CN113264330B - 架空运输车辆与运输紧急产品的方法 - Google Patents

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Abstract

描述了一种与自动物料搬运系统关联的架空运输车辆(overhead transportvehicle)与运输紧急产品的方法。架空运输车辆为自动物料搬运系统提供特征，当控制自动物料搬运系统中交通的逻辑算法由于意外问题而无法在q时间内按处理步骤顺序将前开式晶圆传送盒(FOUP)自一个工具传输至后续工具时，自动物料搬运系统能够通过这些特征减少晶圆厂操作员进行手动紧急产品救援的次数。在此描述了架空运输车辆上的帮助晶圆厂操作员发现有问题产品的指示器。亦描述了在主电源故障的情况下使用的架空运输车辆上的备用电源。

Description

架空运输车辆与运输紧急产品的方法
技术领域
本揭露的一些实施例是关于自动物料搬运系统，尤其是关于架空运输车辆与运输紧急产品的方法。
背景技术
为了生产半导体装置，作为半导体装置的原材料的半导体基板，诸如硅晶圆，必须经过一系列复杂且精密处理步骤。通常，为了完成此系列处理步骤，必须将晶圆自一台制造设备实体地运输至另一台制造设备。在这些制造设备中，在半导体基板上进行各种制程，诸如扩散、离子植入、化学气相沉积、光微影术、蚀刻、物理气相沉积及化学机械研磨。为了在一系列处理步骤中及在半导体制造工厂(通常称为“fab”)的不同制造设备之间有效地移动半导体基板，多个半导体基板(晶圆)容纳在前开式晶圆传送盒(front opening unifiedpod；FOUP)中并且在晶圆厂中实现自动物料搬运系统(automated material handlingsystem；自动物料搬运系统)，以将前开式晶圆传送盒自一台制造设备移动至另一台制造设备。
通常，在晶圆厂中，多个架空运输车辆为自动物料搬运系统的一部分。架空运输车辆用于通过在架空轨道上自一台处理设备(通常称为“工具”)运输至另一工具来运输前开式晶圆传送盒。
发明内容
根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆包含电力控制电路与备用电源。电力控制电路用于判定架空运输车辆的电源。电力控制电路将电源自主电源切换至备用电源。
根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆包含通讯电路、记忆体、优先指示器与处理电路。通讯电路自自动物料搬运系统(Automated Material Handling System；自动物料搬运系统)中的控制器接收用于产品的处理步骤顺序，该处理步骤顺序包含在处理步骤顺序中的两个或两个以上处理步骤之间的间隔的时间约束信息。记忆体存储用于产品的处理步骤顺序。优先指示器设置在架空运输车辆的外部。处理电路基于产品的紧急位准在优先指示器上输出指示。
根据本揭示内容的一或多个实施例，一种运输紧急产品的方法包含判定产品的紧急位准。方法包含基于产品的所判定的紧急位准显示紧急位准状态的步骤。方法包含将救援信号发送至自动物料搬运系统(automated material handlingsystem；自动物料搬运系统)。方法包含判定到达产品的目的地的最短路线。
附图说明
结合附图，根据以下详细描述可以最好地理解本揭示内容的各态样。注意，根据行业中的标准操作，各种特征未按比例绘制。实际上，为了讨论清楚起见，各种特征的尺寸可任意增加或减小。
图1为根据本揭示内容的一或多个实施例的架空运输车辆200在架空轨道302上运送产品的示意图；
图2为根据本揭示内容的一或多个实施例的包含优先指示器216的架空运输车辆200的示意图；
图3为根据本揭示内容的一或多个实施例的架空运输车辆200在架空轨道302上与自动物料搬运系统中的控制器700通讯的示意图；
图4为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的用于判定架空运输车辆200的电源的方法的流程图；
图5为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的一种用于在优先指示器216上判定及显示紧急讯息的方法的流程图；
图6为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的另一种用于在优先指示器216上判定及显示紧急讯息的方法的流程图；
图7为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的一种用于运输紧急产品的方法的流程图。
【符号说明】
200:架空运输车辆
202:电力控制电路
204:备用电源
205:连接器
206:电池指示器
208:驱动机构
210:处理电路
212:记忆体
214:通讯电路
216:优先指示器
250:插入式连接器
302:架空轨道
304:电力轨
700:控制器
702:备用控制器
800:应急转口
S100:步骤
S200:步骤
S300:步骤
S400:步骤
S500:步骤
S600:步骤
S700:步骤
S1100:步骤
S1200:步骤
S1300:步骤
S2100:步骤
S2200:步骤
S3100:步骤
S3200:步骤
S3300:步骤
S3400:步骤
S3500:步骤
S3600:步骤
S3700:步骤
具体实施方式
以下揭示内容提供了用于实现提供的标的的不同特征的许多不同的实施例或实例。以下描述组件及布置的特定实例用以简化本揭示内容。当然，这些仅为实例，并不旨在进行限制。例如，在下面的描述中在第二特征上方或之上形成第一特征可包含其中第一及第二特征直接接触形成的实施例，并且亦可包含其中在第一与第二特征之间形成附加特征的实施例，以使得第一及第二特征可以不直接接触。此外，本揭示内容可以在各个实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简单及清楚的目的，其本身并不指定所讨论的各种实施例或组态之间的关系。
此外，为了便于描述，本文中可以使用诸如“在...下方”、“在...下”、“下方”、“在...上方”、“上方”之类的空间相对术语，来描述如图中所示的一个元件或特征与另一元件或特征的关系。除了在附图中示出的方位之外，空间相对术语意在涵盖装置在使用或操作中的不同方位。装置可以其他方式定向(旋转90度或以其他方位)，并且在此使用的空间相对描述语亦可被相应地解释。
架空运输车辆用于在晶圆厂中，通过在处理时间约束信息(排序时间(queuetime,q-time))内在架空轨道上自一个工具移动至另一工具来运输前开式晶圆传送盒。q时间限制了处理步骤顺序中两个或两个以上工具(或处理步骤)之间的间隔时间。q时间为半导体制程中重要的考虑因素之一。设置q时间以确保在将晶圆按顺序运输至后续工具(或下一处理步骤)之前，基板(晶圆)上的沉积层或制程结构不会受到诸如过度氧化及颗粒之类的污染。当逻辑算法控制自动物料搬运系统中的交通时，由于非预期问题(诸如停电)，无法在q时间内按处理步骤顺序将前开式晶圆传送盒自一个工具传输至后续工具，则通常会使晶圆报废。
