CN219696414U - 一种预贴合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于半导体生产技术领域，提供了一种预贴合装置，包括组装架以及滑动设置在组装架上的密封盖；组装架包括从上往下依次设置的组装台与输气箱；组装台与输气箱之间对称设置有T形固定板；组装台与输气箱之间均设有均流管；组装台表面均匀开设有放置槽；放置槽内底面开有气流腔；组装台内部均匀开设有气流室；各气流室与对应的气流腔之间开设有导流孔。该装置通过将待贴合部件依次放置到相适配的放置槽中，盖紧密封盖，通过进气管开始充气，气体进入气流室后通过导流孔进入气流腔中，进行预贴合，代替传统手工预贴合的方式，防止产品受力过大导致结构损伤，避免人员接触导致结构面污染。

Description

一种预贴合装置

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，更具体地说，它涉及一种预贴合装置。

背景技术

将半导体晶片切割分离为许多裸片，随后再将每个裸片安装到一个基板(substrate)(或称为支撑表面、支撑板、载板、底板、衬底、衬底晶圆、面板等)上用于后续工艺。上述安装是通过贴片工艺实现的。在所述后续工艺中，在排布在基板上的裸片周围形成塑封层并在裸片活性面形成电连接。

目前半导体行业预贴合方式多为手动贴合，但手动贴合易导致产品表面因按压导致产品污染甚至结构损伤，或因手动放置不平稳产生气泡等不良，降低了产品优良率。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种通过将各裸片放置到对应放置槽中，将对应的基板放置到放置槽中，且置于对应裸片正上方，转动丝杆带动密封盖沿着滑杆下降将密封盖盖紧在组装台上，密封盖盖紧后，基板刚好置于密封盖内顶部相适配的密封槽中，通过进气管开始充气，气体进入气流室，通过导流孔匀化气体及调节电磁阀和进气时间控制进气量，让裸片与基板完全贴合，防止产品受力过大导致结构损伤；避免人员接触导致结构面污染的预贴合装置。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种预贴合装置，包括组装架以及滑动设置在所述组装架上的密封盖；所述组装架包括从上往下依次设置的组装台与输气箱；所述组装台与输气箱之间对称设置有T形固定板；所述组装台与输气箱之间均设有均流管；所述组装台表面均匀开设有放置槽；所述放置槽内底面开有气流腔；所述组装台内部均匀开设有气流室；各所述气流室与对应的气流腔之间开设有导流孔。

本实用新型进一步设置为：所述T形固定板表面设置有滑杆；所述输气箱侧面转动设置有丝杆；所述密封盖表面开有与丝杆螺纹转动配合的螺孔；所述密封盖表面位于丝杆两侧对称开有与滑杆滑动配合的滑孔。

本实用新型进一步设置为：所述均流管内部从上往下依次设置有上均流板、下均流板。

本实用新型进一步设置为：所述放置槽内底面适配放置有裸片；所述放置槽内部适配放置有置于裸片正上方的基板；所述密封盖内顶部均匀开有与基板尺寸相适配的卡槽；所述密封盖底面设置有密封板；所述组装台表面开有与密封板插接配合的密封槽。

本实用新型进一步设置为：所述输气箱底面连通有U形管；所述U形管上设置有进气管；所述进气管中设置有电磁阀。

本实用新型的优点是：

1、本实用新型通过将各裸片放置到对应放置槽中，将对应的基板放置到放置槽中，且置于对应裸片正上方，转动丝杆带动密封盖沿着滑杆下降将密封盖盖紧在组装台上，密封盖盖紧后，基板刚好置于密封盖内顶部相适配的密封槽中，通过进气管开始充气，气体进入气流室，通过导流孔匀化气体及调节电磁阀和进气时间控制进气量，让裸片与基板完全贴合，防止产品受力过大导致结构损伤；避免人员接触导致结构面污染；量化预贴合受力大小及时间。

2、本实用新型通过将进气管与外部气泵相连，启动外部气泵开始充气，通过U形管进入输气箱，通过各组均流管中的下均流板、上均流板使得进入气流室的气体得到均化，使得进入气流腔中的气体得以均化，继而裸片受到均匀的压力，降低受力不均贴合面产生气泡的概率。

附图说明

图1为本实用新型的一种预贴合装置的结构示意图。

图2为本实用新型的图1的A处区域放大图。

图3为本实用新型的组装架与密封盖装配体的结构示意图。

图4为本实用新型的组装架的结构示意图。

图5为本实用新型的组装架另一角度的结构示意图。

图6为本实用新型的密封盖的结构示意图。

图中：1、组装架；2、密封盖；3、组装台；4、输气箱；5、均流管；6、放置槽；7、气流腔；8、气流室；9、导流孔；10、T形固定板；11、滑杆；12、丝杆；13、螺孔；14、滑孔；15、上均流板；16、下均流板；17、裸片；18、基板；19、卡槽；20、U形管；21、进气管；22、电磁阀；23、密封板；24、密封槽。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。

