TW202129446A - 架空運輸車輛與運輸緊急產品的方法 - Google Patents

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Abstract

描述了一種與自動物料搬運系統關聯的架空運輸車輛(overhead transport vehicle)。架空運輸車輛為自動物料搬運系統提供特徵，當控制自動物料搬運系統中交通的邏輯算法由於意外問題而無法在q時間內按處理步驟順序將前開式晶圓傳送盒(FOUP)自一個工具傳輸至後續工具時，自動物料搬運系統能夠通過該些特徵減少晶圓廠操作員進行手動緊急產品救援的次數。在此描述了架空運輸車輛上的幫助晶圓廠操作員發現有問題產品的指示器。亦描述了在主電源故障的情況下使用的架空運輸車輛上的備用電源。

Description

自動物料搬運系統
無
為了生產半導體裝置，作為半導體裝置的原材料的半導體基板，諸如矽晶圓，必須經過一系列複雜且精密處理步驟。通常，為了完成此系列處理步驟，必須將晶圓自一台製造設備實體地運輸至另一台製造設備。在這些製造設備中，在半導體基板上進行各種製程，諸如擴散、離子植入、化學氣相沉積、光微影術、蝕刻、物理氣相沉積及化學機械研磨。為了在一系列處理步驟中及在半導體製造工廠(通常稱為「fab」)的不同製造設備之間有效地移動半導體基板，複數個半導體基板(晶圓)容納在前開式晶圓傳送盒(front opening unified pod; FOUP)中並且在晶圓廠中實現自動物料搬運系統(automated material handling system; 自動物料搬運系統)，以將前開式晶圓傳送盒自一台製造設備移動至另一台製造設備。
通常，在晶圓廠中，複數個架空運輸車輛為自動物料搬運系統的一部分。架空運輸車輛用於通過在架空軌道上自一台處理設備(通常稱為「工具」)運輸至另一工具來運輸前開式晶圓傳送盒。
無
以下揭示內容提供了用於實現提供之標的的不同特徵的許多不同的實施例或實例。以下描述組件及佈置的特定實例用以簡化本揭示內容。當然，該些僅為實例，並不旨在進行限制。例如，在下面的描述中在第二特徵上方或之上形成第一特徵可包含其中第一及第二特徵直接接觸形成的實施例，並且亦可包含其中在第一與第二特徵之間形成附加特徵的實施例，以使得第一及第二特徵可以不直接接觸。此外，本揭示內容可以在各個實例中重複元件符號及/或字母。此重複係出於簡單及清楚的目的，其本身並不指定所討論之各種實施例或組態之間的關係。
此外，為了便於描述，本文中可以使用諸如「在...下方」、「在...下」、「下方」、「在...上方」、「上方」之類的空間相對術語，來描述如圖中所示的一個元件或特徵與另一元件或特徵的關係。除了在附圖中示出的方位之外，空間相對術語意在涵蓋裝置在使用或操作中的不同方位。裝置可以其他方式定向(旋轉90度或以其他方位)，並且在此使用的空間相對描述語亦可被相應地解釋。
架空運輸車輛用於在晶圓廠中，通過在處理時間約束資訊(排序時間(queue time, q-time))內在架空軌道上自一個工具移動至另一工具來運輸前開式晶圓傳送盒。q時間限制了處理步驟順序中兩個或兩個以上工具(或處理步驟)之間的間隔時間。q時間為半導體製程中重要的考慮因素之一。設置q時間以確保在將晶圓按順序運輸至後續工具(或下一處理步驟)之前，基板(晶圓)上的沉積層或製程結構不會受到諸如過度氧化及顆粒之類的污染。當邏輯算法控制自動物料搬運系統中的交通時，由於非預期問題(諸如停電)，無法在q時間內按處理步驟順序將前開式晶圓傳送盒自一個工具傳輸至後續工具，則通常會使晶圓報廢。
根據本文描述的標的的實施例包含能夠一起工作以減少晶圓廠操作員進行手動緊急產品救援的次數的自動物料搬運系統及(整合至自動物料搬運系統中的)架空運輸車輛。如本文所用，除非另外特別指出，否則術語「產品」(lot)係指容納在晶圓盒(即，前開式晶圓傳送盒)中的一組基板(晶圓)。如上所述，晶圓盒由在架空軌道上行進的架空運輸車輛運輸。能夠減少手動緊急產品救援的次數的自動物料搬運系統的實施例包含位於架空運輸車輛或晶圓盒上的一或多個指示器，此指示器參考一或多個考慮因素，諸如用於產品的剩餘q時間，顯示緊急位準。作為非限制性實例，指示器顯示顯著顏色(即，紅色及黃色)，以向晶圓廠操作員指示架空運輸車輛正在運送沒有足夠的剩餘q時間的緊急產品。若需要進行手動救援，則晶圓廠操作員可通過指示器上的顏色(或其他顯著特徵，諸如產品標識符)輕易識別緊急產品。
第1圖為根據本揭示內容的一或多個實施例的架空運輸車輛200在架空軌道302上運送產品的示意圖。
參照第1圖，架空運輸車輛200包含電力控制電路202、備用電源204、用於備用電源204的電池指示器206及用於使架空運輸車輛200在架空軌道302上移動的驅動機構208。電力控制電路202包含在第2圖中的處理電路210中。
根據本揭示內容的一些實施例，電力控制電路202判定驅動驅動機構208來移動架空運輸車輛200的電源。在所示的實施例中，架空軌道302上的架空運輸車輛200的驅動機構208自包含電力軌304的架空軌道302接收電力。用作接觸電力供應器的電力軌304為架空運輸車輛200提供主電源。
在典型的正常操作情況下，電力軌304以合適的形式(即，電流類型、電流及電壓)提供電力以驅動架空運輸車輛200。在本揭示內容的一些實施例中，電力控制電路202連續或有規律地量測來自電力軌304的電力(即，電流類型、電流及電壓)，以監測電力軌304提供的電力是在預定的功率規格之內以驅動架空運輸車輛200。
對於非限制性實例，因應電力軌304提供的電力不足(即，錯誤電流、錯誤電壓及停電)，電力控制電路202將驅動架空運輸車輛200的電源自電力軌304切換至備用電源204。在本揭示內容的一些實施例中，當架空運輸車輛200由備用電源204供電時，電力控制電路202檢查電力軌304提供的電力。若電力控制電路202判定自電力軌304測得的電力足以驅動架空運輸車輛200，則電力控制電路202將架空運輸車輛200的電源切換回電力軌304。
在本揭示內容的一些實施例中，電力控制電路202監測備用電源204的充電位準。基於備用電源204的充電位準，電力控制電路202通過由電力軌304供應電力對備用電源204進行充電。
在本揭示內容的一些實施例中，電力控制電路202將備用電源204的狀態輸出至晶圓廠操作員，以指示備用電源204的狀態。對於非限制性實例，電力控制電路202在電池指示器206中顯示紅燈條以指示備用電源204的故障。類似而言，電力控制電路202在電池指示器206中顯示黃燈條，以指示備用電源204正在充電。電力控制電路202在電池指示器206中顯示閃爍的黃燈條，以指示備用電源204的使用壽命即將結束。電力控制電路202在電池指示器206中顯示綠燈條，以指示備用電源204狀況良好。根據本揭示內容的實施例，電池指示器206可以任何合適的方式顯示備用電源204的狀態。儘管上文已經將紅燈條及黃燈條描述為備用電源狀況指示器的實例，但本揭示內容的其他實施例使用不同的備用電源狀況指示器。例如，這些其他類型的指示器包含不同的彩色指示器、讀取機板及目視指示器，諸如下文描述的該些指示器。在其他實施例中，可以利用非目視指示器，例如聲響指示器。