根据本文描述的标的的实施例包含能够一起工作以减少晶圆厂操作员进行手动紧急产品救援的次数的自动物料搬运系统及(整合至自动物料搬运系统中的)架空运输车辆。如本文所用，除非另外特别指出，否则术语“产品”(lot)是指容纳在晶圆盒(即，前开式晶圆传送盒)中的一组基板(晶圆)。如上所述，晶圆盒由在架空轨道上行进的架空运输车辆运输。能够减少手动紧急产品救援的次数的自动物料搬运系统的实施例包含位于架空运输车辆或晶圆盒上的一或多个指示器，此指示器参考一或多个考虑因素，诸如用于产品的剩余q时间，显示紧急位准。作为非限制性实例，指示器显示显著颜色(即，红色及黄色)，以向晶圆厂操作员指示架空运输车辆正在运送没有足够的剩余q时间的紧急产品。若需要进行手动救援，则晶圆厂操作员可通过指示器上的颜色(或其他显著特征，诸如产品标识符)轻易识别紧急产品。
图1为根据本揭示内容的一或多个实施例的架空运输车辆200在架空轨道302上运送产品的示意图。
参照图1，架空运输车辆200包含电力控制电路202、备用电源204、用于备用电源204的电池指示器206及用于使架空运输车辆200在架空轨道302上移动的驱动机构208。电力控制电路202包含在图2中的处理电路210中。
根据本揭示内容的一些实施例，电力控制电路202判定驱动驱动机构208来移动架空运输车辆200的电源。在所示的实施例中，架空轨道302上的架空运输车辆200的驱动机构208自包含电力轨304的架空轨道302接收电力。用作接触电力供应器的电力轨304为架空运输车辆200提供主电源。
在典型的正常操作情况下，电力轨304以合适的形式(即，电流类型、电流及电压)提供电力以驱动架空运输车辆200。在本揭示内容的一些实施例中，电力控制电路202连续或有规律地量测来自电力轨304的电力(即，电流类型、电流及电压)，以监测电力轨304提供的电力是在预定的功率规格之内以驱动架空运输车辆200。
对于非限制性实例，因应电力轨304提供的电力不足(即，错误电流、错误电压及停电)，电力控制电路202将驱动架空运输车辆200的电源自电力轨304切换至备用电源204。在本揭示内容的一些实施例中，当架空运输车辆200由备用电源204供电时，电力控制电路202检查电力轨304提供的电力。若电力控制电路202判定自电力轨304测得的电力足以驱动架空运输车辆200，则电力控制电路202将架空运输车辆200的电源切换回电力轨304。
在本揭示内容的一些实施例中，电力控制电路202监测备用电源204的充电位准。基于备用电源204的充电位准，电力控制电路202通过由电力轨304供应电力对备用电源204进行充电。
在本揭示内容的一些实施例中，电力控制电路202将备用电源204的状态输出至晶圆厂操作员，以指示备用电源204的状态。对于非限制性实例，电力控制电路202在电池指示器206中显示红灯条以指示备用电源204的故障。类似而言，电力控制电路202在电池指示器206中显示黄灯条，以指示备用电源204正在充电。电力控制电路202在电池指示器206中显示闪烁的黄灯条，以指示备用电源204的使用寿命即将结束。电力控制电路202在电池指示器206中显示绿灯条，以指示备用电源204状况良好。根据本揭示内容的实施例，电池指示器206可以任何合适的方式显示备用电源204的状态。尽管上文已经将红灯条及黄灯条描述为备用电源状况指示器的实例，但本揭示内容的其他实施例使用不同的备用电源状况指示器。例如，这些其他类型的指示器包含不同的彩色指示器、读取机板及目视指示器，诸如下文描述的这些指示器。在其他实施例中，可以利用非目视指示器，例如声响指示器。
根据本揭示内容的一些实施例，备用电源204为可充电电池。对于非限制性实例，备用电源204至少包含铅酸、镍镉(NiCd)、镍金属氢化物(NiMH)、锂离子(Li离子)或锂离子聚合物(Li离子聚合物)中的其中一者。然而，本揭示内容不限制备用电源204的类型。对于非限制性实例，在本揭示内容的一些实施例中，备用电源204为不可充电电池或超级电容器。
在本揭示内容的一些实施例中，备用电源204包含两个或两个以上电池。对于非限制性实例，备用电源204包含至少一个主电池及一或多个备用电池。若主电池发生故障，备用电池可用作主电池的备用电池。在本揭示内容的一些实施例中，架空运输车辆200包含一个电池以上，以在架空运输车辆200由备用电源204供电时延长架空运输车辆200的操作时间。通过考虑一或多个因素来判定架空运输车辆200中安装的电池数量，诸如架空轨道302的重量限制、晶圆厂布置及晶圆厂中的停电频率。
根据本揭示内容的一些实施例，备用电源204没有硬件连线(hardwire)至架空运输车辆200。对于非限制性实例，架空运输车辆200包含用于备用电源204的插入式连接器250。备用电源204包含用以连接至架空运输车辆200的插入式连接器250的相应连接器205。在本揭示内容的一些实施例中，架空运输车辆200包含一个插入式连接器250以上以同时容纳多个电池。
图2为根据本揭示内容的一或多个实施例的包含优先指示器216的架空运输车辆200的示意图。
参照图2，架空运输车辆200包含处理电路210、记忆体212、通讯电路214及指示由架空运输车辆200运输的产品的紧急位准的优先指示器216。
处理电路210可为或包含用以执行本文所述的各种功能及操作的计算机处理器，包含判定及输出紧急位准、判定架空运输车辆200的电源及经由通讯电路214与自动物料搬运系统中的控制器通讯。通讯电路(或通讯处理电路)214可为或包含(使用诸如TCP/IP之类的适当通讯协定)可通讯地耦合至自动物料搬运系统中的控制器的一或多个输入及/或输出端子。通讯电路214可用于使用有线及/或无线技术与自动物料搬运系统中的控制器进行通讯。记忆体212可为或包含任何计算机可读储存媒体，包含例如只读记忆体(read-onlymemory；ROM)、随机存取记忆体(random access memory；RAM)、快闪记忆体、硬式磁盘机、光储存装置、磁储存装置、电子可抹除可程序化只读记忆体(electrically erasableprogrammable read-only memory；EEPROM)、有机储存媒体等。对于非限制性实例，可程序化逻辑控制器(programmable logic controller；PLC)系统包含处理电路210、电力控制电路202及通讯电路214。对于另一非限制性实例，处理电路210、电力控制电路202及通讯电路214的电气或电子组件电性连接在一个或一个以上的印刷电路板(printed circuitboard；PCB)上。
如上所述，在某些情况下，产品的紧急位准是参考产品的剩余q时间来判定。在本揭示内容的一些实施例中，产品的紧急位准亦由其他因素诸如产品的生产期限来判定。在本揭示内容的一些实施例中，优先指示器216位于晶圆盒上。
在本揭示内容的一些实施例中，优先指示器216及/或电池指示器206包含任何合适的显示硬件及/或软件，诸如液晶显示器(liquid-crystal display；LCD)、有机发光二极管显示器(organic light-emitting diode display；OLED)、发光二极管显示器(light-emitting diode display；LED显示器)及点矩阵显示器。