实施例一

请参阅图1-6，本实施例一提供以下技术方案：

具体地是指一种预贴合装置，包括组装架1以及滑动设置在组装架1上的密封盖2；组装架1包括从上往下依次设置的组装台3与输气箱4；组装台3与输气箱4之间对称设置有T形固定板10；组装台3与输气箱4之间均设有均流管5；组装台3表面均匀开设有放置槽6；放置槽6内底面开有气流腔7；组装台3内部均匀开设有气流室8；各所述气流室8与对应的气流腔7之间开设有导流孔9。

本实施例一的具体实施方式为：通过将待贴合部件依次放置到相适配的放置槽6中，盖紧密封盖2，通过进气管21开始充气，气体进入气流室8后通过导流孔9进入气流腔7中，进行预贴合，代替传统手工预贴合的方式，防止产品受力过大导致结构损伤，避免人员接触导致结构面污染。

实施例二

请参阅图1-6，本实施例二在实施例一的基础上作如下改进，具体地，T形固定板10表面设置有滑杆11；输气箱4侧面转动设置有丝杆12；密封盖2表面开有与丝杆12螺纹转动配合的螺孔13；密封盖2表面位于丝杆12两侧对称开有与滑杆11滑动配合的滑孔14；放置槽6内底面适配放置有裸片17；放置槽6内部适配放置有置于裸片17正上方的基板18；密封盖2内顶部均匀开有与基板18尺寸相适配的卡槽19；密封盖2底面设置有密封板23；组装台3表面开有与密封板23插接配合的密封槽24。

本实施例二的具体实施方式为：通过将各裸片17放置到对应放置槽6中，将对应的基板18放置到放置槽6中，且置于对应裸片17正上方，转动丝杆12带动密封盖2沿着滑杆11下降将密封盖2盖紧在组装台3上，密封盖2盖紧后，基板18刚好置于密封盖2内顶部相适配的密封槽24中，完成对各组裸片17以及基板18的放置，便与后续同步贴合的正常进行，提高了预贴合的效率。

实施例三

请参阅图3，本实施例三在实施例二的基础上作如下改进，具体地，输气箱4底面连通有U形管20；U形管20上设置有进气管21；进气管21中设置有电磁阀22；各气流室8与对应的气流腔7之间开设有导流孔9；均流管5内部从上往下依次设置有上均流板15、下均流板16。

本实施例三的具体实施方式为：通过将进气管21与外部气泵相连，启动外部气泵开始充气，通过U形管20进入输气箱4，通过各组均流管5中的下均流板16、上均流板15，使得进入气流室8的气体7得到均化，使得进入气流腔中的气体得以均化，继而裸片17受到均匀的压力，降低受力不均贴合面产生气泡的概率；通过导流孔9匀化气体及调节电磁阀23和进气时间控制进气量，让裸片17与基板18完全贴合，防止产品受力过大导致结构损伤；避免人员接触导致结构面污染；量化预贴合受力大小及时间。

显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种预贴合装置，包括组装架(1)以及滑动设置在所述组装架(1)上的密封盖(2)；其特征在于：

所述组装架(1)包括从上往下依次设置的组装台(3)与输气箱(4)；所述组装台(3)与输气箱(4)之间对称设置有T形固定板(10)；所述组装台(3)与输气箱(4)之间均设有均流管(5)；

所述组装台(3)表面均匀开设有放置槽(6)；所述放置槽(6)内底面开有气流腔(7)；所述组装台(3)内部均匀开设有气流室(8)；各所述气流室(8)与对应的气流腔(7)之间开设有导流孔(9)。

2.根据权利要求1所述的一种预贴合装置，其特征在于：所述T形固定板(10)表面设置有滑杆(11)；所述输气箱(4)侧面转动设置有丝杆(12)；所述密封盖(2)表面开有与丝杆(12)螺纹转动配合的螺孔(13)；所述密封盖(2)表面位于丝杆(12)两侧对称开有与滑杆(11)滑动配合的滑孔(14)。

3.根据权利要求1所述的一种预贴合装置，其特征在于：所述均流管(5)内部从上往下依次设置有上均流板(15)、下均流板(16)。

4.根据权利要求1所述的一种预贴合装置，其特征在于：所述放置槽(6)内底面适配放置有裸片(17)；所述放置槽(6)内部适配放置有置于裸片(17)正上方的基板(18)；所述密封盖(2)内顶部均匀开有与基板(18)尺寸相适配的卡槽(19)；所述密封盖(2)底面设置有密封板(23)；所述组装台(3)表面开有与密封板(23)插接配合的密封槽(24)。

5.根据权利要求4所述的一种预贴合装置，其特征在于：所述输气箱(4)底面连通有U形管(20)；所述U形管(20)上设置有进气管(21)；所述进气管(21)中设置有电磁阀(22)。