根據本揭示內容的一些實施例，備用電源204為可充電電池。對於非限制性實例，備用電源204至少包含鉛酸、鎳鎘(NiCd)、鎳金屬氫化物(NiMH)、鋰離子(Li離子)或鋰離子聚合物(Li離子聚合物)中的其中一者。然而，本揭示內容不限制備用電源204的類型。對於非限制性實例，在本揭示內容的一些實施例中，備用電源204為不可充電電池或超級電容器。
在本揭示內容的一些實施例中，備用電源204包含兩個或兩個以上電池。對於非限制性實例，備用電源204包含至少一個主電池及一或多個備用電池。若主電池發生故障，備用電池可用作主電池的備用電池。在本揭示內容的一些實施例中，架空運輸車輛200包含一個電池以上，以在架空運輸車輛200由備用電源204供電時延長架空運輸車輛200的操作時間。通過考慮一或多個因素來判定架空運輸車輛200中安裝的電池數量，諸如架空軌道302的重量限制、晶圓廠佈置及晶圓廠中的停電頻率。
根據本揭示內容的一些實施例，備用電源204沒有硬體連線(hardwire)至架空運輸車輛200。對於非限制性實例，架空運輸車輛200包含用於備用電源204的插入式連接器250。備用電源204包含用以連接至架空運輸車輛200的插入式連接器250的相應連接器205。在本揭示內容的一些實施例中，架空運輸車輛200包含一個插入式連接器250以上以同時容納多個電池。
第2圖為根據本揭示內容的一或多個實施例的包含優先指示器216的架空運輸車輛200的示意圖。
參照第2圖，架空運輸車輛200包含處理電路210、記憶體212、通訊電路214及指示由架空運輸車輛200運輸的產品的緊急位準的優先指示器216。
處理電路210可為或包含用以執行本文所述的各種功能及操作的電腦處理器，包含判定及輸出緊急位準、判定架空運輸車輛200的電源及經由通訊電路214與自動物料搬運系統中的控制器通訊。通訊電路(或通訊處理電路)214可為或包含(使用諸如TCP/IP之類的適當通訊協定)可通訊地耦合至自動物料搬運系統中的控制器的一或多個輸入及/或輸出端子。通訊電路214可用於使用有線及/或無線技術與自動物料搬運系統中的控制器進行通訊。記憶體212可為或包含任何電腦可讀儲存媒體，包含例如唯讀記憶體(read-only memory; ROM)、隨機存取記憶體(random access memory; RAM)、快閃記憶體、硬式磁碟機、光儲存裝置、磁儲存裝置、電子可抹除可程式化唯讀記憶體(electrically erasable programmable read-only memory; EEPROM)、有機儲存媒體等。對於非限制性實例，可程式化邏輯控制器(programmable logic controller; PLC)系統包含處理電路210、電力控制電路202及通訊電路214。對於另一非限制性實例，處理電路210、電力控制電路202及通訊電路214的電氣或電子組件電性連接在一個或一個以上的印刷電路板(printed circuit board; PCB)上。
如上所述，在某些情況下，產品的緊急位準是參考產品的剩餘q時間來判定。在本揭示內容的一些實施例中，產品的緊急位準亦由其他因素諸如產品的生產期限來判定。在本揭示內容的一些實施例中，優先指示器216位於晶圓盒上。
在本揭示內容的一些實施例中，優先指示器216及/或電池指示器206包含任何合適的顯示硬體及/或軟體，諸如液晶顯示器(liquid-crystal display; LCD)、有機發光二極體顯示器(organic light-emitting diode display; OLED)、發光二極體顯示器(light-emitting diode display; LED顯示器)及點矩陣顯示器。
在本揭示內容的一些實施例中，通訊電路214自自動物料搬運系統中的控制器700接收用於產品的處理步驟順序。自動物料搬運系統中的控制器700可為或包含用以執行本文所述的各種功能及操作的電腦處理器，包含運行控制自動物料搬運系統中的交通的邏輯算法。處理步驟順序包含至少一個用於產品的處理步驟順序(該產品必須穿過的不同工具的順序)。在本揭示內容的一些實施例中，沿著處理步驟順序，處理步驟順序包含用於產品的路線資訊(即，處理步驟順序中的前一工具(處理步驟)與後一工具(處理步驟)之間的距離)。處理步驟順序包含處理步驟順序中兩個或兩個以上處理步驟(工具)之間的間隔的時間約束資訊。如上所述，時間約束通常稱為q時間。q時間限制了處理步驟順序中兩個或兩個以上工具(或處理步驟)之間的間隔時間。如上所述，設置q時間以確保在將晶圓運輸至順序中的下一工具或處理步驟之前，基板(晶圓)上的沉積層或處理結構不受諸如過度氧化及顆粒之類的污染。
在本揭示內容的一些實施例中，記憶體212存儲架空運輸車輛200被分配運輸的每一產品的處理步驟順序。如上所述，處理步驟順序包含產品的時間約束資訊(q時間)。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於存儲在記憶體212中的處理步驟順序及在處理步驟順序中產品的當前進展來判定由架空運輸車輛200運輸的產品的緊急位準。對於非限制性實例，處理電路210判定由架空運輸車輛200運輸的產品在剩餘q時間內是否在下一處理步驟位置可用。基於該判定，處理電路210基於剩餘q時間在優先指示器216上輸出不同的指示(訊息)。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於產品的不同剩餘q時間來判定緊急位準。對於非限制性實例，若產品具有在預定時間範圍A (諸如420秒或更短)內的剩餘q時間以到達下一工具位置(處理步驟)，則處理電路210在優先指示器216上輸出最高位準緊急指示器(訊息)，指示產品沒有剩餘q時間或剩餘q時間很短。類似而言，若產品具有在預定時間範圍B內(諸如421秒與840秒之間)的剩餘q時間，則處理電路210在優先指示器216上輸出緊急指示，指示產品剩下的q時間很短。若產品具有在預定時間範圍C內(諸如在841秒或更長之間)的剩餘q時間，則處理電路210在優先指示器216上輸出指示(訊息)，指示產品具有足夠的剩餘q時間。出於說明目的，在上面的實例中，q時間劃分為範圍A、範圍B及範圍C，以判定產品的緊急位準。然而，本揭示內容不限於以上實例。對於非限制性實例，本揭示內容包含其他判定因素，諸如產品的估計行進時間、產品的產品類型(即，不可返工產品及可返工產品)、生產期限及來自相似處理步驟順序的歷史資料及/或產品指定的生產期限。
優先指示器216上的指示(訊息)可以任何合適的格式(字母、顏色、閃爍效果及形狀)配置，此格式可以容易地被晶圓廠操作員識別。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於剩餘q時間及產品的路線資訊來判定緊急位準。處理電路210基於由處理電路210判定的緊急度，在優先指示器216上輸出指示(訊息)。處理電路210基於路線資訊(即，到下一工具的距離及架空運輸車輛200行進的速度)判定在剩餘q時間內在架空運輸車輛200上運輸的產品是否在下一工具位置(處理步驟)可用。