在本揭示内容的一些实施例中，通讯电路214自自动物料搬运系统中的控制器700接收用于产品的处理步骤顺序。自动物料搬运系统中的控制器700可为或包含用以执行本文所述的各种功能及操作的计算机处理器，包含运行控制自动物料搬运系统中的交通的逻辑算法。处理步骤顺序包含至少一个用于产品的处理步骤顺序(该产品必须穿过的不同工具的顺序)。在本揭示内容的一些实施例中，沿着处理步骤顺序，处理步骤顺序包含用于产品的路线信息(即，处理步骤顺序中的前一工具(处理步骤)与后一工具(处理步骤)之间的距离)。处理步骤顺序包含处理步骤顺序中两个或两个以上处理步骤(工具)之间的间隔的时间约束信息。如上所述，时间约束通常称为q时间。q时间限制了处理步骤顺序中两个或两个以上工具(或处理步骤)之间的间隔时间。如上所述，设置q时间以确保在将晶圆运输至顺序中的下一工具或处理步骤之前，基板(晶圆)上的沉积层或处理结构不受诸如过度氧化及颗粒之类的污染。
在本揭示内容的一些实施例中，记忆体212存储架空运输车辆200被分配运输的每一产品的处理步骤顺序。如上所述，处理步骤顺序包含产品的时间约束信息(q时间)。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于存储在记忆体212中的处理步骤顺序及在处理步骤顺序中产品的当前进展来判定由架空运输车辆200运输的产品的紧急位准。对于非限制性实例，处理电路210判定由架空运输车辆200运输的产品在剩余q时间内是否在下一处理步骤位置可用。基于该判定，处理电路210基于剩余q时间在优先指示器216上输出不同的指示(讯息)。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于产品的不同剩余q时间来判定紧急位准。对于非限制性实例，若产品具有在预定时间范围A(诸如420秒或更短)内的剩余q时间以到达下一工具位置(处理步骤)，则处理电路210在优先指示器216上输出最高位准紧急指示器(讯息)，指示产品没有剩余q时间或剩余q时间很短。类似而言，若产品具有在预定时间范围B内(诸如421秒与840秒之间)的剩余q时间，则处理电路210在优先指示器216上输出紧急指示，指示产品剩下的q时间很短。若产品具有在预定时间范围C内(诸如在841秒或更长之间)的剩余q时间，则处理电路210在优先指示器216上输出指示(讯息)，指示产品具有足够的剩余q时间。出于说明目的，在上面的实例中，q时间划分为范围A、范围B及范围C，以判定产品的紧急位准。然而，本揭示内容不限于以上实例。对于非限制性实例，本揭示内容包含其他判定因素，诸如产品的估计行进时间、产品的产品类型(即，不可返工产品及可返工产品)、生产期限及来自相似处理步骤顺序的历史数据及/或产品指定的生产期限。
优先指示器216上的指示(讯息)可以任何合适的格式(字母、颜色、闪烁效果及形状)配置，此格式可以容易地被晶圆厂操作员识别。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于剩余q时间及产品的路线信息来判定紧急位准。处理电路210基于由处理电路210判定的紧急度，在优先指示器216上输出指示(讯息)。处理电路210基于路线信息(即，到下一工具的距离及架空运输车辆200行进的速度)判定在剩余q时间内在架空运输车辆200上运输的产品是否在下一工具位置(处理步骤)可用。
对于非限制性实例，处理电路210基于到下一工具位置(处理步骤)的距离及架空运输车辆200行进的速度来判定架空运输车辆200自当前位置行进至下一工具位置(处理步骤)所需的行进时间。基于所判定的行进时间，处理电路210进一步判定产品在剩余q时间内在下一工具位置(下一步骤)是否可用。若处理电路210判定所判定的行进时间比剩余q时间多出某个预定阈值，例如60秒或更大，则处理电路210在优先指示器216上输出最高位准的紧急指示(讯息)，指示产品的剩余q时间不足，并且产品在q时间到期之前无法到达下一工具。若处理电路210判定所判定的行进时间及剩余q时间相同或在彼此的某个预定阈值之内，例如0至60秒，则处理电路210在优先指示器216上输出紧急指示(讯息)，指示产品将在q时间到期时或在q时间到期之后到达下一工具位置。若处理电路210判定剩余q时间比所判定的行进时间多出某个预定阈值，例如大于60秒，则处理电路210在优先指示器216上输出指示器(讯息)，指示产品具有足够的剩余q时间，使得架空运输车辆200将在q时间到期之前到达下一工具位置。
在本揭示内容的一些实施例中，其他考虑因素可以与q时间一起使用，诸如产品的产品类型(即，不可返工产品及可返工产品)、来自相似处理步骤顺序的历史数据或产品分指定的生产期限。区分产品类型很重要，因为不可返工产品可能会在q时间过去后报废。然而，可以通过附加处理步骤来恢复可返工产品。因此，不可返工产品优先于可返工产品。对于非限制性实例，即使处理电路210判定剩余q时间比所判定的行进时间多出某个预定阈值，例如大于60秒，处理电路210基于生产期限在优先指示器216上输出最高位准的紧急指示。晶圆厂操作员可为每一考虑因素分配不同的考虑权重。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于剩余q时间、产品的路线信息、架空运输车辆200的速度及当前交通信息来判定紧急位准。当处理电路210基于路线信息(即，至下一工具的距离)、架空运输车辆速度及自自动物料搬运系统中的控制器700接收的当前交通信息判定在剩余q时间内产品在下一工具位置(处理步骤)不可用时，处理电路210在优先指示器216上输出不同位准的紧急指示(讯息)。
对于非限制性实例，处理电路210基于至下一工具位置(处理步骤)的距离及到达下一工具位置的路线上的当前交通信息(处理步骤)，判定架空运输车辆200自当前位置行进至下一工具位置(处理步骤)所需的行进时间。对于非限制性实例，处理电路210在到达下一工具位置(处理步骤)的路线上的每一架空运输车辆的行进时间(基于至下一工具位置的距离判定)上增加预定时间(即五秒)。
基于利用至下一工具的路线上的当前交通信息所判定的行进时间，处理电路210进一步判定在剩余q时间内产品在下一工具位置(下一步骤)是否可用。若处理电路210在考虑到当前交通信息的情况下判定所判定的行进时间比剩余q时间多出某个预定阈值，例如60秒或更长，则处理电路210在优先指示器216上输出最高位准的紧急指示(讯息)，指示产品的剩余q时间不足，并且在q时间到期之前将不会到达下一工具。若处理电路210在考虑到当前交通信息的情况下判定行进时间及剩余q时间相同或彼此在某个预定阈值之内，例如0至60秒，则处理电路210在优先指示器216上输出紧急指示(讯息)，指示产品将在q时间到期时或q时间到期后到达下一工具位置。考虑到当前交通信息，若处理电路210判定剩余q时间大于所判定的行进时间某个预定阈值，例如大于60秒，则处理电路210在优先指示器216上输出指示(讯息)，指示产品具有足够的剩余q时间，使得架空运输车辆200将在q时间到期之前到达下一工具位置。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210通过类似处理步骤顺序基于剩余q时间、产品的路线信息、当前交通信息及来自产品的先前历史数据来判定紧急位准。处理电路210基于路线信息(即，至下一工具的距离)、当前交通信息及先前历史数据判定在架空运输车辆200上运输的产品在剩余q时间内是否在下一工具位置(处理步骤)可用。
在本揭示内容的一些实施例中，先前历史数据由控制器700在自动物料搬运系统中收集，并发送至架空运输车辆200。在本揭示内容的一些实施例中，先前历史数据由架空运输车辆200的处理电路210收集并存储在记忆体212中。在本揭示内容的一些实施例中，存储在记忆体212中的先前历史数据与自自动物料搬运系统的控制器700收集的先前历史数据结合。根据本揭示内容的实施例，先前历史数据的实例包含在各种条件下的先前行进时间，诸如交通信息及至下一工具位置的距离(处理步骤)。
