在該翅片15外側時，該產品、夾持元件能夠密合住該開口131，形成密封狀態防止電鍍藥水露出。
進一步的，再請參考圖6，該電鍍槽模組1的下方設有該抽氣槽模組2，該抽氣槽模組2的該第二箱體20內設有一第四容納腔21，該第四容納腔21的底部的中部垂直設有一個第一擋板22，該第一擋板22的右側的上壁面上設有一個第二擋板23，該第一擋板22的左側通過該第一泵浦17與該第一容納腔12連通，該第二擋板23的右側通過一第二泵浦41與該第三容納腔14連通，該第四容納腔21內還設有一第三泵浦42，該第三泵浦42用於將該第一擋板22右側的電鍍藥水傳輸到該第一擋板22的左側。
進一步的，該第一感測器111、該第二感測器112以及該第三感測器113都用於感知對應的各該第一容納腔、該第二容納腔及該第三容納腔內的液位。
進一步的，在本實施例中，請參閱圖1、圖2A，該用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組100還包括至少一真空吸附機械手6，該機械手6用於將該需電鍍的產品運輸到該夾持模組3上。
進一步的，在本實施例中，請同時參照圖7、圖8A及圖8B，該夾持模組3包括四個夾爪30，該四個夾爪30分別設置在該開口131的4個邊沿上，使其中間設有電鍍區域，且該夾持模組3上還設有至少一個第四感測器32，該第四感測器32用於感應需電鍍產品P是否放置在該開口131上，進一步的，該夾持模組3與該開口131相貼的一面上設有一密封圈31，且該密封圈31的兩相對側邊設有複數個電鍍銅塊33，各該電鍍銅塊33與該密封圈31之相對平行端更設有複數個伸縮彈簧34；當產品P壓在該密封圈31後，各該夾爪30下壓，這時各該夾爪30之壓力點與該密封圈31一致，該密封圈31壓縮並碰觸到該伸縮彈簧34上之該電鍍銅塊33，使得產品P與該密封圈31完全密閉；此時，產品P之右邊與該電鍍銅塊33完全接觸密合，能使產品P左邊之電鍍區域的藥水在生產時防止滲出，能有效避免漏液異常；據此，使該夾持模組能用以夾持及導電產品，並取消了傳統夾具浸泡到藥水槽之問題，直接讓產品邊緣貼附在導電銅塊上，同時有密封圈將藥水與導電銅塊隔離開，當整流機開啟時能使產品表面與電鍍藥水能夠導通，將藥水裡的銅離子鍍到產品上。
藉由上述結構，為達到上述目的，請參考圖1、圖2A、圖2B及圖11，本發明提供一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組的電鍍方法，包括以下步驟：
如圖1及圖2A，透過機械手6將該需電鍍的產品與送到該開口131的左側面上，該第四感測器32感應到該產品就位後，該夾持模組3將該產品夾持在該開口131上。
此外，請參閱圖7、圖8A及圖8B，該夾持模組3之拍板氣缸(圖未標示)能夠拍動一產品P，使該產品P右邊抵靠到左邊予以定位，以確保該產品P位置定位，待確認該產品P到位後，左右兩側之該夾爪30會先伸出並下壓固定住該產品P，接著，上下該夾爪30再伸出並下壓固定該產品P，使該產品P能夠穩固之夾持並進行後續電鍍處理。
該夾持模組3將該產品P夾持在該翅片15的左側，確保該產品P的該夾持模組3能夠將該開口131密封。
具體方法是產品放置於該夾持模組3上，且需要電鍍的那一面與該電鍍槽模組1內的藥水接觸，利用週邊的該密封圈31和另一面的該夾持模組3使得藥水在該第二容納腔13裡面不會滲出，而該夾持模組3相對該電鍍槽模組1之另一面無須接觸藥水，使其直接與空氣接觸；因此，與藥水接觸的那一面通電後就會有銅沉積在表面，而沒有接觸藥水的另一面則不會被鍍上銅，也不會被藥水腐蝕攻擊，使得垂直電鍍模組生產時可滿足單面生產，而不需要整片產品都被浸泡到藥液中。
進一步的，啟動該第一泵浦17，該第一泵浦17將該抽氣槽模組2內該第四容納腔21上該第一擋板22的左側的電鍍藥水泵入該第一容納腔12內，該第一容納腔12通過其上方的通孔將電鍍藥水傳輸到該第二容納腔13內，當該第二容納腔13內的電鍍藥水沒過產品的上端時，該第二感測器112感應到該第二容納腔13內的電鍍藥水已達到可進行電鍍的液位，該電鍍槽模組1開始對產品進行電鍍，該馬達16帶動該翅片15擺動，該翅片15利用流體力學原理，實現在電鍍槽內消除氣泡及灌孔的功能，並充分攪拌電鍍槽內藥水，提高產品電鍍的均一性。
再請參閱圖11，進一步的，同時，當該第二容納腔13內液位到達一定程度，該第二容納腔13內的電鍍藥水開始進入該第三容納腔14時，該第三感測器113感應到電鍍藥水進入該第三容納腔14，啟動該第二泵浦41將該第三容納腔14內的電鍍藥水泵入該第四容納腔21的一第一擋板22的右側，當該第一擋板22右側的電鍍藥水的液面達到該第一擋板22的高度時，該電鍍藥水開始從該第一擋板22的上部進入該第一擋板22的左側。利用該第一擋板22進行導流，讓從該第二泵浦41打過來的藥水在該抽氣槽模組2內充分的排氣，降低該第二容納腔13（第二容納腔13即電鍍槽）內的氣泡問題。
進一步的，當達到電鍍時間時，停止電鍍，停止翅片15的擺動，關閉該第一泵浦17和該第三泵浦42，該第二泵浦41繼續將該電鍍槽模組1內的電鍍藥水泵入該第四容納腔21內該第一擋板22的右側，同時開啟回流氣動閥，將該第一容納腔12內的電鍍藥水回流到該第四容納腔21，當該第一感測器111和該第二感測器112感應到該第一容納腔12和該第三容納腔14內電鍍藥水排盡時，啟動該夾持模組3，將完成電鍍的產品取出。