對於非限制性實例，處理電路210基於到下一工具位置(處理步驟)的距離及架空運輸車輛200行進的速度來判定架空運輸車輛200自當前位置行進至下一工具位置(處理步驟)所需的行進時間。基於所判定的行進時間，處理電路210進一步判定產品在剩餘q時間內在下一工具位置(下一步驟)是否可用。若處理電路210判定所判定的行進時間比剩餘q時間多出某個預定閾值，例如60秒或更大，則處理電路210在優先指示器216上輸出最高位準的緊急指示(訊息)，指示產品的剩餘q時間不足，並且產品在q時間到期之前無法到達下一工具。若處理電路210判定所判定的行進時間及剩餘q時間相同或在彼此的某個預定閾值之內，例如0至60秒，則處理電路210在優先指示器216上輸出緊急指示(訊息)，指示產品將在q時間到期時或在q時間到期之後到達下一工具位置。若處理電路210判定剩餘q時間比所判定的行進時間多出某個預定閾值，例如大於60秒，則處理電路210在優先指示器216上輸出指示器(訊息)，指示產品具有足夠的剩餘q時間，使得架空運輸車輛200將在q時間到期之前到達下一工具位置。
在本揭示內容的一些實施例中，其他考慮因素可以與q時間一起使用，諸如產品的產品類型(即，不可返工產品及可返工產品)、來自相似處理步驟順序的歷史資料或產品分指定的生產期限。區分產品類型很重要，因為不可返工產品可能會在q時間過去後報廢。然而，可以通過附加處理步驟來恢復可返工產品。因此，不可返工產品優先於可返工產品。對於非限制性實例，即使處理電路210判定剩餘q時間比所判定的行進時間多出某個預定閾值，例如大於60秒，處理電路210基於生產期限在優先指示器216上輸出最高位準的緊急指示。晶圓廠操作員可為每一考慮因素分配不同的考慮權重。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於剩餘q時間、產品的路線資訊、架空運輸車輛200的速度及當前交通資訊來判定緊急位準。當處理電路210基於路線資訊(即，至下一工具的距離)、架空運輸車輛速度及自自動物料搬運系統中的控制器700接收的當前交通資訊判定在剩餘q時間內產品在下一工具位置(處理步驟)不可用時，處理電路210在優先指示器216上輸出不同位準的緊急指示(訊息)。
對於非限制性實例，處理電路210基於至下一工具位置(處理步驟)的距離及到達下一工具位置的路線上的當前交通資訊(處理步驟)，判定架空運輸車輛200自當前位置行進至下一工具位置(處理步驟)所需的行進時間。對於非限制性實例，處理電路210在到達下一工具位置(處理步驟)的路線上的每一架空運輸車輛的行進時間(基於至下一工具位置的距離判定)上增加預定時間(即五秒)。
基於利用至下一工具的路線上的當前交通資訊所判定的行進時間，處理電路210進一步判定在剩餘q時間內產品在下一工具位置(下一步驟)是否可用。若處理電路210在考慮到當前交通資訊的情況下判定所判定的行進時間比剩餘q時間多出某個預定閾值，例如60秒或更長，則處理電路210在優先指示器216上輸出最高位準的緊急指示(訊息)，指示產品的剩餘q時間不足，並且在q時間到期之前將不會到達下一工具。若處理電路210在考慮到當前交通資訊的情況下判定行進時間及剩餘q時間相同或彼此在某個預定閾值之內，例如0至60秒，則處理電路210在優先指示器216上輸出緊急指示(訊息)，指示產品將在q時間到期時或q時間到期後到達下一工具位置。考慮到當前交通資訊，若處理電路210判定剩餘q時間大於所判定的行進時間某個預定閾值，例如大於60秒，則處理電路210在優先指示器216上輸出指示(訊息)，指示產品具有足夠的剩餘q時間，使得架空運輸車輛200將在q時間到期之前到達下一工具位置。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210通過類似處理步驟順序基於剩餘q時間、產品的路線資訊、當前交通資訊及來自產品的先前歷史資料來判定緊急位準。處理電路210基於路線資訊(即，至下一工具的距離)、當前交通資訊及先前歷史資料判定在架空運輸車輛200上運輸的產品在剩餘q時間內是否在下一工具位置(處理步驟)可用。
在本揭示內容的一些實施例中，先前歷史資料由控制器700在自動物料搬運系統中收集，並發送至架空運輸車輛200。在本揭示內容的一些實施例中，先前歷史資料由架空運輸車輛200的處理電路210收集並存儲在記憶體212中。在本揭示內容的一些實施例中，存儲在記憶體212中的先前歷史資料與自自動物料搬運系統的控制器700收集的先前歷史資料結合。根據本揭示內容的實施例，先前歷史資料的實例包含在各種條件下的先前行進時間，諸如交通資訊及至下一工具位置的距離(處理步驟)。
對於非限制性實例，處理電路210基於與諸如至下一工具位置(處理步驟)的距離及至下一工具位置(處理步驟)的路線上的當前路況資訊之類的條件相匹配的先前歷史資料，判定架空運輸車輛200自當前位置行進至下一工具位置所需的行進時間(處理步驟)。若不存在與產品的當前條件精確匹配的先前歷史資料，則處理電路210基於接近於當前條件的先前歷史資料判定初步行進時間，並基於不與先前歷史資料相匹配的條件進一步調整初步行進時間。對於非限制性實例，處理電路210基於至下一工具位置的距離(處理步驟)的先前歷史資料來判定行進時間，並且通過將路線上每一架空運輸車輛的預定時間(即五秒)加至下一工具位置(處理步驟)，基於諸如交通資訊及/或路線資訊之類的不匹配條件來調整行進時間。儘管已經將交通資訊及路線資訊描述為不匹配條件的實例，但是根據本揭示內容的一些實施例，與產品自一種工具至另一種工具的運輸有關的其他條件可以用作先前歷史資料及不匹配條件。
基於先前歷史資料所判定的行進時間，處理電路210進一步判定在剩餘q時間內產品在下一工具位置(下一步驟)是否可用。若處理電路210在考慮到先前歷史資料的情況下判定所判定的行進時間比剩餘q時間多出某個預定閾值，例如60秒或更長，則處理電路210在優先指示器216上輸出最高位準的緊急指示(訊息)，指示產品的剩餘q時間不足，並且在q時間到期之前將不會到達下一工具。若處理電路210在考慮到先前歷史資料的情況下判定行進時間及剩餘q時間相同或彼此在某個預定閾值之內，例如0至60秒，則處理電路210在優先指示器216上輸出緊急指示(訊息)，指示產品將在q時間到期時或q時間到期後到達下一工具位置。考慮到先前歷史資料，若處理電路210判定剩餘q時間大於所判定的行進時間某個預定閾值，例如大於60秒，則處理電路210在優先指示器216上輸出指示(訊息)，指示產品具有足夠的剩餘q時間，使得架空運輸車輛200將在q時間到期之前到達下一工具位置。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700基於產品的類型及產品的剩餘q時間來判定緊急位準。對於非限制性實例，q時間嚴格地強制執行於無法恢復或返工的特定類型的產品，而q時間較不嚴格地強制執行於可以通過附加處理步驟進行返工的其他類型的產品。在超過無法恢復或返工的產品的q時間之後，可能會報廢整個產品。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700在優先指示器216上輸出緊急位準。這裡描述一些非限制性實例。自動物料搬運系統中的控制器700在優先指示器216上輸出紅色或黃色條，指示架空運輸車輛200正在運輸無論剩餘q時間如何都無法恢復或返工的產品。若不能返工的產品的剩餘q時間很短或沒有剩餘，則自動物料搬運系統中的控制器700在優先指示器216上輸出紅色條。自動物料搬運系統中的控制器700在優先指示器216上輸出黃色條或綠色條，指示架空運輸車輛200正在運輸可以返工的產品。若可以返工的產品的剩餘q時間很短或沒有剩餘，則自動物料搬運系統中的控制器700在優先指示器216上輸出黃色條。因此，無法恢復或返工的產品具有高於可返工的產品的優先級。自動物料搬運系統中的控制器700在優先指示器216上輸出綠色條，指示架空運輸車輛200正在運輸的產品不受q時間限制或將被報廢或將要返工。在一些實施例中，將被報廢或將要返工的產品具有最低優先級(或緊急度)。根據本揭示內容，自動物料搬運系統中的控制器700可以任何合適的方式在優先指示器216上輸出緊急位準。