对于非限制性实例，处理电路210基于与诸如至下一工具位置(处理步骤)的距离及至下一工具位置(处理步骤)的路线上的当前路况信息之类的条件相匹配的先前历史数据，判定架空运输车辆200自当前位置行进至下一工具位置所需的行进时间(处理步骤)。若不存在与产品的当前条件精确匹配的先前历史数据，则处理电路210基于接近于当前条件的先前历史数据判定初步行进时间，并基于不与先前历史数据相匹配的条件进一步调整初步行进时间。对于非限制性实例，处理电路210基于至下一工具位置的距离(处理步骤)的先前历史数据来判定行进时间，并且通过将路线上每一架空运输车辆的预定时间(即五秒)加至下一工具位置(处理步骤)，基于诸如交通信息及/或路线信息之类的不匹配条件来调整行进时间。尽管已经将交通信息及路线信息描述为不匹配条件的实例，但是根据本揭示内容的一些实施例，与产品自一种工具至另一种工具的运输有关的其他条件可以用作先前历史数据及不匹配条件。
基于先前历史数据所判定的行进时间，处理电路210进一步判定在剩余q时间内产品在下一工具位置(下一步骤)是否可用。若处理电路210在考虑到先前历史数据的情况下判定所判定的行进时间比剩余q时间多出某个预定阈值，例如60秒或更长，则处理电路210在优先指示器216上输出最高位准的紧急指示(讯息)，指示产品的剩余q时间不足，并且在q时间到期之前将不会到达下一工具。若处理电路210在考虑到先前历史数据的情况下判定行进时间及剩余q时间相同或彼此在某个预定阈值之内，例如0至60秒，则处理电路210在优先指示器216上输出紧急指示(讯息)，指示产品将在q时间到期时或q时间到期后到达下一工具位置。考虑到先前历史数据，若处理电路210判定剩余q时间大于所判定的行进时间某个预定阈值，例如大于60秒，则处理电路210在优先指示器216上输出指示(讯息)，指示产品具有足够的剩余q时间，使得架空运输车辆200将在q时间到期之前到达下一工具位置。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700基于产品的类型及产品的剩余q时间来判定紧急位准。对于非限制性实例，q时间严格地强制执行于无法恢复或返工的特定类型的产品，而q时间较不严格地强制执行于可以通过附加处理步骤进行返工的其他类型的产品。在超过无法恢复或返工的产品的q时间之后，可能会报废整个产品。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700在优先指示器216上输出紧急位准。这里描述一些非限制性实例。自动物料搬运系统中的控制器700在优先指示器216上输出红色或黄色条，指示架空运输车辆200正在运输无论剩余q时间如何都无法恢复或返工的产品。若不能返工的产品的剩余q时间很短或没有剩余，则自动物料搬运系统中的控制器700在优先指示器216上输出红色条。自动物料搬运系统中的控制器700在优先指示器216上输出黄色条或绿色条，指示架空运输车辆200正在运输可以返工的产品。若可以返工的产品的剩余q时间很短或没有剩余，则自动物料搬运系统中的控制器700在优先指示器216上输出黄色条。因此，无法恢复或返工的产品具有高于可返工的产品的优先级。自动物料搬运系统中的控制器700在优先指示器216上输出绿色条，指示架空运输车辆200正在运输的产品不受q时间限制或将被报废或将要返工。在一些实施例中，将被报废或将要返工的产品具有最低优先级(或紧急度)。根据本揭示内容，自动物料搬运系统中的控制器700可以任何合适的方式在优先指示器216上输出紧急位准。
图3为根据本揭示内容的一或多个实施例的架空运输车辆200在架空轨道302上与自动物料搬运系统中的控制器700通讯的示意图。
参照图3，架空运输车辆200包含处理电路210、记忆体212、通讯电路214及指示由架空运输车辆200运输的产品的紧急位准的优先指示器216。
在本揭示内容的一些实施例中，当架空运输车辆200正在运输的产品中没有剩余或具有非常短的剩余q时间或架空运输车辆200由有限的电源(即，备用电源204)供电时，处理电路210向自动物料搬运系统中的控制器700发送救援信号。如上所述，在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于剩余q时间及其他条件(即，路线信息、交通信息及生产期限)来判定产品的紧急位准。
在本揭示内容的一或多个实施例中，晶圆厂操作员(或产品的剩余q时间)设置触发架空运输车辆200的处理电路210生成救援信号的紧急位准。对于非限制性实例，由处理电路210为产品判定的最高紧急位准触发处理电路210以生成救援信号，并且因应自处理电路210接收的救援信号，通讯电路214将救援信号发送至自动物料搬运系统中的控制器700。
在自架空运输车辆200的处理电路210接收救援信号之后，自动物料搬运系统中的控制器700可具有救援功能。救援功能提供救援命令，以通过判定产品的当前位置至产品的目的地的最短路线来加速紧急产品的移动及/或提高架空运输车辆200的速度。通常，目的地设置为在处理步骤顺序中的下一工具位置(处理步骤)。然而，在本揭示内容的一些实施例中，当顺序中的下一工具不可用时，自动物料搬运系统中的控制器700定位可以执行相同处理步骤的另一可用工具。若控制器700定位了替代工具，则自动物料搬运系统中的控制器700将目的地更新为替代工具位置，并判定自产品的当前位置至替代工具位置的最短路线。在本揭示内容的一些实施例中，若控制器700不能定位替代工具，则控制器700将目的地更新至最近的应急转口800，并判定至最近的应急转口800的最短路线。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统包含应急转口800。应急转口800可为任何合适的形式，诸如位于下一工具位置(处理步骤)附近的自动仓储(stocker)(或机柜)。自动仓储可位于晶圆厂天花板或晶圆厂地板上。若紧急产品在晶圆厂地板上的自动仓储中，则晶圆厂操作员可容易地手动将紧急产品移至下一位置。
根据本揭示内容的一些实施例，自动物料搬运系统中的控制器700将禁止信号发送至最短路线上的其他架空运输车辆。在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700亦将禁止信号发送至不在最短路线上的其他架空运输车辆。在一些实施例中，禁止信号包含在改变最短路线上其他架空运输车辆路线的改变路线命令及/或防止及其他架空运输车辆进入最短路线、改变其他架空运输车辆的路线的禁止命令。结果，触发救援信号的产品被自动物料搬运系统的控制器700救援，控制器700将产品引导至到达下一目的地的最短路线。
在本揭示内容的一些实施例中，当紧急产品成功运输至目的地时，自动物料搬运系统的控制器700发送使禁止信号无效的信号。
在本揭示内容的一些实施例中，备用控制器702连续地、有规律地或以某种模式监测并存储由自动物料搬运系统的控制器700自架空运输车辆200(或一个以上架空运输车辆200)接收的救援信号。当自动物料搬运系统的控制器700不能正确操作时，可使用在备用控制器702处存储的救援信号。对于非限制性实例，当自动物料搬运系统的控制器700(或自动物料搬运系统)由于电源故障而关闭时，备用控制器702(通过诸如备用电池或替代备用电源等不同的电源运行)接替自动物料搬运系统的控制器700的操作。