可以理解的是，本發明提供的垂直電鍍模組由電鍍槽模組、抽氣槽模組以及夾持模組等模組組合組成，能夠模組式的生產，可針對產品的變化、產能的需求做相應的調整，能夠有效的解決現有的垂直電鍍模組在產能需求增加時，只能重新購買整條生產線的問題，同時解決了因設備占地面積過大導致的場地問題；且模組式的組合方式不會因為某一台垂直電鍍模組出了故障就全線停止，其他垂直電鍍模組還是可以正常生產，避免因異常造成的全線停滯狀況。
本發明中應用了具體實施例對本發明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用於幫助理解本發明的方法及其核心思想；同時，對於本領域的一般技術人員，依據本發明的思想，在具體實施方式及應用範圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本發明的限制。
100:用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組 1:電鍍槽模組 11:第一箱體 111:第一感測器 112:第二感測器 113:第三感測器 12:第一容納腔 121:電鍍陽極網 13:第二容納腔 131:開口 14:第三容納腔 15:翅片 16:馬達 17:第一泵浦 2:抽氣槽模組 20:第二箱體 21:第四容納腔 22:第一擋板 23:第二擋板 3:夾持模組 30:夾爪 31:密封圈 32:第四感測器 33:電鍍銅塊 34:伸縮彈簧 4:過濾模組 41:第二泵浦 42:第三泵浦 43:過濾罐 431:壓力錶 44:板式熱交換器 5:外置循環槽 51:第三擋板 52:吸入口 53:第五感測器 6:機械手 P:產品
圖1為本發明實施例中用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組的結構示意圖； 圖2為本發明實施例中用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組的分解示意圖； 圖2A為本發明實施例中用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍設備的整體結構示意圖； 圖2B為本發明實施例中用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍設備的泵浦配置示意圖； 圖3為本發明實施例中電鍍槽模組的結構示意圖； 圖4為本發明實施例中電鍍槽模組的分解示意圖； 圖5為本發明實施例中用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組的內部示意圖； 圖6為本發明實施例中抽氣槽模組的內部示意圖； 圖7為本發明實施例中夾持模組的結構示意圖； 圖8A為本發明實施例中夾持上板放置作動示意圖； 圖8B為本發明實施例中夾持上板下壓夾持作動示意圖； 圖9為本發明實施例中過濾模組的內部示意圖； 圖10為本發明實施例中外置循環槽的內部示意圖；以及 圖11為本發明實施例中電鍍生產方塊示意圖。
1:電鍍槽模組
2:抽氣槽模組
3:夾持模組
15:翅片
16:馬達
111:第一感測器
112:第二感測器

Claims (12)

  1. 一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，其至少包含： 一電鍍槽模組(1)，該電鍍槽模組(1)包括一第一箱體(11)，該第一箱體(11)內設有一第一容納腔(12)、一第二容納腔(13)以及一第三容納腔(14)，該第一容納腔(12)內設有一電鍍陽極網(121)，該第一容納腔(12)與該第二容納腔(13)連通，該第二容納腔(13)與該第三容納腔(14)連通，該第二容納腔(13)的壁面上設有一開口(131)，該開口(131)上設有若干個翅片(15)，該第一容納腔(12)能夠向該第二容納腔(13)的底部連通，該第二容納腔(13)能夠從其上部向該第三容納腔(14)連通； 一抽氣槽模組(2)，該抽氣槽模組(2)通過一第一泵浦(17)與該第一容納腔(12)連通，該第三容納腔(14)通過一第二泵浦(41)與該抽氣槽模組(2)連通；一夾持模組(3)，該夾持模組(3)設置在該開口(131)的四周。
  2. 如請求項1所述之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，其中，該翅片(15)與一馬達(16)傳動連接，該翅片(15)能夠在該馬達(16)的作用下擺動。
  3. 如請求項1所述之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，其中，該第一箱體(11)內設有一第一感測器(111)，該第一感測器(111)用於感應該第一容納腔(12)和該第三容納腔(14)內電鍍藥水的液位。
  4. 如請求項1所述之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，該第二容納腔(13)的頂部設有一第二感測器(112)，該第二感測器(112)用於感應該第二容納腔(13)內電鍍藥水的液位。