第3圖為根據本揭示內容的一或多個實施例的架空運輸車輛200在架空軌道302上與自動物料搬運系統中的控制器700通訊的示意圖。
參照第3圖，架空運輸車輛200包含處理電路210、記憶體212、通訊電路214及指示由架空運輸車輛200運輸的產品的緊急位準的優先指示器216。
在本揭示內容的一些實施例中，當架空運輸車輛200正在運輸的產品中沒有剩餘或具有非常短的剩餘q時間或架空運輸車輛200由有限的電源(即，備用電源204)供電時，處理電路210向自動物料搬運系統中的控制器700發送救援訊號。如上所述，在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於剩餘q時間及其他條件(即，路線資訊、交通資訊及生產期限)來判定產品的緊急位準。
在本揭示內容的一或多個實施例中，晶圓廠操作員(或產品的剩餘q時間)設置觸發架空運輸車輛200的處理電路210生成救援訊號的緊急位準。對於非限制性實例，由處理電路210為產品判定的最高緊急位準觸發處理電路210以生成救援訊號，並且因應自處理電路210接收的救援訊號，通訊電路214將救援訊號發送至自動物料搬運系統中的控制器700。
在自架空運輸車輛200的處理電路210接收救援訊號之後，自動物料搬運系統中的控制器700可具有救援功能。救援功能提供救援命令，以通過判定產品的當前位置至產品的目的地的最短路線來加速緊急產品的移動及/或提高架空運輸車輛200的速度。通常，目的地設置為在處理步驟順序中的下一工具位置(處理步驟)。然而，在本揭示內容的一些實施例中，當順序中的下一工具不可用時，自動物料搬運系統中的控制器700定位可以執行相同處理步驟的另一可用工具。若控制器700定位了替代工具，則自動物料搬運系統中的控制器700將目的地更新為替代工具位置，並判定自產品的當前位置至替代工具位置的最短路線。在本揭示內容的一些實施例中，若控制器700不能定位替代工具，則控制器700將目的地更新至最近的應急轉口800，並判定至最近的應急轉口800的最短路線。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統包含應急轉口800。應急轉口800可為任何合適的形式，諸如位於下一工具位置(處理步驟)附近的自動倉儲(stocker)(或機櫃)。自動倉儲可位於晶圓廠天花板或晶圓廠地板上。若緊急產品在晶圓廠地板上的自動倉儲中，則晶圓廠操作員可容易地手動將緊急產品移至下一位置。
根據本揭示內容的一些實施例，自動物料搬運系統中的控制器700將禁止訊號發送至最短路線上的其他架空運輸車輛。在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700亦將禁止訊號發送至不在最短路線上的其他架空運輸車輛。在一些實施例中，禁止訊號包含在改變最短路線上其他架空運輸車輛路線的改變路線命令及/或防止及其他架空運輸車輛進入最短路線、改變其他架空運輸車輛的路線的禁止命令。結果，觸發救援訊號的產品被自動物料搬運系統的控制器700救援，控制器700將產品引導至到達下一目的地的最短路線。
在本揭示內容的一些實施例中，當緊急產品成功運輸至目的地時，自動物料搬運系統的控制器700發送使禁止訊號無效的訊號。
在本揭示內容的一些實施例中，備用控制器702連續地、有規律地或以某種模式監測並存儲由自動物料搬運系統的控制器700自架空運輸車輛200 (或一個以上架空運輸車輛200)接收的救援訊號。當自動物料搬運系統的控制器700不能正確操作時，可使用在備用控制器702處存儲的救援訊號。對於非限制性實例，當自動物料搬運系統的控制器700 (或自動物料搬運系統)由於電源故障而關閉時，備用控制器702 (藉由諸如備用電池或替代備用電源等不同的電源運行)接替自動物料搬運系統的控制器700的操作。
第4圖為示出根據本揭示內容的一或多個實施例的用於判定架空運輸車輛200的電源的方法的流程圖。
參照第4圖，根據本揭示內容的一些實施例，根據一或多個實施例的用於判定電源的方法包含以下步驟： 步驟S100，判定自主電源供應的電力是否足以驅動架空運輸車輛200；步驟S200，將架空運輸車輛200的電源自主電源切換至備用電源204；步驟S300，判定備用電源204是否具有足夠的電力以將架空運輸車輛200驅動至下一工具位置(處理步驟)；步驟S400，在優先指示器216上顯示緊急指示(訊息)；步驟S500，將架空運輸車輛200移動至下一工具位置(處理步驟)；步驟S600，判定主電源是否足以驅動架空運輸車輛200；及步驟S700，將電源切換至主電源。
判定自主電源供應的電力是否足以驅動架空運輸車輛200的步驟S100包含監測自電力軌304供應的電力之步驟。如上所述，電力控制電路202監測電源供應，並基於在此步驟中收集的量測值(諸如，電壓及電流)判定驅動架空運輸車輛200的電源。在典型情況下，架空運輸車輛200由電力軌304供電。電力控制電路202連續地、有規律地或以某種模式量測自電力軌304供應的電力，以監測自電力軌304接收的電力。當電力控制電路202判定自電力軌304供應的電力不足時(即，錯誤電流/電壓及停電)，電力控制電路202將用於架空運輸車輛200的電源自電力軌304切換至備用電源204。
將架空運輸車輛200的電源自主電源切換至備用電源204的步驟S200包含將架空運輸車輛200的電源自電力軌304切換至備用電源204之步驟。如上所述，當電力控制電路202判定自電力軌304供應的電力不足(即，錯誤電流/電壓及停電)時，電力控制電路202將用於架空運輸車輛200電源自電力軌304切換至備用電源204。如上所述，備用電源204包含合適的電力存儲單元，諸如不可充電電池(即鹼性)及可充電電池(即電容器、鉛酸、鎳鎘、鎳金屬氫化物、鋰離子及鋰離子聚合物)。
判定備用電源204是否具有足夠的電力以將架空運輸車輛200驅動至下一工具位置(處理步驟)的步驟S300包含判定備用電源204是否具有容量(即充電)，以將架空運輸車輛200驅動至處理步驟順序中的下一工具位置(處理步驟)之步驟。在本揭示內容的一些實施例中，電力控制電路202檢查備用電源204的容量，並且處理電路210判定備用電源204是否具有將架空運輸車輛200驅動至下一工具位置(處理步驟)的容量。在本揭示內容的一些其他實施例中，自動物料搬運系統的控制器700判定備用電源204是否具有將架空運輸車輛200驅動至下一工具位置(處理步驟)的容量。