图4为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的用于判定架空运输车辆200的电源的方法的流程图。
参照图4，根据本揭示内容的一些实施例，根据一或多个实施例的用于判定电源的方法包含以下步骤：步骤S100，判定自主电源供应的电力是否足以驱动架空运输车辆200；步骤S200，将架空运输车辆200的电源自主电源切换至备用电源204；步骤S300，判定备用电源204是否具有足够的电力以将架空运输车辆200驱动至下一工具位置(处理步骤)；步骤S400，在优先指示器216上显示紧急指示(讯息)；步骤S500，将架空运输车辆200移动至下一工具位置(处理步骤)；步骤S600，判定主电源是否足以驱动架空运输车辆200；及步骤S700，将电源切换至主电源。
判定自主电源供应的电力是否足以驱动架空运输车辆200的步骤S100包含监测自电力轨304供应的电力的步骤。如上所述，电力控制电路202监测电源供应，并基于在此步骤中收集的量测值(诸如，电压及电流)判定驱动架空运输车辆200的电源。在典型情况下，架空运输车辆200由电力轨304供电。电力控制电路202连续地、有规律地或以某种模式量测自电力轨304供应的电力，以监测自电力轨304接收的电力。当电力控制电路202判定自电力轨304供应的电力不足时(即，错误电流/电压及停电)，电力控制电路202将用于架空运输车辆200的电源自电力轨304切换至备用电源204。
将架空运输车辆200的电源自主电源切换至备用电源204的步骤S200包含将架空运输车辆200的电源自电力轨304切换至备用电源204的步骤。如上所述，当电力控制电路202判定自电力轨304供应的电力不足(即，错误电流/电压及停电)时，电力控制电路202将用于架空运输车辆200电源自电力轨304切换至备用电源204。如上所述，备用电源204包含合适的电力存储单元，诸如不可充电电池(即碱性)及可充电电池(即电容器、铅酸、镍镉、镍金属氢化物、锂离子及锂离子聚合物)。
判定备用电源204是否具有足够的电力以将架空运输车辆200驱动至下一工具位置(处理步骤)的步骤S300包含判定备用电源204是否具有容量(即充电)，以将架空运输车辆200驱动至处理步骤顺序中的下一工具位置(处理步骤)的步骤。在本揭示内容的一些实施例中，电力控制电路202检查备用电源204的容量，并且处理电路210判定备用电源204是否具有将架空运输车辆200驱动至下一工具位置(处理步骤)的容量。在本揭示内容的一些其他实施例中，自动物料搬运系统的控制器700判定备用电源204是否具有将架空运输车辆200驱动至下一工具位置(处理步骤)的容量。
在优先指示器216上显示紧急指示(讯息)的步骤S400包含向晶圆厂操作员指示架空运输车辆200没有足够的电力来操作的步骤。在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210在优先指示器216上输出指示架空运输车辆200电力不足的讯息。在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210在优先指示器216上输出“断电”紧急讯息、顺序名称、产品标识符或剩余q时间中的至少一者。在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统的控制器700在优先指示器216上输出“断电”紧急讯息。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于剩余q时间及其他考虑因素(即，不可返工产品及可返工的产品)在优先指示器216上输出不同位准的“断电”紧急讯息。在本揭示内容的一些其他实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700基于剩余q时间及其他因素(即，不可返工产品及可返工产品)输出不同位准的“断电”紧急讯息。
对于根据本揭示内容的一些实施例的方法的非限制性实例，若产品具有在预定时间范围A(诸如420秒或更短)内的剩余q时间至下一工具位置(处理步骤)，则处理电路210(或自动物料搬运系统中的控制器700)在优先指示器216上输出红色的“断电”紧急讯息，指示该产品没有剩余或具有非常短的剩余q时间。类似而言，若产品具有预定时间范围B(诸如421秒与840秒之间)内的剩余q时间，则处理电路210(或自动物料搬运系统中的控制器700)在优先指示器216上输出黄色的“断电”紧急讯息，指示该产品具有短的剩余q时间。若产品的剩余时间在预定时间范围C(诸如841秒或更长)内，则处理电路210(或自动物料搬运系统中的控制器700)在优先指示器上216输出绿色的“断电”紧急讯息，指示该产品具有足够的剩余q时间。基于产品的剩余q时间，晶圆厂操作员可以判定优先次序。
使用备用电源204将架空运输车辆200移动至下一工具位置(处理步骤)的步骤S500包含使用备用电源204将产品运输至下一工具位置(处理步骤)的步骤。如上所述，在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210将救援信号发送至自动物料搬运系统中的控制器700。当自处理电路210接收救援信号时，自动物料搬运系统中的控制器700可具有其救援功能。救援功能提供救援命令，以通过判定自产品的当前位置至产品的目的地的最短路线来加速产品的移动。通常，目的地设置为处理步骤顺序中的下一工具位置(处理步骤)。然而，在本揭示内容的一些实施例中，当顺序中的下一工具不可用时，自动物料搬运系统中的控制器700定位可以执行相同处理步骤的另一可用工具。若控制器700定位了替代工具，则控制器700将目的地更新为替代工具位置，并自判定产品的当前位置至替代工具位置的最短路线。在本揭示内容的一些实施例中，若控制器700不能定位替代工具，则控制器700将目的地更新至最近的应急转口800，并判定至最近的应急转口800的最短路线。如上所述，在本揭示内容的实施例中，应急转口800可为任何合适的形式，诸如位于更靠近下一工具位置(处理步骤)的自动仓储。自动仓储可位于晶圆厂天花板或晶圆厂地板上。若紧急产品在晶圆厂地板上的转口中，则晶圆厂操作员可轻易地将紧急产品手动移至下一位置。
在根据本揭示内容的方法的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700判定通过电力轨304供应了不足的电力(即，错误电流、错误电压及停电)。若电力不足，则自动物料搬运系统中的控制器700可具有其救援功能。救援功能提供救援命令，以通过判定自产品的当前位置至产品的目的地的最短路线来加速产品的移动。通常，目的地设置为处理步骤顺序中的下一工具位置(处理步骤)。然而，在本揭示内容的一些实施例中，当顺序中的下一工具不可用时，自动物料搬运系统中的控制器700定位可以执行相同处理步骤的另一可用工具。若控制器700定位了替代工具，则控制器700将目的地更新为替代工具位置，并自判定产品的当前位置至替代工具位置的最短路线。在本揭示内容的一些实施例中，若控制器700不能定位替代工具，则控制器700将目的地更新至最近的应急转口800，并判定至最近的应急转口800的最短路线。如上所述，在本揭示内容的实施例中，应急转口800可为任何合适的形式，诸如位于更靠近下一工具位置(处理步骤)的自动仓储。自动仓储可位于晶圆厂天花板或晶圆厂地板上。若紧急产品在晶圆厂地板上的转口中，则晶圆厂操作员可轻易地手动移动紧急产品。