  5. 如請求項1所述之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，該第三容納腔(14)內設有一第三感測器(113)，該第三感測器(113)用於感應該第三容納腔(14)內的電鍍藥水的液位。
  6. 如請求項1之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，該抽氣槽模組(2)包括一第二箱體(20)，該第二箱體(20)內設有一第四容納腔(21)，該第二箱體(20)的底部設有至少一第一擋板(22)，該第一擋板(22)的一側設有一個第二擋板(23)，該第二擋板(23)設置在該第二箱體(20)的頂部。
  7. 如請求項6之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，其中該用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組(100)還包括一外置循環槽(5)，該外置循環槽(5)與該第二泵浦(41)連接，該第二泵浦(41)將該第三容納腔(14)內的電鍍藥水泵入該外置循環槽(5)，該外置循環槽(5)通過一第三泵浦(42)與該第四容納腔(21)的連通；該外置循環槽(5)的內部設有第三擋板(51)，該第三擋板(51)設置在該外置循環槽(5)的底部，進入該外置循環槽(5)的電鍍藥水會先進入該第三擋板(51)的一側在從該第三擋板(51)的上方進入另一側。
  8. 如請求項7所述之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，其中，該第三容納腔(14)和該外置循環槽(5)連通的管道上設有回流氣動閥。
  9. 如請求項1所述之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，其中，該夾持模組(3)與該開口(131)相貼的一面上設有一密封圈(31)。
  10. 如請求項9所述之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，其中，該夾持模組(3)包括四個夾爪(30)，該四個夾爪(30)分別設置在該開口(131)的四周，且該密封圈(31)的兩相對側邊設有複數個電鍍銅塊(33)，各該電鍍銅塊(33)與該密封圈(31)之相對平行端更設有複數個伸縮彈簧(34)。
  11. 一種用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組，其至少包含： 一電鍍槽模組(1)，該電鍍槽模組(1)包括一第一箱體(11)，該第一箱體(11)內設有一第一容納腔(12)、一第二容納腔(13)以及一第三容納腔(14)，該第一容納腔(12)內設有一電鍍陽極網(121)，該第一容納腔(12)與該第二容納腔(13)連通，該第二容納腔(13)與該第三容納腔(14)連通，該第二容納腔(13)的壁面上設有一開口(131)，該開口(131)上設有若干個翅片(15)，該第一容納腔(12)能夠向該第二容納腔(13)的底部泵入電鍍藥水，該第二容納腔(13)能夠從其上部向該第三容納腔(14)導入電鍍藥水； 一抽氣槽模組(2)，該抽氣槽模組(2)通過一第一泵浦(17)與該第一容納腔(12)連通，該第一泵浦(17)能夠將該抽氣槽模組(2)中的電鍍藥水泵入該第一容納腔(12)，該電鍍藥水從該第二容納腔(13)的頂部進入該第三容納腔(14)，該第三容納腔(14)通過一第二泵浦(41)與該抽氣槽模組(2)連通，該第二泵浦(41)將該第三容納腔(14)內的電鍍藥水泵入該抽氣槽模組(2)； 一夾持模組(3)，該夾持模組(3)設置在該開口(131)的四周，該夾持模組(3)能夠將產品蓋合在該開口(131)上。
  12. 一種如請求項1至11中任一項所述之用於扇出型面板級晶片的垂直電鍍模組的電鍍方法，其至少包括以下步驟： 將需電鍍的產品搬運至該電鍍槽模組(1)的該開口(131)處；將該夾持模組(3)將需電鍍的產品夾持在該開口(131)上； 啟動該第一泵浦(17)，該第一泵浦(17)將該抽氣槽模組(2)內的電鍍藥水泵入該第一容納腔(12)內，該第一容納腔(12)通過其上方的通孔將電鍍藥水傳輸到該第二容納腔(13)內，當該第二容納腔(13)內的電鍍藥水沒過產品的上端時，該第二感測器(113)感應到該第二容納腔(13)內的電鍍藥水已達到可進行電鍍的液位，該電鍍槽模組(1)開始對產品進行電鍍，同時一馬達(16)帶動該翅片(15)擺動； 該第二容納腔(13)內液位到達一定程度，該第二容納腔(13)內的電鍍藥水開始進入該第三容納腔(14)時，該第三感測器(113)感應到電鍍藥水進入該第三容納腔(14)，啟動第二泵浦(41)將該第三容納腔(14)內的電鍍藥水泵入該第四容納腔(21)； 當達到電鍍時間時，停止電鍍，停止翅片的擺動，關閉該第一泵浦(17)和一第三泵浦(42)，該第二泵浦(41)繼續將該電鍍槽模組(1)內的電鍍藥水泵入該第四容納腔(21)內；同時開啟回流氣動閥，將該第一容納腔(12)內的電鍍藥水回流到該第四容納腔(21)內；以及 當該第一感測器(111)感應到該第一容納腔(12)和該第三容納腔(14)內電鍍藥水排盡時，啟動該夾持模組(3)，將完成電鍍的產品取出。
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