在優先指示器216上顯示緊急指示(訊息)的步驟S400包含向晶圓廠操作員指示架空運輸車輛200沒有足夠的電力來操作之步驟。在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210在優先指示器216上輸出指示架空運輸車輛200電力不足的訊息。在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210在優先指示器216上輸出「斷電」緊急訊息、順序名稱、產品標識符或剩餘q時間中的至少一者。在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統的控制器700在優先指示器216上輸出「斷電」緊急訊息。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於剩餘q時間及其他考慮因素(即，不可返工產品及可返工的產品)在優先指示器216上輸出不同位準的「斷電」緊急訊息。在本揭示內容的一些其他實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700基於剩餘q時間及其他因素(即，不可返工產品及可返工產品)輸出不同位準的「斷電」緊急訊息。
對於根據本揭示內容的一些實施例的方法的非限制性實例，若產品具有在預定時間範圍A (諸如420秒或更短)內的剩餘q時間至下一工具位置(處理步驟)，則處理電路210 (或自動物料搬運系統中的控制器700)在優先指示器216上輸出紅色的「斷電」緊急訊息，指示該產品沒有剩餘或具有非常短的剩餘q時間。類似而言，若產品具有預定時間範圍B (諸如421秒與840秒之間)內的剩餘q時間，則處理電路210 (或自動物料搬運系統中的控制器700)在優先指示器216上輸出黃色的「斷電」緊急訊息，指示該產品具有短的剩餘q時間。若產品的剩餘時間在預定時間範圍C (諸如841秒或更長)內，則處理電路210 (或自動物料搬運系統中的控制器700)在優先指示器上216輸出綠色的「斷電」緊急訊息，指示該產品具有足夠的剩餘q時間。基於產品的剩餘q時間，晶圓廠操作員可以判定優先次序。
使用備用電源204將架空運輸車輛200移動至下一工具位置(處理步驟)的步驟S500包含使用備用電源204將產品運輸至下一工具位置(處理步驟)之步驟。如上所述，在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210將救援訊號發送至自動物料搬運系統中的控制器700。當自處理電路210接收救援訊號時，自動物料搬運系統中的控制器700可具有其救援功能。救援功能提供救援命令，以通過判定自產品的當前位置至產品的目的地的最短路線來加速產品的移動。通常，目的地設置為處理步驟順序中的下一工具位置(處理步驟)。然而，在本揭示內容的一些實施例中，當順序中的下一工具不可用時，自動物料搬運系統中的控制器700定位可以執行相同處理步驟的另一可用工具。若控制器700定位了替代工具，則控制器700將目的地更新為替代工具位置，並自判定產品的當前位置至替代工具位置的最短路線。在本揭示內容的一些實施例中，若控制器700不能定位替代工具，則控制器700將目的地更新至最近的應急轉口800，並判定至最近的應急轉口800的最短路線。如上所述，在本揭示內容的實施例中，應急轉口800可為任何合適的形式，諸如位於更靠近下一工具位置(處理步驟)的自動倉儲。自動倉儲可位於晶圓廠天花板或晶圓廠地板上。若緊急產品在晶圓廠地板上的轉口中，則晶圓廠操作員可輕易地將緊急產品手動移至下一位置。
在根據本揭示內容的方法的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700判定通過電力軌304供應了不足的電力(即，錯誤電流、錯誤電壓及停電)。若電力不足，則自動物料搬運系統中的控制器700可具有其救援功能。救援功能提供救援命令，以通過判定自產品的當前位置至產品的目的地的最短路線來加速產品的移動。通常，目的地設置為處理步驟順序中的下一工具位置(處理步驟)。然而，在本揭示內容的一些實施例中，當順序中的下一工具不可用時，自動物料搬運系統中的控制器700定位可以執行相同處理步驟的另一可用工具。若控制器700定位了替代工具，則控制器700將目的地更新為替代工具位置，並自判定產品的當前位置至替代工具位置的最短路線。在本揭示內容的一些實施例中，若控制器700不能定位替代工具，則控制器700將目的地更新至最近的應急轉口800，並判定至最近的應急轉口800的最短路線。如上所述，在本揭示內容的實施例中，應急轉口800可為任何合適的形式，諸如位於更靠近下一工具位置(處理步驟)的自動倉儲。自動倉儲可位於晶圓廠天花板或晶圓廠地板上。若緊急產品在晶圓廠地板上的轉口中，則晶圓廠操作員可輕易地手動移動緊急產品。
判定主電源是否足以驅動架空運輸車輛200的步驟S600包含在架空運輸車輛200由備用電源204供電的同時，檢查電力軌304提供的電力之步驟。在本揭示內容的一些實施例中，在架空運輸車輛由備用電源204供電的同時，電力控制電路202進一步檢查電力軌304提供的電力。若電力控制電路202判定電力軌304偵測的電力足以驅動架空運輸車輛200，則電力控制電路202將架空運輸車輛200的電源切換回電力軌304。
在本揭示內容的一些實施例中，在架空運輸車輛由備用電源204供電的同時，自動物料搬運系統中的控制器700進一步檢查電力軌304供應的電力。若自動物料搬運系統中的控制器700判定電力軌304偵測的電力足以驅動架空運輸車輛200，則自動物料搬運系統中的控制器700向電力控制電路202發送命令訊號，因此電力控制電路202將架空運輸車輛200的電源切換回電力軌304。
將電源切換至主電源的步驟S700包含基於步驟S600中的判定將電源自備用電源204切換至電力軌304之步驟。
第5圖為示出根據本揭示內容的一或多個實施例的一種用於在優先指示器216上判定及輸出緊急訊息的方法的流程圖。
參照第5圖，在優先指示器216上判定及輸出緊急訊息的方法包含以下步驟：步驟S1100，接收產品的處理步驟順序；步驟S1200，基於產品的剩餘q時間及產品的當前進度判定產品的緊急位準；及步驟S1300，基於判定顯示緊急訊息。
接收產品的處理步驟順序的步驟S1100包含自自動物料搬運系統中的控制器700接收產品的處理步驟順序之步驟。如上所述，架空運輸車輛200的通訊電路214自自動物料搬運系統中的控制器700接收產品的處理步驟順序。處理步驟順序包含產品的至少一個處理步驟順序(產品必須通過的不同工具的順序)。在本揭示內容的一些實施例中，沿著處理步驟順序，處理步驟順序包含產品的路線資訊(即，處理步驟順序中的前一工具(處理步驟)及後一工具(處理步驟)之間的距離)。處理步驟順序包含用於處理步驟順序中兩個或兩個以上處理步驟(工具)之間的間隔的時間約束資訊。如上所述，時間約束通常稱為q時間。q時間限制了處理步驟順序中兩個或兩個以上工具(或處理步驟)之間的間隔時間。如上所述，設置q時間以確保晶圓上的沉積層或處理結構在將晶圓輸送至下一工具或順序中的處理步驟之前不受諸如過度氧化及顆粒之類的污染。記憶體212存儲架空運輸車輛200被分配來運輸的每一產品的處理步驟順序。如上所述，處理步驟順序包含產品的q時間資料。