判定主电源是否足以驱动架空运输车辆200的步骤S600包含在架空运输车辆200由备用电源204供电的同时，检查电力轨304提供的电力的步骤。在本揭示内容的一些实施例中，在架空运输车辆由备用电源204供电的同时，电力控制电路202进一步检查电力轨304提供的电力。若电力控制电路202判定电力轨304侦测的电力足以驱动架空运输车辆200，则电力控制电路202将架空运输车辆200的电源切换回电力轨304。
在本揭示内容的一些实施例中，在架空运输车辆由备用电源204供电的同时，自动物料搬运系统中的控制器700进一步检查电力轨304供应的电力。若自动物料搬运系统中的控制器700判定电力轨304侦测的电力足以驱动架空运输车辆200，则自动物料搬运系统中的控制器700向电力控制电路202发送命令信号，因此电力控制电路202将架空运输车辆200的电源切换回电力轨304。
将电源切换至主电源的步骤S700包含基于步骤S600中的判定将电源自备用电源204切换至电力轨304的步骤。
图5为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的一种用于在优先指示器216上判定及输出紧急讯息的方法的流程图。
参照图5，在优先指示器216上判定及输出紧急讯息的方法包含以下步骤：步骤S1100，接收产品的处理步骤顺序；步骤S1200，基于产品的剩余q时间及产品的当前进度判定产品的紧急位准；及步骤S1300，基于判定显示紧急讯息。
接收产品的处理步骤顺序的步骤S1100包含自自动物料搬运系统中的控制器700接收产品的处理步骤顺序的步骤。如上所述，架空运输车辆200的通讯电路214自自动物料搬运系统中的控制器700接收产品的处理步骤顺序。处理步骤顺序包含产品的至少一个处理步骤顺序(产品必须通过的不同工具的顺序)。在本揭示内容的一些实施例中，沿着处理步骤顺序，处理步骤顺序包含产品的路线信息(即，处理步骤顺序中的前一工具(处理步骤)及后一工具(处理步骤)之间的距离)。处理步骤顺序包含用于处理步骤顺序中两个或两个以上处理步骤(工具)之间的间隔的时间约束信息。如上所述，时间约束通常称为q时间。q时间限制了处理步骤顺序中两个或两个以上工具(或处理步骤)之间的间隔时间。如上所述，设置q时间以确保晶圆上的沉积层或处理结构在将晶圆输送至下一工具或顺序中的处理步骤之前不受诸如过度氧化及颗粒之类的污染。记忆体212存储架空运输车辆200被分配来运输的每一产品的处理步骤顺序。如上所述，处理步骤顺序包含产品的q时间数据。
基于产品的剩余q时间及当前进度来判定产品的紧急位准的步骤S1200包含基于存储在记忆体212中的处理步骤顺序及在处理步骤顺序的产品的当前进度来判定产品的紧急位准。如上所述，根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆200的处理电路210判定产品的紧急位准。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于存储在记忆体212中的处理步骤顺序及在处理步骤顺序中产品的当前进展来判定由架空运输车辆200运输的产品的紧急位准。对于非限制性实例，处理电路210判定由架空运输车辆200运输的产品在剩余q时间内是否在下一处理步骤位置可用。基于该判定，处理电路210基于剩余q时间在优先指示器216上输出不同的指示(讯息)。
基于判定显示紧急讯息的步骤S1300包含基于由处理电路210判定的紧急位准在优先指示器216上显示紧急讯息的步骤。
图6为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的一种用于在优先指示器216上判定及显示紧急讯息的方法的流程图。
参照图6，在优先指示器216上判定及显示紧急讯息的方法包含以下步骤：步骤S2100，基于诸如剩余q时间、产品的类型及生产期限的因素判定产品的紧急位准；及步骤S2200，基于步骤S2100的判定，显示紧急讯息。
判定产品的紧急位准的步骤S2100包含基于一或多个考虑因素(诸如，剩余q时间、产品类型及生产期限)判定产品的紧急位准的步骤。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统的控制器700在优先指示器216上判定紧急位准。如上所述，一或多个因素(诸如剩余q时间、产品类型及生产期限)可用于判定产品的紧急位准。
如上所述，当控制自动物料搬运系统中的交通的逻辑算法由于诸如停电之类的非预期问题而无法在q时间内按处理步骤顺序将前开式晶圆传送盒自一个工具传输至下一工具时，通常会报废晶圆。但是，一些产品可以通过进一步的处理制程来拯救，诸如通过蚀刻制程移除颗粒或氧化层。换言之，与可返工的产品相比，不可返工的产品归类为较紧急产品。
通常，生产中的每一产品都具有不同的生产期限。与距离生产期限较远的产品相比，期限较紧的产品归类为较紧急产品。
自动物料搬运系统中的控制器700基于各种因素来判定紧急位准，包含剩余q时间、产品类型及生产期限。自动物料搬运系统操作员为每一考虑因素分配不同的权重，因此，自动物料搬运系统中的控制器700可以判定每一产品的紧急位准。
基于判定来显示紧急讯息的步骤S2200包含基于步骤S2100中的判定在优先指示器216上显示紧急讯息的步骤。
图7为示出根据本揭示内容的一或多个实施例的基于所判定的紧急位准来运输紧急产品的方法的流程图。
参照图7，基于所判定的紧急位准运输紧急产品的方法包含以下步骤：步骤S3100，判定产品的紧急位准；步骤S3200，显示产品的“绿色”状态；步骤S3300，显示产品的“黄色”状态；步骤S3400，显示产品的“红色”状态；步骤S3500，将救援信号发送至自动物料搬运系统的控制器700(或在控制器700中可具有救援功能)；步骤S3600，判定产品的最短路线；及步骤S3700，将禁止信号发送至其他架空运输车辆。
判定产品的紧急位准的步骤S3100包含基于一或多个因素(诸如，存储在记忆体212中的处理步骤顺序、处理步骤顺序中的产品的当前进度、剩余q时间、产品类型及生产期限)判定产品的紧急位准的步骤。
在本揭示内容的一些实施例中，架空运输车辆200的处理电路210判定产品的紧急位准。处理电路210基于存储在记忆体212中的处理步骤顺序及在处理步骤顺序中产品的当前进度，判定由架空运输车辆200运输的产品的紧急位准。对于非限制性实例，处理电路210判定在剩余q时间内的下一处理步骤处，由架空运输车辆200运输的产品是否可用。基于该判定，处理电路210基于剩余q时间在优先指示器216上输出不同的指示器(即，绿色、黄色及红色)。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700判定产品的紧急度。自动物料搬运系统中的控制器700基于各种因素判定紧急位准，包含剩余q时间、产品类型及生产期限。自动物料搬运系统操作员为每一因素分配不同的权重，以便自动物料搬运系统中的控制器700可以判定每一产品的紧急位准。基于该判定，自动物料搬运系统中的控制器700基于剩余q时间在优先指示器216上输出不同的指示器(即，绿色、黄色及红色)。
在优先指示器216上显示“绿色”指示器的步骤S3200包含向晶圆厂操作员指示产品具有最低优先级的步骤。
在本揭示内容的一些实施例中，基于在步骤S2100中处理电路210的判定，当产品具有足够的剩余q时间时，处理电路210在优先指示器216上输出“绿色”指示器。