基於產品的剩餘q時間及當前進度來判定產品的緊急位準的步驟S1200包含基於存儲在記憶體212中的處理步驟順序及在處理步驟順序的產品的當前進度來判定產品的緊急位準。如上所述，根據本揭示內容的一或多個實施例，架空運輸車輛200的處理電路210判定產品的緊急位準。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於存儲在記憶體212中的處理步驟順序及在處理步驟順序中產品的當前進展來判定由架空運輸車輛200運輸的產品的緊急位準。對於非限制性實例，處理電路210判定由架空運輸車輛200運輸的產品在剩餘q時間內是否在下一處理步驟位置可用。基於該判定，處理電路210基於剩餘q時間在優先指示器216上輸出不同的指示(訊息)。
基於判定顯示緊急訊息的步驟S1300包含基於由處理電路210判定的緊急位準在優先指示器216上顯示緊急訊息之步驟。
第6圖為示出根據本揭示內容的一或多個實施例的一種用於在優先指示器216上判定及顯示緊急訊息的方法的流程圖。
參照第6圖，在優先指示器216上判定及顯示緊急訊息的方法包含以下步驟：步驟S2100，基於諸如剩餘q時間、產品的類型及生產期限的因素判定產品的緊急位準；及步驟S2200，基於步驟S2100的判定，顯示緊急訊息。
判定產品的緊急位準的步驟S2100包含基於一或多個考慮因素(諸如，剩餘q時間、產品類型及生產期限)判定產品的緊急位準的步驟。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統的控制器700在優先指示器216上判定緊急位準。如上所述，一或多個因素(諸如剩餘q時間、產品類型及生產期限)可用於判定產品的緊急位準。
如上所述，當控制自動物料搬運系統中的交通的邏輯算法由於諸如停電之類的非預期問題而無法在q時間內按處理步驟順序將前開式晶圓傳送盒自一個工具傳輸至下一工具時，通常會報廢晶圓。但是，一些產品可以通過進一步的處理製程來拯救，諸如通過蝕刻製程移除顆粒或氧化層。換言之，與可返工的產品相比，不可返工的產品歸類為較緊急產品。
通常，生產中的每一產品都具有不同的生產期限。與距離生產期限較遠的產品相比，期限較緊的產品歸類為較緊急產品。
自動物料搬運系統中的控制器700基於各種因素來判定緊急位準，包含剩餘q時間、產品類型及生產期限。自動物料搬運系統操作員為每一考慮因素分配不同的權重，因此，自動物料搬運系統中的控制器700可以判定每一產品的緊急位準。
基於判定來顯示緊急訊息的步驟S2200包含基於步驟S2100中的判定在優先指示器216上顯示緊急訊息之步驟。
第7圖為示出根據本揭示內容的一或多個實施例的基於所判定的緊急位準來運輸緊急產品的方法的流程圖。
參照第7圖，基於所判定的緊急位準運輸緊急產品的方法包含以下步驟：步驟S3100，判定產品的緊急位準；步驟S3200，顯示產品的「綠色」狀態；步驟S3300，顯示產品的「黃色」狀態；步驟S3400，顯示產品的「紅色」狀態；步驟S3500，將救援訊號發送至自動物料搬運系統的控制器700 (或在控制器700中可具有救援功能)；步驟S3600，判定產品的最短路線；及步驟S3700，將禁止訊號發送至其他架空運輸車輛。
判定產品的緊急位準的步驟S3100包含基於一或多個因素(諸如，存儲在記憶體212中的處理步驟順序、處理步驟順序中的產品的當前進度、剩餘q時間、產品類型及生產期限)判定產品的緊急位準之步驟。
在本揭示內容的一些實施例中，架空運輸車輛200的處理電路210判定產品的緊急位準。處理電路210基於存儲在記憶體212中的處理步驟順序及在處理步驟順序中產品的當前進度，判定由架空運輸車輛200運輸的產品的緊急位準。對於非限制性實例，處理電路210判定在剩餘q時間內的下一處理步驟處，由架空運輸車輛200運輸的產品是否可用。基於該判定，處理電路210基於剩餘q時間在優先指示器216上輸出不同的指示器(即，綠色、黃色及紅色)。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700判定產品的緊急度。自動物料搬運系統中的控制器700基於各種因素判定緊急位準，包含剩餘q時間、產品類型及生產期限。自動物料搬運系統操作員為每一因素分配不同的權重，以便自動物料搬運系統中的控制器700可以判定每一產品的緊急位準。基於該判定，自動物料搬運系統中的控制器700基於剩餘q時間在優先指示器216上輸出不同的指示器(即，綠色、黃色及紅色)。
在優先指示器216上顯示「綠色」指示器的步驟S3200包含向晶圓廠操作員指示產品具有最低優先級之步驟。
在本揭示內容的一些實施例中，基於在步驟S2100中處理電路210的判定，當產品具有足夠的剩餘q時間時，處理電路210在優先指示器216上輸出「綠色」指示器。
在本揭示內容的一些實施例中，當產品歸類為非緊急產品時，自動物料搬運系統中的控制器700在優先指示器216上輸出「綠色」指示器。
在優先指示器216上顯示「黃色」指示器的步驟S3300包含向晶圓廠操作員指示產品具有中等優先級之步驟。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於步驟S3100中的處理電路210的判定在優先指示器216上輸出「黃色」指示器。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700基於在步驟S3100中的自動物料搬運系統中的控制器700的判定，在優先指示器216上輸出「黃色」指示器。
在優先指示器216上顯示「紅色」指示器的步驟S3400包含向晶圓廠操作員指示產品具有高優先級之步驟。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於步驟S3100中的處理電路210的判定在優先指示器216上輸出「紅色」指示器。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700基於在步驟S3100中的自動物料搬運系統中的控制器700的判定，在優先指示器216上輸出「紅色」指示器。
可具有救援功能的步驟S3500包含利用由自動物料搬運系統的控制器700提供的救援功能之步驟。
在本揭示內容的一些實施例中，處理電路210基於剩餘q時間及如上所述的其他條件(諸如生產期限、產品類型(可返工/不可返工)及步驟S2100中的架空運輸車輛200的電源)，判定產品的緊急位準。對於非限制性實例，晶圓廠操作員(或產品的剩餘q時間)設置緊急位準，該緊急位準觸發處理電路210以生成救援訊號。當產品觸發處理電路210以生成救援訊號時，架空運輸車輛200的通訊電路214將救援訊號發送至自動物料搬運系統中的控制器700。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700判定產品很緊急並可具有緊急產品的救援功能。如上所述，自動物料搬運系統中的控制器700使用一或多個因素(即，剩餘q時間、產品類型及生產期限)來判定產品的緊急位準。
判定最短路線的步驟S3600包含判定自產品的當前位置至產品的下一目的地的最短路線之步驟。
在本揭示內容的一些實施例中，在自架空運輸車輛200的處理電路210接收救援訊號之後，自動物料搬運系統中的控制器700可具有其救援功能。救援功能提供救援命令，以通過判定自產品的當前位置至產品的下一目的地的最短路線來加速產品的移動。通常，目的地設置為處理步驟順序中的下一工具位置(處理步驟)。然而，在本揭示內容的一些實施例中，當順序中的下一工具不可用時，自動物料搬運系統中的控制器700定位可以執行相同處理步驟的另一可用工具。若控制器700成功定位替代工具，則控制器700將目的地更新為替代工具位置，並判定自產品的當前位置至替代工具位置的最短路線。在本揭示內容的一些實施例中，若控制器700不能定位替代工具，則控制器700將目的地更新至最近的應急轉口800，並判定至最近的應急轉口800的最短路線。
在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700可具有其救援功能。救援功能提供救援命令，以通過判定自產品的當前位置至產品的下一目的地的最短路線來加速產品的移動。通常，目的地設置為處理步驟順序中的下一工具位置(處理步驟)。然而，在本揭示內容的一些實施例中，當順序中的下一工具不可用時，自動物料搬運系統中的控制器700定位可以執行相同處理步驟的另一可用工具。若控制器700成功定位替代工具，則控制器700將目的地更新為替代工具位置，並判定自產品的當前位置至替代工具位置的最短路線。在本揭示內容的一些實施例中，控制器700將目的地自當前位置更新至最近的可用應急轉口800 (或者最接近下一工具位置的可用應急轉口800)，並判定至附近應急轉口800 (或至最接近下一工具位置的可用應急轉口800)的最短路線。
將禁止訊號發送至其他架空運輸車輛的步驟S3700包含控制最短路線上的交通之步驟。根據本揭示內容的一些實施例，自動物料搬運系統中的控制器700將禁止訊號發送至最短路線上的其他架空運輸車輛。在本揭示內容的一些實施例中，自動物料搬運系統中的控制器700亦將禁止訊號發送至不在最短路線上的其他架空運輸車輛。禁止訊號包含改變最短路線上其他架空運輸車輛路線的改變路線命令及/或防止及其他架空運輸車輛進入最短路線、改變其他架空運輸車輛的路線的禁止命令因此，觸發救援訊號的產品由自動物料搬運系統的控制器700救援，該控制器700將產品引導至通往下一目的地的最短路線。
如上所述，在本揭示內容的一些實施例中，備用控制器702連續地、有規律地或以某種模式監測並存儲由自動物料搬運系統的控制器700自架空運輸車輛200 (或一個以上架空運輸車輛200)接收的救援訊號。當自動物料搬運系統的控制器700不能正確操作時，可使用在備用控制器702處存儲的救援訊號。對於非限制性實例，當自動物料搬運系統的控制器700 (或自動物料搬運系統)由於電源故障而關閉時，備用控制器702 (在諸如備用電池或替代備用電源等不同的電源上運行)接替自動物料搬運系統的控制器700的操作。
如上所述，自動物料搬運系統及(整合至自動物料搬運系統的)架空運輸車輛200能夠一起工作以減少晶圓廠操作員進行手動緊急產品救援的數量。例如，架空運輸車輛200包含備用電源204，當自電力軌304供應的電力發生故障時，備用電源204向架空運輸車輛200供電。此外，優先指示器216提供產品的緊急位準。基於優先指示器216上的指示，晶圓廠操作員可輕易地定位及救援緊急產品。另外，可以自原目的地(順序中的下一工具)重新分配緊急產品的路線至新目的地，諸如晶圓廠地板上最近的可用應急轉口。此舉使得晶圓廠操作員易於手動處理緊急產品，而不是在架空軌道302上尋找該產品。此外，使用本文所述的架空運輸車輛200減少了被報廢或返工的晶圓。
根據本揭示內容的一或多個實施例，架空運輸車輛包含用於判定架空運輸車輛的電源的電力控制電路；及備用電源，其中電力控制電路將電源自主電源切換至備用電源。
根據本揭示內容的一或多個實施例，架空運輸車輛包含自自動物料搬運系統(Automated Material Handling System; 自動物料搬運系統)中的控制器接收用於產品的處理步驟順序的通訊電路，該處理步驟順序包含在處理步驟順序中的兩個或兩個以上處理步驟之間的間隔的時間約束資訊；存儲用於產品的處理步驟順序的記憶體；設置在架空運輸車輛的外部的優先指示器；及基於產品的緊急位準在優先指示器上輸出指示的處理電路。
根據本揭示內容的一或多個實施例，一種運輸緊急產品的方法包含判定產品的緊急位準。方法包含基於產品的所判定的緊急位準顯示緊急位準狀態之步驟。方法包含將救援訊號發送至自動物料搬運系統(automated material handling system；自動物料搬運系統)。方法包含判定到達產品的目的地的最短路線。
上文概述了數個實施例的特徵，使得熟習此項技術者可以更好地理解本揭示內容的各態樣。熟習此項技術者應理解，熟習此項技術者可以容易地將本揭示內容用作設計或修改其他製程及結構的基礎，以實現與本文介紹的實施例相同的目的及/或實現相同的優點。熟習此項技術者亦應認識到，該些等效構造不脫離本揭示內容的精神及範疇，並且在不脫離本揭示內容的精神及範疇的情況下，該些等效構造可以進行各種改變、替代及變更。
200:架空運輸車輛 202:電力控制電路 204:備用電源 205:連接器 206:電池指示器 208:驅動機構 210:處理電路 212:記憶體 214:通訊電路 216:優先指示器 250:插入式連接器 302:架空軌道 304:電力軌 700:控制器 702:備用控制器 800:應急轉口 S100:步驟 S200:步驟 S300:步驟 S400:步驟 S500:步驟 S600:步驟 S700:步驟 S1100:步驟 S1200:步驟 S1300:步驟 S2100:步驟 S2200:步驟 S3100:步驟 S3200:步驟 S3300:步驟 S3400:步驟 S3500:步驟 S3600:步驟 S3700:步驟
結合附圖，根據以下詳細描述可以最好地理解本揭示內容的各態樣。注意，根據行業中的標準操作，各種特徵未按比例繪製。實際上，為了討論清楚起見，各種特徵的尺寸可任意增加或減小。 第1圖為根據本揭示內容的一或多個實施例的架空運輸車輛200在架空軌道302上運送產品的示意圖。 第2圖為根據本揭示內容的一或多個實施例的包含優先指示器216的架空運輸車輛200的示意圖。 第3圖為根據本揭示內容的一或多個實施例的架空運輸車輛200在架空軌道302上與自動物料搬運系統中的控制器700通訊的示意圖。 第4圖為示出根據本揭示內容的一或多個實施例的用於判定架空運輸車輛200的電源的方法的流程圖。 第5圖為示出根據本揭示內容的一或多個實施例的一種用於在優先指示器216上判定及顯示緊急訊息的方法的流程圖。 第6圖為示出根據本揭示內容的一或多個實施例的另一種用於在優先指示器216上判定及顯示緊急訊息的方法的流程圖。 第7圖為示出根據本揭示內容的一或多個實施例的一種用於運輸緊急產品的方法的流程圖。
國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無
200:架空運輸車輛
202:電力控制電路
204:備用電源
205:連接器
206:電池指示器
208:驅動機構
210:處理電路
212:記憶體
214:通訊電路
216:優先指示器
250:插入式連接器
302:架空軌道
304:電力軌
700:控制器
702:備用控制器
800:應急轉口

Claims (20)

  1. 一種架空運輸車輛，包含： 一電力控制電路，在操作中判定用於該架空運輸車輛的一電源；及 一備用電源，用於該架空運輸車輛， 其中該電力控制電路在操作中將該電源自該架空運輸車輛的一主電源切換至該備用電源。