在本揭示内容的一些实施例中，当产品归类为非紧急产品时，自动物料搬运系统中的控制器700在优先指示器216上输出“绿色”指示器。
在优先指示器216上显示“黄色”指示器的步骤S3300包含向晶圆厂操作员指示产品具有中等优先级的步骤。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于步骤S3100中的处理电路210的判定在优先指示器216上输出“黄色”指示器。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700基于在步骤S3100中的自动物料搬运系统中的控制器700的判定，在优先指示器216上输出“黄色”指示器。
在优先指示器216上显示“红色”指示器的步骤S3400包含向晶圆厂操作员指示产品具有高优先级的步骤。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于步骤S3100中的处理电路210的判定在优先指示器216上输出“红色”指示器。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700基于在步骤S3100中的自动物料搬运系统中的控制器700的判定，在优先指示器216上输出“红色”指示器。
可具有救援功能的步骤S3500包含利用由自动物料搬运系统的控制器700提供的救援功能的步骤。
在本揭示内容的一些实施例中，处理电路210基于剩余q时间及如上所述的其他条件(诸如生产期限、产品类型(可返工/不可返工)及步骤S2100中的架空运输车辆200的电源)，判定产品的紧急位准。对于非限制性实例，晶圆厂操作员(或产品的剩余q时间)设置紧急位准，该紧急位准触发处理电路210以生成救援信号。当产品触发处理电路210以生成救援信号时，架空运输车辆200的通讯电路214将救援信号发送至自动物料搬运系统中的控制器700。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700判定产品很紧急并可具有紧急产品的救援功能。如上所述，自动物料搬运系统中的控制器700使用一或多个因素(即，剩余q时间、产品类型及生产期限)来判定产品的紧急位准。
判定最短路线的步骤S3600包含判定自产品的当前位置至产品的下一目的地的最短路线的步骤。
在本揭示内容的一些实施例中，在自架空运输车辆200的处理电路210接收救援信号之后，自动物料搬运系统中的控制器700可具有其救援功能。救援功能提供救援命令，以通过判定自产品的当前位置至产品的下一目的地的最短路线来加速产品的移动。通常，目的地设置为处理步骤顺序中的下一工具位置(处理步骤)。然而，在本揭示内容的一些实施例中，当顺序中的下一工具不可用时，自动物料搬运系统中的控制器700定位可以执行相同处理步骤的另一可用工具。若控制器700成功定位替代工具，则控制器700将目的地更新为替代工具位置，并判定自产品的当前位置至替代工具位置的最短路线。在本揭示内容的一些实施例中，若控制器700不能定位替代工具，则控制器700将目的地更新至最近的应急转口800，并判定至最近的应急转口800的最短路线。
在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700可具有其救援功能。救援功能提供救援命令，以通过判定自产品的当前位置至产品的下一目的地的最短路线来加速产品的移动。通常，目的地设置为处理步骤顺序中的下一工具位置(处理步骤)。然而，在本揭示内容的一些实施例中，当顺序中的下一工具不可用时，自动物料搬运系统中的控制器700定位可以执行相同处理步骤的另一可用工具。若控制器700成功定位替代工具，则控制器700将目的地更新为替代工具位置，并判定自产品的当前位置至替代工具位置的最短路线。在本揭示内容的一些实施例中，控制器700将目的地自当前位置更新至最近的可用应急转口800(或者最接近下一工具位置的可用应急转口800)，并判定至附近应急转口800(或至最接近下一工具位置的可用应急转口800)的最短路线。
将禁止信号发送至其他架空运输车辆的步骤S3700包含控制最短路线上的交通的步骤。根据本揭示内容的一些实施例，自动物料搬运系统中的控制器700将禁止信号发送至最短路线上的其他架空运输车辆。在本揭示内容的一些实施例中，自动物料搬运系统中的控制器700亦将禁止信号发送至不在最短路线上的其他架空运输车辆。禁止信号包含改变最短路线上其他架空运输车辆路线的改变路线命令及/或防止及其他架空运输车辆进入最短路线、改变其他架空运输车辆的路线的禁止命令因此，触发救援信号的产品由自动物料搬运系统的控制器700救援，该控制器700将产品引导至通往下一目的地的最短路线。
如上所述，在本揭示内容的一些实施例中，备用控制器702连续地、有规律地或以某种模式监测并存储由自动物料搬运系统的控制器700自架空运输车辆200(或一个以上架空运输车辆200)接收的救援信号。当自动物料搬运系统的控制器700不能正确操作时，可使用在备用控制器702处存储的救援信号。对于非限制性实例，当自动物料搬运系统的控制器700(或自动物料搬运系统)由于电源故障而关闭时，备用控制器702(在诸如备用电池或替代备用电源等不同的电源上运行)接替自动物料搬运系统的控制器700的操作。
如上所述，自动物料搬运系统及(整合至自动物料搬运系统的)架空运输车辆200能够一起工作以减少晶圆厂操作员进行手动紧急产品救援的数量。例如，架空运输车辆200包含备用电源204，当自电力轨304供应的电力发生故障时，备用电源204向架空运输车辆200供电。此外，优先指示器216提供产品的紧急位准。基于优先指示器216上的指示，晶圆厂操作员可轻易地定位及救援紧急产品。另外，可以自原目的地(顺序中的下一工具)重新分配紧急产品的路线至新目的地，诸如晶圆厂地板上最近的可用应急转口。此举使得晶圆厂操作员易于手动处理紧急产品，而不是在架空轨道302上寻找该产品。此外，使用本文所述的架空运输车辆200减少了被报废或返工的晶圆。
根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆包含用于判定架空运输车辆的电源的电力控制电路；及备用电源，其中电力控制电路将电源自主电源切换至备用电源。
根据本揭示内容的一或多个实施例，主电源向架空运输车辆供电不足时，电力控制电路在操作中将电源自主电源切换至备用电源。
根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆由备用电源供电时，电力控制电路在操作中监测主电源提供的电力。
根据本揭示内容的一或多个实施例，电力控制电路自主电源量测到足够的电力时，电力控制电路在操作中将电源自备用电源切换至主电源。
根据本揭示内容的一或多个实施例，主电源在操作中通过电力轨供电。
根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆还包含指示器，在操作中指示备用电源的状态。
根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆还包含用于备用电源的插入式连接器。
根据本揭示内容的一或多个实施例，备用电源包含主电池及至少一个备用电池。