  2. 如請求項1所述之架空運輸車輛，其中當該主電源向該架空運輸車輛供電不足時，該電力控制電路在操作中將該電源自該主電源切換至該備用電源。
  3. 如請求項1所述之架空運輸車輛，其中當該架空運輸車輛由該備用電源供電時，該電力控制電路在操作中監測該主電源提供的電力。
  4. 如請求項3所述之架空運輸車輛，其中當該電力控制電路自該主電源量測到足夠的電力時，該電力控制電路在操作中將該電源自該備用電源切換至該主電源。
  5. 如請求項1所述之架空運輸車輛，其中該主電源在操作中通過一電力軌供電。
  6. 如請求項1所述之架空運輸車輛，更包含一指示器，在操作中指示該備用電源的一狀態。
  7. 如請求項1所述之架空運輸車輛，更包含用於該備用電源的一插入式連接器。
  8. 如請求項1所述之架空運輸車輛，其中該備用電源包含一主電池及至少一個備用電池。
  9. 一種架空運輸車輛，包含： 一通訊電路，在操作中自一自動物料搬運系統中的一控制器接收用於一產品的一處理步驟順序，該處理步驟順序包含在該處理步驟順序中的兩個或兩個以上處理步驟之間的間隔的時間約束資訊； 一記憶體，在操作中存儲用於該產品的該處理步驟順序； 一優先指示器，設置在該架空運輸車輛的一外部；及 一處理電路，在操作中基於該產品的一緊急位準在該優先指示器上輸出一指示。
  10. 如請求項9所述之架空運輸車輛，其中該優先指示器上的該指示是基於一緊急位準判定。
  11. 如請求項10所述之架空運輸車輛，其中該緊急位準由該處理電路基於以下複數個條件中的至少一者來判定，該些條件包含時間約束資訊、該產品的一產品類型、來自一相似處理步驟順序的歷史資料或為該產品指定的一生產期限。
  12. 如請求項11所述之架空運輸車輛，其中該產品類型包含一可返工產品及一不可返工產品。
  13. 如請求項11所述之架空運輸車輛，其中該控制器對用於判定該緊急位準的該些條件中的每一者指定不同權重。
  14. 如請求項9所述之架空運輸車輛，其中該時間約束資訊限制該處理步驟順序中的兩個或兩個以上步驟之間的一間隔時間。
  15. 如請求項9所述之架空運輸車輛，更包含一備用電池，在該架空運輸車輛的一主電源不可用時向該優先指示器供電。
  16. 一種用於運輸一緊急產品的方法，包含： 判定一產品的一緊急位準； 基於該產品的該判定緊急位準顯示一緊急位準狀態； 基於該產品的該判定緊急位準，向一自動物料搬運系統發送一救援訊號；及 判定到達該產品的一目的地的一最短路線。
  17. 如請求項16所述之方法，更包含發送一禁止訊號以清除到達該目的地的該最短路線。
  18. 如請求項16所述之方法，其中該緊急位準由一處理電路基於以下複數個條件中的至少一者來判定，該些條件包含該產品剩餘排序時間、該產品的一產品類型、來自一相似處理步驟順序的歷史資料或為該產品指定的一生產期限。
  19. 如請求項16所述之方法，其中該判定緊急位準顯示在設置在一架空運輸車輛的一外部上的一優先指示器上。
  20. 如請求項16所述之方法，其中該目的地為距一原始目的地最近的一可用轉口。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11214471A (ja) * 1998-01-23 1999-08-06 Nec Corp ワーク搬送方法およびワーク処理装置
US6089811A (en) * 1998-12-25 2000-07-18 Fujitsu Limited Production line workflow and parts transport arrangement
TWI256372B (en) * 2001-12-27 2006-06-11 Tokyo Electron Ltd Carrier system of polishing processing body and conveying method of polishing processing body
TWI282139B (en) * 2002-07-01 2007-06-01 Advanced Display Kabushiki Kai Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system
JP2004240474A (ja) * 2003-02-03 2004-08-26 Murata Mach Ltd 搬送車システム
CN101195346A (zh) * 2006-12-08 2008-06-11 研华股份有限公司 车载电源的监控方法
JP4306723B2 (ja) * 2006-12-15 2009-08-05 村田機械株式会社 搬送台車システム
TWI448861B (zh) * 2012-02-29 2014-08-11 Chia Nan Wang Shorten the handling time of handling time
JP2014204473A (ja) * 2013-04-01 2014-10-27 村田機械株式会社 搬送車システム、給電装置の負荷算出方法
CN104426236B (zh) * 2013-09-06 2016-09-07 台达电子工业股份有限公司 电源供应转换系统及其控制方法
CN203481872U (zh) * 2013-09-11 2014-03-12 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种agv的双供电系统
JP6507897B2 (ja) * 2015-07-10 2019-05-08 株式会社ダイフク 物品搬送設備
TWI612007B (zh) * 2016-06-06 2018-01-21 台灣積體電路製造股份有限公司 天車輸送系統、天車輸送系統的輸送車和天車輸送系統的控制方法
JP6743750B2 (ja) * 2017-04-14 2020-08-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2019003753A1 (ja) * 2017-06-30 2019-01-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
WO2019069605A1 (ja) * 2017-10-06 2019-04-11 村田機械株式会社 非接触給電設備
CN108340350B (zh) * 2018-01-30 2020-08-25 珠海创智科技有限公司 物料运输系统和物料运输机器人的电池更换方法
KR102168381B1 (ko) * 2018-06-07 2020-10-21 세메스 주식회사 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치
CN110648954A (zh) * 2018-06-27 2020-01-03 台湾积体电路制造股份有限公司 用于半导体制造设施中的传输系统及相关可移动容器与方法

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