根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆包含自自动物料搬运系统(Automated Material Handling System；自动物料搬运系统)中的控制器接收用于产品的处理步骤顺序的通讯电路，该处理步骤顺序包含在处理步骤顺序中的两个或两个以上处理步骤之间的间隔的时间约束信息；存储用于产品的处理步骤顺序的记忆体；设置在架空运输车辆的外部的优先指示器；及基于产品的紧急位准在优先指示器上输出指示的处理电路。
根据本揭示内容的一或多个实施例，优先指示器上的指示是基于紧急位准判定。
根据本揭示内容的一或多个实施例，紧急位准由处理电路基于以下多个条件中的至少一者来判定，条件包含时间约束信息、产品的产品类型、来自相似处理步骤顺序的历史数据或为产品指定的生产期限。
根据本揭示内容的一或多个实施例，产品类型包含可返工产品及不可返工产品。
根据本揭示内容的一或多个实施例，控制器对用于判定紧急位准的条件中的每一者指定不同权重。
根据本揭示内容的一或多个实施例，时间约束信息限制处理步骤顺序中的两个或两个以上步骤之间的间隔时间。
根据本揭示内容的一或多个实施例，架空运输车辆还包含备用电池，在架空运输车辆的主电源不可用时向优先指示器供电。
根据本揭示内容的一或多个实施例，一种运输紧急产品的方法包含判定产品的紧急位准。方法包含基于产品的所判定的紧急位准显示紧急位准状态的步骤。方法包含将救援信号发送至自动物料搬运系统(automated material handling system；自动物料搬运系统)。方法包含判定到达产品的目的地的最短路线。
根据本揭示内容的一或多个实施例，方法还包含发送禁止信号以清除到达目的地的最短路线。
根据本揭示内容的一或多个实施例，紧急位准由处理电路基于以下多个条件中的至少一者来判定，条件包含产品剩余排序时间、产品的产品类型、来自相似处理步骤顺序的历史数据或为产品指定的生产期限。
根据本揭示内容的一或多个实施例，判定紧急位准显示在设置在架空运输车辆的外部上的优先指示器上。
根据本揭示内容的一或多个实施例，目的地为距原始目的地最近的可用转口。
上文概述了数个实施例的特征，使得熟悉此项技术者可以更好地理解本揭示内容的各态样。熟悉此项技术者应理解，熟悉此项技术者可以容易地将本揭示内容用作设计或修改其他制程及结构的基础，以实现与本文介绍的实施例相同的目的及/或实现相同的优点。熟悉此项技术者亦应认识到，这些等效构造不脱离本揭示内容的精神及范畴，并且在不脱离本揭示内容的精神及范畴的情况下，这些等效构造可以进行各种改变、替代及变更。

Claims (20)

1.一种架空运输车辆，其特征在于，包含：
一电力控制电路，在操作中判定用于该架空运输车辆的一电源；
一备用电源，用于该架空运输车辆，
其中该电力控制电路在操作中将该电源自该架空运输车辆的一主电源切换至该备用电源；
一优先指示器，设置在该架空运输车辆的一外部；及
一处理电路，在操作中判定该备用电源是否具有将该架空运输车辆驱动至下一工具位置的一容量，并在该处理电路判定该备用电源不具有将该架空运输车辆驱动至该下一工具位置的该容量时，在该优先指示器上输出一指示。
2.根据权利要求1所述的架空运输车辆，其特征在于，当该主电源向该架空运输车辆供电不足时，该电力控制电路在操作中将该电源自该主电源切换至该备用电源。
3.根据权利要求1所述的架空运输车辆，其特征在于，当该架空运输车辆由该备用电源供电时，该电力控制电路在操作中监测该主电源提供的电力。
4.根据权利要求3所述的架空运输车辆，其特征在于，当该电力控制电路自该主电源量测到足够的电力时，该电力控制电路在操作中将该电源自该备用电源切换至该主电源。
5.根据权利要求1所述的架空运输车辆，其特征在于，该主电源在操作中通过一电力轨供电。
6.根据权利要求1所述的架空运输车辆，其特征在于，还包含一电池指示器，在操作中指示该备用电源的一状态。
7.根据权利要求1所述的架空运输车辆，其特征在于，还包含用于该备用电源的一插入式连接器。
8.根据权利要求1所述的架空运输车辆，其特征在于，该备用电源包含一主电池及至少一个备用电池。
9.一种架空运输车辆，其特征在于，包含：
一备用电源；
一电力控制电路，在操作中将该架空运输车辆的一电源切换至该备用电源；
一通讯电路，在操作中自一自动物料搬运系统中的一控制器接收用于一产品的一处理步骤顺序，该处理步骤顺序包含在该处理步骤顺序中的两个或两个以上处理步骤之间的间隔的时间约束信息；
一记忆体，在操作中存储用于该产品的该处理步骤顺序；
一优先指示器，设置在该架空运输车辆的一外部；及
一处理电路，在操作中判定该备用电源是否具有将该架空运输车辆驱动至下一工具位置的一容量，并在该处理电路判定该备用电源不具有将该架空运输车辆驱动至该下一工具位置的该容量时，基于该产品的一紧急位准在该优先指示器上输出一指示。
10.根据权利要求9所述的架空运输车辆，其特征在于，该优先指示器上的该指示是基于该紧急位准判定。
11.根据权利要求10所述的架空运输车辆，其特征在于，该紧急位准由该处理电路基于以下多个条件中的至少一者来判定，所述多个条件包含时间约束信息、该产品的一产品类型、来自一相似处理步骤顺序的历史数据或为该产品指定的一生产期限。
12.根据权利要求11所述的架空运输车辆，其特征在于，该产品类型包含一可返工产品及一不可返工产品。
13.根据权利要求11所述的架空运输车辆，其特征在于，该控制器对用于判定该紧急位准的所述多个条件中的每一者指定不同权重。
14.根据权利要求9所述的架空运输车辆，其特征在于，该时间约束信息限制该处理步骤顺序中的两个或两个以上步骤之间的一间隔时间。
15.根据权利要求9所述的架空运输车辆，其特征在于，该备用电源在该架空运输车辆的一主电源不可用时向该优先指示器供电。
16.一种用于运输一紧急产品的方法，其特征在于，包含：
将一架空运输车辆的一电源切换至一备用电源；
判定该备用电源是否具有将该架空运输车辆驱动至下一工具位置的一容量；
判定一产品的一紧急位准；
在判定该备用电源不具有将该架空运输车辆驱动至该下一工具位置的该容量时，基于该产品的该判定紧急位准显示一紧急位准状态；
在判定该备用电源具有将该架空运输车辆驱动至该下一工具位置的该容量时，使用该备用电源将该架空运输车辆移动至该下一工具位置，其中使用该备用电源将该架空运输车辆移动至该下一工具位置包含：
基于该产品的该判定紧急位准，向一自动物料搬运系统发送一救援信号；及
判定到达该产品的一目的地的一最短路线。
17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，还包含发送一禁止信号以清除到达该目的地的该最短路线。
18.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，该紧急位准由一处理电路基于以下多个条件中的至少一者来判定，该些条件包含产品剩余排序时间、该产品的一产品类型、来自一相似处理步骤顺序的历史数据或为该产品指定的一生产期限。
19.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，该判定紧急位准显示在设置在一架空运输车辆的一外部上的一优先指示器上。
20.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，该目的地为距一原始目的地最近的一可用转口。
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